JP2005270725A - パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置 - Google Patents

パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置 Download PDF

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    • B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters

Abstract

【課題】
均一でムラのないパターン基板を提供する。
【解決手段】
基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板を、
１列に配列した複数のインク付着部に、該複数のインク付着部に対応した複数のインク付着手段を備えたヘッドを用いてインクを付着させるインク付着ステップを備え、
上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク固形分重量を異ならしめるように、インクを付着させることにより製造する。
【選択図】なし

Description

本発明は、パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置に関するものである。
近年、高解像度を有し、輝度ムラ、色ムラ等の画像表示ムラのない高い表示品質を有する表示装置に対する需要が高まってきている。それと共に、例えば、液晶表示装置やカラーフィルタ方式のエレクトロルミネッセンス表示装置等に使用されるカラーフィルタ基板や、有機エレクトロルミネッセンス表示装置（以下、「有機ＥＬ表示装置」と略すことがある。）に使用される有機エレクトロルミネッセンス基板（以下、「有機ＥＬ基板」と略すことがある。）等のパターン基板に対する高精度化の要請が高まってきている。
パターン基板の製造方法としては、例えば、染色法、顔料分散法、電着法、真空蒸着法、スピンコート法、ディップ法、ロールコート法、ドクターブレード法、及びインクジェット法等が挙げられる。
その中でもインクジェット法は、他のパターン基板の製造方法と比較して、マトリクスパターンを形成することが比較的容易であり、また、比較的製造プロセスが短く、安価に製造することができるため、種々のパターン基板の製造方法として、近年特に注目されている（例えば、特許文献１等）。
インクジェット法によるパターン基板の形成は、インク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板上を走査させながら、インク吐出ノズルから基板上にマトリクス状に配設された複数のインク付着部にインクを吐出し、乾燥固化することにより複数のインク付着部のそれぞれにインク層を形成していくことにより行われる。
インクジェット法では、生産効率の観点から、１列に配列した複数のインク付着部に、その複数のインク付着部に対応した複数のインク吐出ノズルを備えたインクジェットヘッドを用いて、同時にインクを付着していくのが一般的である。
また、インク吐出ノズルから吐出されるインクの着弾精度を向上するため、及び、隣接するインク付着部に付着したインクが相互に混じり合うことを防止するために、發液性を有した（インクをはじく性質を有した）インク付着部形成層を基板をマトリクスに区画するように設けた基板上にインク吐出ノズルからインクを吐出し、複数のインク付着部にインクを付着させる技術が提案されている（例えば、非特許文献１等）。
特開平１０−１２３７７号公報 SID Digest 1999, p.376-379 MRS BULLETIN/NOVEMBER 2003 P.821-827
しかしながら、１列に配列した複数のインク付着部に、その複数のインク付着部に対応した複数のインク吐出ノズルを備えたインクジェットヘッドを用いて、同時にインクを付着させることにより作成したパターン基板では、１列に配列した複数のインク付着部の内側部分（以下、「内側部分」と略すことがある。）に形成されたインク層と、１列に配列した複数のインク付着部の両側部分（以下、「両側部分」と略すことがある。）に形成されたインク層とでインク層の層厚が相互に異なるという問題がある（例えば、非特許文献２）。
以下、内側部分と両側部分とでインク層の層厚が相互に異なる原因について説明する。
図５は、基板本体３０１上に設けられたインク付着部３０７に従来のインクジェット法によりインクを付着させる工程を説明する概略平面図である。
図６は、図５のＶＩ−ＶＩで示す部分の拡大概略断面図である。
図７は、従来のインクジェット法によりインク層３０８が形成された基板本体３０１の概略断面図である。
図８は、図７中、点線ＶＩＩＩで囲まれた部分の拡大概略断面図である。
尚、説明の都合上、図７及び図８では、インク層３０８の層厚は、バンク３０３の高さに対して実際より分厚く描画されている。実際には、バンク３０３の高さは１〜５μｍ程度であるのに対し、インク層３０８の層厚は１０〜２００ｎｍ程度である。
基板本体３０１の上には、マトリクス状に配置された複数のインク付着部３０７を形成するようにバンク３０３が形成されている。基板本体３０１とバンク３０３との間には、それぞれのインク付着部３０７に有効領域ＰＤ３を形成する遮光層３０２が設けられている。尚、「有効領域」とはデバイスとして実際に使用される領域のことをいう。例えば、パターン基板が、カラーフィルタ基板や有機ＥＬ基板である場合には、「有効領域」とは、表示開口領域のことをいう。
この基板本体３０１の上に設けられたそれぞれのインク付着部３０７に、インクジェットヘッド３０６を用いてインク液滴３０４を付着させ、乾燥固化させることによりインク層３０８を形成する。
インクジェットヘッド３０６は、１列に配列された複数のインク付着部３０７に対応するように設けられた複数のインク吐出ノズル３０５を有しており、インクジェットヘッド３０６は、１列に配列された複数列のインク付着部３０７のそれぞれに同時にインク液滴３０４を吐出することができるように構成されている。
そして、インクジェットヘッド３０６を基板本体３０１の上をＹ軸方向に走査させながら、マトリクス状に配設された複数列のインク付着部３０７のそれぞれにインク液滴３０４を付着させる。次に、インクジェットヘッド３０６をＸ軸方向にずらし、同様にＹ軸方向にインクジェットヘッド３０６を走査させながら複数列のインク付着部３０７のそれぞれにインク液滴３０４を付着させる。
このように、インクジェットヘッド３０６をＹ軸方向に複数回走査させることにより基板本体３０１上のすべてのインク付着部３０７のそれぞれにインク液滴３０４を付着させることによりパターン基板を製造する。尚、インクジェットヘッド３０６をＹ軸方向に１回走査することによってインク付着部３０７のそれぞれにインク層３０８を形成することができる基板３０１上の領域のことをブロックＢ３という。
このようにインクジェットヘッド３０６を用いてブロックＢ３ごとにインク付着部３０７のそれぞれにインク液滴３０４を付着させた場合、ブロックＢ３の内側部分Ｓと、ブロックＢ３の両側部分Ｅとでは、インク液滴３０４が乾燥固化する際の、それぞれのインク液滴３０４周辺のインクの揮発成分の蒸気圧が異なる。一般的にはブロックＢ３の内側部分Ｓは、インクの揮発成分の蒸気圧がほぼ均一であるが、ブロックＢ３の両側部分Ｅでは、両側に近づくにつれて、インクの揮発成分の蒸気圧が小さくなる場合が多い。
このように、インク液滴３０４が乾燥固化する際の、インク液滴３０４周辺のインクの揮発成分の蒸気圧が異なると、インク液滴３０４の乾燥速度が相互に異なる。従って、インク層３０８の層形状も相互に異なる。
