KR100745546B1 - 막 패턴의 형성 방법, 유기 ｅｌ 장치의 제조 방법, 컬러필터 기판의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판면 내에서 균일한 막 두께의 패턴을 형성하는 것이 가능한 막 패턴의 형성 방법, 유기 EL 장치의 제조 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 막 패턴의 형성 방법은, 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액(L)을 기체(P) 위에 배치하고, 상기 기능액(L)을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴(F)을 형성하는 방법으로서, 상기 막 패턴(F)이 형성되는 상기 기체(P)의 유효 영역(TE) 및 상기 유효 영역(TE) 주위의 비유효 영역(T1, T2, T3)에 액체 수용부(PE, PD)를 형성하는 공정과, 상기 유효 영역(TE)에 형성된 상기 액체 수용부(PE)에 상기 기능액(L)을 배치하는 공정과, 상기 비유효 영역(T1, T2, T3)에 형성된 상기 액체 수용부(PD)에 상기 기능액(L) 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고, 상기 비유효 영역(T1, T2, T3)의 상기 액체 수용부(PD)에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 한다.
발광층, 격벽, 기체, 유효 화소, 더미 화소

Description

막 패턴의 형성 방법, 유기 ＥＬ 장치의 제조 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법{METHOD FOR FORMING FILM PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ORGANIC EL DEVICE, A COLOR FILTER SUBSTRATE AND A LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1은 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 나타낸 개념도.
도 2는 기능액을 배치하는 수단의 일례인 액적 토출 헤드의 분해사시도.
도 3은 상기 액적 토출 헤드의 요부(要部)를 나타낸 부분 사시도.
도 4는 더미(dummy) 영역을 포함하는 기체(基體)의 평면도.
도 5는 상기 막 패턴의 형성 공정의 일례를 나타낸 공정도.
도 6은 더미 화소의 다른 구성을 나타낸 평면도.
도 7은 더미 화소에 기능액을 배치한 상태를 나타낸 단면도.
도 8은 더미 화소의 또 다른 구성을 나타낸 평면도.
도 9는 더미 화소에 기능액을 배치한 상태를 나타낸 단면도.
도 10은 본 발명의 디바이스의 일례인 유기 EL 장치의 등가회로도.
도 11은 상기 유기 EL 장치의 전체 구성을 나타낸 평면도.
도 12는 상기 유기 EL 장치의 1화소의 구성을 나타낸 평면도.
도 13은 도 12의 A-A선에 따른 단면도.
도 14는 상기 유기 EL 장치의 제조 공정의 일례를 나타낸 공정도.
도 15는 도 14에 연속되는 공정도.
도 16은 본 발명의 디바이스의 일례인 컬러 필터 기판의 제조 방법을 나타낸 개념도.
도 17은 상기 컬러 필터 기판의 제조 공정의 일례를 나타낸 공정도.
도 18은 실시예에 따른 샘플 기판의 평면도.
도 19는 상기 기능액을 건조시켜 얻어진 막 패턴의 프로파일을 나타낸 도면.
도 20은 본 발명의 막 패턴을 구비한 전자 기기의 일례를 나타낸 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
70 : 유기 일렉트로루미네선스 장치(디바이스)
140A : 정공 주입층(막 패턴) 140B : 발광층(막 패턴)
B : 격벽 F : 막 패턴
L, L1, L2 : 기능액 P : 기체(基體)
PE : 유효 화소(액체 수용부) PD : 더미 화소(액체 수용부)
TE : 유효 영역 TD : 비(非)유효 영역
본 발명은 막 패턴의 형성 방법, 유기 EL 장치의 제조 방법, 컬러 필터 기판 의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 유기 형광 재료 등의 기능성 재료를 잉크화하여 상기 잉크(기능액)를 기체(基體) 위에 토출하는 액적 토출법에 의해, 기능성 재료의 패터닝을 행하는 방법을 채용하여, 한 쌍의 전극 사이에 상기 기능성 재료로 이루어지는 기능층이 삽입된 구성의 유기 일렉트로루미네선스 장치(이하, 유기 EL 장치라고 함), 특히 기능성 재료로서 유기 발광 재료를 사용한 유기 EL 장치의 개발이 실행되고 있다(예를 들어 특허문헌 1 내지 4를 참조). 또한, 상기 잉크(기능액)의 건조 방법에 대한 개발도 실행되고 있다(예를 들어 특허문헌 6 내지 8을 참조).
상술한 기능성 재료의 패터닝법으로서, 기체 위에 형성한 ITO 등으로 이루어지는 화소 전극의 주위에 뱅크(bank)라고 불리는 격벽을 형성하고, 이어서 화소 전극 및 이 화소 전극에 인접하는 상기 뱅크의 일부를 친액성으로 처리하는 동시에 뱅크의 나머지 부분을 발액성으로 처리한 후, 기능층의 구성 재료를 함유하는 잉크를 화소 전극에 토출하여 건조시킴으로써, 상기 화소 전극 위에 기능층을 형성하는 방법이 채용되어 있다. 구체적으로는, 복수의 노즐이 부(副)주사 방향을 따라 배열되어 이루어지는 노즐 열을 갖는 액적 토출 헤드를 사용하고, 이 액적 토출 헤드를 기체에 대하여 주(主)주사 방향으로 주사하면서, 상기 노즐로부터 잉크를 토출함으로써, 화소 전극 위에 기능층을 형성하는 방법이 알려져 있다. 이러한 방법은 마이크로 오더의 액적을 화소 영역에 배치하는 것이 가능하기 때문에, 재료의 이용 효율을 고려하면, 스핀 코팅 등의 방법에 비하여 효과적이다.
그러나, 화소 전극이 배치된 표시 영역(유효 영역) 중 주변부에서는, 잉크로 부터 증발되는 용매 분자의 분압(分壓)이 상기 표시 영역의 중앙부보다도 적어지는 경우가 있다. 이러한 현상이 생기면, 주변부에서 용매의 증발 속도가 극단적으로 빨라지고, 그 결과, 제조되는 유기 EL 장치에서 기능층의 막 두께 불균일이나 1화소 내에서의 막의 편중(막의 단면(斷面) 형상이 비스듬하게 경사진 상태)이 생길 우려가 있다. 이러한 막 두께 불균일이 생긴 유기 EL 장치는 그 특성이 저하되고, 이것을 표시 장치 등으로서 이용한 경우에는, 표시 불균일이 생기는 경우도 있다. 그래서, 이것을 해결하기 위해, 예를 들어 특허문헌 5와 같은 기술이 개시되어 있다.
[특허문헌 1] 일본국 공개특허평11-54270호 공보
[특허문헌 2] 일본국 공개특허2001-291587호 공보
[특허문헌 3] 일본국 공개특허2004-31360호 공보
[특허문헌 4] 일본국 공개특허2004-127897호 공보
[특허문헌 5] 일본국 공개특허2002-222695호 공보
[특허문헌 6] 일본국 공개특허2003-245582호 공보
[특허문헌 7] 일본국 공개특허2004-311206호 공보
[특허문헌 8] 일본국 공개특허2004-330136호 공보
상기 특허문헌 5에 개시된 기술은, 표시 영역의 외측에 표시에 기여하지 않는 더미 영역(비유효 영역)을 형성하고, 상기 더미 영역에도 기능층과 동일한 잉크를 도포함으로써, 표시 영역 내에서의 용매 분자의 분압 편차를 작게 하는 것이다. 통상 더미 영역에 표시 영역과 동일한 패턴의 뱅크를 형성하고, 상기 뱅크의 개구부에 잉크를 도포하는 것으로 한다. 이 방법에 의하면, 표시 영역의 중앙부와 주변부에서 용매의 건조가 동일하게 진행되기 때문에, 기능층의 막 두께 불균일이나 막의 편중이 없는 고품질 막을 형성하는 것이 가능해진다.
더미 영역에 토출되는 잉크는 표시용 화소를 형성하지 않기 때문에, 표시 영역에 형성되는 화소(유효 화소)와 구별하여 더미 화소라고 불리는 경우가 있다. 상기와 같은 막 두께 불균일의 발생을 방지하기 위해서는, 적어도 수열 내지 수십열 분의 더미 화소를 형성할 필요가 있지만, 종래는 모든 더미 화소를 유효 화소와 동일한 피치, 동일한 패턴으로 형성하고 있었기 때문에, 잉크를 표시 영역과 동일하게 도포하는 것만으로는 충분한 막 두께 불균일의 해소에 도달하지 않는 경우가 있었다. 즉, 기체에 토출된 잉크의 건조는 동심원 형상으로 주변으로부터 진행되기 때문에, 예를 들어 직사각형으로 설치된 표시 영역의 코너부에서는 그 이외의 부분보다도 용매의 건조가 빨라지는 경우가 있고, 이것에 의해 막 두께 불균일의 발생을 충분히 회피할 수 없는 경우가 있었다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 안출된 것으로서, 기판면 내에서 균일한 막 두께의 패턴을 형성하는 것이 가능한 막 패턴의 형성 방법, 유기 EL 장치의 제조 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 막 패턴의 형성 방법은, 기능성 재료 를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 형성하는 방법으로서, 상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과, 상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과, 상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역의 액체 수용부에 배치하는 용매의 양을 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하고 있기 때문에, 건조가 빠르게 진행되는 유효 영역의 코너부 등에서도 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되지 않고, 유효 영역 전체에서 증발 용매 분자의 분압을 균일화하는 것이 가능하다. 즉, 종래의 방법에서는, 동일한 피치, 동일한 사이즈로 형성된 액체 수용부에 대하여 동일한 양의 용매만을 배치했기 때문에, 중심부로부터 가장 먼 유효 영역의 코너부에서 용매가 빠르게 건조되지만, 본 발명에서는 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 영역의 코너부 등의 영역에서 용매의 양을 많게 하여, 유효 영역 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 유효 영역 전체에서 건조 속도가 균일해져 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막을 형성할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매 의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것으로 할 수 있다. 이 방법에 의하면, 건조 불균일이 보다 적은 막 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 종래 가장 문제시되었던 유효 영역의 코너부에서의 막 두께 불균일성을 해소하여, 유효 영역 전체에 걸쳐 균일한 막을 형성할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 격벽에 의해 막 패턴의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 격벽 사이의 폭을 좁게 하는 등 격벽을 적절히 형성함으로써, 막 패턴의 미세화나 세선화(細線化)를 도모할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것으로 할 수 있다. 이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 액상체 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역의 액체 수용부에 대하여 충분한 양의 용매를 배치할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 보다 많은 용매가 배치되는 액체 수용부, 즉, 유효 영역의 중심부로부터 이간(離間)된 액체 수용부일수록 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 이들 유효 영역의 중심부로부터 이간된 액체 수용부에서 용매가 넘치는 등의 결점을 회피할 수 있다. 또한, 액체 수용부에 배치된 용매는 유동(流動)에 의해 액체 수용부의 사이즈로 습윤 확장되기 때문에, 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 영역의 코너부 등의 영역에서 보다 큰 용매의 표면적을 얻을 수 있다. 용매 분자의 분압은 토출된 용매의 표면적에 의존하고, 표면적이 클수록 증발되는 용매 분자의 분압은 커지지만, 본 발명에서는 용매의 표면적을 액체 수용부의 사이즈 및 용매의 양에 따라 조절하고, 이것에 의해 유효 영역 내에서 용매 분자의 분압에 편중이 생기지 않게 할 수 있기 때문에, 보다 균일성이 양호한 막을 형성할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 유효 영역에의 상기 액체 수용부의 간격(배열 피치)과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 기능액 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행할 수 있다. 특히 액적 토출법에 의해 기능액 또는 용매를 토출할 경우에는, 유효 영역과 비유효 영역에서 토출 피치를 변 화시키지 않고 연속적으로 토출을 행할 수 있기 때문에, 공정이 간단해진다.
