JP3965967B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法及び製造装置並びにインクジェット記録装置及びインクジェット記録方法、カラーフィルタ製造装置及びカラーフィルタ製造方法並びに電界発光基板製造装置及び電界発光基板製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えばインクジェット印刷装置を利用した印刷等を行う際に用いるインクジェットヘッド、そして、そのヘッドの製造方法及び装置並びにそのインクジェットヘッドを用いたカラーフィルタやＯＥＬの製造方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット方式による印刷記録装置は、記録紙等へ高速に印刷が行えること、動作時の音が小さいこと等、多くの利点を有し、家庭用、工業用を問わず、あらゆる分野の印刷に利用されている。このインクジェットの中で、必要な時のみインク液滴（ここでは特に吐出材料の限定をしない限り、インクと総称していうことにする）を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンドと呼ばれる方式がある。
【０００３】
このインク・オン・デマンド方式には、さらにインクを吐出させるための方法が２つある。１つは、各ノズル内のインクを加熱し、気体（バブル）を発生させ、その圧力によってインク液滴を吐出させる方法である。もう１つは、ノズルから吐出させるインクを溜めておく吐出室の少なくとも一面の壁（ここでは、底壁とする。この壁は他の壁とも一体形成されているが、以下、この壁のことを振動板ということにする）が撓んで形状が変化するようにしておき、振動板を撓ませて吐出室内の圧力を高め、ノズルからインク液滴を吐出させる方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ここでは後者の方法を、主に工業用として用いる場合について考える。上記のようにインクジェット方式の装置は工業における様々な用途にも利用されつつある。特に最近、液晶（Liquid Crystal）を用いた表示装置を作成する際のカラーフィルタ、有機電界発光（Organic ElectroLuminescence ：以下、ＯＥＬという）基板等の製造に用いられつつある。例えば、カラーフィルタの作成工程においては、赤、青、緑という、いわゆる加法原色の３原色にフィルタの定められた場所を塗り分ける必要がある。これには、例えばリソグラフィー法のように、通常の方法だと３回の着色工程が必要となる。これがインクジェット方式を用いると、特にストライプ型の配置の場合には１回で塗り分けが行える。また、他の方式の配置でも目的の場所に直接インクを吐出するので、無駄にインクを必要としない。このように工程が単純で少なく、歩留まりも低く抑えることができるし、またコストダウンにもつながる。
【０００５】
このような用途にインクジェット方式の装置を用いるためには、各ノズルにおける吐出特性（インク重量（インクの比重や液滴の大きさによって決まる量である）、インクスピード、振動板の厚み等）をできる限り均一にする必要がある。例えば、工業用として用いるには各ノズルから吐出されるインク重量の差を１％以内に抑えられており、インクスピードが２ｍ／ｓ程度あることが望ましいと考えられる。
【０００６】
ただ、従来、各ノズルの吐出特性のうち、インクジェットヘッドに係る部分、例えば吐出室における振動板の厚さ等は、製造工程の関係上、インクジェットヘッド製造工程中に自然に決まってしまうものである。
【０００７】
そこで、本出願に係る発明は、このような状況を解決するためになされたものであり、各ノズルにおけるインク吐出特性をできるだけ均一に又は意図的に差をもたせるように調整したインクジェットヘッドを得ることを目的とする。また、そのインクジェットを用いた印刷等の記録装置、カラーフィルタ製造装置、電界発光基板製造装置等を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明に係るインクジェットヘッドは、レーザ光を照射して削ることで一部の厚さを変化させて、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を個別に加えた複数の吐出室と、各吐出室に連通するノズルと、吐出室に力を加える加圧手段とを備えたものである。したがって、インクジェットヘッドが有する複数の吐出室とそれらに連通する複数のノズルから吐出される吐出材料のインク重量等のバラツキを抑えることができ、工業用途にも充分に耐え得るインクジェットヘッドを得ることができる。また、意図的に各ノズルによってインク重量等の特性を変えることもでき、用途に応じたインクジェットヘッドを製造することができる。
【０００９】
