JP4997229B2 - 印刷装置 - Google Patents

Description

本発明は塗布液をノズルから吐出して印刷を行う印刷装置に関する。

従来より、液晶表示装置の配向膜やカラーフィルタの形成にはインクジェットプリンタ（印刷装置）が用いられている。
具体的には、配向膜材料（例えば樹脂）や、着色材料が溶解又は分散されたインクをノズルから吐出して基板表面に着弾させて塗布層を形成した後、その塗布層から余分な溶剤を乾燥除去することで所望の膜を形成する。

しかし、大型の基板に配向膜やカラーフィルタを形成する場合には、印刷開始から終了までに時間がかかる。印刷開始直後に塗布されたインクと、印刷終了直前に塗布されたインクとでは溶剤の蒸発量に差があるので、乾燥斑が生じてしまう。

また、インクの塗布漏れ防止や、厚い膜を形成するためには、先に着弾したインクと、後から着弾したインクが重なり合うようにインクの吐出を行う。
インクが重なり合った部分は他の部分よりも厚みが大きいので、そのままインクが乾燥すると、重なり部分がスジ状に残るという問題がある。

更に、インクから蒸発する溶剤や着弾時に発生するインクの飛沫が印刷装置に付着すると、印刷装置が汚染される。特に溶剤や飛沫がノズルやノズル近辺に付着した時にはノズルからのインク吐出量が不安定になるという問題があった。
また、上記基板は、一般にガラス基板やプラスチック基板のような絶縁性基板が用いられるため帯電しやすい。基板が帯電すると塵等が基板上に吸着され、その塵が成膜工程で混入するという問題もあった。
特許第３２４８６８５号公報 特開２００３−２９７５６９号公報

本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は乾燥斑や膜厚むらが無く、印刷装置の汚染や、成膜工程で塵が混入しない印刷装置を提供するものである。

上記課題を解決するために、本発明は、インクを吐出する印刷ヘッドと、前記印刷ヘッドを移動させる第一の移動手段を有し、前記印刷ヘッドを移動させながら、前記インクを印刷対象物に向けて吐出するよう構成された印刷装置であって、前記印刷ヘッドが一方向に移動する際に、移動方向の前方と後方にそれぞれ配置され、乾燥ガスが供給される前方の噴出ヘッドと後方の噴出ヘッドと、前記前方の噴出ヘッドと前記後方の噴出ヘッドの両方の噴出ヘッドにそれぞれ取り付けられ、供給された前記乾燥ガスをイオン化して除電ガスを発生させるイオナイザーと、前記前方の噴出ヘッドの前記印刷対象物と対面する位置と、前記後方の噴出ヘッドの前記印刷対象物と対面する位置とにそれぞれ形成され、前記乾燥ガス又は前記除電ガスを前記印刷対象物に向けて噴出する噴出孔と、前記前方の噴出ヘッドの前記噴出孔と前記印刷ヘッドとの間の位置と、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔と前記印刷ヘッドとの間の位置とにそれぞれ設けられ、前記噴出孔から噴出される前記乾燥ガスと前記除電ガスとを吸引する吸引孔と、を有し、前記前方の噴出ヘッドと前記後方の噴出ヘッドの前記両方の噴出ヘッドと、前記印刷ヘッドとは、前記第一の移動手段によって一緒の往復移動が可能に構成され、前記往復移動をする際の移動方向の前記前方の噴出ヘッドの前記イオナイザーは動作して、前記前方の噴出ヘッドの前記噴出孔からは前記除電ガスが噴出され、前記印刷対象物の除電された部分に前記印刷ヘッドから吐出された前記インクが着弾し、前記後方の噴出ヘッドの前記イオナイザーは停止して、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔からは前記乾燥ガスが着弾した前記インクに噴出されるように切り換えられる印刷装置である。
本発明は、前記両方の噴出ヘッドには、供給された前記乾燥ガスに超音波を照射する超音波発生手段が設けられ、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔から噴出される前記乾燥ガスに前記超音波が照射される印刷装置である。
本発明は、前記印刷ヘッドを、前記両方の噴出ヘッドに対して相対的に移動させる第二の移動手段を有する印刷装置である。