본 발명에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주(外周)를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 보다 확실하게 건조 불균일을 방지할 수 있다.
본 발명에서는, 상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 액적 토출법을 이용함으로써, 스핀 코팅법 등의 다른 도포 기술에 비하여 액체 재료의 소비에 낭비가 적고, 기체 위에 배치하는 액체 재료의 양이나 위치의 제어를 행하기 쉽다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법은, 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서, 상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과, 상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과, 상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 영역의 코너부 등의 영역에서 용매의 양을 많게 하여, 유효 영역 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 유효 영역 전체에서 건조 속도가 균일해져 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 건조 불균일이 보다 적은 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 종래 가장 문제시되었던 유효 영역의 코너부에서의 막 두께 불균일성을 해소하여, 유효 영역 전체에 걸쳐 균일한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 격벽에 의해 막 패턴의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 격벽 사이의 폭을 좁게 하는 등 격벽을 적절히 형성함으로써, 미세화나 세선화를 도모하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 액상체 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역의 액체 수용부에 대하여 충분한 양의 용매를 배치하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 용매의 표면적을 액체 수용부의 사이즈 및 용매의 양에 따라 조절하고, 이것에 의해 유효 영역 내에서 용매 분자의 분압에 편중이 생기지 않게 할 수 있기 때문에, 보다 균일성이 양호한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일 한 간격으로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 기능액 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 보다 확실하게 건조 불균일을 방지하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 액적 토출법을 이용함으로써, 스핀 코팅법 등의 다른 도포 기술에 비하여 액체 재료의 소비에 낭비가 적고, 기체 위에 배치하는 액체 재료의 양이나 위치의 제어를 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법은, 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판의 제조 방법으로서, 상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과, 상기 유효 영역에 형성된 상기 액 체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과, 상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 영역의 코너부 등의 영역에서 용매의 양을 많게 하여, 유효 영역 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 유효 영역 전체에서 건조 속도가 균일해져 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 건조 불균일이 보다 적은 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 종래 가장 문제시되었던 유효 영역의 코너부에서의 막 두께 불균일성을 해소하여, 유효 영역 전체에 걸쳐 균일한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 격벽에 의해 막 패턴의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 격벽 사이의 폭을 좁게 하는 등 격벽을 적절히 형성함으로써, 미세화나 세선화를 도모하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 액상체 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역의 액체 수용부에 대하여 충분한 양의 용매를 배치하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 용매의 표면적을 액체 수용부의 사이즈 및 용매의 양에 따라 조절하고, 이것에 의해 유효 영역 내에서 용매 분자의 분압에 편중이 생기지 않게 할 수 있기 때문에, 보다 균일성이 양호한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 기능액 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 보다 확실하게 건조 불균일을 방지하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제조할 수 있다.
본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 액적 토출법을 이용함으로써, 스핀 코팅법 등의 다른 도포 기술에 비하여 액체 재료의 소비에 낭비가 적고, 기체 위에 배치하는 액체 재료의 양이나 위치의 제어를 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 제 조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법은, 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치의 제조 방법으로서, 상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과, 상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과, 상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 한다.
이 방법에 의하면, 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 영역의 코너부 등의 영역에서 용매의 양을 많게 하여, 유효 영역 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 유효 영역 전체에서 건조 속도가 균일해져 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비하고 있기 때문에, 표시 성능이 양호한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 건조 불균일이 보다 적은 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판 을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 종래 가장 문제시되었던 유효 영역의 코너부에서의 막 두께 불균일성을 해소하여, 유효 영역 전체에 걸쳐 균일한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 격벽에 의해 막 패턴의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 격벽 사이의 폭을 좁게 하는 등 격벽을 적절히 형성함으로써, 미세화나 세선화를 도모하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 액상체 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역의 액체 수용부에 대하여 충분한 양의 용매를 배치하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 용매의 표면적을 액체 수용부의 사이즈 및 용매의 양에 따라 조절하고, 이것에 의해 유효 영역 내에서 용매 분자의 분압에 편중이 생기지 않게 할 수 있기 때문에, 보다 균일성이 양호한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 비유효 영역으로의 기능액 또는 용매의 배치를 유효 영역에 배치하는 경우와 동일한 조건으로 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 보다 확실하게 건조 불균일을 방지하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것으로 할 수 있다.
이 방법에 의하면, 액적 토출법을 이용함으로써, 스핀 코팅법 등의 다른 도포 기술에 비하여 액체 재료의 소비에 낭비가 적고, 기체 위에 배치하는 액체 재료의 양이나 위치의 제어를 행하는 것이 가능한 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치를 제조할 수 있다.
본 발명의 디바이스로서는, 예를 들어 유기 일렉트로루미네선스 장치나 컬러 필터 기판 등이 있으며, 이들 유기 일렉트로루미네선스 장치의 유기 기능층(발광층, 전하 수송층 등)이나 화소 전극의 패턴, 또는 컬러 필터 기판의 컬러 필터 패턴의 형성 공정 등에 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 적합하게 적용할 수 있다.
[제 1 실시예]
도 1은 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 나타낸 개념도이다.
본 발명의 막 패턴의 형성 방법은, 기체(P) 위에 기능성 재료를 함유하는 기능액을 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기체(P) 위에 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 형성하는 것이다. 막 패턴이 형성되는 영역 중 막 원래의 기능이 효과적으로 발휘되는 일군(一群)의 막 패턴에 의해 구성되는 영역을 유효 영역(TE)이라고 하고, 막 패턴은 형성되지만 막 원래의 기능을 발휘하지 않는 일군의 막 패턴에 의해 구성되는 영역을 비유효 영역(TD)이라고 한다.
예를 들어 유기 EL 표시 장치 등의 표시 장치에서는, 유효 영역(TE)은 표시에 사용되는 일군의 화소에 의해 구성되는 하나의 통합된 영역을 의미하고, 액정 표시 장치 등에 사용되는 컬러 필터 기판에서는, 유효 영역(TE)은 표시에 사용되는 일군의 컬러 필터에 의해 구성되는 하나의 통합된 영역을 의미한다. 또한, 복수의 전극이나 배선이 형성되는 기판에서는, 상기 복수의 전극이나 상기 복수의 배선에 의해 구성되는 하나의 통합된 영역을 의미한다. 본 발명의 막 패턴의 형성 방법은, 이러한 유효 영역(TE)에 상기 기능액을 선택적으로 배치함으로써, 원하는 형상 및 기능을 갖는 일군의 막 패턴을 형성하는 것이다.
도 1에서는, 유효 영역(TE)을 예를 들어 복수의 표시용 화소(유효 화소)(PE)로 이루어지는 유효 광학 영역이라고 하고, 이 유효 광학 영역(TE)의 복수의 유효 화소(PE)에 대하여 각각 기능성 재료를 함유하는 기능액을 액적 토출법에 의해 선택적으로 토출하는 예를 나타낸다.
도 1에 있어서, 부호 IJ는 액적 토출 장치, 부호 20은 상기 액적 토출 장치에 구비된 액적 토출 헤드, 부호 81은 상기 액적 토출 헤드에 설치된 노즐을 각각 나타낸다. 도 1에서는 노즐(81)의 배열 방향 J는 유효 화소(PE)의 배열 방향 X에 대하여 경사진 상태로 되어 있지만, 배열 방향 J에서의 노즐(81)의 배열 피치(인접하는 노즐(81)의 중심의 간격)가 X방향에서의 유효 화소(PE)의 배열 피치(인접하는 유효 화소(PE)의 중심의 간격)와 동일하면, 배열 방향 J는 유효 화소(PE)의 배열 방향 X와 일치한 방향으로 설정된다. 액적 토출 헤드(20)는 유효 광학 영역(TE)과 평행한 면내에서 각도 θ를 회전 가능하게 구성되어 있고, 노즐(81)의 X방향에서의 배열 피치(즉, 노즐(81)을 X축에 투영했을 때의 노즐(81)의 배열 피치)와 유효 화소(PE)의 X방향에서의 배열 피치가 일치하도록 노즐(81)의 배열 방향 J가 제어된다. 그리고, 이러한 배열 방향 J를 규정한 상태에서 액적 토출 헤드(20)와 기체(P)를 X방향 또는 Y방향으로 상대 이동시킬 수 있게 구성되어 있다.
도 2는 액적 토출 헤드(20)의 일례를 나타낸 분해사시도이다.
액적 토출 헤드(20)는 복수의 노즐(81)을 갖는 노즐 플레이트(80)와, 진동판(85)을 갖는 압력실 기판(90)과, 이들 노즐 플레이트(80)와 진동판(85)을 끼워넣어 지지하는 하우징(housing)(88)을 구비하고 있다.
액적 토출 헤드(20)의 주요부 구조는, 도 3의 부분 사시도에 나타낸 바와 같이, 압력실 기판(90)을 노즐 플레이트(80)와 진동판(85) 사이에 삽입한 구조로 되어 있다. 노즐 플레이트(80)의 노즐(81)은 각각 압력실 기판(90)에 구획 형성된 압력실(캐비티)(91)에 대응한다. 압력실 기판(90)에는, 실리콘 단결정 기판 등을 에칭함으로써, 각각이 압력실로서 기능할 수 있게 캐비티(91)가 복수 설치되어 있다. 캐비티(91)끼리의 사이는 측벽(92)에 의해 분리되어 있다. 각 캐비티(91)는 공급구(94)를 통하여 공통의 유로(流路)인 리저버(reservoir)(93)에 연결되어 있다.
진동판(85)에는 탱크구(86)가 설치되어, 액체 재료 공급 탱크(도시 생략)로부터 파이프를 통하여 임의의 액체 재료를 공급할 수 있게 구성되어 있다. 진동판(85) 위의 캐비티(91)에 상당하는 위치에는 압전체 소자(87)가 배열 설치되어 있다. 압전체 소자(87)는 PZT 소자 등의 압전성 세라믹스 결정을 상부 전극 및 하부 전극(도시 생략) 사이에 끼운 구조를 구비한다. 압전체 소자(87)는 제어 장치(도시 생략)로부터 공급되는 토출 신호에 대응하여 부피 변화를 발생시킬 수 있게 구성되어 있다.
액적 토출 헤드(20)로부터 액적을 토출하기 위해서는, 우선, 제어 장치가 액적을 토출시키기 위한 토출 신호를 액적 토출 헤드(20)에 공급한다. 액적은 액적 토출 헤드(20)의 캐비티(91)에 유입되고 있으며, 토출 신호가 공급된 액적 토출 헤드(20)에서는, 그 압전체 소자(87)가 그 상부 전극과 하부 전극 사이에 인가된 전압에 의해 부피 변화가 발생한다. 이 부피 변화는 진동판(85)을 변형시켜, 캐비티(91)의 부피를 변화시킨다. 그 결과, 그 캐비티(91)의 노즐(81)로부터 액적이 토출된다. 액적이 토출된 캐비티(91)에는 토출에 의해 감소한 액체 재료가 새롭게 액체 재료 공급 탱크로부터 공급된다.
본 실시예에 따른 액적 토출 장치(IJ)에 구비된 액적 토출 헤드(20)는 압전체 소자에 부피 변화를 발생시켜 액적을 토출시키는 구성이지만, 발열체에 의해 액체 재료에 열을 가하여 그 팽창에 의해 액적을 토출시키는 구성일 수도 있다.