また、厚さを調整することで吐出室が吐出材料に加える圧力を調整することができる。そのため、各吐出室と連通するノズルからの吐出特性を一定にすることができ、インク重量等のバラツキを抑えることができる。
【００１０】
また、本発明に係るインクジェットヘッドは、レーザ光を照射して加熱することで一部分のバネ質を変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を個別に加えた複数の吐出室と、各吐出室に連通するノズルと、吐出室に力を加える加圧手段とを備えたものである。したがって、加熱等により質を変化させることで吐出室が吐出材料に加える圧力を調整し、各吐出室と連通するノズルからの吐出特性を一定にすることができ、インク重量等のバラツキを抑えることができる。
【００１１】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造方法は、シリコン基板に形成した吐出室にレーザ光を照射して吐出室を削って厚さを変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を加えるものである。したがって、吐出室を削ったり、質を変化させたりすることにより、各吐出室と連通するノズルからのインク重量等を調整してバラツキを抑えることができる。そのため、工業用途にも充分に耐え得るインクジェットヘッドを得ることができる。
【００１２】
また、吐出室、ノズル等をエッチング等によりシリコン基板上に形成した後に、そのシリコン基板をガラス等の透明な部材で覆ったインクジェットヘッドを作成するようにすれば、インクジェットを作成した後でも、レーザ光照射により吐出室を削ることができる。そのため、実際に吐出材料を吐出してインク重量又はインクスピードを測定してから削ることができるので、精度の高いインクジェットヘッドを得られる。
【００１３】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造方法は、シリコン基板に形成した吐出室にレーザ光を照射して吐出室のバネ質を変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を加えるものである。したがって、吐出室、ノズル等をエッチング等によりシリコン基板上に形成した後に、そのシリコン基板をガラス等の透明な部材で覆ったインクジェットヘッドを作成するようにすれば、インクジェットを作成した後でも、レーザ光照射により吐出室の質を変化させることができる。そのため、実際に吐出材料を吐出してインク重量又はインクスピードを測定してから質を変化させることができるので、精度の高いインクジェットヘッドを得られる。
【００１４】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造方法は、吐出材料のインク重量が均一になるように吐出室に変化を加えるものである。したがって、工業用途としての要求にも充分に答えられるインクジェットヘッドを得ることができる。
【００１５】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造方法は、吐出材料のインクスピードがそれぞれ２ｍ／ｓ以上かつ均一になるように吐出室に変化を加えるものである。したがって、工業用途としての要求にも充分に答えられるインクジェットヘッドを得ることができる。
【００１６】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造方法は、インクジェットヘッド作製後に、ノズルから吐出材料を吐出させ、その際のインク重量又はインクスピードを直接又は間接に測定するための吐出特性を測定し、吐出特性に基づいて吐出室に変化を加えるものである。したがって、実際に吐出材料を吐出して測定してから削ることができるので、精度の高いインクジェットヘッドを得られる。
【００１７】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造装置は、インクジェットヘッドに設けられた各ノズルから吐出される吐出材料のインク重量又はインクスピードを、直接又は間接に測定する吐出特性測定手段と、吐出特性測定手段が測定したインク重量又はインクスピードに基づいて、レーザ光を照射する位置、照射時間、出力を決定するレーザ制御手段と、レーザ制御手段から送信される指示信号に基づいて、レーザ制御手段が決定した位置に決定した時間だけ決定した出力でレーザ光を照射して、インクジェットヘッドの吐出室の一部を削る又は加熱するレーザ光照射手段とを少なくとも備えている。
【００１８】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造装置は、レーザとしてＹＡＧレーザを用いたものである。したがって吐出室を削る量を細かく制御できる。
【００１９】