従来のインクジェット法では、インク付着部３０７のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量は略同一に調節されているため、インク層３０８の乾燥後の層形状が相互に異なる場合は、それぞれのインク層３０８の有効領域ＰＤ３における層厚も相互に異なる。
従って、内側部分Ｓに位置するインク層３０８は略同一の層厚Ｈ７を有するが、両側部分Ｅに位置するインク層３０８の層厚は、両端に近づくにつれて薄くなる。例えば、図８に示すように内側部分Ｓに位置するインク層３０８の層厚Ｈ７と、両側部分Ｅに位置するインク層３０８の層厚Ｈ８と層厚Ｈ９とは、この順で小さくなる関係を有する。
尚、図７及び図８には、両側部分Ｅのインク層３０８は凹形状に描かれているが、必ずしも両側部分Ｅのインク層３０８が凹形状に形成されるとは限らない。製造条件によっては、両側部分Ｅのインク層３０８の層形状は、内側部分Ｓのインク層３０８の層形状と比較して、より極端な凸形状に形成される場合もある。
また、図７及び図８では、インク層３０８の層形状が内側部分Ｓのインク層３０８と異なる両側部分Ｅのインク層３０８は、２列のみに描画されているが、製造条件の如何よって、両側部分の１列のみ、又は３例以上のインク層３０８の層形状が中央部分Ｓのインク層３０８の層形状と異なることもある。
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、インク層の層厚が略同一で、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することにある。
本発明に係るパターン基板の製造方法は、基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造方法であって、
１列に配列した複数のインク付着部のそれぞれに、該複数のインク付着部に対応した複数のインク付着手段を備えたヘッドを用いてインクを付着させるインク付着ステップを備え、
上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク固形分重量を異ならしめるように、インクを付着させる。
発明が解決しようとする課題において説明したように、１列に配列した複数のインク付着部のそれぞれに同時にインクを付着させ、乾燥させる場合、内側部分と、両側部分とでは、インクの揮発成分の蒸気圧が相互に異なる。そのため、内側部分と両側部分とでは、インク液滴の乾燥固化する速度が異なり、インク層の層形状が相互に異なる。
しかし、この製造方法のように、内側部分のインク層と、両側部分のインク層との層形状に差が生じることを考慮し、インク付着ステップにおいて内側部分のインク固形分重量と両側部分のインク固形分重量とをそれぞれ適宜調節したインクを、内側部分と両側部分とのインク付着部のそれぞれに付着させることにより、内側部分のインク層と両側部分のインク層との有効領域における層厚を略同一にすることができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
尚、本発明において「固形分」とは、基板本体に付着したインクが乾燥・焼成された後に残留した部材のことをいう。
また、本発明のパターン基板の製造方法においては、上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部のそれぞれに、それぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０となるように、インクを付着させてもかまわない。
この構成のように、上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部のそれぞれに、それぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０となるようにインクを付着させることにより、内側部分のインク層と両側部分のインク層との層厚を略同一にすることができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
尚、１列に配列した複数のインク付着部の両側部分のインク層の層形状が凹形状に形成される場合は、１列に配列した複数のインク付着部の両側部分のインク付着部のそれぞれに、それぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が１．０より大きく、かつ３．０以下となるようにインクを付着させることが好ましい。より好ましいそれぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比は、１．２以上かつ３．０以下である。
また、１列に配列した複数のインク付着部の両側部分のインク層の層形状が凸形状に形成される場合は、１列に配列した複数のインク付着部の両側部分のインク付着部のそれぞれに、それぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３以上、かつ１．０未満となるようにインクを付着させることが好ましい。より好ましいそれぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比は、０．３以上かつ０．８以下である。
尚、本発明において、「平均インク固形分重量」とは、すべてのインク層のそれぞれに付着したインクのインク固形分重量の平均重量のことをいう。
また、本発明のパターン基板の製造方法においては、上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部に付着させるインク液滴１滴あたりの溶液量を異ならしめるものであっても構わない。
この構成によれば、両側部分のインク付着部のそれぞれに、内側部分のインク付着部のそれぞれに付着させるインク液滴１滴あたりの溶液量と異なる溶液量のインク液滴を、内側部分のインク付着部のそれぞれに付着させるインク液滴の液滴数と同じ液滴数のインク液滴を付着させることにより、内側部分と両側部分とで、それぞれのインク付着部に付着するインクのインク固形分重量を適宜調節することができる。よって、内側部分のインク層と両側部分のインク層との層厚を略同一にすることができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
また、本発明のパターン基板の製造方法においては、上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部のそれぞれに付着させるインク液滴数を異ならしめても構わない。
この構成によれば、内側部分のインク付着部のそれぞれに、両側部分のインク付着部のそれぞれに付着させるインク液滴数と異なる液滴数のインク液滴を付着させることにより、内側部分と両側部分とでインク付着部のそれぞれに付着させるインクの溶液量を異ならしめることができる。よって、内側部分と両側部分とでそれぞれのインク付着部に付着するインクのインク固形分重量を適宜調節することができ、内側部分のインク層と両側部分のインク層との層厚を略同一にすることができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
また、本発明のパターン基板の製造方法においては、上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部に付着させるインクのインク固形分濃度を異ならしめても構わない。
この構成によれば、両側部分のインク付着部に、内側部分のインク付着部に付着させるインクのインク固形分濃度と異なるインク固形分濃度のインクを付着させることにより、内側部分と両側部分とのインク付着部のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を適宜調節することができる。よって、内側部分のインク層と両側部分のインク層との層厚を略同一にすることができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