도 4는 유효 광학 영역(TE)을 포함하는 기체(P)의 평면 구성을 나타낸 모식도이며, 도 4의 (a)는 유효 광학 영역(TE)의 주변부의 구성을 나타낸 모식도, 도 4의 (b)는 그 주변부 중 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(K)을 확대하여 나타낸 모식도이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 막 패턴의 형성 방법에서는, 유효 광학 영역(유효 영역)(TE)의 주위에 비유효 영역인 더미 영역(TD)을 형성하고, 이 더미 영역(TD)에 더미의 액체 재료를 토출함으로써, 유효 광학 영역(TE)의 주위에도 유효 광학 영역(TE)과 동일한 용매 분위기를 형성한다. 더미의 액체 재료로서는, 통상 유효 광학 영역에 토출하는 것과 동일한 액체 재료인 기능액이 사용되지만, 상기 기능액에 함유되는 용매와 동일한 용매를 함유하는 다른 액체 재료, 또는 상기 용매만으로 이루어지는 액체 재료를 토출하는 것도 가능하다.
더미 영역(TD)은 유효 광학 영역(TE)의 주위를 둘러싸도록 설치되어 있고, 유효 광학 영역(TE)과 동일한 화소 구조를 갖고 있다. 더미 영역(TD)에 형성되는 화소(PD)는 유효 광학 영역(TE)에 형성되는 유효 화소(PE)에 대하여 더미 화소라고 불린다. 더미 화소(PD)는 표시에 기여하지 않는 화소이며, 통상 화소 전극이나 스위칭 소자는 형성되지 않지만, 오로지 검사를 행하기 위해 화소 전극이나 스위칭 소자를 형성하는 경우도 있다.
액적 토출법에서는, 토출된 액적을 양호한 정밀도로 소정의 화소에 배치하기 위해, 화소와 화소 사이에 뱅크라고 불리는 화소를 구획하기 위한 격벽(B)(도 5를 참조)을 형성하는 것이 일반적이다. 격벽(B)에 의해 막 패턴의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 격벽(B, B) 사이의 폭을 좁게 하는 등 격벽(B)을 적절히 형성함으로써, 막 패턴의 미세화나 세선화가 도모된다. 특히 격벽(B)의 표면에 발액 처리를 실시한 경우에는, 격벽(B)의 개구부에만 확실하게 액적을 배치하는 것이 가능해진다. 도 4에서는 격벽(B)에 의해 구획된 각각의 영역이 본 발명의 액체 수용부이며, 이들 복수의 액체 수용부 중 유효 광학 영역(TE)에 배치된 액체 수용부가 유효 화소(PE)로 되고, 더미 영역(TD)에 배치된 액체 수용부가 더미 화소(PD)로 된다.
또한, 격벽(B)을 형성하지 않고 기체(P)를 표면 처리하는 것만으로, 기능액이 배치되는 영역과 배치되지 않는 영역을 구획하는 경우도 있다. 즉, 기체(P)의 특정 영역에 기능액에 대하여 친화성(친액성)이 낮아지는 처리(발액 처리)를 실시함으로써, 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)로 되는 영역을 기능액에 대하여 상대적으로 친화성이 높은 영역(친액 영역)으로 하고, 그 이외를 기능액에 대하여 상대적으로 친화성이 낮은 영역(발액 영역)으로 하는 경우도 있다. 이 경우에는, 격벽(B)을 형성하지 않아도, 친액 영역인 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)에만 기능액을 배치하는 것이 가능하다. 본 발명에서는 이러한 친액 영역도 액체 수용부의 개념에 포함된다.
도 4의 (b)에서는 더미 화소(PD)의 형상(격벽(B)의 개구부 형상), 사이즈(격벽(B)의 개구부 면적) 및 배열 피치(인접하는 더미 화소(PD)의 중심의 간격)는 유효 화소(PE)의 형상, 사이즈 및 배열 피치와 동일하다. 즉, 유효 광학 영역(TE)과 동일한 격벽 구조가 유효 광학 영역(TE)의 주변부로 확장된 상태로 되어 있다. 이 점에 대해서는 종래와 동일하지만, 본 발명에서는 이러한 더미 영역(TD)에 대하여 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 더미의 용매 토출량을 많게 하고 있는 점이 상이하다. 예를 들어 더미 화소(PD)로의 용매 토출량은 중심부(C)로부터의 거리에 따라 3단계로 나뉘어져 있어, 중심부(C)로부터 가장 가까운 유효 광학 영역(TE)의 가장자리 중앙부의 영역(T1)에서는 용매의 토출량이 가장 적고, 중심부(C)로부터 가장 먼 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(T3)에서는 토출량이 가장 많게 되어 있으며, 그들의 중간 영역(T2)에서는 그들의 중간 토출량으로 되어 있다. 토출량이 가장 적은 영역(T1)에서의 더미 화소(PD)로의 토출량은 유효 광학 영역(TE)에서의 유효 화소(PE)로의 토출량과 동일하다.
기체(P)에 토출된 기능액의 건조는 동심원 형상으로 유효 광학 영역(TE)의 주변으로부터 진행되기 때문에, 직사각형으로 설치된 유효 광학 영역(TE)의 코너부(T3) 또는 그 근방(T2)에서는, 그 이외의 부분보다도 용매의 건조가 빨라지는 경 우가 있다. 이 때문에, 종래와 같이 단순히 더미 영역(TD)을 설치하는 것만으로는 막 두께 불균일의 발생을 충분히 회피할 수 없는 경우가 있었지만, 본 발명에서는 더미 화소(PD)로의 더미의 용매 토출량을 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 많게 하고 있기 때문에, 건조가 빠르게 진행되는 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서도 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되지 않고, 유효 광학 영역 전체에서 증발 용매 분자의 분압을 균일화하는 것이 가능하다. 즉, 종래의 방법에서는 동일한 피치, 동일한 사이즈로 형성된 더미 화소(PD)에 대하여 동일한 양의 용매만을 배치했기 때문에, 중심부(C)로부터 가장 먼 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서 용매가 빠르게 건조되었지만, 본 발명에서는 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역에서 용매의 양을 많게 하여, 유효 광학 영역(TE) 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 유효 광학 영역 전체에서 건조 속도가 균일해져 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막을 형성할 수 있다.
더미 영역(TD)에 점유하는 영역(T1∼T3)의 비율이나, 영역(T1∼T3)에서의 더미 화소(PD)로의 용매 토출량은 이들 영역(T1∼T3)에서의 기능액의 건조 속도에 의거하여 정해진다. 예를 들어 유효 광학 영역(TE)의 중심부, 유효 광학 영역(TE)의 가장자리 중앙부 및 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서 건조 시간을 측정하여 두고, 이들 부분에서의 건조 시간 차가 충분히 작아지도록 각 영역(T1∼T3)의 더미 화소(PD)로의 토출량에 분포를 부여한다. 이 경우, 건조 시간은 사용하는 용매나 기능액의 점도 등에 따라 변화되기 때문에, 상기 토출량의 분포를 정할 경우에는, 이들 요소도 충분히 고려하는 것으로 한다.
다음으로, 도 5를 이용하여 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 설명한다.
우선, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기체(P)의 유효 광학 영역(TE) 및 더미 영역(TD)(T1, T2, T3)에 격벽(B)을 형성한다.
기체(P)로서는, 유리, 석영 유리, Si 웨이퍼, 플라스틱 필름, 금속판 등 각종 것을 예시할 수 있다. 또한, 이들 각종 소재 기판의 표면에 반도체막, 금속막, 유전체막, 유기막 등이 하지층으로서 형성된 것도 포함한다.
격벽(B)의 형성은 포토리소그래피법이나 인쇄법 등 임의의 방법에 의해 행할 수 있다. 예를 들어 스핀 코팅법 등에 의해 기체(P) 전체에 격벽 재료를 형성하고, 이것을 포토리소그래피 기술에 의해 패터닝함으로써, 단층의 격벽을 형성할 수 있다. 또한, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 하층(B1)이 무기물층, 상층(B2)이 유기물층으로 된 2층 이상으로 격벽(B)을 형성할 수도 있다. 이 경우, 더미 화소(PD)에서는 하층(B1)의 패터닝을 행할 수도 있고, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이 하층(B1)의 패터닝을 행하지 않는 구성으로 할 수도 있다. 패터닝을 행하지 않을 경우는, 상층(B2)에 의해 구획된 영역이 더미 화소(PD)로 된다. 또한, 격벽(B)의 재료는 내열성, 발액성, 용제 내성(耐性), 하지 기판과의 밀착성이 우수한 것이면, 특별히 한정되지 않는다.
격벽(B)에는 필요에 따라 발액 처리나 친액 처리가 실시된다.
친액 처리로서는, 산소를 처리 가스로 한 플라스마 처리(O2 플라스마 처리 등)나, 산소 분위기 중에서의 자외선 조사 처리 등을 이용할 수 있다.
발액 처리로서는, CF4, SF6, CHF3 등의 불소 성분을 갖는 가스(불소 함유 가스)를 사용한 플라스마 처리를 이용할 수 있다. 발액 처리 대신에, 격벽(B)의 소재 자체(예를 들어 유기물층(B2)의 형성 재료)에 미리 불소기 등의 발액 성분을 충전하여 둘 수도 있다. 격벽(B)의 표면을 발액화함으로써, 격벽(B)의 개구부에만 막을 형성하고, 격벽(B)의 상면에 불필요한 막이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
격벽(B)을 형성한 후, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 격벽(B)에 의해 구획된 영역(PE, PD)에 기능액(L)을 토출한다. 기능액(L)은 막 패턴(F)을 구성하는 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 액체 재료이다.
막 패턴(F)을 구성하는 재료로서는, 전기적 기능이나 광학적 기능 등의 다양한 기능을 가진 재료(기능성 재료)를 사용할 수 있다. 예를 들어 유기 EL 소자의 발광층을 형성할 경우에는 기능성 재료로서 형광 또는 인광을 갖는 재료를 사용하면 되고, 컬러 필터를 형성할 경우에는 안료(顔料) 등의 미립자 착색 재료를 사용하면 된다. 또한, 액정 장치 등의 투명 화소 전극을 형성할 경우에는, 인듐 주석 산화물(ITO) 등의 미립자 도전 재료를 사용하면 된다.
용매로서는, 상기 기능성 재료를 용해 내지 분산시킬 수 있는 것으로서, 응집(凝集)을 일으키지 않는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 물, 알코올류, 탄화수소계 화합물, 에테르계 화합물이 적합하다.
기능액(L)의 토출에는 상술한 액적 토출 장치(IJ)를 사용한다.
더미 화소(PD)에 토출하는 용매의 양은 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 많게 한다. 이러한 영역에서는 액적의 건조 시간이 짧아지기 때문에, 토출하는 용매의 양을 모든 더미 화소(PD)에서 동일하게 하면, 유효 광학 영역(TE)의 코너부 등에서 건조 시간에 편차가 생겨, 균일한 건조를 행할 수 없게 되기 때문이다. 한편, 본 발명과 같이, 토출하는 용매의 양을 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리에 따라 조절한 경우에는, 유효 광학 영역(TE) 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않게 되어, 유효 광학 영역 전체에서 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막을 형성할 수 있다. 또한, 토출하는 용매의 양은 액적의 샷(shot) 수나, 토출하는 액체 재료 중의 용매 비율 등을 변화시킴으로써 조절할 수 있다.