また、本発明に係るインクジェットヘッド製造装置においてレーザ制御手段は、吐出材料のインク重量が均一で、かつそれぞれのインクスピードが２ｍ／ｓ以上になるように、照射位置、照射時間及び出力を決定するものである。したがって、各ノズルによってバラツキのないインクジェットヘッドを得ることができる。
【００２０】
また、本発明に係るインクジェット記録装置は、上記の製造方法により製造したインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給手段と、ヘッド位置制御信号に基づいてインクジェットヘッドを移動させる走査駆動手段と、記録対象となる記録部材とインクジェットヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段とを少なくとも備えたものである。したがって、各ノズルによって吐出特性のバラツキがなく、安定し、記録対象の質を高めることができるインクジェット記録装置を得ることができる。
【００２２】
また、本発明に係るインクジェット記録方法は、吐出するインクのインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドと記録対象物とを相対的に移動させる工程と、インクジェットヘッドから記録対象物にインクを吐出する工程とを少なくとも有するものである。したがって、各ノズルによって吐出のバラツキがなく、安定するので、記録対象の質を高めることができる。
【００２３】
また、本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、上記の製造方法によりカラーフィルタを形成させる溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドに溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを少なくとも備えたものである。したがって、溶液を均一に塗布することができ、むらをなくすことができる。
【００２４】
また、本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、インクジェットヘッドを複数個有し、それぞれのインクジェットヘッドが、複数色の加法原色の溶液をカラーフィルタ基板の所定位置に吐出するものである。したがって、複数色の加法原色の溶液を１度で塗布することもできるので、歩留まりを高くすることができ、コストパフォーマンスがよいカラーフィルタ製造装置を得ることができる。
【００２６】
また、本発明に係るカラーフィルタ製造方法は、上記の製造方法によりカラーフィルタを形成させる溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドにより、加法原色の複数色の溶液を、光透過性のカラーフィルタ基板の所定位置にそれぞれ吐出する工程と、吐出された溶液により着色された色をカラーフィルタ基板に定着させる工程とを少なくとも有するものである。したがって、溶液を均一に塗布することができ、色むらのないカラーフィルタを得ることができる。また、複数色の加法原色の溶液を１度で塗布することもでき、不良率を低く抑えられ、コストパフォーマンスがよくなる。
【００２７】
また、本発明に係る電界発光基板製造装置は、上記の製造方法により発光材料を含む溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドに溶液を供給する材料供給手段と、位置制御信号に基づいてインクノズルから電界発光基板に向けての溶液の吐出を制御する制御手段とを備えたものである。したがって、真空蒸着等の高度の技術を用いなくても容易に基板を製造することができる。また、発光材料を吐出する際、インク重量等を均一にして基板に向けて吐出するようにしたので、各位置において電界発光素子をむらなく形成することができる。そのため、基板全体での発光表示による色むらをなくすことができる。そのため、歩留まりを高くすることができ、コストパフォーマンスがよい。
【００２８】
また、本発明に係る電界発光基板製造装置は、インクジェットヘッドを複数個有し、それぞれのインクジェットヘッドが、複数色の加法原色を発光させるための発光材料を含む溶液を電界発光基板の所定位置に吐出するものである。したがって、複数色の加法原色の色を発光するそれぞれの発光材料を溶媒に溶かした溶液を１度に吐出することもでき、時間短縮を行うことができる。
【００２９】
また、本発明に係る電界発光基板製造装置において発光材料は、有機化合物である。したがって、発光の反応がよい電界発光基板を得ることができる。その際、インクジェットヘッドの各部品を接着剤を用いない陽極接合で接合しておき、溶液を貯蔵するタンクからインクジェットヘッドまでの溶液の通り道の部材を有機溶剤に反応しない材料で構成しておくと効果的である。
【００３１】