尚、本発明において、「固形分濃度」とは、基板本体に付着したインクが乾燥・焼成された後に残留した部材のインク全体に対する重量％のことをいう。
また、本発明のパターン基板の製造方法においては、上記パターン基板が、有機エレクトロルミネッセンス基板、若しくはカラーフィルタ基板であっても構わない。
この製造方法によれば、パターンムラがなく均一な有機ＥＬ基板、若しくはカラーフィルタ基板を提供することができる。
本発明のパターン基板の製造装置は、基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
１列に配列した複数のインク付着手段を備えたヘッドを備え、
上記ヘッドの内側部分と両側部分とで、それぞれのインク付着手段が付着するインクのインク固形分重量が相互に異なるものであっても構わない。
この製造装置によれば、ヘッドの内側部分と両側部分とでそれぞれインク付着手段はインク固形分重量を異ならしめるようにインクを付着することができる。そのため、この製造装置により製造したパターン基板は、ヘッドの内側部分のインク付着手段により形成されたインク層の層厚と、ヘッドの両側部分のインク付着手段により形成されたインク層の層厚とが略同一である。従って、この製造装置によれば、パターンムラがなく均一なパターン基板を製造することができる。
また、本発明のパターン基板の製造装置は、基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
１列に配列した複数のインク吐出ノズルを備えたヘッドを備え、
上記ヘッドの内側部分と両側部分とでインク吐出ノズルのノズル内径が相互に異なるものであっても構わない。
この構成によれば、ヘッドの両側部分に設けられたインク吐出ノズルは、ヘッドの内側部分に設けられたインク吐出ノズルのノズル内径と異なるノズル内径を有する。そのため、ヘッドの両側部分に設けられたインク吐出ノズルのそれぞれが吐出するインク液滴の溶液量と、ヘッドの内側部分に設けられたインク吐出ノズルのそれぞれが吐出するインク液滴の溶液量とが相互に異なる。よって、ヘッドの内側部分と両側部分とでそれぞれインク付着手段がインク固形分重量を異ならしめるようにインクを付着することができる。従って、ヘッドの内側部分に設けられたインク吐出ノズルにより形成されたインク層の層厚と、ヘッドの両側部分に設けられたインク吐出ノズルにより形成されたインク層の層厚とが略同一であるパターン基板を製造することができる。よって、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
また、本発明のパターン基板の製造装置は、基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
１列に配列した複数のインク付着手段を備えたヘッドを備え、
上記ヘッドの内側部分と両側部分とでインク付着手段のそれぞれが付着するインクのインク固形分濃度が相互に異なるものであっても構わない。
この構成によれば、ヘッドの両側部分に設けられたインク付着手段は、ヘッドの内側部分に設けられたインク付着手段のそれぞれが付着するインクのインク固形分濃度と異なるインク固形分濃度のインク液滴を付着することができる。そのため、ヘッドの両側部分に設けられたインク付着手段のそれぞれが付着するインクのインク固形分重量と、ヘッドの内側部分に設けられたインク付着手段のそれぞれが付着するインクのインク固形分重量とに差を設けることができる。よって、ヘッドの内側部分に設けられたインク吐出ノズルにより形成されたインク層の層厚と、ヘッドの両側部分に設けられたインク吐出ノズルにより形成されたインク層の層厚とが略同一であるパターン基板を製造することができる。従って、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
本発明に係るパターン基板は、基板本体と、
上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
を有し、
上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。
本発明に係るパターン基板は、本発明に係る製造方法により製造されたものであり、基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。よって、本発明に係るパターン基板はパターンムラがなく、均一である。従って、このパターン基板を用いることにより、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラがない表示装置を実現することができる。
尚、本発明において「インク層の層厚」とは、インク層のうちデバイスとして実際に使用される領域（有効領域）における平均層厚のことをいう。例えば、パターン基板が、カラーフィルタ基板や有機ＥＬ基板である場合には、「インク層の層厚」とは、インク層のうち表示開口部分の平均層厚をいう。
また、本発明に係るパターン基板は、上記複数のインク層のそれぞれは、層厚の平均層厚に対する比が０．９〜１．１である。
上記複数のインク層のそれぞれは、層厚の平均層厚に対する比が０．９〜１．１であるような均一でムラのないパターン基板は、本発明に係る製造方法によりはじめて製造可能となったものであり、従来の技術では、成し得なかったものである。従って、このパターン基板を用いることにより、従来は実現し得なかった、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラがない表示装置を実現することができる。
尚、本発明において、「平均層厚」とは、すべてのインク層の層厚の平均値をいう。
また、本発明に係るパターン基板は、上記複数のインク層が、凹形状であるインク層、又は凸形状であるインク層のいずれか一方、又はその両方を含むものであっても構わない。
また、本発明に係るパターン基板は、上記複数のインク層が、インク固形分重量が相対的に多いインク層と、インク固形分重量が相対的に少ないインク層と、を含むものであっても構わない。
また、本発明に係るパターン基板は、上記複数のインク層は、それぞれのインク層に含まれるインク固形分重量が略同一である列が、それぞれのインク層に含まれるインク固形分重量が段階的に異なる行を形成するように配設されているものであっても構わない。
また、本発明に係るパターン基板は、上記複数のインク層のそれぞれは、インク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０であっても構わない。
また、本発明に係るカラーフィルタ基板は、基板本体と、
上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
を有し、
上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。
このカラーフィルタ基板は、本発明に係る製造方法により製造されたものであり、基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。従って、本発明に係るカラーフィルタ基板はパターンムラがなく、均一である。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス基板は、基板本体と、
上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
を有し、