インクが着弾する前に印刷対象物には除電ガスが吹き付けられて塵が除去されるので、塗布層に塵が混入しない。ノズルには除電ガスも乾燥ガスも入り込まないので、メニスカスが乱れず、ノズルの吐出が安定する。インク着弾後に乾燥ガスが吹き付けられるので、インクは迅速に乾燥し、乾燥むらが起こらない。インクから蒸発する溶剤や、インクの飛沫は吸引除去されるので、印刷装置の汚染や作業環境の汚染が起こらない。インク着弾後、超音波によって塗布層が平坦化されるので、膜厚が均一になる。

（ａ）、（ｂ）：本発明の印刷装置の一例を説明する平面図と断面図 第一の噴出ヘッドの拡大断面図 第二の噴出ヘッドの拡大断面図 本発明の印刷装置の他の例を説明する平面図 第一、第二の噴出ヘッドの拡大断面図

符号の説明

１、７……印刷装置 ５……印刷対象物 １１……載置台 ３０……印刷ヘッド ３５……ノズル ４０……第一の噴出ヘッド ５０……第二の噴出ヘッド

図１（ａ）の符号１は本発明の印刷装置の一例を示している。
この印刷装置１は、載置台１１と、載置台１１上に配置された印刷機構３と、印刷機構３を載置台１１上で移動させる移動手段１５とを有している。
移動手段１５は、レール１４ａ、１４ｂとモータ１９を有している。印刷機構３は、レール１４ａ、１４ｂ上に載せられ、モータ１９の駆動力によってレール１４ａ、１４ｂの敷設方向に沿って移動可能に構成されている。

印刷機構３は、印刷ヘッド３０と、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０とを有している。印刷ヘッド３０は細長に形成されている。
印刷ヘッド３０は保持体３１と個別ヘッド３３とを有している。ここでは、個別ヘッド３３の数は複数個である。各個別ヘッド３３は保持体３１の載置台１１側の面に１列又は複数列に並べられている。

各個別ヘッド３３の載置台１１側の面には１又は複数個のノズル３５が設けられている（図１（ｂ））。印刷機構３の外部にはインク供給系２０が配置されている。各個別ヘッド３３はそれぞれインク供給系２０に接続され、インク供給系２０から供給されるインクは、ノズル３５から載置台１１に向かって吐出される。

個別ヘッド３３の配置はノズル３５が一列又は複数列に並ぶようにされている。図１（ｂ）の符号３２はノズル３５の列が並べられた領域であるノズル領域を示している。ノズル３５の列は、印刷機構３の移動方向とは交差する方向に向けられている。印刷機構３が移動しながら各ノズル３５からインクが吐出されると、所定の領域内にインクが着弾可能なように構成されている。

第一の噴出ヘッド４０は、印刷ヘッド３０の一方の長辺側に配置され、第二の噴出ヘッド５０は印刷ヘッド３０の他方の長辺側に配置されている。ノズル３５は印刷ヘッド３０に設けられているから、ノズル領域３２は第一、第二の噴出ヘッド４０、５０の間に位置する。

印刷ヘッド３０は長手方向が印刷機構３の移動方向と交差するよう向けられている。従って第一の噴出ヘッド４０と、ノズル領域３２と、第二の噴出ヘッド５０は、印刷機構３の移動方向に沿って並べられている。
印刷機構３の外部にはガス供給系１７と吸引装置１８とが配置されている。第一、第二の噴出ヘッド４０、５０は可撓性配管を介して、ガス供給系１７と吸引装置１８にそれぞれ接続されている。

図２、図３は第一、第二の噴出ヘッド４０、５０の拡大断面図である。
第一、第二の噴出ヘッド４０、５０はヘッド本体４１、５１を有している。各ヘッド本体４１、５１の内部にはバッファ室４２、５２が設けられている。各バッファ室４２、５２には上述したガス供給系１７からガスが供給されるように構成されている。

ヘッド本体４１、５１の載置台１１と面する底壁には噴出孔４６、５６が設けられている。各噴出孔４６、５６は一端がバッファ室４２、５２に接続され、他端が外部雰囲気に接続されている。従って、バッファ室４２、５２は噴出孔４６、５６を介して外部雰囲気に接続されている。