また、本発明に係る電界発光基板製造方法は、上記の製造方法により発光材料を含む溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドにより、加法原色の複数色を発光させるための発光材料を含む溶液を、電界発光基板の所定位置にそれぞれ吐出する工程と、吐出された溶液を蒸発させ、発光材料を電界発光基板に固化させる工程とを少なくとも有するものである。したがって、真空蒸着等の高度の技術を用いなくても容易に基板を製造することができる。また、発光材料を吐出する際、インク重量等を均一にして基板に向けて吐出するようにしたので、各位置において電界発光素子をむらなく形成することができる。そのため、色むらがない電界発光基板を得ることができる。以上より、歩留まりを高くすることができ、コストパフォーマンスがよい。
【００３２】
また、本発明に係る電界発光基板製造方法において、発行材料は有機化合物である。したがって、発光の反応がよい電界発光基板を得ることができる。その際、インクジェットヘッドの各部品を接着剤を用いない陽極接合で接合しておき、溶液を貯蔵するタンクからインクジェットヘッドまでの溶液の通り道の部材を有機溶剤に反応しない材料で構成しておくと効果的である。
【００３３】
【発明の実施の形態】
実施形態１．
図１は本発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを製造するためのシステムの構成を表すブロック図である。図１において、１００はレーザ照射装置である。本実施の形態ではＹＡＧ（Yttrium Aluminum Garnet ）レーザを用いるものとする。ＹＡＧレーザは固体レーザの一種である。固体レーザとは、発振原子がガス原子ではなくガラス状のロッドである。これに強い光を照射させ、結晶体のプラスイオンを励起させてレーザ発振を得るものである。このＹＡＧレーザだと、パルス幅がフェムト（１０¹⁵）／ｓのオーダでできるという点で優れている。ただ、これはＹＡＧレーザに限定するものではない。他のフェムト秒レーザでもよいし、その他のオーダのレーザでもよい。２００はレーザ制御装置である。レーザ制御装置２００は、吐出特性測定装置３００が測定した各ノズルの吐出特性のデータに応じた解析を行う。そして、レーザ照射装置１００のレーザ照射時間、出力等を決定し、レーザ照射装置１００のインクジェットヘッドの振動板へのレーザ光照射を制御する。３００は吐出特性測定装置である。吐出特性測定装置３００は、吐出特性の要素をそれぞれ測定するためのセンサ（図示せず）から送信される特性信号に基づいて、各ノズルの吐出特性を測定するための装置である。ここでは、レーザ制御装置２００と吐出特性測定装置３００とを別の装置のように記載しているが、例えば、これら２つの装置の役割を行わせるために、あらかじめ定めた手順を記載したプログラムをコンピュータのようなデータ処理手段に実行させることで実現することができる。
【００３４】
図２は静電気力を用いたインクジェットヘッドの構成を表す図である。図２において、１は（１００）面方位のシリコン単結晶基板（以下、（１００）Ｓｉ基板という）である。このＳｉ基板１をエッチングしてノズル、吐出室等となる孔、溝、凹部等を形成する。２及び３はガラス基板である。本実施の形態ではガラス基板２及び３としてホウ珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いることにする。本実施の形態のインクジェットヘッドは、Ｓｉ基板１をガラス基板２及び３で挟み込む形で積層し、製造される。下側のガラス基板２には後述するようにＩＴＯ電極２１を設ける。
【００３５】
Ｓｉ基板１は、その表面に、一端より平行に等間隔で形成され、複数のノズルのノズル孔となる複数の溝１１を有している。ここでは底壁を振動板１５とした吐出室を構成することになる、各々の溝１１に連通した複数の凹部１２を有している。この振動板１５は、後にインク重量やインクスピード（吐出特性）を調整するためにレーザ光照射により削られる。また、各凹部１２の後部には、オリフィスを構成することになるインク流入口のための細溝１３を有している。また、各々の吐出室にインクを供給するための共通のリザーバ（インクキャビティ）を構成することになる凹部１４を有している。
【００３６】
Ｓｉ基板１の下面に位置するガラス基板２上には、基板を積層した際、振動板１５に対応する各々の位置に溝２２が設けられている。溝２２はガラス基板２をエッチングして形成する。そして、振動板１５の形状とほぼ同じ形状にパターンを形成したＩＴＯ電極２１が溝２２内に設けられている。ここで、本実施の形態では、酸化錫を不純物としてドープした酸化インジウム膜であるＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウム酸化第１錫）膜を用いた、透明電極のＩＴＯ電極２１を用いている。しかも、ＩＴＯ電極２１は厚さによりその色が変わるので、ＩＴＯ電極２１と振動板１５との空隙の差（以下、ギャップという）がわかる。ＩＴＯ電極２１を用いると都合がよいことが多いが、これに限定せず、酸化インジウムと酸化亜鉛の複合酸化物等、光透過性と導電性とを有する電極を用いるようにしてもよい。ＩＴＯ電極２１には電荷供給用のワイヤ２３の一端が接続されている。他の一端には、振動板１５を振動させるために電圧の印加を制御する発振回路２４が接続されている。