본 발명의 막 패턴의 형성 방법에서는 더미 화소(PD)로의 액적 토출량이 장소에 따라 상이한 것으로 되어 있지만, 도 4와 같이 더미 화소(PD)의 배열 피치가 유효 화소(PE)의 배열 피치와 동일하면, 액적 토출 헤드(20)로부터의 액적 토출은 유효 광학 영역(TE)과 더미 영역(TD)의 양쪽에서 노즐(81)의 배열 방향 J(도 1의 각도 θ)를 고정시킨 상태로 행할 수 있다.
기능액(L)을 토출한 후, 도 5의 (c)에 나타낸 바와 같이, 기능액(L)의 용매를 건조에 의해 제거하고, 유효 화소(PE)에 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴(F)을 형성한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 유효 광학 영역(TE)의 주위에 더미의 액체 재료를 토출하고 있기 때문에, 기능액(L)을 건조시킬 때에, 유효 광학 영역(TE)에서의 증발 용매 분자의 분압이 더미 영역(TD)에서의 증발 용매 분자의 분압에 비하여 과도하게 커지지는 않는다. 특히 더미 영역(TD)에 배치되는 단위면적당 용매의 양이 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 커지고 있기 때문에, 유효 광학 영역(TE)에서 증발되는 용매 분자의 분압 및 용매의 지속 시간이 상기 유효 광학 영역(TE)의 중앙부와 주변부에서 대략 동일해지고, 그 결과, 유효 광학 영역 전체에서 막 패턴(F)의 막 두께가 균일화된다.
[변형예]
다음으로, 본 실시예의 막 패턴의 형성 방법의 변형예에 대해서 설명한다.
도 6은 본 변형예에서의 더미 화소(PD)의 평면 구성을 나타낸 모식도이다. 이 도면은 제 1 실시예에서의 도 4의 (b)에 상당하는 것이다.
도 6에서는, 더미 화소(PD)의 사이즈는 유효 화소(PE)의 사이즈보다도 큰 것으로 되어 있다. 더미 화소(PD)의 형상 및 사이즈는 영역 T1, 영역 T2 및 영역 T3 모두에 대해서 공통으로 되어 있으며, 이들 영역(T1∼T3)에서는 더미 화소(PD)에 토출되는 용매의 양만이 상이한 것으로 되어 있다. 또한, 각 영역(T1∼T3)에서의 더미 화소(PD)의 X방향 및 Y방향의 배열 피치는 유효 광학 영역(TE)에서의 유효 화소(PE)의 X방향 및 Y방향의 배열 피치와 동일하다.
도 7은 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)에 기능액(L)을 토출한 상태를 나타낸 도면이다. 더미 화소(PD)로의 기능액(L)(특히 용매) 토출량은 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리에 따라 3단계로 나뉘어져 있어, 중심부(C)로부터 가장 가까운 유효 광학 영역(TE)의 가장자리 중앙부의 영역(T1)에서는 토출량이 가장 적고, 중심부(C)로부터 가장 먼 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(T3)에서는 토출량이 가장 많게 되어 있으며, 그들의 중간 영역(T2)에서는 그들의 중간 토출량으로 되어 있다.
제 1 실시예와 같이 더미 화소(PD)의 사이즈를 유효 화소 사이즈와 동일하게 한 경우에는, 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 이간된 더미 화소(PD), 특히 유효 광학 영역(TE)의 코너부에 배치된 더미 화소(PD)에서 기능액(L)이 넘칠 가능성 이 있지만, 본 실시예에서는 이러한 더미 화소에 대해서도 이러한 결점을 발생시키지 않고, 충분한 양의 기능액(L)을 토출할 수 있다.
도 8은 더미 화소(PD)의 다른 구성을 나타낸 모식도이다.
도 8에서는, 더미 화소(PD)의 사이즈는 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 커지도록 구성되어 있다. 예를 들어 더미 화소(PD)의 사이즈는 중심부(C)로부터의 거리에 따라 3단계로 나뉘어져 있어, 중심부(C)로부터 가장 가까운 유효 광학 영역(TE)의 가장자리 중앙부의 영역(T1)에서는 사이즈가 가장 작고, 중심부(C)로부터 가장 먼 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(T3)에서는 사이즈가 가장 크게 되어 있으며, 그들의 중간 영역(T2)에서는 그들의 중간 사이즈로 되어 있다. 사이즈가 가장 작은 영역(T1)에서의 더미 화소(PD)의 사이즈는 유효 광학 영역(TE)에서의 유효 화소(PE)의 사이즈와 동일하다. 또한, 각 영역(T1∼T3)에서의 더미 화소(PD)의 X방향 및 Y방향의 배열 피치는 유효 광학 영역(TE)에서의 유효 화소(PE)의 X방향 및 Y방향의 배열 피치와 동일하다.
도 9는 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)에 기능액(L)을 토출한 상태를 나타낸 도면이다. 더미 화소(PD)로의 기능액(L)(특히 용매) 토출량은 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리에 따라 3단계로 나뉘어져 있어, 중심부(C)로부터 가장 가까운 유효 광학 영역(TE)의 가장자리 중앙부의 영역(T1)에서는 토출량이 가장 적고, 중심부(C)로부터 가장 먼 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(T3)에서는 토출량이 가장 많게 되어 있으며, 그들의 중간 영역(T2)에서는 그들의 중간 토출량으로 되어 있다.
이 구성에 의하면, 보다 많은 기능액(L)이 토출되는 더미 화소(PD), 즉, 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 이간된 더미 화소(PD)일수록 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 이들 중심부(C)로부터 이간된 더미 화소(PD)에서 기능액(L)이 넘치는 등의 결점을 회피할 수 있다. 또한, 더미 화소(PD)에 배치된 기능액(L)은 유동에 의해 더미 화소(PD)의 사이즈로 습윤 확장되기 때문에, 건조가 빠르고, 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되기 쉬운 유효 광학 영역(TE)의 코너부 영역(T3)에서 보다 큰 용매의 표면적을 얻을 수 있다. 용매 분자의 분압은 토출된 용매의 표면적에 의존하고, 표면적이 클수록 증발되는 용매 분자의 분압은 커지지만, 본 발명에서는 용매의 표면적을 더미 화소(PD)의 사이즈 및 용매의 양에 따라 조절하고, 이것에 의해 유효 광학 영역(TE) 내에서 용매 분자의 분압에 편중이 생기지 않도록 하고 있기 때문에, 보다 균일성이 높은 막을 형성할 수 있다.
[제 2 실시예]
다음으로, 본 발명의 디바이스의 제조 방법의 일 실시예로서, 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 유기 EL 장치의 제조 방법에 적용한 예에 대해서 설명한다. 이 유기 EL 장치는 유기 EL 소자를 화소로서 기체 위에 배열하여 이루어지는 유기 EL 장치이며, 예를 들어 전자 기기 등의 표시 수단으로서 적합하게 사용할 수 있는 것이다.
도 10은 유기 EL 장치(70)의 회로 구성도, 도 11은 상기 유기 EL 장치(70)의 평면 모식도이다. 또한, 도 12는 상기 유기 EL 장치(70)에 구비된 각 화소(PE)의 평면 구조를 나타낸 도면으로서, (a)는 화소(PE) 중 주로 TFT 등의 화소 구동 부분을 나타낸 도면, (b)는 화소 사이를 구획하는 뱅크(격벽)(B) 등을 나타낸 도면이다. 또한, 도 13은 도 12의 (a)의 A-A선에 따른 단면 구성을 나타낸 도면이다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 장치(70)는 유리 등으로 이루어지는 기체 위에 복수의 주사선(배선, 전력 도통부)(131)과, 이들 주사선(131)에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 복수의 신호선(배선, 전력 도통부)(132)과, 이들 신호선(132)에 병렬로 연장되는 복수의 공통 급전선(배선, 전력 도통부)(133)이 각각 배선된 것이며, 주사선(131) 및 신호선(132)의 각 교점마다 화소(PE)가 설치되어 구성된 것이다.
신호선(132)에 대해서는 시프트 레지스터, 레벨 시프터, 비디오 라인, 및 아날로그 스위치 등을 구비하는 데이터측 구동 회로(72)가 설치되어 있다. 한편, 주사선(131)에 대해서는 시프트 레지스터 및 레벨 시프터 등을 구비하는 주사측 구동 회로(73)가 설치되어 있다. 또한, 화소(PE)의 각각에는 주사선(131)을 통하여 주사 신호가 게이트 전극에 공급되는 스위칭용 TFT(박막 트랜지스터)(142)와, 이 스위칭용 TFT(박막 트랜지스터)(142)를 통하여 신호선(132)으로부터 공급되는 화상 신호(전력)를 유지하는 유지 용량(cap)과, 유지 용량(cap)에 의해 유지된 화상 신호가 게이트 전극에 공급되는 구동용 TFT(143)와, 이 구동용 TFT(143)를 통하여 공통 급전선(133)에 전기적으로 접속했을 때에 공통 급전선(133)으로부터 구동 전류가 유입되는 화소 전극(141)과, 이 화소 전극(141)과 공통 전극(154) 사이에 삽입되는 발광부(140)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 화소 전극(제 1 전극)(141)과 공통 전극(제 2 전극)(154)과, 유기 기능층으로 이루어지는 발광부(140)에 의해 구성되는 소자가 유기 EL 소자이다.
이러한 구성 하에서, 주사선(131)이 구동되어 스위칭용 TFT(142)가 온(on)으로 되면, 그 때의 신호선(132)의 전위가 유지 용량(cap)에 유지되고, 상기 유지 용량(cap)의 상태에 따라 구동용 TFT(143)의 온·오프 상태가 결정된다. 그리고, 구동용 TFT(143)의 채널을 통하여 공통 급전선(133)으로부터 화소 전극(141)에 전류가 흐르고, 또한 발광부(140)를 통하여 공통 전극(154)에 전류가 흐름으로써, 발광부(140)는 이것을 흐르는 전류량에 따라 발광하게 된다.
다음으로, 평면 구조를 살펴보면, 도 11에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 유기 EL 장치(70)는 기체(P)의 중앙부에 매트릭스 형상으로 배치된 유기 EL 소자(200)를 구비하고 있다.
기체(P)는 예를 들어 유리 등의 투명 기판이며, 기체(P)의 중앙에 위치하고, 유기 EL 소자(200)가 기능하는 유효 광학 영역(유효 영역)(TE)과, 기체(P)의 가장자리에 위치하여 유효 광학 영역(TE)의 외주에 배치되고, 유기 EL 소자(200)가 기능하지 않는 더미 영역(비유효 영역)(TD)으로 구획되어 있다. 유효 광학 영역(TE)은 매트릭스 형상으로 배치된 유기 EL 소자(200)에 의해 형성되는 영역이며, 유효 표시 영역이라고도 한다. 또한, 더미 영역(TD)은 유효 광학 영역(TE)에 인접하여 형성되고, 표시에 기여하지 않는 영역으로서 구성되어 있다. 유효 광학 영역(TE) 및 더미 영역(TD)에는 유효 화소 및 더미 화소를 구획하는 뱅크(B)(도 12 참조)가 형성되어 있으며, 뱅크(B)에 의해 구획되는 영역이 기능액을 배치하기 위한 액체 수용부를 구성하고, 이 액체 수용부에 기능액을 배치함으로써, 후술하는 유기 EL 소자의 유기 기능층이 형성된다. 즉, 뱅크(B)에 의해 구획된 영역이 화소이며, 유효 광학 영역(TE)에는 각각의 화소에 유기 EL 소자(200)가 형성되어 있다.