図１（ａ）、（ｂ）の符号Ｄは、ノズル３５からインクを吐出しながら移動する時の印刷機構３の移動方向を示している。その移動方向Ｄの先頭側にある噴出ヘッドを第一の噴出ヘッド４０とし、後方側にある噴出ヘッドを第二の噴出ヘッド５０とすると、第一の噴出ヘッド４０のバッファ室４２にはイオナイザー４５が設けられている。

イオナイザー４５は不図示の電源に接続されている。イオナイザー４５に通電して、イオナイザー４５内でコロナ放電を発生させると、バッファ室４２に供給されたガスがイオン化して除電ガスが発生し、噴出孔４６からは除電ガスが噴出される。
他方、第二の噴出ヘッド５０にはイオナイザーは設けられておらず、イオン化が起こらない。従って、第二の噴出ヘッド５０の噴出孔５６からはイオン化していないガス（乾燥ガス）が噴出される。

ここでは、第二の噴出ヘッド５０のバッファ室５２には超音波発生手段５５が設けられている。超音波発生手段５５は、バッファ室５２内部の噴出孔５６近傍に設けられている。超音波発生手段５５を動作させながらバッファ室５２にガスを供給すると、乾燥ガスの気流と共に超音波振動が印刷対象物に伝達される。

上述したように、第一の噴出ヘッド４０は第二の噴出ヘッド５０よりも移動方向Ｄ先頭に位置する。従って、印刷機構３を移動させながら除電ガスと乾燥ガスの吹き付けを行うと、移動方向Ｄに沿った帯状の領域に除電ガスと乾燥ガスが記載した順番に吹き付けられる。

噴出孔４６、５６は細長のスリット、又は一列又は二列以上に列設された複数個の貫通孔で構成されている。第一、第二の噴出ヘッド４０、５０は、噴出孔４６、５６の長手方向又は列設方向が移動方向Ｄと交差するように向けられている。従って、除電ガスが突きつけられる領域と、乾燥ガスが吹き付けられる領域は、それぞれ噴出孔４６、５６の長さに応じた幅となる。

ヘッド本体４１、５１の内部には吸引室４３、４４、５３、５４が設けられている。吸引室４３、４４、５３、５４は上述した吸引装置１８に接続されている。ヘッド本体４１、５１の底壁には、吸引孔４７、４８、５７、５８が設けられている。吸引孔４７、４８、５７、５８の一端は吸引室４３、４４、５３、５４にそれぞれ接続され、他端は外部雰囲気に接続されている。
吸引装置１８で吸引室４３、４４、５３、５４内を排気すると、その内部圧力が外部雰囲気よりも低くなり、吸引孔４７、４８、５７、５８から外部雰囲気のガスが吸引される。

吸引孔４７、５７は噴出孔４６、５６とノズル領域３２の間の位置にそれぞれ設けられ、噴出孔４６、５６からノズル領域３２側に向かうガスは吸引孔４７、５７に吸引される。従って、ノズル領域３２を流れる気流が発生せず、ノズル３５に除電ガスや乾燥ガスが入り込まない。

ここでは、噴出孔４６、５６を挟んでノズル領域３２とは反対側にも吸引孔４８、５８が位置している。従って、除電ガスと乾燥ガスのうち、印刷機構３の外側に回りこむガスも吸引される。

吸引孔４７、４８、５７、５８は、細長のスリット、又は一列又は二列以上に列設された複数個の貫通孔で構成されている。吸引孔４７、４８、５７、５８は、その長手方向（又は列設方向）が、噴出孔４６、５６の列設方向と略平行にされている。
吸引孔４７、４８、５７、５８の長手方向の両端又は列の両端は、噴出孔４６、５６の長手方向の両端又は列の両端と同じか、それよりも外側にはみ出している。従って、噴出孔４６、５６の各部分から噴出されるガスは、均等に吸引孔４７、４８、５７、５８に吸引される。

次に、この印刷装置１を用いて印刷対象物に塗布層を形成する工程について説明する。図１は印刷対象物５が載置台１１上の所定位置に配置された状態を示しており、同図の符号４は印刷対象物５表面の塗布層を形成すべき印刷領域を示している。

先ず、印刷機構３を上述した移動方向Ｄとは反対の方向に移動させ、印刷領域４よりも外側の開始位置Ｓに位置させる。印刷機構３が開始位置Ｓに位置する時には、第一の噴出ヘッド４０と、ノズル領域３２と、第二の噴出ヘッド５０とは、印刷領域４に近い側から記載した順番に並べられた状態になる。