【００３７】
Ｓｉ基板１の上面に位置するガラス基板３は、ノズル、吐出室、オリフィス及びリザーバの天井面となる。そして、ガラス基板３にはリザーバに連通するインク供給口３１を設ける。インク供給口３１は接続パイプ３２及びチューブ３３を介してインクタンク（図示せず）に接続されている。ここではインクタンクからリザーバにインクを供給する手段として、接続パイプ３２、チューブ３３を用いているが特にこれらに限定する必要はない。
【００３８】
本実施の形態は、レーザ制御装置２００の制御により、レーザ照射装置１００がレーザ光を照射し、インクジェットヘッドの振動板１５を削ることで、インク吐出特性を調整しようとするものである。振動板１５を削る作業は、Ｓｉ基板１並びにガラス基板２及び３を積層させる前に行ってもよいが、本実施の形態では、実際にインクを吐出させ、吐出特性測定装置３００によりインクスピードやインク重量を計測した上で行う。これはＳｉ基板１を挟み込む基板が透明なガラス基板２及び３であり、また、電極を透明なＩＴＯ電極２１で構成しているから可能となるものである。
【００３９】
次に上記のインクジェットヘッドの製造方法の一例について説明する。（１００）Ｓｉ基板１を鏡面研磨し、その表面にＳｉＯ₂ の膜を形成させる。その膜の上に、さらにフォトレジストパターンを形成し、フッ酸系エッチング液でエッチングを行う。このエッチングにより露出しているＳｉＯ₂ の膜は除去される。その後、フォトレジストパターンも除去する。
【００４０】
そして、再度、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液、ヒドラジン等のアルカリ溶液でＳｉ基板１の異方性エッチングを行う。単結晶シリコンをアルカリ溶液でエッチングする際、結晶面によってエッチング速度の差が大きいので、異方性エッチングを行うことができる。シリコン単結晶の場合、（１１１）面のエッチング速度が最も小さいので、エッチングが進行するとこの面が平滑面として残留することになる。Ｓｉ基板１表面は（１００）面方位シリコン単結晶である。（１００）面に対して（１１１）面は約５５゜の角度を成す。
【００４１】
図３は、Ｓｉ基板１の断面の一部を表す図である。図３は吐出室の部分の断面を表している。フォトレジストパターンにより形成されるパターンの幅、エッチング時間によって、図３のようにノズル、吐出室、オリフィス及びリザーバを構成することになる溝１１、凹部１２、１４及び１６並びに細溝１３の形状が定まることになる。ここでノズル、オリフィスを構成する溝１１及び細溝１３の幅は吐出室を構成する凹部１２の幅よりもかなり狭く、同じ時間だけエッチングしても、（１１１）面同士がぶつかりそれ以上エッチングされない。そのため、理論的にはノズルの形状は、ある辺（溝１１の幅）とその両端の角が約５５゜の二等辺三角形となる。また、吐出室、リザーバを構成する凹部１２、１４及び１６は台形となる。ここで、振動板１５部分でのエッチング速度を極度に遅くし、エッチングをほぼ停止させて精度の高い振動板１５を形成するために、エッチング前に、あらかじめ振動板１５の厚さに合わせてホウ素（ボロン：Ｂ）を拡散させ、ボロンドープ層を形成させておくこともある。
【００４２】
ここで、インクジェットヘッドに起因する各ノズルの吐出特性の違いは、このエッチングまでの処理に依るところが大きい。例えば フォトレジストパターンを除去した際に残されたＳｉＯ₂ の膜の幅に差があれば、ノズル、オリフィスの寸法にも差が生じる。また、振動板１５の厚さにも差がある場合が考えられる。これらの差により吐出特性に違いが生じることになる。ここで、振動板１５の厚さに差が生じる理由について説明する。エッチング速度には差がないので、同時間のエッチングでは各ノズルを構成する溝１１に連通する凹部１２、吐出室を構成する凹部１６の深さは同じになる。つまり、鏡面研磨時に元々有している（１００）Ｓｉ基板の厚みの差（約±３μｍの差を有する）が、そのままエッチング後の振動板１５の厚みの差となって現れる。そのため、本実施の形態では最も調整がしやすい振動板１５にレーザ光を照射して削ることで吐出特性を変化させ、インク重量とインクスピードとを調整するのである。
【００４３】
次にガラス基板２の処理について説明する。ガラス基板２についても、その表面にＳｉＯ₂ の膜を形成させる。その膜の上に、Ｓｉ基板１の振動板１５とほぼ同じ間隔、形状になるように溝２２、ＩＴＯ電極２１を設けるためのフォトレジストパターンを形成する。その後、フッ酸系エッチング液でエッチングを行う。このエッチングにより露出しているＳｉＯ₂ の膜は除去される。その後、フォトレジストパターンも除去し、溝２２部分にＩＴＯ電極２１を設ける。ここで、この溝２２の深さがギャップに影響する。このギャップの違いでも吐出特性に違いが生じる。