공통 전극(154)은 그 일단(一端)이 기체(P) 위에 형성된 음극용 배선(도시 생략)에 접속되어 있고, 도 11에 나타낸 바와 같이, 이 배선의 일단부(一端部)(154a)가 플렉시블 기판(75) 위의 배선(77)에 접속되어 있다. 또한, 이 배선(77)은 플렉시블 기판(75) 위에 구비된 구동 IC(76)(구동 회로)에 접속되어 있다.
또한, 도 11에 나타낸 바와 같이, 기체(P)의 더미 영역(TD)에는 상술한 공통 급전선(133)(133R, 133G, 133B)이 배선되어 있다. 또한, 도 11에 있어서, 유효 광 학 영역(TE)의 도시 양 옆쪽에는 상술한 주사측 구동 회로(73, 73)가 배치되어 있다. 이 주사측 구동 회로(73, 73)는 더미 영역(TD) 하측의 회로 소자부에 설치되어 있다. 또한, 회로 소자부에는 주사측 구동 회로(73, 73)에 접속되는 구동 회로용 제어 신호 배선(73a)과 구동 회로용 전원 배선(73b)이 설치되어 있다. 또한, 도 11에 있어서, 유효 광학 영역(TE)의 도시 상측에는 검사 회로(74)가 배치되어 있다. 이 검사 회로(74)에 의해, 제조 도중이나 출하 시의 표시 장치의 품질, 결함의 검사를 행할 수 있다.
다음으로, 도 12의 (a)에 나타낸 화소(PE)의 평면 구조를 살펴보면, 화소(PE)는 평면으로부터 보아 대략 사각형 형상인 화소 전극(141)의 4개의 변이 신호선(132), 공통 급전선(133), 주사선(131) 및 다른 화소 전극용 주사선(도시 생략)에 의해 둘러싸인 배치로 되어 있다. 또한, 도 13에 나타낸 화소(PE)의 단면 구조를 살펴보면, 기체(P) 위에 구동용 TFT(143)가 설치되어 있고, 구동용 TFT(143)를 덮어 형성된 복수의 절연막을 통하여 기체(P) 위에 유기 EL 소자(200)가 형성되어 있다. 유기 EL 소자(200)는 기체(P) 위에 세워 설치된 뱅크(B)에 의해 둘러싸인 영역 내에 설치된 유기 기능층(140)을 주체로 하여 구성되고, 이 유기 기능층(140)을 화소 전극(141)과 공통 전극(154) 사이에 삽입한 구성을 구비한다.
여기서, 도 12의 (b)에 나타낸 평면 구조를 살펴보면, 뱅크(B)는 화소 전극(141)의 형성 영역에 대응한 평면으로부터 보아 대략 사각형 형상인 개구 부(149b, 151)를 갖고 있으며, 이 개구부(149b, 151)에 상술한 유기 기능층(140)이 형성되게 되어 있다.
도 13에 나타낸 바와 같이, 구동용 TFT(143)는 반도체막(210)에 형성된 소스 영역(143a), 드레인 영역(143b), 및 채널 영역(143c)과, 반도체층 표면에 형성된 게이트 절연막(220)을 통하여 채널 영역(143c)에 대향하는 게이트 전극(143A)을 주체로 하여 구성되어 있다. 반도체막(210) 및 게이트 절연막(220)을 덮는 제 1 층간절연막(230)이 형성되어 있으며, 이 제 1 층간절연막(230)을 관통하여 반도체막(210)에 이르는 컨택트 홀(232, 234) 내에 각각 드레인 전극(236), 소스 전극(238)이 매설(埋設)되고, 각각의 전극은 드레인 영역(143b), 소스 영역(143a)에 도전 접속되어 있다. 제 1 층간절연막(230)에는 제 2 층간절연막(240)이 형성되어 있고, 이 제 2 층간절연막(240)에 관통 설치된 컨택트 홀에 화소 전극(141)의 일부가 매설되어 있다. 그리고, 화소 전극(141)과 드레인 전극(236)이 도전 접속됨으로써, 구동용 TFT(143)와 화소 전극(141)(유기 EL 소자(200))이 전기적으로 접속되어 있다. 화소 전극(141)의 가장자리부에 일부 올라타게 하여 무기 절연 재료로 이루어지는 무기 뱅크(제 1 격벽층)(149)가 형성되어 있다. 무기 뱅크(149) 위에는 유기 재료로 이루어지는 유기 뱅크(제 2 격벽층)(150)가 적층되고, 이들 무기 뱅크(149) 및 유기 뱅크(150)에 의해, 유기 EL 장치(71)에서의 격벽 부재가 형성되어 있다.
상기 유기 EL 소자(200)는 화소 전극(141) 위에 전하 수송층으로서의 정공 주입층(140A)과 발광층(140B)을 적층하고, 이 발광층(140B)과 유기 뱅크(150)를 덮 는 공통 전극(154)을 형성함으로써 구성되어 있다. 정공 주입층(140A)은 화소 전극(141)을 덮어 형성되어 있고, 그 가장자리부는 유기 뱅크(150)의 하층 측에 설치된 무기 뱅크(149) 중 유기 뱅크(150)로부터 화소 전극(141) 중앙 측으로 돌출되어 배치된 부분도 덮어 형성되어 있다.
기체(P)로서는, 소위 보텀 이미션형(bottom-emission type) 유기 EL 장치의 경우, 기체(P) 측으로부터 광을 취출(取出)하는 구성이기 때문에, 유리 등의 투명 기판이 사용된다. 한편, 소위 톱 이미션형(top-emission type) 유기 EL 장치의 경우에는, 유기 EL 소자(200)가 배열 설치된 측으로부터 광을 취출하는 구성이기 때문에, 유리 등의 투명 기판 이외에, 불투명 기판도 사용할 수 있다. 불투명 기판으로서는, 예를 들어 알루미나 등의 세라믹스, 스테인리스스틸 등의 금속 시트에 표면 산화 등의 절연 처리를 실시한 것, 또는 열경화성 수지나 열가소성 수지, 더 나아가서는 그 필름(플라스틱 필름) 등을 예시할 수 있다.
화소 전극(141)은, 기체(P)를 통하여 광을 취출하는 보텀 이미션형의 경우에는, ITO(인듐 주석 산화물) 등의 투광성 도전 재료에 의해 형성되지만, 톱 이미션형의 경우에는 투광성일 필요는 없으며, 금속 재료 등의 적당한 도전 재료에 의해 형성할 수 있다.
공통 전극(154)은 발광층(140B)과 뱅크(B)의 상면, 더 나아가서는 뱅크(B)의 측면부를 형성하는 벽면을 덮은 상태로 기체(P) 위에 형성된다. 이 공통 전극(154)을 형성하기 위한 재료로서는, 톱 이미션형의 경우, 투명 도전 재료가 사용된다. 투명 도전 재료로서는 ITO가 적합하지만, 다른 투광성 도전 재료여도 상관 없다. 보텀 이미션형의 경우에는, 투명 도전 재료 이외에, 알루미늄 등의 불투명 또는 광반사성을 갖는 도전 재료를 사용할 수 있다.
공통 전극(154)의 상층 측에는 음극 보호층을 형성할 수도 있다. 이러한 음극 보호층을 설치함으로써, 제조 프로세스 시에 공통 전극(154)이 부식되는 것을 방지하는 효과가 얻어지고, 무기 화합물 예를 들어 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 질산화물 등의 실리콘 화합물에 의해 형성할 수 있다. 공통 전극(154)을 무기 화합물로 이루어지는 음극 보호층으로 덮음으로써, 무기 산화물로 이루어지는 공통 전극(154)으로의 산소 등의 침입을 양호하게 방지할 수 있다. 또한, 이러한 음극 보호층은 공통 전극(154)의 평면 영역 외측의 기체 위까지 10㎚ 내지 300㎚ 정도의 두께로 형성된다.
[유기 EL 장치의 제조 방법]
다음으로, 유기 EL 장치(70)의 제조 방법에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시예에서는 도 10 내지 도 13에 나타낸 구성을 구비한 유기 EL 장치를 액적 토출법을 이용하여 제조하는 예에 대해서 설명한다.
또한, 이하에 나타낸 순서나 액체 재료의 재료 구성은 일례로서 이것에 한정되지는 않는다. 또한, 액적 토출 장치에 대해서는 상술한 것을 사용할 수 있다.
이하, 상기 유기 EL 장치(70)에 구비된 유기 EL 소자(200)의 제조 방법에 대해서 도 14 및 도 15를 참조하면서 설명한다. 도 14 및 도 15에는 유효 광학 영역(TE)과 더미 영역(TD)의 경계 부분이 도시되어 있다.
우선, 도 14의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기체(P) 위에 화소 전극(141), 상기 화소 전극(141)을 구동할 수 있는 구동용 TFT(143)가 형성되어 있다. 도 14의 (a)에서는, 유효 광학 영역(TE)에만 화소 전극(141)을 형성하고 있지만, 더미 영역(TD)에 대해서도 동일한 화소 전극을 형성할 수 있다. 이 경우, 더미 영역(TD)에 형성되는 화소(더미 화소)는 검사용 소자로서 사용하는 것이 가능하다.
다음으로, 화소 전극(141)의 가장자리부와 일부 평면적으로 중첩되도록 산화실리콘 등의 무기 절연 재료로 이루어지는 무기 뱅크(149)를 형성한다. 구체적으로는, 화소 전극(141) 및 평탄화 절연막(240)을 덮도록 산화실리콘막을 형성한 후, 공지의 포토리소그래피 기술을 이용하여 산화실리콘막을 패터닝하고, 화소 전극(141)의 표면을 부분적으로 개구시킴으로써 형성할 수 있다. 도 14의 (a)에서는, 무기 뱅크(149)의 패터닝을 유효 광학 영역(TE)에서만 행하고 있지만, 더미 영역(TD)에 대해서도 동일한 패터닝을 행할 수 있다.
다음으로, 도 14의 (b)에 나타낸 바와 같이, 무기 뱅크(149) 위에 아크릴, 폴리이미드 등의 유기 절연 재료로 이루어지는 유기 뱅크(150)를 형성한다.
유기 뱅크(150)는 무기 뱅크(149)와 함께 유기 EL 소자(200)를 구획하는 뱅크(격벽)(B)를 형성하는 것이다. 즉, 유효 광학 영역(TE)에서는 무기 뱅크(149) 및 유기 뱅크(150)에 의해 구획된 각각의 영역이 본 발명의 액체 수용부이며, 이들 액체 수용부가 각각 유효 화소(PE)로 된다. 한편, 더미 영역(TD)에서는 무기 뱅 크(149)가 패터닝되어 있지 않기 때문에 , 유기 뱅크(150)에 의해 구획된 각각의 영역이 본 발명의 액체 수용부이며, 이들 액체 수용부가 각각 더미 화소(PD)로 된다.
더미 화소(PD)의 사이즈(즉, 뱅크(B)의 개구부(151) 면적)는 유효 화소(PE)의 사이즈보다도 크게 되어 있다. 즉, 유효 화소보다도 많은 기능액을 유지할 수 있게 되어 있으며, 이것에 의해, 유효 광학 영역 전체에서 기능액의 건조를 균일하게 진행시키는 것으로 되어 있다.