除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波振動の発生と、吸引孔４７、４８、５７、５８からの吸引を開始し、除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波振動の発生と、吸引孔４７、４８、５７、５８からの吸引を続けながら、印刷機構３を開始位置Ｓから移動方向Ｄに沿って移動させ、印刷機構３全体が印刷領域４を挟んで開始位置Ｓとは反対側の終了位置Ｅまで移動したところで、除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波振動の発生と、吸引孔４７、４８、５７、５８からの吸引を停止する。

印刷領域４の移動方向Ｄと直交する方向の長さを印刷領域４の幅とすると、噴出孔４６、５６のスリット又は列の長さは、印刷領域４の幅よりも大きく、噴出孔４６、５６のスリット又は列の両端が、印刷領域４の縁と一致するか、それよりもはみ出すようになっており、印刷機構３が終了位置Ｅまで移動した時には、印刷領域４全部に除電ガスが吹き付けられて除電され、パーティクル（塵）の印刷対象物５に対する付着力が低下し、パーティクルは除電ガスに吹き飛ばされて印刷領域４から除去される。

上述したように、第一の噴出ヘッド４０の噴出孔４６の両側には吸引孔４７、４８が設けられているから、パーティクルは除電ガスと一緒に吸引孔４７、４８、５７、５８に吸引され、印刷対象物５に再付着しない。ノズル領域３２の長さは、印刷領域４の幅よりも大きく、ノズル領域３２の両端は印刷領域４の縁と一致するかそれよりもはみ出し、印刷領域４の幅方向一端から他端までインクが所定間隔を空けて着弾可能になっている。

従って、ノズル領域３２が開始位置Ｓから印刷領域４に入った時にインクの吐出を開始し、ノズル領域３２が印刷領域４から終了位置Ｅに出る時にインクの吐出を停止すると、印刷領域４全部にインクが着弾する。
インクが着弾する前には印刷領域４が除電されているため、インクの着弾位置がずれず、しかも印刷領域４からはパーティクルが除去されているので、インクの塗布層１２にパーティクルが混入しない。

噴出孔４６、５６と、ノズル領域３２の間には吸引孔４７、５７が設けれているので、上述したようにノズル領域３２に気流が発生しない上、吐出時や着弾時に発生するインクの飛沫も吸引孔４７、５７に吸引される。
従って、ノズル３５には除電ガスや乾燥ガスが入り込まず、ノズル３５の周囲がインク飛沫で汚れることも無いので、ノズル３５内にメニスカスの乱れが生じず、インクの吐出が安定して行われる。

上述したように、第二の噴出ヘッド５０の噴出孔５６も、そのスリット又は列の両端が、印刷領域４の縁と一致するかそれよりもはみ出しているから、印刷領域４に形成された塗布層１２全部に乾燥ガスが吹き付けられ、塗布層１２を構成するインクから溶剤が蒸発除去される。

ここでは、乾燥ガスの気流と共に超音波振動が塗布層１２に照射されるので、塗布層１２が乾燥する時には、超音波振動によって塗布層１２の平坦化も行われる。従って、塗布層１２は平坦で乾燥したものになる。

第二の噴出ヘッド５０には、噴出孔５６の移動方向Ｄ後方にも吸引孔５８が設けられているから、塗布層１２から蒸発除去された溶剤は、この吸引孔５８に吸引される。従って、印刷機構３外部に漏れ出す溶剤の蒸気量が少なく、作業環境の汚染が防止される。

印刷機構３が終了位置Ｅに到達した後、塗布層１２が形成された状態の印刷対象物５を載置台１１から取り除き、インクの吐出を停止した状態で、印刷機構３を移動方向Ｄとは逆方向に移動させ、再び開始位置Ｓに戻せば、新たな印刷対象物５に塗布層１２を形成することができる。

以上は、印刷機構３が一方向に移動する時だけ、インクを吐出する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図４の符号７は本発明の印刷装置の他の例を示しており、この印刷装置７は印刷機構３を移動させる移動手段（第一の移動手段）１５と、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０の構成と、噴出孔４６、５６の長さと印刷領域４の幅の大小関係も、図１の印刷装置１と同じであるが、第一の移動手段１５の他に第二の移動手段８５を有していることと、ノズル領域３２の広さが異なることと、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０の両方にイオナイザー４５と、超音波発生装置５５がそれぞれ取り付けられたことが異なる。