上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス基板は、本発明に係る製造方法により製造されたものであり、基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である。よって、本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス基板はパターンムラがなく、均一である。従って、この有機エレクトロルミネッセンス基板を用いることにより、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラがない有機エレクトロルミネッセンス表示装置を実現することができる。
また、本発明に係る表示装置は、本発明に係るパターン基板を用いた表示装置である。
上述のように、本発明に係るパターン基板は、パターンムラがなく、均一である。したがって、本発明に係るパターン基板を用いた表示装置は、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラのない高い表示品質を実現することができる。
また、本発明に係る表示装置は、本発明に係るカラーフィルタ基板を用いた表示装置である。
上述のように、本発明に係るカラーフィルタ基板は、パターンムラがなく、均一である。したがって、本発明に係るカラーフィルタ基板を用いた表示装置は、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラのない高い表示品質を実現することができる。
また、本発明に係る表示装置は、有機エレクトロルミネッセンス基板を用いた表示装置である。
上述のように、本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス基板は、パターンムラがなく、均一である。したがって、本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス基板を用いた表示装置は、輝度ムラ、色ムラ等の表示ムラのない高い表示品質を実現することができる。
また、本発明の表示装置は、表示形式が液晶表示形式であっても構わない。
また、本発明の表示装置は、表示形式が有機エレクトロルミネッセンス表示形式であっても構わない。
また、本発明の表示装置は、プラズマ表示形式、又はフィールドエミッション表示形式であっても勿論構わない。
以上説明したように、本発明によれば、内側部分のインク層と両側部分のインク層との層厚を略同一にすることができるので、パターンムラがなく均一なパターン基板を提供することができる。
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
尚、実施形態では、有機ＥＬ基板を例として説明するが、本発明は何ら有機ＥＬ基板に限定されるものではない。
図１は、本発明に係る有機ＥＬ基板１の製造方法を説明する概略断面図である。
図２は、本発明に係る製造方法により複数のインク付着部１１１に正孔輸送材料を含むインクが塗布され、正孔輸送層１０８が形成された状態を示す概略断面図である。
図３は、図２中、点線ＩＩＩで囲まれた部分の拡大断面図である。
図４は、本発明に係る製造方法で製造された有機ＥＬ基板１の概略断面図である。
尚、説明の都合上、図２、図３、及び図４では、正孔輸送層１０８及び発光層１０９の層厚はバンク１０４の高さに対して、実際より分厚く描画されている。実際には、バンク１０４の高さは１〜５μｍ程度であるのに対し、正孔輸送層１０８及び発光層１０９の層厚はそれぞれ１０〜２００ｎｍ程度である。
まず、基板本体１０１上に公知の方法により下部電極１０２をマトリクス状に形成する。下部電極１０２の材料は何ら限定されるものではなく、例えば、ＡｇやＡｌ等の金属、又はインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の無機酸化物等、公知の電極材料を用いることができる。
下部電極１０２を形成する方法としては、例えば以下のような方法が挙げられるが何らこの方法に限定されるものではない。
まず、基板本体１０１上にスパッタ法を用いてインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の薄膜を形成する。ＩＴＯ等の薄膜の厚みは特に限定されるものではないが、１００ｎｍ〜３００ｎｍ程度であることが好ましい。
次に、フォトレジスト塗布、プリベーク、露光、現像、ポストベーク、エッチング、及びフォトレジスト剥離という一連のフォトレジスト工程により、ＩＴＯ等の薄膜を所望の層形状にパターニングすることにより下部電極１０２を形成することができる。
また、下部電極１０２を親液性にする（後述の製造工程で下部電極１０２の上に付着させる正孔輸送材料を含むインクに対する親和性を向上する）ため、下部電極１０２をＵＶ／Ｏ3等により親液化処理をすることがより好ましい。下部電極１０２を親液性にすることにより、下部電極１０２に対するインクの付着性を改善し、より均一な正孔輸送層１０８を形成することができ、欠損のない有機ＥＬ基板１を製造することができる。
次に、下部電極１０２を形成した基板本体１０１上に、隣接する下部電極１０２の間を絶縁する絶縁層１０３を公知の方法により形成する。絶縁層１０３の材料は何ら限定されるものではなく、例えば、シリカやチッ化シリコン等を絶縁層１０３の材料として用いることができる。
絶縁膜１０３を形成する方法としては、例えば以下のような方法が挙げられるが、何らこの方法に限定されるものではない。
まず、下部電極１０２を形成した基板本体１０１上にスパッタ法等の成膜技術を用いてＳｉＯ2等の薄膜を形成する。ＳｉＯ2等の薄膜の層厚は特に限定されるものではないが、１００ｎｍ〜３００ｎｍ程度であることが好ましい。
次に、フォトレジスト塗布、プリベーク、露光、現像、ポストベーク、エッチング、及びフォトレジスト剥離という一連のフォトレジスト工程により、ＳｉＯ2等の薄膜を所望の層形状にパターニングすることにより絶縁層１０３を形成することができる。
次に、絶縁層１０３を形成した基板本体１０１上に、基板本体１０１をマトリクス状に配設された複数のインク付着部１１１に区画するようにバンク１０４を公知の方法により形成する。
バンク１０４に使用する材料は、何ら限定されるものではないが、加熱による形状・特性等の変化が少ない材料により構成することが好ましい。例えば、バンク１０４の材料として感光性ポリイミド、アクリル系樹脂、メタリル系樹脂、又はノボラック系樹脂等を用いることができる。また、バンク１０４は、感光性樹脂を用いることがより好ましい。バンク１０４の材料として感光性材料を用いた場合は、バンク１０４をフォトリゾグラフィー工程によりパターニングできるため、バンク１０４をエッチングや剥離プロセス等を行うことなく容易にパターニングできる。
バンク１０４を形成する方法としては、例えば以下のような方法が挙げられるが、何らこの方法に限定されるものではない。
まず、スピンコート法等の公知の成膜方法により、絶縁層１０３を形成した基板本体１０１上に、感光性ポリイミド等からなる薄膜を形成する。次に、形成した感光性ポリイミド等の薄膜を、フォトレジスト塗布、プリベーク、露光、現像、ポストベーク、エッチング、及びフォトレジスト剥離という一連のフォトレジスト工程により所望の層形状にパターニングすることによりバンク１０４を形成することができる。
また、バンク１０４を發液性にする（後述の製造工程でインク付着部１１１に付着させる正孔輸送材料を含んだインク、及び発光材料を含んだインクの両方に対する親和性を低下させる）ため、形成したバンク１０４をＣＦ４プラズマ等により發液化処理をすることがより好ましい。バンク１０４を發液性にすることにより、インクの着弾ズレ、及び隣接するインク層の混じり合いを防止し、均一で層形状にムラのない正孔輸送層１０８及び発光層１０９を形成することができる。
次に、図１に示すようにインクジェットヘッド１０７を用いて、基板本体１０１上に設けられた複数のインク付着部１１１に正孔輸送材料を含むインクを付着させることによりマトリクス状に設けられた複数の下部電極１０２上に正孔輸送層１０８を形成する。
