KR101044527B1 - 액정표시소자의 배향막 형성장치 - Google Patents

액정표시소자의 배향막 형성장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 배향막 형성장치에 관한 것으로, 복수의 홀이 형성되어 있으며, 상기 복수의 홀을 통해 기판 상에 배향액을 도포하는 헤드부, 상기 헤드부에 장착되어 불량 홀을 자동으로 검출하는 홀 검사 시스템을 포함하며, 상기 홀 검사 시스템은 상기 헤드부를 구성하고 있는 각각의 헤드에 일대일 대응이 되도록 부착되어 있으며, 각 헤드에 형성된 홀의 위치 및 정보를 동시에 스캔하는 스캔부, 상기 스캔부로부터 제공받은 상기 정보를 통해 불량 홀의 위치를 좌표화하는 좌표변환부 및 상기 좌표변환부로부터 제공받은 불량 홀의 좌표를 표시하는 표시부를 포함한다.

Description

액정표시소자의 배향막 형성장치{APPARATUS FOR FORMING ALIGNMENT FILM OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.
도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.
도 3은 롤 인쇄방법을 이용한 종래 배향막의 형성방법을 나타낸 도면.
도 4는 잉크젯시스템을 이용한 액정표시소자의 배향막 형성방법을 나타낸 도면.
도 5는 잉크젯시스템의 헤드부에 형성된 홀을 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시소자의 배향막 형성장치를 나타낸 도면.
도 7은 홀 검사시스템의 역할을 나타낸 도면.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
100: 모기판 100a: 스테이지
110a: 박막트랜지스터 어레이/칼라필터 기판
120: 잉크젯 헤드부 120a: 헤드
125: 홀 130: 배향막
210: 스캔부 220: 표시부
250: 홀 검사시스템
본 발명은 액정표시소자의 배향막 형성장치에 관한 것으로, 특히 잉크젯방식을 통하여 배향막을 형성하고, 헤드(head)부 에 형성된 홀의 불량을 자동으로 체크할 수 있는 홀 검사시스템을 구비함으로써, 균일한 배향막 형성 및 재료절감/공정 단순화를 꾀할 수 있는 액정표시소자의 배향막 형성장치에 관한 것이다.
근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.
도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 칼라필터(Color Filter)기판으로써, 실제 칼라를 구현하기 위한 칼라필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.
상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.
액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판 공정과 상부기판(3)에 칼라필터를 형성하는 칼라필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 구동소자 어레이 공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Date Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이 공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.
또한, 상부기판(3)에는 칼라필터공정에 의해 칼라를 구현하는 R,G,B의 칼라 필터층과 공통전극을 형성한다(S104).
이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107). 한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 칼라필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S109,S110).
상기와 같은 과정을 통하여 제작된 액정표시소자는 액정의 전기광학효과를 이용하는 것으로, 이 전기광학효과는 액정 자체의 이방성과 액정의 분자배열 상태에 의해 결정되어지므로, 액정의 분자 배열에 대한 제어는 액정표시장치의 표시 품위 안정화에 큰 영향을 미치게 된다.
따라서, 액정분자를 보다 효과적으로 배향시키기 위한 배향막 형성공정은 액정셀 공정에 있어서 화질특성과 관련하여 매우 중요하다.
도 3은 롤 인쇄방법을 이용한 종래 배향막 형성방법을 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 종래 배향막 형성은 복수개의 롤을 이용한 인쇄방법을 사용한다. 즉, 원통형의 어닐록스롤(22)과 닥터롤(23) 사이에 공급된 배향액(20)이 상기 어닐록스롤(22)과 닥터롤(23)이 회전함에 따라 어닐록스롤(22) 전체에 걸쳐 균일하게 도포된다. 이때 배향액(20)의 공급은 주사기 형태의 디스펜서(21)에 의해 이루어진다.