【００４４】
ＩＴＯ電極２１に電圧を印加し、電荷を供給するためのワイヤ２３の一端をボンディングによりＩＴＯ電極２１と接続する。そして、別の一端を発振回路２４と接続する。この発振回路２４が駆動し、ＩＴＯ電極２１に電荷を供給して正に帯電させると振動板１５は負に帯電し、ＩＴＯ電極２１に引き寄せられる。これにより吐出室の容積は広がる。そして、ＩＴＯ電極２１への電荷供給を止めると振動板１５は元に戻るが、そのときの吐出室の容積も元に戻るから、その圧力により差分のインク液滴が吐出される。なお、発振回路２４の発振周波数は７ｋＨｚ程度である。また、このような方法は引き打ちと呼ばれるものであるが、バネ等を用いてインク液滴を吐出する押し打ちと呼ばれる方法もある。
【００４５】
次にガラス基板３の処理について説明する。ガラス基板３には、穴を開け、前述したようにリザーバに連通するインク供給口３１を設ける。
【００４６】
ここで、この段階でレーザ光を照射し、振動板１５を削ってもよいが、本実施の形態ではＳｉ基板１とガラス基板２及び３とを積層し、接合した後で振動板１５を削ることにする。実際に吐出されたインク重量、スピードを測定した上で振動板１５を削る方がより精密な調整を行えるからである。ガラス基板２及び３並びにＩＴＯ電極２１は透明であり、接合を行った後でも振動板１５にレーザ光を照射することができる。接合には陽極接合を用いる。陽極接合とは、例えば基板を重ね、３００℃で加熱しながら、Ｓｉ基板１を陽極とし、ガラス基板２及び３を陰極として、５００Ｖの直流電圧を５分間印加することによって接合を行うものである。この方法は接着剤を用いずに接合することができる。そのため、耐久性が高く、しかも有機溶剤を用いたインクでも印刷ができ、工業用途にも充分に耐え得る。そして、このようにして得られた接合体は、ダイシングによって切断され、インクジェットヘッドができる。
【００４７】
図４は本実施の形態に係るインクジェットヘッドの断面を表す図である。作成されたインクジェットヘッドについて、実際の用途に用いるインクを吐出させる。各センサから送信された特性信号に基づいて、吐出特性測定装置３００が各ノズルの吐出特性を測定値のデータとして処理し、測定を行う。ここで、吐出特性を測定するための要素となるのは、例えばインク重量、インクスピード、振動板１５が引き寄せられてＩＴＯ電極２１に当たる際に発生する音、振動板１５の厚さ、振動板１５のスピード等が挙げられる。このうち、工業用途として用いるために、インク重量のバラツキが１％以内に抑えられていること、インクスピードが２ｍ／ｓ程度であることが望ましいと考えられる。そこで、吐出特性測定装置３００は、測定した吐出特性に基づいて、ノズルの吐出特性を変える必要があるかどうかを判断する。そして、変える必要があると判断すれば、測定値のデータを信号にしてレーザ制御装置２００に送信し、振動板１５の厚さを変化させるための処理を行わせる。なお、振動板１５が引き寄せられてＩＴＯ電極２１に当たる際に発生する音については、インクを吐出させなくても測定することは可能である。
【００４８】
レーザ制御装置２００は、吐出特性測定装置３００が処理して算出した測定値のデータに基づいて吐出特性を解析する。そして、振動板１５にレーザ光を照射する時間、出力を決定し、振動板を削る量を決定する。その際のレーザ照射装置１００の位置決定も行う。そして、その決定に基づいた制御指示信号をレーザ照射装置１００に送信する。
【００４９】
吐出したインクが透明でなければ、インクを抜いた後、レーザ照射装置１００は、レーザ制御装置２００から送信される制御指示信号に基づいて位置決めを行う。そして、インクジェットヘッドの決められた位置に、決められた出力で決められた時間だけレーザ光を照射する。ここで図４のように、レーザ光は振動板の端部に照射するようにする。このように振動板の端部を削ると、削る量が少なくても振動板の撓みを大きくすることができる。ただ、結果的に吐出特性が調整できればよいので、削る位置は特に端部に限定しなくてもよい。ここで、ガラス基板２側からもガラス基板３側からもレーザ光を照射して振動板１５を削ることができるが、吐出室の深さが約０．２ｍｍ、ＩＴＯ電極２１とのギャップが０．２μｍであることを考えると、ガラス基板３側からレーザ光を照射する方が削りやすい。また、吐出室側を削ると、削りカスはインクを吐出させた際にいっしょに排出されるので都合がよい。
【００５０】
そして、再度インクジェットヘッドからインクを吐出させる。その吐出特性を吐出特性測定装置３００が処理し、定めたインク重量及びインクスピードの値のい範囲を満たしているかどうかを判断する。満たしていなかったら、再度レーザ制御装置２００が解析し、決定した時間、出力に基づいてレーザ照射装置１００からレーザ光を照射し、振動板１５を削る。これをインクジェットヘッドの全て又は一部のノズルに対してインク重量及びインクスピードの調整を完了すると、最終的なインクジェットヘッドが製造される。