正孔輸送材料としては、何ら限定されるものではなく、例えば、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンサルフォネート（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）やポリアニリン等の公知の正孔輸送材料を用いることができる。
正孔輸送材料を含むインクは、例えば、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの水分散液にアルコール等を添加することにより表面張力及び粘性を調節することにより作成することができる。
次に、インクジェットヘッド１０７を用いて、複数のインク付着部１１１に正孔輸送材料を含むインクを付着させるインク付着ステップについて詳細に説明する。
インク付着ステップに使用するインクジェットヘッド１０７は、インク付着手段である複数のインク吐出ノズル１０６を有している。複数のインク吐出ノズル１０６は、１列に配列された複数のインク付着部１１１に対応するように設けられている。そのため、インクジェットヘッド１０７は、１列に配列された複数のインク付着部１１１のそれぞれに同時にインク液滴１０５を吐出することができるように構成されている。尚、インクジェットヘッド１０７を基板本体１０１の上をＹ軸方向に１回走査させることによりインク付着部１１１のそれぞれにインク液滴１０５を付着することのできる基板本体１０１上の領域をブロックＢ１と呼ぶこととする。
インク付着ステップでは、まず、インクジェットヘッド１０７を基板本体１０１の上をＹ軸方向に走査させながら正孔輸送材料を含むインク液滴１０５をマトリクス状に配設された複数のインク付着部１１１のそれぞれに付着させる。
次に、インクジェットヘッド１０７をＸ軸方向にブロックＢ１分ずらし、同様にＹ軸方向にインクジェットヘッド１０７を走査させながらインク付着部１１１のそれぞれにインク液滴１０５を付着させる。
このように、インクジェットヘッド１０７をＹ軸方向に走査させ、ブロックＢ１ごとにインク付着部１１１のそれぞれにインク液滴１０５を付着させる工程を繰り返し行い、基板本体１０１上のすべてのインク付着部１１１にインクを付着させることにより有機ＥＬ基板１を製造する。
発明が解決しようとする課題において説明したように、１列に配列した複数のインク付着部１１１のそれぞれに同時にインク液滴１０５を付着させる場合、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８と、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８とでは、それぞれの正孔輸送層１０８周辺のインクの揮発成分の蒸気圧が異なる。そのため、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８とは、乾燥固化する速度が異なり、よって、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８とはその層形状が相互に異なる。
しかし、本実施形態に係るインク付着ステップでは、内側部分Ｓと両側部分Ｅとで正孔輸送層１０８の層形状に差異が生じることを考慮し、インク吐出ノズル１０６により両側部分Ｅに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量と、インク吐出ノズル１０６により内側部分Ｓに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量とを異ならしめるようにインク液滴１０５を付着させるため、正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚を相互に略同一とすることができる。
本実施形態では、図２及び図３に示すように、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８が凹形状になるため、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量よりも多くすることにより、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ３と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ１と層厚Ｈ２とを略同一に形成することができる。よって、パターンムラがなく、均一な有機ＥＬ基板１を製造することができる。
尚、本実施形態のように、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が凹形状になる場合は、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が、１．０より大きく、かつ３．０以下となるように調節することが好ましい。より好ましい範囲は、１．２以上かつ３．０以下の範囲である。
図２及び図３では、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が凹形状となる場合を描画しているが、なんらこれに限定されるものではなく、製造条件によっては、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が凸形状になる場合もある。
両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が凸形状になる場合は、インク吐出ノズル１０６により両側部分Ｅに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、インク吐出ノズル１０６により内側部分Ｓに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量よりも少なく設定することにより両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層厚と内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の層厚とを略同一に形成する。
両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が凸形状になる場合は、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が、０．３以上、かつ１．０未満となるように調節することが好ましい。より好ましい範囲は、０．３以上かつ０．８以下の範囲である。
また、両側部分Ｅに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量は、例えば、実験的に決定することができる。
すなわち、両側部分Ｅに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量は、以下の方法により決定する。
まず、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比を変化させた複数の有機ＥＬ基板サンプルを作成し、それぞれのサンプルについて内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の層厚と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層厚とを測定する。
