KR20100022064A - 피막 형성 방법 - Google Patents

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Abstract

줄무늬가 보이지 않는 피막을 형성한다. 기판(7) 상에서, 제 1 인쇄 헤드(20a)와 제 2 인쇄 헤드(20b)가 겹치는 범위에서는, 제 1 인쇄 헤드(20a)로부터 토출된 제 1 토출액이 착탄하는 착탄 위치와, 제 2 인쇄 헤드(20b)로부터 토출된 제 2 토출액이 착탄하는 착탄 위치를 혼재시킨다. 어느 쪽 토출액이 착탄하는지는 난수에 따라 결정한다. 제 1 토출액에 의해 형성되는 피막(30a)과 제 2 토출액에 의해 형성되는 피막(30b) 사이에 제 1, 제 2 토출액이 혼재하여 형성되는 피막(30c)이 배치되기 때문에, 경계가 흐려져 줄무늬가 보이지 않게 된다.
피막, 형성, 방법, 인쇄 헤드, 토출액, 착탄, 기판

Description

피막 형성 방법{Coating forming method}
본 발명은 노즐로부터 토출된 토출액을 기판 표면에 착탄시켜 피막을 형성하는 기술 분야에 관한 것이다.
종래부터 잉크젯 방식의 인쇄 장치를 이용하여 기판 표면에 피막을 형성하는 기술이 이용되고 있다.
도 6의 부호 101은 인쇄 장치로서, 대(111) 상에는 복수의 인쇄 헤드(120)를 갖는 가동 아암(112)이 배치되어 있다.
각 인쇄 헤드(120)에는 복수의 토출공(125)이 형성되어 있다(도 7). 인쇄 헤드(120)의 내부에는 압전 소자가 배치되고, 탱크(116)로부터 인쇄 헤드(120)에 토출액을 공급하면서, 압전 소자에 인가하는 전압을 제어하면, 각 토출공(125)으로부터 토출액이 토출되도록 구성되어 있다.
대(111) 상에 기판(107)을 배치하고, 가동 아암(112)을 이동시키면서 각 인쇄 헤드(120)로부터 토출액을 토출하면, 토출액은 기판(107) 표면에 착탄하여 토출액의 피막(130)이 형성된다. 토출액의 피막(130)은 건조나 가열 경화에 의해 박막이 형성된다.
각 인쇄 헤드(120)의 양단부에는 토출공(125)을 형성할 수 없는 무효 영 역(128)이 존재하기 때문에, 토출공(125)을 동일 방향에서는 연속하여 등간격이 되도록 배치하기 위하여, 인접하는 인쇄 헤드(120)를 이동 방향의 전후에 배치하여 그 단부를 중첩시키고, 기판(107) 표면의 이동 방향 전방의 인쇄 헤드(120)의 무효 영역(128)이 통과하는 부분에서는 이동 방향 후방의 인쇄 헤드(120)의 토출공(125)이 통과하도록 중첩시키고 있다.
또한, 그 중첩을 확실하게 하기 위하여, 전방의 인쇄 헤드(120)의 단부 근처의 토출공(125)과, 후방의 인쇄 헤드(120)의 단부 근처의 토출공(125)은 복수개가 동일 경로를 이동하여 기판의 동일 개소 상을 통과하도록 되어 있다.
인쇄 헤드(120)가 중복하여 통과하는 부분에 형성되는 피막(130)의 두께를, 전방 또는 후방의 한 개의 인쇄 헤드(120)의 토출공(125)이 통과하는 부분의 피막의 두께와 같게 하는 동시에, 기판(107) 표면에 토출액이 착탄하지 않는 부분이 생기지 않도록 하기 위하여, 토출공(125)이 중복하여 통과하는 부분에서는 어느 한 쪽 인쇄 헤드(120)의 토출공(125)에서만 토출액이 토출된다.