【００５１】
図５はインク重量と振動板を削る量との関係を表した図である。ここで、図５（ａ）は本実施の形態のような引き打ちの場合を表し、図５（ｂ）は押し打ちの場合を表す。それぞれ、粘度が５ｍＰａ・ｓ、１５ｍＰａ・ｓ、３０ｍＰａ・ｓの場合を図示している。
【００５２】
引き打ちの場合、振動板が薄いほど速く引き寄せられるので、図５（ａ）に示すように、同じ粘度であれば振動板を削る量が多くなる程吐出されるインクのインク重量も大きくなる。また、粘度が高い程、ある一定量のインク重量を吐出するためには、インクに加える圧力を高める必要がある。つまり、振動板の削り量を多くしなければならない。逆に言えばインクに加える圧力が同じであれば、表面張力をはじめ、その他の要因により、粘度が高くなる程、吐出されるインク重量が小さくなる。
【００５３】
押し打ちの場合は、振動板が薄い程押す力が弱まる（一定の限度はあるものの、振動板が厚い方が押し返しの力が強くなる）ので、図５（ｂ）に示すように、同じ粘度であれば振動板を削る量が多くなるほど吐出されるインクのインク重量も小さくなる。また、粘度が高い程、ある一定量のインク重量を吐出するためには、インクに加える圧力を高める必要がある。押し打ちの場合は、振動板を削る量が少ないほど、圧力が高いので、削り量が多くなる程インク重量が小さくなる。
【００５４】
ここで、一般にインク重量が重くなればインクスピードは遅くなる。少なくとも同じインク、同じインクジェットヘッドでは、この２つの間には一定の関係が成立するといえる。ということは、インク重量を一定にするためには、インクスピードを一定にすればよいし、その逆もいえる。したがって、吐出特性測定装置３００で測定するのはどちらか測定しやすい方であればよいことになる。
【００５５】
図６は第１の実施の形態で製造したインクジェットヘッドを用いたインクジェット印刷装置の主要な構成手段を表す図である。このインクジェット印刷装置はいわゆるシリアル型の装置である。図６において、被印刷物であるプリント紙１１０が支持されるドラム１１１と、プリント紙１１０にインクを吐出し、記録を行うインクジェットヘッド１１２とで主に構成される。また、図示していないが、インクジェットヘッド１１２にインクを供給するためのインク供給手段がある。プリント紙１１０は、ドラム１１１の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ１１３により、ドラム１１１に圧着して保持される。そして、送りネジ１１４がドラム１１１の軸方向に平行に設けられ、インクジェットヘッド１１２が保持されている。送りネジ１１４が回転することによってにインクジェットヘッド１１２がドラム１１１の軸方向に移動するようになっている。
【００５６】
一方、ドラム１１１は、ベルト１１５等を介してモータ１１６により回転駆動される。また、プリント制御手段１１７は、印画データ及び制御信号に基づいて送りネジ１１４、モータ１１６を駆動させ、また、ここでは図示していないが、インクジェットヘッド１１２にある発振回路２４を駆動させて振動板１５を振動させ、制御をしながら印刷を行わせる。
【００５７】
以上のように第１の実施の形態によれば、エッチングを施したＳｉ基板１をガラス基板２及び３で挟んで陽極接合を行ったインクジェットヘッドから実際にインクを吐出し、その際、吐出測定測定装置３００が各センサから送信された特性信号に基づいて各ノズルの吐出特性を測定値のデータとして処理する。そして、レーザ制御装置２００が測定値のデータに基づいて吐出特性を解析してレーザ光を照射する時間、出力を決定し、レーザ照射装置１００がその決定に基づいてレーザ光を照射してＳｉ基板１に形成した振動板１５を削り、各ノズルから吐出されるインク重量及びインクスピードを調整して、バラツキを抑えて均一に、しかもインクスピードを２ｍ／ｓ以上となるようにしたので、工業用途にも充分に耐え得るインクジェットヘッドを得ることができる。また、透明なガラス基板２及び３並びにＩＴＯ電極２１を通過できるレーザ光を照射して振動板１５を削ることにより、インクジェットヘッドを構成し、吐出測定測定装置３００での測定を行った後で、削る時間、出力等を決定できるので、より高い精度で削ることができる。そのため、よりインク重量等が均一なインクジェットヘッドを得ることができる。また、レーザ照射装置１００にＹＡＧレーザを用いるようにすると、パルス幅をフェムト（１０¹⁵）／ｓのオーダででき、削る量を細かく制御できる。
【００５８】
実施の形態２．
上述の第１の実施の形態では、工業用にできるだけバラツキを抑えて均一な吐出を行わせるようにした。ただ、上記の方法を利用して意図的にノズルの吐出特性を変えることもできる。
【００５９】
実施の形態３．