유기 뱅크(150)의 높이는 예를 들어 1㎛∼2㎛ 정도로 설정되고, 기체(P) 위에서 유기 EL 소자(200)의 구획 부재로서 기능한다. 이러한 구성 하에서, 유기 EL 소자(200)의 정공 주입층이나 발광층의 형성 장소, 즉, 이들의 형성 재료의 도포 위치와 그 주위의 유기 뱅크(150) 사이에 충분한 높이의 단차(段差)로 이루어지는 개구부(151)가 형성된다. 유기 뱅크(150)의 개구부(151)와 무기 뱅크(149)의 개구부(149b)는 서로 연통(連通)되어 있으며, 화소 전극(141)은 이들 개구부 내에서 노출된 상태로 되어 있다.
유기 뱅크(150)의 개구부(151)의 X방향 및 Y방향에서의 간격(배열 피치)은 유효 화소(PE)와 더미 화소(PD)에서 동일한 간격으로 된다. 즉, 유효 화소(PE)와 더미 화소(PD)는 동일한 배치 밀도로 형성되지만, 더미 화소의 배치 밀도는 영역(T1, T2, T3)에 따라 상이하게 할 수도 있다.
유기 뱅크(150)를 형성할 때에는, 유기 뱅크(150)의 개구부(151)의 벽면을 무기 뱅크(149)의 개구부(149b)로부터 약간 외측으로 후퇴시켜 형성하는 것이 좋다. 이렇게 유기 뱅크(150)의 개구부(151) 내에 무기 뱅크(149)를 일부 노출시켜 둠으로써, 유기 뱅크(150) 내에서의 액체 재료의 습윤 확장을 양호하게 할 수 있다.
유기 뱅크(150)를 형성한 후, 유기 뱅크(150) 및 화소 전극(141)을 포함하는 기체 위의 영역에 대하여 발액 처리를 실시한다. 유기 뱅크(150)는 유기 EL 소자(200)를 구획하는 구획 부재로서 기능하기 때문에, 액적 토출 헤드(20)로부터 토출되는 기능액에 대하여 비친화성(발액성)을 나타내는 것인 것이 바람직하다. 발액 처리로서는, 제 1 실시예에서 설명한 것을 이용할 수 있고, 이러한 발액 처리에 의해, 유기 뱅크(150)에 선택적으로 비친화성을 발현시킬 수 있다.
이러한 발액 처리에서는, 기체(P)의 일면측 전체에 처리를 실시했다고 하여도, ITO막이나 금속막으로 이루어지는 무기 재료의 화소 전극(141) 표면은 유기 재료로 이루어지는 유기 뱅크(150)의 표면보다도 발액화되기 어려워, 유기 뱅크(150)의 표면만이 선택적으로 발액화되고, 유기 뱅크(150)에 의해 둘러싸인 영역 내에 기능액에 대한 친화성이 상이한 복수의 영역이 형성된다.
또한, 발액 처리에 앞서, 무기 뱅크(149) 및 화소 전극(141)의 표면에 친액 처리를 실시할 수도 있다. 친액 처리로서는, 제 1 실시예에서 설명한 것을 이용할 수 있다. 친액 처리로서 O2 플라스마 처리를 행한 경우에는, 화소 전극(141)인 ITO 위의 세정, 일함수의 조정도 겸할 수 있다. 또한, 친액 처리 후에 발액 처리를 행 한 경우에는, 화소 전극(141)이나 무기 뱅크(149)의 표면도 발액 처리의 영향을 다소 받지만, 유기 뱅크(150)에 비하여 이들의 영향이 작아 습윤성에 영향을 주는 일은 적다.
기체(P) 위에 뱅크(B)를 형성한 후, 도 14의 (c)에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드에 의해, 정공 주입층(140A)을 형성하기 위한 기능액(L1)을 뱅크(B)에 의해 구획된 도포 위치(더미 영역(TD)에서는, 유기 뱅크(150)에 의해 둘러싸인 영역)에 선택적으로 도포한다. 기능액(L1)은 정공 주입층 형성 재료를 용매에 용해 내지 분산시킨 것이다.
정공 주입층 형성 재료로서는, 폴리머 전구체가 폴리테트라히드로티오페닐페닐렌인 폴리페닐렌비닐렌, 1,1-비스-(4-N,N-디트릴아미노페닐)시클로헥산, 트리스(8-히드록시퀴놀리놀)알루미늄, 폴리스티렌설폰산, 폴리에틸렌디옥시티오펜과 폴리스티렌설폰산의 혼합물(PEDOT/PSS) 등을 예시할 수 있다. 또한, 용매로서는, 이소프로필알코올, N-메틸피롤리돈, 1,3-디메틸-이미다졸리논 등의 극성 용매를 예시할 수 있다.
더미 화소(PD)에 토출하는 기능액(L1)의 양(특히 용매의 양)은 유효 영역(TE)의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 한다. 이러한 영역에서는 액적의 건조 속도가 빠르기 때문에, 토출하는 용매의 양을 모든 더미 화소(PD)에서 동일하게 하면, 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서 건조 시간에 편차가 생겨, 균일한 건조를 행 할 수 없게 되기 때문이다. 한편, 토출하는 용매의 양을 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리에 따라 조절한 경우에는, 유효 광학 영역(TE) 내에서 용매의 지속 시간에 편중이 생기지 않게 되어, 유효 광학 영역 전체에서 막 두께 불균일이나 막의 편중 등이 없는 고품질 막을 형성할 수 있다.
기능액(L1)이 액적 토출 헤드로부터 기체(P) 위에 토출되면, 기능액(L1)은 유동성에 의해 수평 방향으로 확장되려고 하지만, 도포된 위치를 둘러싸 뱅크(B)가 형성되어 있기 때문에, 기능액(L1)은 뱅크(B)를 넘어 그 외측으로 확장되지 않는다. 또한, 화소 전극(141)이나 무기 뱅크(149)의 표면은 양호한 친액성을 유지한 상태이기 때문에, 토출된 기능액(L1)은 화소 전극 등의 표면 전체에 도포 확장되어 균일한 도포막을 형성한다.
기체(P) 위에 기능액(L1)을 배치한 후, 도 14의 (d)에 나타낸 바와 같이, 가열 또는 광조사에 의해 기능액(L1)의 용매를 증발시켜 화소 전극(141) 위에 고형(固形)의 정공 주입층(140A)(막 패턴)을 형성한다. 또는, 대기 환경 하 또는 질소 가스 분위기 하에서 소정 온도 및 시간에서 소성(燒成)하도록 할 수도 있다. 또는, 대기압보다 낮은 압력 환경 하(감압(減壓) 환경 하)에 배치함으로써 용매를 제거하도록 할 수도 있다.
이 때, 단위면적당 토출되는 더미의 기능액(L1) 양이 유효 광학 영역(TE)의 중심부로부터 먼 영역일수록 커지고 있기 때문에, 건조가 빠르게 진행되는 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서도 용매 분자의 분압이 급격하게 저하되지 않고, 유효 광 학 영역 전체에서 건조 속도가 균일해진다. 이 때문에, 얻어지는 정공 주입층(140A)도 막 두께, 막질이 균일하고, 그 표면의 평탄성도 우수한 것으로 된다.
이어서, 도 15의 (a)에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드로부터 발광층(140B)을 형성하기 위한 기능액(L2)을 뱅크(B) 내의 정공 주입층(140A) 위에 선택적으로 도포한다. 기능액(L2)은 발광층 형성 재료를 용매에 용해 내지 분산시킨 것이다.
발광층 형성 재료로서는, 형광 또는 인광을 발광할 수 있는 공지의 고분자 발광 재료이다. 폴리플루오렌 유도체(PF), 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체(PPV), 폴리페닐렌 유도체(PP), 폴리파라페닐렌 유도체(PPP), 폴리비닐카르바졸(PVK), 폴리티오펜 유도체, 폴리디아킬플루오렌(PDAF), 폴리플루오렌벤조티아디아졸(PFBT), 폴리알킬티오펜(PAT)이나, 폴리메틸페닐시란(PMPS) 등의 폴리실란계 등을 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 이들 발광 재료에 페릴렌계 색소, 쿠마린계 색소, 로다민계 색소 등의 고분자계 재료나, 루브린, 페릴렌, 9,10-디페닐안트라센, 테트라페닐부타디엔, 나일레드, 쿠마린6, 퀴나크리돈 등의 저분자 재료를 도핑하여 사용할 수 있다.
상기 발광층 형성 재료에 대해서는, 극성 용매에 용해 내지 분산시켜 액체 재료로 하고, 이 액체 재료를 액적 토출 헤드로부터 토출하는 것이 바람직하다. 극성 용매는 상기 발광 재료 등을 용이하게 용해 또는 균일하게 분산시킬 수 있기 때문에, 액적 토출 헤드의 노즐 구멍에서의 발광층 형성 재료 중의 고형분이 부착되거나 막힘을 일으키는 것을 방지할 수 있다.
이러한 극성 용매로서, 구체적으로는 물, 메탄올, 에탄올 등의 물과 상용성이 있는 알코올, N,N-디메틸포름아미드(DMF), N-메틸피롤리돈(NMP), 디메틸이미다졸린(DMI), 디메틸설폭시드(DMSO), 크실렌, 시클로헥실벤젠, 2,3-디히드로벤조푸란 등의 유기 용매 또는 무기 용매를 예시할 수 있고, 이들 용매를 2종 이상 적절히 혼합시킨 것일 수도 있다.
발광층(140B)의 형성은 적색의 발색광을 발광하는 발광층 형성 재료를 함유하는 기능액, 녹색의 발색광을 발광하는 발광층 형성 재료를 함유하는 기능액, 청색의 발색광을 발광하는 발광층 형성 재료를 함유하는 기능액을 각각 대응하는 유효 화소(PE)에 토출함으로써 행한다.
도 15의 (a)에서는 적색 유효 화소에 기능액(L2)을 토출하는 공정이 도시되어 있다. 이 공정에서는, 정공 주입층(140A)을 형성한 것과 동일하게, 더미 화소(PD)에도 동일한 기능액(L2)을 토출한다. 또한, 도 15의 (a)에서는 기능액(L2)을 모든 더미 화소(PD)에 토출하고 있지만, 일부 더미 화소(PD)에만 토출하는 것으로 할 수도 있다.
기능액(L2)을 토출한 후, 기능액(L2) 중의 용매를 증발시킨다. 이 공정에 의해, 도 15의 (b)에 나타낸 바와 같이, 적색 유효 화소(PE)의 정공 주입층(140A) 위에 고형의 적색 발광층(140B)(막 패턴)이 형성되고, 이것에 의해 정공 주입층(140A)과 발광층(140B)으로 이루어지는 유기 기능층(140)이 얻어진다.
이 때, 더미 영역(TD)에 배치하는 기능액의 양 및 표면적이 유효 광학 영역(TE)의 중심부로부터의 거리에 따라 적절히 제어되고 있기 때문에, 유효 광학 영역(TE) 전체에서 건조 속도가 균일해져, 막 두께 및 막질이 균일한 것으로 된다. 또한, 기능액(L2)이 배치되는 정공 주입층(140A)의 표면이 양호하게 평탄화되어 있기 때문에, 그 위에 형성되는 발광층(140B)도 양호한 평탄성을 구비하여 형성되고, 보다 균일하며 양호한 발광 특성, 신뢰성을 구비한 발광층으로 된다.
모든 유효 화소(PE)에 발광층(140B)을 형성한 후, 도 15의 (c)에 나타낸 바와 같이, 기체(P)의 표면 전체에 ITO 등으로 이루어지는 공통 전극(154)을 형성하고, 필요에 따라, 공통 전극(154)의 표면에 보호막(155)을 형성한다. 이것에 의해, 유기 EL 소자(200)가 완성된다.