이 경우, 전방의 인쇄 헤드(120)의 토출공(125)으로부터 토출된 토출액으로 형성된 피막(130)과, 후방의 인쇄 헤드(120)의 토출공(125)으로부터 토출된 토출액으로 형성된 피막(130)을 접촉하여 인접시키기 위하여, 각 인쇄 헤드(120)로부터 토출된 토출액이 등간격으로 착탄하도록 하여도, 서로 다른 인쇄 헤드(120)의 피막(130)이 인접하는 부분에 있어서 줄무늬(139)가 보이게 되는 문제가 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 평 11-138784호 공보
본 발명의 발명자들이 그 원인을 검사한 결과, 복수의 인쇄 헤드로부터 토출되는 토출액의 양이 같아지도록 각 인쇄 헤드에 공급하는 전압을 제어하여도, 인쇄 헤드마다 토출량이 미세하게 달라지는데 기인하는 것으로 판명되었다.
그렇다면, 전방의 인쇄 헤드의 토출액으로 형성되는 피막과, 후방의 인쇄 헤드의 토출액으로 형성되는 피막 사이에, 전방의 인쇄 헤드의 한 개의 토출공의 토출액과 후방의 인쇄 헤드의 한 개의 토출공의 토출액의 중간량의 토출액으로 형성되는 피막을 배치하면 되겠지만, 전방과 후방의 인쇄 헤드의 토출액량의 차는 미소하여, 토출액량을 그 중간의 양으로 하는 것은 곤란하다.
본 발명의 발명자들은 제 1, 제 2 인쇄 헤드의 중복 범위에서, 토출액량의 평균값이 제 1, 제 2 토출액 액량의 중간량이 되도록 하면 된다는 것을 발견하고, 상기 과제를 해결하는데 이르렀다.
즉, 상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은,
본 발명은 상기와 같이 구성되어 있으며, 제 1, 제 2 토출공이 동일 이동 경로 상을 중복하여 이동하는 범위에서는, 제 1 토출액이 착탄하는 착탄 위치와, 제 2 토출액이 착탄하는 착탄 위치가 가능한 한 연속하지 않는 동시에, 일정 주기를 갖지 않고 혼재하도록 되어 있다.
도 1(a)는 본 발명에 이용하는 인쇄 장치의 측면도, 도 1(b)는 본 발명에 이용하는 인쇄 장치의 평면도.
도 2는 제 1, 제 2 인쇄 헤드의 상호간의 위치 관계를 설명하기 위한 평면도.
도 3은 피막을 형성하는 도중의 상태를 나타내는 평면도.
도 4는 피막이 형성된 기판의 평면도.
도 5는 제 1, 제 2 토출공의 확대 평면도.
도 6은 종래 기술의 인쇄 장치의 측면도.
도 7은 종래의 방법으로 피막을 형성하는 도중의 상태를 나타내는 평면도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1 인쇄 장치
20a, 20b 제 1, 제 2 인쇄 헤드
25a, 25b 제 1, 제 2 토출공
30a 제 1 막두께의 피막
30b 제 2 막두께의 피막
30c 제 3 막두께의 피막
도 1(a), (b)의 부호 1은 본 발명에 이용할 수 있는 인쇄 장치를 나타내고 있다.
이 인쇄 장치(1)는 대(11)를 가지고 있고, 대(11) 상에는 가동 아암(12)이 배치되어 있다. 가동 아암(12) 중 대(11)와 대면하는 부분에는 복수의 인쇄 헤드(20a, 20b)가 배치되어 있다. 여기에서는 복수의 인쇄 헤드(20a, 20b) 중, 인접 하는 두 개의 인쇄 헤드(20a, 20b)를 제 1, 제 2 인쇄 헤드로 하여 설명한다.
도 2는 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)의 상호간의 위치 관계를 설명하기 위한 평면도이다.
제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)는 각각 복수의 토출공(25a, 25b)을 가지고 있다.
제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)는 가늘고 길며, 제 1 인쇄 헤드(20a)의 토출공(25a)을 제 1 토출공, 제 2 인쇄 헤드(20b)의 토출공(25b)을 제 2 토출공이라 하면, 제 1, 제 2 토출공은 각각 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)의 길이 방향을 따라 일렬 내지 복수열로 배치되어 있다.