次に、得られた正孔輸送層１０８の層厚の測定結果を参照することにより、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の層厚と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層厚との差が最も小さくなる両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を算出することにより両側部分Ｅに設けられたインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を決定する。
また、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめる手段は、なんら限定されるものではなく、例えば以下のような手段が挙げられる。
例えば、両側部分Ｅのインク付着部１１１に、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインク液滴１０５の溶液量と異なる溶液量のインク液滴１０５を付着させることにより、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめることができる。
また、両側部分Ｅと内側部分Ｓとでインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインク液滴１０５の溶液量を異ならしめる方法は、何ら限定されるものではないが、例えば、両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応するインク吐出ノズル１０６のノズル内径を、内側部分Ｓのインク付着部１１１に対応するインク吐出ノズル１０６のノズル内径と異ならしめる方法が挙げられる。
この手段によれば、インク吐出ノズル１０６のノズル内径を変化させることにより、連続的にインク液滴１０５の溶液量を変化させることができるため、微妙なインク液滴１０５の溶液量の調節が可能である。よって、より精密に両側部分Ｅのインク層の層厚と内側部分Ｓのインク層の層厚とを調節することができる。従って、よりパターンムラがなく均一な有機ＥＬ基板１を実現することができる。
また、例えば、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインク液滴１０５の液滴数と異なる液滴数のインク液滴１０５を付着させることにより、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめることができる。
例えば、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量の１．５倍に設定する場合には、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに３滴のインク液滴１０５を付着させ、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに２滴のインク液滴１０５を付着させることができる。
この手段によれば、製造装置の物理的な改造を要することなく、例えば、インク付着ステップのシーケンスを変更することにより、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめることができる。よって、容易に両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめることができる。
また、例えば、両側部分Ｅのインク付着部１１１に、内側部分Ｓのインク付着部１１１に付着させるインク液滴１０５の固形分濃度と異なる固形分濃度のインク液滴１０５を付着させることにより、両側部分Ｅのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を、内側部分Ｓのインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量に対して異ならしめることができる。
尚、上述のノズル内径を調節することによりインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を調節する方法、インク液滴１１５の溶液量を調節することによりインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を調節する方法、及び、それぞれのインク付着部１１１に付着させるインク液滴１１５の滴数を調節することによりインク付着部１１１のそれぞれに付着させるインクのインク固形分重量を調節する方法等のうち、いずれか２以上の方法を組み合わせて用いても勿論構わない。
次に、正孔輸送層１０８を形成した基板本体１０１の上に正孔輸送層１０８のマトリクスパターンと同様のパターンになるように、発光材料を含むインクを付着させることにより発光層１０９を形成する。
発光層１０９に使用する発光材料は、何ら限定されるものではなく、例えば、ポリフルオレン、ポリ−ｐ−フェニレンビニレン、ポリビニルカルバゾール、ポリアリーレン、ポリスピロフルオレン等の公知の発光材料を用いることができる。
発光材料を含むインクは、例えばポリフルオレン誘導体等の発光材料を芳香族炭化水素等の有機溶媒に溶解させ、表面張力及び粘性を調節することにより形成した。
発光層１０９の形成は、正孔輸送層１０８の形成と同様のインク付着ステップにより形成することができる。これにより、内側部分Ｓの発光層１０９の層厚Ｈ６と両側部分Ｅの発光層１０９の層厚Ｈ４及びＨ５とを均一に形成することができ、発光層１０９の層厚を相互に略同一にすることができる。よって、パターンムラがなく均一な有機ＥＬ基板１を実現することができる。
次に、発光層１０９を形成した基板本体１０１の上に上部電極１１０を公知の方法により形成する。上部電極１１０の材料は何ら限定されるものではなく、例えば、Ｃａ、Ａｌ等の無機酸化物等、公知の電極材料を用いることができる。
また、上部電極１１０は、例えば、アルカリ金属酸化物、アルカリ金属フッ化物、アルカリ土類金属酸化物、又はアルカリ土類金属フッ化物等の仕事関数の低い材料からなる層と例えばＡｌやＩＴＯ等の導電性材料からなる層との積層構造に形成することが好ましい。この構成によれば、上部電極１１０は低仕事関数材料からなる層を有するため、高い発光層１０９への電子注入効率を実現することができ、また一般的に酸化されやすい性質を有する低仕事関数金属からなる層をＡｌやＩＴＯ等の導電性材料からなる層により被覆しているため、低仕事関数材料の酸化を抑制することができ、高輝度かつ製品寿命が長い有機ＥＬ基板１を実現することができる。
上部電極１１０を形成する方法としては、例えば、真空蒸着法（抵抗加熱、電子ビーム）等の方法が挙げられるが、何らこの方法に限定されるものではない。
尚、上部電極１１０を形成した基板本体１０１にガラス製の封止キャップをシール樹脂等を用いて接着しても構わない。この構成によれば、酸化による画像表示性能の劣化が激しい発光層１０９等を効果的に外気から遮断することができる。そのため、製品寿命の長い有機ＥＬ基板１を実現することができる。
本発明に係る製造方法により作成した有機ＥＬ基板１は、基板本体１０１上に設けられた複数の正孔輸送層１０８の層厚、及び複数の発光層１０９の層厚がそれぞれ略同一である。従って、有機ＥＬ基板１は、ムラがなく、複数の発光層１０９の発光が均一である。
尚、複数の正孔輸送層１０８は、層厚の正孔輸送層１０８の平均層厚に対する比が０．９〜１．１であることが好ましい。また、同様に、複数の発光層１０９は、層厚の発光層１０９の平均層厚に対する比が０．９〜１．１であることが好ましい。この構成によれば、よりムラがなく、複数の発光層１０９の発光がより均一な有機ＥＬ基板１を実現することができる。
また、複数の正孔輸送層１０８が、それぞれ凹形状、又は凸形状である正孔輸送層１０８のいずれか一方、又はその両方を含むものであっても構わない。同様に、複数の発光層１０９が、それぞれ基板本体１０１方向に凹形状、又は基板本体１０１方向に凸形状である発光層１０９のいずれか一方、又はその両方を含むものであっても構わない。