イオナイザー４５と超音波発生装置５５は個別に切替可能であって、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０はイオナイザー４５を動作させた時に噴出孔４６、５６から除電ガスを噴出し、イオナイザー４５を停止した状態では乾燥ガスを噴出する。また、乾燥ガスを噴出する時に、超音波発生装置５５を動作させれば、乾燥ガスの気流と共に超音波振動を伝達させることができる。

第二の移動手段８５は、直線状のガイド８４と、モータ８６とを有しており、モータ８６の駆動力を印刷ヘッド３０に伝達すると、印刷ヘッド３０が、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０の間の位置で、ガイド８４の敷設方向に沿って往復移動可能に構成されている。

第一、第二の噴出ヘッド４０、５０は第二の移動手段８５によって移動せず、ガイド８４に対して相対的に静止しており、第二の移動手段８５は、印刷ヘッド３０を第一、第二の噴出ヘッド４０、５０に対して相対的に移動させる。
ガイド８４の敷設方向は印刷機構３の移動方向と交差しており、従って、印刷ヘッド３０が第一、第二の噴出ヘッド４０、５０に対して相対的に移動する時の移動方向は、印刷機構３の移動方向と交差する。

この印刷装置７で塗布層１２を形成する工程について説明すると、先ず、第一の移動手段１５によって、印刷機構３を印刷領域４よりも外側の開始位置Ｓに移動させる。
ここでは、印刷機構３が開始位置Ｓにある時に、印刷領域４に近い方の噴出ヘッドを第一の噴出ヘッド４０とし、印刷領域４に遠い方の噴出ヘッドを第二の噴出ヘッド５０とする。第一の噴出ヘッド４０からの除電ガスの噴出と、第二の噴出ヘッド５０からの乾燥ガスの噴出と、第二の噴出ヘッド５０内での超音波の発生と、各吸引孔４７、４８、５７、５８からの吸引を開始する。

次に、印刷ヘッド３０を第一、第二の噴出ヘッド４０、５０に対して静止させたまま、除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波の発生と、吸引とを続ける。その状態で、第一の噴出ヘッド４０が移動方向先頭になるように印刷機構３を移動させる。
印刷機構３全体が印刷領域４を挟んで開始位置Ｓとは反対側の折返し位置Ｍに移動したところで、印刷機構３の移動を停止し、除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波の発生と、吸引を停止する。

印刷機構３が移動している間、ノズル領域３２が開始位置Ｓから印刷領域４に入った時にインクの吐出を開始し、ノズル領域３２が印刷領域４から折返し位置Ｍに出る時にインクの吐出を停止し、印刷機構３の移動方向に沿った帯状の塗布層１２を形成する。

この印刷装置７のノズル領域３２の長さは印刷領域４の幅よりも短くされている。従って、ノズル領域３２が折返し位置Ｍに出る時には、印刷領域４全部に塗布層１２は形成されておらず、印刷領域４には印刷機構３の移動方向に沿って塗布層１２が形成されていない部分が残っている。

印刷機構３を折返し位置Ｍで静止させたまま、印刷ヘッド３０を印刷機構３の移動方向と交差する方向に移動させて、後述する復路でノズル領域３２が塗布層１２が形成されていない部分を通るように印刷ヘッド３０の位置をずらす。
印刷機構３が折返し位置Ｍにある時には、第二の噴出ヘッド５０が印刷領域４に近く、第一の噴出ヘッド４０が第二の噴出ヘッド５０よりも印刷領域４から遠くなっている。

第二の噴出ヘッド５０からの除電ガスの噴出と、第一の噴出ヘッド４０からの乾燥ガスの噴出と、第一の噴出ヘッド４０内での超音波発生と、各吸引孔４７、４８、５７、５８からの吸引を開始する。除電ガスと乾燥ガスの噴出と、超音波の発生と、吸引とを続けながら、印刷機構３を移動させて折返し位置Ｍから開始位置Ｓに戻す。