제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)의 길이 방향은 평행하게 되어 있고, 따라서, 제 1 토출공(25a)의 열과, 제 2 토출공(25b)의 열도 평행하게 되어 있다.
도 2의 부호 1a, 1b는 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)이 늘어선 방향에 평행한 직선을 나타내고 있다.
제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)은 여기에서는 2열 지그재그로 배치되어 있다. 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)이 각각 복수열로 배치되어 있는 경우, 각 열에 배치된 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)을, 각 열의 제 1 또는 제 2 토출공(25a, 25b)이 늘어선 방향과는 수직인 방향으로 이동시키면, 후술하는 바와 같이 동일 직선상에 등간격(d)으로 늘어서는 토출 위치에 토출액을 토출할 수 있다. 제 1 토출공(25a)으로부터 토출액을 착탄시킬 수 있는 토출 위치의 간격과 제 2 토출공(25b)으로부터 토출액을 착탄시킬 수 있는 토출 위치의 간격도 같다.
가동 아암(12)은 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)이 늘어선 방향과는 수직인 방향으로 수평 이동하도록 구성되어 있다.
이 인쇄 장치(1)에서는, 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)는 이동 방향의 전후에 배치되고, 단부가 동일한 이동 경로를 이동하도록 겹쳐 배치되어 있다.
이동 방향의 전방측을 제 1 인쇄 헤드(20a), 후방측을 제 2 인쇄 헤드(20b)라 하면, 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)의 이동 방향의 전후에 겹쳐 배치된 부분에서는, 복수(제 1 토출공(25a)의 합계의 10% 이상, 또는 10개 이상)의 제 1 토출공(25a)의 이동 경로상을, 한 개의 제 1 토출공(25a)에 대하여 한 개의 제 2 토출공(25b)이 이동하도록 구성되어 있다.
제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)는 제어 장치(15)와 탱크(16)에 접속되어 있고, 복수의 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b) 중, 원하는 제 1 또는 제 2 토출공(25a 또는 25b)에서만 탱크(16)로부터 공급되는 토출액을 토출할 수 있도록 구성되어 있다.
동일한 이동 경로상을 이동하는 제 1 토출공(25a)의 위치와 제 2 토출공(25b)의 위치는 미리 알고 있으며, 동일한 이동 경로상을 이동하는 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)에 대해서는, 그 이동 경로의 아래에 위치하는 착탄 위치에 대하여 어느 쪽 토출공(25a, 25b)으로부터도 토출액을 토출할 수 있다.
제 1 토출공(25a)으로부터 토출되는 토출액을 제 1 토출액, 제 2 토출공으로부터 토출되는 토출액을 제 2 토출액이라 하면, 제 1, 제 2 토출액은 동일 성분, 동일 조성이지만, 양이 다르다.
제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)의 다른 부분에서는, 제 1 또는 제 2 토출공(25a, 25b)이 늘어서 배치되어 있고, 가동 아암(12)에 의해 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)가 이동되면, 제 1 토출공(25a)만이 이동하는 이동 경로의 하방에 위치하는 착탄 위치에는 제 1 토출액만이 착탄하고, 제 2 토출공(25b)만이 이동하는 이동 경로의 하방에 위치하는 착탄 위치에는 제 2 토출액만이 착탄한다.
기판 표면상의 제 1 토출액만이 착탄하는 범위를 제 1 범위, 제 2 토출액만이 착탄하는 범위를 제 2 범위라 하면, 제 1 범위에서는 확산된 제 1 토출액끼리가 접촉하여 피막 형성되고, 제 2 범위에서는 확산된 제 2 토출액에 의해 피막이 형성된다.
도 3의 부호 30a, 30b는 제 1, 제 2 범위에 형성된 피막을 각각 나타내고 있다.
제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)이 동일한 이동 경로상을 이동하는 부분에서는, 제 1 토출액과 제 2 토출액 중 어느 한 쪽, 또는 양쪽 모두가 착탄하거나, 혹은 양쪽 모두 착탄하지 않도록 설정할 수 있다.