한편 상기 어닐록스롤(22)은 표면의 일정 영역에 고무판(25)이 부착된 인쇄롤(24)과 맞닿아 회전하게 되면 상기 어닐록스롤(22) 표면의 배향액이 고무판(25)으로 전사된다. 상기 고무판(25)은 배향액이 도포될 기판(26)에 대응하며, 기판에 선택적으로 배향막을 인쇄할 수 있도록 마스크 패턴이 형성되어 있다. 기판(26)이 적재된 인쇄테이블(27)이 인쇄롤(24)과 접촉하여 이동함에 따라 고무판(25)에 전사된 배향액이 기판(26) 상으로 재전사되어 배향막이 형성된다. 보통 배향막의 두께는 500~1000Å 정도이며, 동일기판에서는 100Å 정도의 두께 차이에 의해서도 액정표시소자 화면에서 배향 불균일에 의한 얼룩과 같은 불량이 발생될 수 있기 때문에 배향막을 균일하게 도포하는 것이 화면의 특성을 좌우하게 된다.
그러나, 상기와 같은 롤 인쇄방법에서는 디스펜서가 어닐록스롤 상부에서 좌우로 움직이면서 어닐록스롤 상에 배향액을 공급하기 때문에 균일한 두께의 배향막을 형성하는데 한계가 있었으며, 특히, 기판이 대형화됨에 됨에 따라 배향막을 균일하게 도포하는 것이 더욱 힘들어진다. 더욱이, 고무판에 전사된 배향액이 모두 기판에 전사되지 않기 때문에 실질적으로 기판에 형성되는 배향액보다 버려지는 것 이 더 많아서 재료비낭비가 심하다는 문제점이 있었다.
또한, 기판의 크기에 다른 모델이 바뀜에 따라 상기 롤(닥터롤, 어닐록스롤, 인쇄롤)들을 교체해 주어야 하며, 주기적으로 세정공정이 이루어지기 때문에 공정이 번거롭고 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.
또한, 기판이 대형화됨에 따라 롤인쇄장비(어닐록스롤, 인쇄롤)의 크기도 함께 커져야 하기 때문에 기판의 대형화 따른 장비의 거대화를 야기하며, 배향막의 균일한 두께(uniformity)를 유지하는 것이 더욱 어려워진다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 잉크젯방식을 통해 기판 전체에 걸쳐서 균일한 두께의 배향막을 형성하고 재료비 낭비를 줄일 수 있는 액정표시소자의 배향막 형성장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 헤드부의 불량을 자동체크할 수 있는 검사시스템을 추가하여 토출불량의 정상유무를 정확하게 확인할 수 있는 액정표시소자의 배향막 형성장치를 제공하는데 있다.
기타, 본 기타 본 발명의 목적 및 특징은 이하의 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 기술될 것이다.
상기한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 배향막 형성장치는 복수의 홀이 형성되어 있으며, 상기 복수의 홀을 통해 기판 상에 배향액을 도포하는 헤드부, 상기 헤드부에 장착되어 불량 홀을 자동으로 검출하는 홀 검사 시스템을 포함하며, 상기 홀 검사 시스템은 상기 헤드부를 구성하고 있는 각각의 헤드에 일대일 대응이 되도록 부착되어 있으며, 각 헤드에 형성된 홀의 위치 및 정보를 동시에 스캔하는 스캔부, 상기 스캔부로부터 제공받은 상기 정보를 통해 불량 홀의 위치를 좌표화하는 좌표변환부 및 상기 좌표변환부로부터 제공받은 불량 홀의 좌표를 표시하는 표시부를 포함한다.
상기 정보는 각 홀에 대한 배향액의 토출량 및 토출속도이다.
상기 좌표변환부는 상기 각각의 홀에 대해 위치 좌표를 부여하고, 각 좌표별 토출량 비교를 통해 비정상적인 홀의 위치를 파악한 후, 불량 홀의 위치를 상기 표시부로 전달한다.
상기 헤드부에 배향액을 공급하는 배향액 공급부 및 상기 배향액 공급부와 헤드부를 연결하는 배향액 공급관을 포함한다.
상기 홀의 개폐(開閉) 및 크기에 의해서 기판에 적하되는 배향액의 양이 제어된다.
상기 스캔부는 상기 헤드부의 이동에 유동적으로 대처한다.