印刷機構３が折返し位置Ｍから開始位置Ｓに戻る復路では、開始位置Ｓから折返し位置Ｍへ移動する往路の時と比べて印刷ヘッド３０の位置がずれており、印刷ヘッド３０は塗布層１２が形成されていない部分を通る。
従って、ノズル領域３２が折返し位置Ｍから印刷領域４へ入った時にインクの吐出を開始し、印刷領域４から開始位置Ｓへ出る時にインクの吐出を停止すれば、往路で塗布層１２が形成されなかった部分に帯状の塗布層１２が形成される。

ここでは、ノズル領域３２の長さは、印刷領域４の幅の１／２か、それよりも長くなっている。印刷機構３が往路を移動する時には、ノズル領域３２の一端が印刷領域４の幅方向の一端と一致するか、それよりもはみ出るようにする。更に、復路を移動する時には、ノズル領域３２の一端が往路で形成された塗布層１２と重なり合い、他端が印刷領域４の幅方向の他端と一致するか、それよりもはみ出るようにすれば、印刷機構３を一往復させるだけで、印刷領域１４全部に塗布層１２が形成される。

塗布層１２の形成が終了した時には、印刷機構３は開始位置Ｓに戻っているので、印刷機構３を別の位置に移動させなくても、新たな印刷対象物５へのインクの塗布を開始することができる。
この印刷装置７においても、図１に示した印刷装置１と同様に、インクが着弾する前に除電ガスが吹き付けられ、インクが着弾した後に乾燥ガスが吹き付けられる。従って、パーティクルの混入が無く、膜厚均一な塗布層１２が得られる。

ここでは、印刷装置７は載置台１１の周囲に配置された排気装置８９を有している。吸引孔４７、４８で吸引しきれない溶剤の蒸気は、この排気装置８９によって吸引される。更に、載置台１１を不図示の蓋部材で覆っておけば、溶剤の蒸気はその蓋部材と載置台１１とで囲まれた空間に充満するので、溶剤の蒸気による作業環境の汚染が起こらない。
尚、ノズル領域３２の長さが、印刷領域４の幅の１／２よりも短い場合には、印刷機構３を１往復半以上移動させてインクの吐出を行えば、印刷領域４全てに塗布層を形成することができる。

以上は、乾燥ガスと共に超音波振動を印刷対象物５上の塗布層１２に照射する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。超音波振動を加えずに乾燥ガスを塗布層１２に吹き付けてもよい。
吸引孔４７、４８、５７、５８は噴出孔４６、５６の両側に設ける場合に限定されない。少なくとも噴出孔４６、５６とノズル領域３２の間に吸引孔４７、５７を設ければ、ノズル３５に除電ガスも乾燥ガスも到達しないので、ノズル３５の吐出量が安定する。

本発明の印刷装置１、７は、パーティクルの混入防止や、膜厚均一性が要求される塗布層１２の形成に特に適している。
具体的には、ポリイミド樹脂等の樹脂材料が溶剤に分散又は溶解したインクを塗布して樹脂膜からなる配向膜を形成する配向膜の形成方法がある。

以上は、印刷領域４全部に塗布層１２を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。ノズル３５が印刷対象物５の所定位置上に位置する時にインクを吐出し、印刷対象物５の所定位置に間隔を空けて塗布層１２を形成することもできる。

具体的には、着色材料又はＰＬＥＤ（高分子発光ダイオード）が溶剤に分散又は溶解されたインクを、印刷対象物５の所定場所（ピクセル）内に着弾させて、カラーフィルタや、ＰＬＥＤ膜を形成する場合がある。この場合においても、本発明の印刷装置１、７を用いれば、カラーフィルタやＰＬＥＤ膜は、パーティクルの混入が無く、膜厚均一になる。

印刷対象物５の種類も特に限定されるものではない。例えば配向膜や、カラーフィルタや、ＰＬＥＤ膜を形成する場合には、印刷対象物５は表面上に電極が形成されたガラス基板である。

第一、第二の噴出ヘッド４０、５０に供給するガスの種類は特に限定されるものではない。例えば、Ｎ₂、Ｏ₂、空気等である。これらのガスは２種類以上を混合して同じ噴出ヘッドに供給してもよい。また、第一、第二の噴出ヘッド４０、５０毎に供給するガスの種類を代えてもよい。

イオナイザー４５の設置場所はバッファ室４２に限定されるものではなく、噴出孔４６から噴出される前のガスをイオン化可能であればよい。例えば、ガス供給系１７にイオナイザー４５を設け、第一の噴出ヘッド４０又は第二の噴出ヘッド５０にイオン化された除電ガスを供給してもよい。