또한, 더미 화소(PD)에는 적색, 녹색 및 청색의 3개의 발광층 형성 재료가 형성되지만, 도 15의 (c)에서는 이들을 하나로 통합하여 부호 140D로 나타낸다.
본 실시예의 유기 EL 장치의 제조 방법에서는, 더미 영역(TD)에 유지되는 단위면적당 용매의 양 및 표면적을 유효 광학 영역(TE)의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하고 있기 때문에, 기능액의 건조 공정에서 더미 영역(TD)에서의 용매의 증발 속도를 유효 광학 영역(TE)에서의 용매의 증발 속도에 근접시킬 수 있다. 이 때문에, 유효 광학 영역(TE)의 외주부와 중앙부에서 균일한 막 두께의 정공 주입층 또는 발광층을 형성할 수 있게 되고, 이것에 의해, 소자 특성(표시 특성)에 불균일이 적은 신뢰성이 우수한 유기 EL 장치를 용이하게 제공할 수 있다.
[제 3 실시예]
다음으로, 본 발명의 디바이스의 제조 방법의 일 실시예로서, 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 컬러 필터 기판의 제조 방법에 적용한 예에 대해서 설명한다. 이 컬러 필터 기판은 예를 들어 액정 표시 패널의 색표시 수단으로서 적합하게 적용할 수 있는 것이다.
도 16은 본 실시예의 컬러 필터 기판의 제조 방법을 나타낸 개념도이다.
이 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 유리나 플라스틱 등으로 이루어지는 기체(P) 위에 상술한 액적 토출 헤드(20)를 사용하여 복수의 컬러 필터(F)(FR, FG, FB)를 형성한다. 생산성을 향상시키는 관점에서, 기체(P)로서는 유리나 플라스틱 등으로 이루어지는 대면적 기판(대형 기판)을 사용하고, 이 대형 기판(P) 위에 형성된 복수의 패널 영역(TE) 내부에 도트 형상으로 배열된 복수의 컬러 필터(F)를 형성한다.
패널 영역(TE)은 표시용 컬러 필터(F)가 형성되는 영역이며, 본 발명의 유효 영역에 상당하는 것이다. 대형 기판(P)에서 패널 영역(TE)의 외측 영역은 표시에 기여하지 않는 더미 영역(비유효 영역)(TD)이다. 패널 영역(TE) 및 더미 영역(TD)에는 뱅크(격벽)(B)가 형성되어 있고, 뱅크(B)에 의해 구획되는 각각의 영역이 본 발명의 액체 수용부이며, 이들 액체 수용부 중 패널 영역(TE)에 배치된 액체 수용부가 유효 화소(PE)로 되고, 더미 영역(TD)에 배치된 액체 수용부가 더미 화소(PD)로 된다. 컬러 필터(F)는 유효 화소(PE)인 액체 수용부에 안료 등의 미립자 착색 재료를 함유하는 기능액을 배치함으로써 형성된다.
각 패널 영역(TE)은 나중에 대형 기판(P)을 절단함으로써, 표시 패널에 적합한 컬러 필터 기판으로서 사용할 수 있다. 패널 영역(TE)에는 적색 착색 재료를 함유하는 적색 컬러 필터(FR), 녹색 착색 재료를 함유하는 녹색 컬러 필터(FG), 및 청색 착색 재료를 함유하는 청색 컬러 필터(FB)가 설치되어 있으며, 이들 컬러 필터(FR, FG, FB)는, 예를 들어 도 16의 (b)에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드(20)를 화살표 A1 및 화살표 A2로 나타낸 방향으로 복수회 주주사시키면서, 이들 주주사의 동안에, 적색 착색 재료를 함유하는 기능액, 녹색 착색 재료를 함유하는 기능액, 및 청색 착색 재료를 함유하는 기능액을 각각 복수의 노즐(81)로부터 소정의 유효 화소(PE)에 선택적으로 토출함으로써 형성된다.
여기서, 컬러 필터 기판은 적색, 녹색, 청색의 각색 컬러 필터를 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등의 형태로 배열함으로써 제조된다. 즉, 도 16의 (b)에 나타낸 액적 토출 헤드(20)에 의한 컬러 필터(F)의 형성은 적색, 녹색, 청색 중의 1색만을 토출하는 액적 토출 헤드(20)를 적색, 녹색, 청색의 3색에 대응 하여 미리 3종류 준비하여 두고, 이들 액적 토출 헤드(20)를 상기 3색에 대응하여 차례로 사용하여, 1매의 대형 기판(P) 위에 적색, 녹색, 청색의 3색 배열을 형성함으로써 실행된다.
도 17에 구체적인 제조 공정을 나타낸다.
도 17에는 패널 영역(TE)과 더미 영역(TD)의 경계 부분이 도시되어 있다. 패널 영역(TE)에는 적색 컬러 필터(FR)가 형성되는 적색 유효 화소, 녹색 컬러 필터(FG)가 형성되는 녹색 유효 화소, 및 청색 컬러 필터(FB)가 형성되는 청색 유효 화소의 3개 유효 화소(PE)가 도시되어 있다.
우선, 도 17의 (a)에 나타낸 바와 같이, 대형 기판(P)의 한쪽 면에 뱅크(B)를 형성한다.
뱅크(B)는 컬러 필터(F)가 형성되는 영역을 구획하는 구획 부재로서 기능하는 것이다. 뱅크(B)는 패널 영역(TE), 및 상기 패널 영역(TE)의 주변 영역(비유효 영역)에 형성된다. 패널 영역(TE)에 형성되는 뱅크(B)는 표시 패널의 화소 패턴에 대응하는 개구부를 갖고 있다. 본 발명의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 뱅크(B)에 의해 구획된 영역에 착색 재료를 함유하는 기능액이 배치되고, 이 기능액이 건조됨으로써, 대형 기판(P) 위에 컬러 필터(막 패턴)(F)가 형성된다. 이 경우, 뱅크(B)에 의해 컬러 필터(F)의 형상이 규정되기 때문에, 예를 들어 인접하는 뱅크(B)의 폭을 좁게 하는 등 뱅크(B)를 적절히 형성함으로써, 컬러 필터(F)의 미 세화가 도모된다.
뱅크(B)의 형성 방법은 제 2 실시예의 유기 뱅크(150)의 형성 방법과 동일하다. 즉, 대형 기판(P) 위에 아크릴, 폴리이미드 등의 유기 절연 재료를 형성하고, 이것을 포토리소그래피 기술에 의해 패터닝함으로써, 원하는 형상의 뱅크(B)를 형성한다. 유기 절연 재료로서 투광성이 없는 재료(예를 들어 흑색 수지)를 사용한 경우에는, 뱅크(B)를 블랙 매트릭스로서 기능시킬 수 있다. 뱅크(B)의 표면에는 필요에 따라 발액 처리를 실시할 수 있다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 더미 화소(PD)의 사이즈(뱅크(B)의 개구부 사이즈)는 패널 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리 R1, R2에 따라 상이하며, 중심부(C)에 가장 가까운 영역(T1)에서는 더미 화소(PD)의 사이즈가 가장 작고, 중심부(C)로부터 이간됨에 따라 더미 화소(PD)의 사이즈는 커지고 있다. 즉, 더미 영역(TD)에 유지되는 단위면적당 기능액의 양 및 표면적은 패널 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 커지도록 구성되어 있고, 이것에 의해, 패널 영역 전체에서 기능액의 건조가 균일하게 진행하는 것으로 되어 있다.
더미 화소(PD)의 사이즈는 패널 영역(TE)의 가장자리 중앙부로부터 코너부를 향하여 복수 단계로 변화되고 있는 것으로 된다. 즉, 패널 영역(TE)의 가장자리를 따라 더미 화소(PD)의 사이즈가 상이한 복수의 영역(T1, T2, T3)이 설치되어 있으 며, 각각의 영역에서는 더미 화소(PD)의 사이즈는 일정하고, 이렇게 구성된 상기 복수의 영역(T1, T2, T3)이 더미 화소(PD)의 사이즈가 큰 것일수록 패널 영역(TE)의 중심부로부터 먼 영역에 배치된 것으로 되어 있다. 각 영역(T1, T2, T3)에서의 더미 화소(PD)의 사이즈나, 각 영역(T1, T2, T3)이 더미 영역(TD) 내에 점유하는 비율은 패널 영역 내에서 기능액의 건조 속도가 일정해지는 조건의 범위 내에서 적절히 정해진다.
또한, 도 17에서는 뱅크(B)를 유기물층으로 이루어지는 단층 구조로 했지만, 제 1 실시예의 뱅크(B)와 같이 무기물층과 유기물층의 2층 구조로 하는 것도 가능하다.
뱅크(B)를 형성한 후, 도 17의 (b)에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 헤드에 의해, 착색 재료를 함유하는 기능액(L)을 뱅크(B)에 의해 구획된 영역에 선택적으로 토출한다. 기능액(L)은 안료 등의 착색 재료를 용매에 용해 내지 분산시킨 것이다.
기능액의 토출은 적색 착색 재료를 함유하는 기능액, 녹색 착색 재료를 함유하는 기능액, 청색 착색 재료를 함유하는 기능액을 각각 대응하는 유효 화소(PE)에 토출함으로써 행한다.
도 17의 (b)에서는 적색 유효 화소에 기능액(L)을 토출하는 공정이 도시되어 있다. 이 공정에서는 더미 화소(PD)에도 동일한 기능액(L)을 토출한다. 또한, 도 17의 (b)에서는 기능액(L)을 모든 더미 화소(PD)에 토출하고 있지만, 일부 더미 화소(PD)에만 토출하는 것으로 할 수도 있다.
더미 화소(PD)에 토출하는 기능액(L)의 양(특히 용매의 양)은 유효 광학 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 많게 한다. 이러한 영역에서는 액적의 건조 속도가 빠르기 때문에, 토출하는 용매의 양을 모든 더미 화소(PD)에서 동일하게 하면, 유효 광학 영역(TE)의 코너부에서 건조 시간에 편차가 생겨, 균일한 건조를 행할 수 없게 되기 때문이다. 본 실시예에서는 더미 화소(PD)의 사이즈를 패널 영역(TE)의 중심부(C)로부터 먼 영역일수록 크게 하고 있기 때문에, 중심부(C)로부터 이간된 더미 화소(PD)에서도 토출한 기능액(L)이 뱅크(B)의 개구부로부터 넘치는 등의 결점은 생기지 않는다.
기능액(L)을 토출한 후, 기능액(L) 중의 용매를 증발시킨다. 이 공정에 의해, 도 17의 (c)에 나타낸 바와 같이, 적색 유효 화소(PE)에 고형의 적색 컬러 필터(FR)가 형성된다. 이 때, 더미 영역(TD)에 배치하는 기능액의 양 및 표면적이 패널 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리에 따라 적절히 제어되고 있기 때문에, 패널 영역(TE) 전체에서 건조 속도가 균일해져, 막 두께 및 막질이 균일한 것으로 된다.
적색 유효 화소에 적색 컬러 필터(FR)를 형성한 후, 동일한 순서에 의해, 녹 색 유효 화소에 녹색 컬러 필터(FG)를 형성하고, 또한 청색 유효 화소에 청색 컬러 필터(FB)를 형성한다. 도 17의 (d)는 모든 유효 화소(PE)에 컬러 필터를 형성한 상태를 나타낸다. 또한, 더미 화소(PD)에는 적색, 녹색 및 청색의 3개의 착색 재료가 형성되지만, 도 17의 (d)에서는 이들을 하나로 통합하여 부호 FD로 나타낸다.