この構成においても、有機ＥＬ基板１では、複数の正孔輸送層１０８の層厚は、有効領域ＰＤ１において略同一であり、また複数の発光層１０９の層厚は、有効領域ＰＤ１において略同一であるため、発光が均一な有機ＥＬ基板１を実現することができる。
また、複数の正孔輸送層１０８が、正孔輸送材料を含むインク固形分重量が相対的に多い正孔輸送層１０８と、正孔輸送材料を含むインクのインク固形分重量が相対的に少ない正孔輸送層１０８とを含むものであっても構わない。
また、同様に複数の発光層１０９が、発光材料を含むインクのインク固形分重量が相対的に多い発光層１０９と、発光材料を含むインクのインク固形分重量が相対的に少ない発光層１０９とを含むものであっても構わない。
また、複数の正孔輸送層１０８は、それぞれの正孔輸送層１０８に含まれるインク固形分重量が略同一である列が、それぞれの正孔輸送層１０８に含まれるインク固形分重量が段階的に異なる行を形成していても構わない。
また、同様に、複数の発光層１０９は、それぞれの発光層１０９に含まれるインク固形分重量が略同一である列が、それぞれの発光層１０９に含まれるインク固形分重量が段階的に異なる行を形成していても構わない。
また、複数の正孔輸送層１０８のそれぞれは、インク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０であっても構わない。
同様に、複数の発光層１０９のそれぞれは、インク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０であっても構わない。
尚、実施形態は、有機ＥＬ基板について説明したが、本発明のパターン基板は、有機ＥＬ基板に何ら限定されるものではなく、カラーフィルタ基板、又はプラズマディスプレイ基板等であっても勿論構わない。
また、上述のように有機ＥＬ基板１は、均一でムラのない発光を実現することができるため、有機ＥＬ基板１を用いた表示装置は、色ムラ、輝度ムラ等の表示ムラがない高品質の表示を実現することができる。
また、本発明に係る製造方法により製造したカラーフィルタ基板は、カラーフィルタ層の層厚が均一であるため、本発明に係る製造方法により製造したカラーフィルタ基板を用いた表示装置は、色ムラ等の表示ムラがなく、高品質の表示を実現することができる。
また、本発明に係る表示装置は、その表示形式は特に限定されるものではなく、例えば、液晶表示形式、又は有機エレクトロルミネッセンス表示形式等を採用しても構わない。
次に、本発明に係るパターン基板の製造装置２について説明する。
図１には製造装置２を用いて有機ＥＬ基板１を製造するところが描画されている。
本発明に係るパターン基板の製造装置２は、１列に配列した複数のインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６を備えたインクジェットヘッド１０７を有する。
また、製造装置２には、基板本体１０１を固定するための基板固定台が設けられている。
また、製造装置２には、基板固定台とインクジェットヘッド１０７との相対位置を変化させることができる相対位置変更手段が設けられている。相対位置変更手段は何ら限定されるものではないが、例えば、相対位置変更手段を、インクジェット１０７を基板固定台の上を走査させることができるモーター等の駆動装置により構成しても構わない。
また、製造装置２には、１又は複数のインク貯蔵タンクが設けられてり、インク貯蔵タンクはそれぞれのインク吐出ノズル１０６に連結するように構成されている。
インク貯蔵タンクは、インク吐出ノズル１０６から吐出するインクを貯蔵し、インク吐出ノズル１０６にインクを適時供給する機能を有する。
また、それぞれのインク吐出ノズル１０６には、ピエゾ駆動装置等により構成されたインク吐出ノズル１０６からインクを吐出させるためのインク吐出駆動回路が設けられている。
従って、製造装置２を用いれば、インクジェットヘッド１０７をＹ軸方向に走査させ、ブロックＢ１ごとにインク液滴１０５を付着させる工程を繰り返し行い基板本体１０１上のすべてのインク付着部１１１にインクを付着させることにより有機ＥＬ基板１を製造することができる。
また、製造装置２は、ブロックＢ１の内側部分Ｓのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６のノズル内径は、ブロックＢ１の両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６のノズル内径と異なるように形成しても構わない。
この構成によれば、ブロックＢ１の内側部分Ｓのインク付着部１１１とブロックＢ１の両側部分Ｅのインク付着部１１１とにことなる溶液量のインク液滴１０５を付着させることができる。
よって、ブロックＢ１の内側部分Ｓの正孔輸送層１０８のインク固形分濃度とブロックＢ１の両側部分Ｅの正孔輸送層１０８のインク固形分濃度とを相違させることができる。
従って、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の層形状と異なる場合においても、両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応するインク吐出ノズル１０６のノズル内径を適宜調節することにより、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ３と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ１と層厚Ｈ２とを略同一に形成することができる。よって、パターンムラがなく、均一な有機ＥＬ基板１を製造することができる。
また、製造装置２では、ブロックＢ１の内側部分Ｓのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６と、ブロックＢ１の両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６とはそれぞれ異なるインク固形分濃度のインクを貯蔵したインク貯蔵タンクに連結するように構成しても構わない。
この構成によれば、ブロックＢ１の内側部分Ｓのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６と、ブロックＢ１の両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応したインク吐出ノズル１０６とは相互に異なるインク固形分濃度のインク液滴１０５をインク付着部１１１に付着させることができる。
よって、ブロックＢ１の内側部分Ｓの正孔輸送層１０８のインク固形分濃度とブロックＢ１の両側部分Ｅの正孔輸送層１０８のインク固形分濃度とを相違させることができる。
従って、両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の層形状が内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の層形状と異なる場合においても、両側部分Ｅのインク付着部１１１に対応するインク吐出ノズル１０６が連結されているインク貯蔵タンクのインク固形分濃度を適宜調節することにより、内側部分Ｓの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ３と両側部分Ｅの正孔輸送層１０８の有効領域ＰＤ１における層厚Ｈ１と層厚Ｈ２とを略同一に形成することができる。よって、パターンムラがなく、均一な有機ＥＬ基板１を製造することができる。