本発明に用いるイオナイザー４５は＋イオンと−イオンを発生させ、帯電した物体を逆極性のイオンで中和し、静電気を除去する装置である。
イオナイザー４５としては、例えばＡＣ式静電気除去装置と、ＤＣ式静電気除去装置とを用いることができる。

ＡＣ式静電気除去装置とは、交流電源を高電圧（ＡＣ４ｋＶ以上７ｋＶ以下）に昇圧し、商用周波数（５０Ｈｚ乃至６０Ｈｚ）のタイミングでプラスとマイナスのイオンを作る。この静電気除去装置の特徴は、機種が豊富であり、取り扱いが簡単な点である。ブロウエアー（空気噴出し）等のアシストで静電気除去の有効範囲を広げた静電気除去装置を用いることもできる。

ＤＣ式静電気除去装置とは、直流高電圧を利用し、プラスとマイナスの電極を持ち、それぞれプラス、マイナスの電極に高電圧を印加する点がＡＣ方式と異なる。イオンを発生させるタイミングを調整したり、プラスとマイナスのイオンを同時に個別に生成可能なので、イオンの拡散が良く帯電物との距離が離れても静電除去の効果が得られることを特徴とする。

ＤＣ式静電気除去装置には、更にＳＳＤＣ（ステディーステート）方式とパルスＤＣ方式とがある。ＳＳＤＣ方式はプラスとマイナス両極の電極に連続的に高電圧を印加してイオンを同時に発生させる。イオンを同時に連続的に発生させる点が他の方式と異なる。

パルスＤＣ方式は、プラスとマイナスそれぞれのエミッタに交互に直流高電圧を印加してイオンを生成する。そのパルス（周波数）のタイミングを調整することで設置環境・作業環境に適した静電気除去の効果が得られる。

Claims (3)

1. インクを吐出する印刷ヘッドと、前記印刷ヘッドを移動させる第一の移動手段を有し、
   前記印刷ヘッドを移動させながら、前記インクを印刷対象物に向けて吐出するよう構成された印刷装置であって、
   前記印刷ヘッドが一方向に移動する際に、移動方向の前方と後方にそれぞれ配置され、乾燥ガスが供給される前方の噴出ヘッドと後方の噴出ヘッドと、
   前記前方の噴出ヘッドと前記後方の噴出ヘッドの両方の噴出ヘッドにそれぞれ取り付けられ、供給された前記乾燥ガスをイオン化して除電ガスを発生させるイオナイザーと、
   前記前方の噴出ヘッドの前記印刷対象物と対面する位置と、前記後方の噴出ヘッドの前記印刷対象物と対面する位置とにそれぞれ形成され、前記乾燥ガス又は前記除電ガスを前記印刷対象物に向けて噴出する噴出孔と、
   前記前方の噴出ヘッドの前記噴出孔と前記印刷ヘッドとの間の位置と、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔と前記印刷ヘッドとの間の位置とにそれぞれ設けられ、前記噴出孔から噴出される前記乾燥ガスと前記除電ガスとを吸引する吸引孔と、
   を有し、
   前記前方の噴出ヘッドと前記後方の噴出ヘッドの前記両方の噴出ヘッドと、前記印刷ヘッドとは、前記第一の移動手段によって一緒の往復移動が可能に構成され、
   前記往復移動をする際の移動方向の前記前方の噴出ヘッドの前記イオナイザーは動作して、前記前方の噴出ヘッドの前記噴出孔からは前記除電ガスが噴出され、前記印刷対象物の除電された部分に前記印刷ヘッドから吐出された前記インクが着弾し、前記後方の噴出ヘッドの前記イオナイザーは停止して、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔からは前記乾燥ガスが着弾した前記インクに噴出されるように切り換えられる印刷装置。
2. 前記両方の噴出ヘッドには、供給された前記乾燥ガスに超音波を照射する超音波発生手段が設けられ、前記後方の噴出ヘッドの前記噴出孔から噴出される前記乾燥ガスに前記超音波が照射される請求項１記載の印刷装置。
3. 前記印刷ヘッドを、前記両方の噴出ヘッドに対して相対的に移動させる第二の移動手段を有する請求項２記載の印刷装置。

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