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상기한 바와 같이, 본 발명은 잉크젯방식을 통하여 배향막을 형성하여 필요한 양의 배향액을 사용하기 때문에 불필요한 배향액 사용으로 인한 재료비 낭비를 막을 수 있으며, 기판이 대형화됨에 따라 헤드부수를 증가시킴으로써 용이하게 대응할 수 있다. 또한, 본 발명은 홀검사시스템을 두어 헤드부에서 토출되는 배향액 의 토출량 및 토출상태의 정상유무를 체크하여 배향액이 정상적으로 기판에 적하되는지를 육안으로 확인 할 수 있도록 함으로써, 배향막 불량을 미리 막을 수 있다.
이하, 참조한 도면을 통하여 본 발명에 따른 액정표시소자의 배향막 형성방법에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 잉크젯시스템을 이용한 액정표시소자의 배향막 형성방법을 나타낸 것으로, 도면에 도시된 바와 같이, 먼저, 복수의 박막트랜지스터 어레이기판 또는 칼라필터기판(110a)이 배치된 모기판(100)을 준비한다.
상기 모기판(100)은 박막트랜지스터 어레이공정 및 칼라필터공정에 의해서 이루어지며, 상기 박막트랜지스터 어레이공정에서는 투명한 제 1기판을 준비한 후, 상기 기판 상에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한 다음, 상기 박막트랜지스터 및 화소영역 전면에 보호막을 형성하고, 그 상부에 투명한 화소전극을 형성하게 된다.
또한, 칼라필터공정에서는 투명한 제 2기판을 준비한 다음, 상기 기판 상에 블랙매트릭스를 형성하고, 화소영역에 대응하는 영역에 칼라필터를 형성한 다음, 그 위에 공통전극을 형성하게 된다.
상기와 같은 공정을 통하여 제작된 모기판(100) 위에 배향액 형성장치를 이용하여 배향액(130)을 적하함으로써 배향막 형성이 이루어진다. 이때, 상기 배향액 형성장치는 잉크젯시스템으로써 기판에 직접 배향액을 적하하는 헤드부(120)와 상기 헤드부(120)에 배향액을 공급하는 배향액 공급부(160) 및 상기 잉크젯 헤드부(120)와 배향액 공급부(160)를 기구적으로 연결하여 헤드부(120)에 배향액(150)을 공급하는 배향액 공급관(161)으로 구성된다. 상기 헤드부(120)에는 복수의 홀이 형성되어 있으며, 상기 홀의 크기 및 열리고 닫힘에 의해서 기판에 도포하는 배향액의 적하량 및 적하위치가 조절된다.
상기와 같이 구성된 배향막 형성장치는 배향액(150)이 저장된 상기 배향액 공급부(160)에 질소가스(N2)가 공급되면, 상기 질소가스에 의해서 배향액 공급부(160)의 압이 높아지고 이 압에 의해서 배향액은 배향액 공급관(161)을 통하여 잉크젯 헤드부(120)로 유입된다. 이때, 유입된 배향액은 상기 헤드부(120)에 형성된 홀을 통하여 모기판(100) 위에 적하된다. 상기 홀을 통하여 토출(吐出)된 배향액은 기판에 적하되어 균일한 두께의 배향막을 형성하게 된다.
배향막 형성은 기판(100)이 위치하는 스테이지(100a) 또는 잉크젯 헤드부(120)가 이동에 의해서 이루어지며, 헤드부(120)가 이동한 모기판(100) 영역에는 배향막(130)이 형성된다. 이때, 상기 헤드부(120)는 기판 상에 배향액을 공급하면서 이동중에 헤드부(120)에 형성된 홀의 일부를 닫음으로써, 기판(100) 위에 선택적으로 배향막(130)을 형성할 수 있다. 배향막(130)이 형성되는 영역은 실질적으로 박막트랜지스터 어레이 및 칼라필터기판이 형성된 영역(110a)이다.
상기 잉크젯 헤드부(120)는 모기판(100)의 크기에 따라 배향액의 적하면적을 자유롭게 조절할 수 있도록 복수의 홀을 가지는 적어도 한개 이상의 헤드(120a)로 구성된다. 즉, 기판(100)이 대형화됨에 따라, 상기 헤드수를 증가시켜 기판의 대형화에 용이하게 대처할 수가 있다.