모든 유효 화소(PE)에 컬러 필터(F)가 형성된 후, 필요에 따라 컬러 필터(F)의 표면에 보호막을 형성한다.
그 후, 대형 기판(P)을 패널 영역(TE, TE) 사이에 설치한 스크라이브 라인을 따라 절단하여, 각각의 컬러 필터 기판을 얻는다. 이것에 의해, 컬러 필터 기판이 완성된다.
본 실시예의 컬러 필터 기판의 제조 방법에서는, 더미 영역(TD)에 유지되는 단위면적당 기능액의 양을 패널 영역(TE)의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하고 있기 때문에, 패널 영역(TE)의 외주부와 중앙부에서 건조 속도에 편차가 생기지 않고, 패널 영역 전체에 걸쳐 균일한 막 두께의 컬러 필터(F)를 형성할 수 있다. 이 때문에, 색 불균일이 적고, 표시 특성이 우수한 컬러 필터 기판을 제공하는 것이 가능하다. 또한, 컬러 필터(F)를 평탄하게 형성할 수 있기 때문에, 그 위에 전극을 형성할 경우에는, 단선(斷線) 등이 생기기 어렵고, 신뢰성이 우수한 컬러 필터 기판으로 된다.
[실시예]
다음으로, 본 발명의 막 패턴의 형성 방법의 실시예에 대해서 설명한다.
도 18은 샘플 기판(P)에 형성한 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)의 배치를 나타낸 평면 모식도이다. 도 18의 (a)는 더미 화소(PD)로의 기능액(특히 용매) 토출량을 유효 영역(TE)의 가장자리 중앙부로부터 코너부를 향하여 3단계로 변화시킨 경우의 모식도(샘플 1), 도 18의 (b)는 기능액 토출량을 유효 영역(TE)의 가장자리 중앙부와 코너부의 2단계로 변화시킨 경우의 모식도(샘플 2), 도 18의 (c)는 기능액 토출량을 유효 화소(PE)와 동일한 양으로 한 경우의 모식도(샘플 3)이다. 모든 샘플에 있어서, 유효 화소의 형상, 사이즈 및 피치와 더미 화소의 형상, 사이즈 및 피치는 동일한 것으로 되어 있다.
샘플 1에서는, 더미 화소(PD)에 토출되는 기능액의 양은 유효 영역(TE)의 가장자리 중앙부로부터 코너부를 향하여 3단계로 변화된다. 유효 영역(TE)의 중심부(C)에 가까운 영역(T1)에서는 1더미 화소(PD) 내에 토출되는 기능액의 양이 50ng이고, 유효 영역(TE)의 중심부(C)로부터 가장 먼 영역(T3)에서는 1더미 화소(PD) 내에 토출되는 기능액의 양이 120ng이다. 또한, 영역 T1과 영역 T3의 중간 영역 T2에서는 1더미 화소(PD) 내에 토출되는 기능액의 양이 80ng이다. 또한, 유효 화소(PE)에 토출되는 기능액의 양은 영역 T1의 더미 화소(PD)에 토출되는 기능액의 양 과 동일하다.
샘플 2에서는, 더미 화소(PD)에 토출되는 기능액의 양은 유효 영역(TE)의 가장자리 중앙부로부터 코너부를 향하여 2단계로 변화된다. 유효 영역(TE)의 중심부(C)에 가까운 영역(T1)에서는 1더미 화소(PD) 내에 토출되는 기능액의 양이 50ng이고, 그 이외의 영역(T2)에서는 1더미 화소(PD) 내에 토출되는 기능액의 양이 80ng이다. 또한, 유효 화소(PE)에 토출되는 기능액의 양은 영역 T1의 더미 화소(PD)에 토출되는 기능액의 양과 동일하다.
샘플 3에서는, 더미 화소(PD)에 토출되는 기능액의 양은 유효 화소(PE)에 토출되는 기능액의 양과 동일한 양으로 되어 있다. 이 구성은 종래 이용되어 온 구성과 동일하다.
본 실시예에서는 샘플 1 내지 3의 유효 화소(PE) 및 더미 화소(PD)에 기능액을 토출하고, 이것을 건조시킴으로써, 유효 영역 내에 막 패턴을 형성한다. 사용하는 기능액은 PEDOT/PSS를 물(증기압: 2338㎩, 20℃) 및 디에틸렌글리콜(증기압: 1.3㎩, 20℃)의 혼합 용매에 용해시킨 것이다. 기능액의 건조는 감압조(減壓槽) 내에서 압력을 관리한 상태에서 행한다.
상술한 샘플 1 및 샘플 2에서의 더미 화소(PD)의 토출량은, 유효 영역(TE)의 중앙부와 코너부에서의 기능액의 건조 시간 차가 충분히 작아지는 조건으로서 규정된 것이다.
도 19는 유효 영역(TE) 내에서의 막 두께의 불균일성을 나타낸 도면이며, 도 19의 (a), 도 19의 (b), 도 19의 (c)는 각각 샘플 1, 샘플 2, 샘플 3에 대응한다. 도 19의 (a) 내지 (c)의 횡축(橫軸)은 유효 영역(TE)의 중심부(C)로부터의 거리를 나타내고 있으며, 종축(縱軸)은 1유효 화소 내에서의 막 두께의 불균일성을 나타내고 있다. 막 두께의 불균일성은 1유효 화소 내에서 막 두께가 가장 두꺼운 부분과 막 두께가 가장 얇은 부분의 막 두께 차에 의해 측정하고 있다. 또한, 종축의 단위는 옹스트롬(angstrom)(Å)이다.
도 19에 나타낸 바와 같이, 샘플 3에서는 유효 영역(TE)의 장축(長軸) 측의 단부에서 큰 막 두께의 불균일성이 생기고 있어, 단순히 더미 영역(TD)을 설치하는 것만으로는 막 두께 불균일을 충분히 해소할 수 없음을 알 수 있다. 한편, 샘플 2에서는 이러한 단부에서의 막 두께의 불균일성은 작아지고 있어, 더미의 기능액 토출량을 유효 영역(TE)의 중앙부와 단부에서 변화시키는 것이 유효 영역(TE) 내에서의 막 두께 균일성을 개선하는데 효과적임을 알 수 있다. 특히 샘플 3에서는 유효 영역(TE) 내에서의 막 두께 불균일성이 거의 생기지 않아, 더미의 기능액 토출량이 3단계 이상으로 조절되면, 대략 균일한 막 두께의 패턴을 형성할 수 있음을 알 수 있다.
[전자 기기]
다음으로, 본 발명의 전자 기기의 구체적인 예에 대해서 설명한다.
도 20은 휴대 전화의 일례를 나타낸 사시도이다. 도 20에 있어서, 부호 600은 휴대 전화 본체를 나타내고, 부호 601은 상기 실시예의 유기 EL 장치 또는 컬러 필터 기판을 구비한 표시부를 나타낸다.
도 20에 나타낸 전자 기기는 상술한 본 발명의 막 패턴의 형성 방법에 의해 형성된 막 패턴을 구비한 것이기 때문에, 높은 표시 품질이나 높은 성능이 얻어지는 것으로 된다.
또한, 본 발명의 유기 EL 장치, 컬러 필터 기판 등의 디바이스는 상술한 휴대 전화기에 한정되지 않아, 다양한 전자 기기에 탑재할 수 있다. 이 전자 기기로서는, 예를 들어 전자북, 퍼스널 컴퓨터, 디지털 스틸 카메라, 액정 텔레비전, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형 비디오 테이프 리코더, 카 네비게이션 장치, 소형 무선 호출기(pager), 전자수첩, 전자계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 텔레비전 전화, POS 단말, 터치패널을 구비한 기기 등이 있다.
이상 첨부 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예예에 대해서 설명했지만, 본 발명이 이러한 예에 한정되지는 않는다. 상술한 예에서 나타낸 각 구성 부재의 모든 형상이나 조합 등은 일례로서, 본 발명의 주지로부터 일탈하지 않는 범위에서 설계 요구 등에 의거하여 다양하게 변경시킬 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 유기 EL 장치의 제조 방법이나 컬러 필터 기판의 제조 방법에 적용한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않아, 소정의 영역 내에 복수의 막 패턴을 구비하는 디바이스의 제조 방법에 적용할 수 있다. 상술한 유기 EL 장치의 예에서는, 정공 주입 층(140A)이나 발광층(140B)뿐만 아니라 화소 전극(141)의 패터닝에 본 발명을 적용하는 것도 가능하다. 또한, 데이터선(132), 주사선(131) 또는 전원선(133)을 포함하는 각종 배선의 형성이나, 플렉시블 기판(75)과 기체(P)를 접속하는 복수의 단자 전극의 형성에도 본 발명의 막 패턴의 형성 방법을 적용할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 기판면 내에서 균일한 막 두께의 패턴을 형성하는 것이 가능한 막 패턴의 형성 방법, 유기 EL 장치의 제조 방법, 컬러 필터 기판의 제조 방법, 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (40)

  1. 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체(基體) 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 형성하는 방법으로서,
    상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비(非)유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과,
    상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과,
    상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주(外周)를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 막 패턴의 형성 방법.
  11. 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 유기 EL 장치의 제조 방법으로서,
    상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과,
    상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과,
    상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치의 제조 방법.
  21. 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판의 제조 방법으로서,
    상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과,
    상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과,
    상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  23. 제 21 항 또는 제 22 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  24. 제 21 항에 있어서,
    상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  25. 제 21 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  26. 제 21 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  27. 제 21 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  28. 제 21 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  29. 제 21 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터 기판의 제조 방법.
  30. 제 21 항에 있어서,
    상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
  31. 기능성 재료를 용매에 용해 내지 분산시켜 이루어지는 기능액을 기체 위에 배치하고, 상기 기능액을 건조시킴으로써, 상기 기능성 재료로 이루어지는 막 패턴을 갖는 컬러 필터 기판을 구비한 액정 표시 장치의 제조 방법으로서,
    상기 막 패턴이 형성되는 상기 기체의 유효 영역 및 상기 유효 영역 주위의 비유효 영역에 액체 수용부를 형성하는 공정과,
    상기 유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액을 배치하는 공정과,
    상기 비유효 영역에 형성된 상기 액체 수용부에 상기 기능액 또는 상기 용매를 배치하는 공정을 갖고,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 많게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 상기 유효 영역의 중심부로부터의 거리에 따라 3단계 이상으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  33. 제 31 항 또는 제 32 항에 있어서,
    상기 비유효 영역의 상기 액체 수용부에 배치하는 상기 용매의 양을 직사각형으로 설치된 상기 유효 영역의 코너부에서 가장 많게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  34. 제 31 항에 있어서,
    상기 액체 수용부를 격벽에 의해 구획된 영역으로서 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  35. 제 31 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈와 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 대략 동일한 사이즈로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  36. 제 31 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈보다도 크게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  37. 제 31 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 사이즈를 상기 유효 영역의 중심부로부터 먼 영역일수록 크게 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  38. 제 31 항에 있어서,
    상기 유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격과 상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부의 간격을 대략 동일한 간격으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  39. 제 31 항에 있어서,
    상기 비유효 영역에서의 상기 액체 수용부를 상기 유효 영역의 외주를 따라 적어도 2열 이상 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  40. 제 31 항에 있어서,
    상기 기능액 또는 상기 용매의 배치를 액적 토출법에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
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