여기에서는 동일한 착탄 위치에는 제 1, 제 2 토출액 모두가 중복하여 착탄하지 않도록 제어되고 있어, 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b) 양쪽 모두가 통과하는 이동 경로 하방의 착탄 위치에는 제 1 또는 제 2 토출액 중 어느 한 쪽이 착탄하거나, 또는 어느쪽 토출액도 착탄하지 않도록 제어되고 있다.
제 1, 제 2 토출공(25a, 25b) 양쪽 모두가 통과하는 범위를 제 3 범위라 하면, 제 3 범위에서는 제 1 토출액이 착탄하는 착탄 위치와, 제 2 토출액이 착탄하 는 착탄 위치가 혼재한다. 도 3의 부호 30c는 제 3 범위에 형성된 피막을 나타내고 있다.
제 1 토출액과 제 2 토출액의 액량은 가능한 한 같아지도록 조정되어 있지만, 완전히 동일량으로는 할 수 없어, 액량에 미소한 차가 생기게 된다.
기판(7) 표면상에는 미리 제 1 또는 제 2 토출액이 착탄하는 착탄 위치가 설정되어 있다. 착탄 위치는 행렬 형상의 위치로 설정되어 있고, 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)이 늘어선 방향의 간격은 토출공의 간격(d)과 같은 등간격이며, 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)의 이동 방향의 간격은 임의로 설정할 수 있는데, 여기에서는 일정 간격으로 되어 있다.
따라서, 착탄 위치의 밀도는 일정하며, 제 1 범위에서는 제 1 토출액의 액량에 따른 제 1 막두께의 피막(30a)이 형성되고, 제 2 범위에서는 제 2 토출액의 액량에 따른 제 2 막두께의 피막(30b)이 형성된다.
제 3 범위의 착탄 위치에 제 1 또는 제 2 토출액 중 어느 한 쪽이 착탄하는 경우에는, 형성되는 피막(30c)의 평균 막두께는 제 1, 제 2 막두께의 중간값의 제 3 막두께가 되어, 인접하는 피막(30a~30c)의 막두께차가 작아지기 때문에 줄무늬가 해소된다.
본 발명에서는 상기와 같이, 기판과 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)의 상대 이동의 방향에 대하여 수직인 방향으로 일렬로 늘어서는 착탄 위치 중에 제 1, 제 2 토출액이 착탄되는 착탄 위치가 혼재되어 있고, 이로 인해, 상대 이동의 방향에 따른 방향으로 연장되는 줄무늬는 보이지 않게 된다.
또한, 본 발명에서는 제 3 범위에 위치하는 착탄 위치에서는, 기판과 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)의 상대 이동의 방향에 대하여 평행인 방향으로 일렬로 늘어서는 착탄 위치 중에도 제 1, 제 2 토출액이 착탄되는 착탄 위치가 혼재하도록 되어 있다.
이로 인해, 제 1 토출액이 착탄하는 착탄 위치와 제 2 토출액이 착탄하는 착탄 위치가 기판(7) 표면의 제 3 범위 내에서 한층 더 균일하게 분포한다. 그 결과, 제 1 토출액이 착탄하는 착탄 위치와, 제 2 토출액이 토출하는 착탄 위치가 연속하여 늘어서는 거리가 짧아져, 줄무늬가 더욱 보이지 않게 된다.
이와 같이 균일하게 분포시키기 위해서는 제 3 범위 내에 위치하는 착탄 위치에 대하여, 제 1 토출액만을 착탄시키는 제 1 조건과 제 2 토출액만을 착탄시키는 제 2 조건의 두 가지 조건 중에서, 착탄 위치마다 임의로 한 조건을 선택하여, 선택한 조건에 따라 토출액을 토출하도록 하면 된다.
제 1, 제 2 조건에, 어느 쪽 토출액도 착탄시키지 않는 제 3 조건을 더하여, 제 1 내지 제 3 조건 중에서 임의로 한 조건을 선택하여, 선택한 조건에 따라 토출액을 토출하도록 할 수도 있다.