도 5는 상기 헤드(120a)에 형성된 홀을 나타낸 평면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 잉크젯헤드(120a)는 일정간격(d1)으로 이격된 복수의 홀(hole;125)이 형성되어 있으며, 상기 홀(125)을 통하여 토출(吐出)되는 배향액이 기판에 적하된다. 따라서, 상기 홀(125)의 크기 및 이격간격(d1)을 변화시켜 배향막의 두께 및 기판에 형성되는 배향막 두께의 균일성(uniformity)을 조절할 수 있다.
또한, 상기 홀(125) 각각에 대하여 개폐(開閉)가 가능하기 때문에 두 가지 이상의 기판모델이 형성된 멀티모델글라스(Multi Model Glass)에도 상기 홀을 부분적으로 개폐시켜 배향막을 용이하게 형성할 수 있다.
상기한 바와 같이, 잉크젯시스템을 이용한 배향막 형성은 다양한 기판모델 및 기판의 대형화에 용이하게 대응할 수 있으며, 필요한 양의 배향액만을 직접 기판 상에 적하하기 때문에 배향액 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.
반면에, 기판 상에 배향액 적하시 상기 잉크젯 헤드부(120)의 홀 내부에 이물질등이 끼거나, 세정이 제대로 이루어지지 않으면, 홀 내부가 막혀 배향액이 제대로 토출되지 못하고, 이것으로 인해 배향막 두께가 불균일해지는 문제를 야기시키게 된다. 또한, 배향액이 기판(100)에 적하되는 동안 기판(100)과 잉크젯 헤드부(120) 사이의 간격이 너무 좁아서 배향액 적하시 이물질에 의한 홀 불량 여부를 육안으로 관측하는 것이 불가능하고, 배향막 형성 후에도 불량이 발생된 홀의 위치를 정확하게 파악하는데 어려움이 있다.
따라서, 본 발명은 특히 이러한 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로 각각의 잉크젯헤드에 형성된 홀을 스캔한 다음, 홀의 위치를 좌표화하여 불량홀의 좌표정보를 표시부에 나타냄으로써, 문제가 발생된 홀의 위치를 정확하게 파악 할 수 있는 액정표시소자의 배향막 형성장치를 제공한다.
도 6은 불량 홀의 위치를 정확하게 파악할 수 있는 배향막 형성장치를 나타낸 것으로, 도시된 바와 같이, 배향막 형성장치는 실질적으로 기판(100)에 배향액을 적하하여 박막트랜지스터 또는 칼라필터기판(110a) 상에 배향막(130)을 형성하는 잉크젯 헤드부(120) 및 상기 헤드부(120)에 배향액을 공급하는 배향액 공급부(160)를 포함하여 이루어지는 잉크젯시 스템과 상기 잉크젯헤드부(120)에 부착되어 홀 불량을 체크하여, 불량 홀의 위치를 파악하는 홀 검사시스템(250)로 구성된다.
상기 홀 검사시스템(250)는 홀 위치에 따른 데이터를 생성하고, 불량유무를 판단하는 스캔부(210)와 상기 스캔부(210)로 부터 정보를 입력받아 홀의 불량위치를 좌표로 표시하는 표시부(220)로 구성된다. 그리고, 상기 스캔부(210)와 표시부(220) 사이에는 상기 스캔부(210)에서 만들어진 홀위치에 대한 데이터를 좌표로 변환한 다음, 불량 홀의 좌표정보를 표시부(220)에 전송하는 좌표변환부(미도시)가 마련되어 있다.
상기 스캔부(210)는 잉크젯헤드부(120)를 구성하고 있는 각각의 헤드(120a)에 일대일 대응이 되도록 부착되어 있어서, 상기 각 헤드(120a)에 형성된 모든 홀에 대하여 그 위치 및 불량상태를 동시에 스캔할 수 있다. 이때, 홀의 "불량상태"라함은, 이물질이나, 배향액찌거기등에 의해 홀의 일부가 막혀 배향액의 토출이 다 른 홀에 비해 비정상적으로 이루어지는 것을 의미한다. 그리고, 스캔을 통해 각 홀대 대한 토출량 및 토출속도에 대한 정보가 좌표변환부에 전달하게 된다.