本発明に係る有機ＥＬ基板１の製造方法を説明する概略断面図である。 本発明に係る製造方法により複数のインク付着部１１１に正孔輸送材料を含むインクが塗布され、正孔輸送層１０８が形成された状態を示す概略断面図である。 図２中、点線ＩＩＩで囲まれた部分の拡大断面図である。 本発明に係る製造方法で製造された有機ＥＬ基板１の概略断面図である。 基板本体３０１上に設けられたインク付着部３０７に従来のインクジェット法によりインクを付着させる工程を説明する概略平面図である。 図５のＶＩ−ＶＩで示す部分の拡大概略断面図である。 従来のインクジェット法によりインク層３０８が形成された基板本体３０１の概略断面図である。 図７中、点線ＶＩＩＩで囲まれた部分の拡大概略断面図である。
符号の説明
１ 有機ＥＬ基板
２、３ パターン基板の製造装置
１０１、３０１ 基板本体
１０２ 下部電極
１０３ 絶縁層
１０４、３０３ バンク
１０５、３０４ インク液滴
１０６、３０５ インク吐出ノズル
１０７、３０６ インクジェットヘッド
１０８ 正孔輸送層
１０９ 発光層
１１０ 上部電極
１１１、３０７ インク付着部
３０２ 遮光層
３０８ インク層
Ｂ１、Ｂ３ ブロック
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ５、Ｈ６、Ｈ７、Ｈ８、Ｈ９ 層厚
ＰＤ１、ＰＤ１ 有効領域
Ｓ 内側部分
Ｅ 両側部分

Claims (22)

  1. 基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造方法であって、
    １列に配列した複数のインク付着部に、該複数のインク付着部に対応した複数のインク付着手段を備えたヘッドを用いてインクを付着させるインク付着ステップを備え、
    上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク固形分重量を異ならしめるように、インクを付着させるパターン基板の製造方法。
  2. 請求項１に記載されたパターン基板の製造方法において、
    上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部に、それぞれのインク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０となるように、インクを付着させるパターン基板の製造方法。
  3. 請求項１に記載されたパターン基板の製造方法において、
    上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部に付着させるインク液滴１滴あたりの溶液量を異ならしめるパターン基板の製造方法。
  4. 請求項１に記載されたパターン基板の製造方法において、
    上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部に付着させるインク液滴数を異ならしめるパターン基板の製造方法。
  5. 請求項１に記載されたパターン基板の製造方法において、
    上記インク付着ステップにおいて、上記１列に配列した複数のインク付着部の内側部分と両側部分とでインク付着部に付着させるインクのインク固形分濃度を異ならしめるパターン基板の製造方法。
  6. 請求項１に記載されたパターン基板の製造方法において、
    上記パターン基板が、有機エレクトロルミネッセンス基板、若しくはカラーフィルタ基板であるパターン基板の製造方法。
  7. 基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
    １列に配列した複数のインク付着手段を備えたヘッドを備え、
    上記ヘッドの内側部分と両側部分とでインク付着手段が付着するインクのインク固形分重量が相互に異なるパターン基板の製造装置。
  8. 基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
    １列に配列した複数のインク吐出ノズルを備えたヘッドを備え、
    上記ヘッドの内側部分と両側部分とでインク吐出ノズルのノズル内径が相互に異なるパターン基板の製造装置。
  9. 基板本体と、該基板本体上に設けられ、該基板本体上に配置された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、該複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、を有するパターン基板の製造装置であって、
    １列に配列した複数のインク付着手段を備えたヘッドを備え、
    上記ヘッドの内側部分と両側部分とでインク付着手段が付着するインクのインク固形分濃度が相互に異なるパターン基板の製造装置。
  10. 基板本体と、
    上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
    上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
    を有するパターン基板であって、
    上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一であるパターン基板。
  11. 請求項１０に記載されたパターン基板において、
    上記複数のインク層のそれぞれは、層厚の平均層厚に対する比が０．９〜１．１であるパターン基板。
  12. 請求項１０に記載されたパターン基板において、
    上記複数のインク層が、少なくとも凹形状であるインク層、又は凸形状であるインク層のいずれか一方を含むパターン基板。
  13. 請求項１０に記載されたパターン基板において、
    上記複数のインク層が、インク固形分重量が相対的に多いインク層と、インク固形分重量が相対的に少ないインク層と、を含むパターン基板。
  14. 請求項１３に記載されたパターン基板において、
    上記複数のインク層は、それぞれのインク層に含まれるインク固形分重量が略同一である列が、それぞれのインク層に含まれるインク固形分重量が段階的に異なる行を形成するようにマトリクス状に配設されているパターン基板。
  15. 請求項１３に記載されたパターン基板において、
    上記複数のインク層のそれぞれは、インク固形分重量の平均インク固形分重量に対する比が０．３〜３．０であるパターン基板。
  16. 基板本体と、
    上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
    上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
    を有するカラーフィルタ基板であって、
    上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一であるカラーフィルタ基板。
  17. 基板本体と、
    上記基板本体上に設けられ、上記基板本体上に配設された複数のインク付着部を形成するインク付着部形成層と、
    上記複数のインク付着部のそれぞれに設けられたインク層と、
    を有する有機エレクトロルミネッセンス基板であって、
    上記基板本体上の複数のインク層は、相互に層厚が略同一である有機エレクトロルミネッセンス基板。
  18. 請求項１０乃至１５に記載されたパターン基板を用いた表示装置。
  19. 請求項１６に記載されたカラーフィルタ基板を用いた表示装置。
  20. 請求項１７に記載された有機エレクトロルミネッセンス基板を用いた表示装置。
  21. 請求項１８乃至１９に記載された表示装置において、
    表示形式が液晶表示形式である表示装置。
  22. 請求項１８乃至２０に記載された表示装置において、
    表示形式が有機エレクトロルミネッセンス表示形式である表示装置。
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