이 선택은 난수에 따라 수행할 수 있다. 예를 들면, 제 3 범위 내에 위치하는 착탄 위치에 번호를 붙여 두고, 컴퓨터를 사용하여 자연수의 난수를 발생시켜, 발생한 난수를 붙여진 번호의 순서로 착탄 위치에 대응시켜, 짝수인 난수와 대응지어진 착탄 위치를 제 1 조건, 홀수인 난수와 대응지어진 착탄 위치를 제 2 조건으로 설정할 수 있다(두 가지 조건인 경우).
세 가지 조건인 경우에는, 예를 들면 대응지어진 난수를 3으로 나누어, 나머지가 0인 착탄 위치를 제 1 조건, 나머지가 1인 착탄 위치를 제 2 조건, 나머지가 2인 착탄 위치를 제 3 조건으로 설정할 수 있다.
단, 세 조건으로 설정하는 경우, 제 3 범위에 형성되는 박막의 막두께를, 제 1 범위에 형성되는 피막과 제 2 범위에 형성되는 피막의 중간의 막두께로 하기 위해서는, 토출액을 착탄시키지 않는 착탄 위치의 수에 따라, 제 1, 제 2 토출액 중, 토출량이 많은 쪽의 토출액이 착탄되는 위치를 증가시킨다.
상기와 같이 난수열을 사용하여 조건을 선택하여 피막(30a~30c)을 형성하고, 표면을 관찰한다. 줄무늬가 보인 경우에는 그 난수를 폐기하고, 다른 난수를 발생시켜 착탄 위치와 대응지으면 된다.
도 4의 부호 8은 상기 순서에 따라 피막(30a~30c)이 형성된 기판을 나타내고 있는데, 줄무늬가 보이지 않는 난수가 얻어지면 그 난수는 제어 장치(15)에 기억시킨다.
피막(30a~30c)이 형성된 기판(8)은 대(11) 상으로부터 반출하고, 미처리 기판(7)을 올려 같은 착탄 위치에는 같은 난수를 대응시키고, 두 가지 조건 또는 세 가지 조건 중에서 착탄 위치마다 난수에 대응하는 조건으로 토출액을 착탄시켜 피막(30)을 형성할 수 있다.
피막(30a~30c)을 형성한 후에는, 이 피막(30a~30c)을 경화시키기 위하여 대(11) 상에서 가열할 수도 있고, 다른 가열 장치 내에 피막(30a~30c)이 형성된 기판(8)을 반입하여 가열할 수도 있다.
제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)은 특별히 한정되지 않지만, 여기에서는 제 1, 제 2 토출공(25a, 25b)은 각각 다수의 미소공(29)이 같은 수로 모여 형성되어 있고(도 5), 각 미소공(29)으로부터 각각 토출액이 토출되도록 되어 있다.
또한, 상기 실시예에서는 기판(7)이 정지한 상태에서, 가동 아암(12)에 의해 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)가 이동됨으로써 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)와 기판(7)이 상대 이동하였으나, 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)가 정지하고, 기판(7)이 이동함으로써 상대 이동할 수도 있다. 또한, 제 1, 제 2 인쇄 헤드(20a, 20b)와 기판(7) 모두가 이동함으로써 상대 이동할 수도 있다.
인쇄 헤드의 이동 방향에 따른 방향으로 줄무늬가 형성되지 않게 된다.
인쇄 헤드의 이동 방향에 따른 방향과는 수직 방향으로도 줄무늬가 형성되지 않게 된다.

