JP2009148765A - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから、隣り合うノズルの間隔よりも小さな径のドットで溶液を基板に噴射塗布する成膜方法において、
各ノズルから基板に溶液をドッドで噴射する工程と、ヘッドと基板とを所定方向に相対的に移動させて所定間隔の一対のノズルから最初に基板に噴射された一対のドット間の部分を複数のドットによって塗り潰す工程とを具備し、最初に基板に所定間隔で噴射された一対のドット間の部分は、最初に噴射塗布されたドットに最後に噴射塗布されるドットが隣接することのない順序で、複数のドットによって塗り潰す。
【選択図】 図6
Description
各ノズルから基板に溶液をドッドで噴射する工程と、
上記ヘッドと基板とを上記所定方向に相対的に移動させて所定間隔の一対のノズルから最初に基板に噴射された一対のドット間の部分を複数のドットによって塗り潰す工程とを具備し、
最初に基板に所定間隔で噴射された一対のドット間の部分は、最初に噴射塗布されたドットに最後に噴射塗布されるドットが隣接することのない順序で、複数のドットによって塗り潰すことを特徴とする成膜方法にある。
上記ヘッドと上記基板とを相対的に上記所定方向に駆動する駆動手段と、
上記ヘッドのノズルから上記基板に上記所定方向に所定間隔で離間する溶液の複数のドットを噴射塗布したのち、所定間隔で隣り合う一対のドット間の部分を最初に噴射塗布したドットに最後に噴射塗布するドットが隣接することのない順序によって複数のドットで塗り潰すよう、上記駆動手段を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする成膜装置にある。
上記ノズルから上記基板に溶液のドットを上記所定方向に沿って隣接させて噴射する工程と、
上記溶液のドットの大きさを制御することで、隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する工程と
を具備したことを特徴とする成膜方法にある。
上記ヘッド若しくは上記基板を駆動して上記ノズルから上記基板に噴射される上記ドットを上記所定方向に沿って隣接させる駆動手段と、
上記ノズルから溶液を噴射する際、隣接する溶液のドットの大きさを制御して隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する制御手段と
を具備したことを特徴とする成膜装置にある。
上記ノズルと基板とを上記所定方向と交差する方向に沿って相対的に移動させながら上記ノズルから上記基板に上記所定方向に隣接する複数のドットを上記所定方向と交差する方向に沿って噴射する工程と、
所定方向に隣接する複数のドットの大きさを制御することで、上記所定方向に隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する工程と
上記基板に上記所定方向と交差する方向に沿って溶液を塗布した後、最初に塗布された複数のドットの所定方向一端部に位置するドットに対し、つぎに塗布される複数のドットのうちの上記所定方向他端部に位置するドットが重なるように上記ヘッド若しくは上記基板を上記所定方向にずらしてから上記所定方向と交差する方向に沿って複数のドットを基板に噴射する工程と、
を具備したことを特徴とする成膜方法にある。
なお、上記圧電素子18を千鳥状に設けるとともに、圧電素子の18の配置に対応して可撓版13にノズル16を千鳥状に形成にしてもよい。
なお、この第4の実施の形態において、ヘッドと基板とのX方向への相対的な駆動は、ヘッド或いは基板のどちらを駆動するようにしても差し支えない。
Claims (5)
- ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから、隣り合うノズルの間隔よりも小さな径のドットで溶液を基板に噴射塗布する成膜方法において、
各ノズルから基板に溶液をドッドで噴射する工程と、
上記ヘッドと基板とを上記所定方向に相対的に移動させて所定間隔の一対のノズルから最初に基板に噴射された一対のドット間の部分を複数のドットによって塗り潰す工程とを具備し、
最初に基板に所定間隔で噴射された一対のドット間の部分は、最初に噴射塗布されたドットに最後に噴射塗布されるドットが隣接することのない順序で、複数のドットによって塗り潰すことを特徴とする成膜方法。 - ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから、隣り合うノズルの間隔よりも小さな径のドットで溶液を基板に噴射塗布する成膜装置において、
上記ヘッドと上記基板とを相対的に上記所定方向に駆動する駆動手段と、
上記ヘッドのノズルから上記基板に上記所定方向に所定間隔で離間する溶液の複数のドットを噴射塗布したのち、所定間隔で隣り合う一対のドット間の部分を最初に噴射塗布したドットに最後に噴射塗布するドットが隣接することのない順序によって複数のドットで塗り潰すよう、上記駆動手段を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする成膜装置。 - ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから基板に溶液をドットで噴射塗布する成膜方法において、
上記ノズルから上記基板に溶液のドットを上記所定方向に沿って隣接させて噴射する工程と、
上記溶液のドットの大きさを制御することで、隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する工程と
を具備したことを特徴とする成膜方法。 - ヘッドに所定方向に所定間隔で形成された複数のノズルから基板に溶液をドットで噴射塗布する成膜装置において、
上記ヘッド若しくは上記基板を駆動して上記ノズルから上記基板に噴射される上記ドットを上記所定方向に沿って隣接させる駆動手段と、
上記ノズルから溶液を噴射する際、隣接する溶液のドットの大きさを制御して隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する制御手段と
を具備したことを特徴とする成膜装置。 - 所定方向に所定間隔で設けられた複数のノズルから基板に溶液をドットで噴射塗布する成膜方法において、
上記ノズルと基板とを上記所定方向と交差する方向に沿って相対的に移動させながら上記ノズルから上記基板に上記所定方向に隣接する複数のドットを上記所定方向と交差する方向に沿って噴射する工程と、
所定方向に隣接する複数のドットの大きさを制御することで、上記所定方向に隣接するドットの引き合いによって上記所定方向に沿う溶液の塗布量が不均一になるのを防止する工程と
上記基板に上記所定方向と交差する方向に沿って溶液を塗布した後、最初に塗布された複数のドットの所定方向一端部に位置するドットに対し、つぎに塗布される複数のドットのうちの上記所定方向他端部に位置するドットが重なるように上記ノズル若しくは上記基板を上記所定方向にずらしてから上記所定方向と交差する方向に沿って複数のドットを基板に噴射する工程と、
を具備したことを特徴とする成膜方法。
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