또한, 상기 스캔부(210)는 헤드(120)가 이동함에 따라 유동적으로 대처할 수 있기 때문에 배향막을 형성하고 있는 중에도 홀의 불량위치를 정확하게 파악할 수가 있다.
상기 스캔부(210)로부터 기판에 적하되고 있는 배향액의 토출량 및 토출속도에 대한 정보를 받은 좌표변환부는 상기 정보를 통해 홀의 불량을 파악한 다음, 그 위치를 좌표화하여 표시부(220)에 전송한다.
상기 표시부(220)는 좌표변환부로 부터 받은 불량홀의 좌표를 표시하여, 이를 작업자에 알려준다.
도 7은 상기와 같이 이루어지는 홀불량 검사를 도면으로 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 스캔부에서 헤드(120)의 홀(125)에서 토출되는 배향액의 양을 일정시간동안 스캔한 다음, 홀의 위치에 다른 배향액의 토출량 정보(150)를 좌표변환부에 보낸다. 위 정보를 받은 좌표변환부는 각각의 홀(125)에 위치좌표(<1,1>.....<1,12>)를 부여한다. 그리고, 각 좌표별 토출량 비교를 통해, 비정상적인 홀의 위치를 파악한 다음, 불량 홀의 위치를 표시부에 보낸다. 예를들어, <1,11> 좌표에 해당하는 토출량이 다른 좌표에 비해 상대적으로 적게 나타난다면, <1,11>좌표가 표시부에 나타나게 된다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 액정표시소자의 배향막 형성장치를 제공한다. 특히, 본 발명은 잉크젯시스템을 통한 배향막 형성장치에 관한 것으로, 배향막 형 성전이나, 형성중에 헤드에 형성된 불량홀의 위치를 정확하게 검출해낼 수 있는 홀 검사시스템를 추가로 구비함으로써, 불량홀에 의한 배향액의 토출불량을 미리 방지하여 균일한 두께의 배향막을 형성할 수 있는 배향막 형성장치를 제공한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 잉크젯방식으로 이루어진 배향막형성장치에 홀검사시스템을 추가로 구비함으로써, 각 헤드내(內) 홀의 배향액의 토출상태를 정확하게 체크하여 불량홀을 검출하기 위한 검사시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 배향막형성의 정확성을 향상시킴으로써, 화질을 개선 및 생산성을 향상시킬 수가 있다.

Claims (7)

  1. 복수의 홀이 형성되어 있으며, 상기 복수의 홀을 통해 기판 상에 배향액을 도포하는 헤드부;
    상기 헤드부에 장착되어 불량 홀을 자동으로 검출하는 홀 검사 시스템을 포함하며,
    상기 홀 검사 시스템은 상기 헤드부를 구성하고 있는 각각의 헤드에 일대일 대응이 되도록 부착되어 있으며, 각 헤드에 형성된 홀의 위치 및 정보를 동시에 스캔하는 스캔부;
    상기 스캔부로부터 제공받은 상기 정보를 통해 불량 홀의 위치를 좌표화하는 좌표변환부; 및
    상기 좌표변환부로부터 제공받은 불량 홀의 좌표를 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 형성장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정보는 각 홀에 대한 배향액의 토출량 및 토출속도인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 형성장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 좌표변환부는 상기 각각의 홀에 대해 위치 좌표를 부여하고, 각 좌표별 토출량 비교를 통해 비정상적인 홀의 위치를 파악한 후, 불량 홀의 위치를 상기 표시부로 전달하는 것을 액정표시소자의 배향막 형성장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 헤드부에 배향액을 공급하는 배향액 공급부; 및
    상기 배향액 공급부와 헤드부를 연결하는 배향액 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 형성장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 홀의 개폐(開閉) 및 크기에 의해서 기판에 적하되는 배향액의 양이 제어되는 것을 액정표시소자의 배향막 형성장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 스캔부는 상기 헤드부의 이동에 유동적으로 대처하는 하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 형성장치.
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