Claims (10)

  1. 복수의 제 1, 제 2 토출공이 각각 동일 방향을 따라 배치된 제 1, 제 2 인쇄 헤드와 기판을 상대 이동시켜, 상기 제 1, 제 2 토출공으로부터 제 1, 제 2 토출액을 토출시키고,
    상기 기판 표면의 소정의 착탄 위치에 상기 제 1 또는 제 2 토출액을 착탄시켜, 상기 기판 표면에 피막을 형성하는 피막 형성 방법에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 토출공이 배치된 방향을, 상기 상대 이동의 방향과는 교차하는 방향으로 함과 동시에, 상기 제 1 인쇄 헤드의 단부에 위치하는 적어도 한 개 이상의 상기 제 1 토출공의 이동 경로 상을 상기 제 2 인쇄 헤드의 단부에 위치하는 상기 제 2 토출공이 이동하도록, 상기 제 1, 제 2 인쇄 헤드를 상기 상대 이동 방향의 전후에 배치해 두고,
    상기 상대 이동시켜, 상기 제 1 또는 상기 제 2 토출공 중 어느 한 쪽만이 통과하는 이동 경로 상의 상기 착탄 위치에는 상기 제 1 또는 상기 제 2 토출액을 착탄시키고,
    상기 제 1, 제 2 토출공 모두가 통과하는 이동 경로 상의 상기 착탄 위치에는 적어도 상기 이동 경로와 수직 방향의 일렬 중에, 상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 혼재시키는 피막 형성 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 상대 이동의 방향과 평행한 일렬 중에도, 상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 혼재시켜 배치하는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  3. 복수의 제 1, 제 2 토출공이 각각 동일 방향을 따라 배치된 제 1, 제 2 인쇄 헤드와 기판을 상대 이동시켜, 상기 제 1, 제 2 토출공으로부터 제 1, 제 2 토출액을 토출시키고,
    상기 기판 표면의 소정의 착탄 위치에 상기 제 1 또는 제 2 토출액을 착탄시켜, 상기 기판 표면에 피막을 형성하는 피막 형성 방법에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 토출공이 배치된 방향을, 상기 상대 이동의 방향과는 교차하는 방향으로 함과 동시에, 상기 제 1 인쇄 헤드의 단부에 위치하는 적어도 한 개 이상의 상기 제 1 토출공의 이동 경로 상을 상기 제 2 인쇄 헤드의 단부에 위치하는 상기 제 2 토출공이 이동하도록, 상기 제 1, 제 2 인쇄 헤드를 상기 상대 이동 방향의 전후에 배치해 두고,
    상기 상대 이동시켜, 상기 제 1 또는 상기 제 2 토출공 중 어느 한 쪽만이 통과하는 이동 경로 상의 상기 착탄 위치에는 상기 제 1 또는 상기 제 2 토출액을 착탄시키고,
    상기 제 1, 제 2 토출공 모두가 통과하는 이동 경로 상의 상기 착탄 위치에는 적어도 상기 이동 경로와 평행한 일렬 중에, 상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 혼재시키는 피막 형성 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    동일한 착탄 위치에는 상기 제 1, 제 2 토출액 모두가 겹쳐 착탄하지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 토출공 모두가 통과하는 이동 경로 상에 형성되는 제 3 피막의 제 3 막두께를, 상기 제 1 토출공만이 통과하는 영역에 형성되는 제 1 피막의 제 1 막두께와, 상기 제 2 토출공만이 통과하는 영역에 형성되는 제 2 피막의 제 2 막두께 사이의 크기로 형성하는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 막두께의 피막이 형성되는 영역 사이에 위치하는 착탄 위치에는, 적어도 상기 제 1 토출액만이 착탄하는 제 1 조건과 상기 제 2 토출액만이 착탄하는 제 2 조건을 포함하는 착탄 조건 중에서, 착탄 위치마다 난수에 따라 하나의 조건을 선택하여, 선택한 조건에 따라 착탄시키는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 선택한 조건을 상기 착탄 위치마다 기억하여, 다른 기판의 상기 동일 위치의 착탄 위치에는 같은 조건으로 착탄시키는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 난수에 따라 선택하여 혼재시키는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 상대 이동의 방향과 평행한 방향으로도, 상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 난수에 따라 선택하는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
  10. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치와 상기 제 2 토출액이 착탄하는 상기 착탄 위치를 난수에 따라 선택하여 혼재시키는 것을 특징으로 하는 피막 형성 방법.
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