また、上述の実施の形態ではレーザ照射装置１００で振動板１５を削ることにより、インク重量及びインクスピードを調整した。本発明はこれに限定されるものではない。例えば、レーザ照射装置１００を振動板１５に照射し、振動板１５を削るのではなく加熱する。その結果、熱酸化膜の厚さを変化させたり、振動板１５が有するバネ質を変化させたりすることにより、振動板１５（吐出室）が有する質（材質）を変化させ、インク重量及びインクスピードを調整するようにしてもよい。
【００６０】
実施の形態４．
図７は第１の実施の形態で製造したインクジェットヘッドを用いたカラーフィルタ製造装置を表す図である。図７において、１２０は第１の実施の形態で説明したものと同様のインクジェットヘッドである。ここで、インクジェットヘッド１２０は３次元的に回転できるものとする。また、インクジェットヘッド１２０は第１の実施の形態で説明したインクジェットヘッドを複数つなぎ合わせたものであってもよい。
【００６１】
Ｙ方向駆動軸１２２にはＹ方向駆動モータ１２３が接続されている。Ｙ方向駆動モータ１２３は、例えばステッピングモータ等である。制御手段１２８からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｙ方向駆動軸１２２を回転させる。Ｙ方向駆動軸１２２が回転させられると、インクジェットヘッド１２０はＹ方向駆動軸１２２の方向に沿って移動する。Ｘ方向ガイド軸１２４は、基台１２７に対して動かないように固定されている。
【００６２】
設置台１２１は、製造すべきカラーフィルタ用基板１３０を設置させるものである。設置台１２１には、カラーフィルタ用基板１３０を基準位置に固定するための機構が備えられている。設置台１２１には設置台駆動モータ１２５が備えられている。設置台駆動モータ１２５も、例えばステッピングモータ等である。制御手段１２８からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、設置台１２１をＸ軸方向に移動させる。すなわち、設置台１２１をＸ軸方向に駆動し、インクジェットヘッド１２０をＹ軸方向に駆動させることで、インクジェットヘッド１２０をカラーフィルタ用基板１３０上のいずれの場所にも自在に移動させることができる。また、カラーフィルタ用基板１３０に対するインクジェットヘッド１２０の相対速度も、各軸方向の駆動機構によって駆動する設置台１２１とインクジェットヘッド１２０の速度によって定まる。
【００６３】
制御手段１２８は、インクジェットヘッド１２０の発振回路（図示せず）を発振させるためのインク滴吐出用の電圧を印加し、インク吐出の制御を行う。また、Ｙ方向駆動モータ１２３には、インクジェットヘッド１２０のＹ軸方向の移動を制御する駆動信号を送信する。設置台駆動モータ１２５には設置台１２１のＸ軸方向の移動を制御する駆動信号を送信する。
【００６４】
クリーニング機構部１２６は、インクジェットヘッド１２０を清掃する清掃用布を備えている。特に図示していないが、クリーニング機構部１２６にもＸ方向駆動モータが備えられている。そして、このＸ方向駆動モータを駆動することにより、クリーニング機構１２６は、Ｘ方向ガイド軸１２４に沿って移動する。このクリーニング機構１２６の移動も制御手段１２８によって制御される。ヒータ１２９は、照明の照射によりカラーフィルタ用基板１３０を加熱し、インクの蒸発、乾燥等を行う。このヒータ１２９の照明の照射に関する制御も制御手段１２８が行う。
【００６５】
なお、本実施の形態では、インクジェットヘッド１２０はＹ軸方向にしか移動せず、Ｘ軸方向については設置台１２１が移動するようにした。これを逆にしてもよいし、また、インクジェットヘッド１２０又は設置台１２１のどちらか一方又は双方がＸ軸方向及びＹ軸方向の双方に移動できるようにしてもよい。また、本実施の形態では、インクジェットヘッド１２０からカラーフィルタ着色材料となるカラーフィルタ用のインク滴のみを吐出するものとした。ただ、カラーフィルタの保護層をインクジェット方式で形成する場合、さらに保護層の材料を貯蔵するタンクとそれを吐出するノズルとを設けて行うようにすればよい。また、ＩＴＯ電極の形成をインクジェット方式で行うこともできる。この場合にはＩＴＯ電極の材料を貯蔵するタンクとそれを吐出するノズルとを設けて行ってもよい。
【００６６】
図８はカラーフィルタを拡大した図である。図７において１４０は絵素（ピクセル）となるフィルタエレメントを表す。各フィルタエレメント１４０はカラーフィルタ製造装置によって、最終的に加法原色である赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）のどれかが着色される。図８では赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）のそれぞれのフィルタエレメントが一直線に配列されたストライプ型を表している。また、それぞれのフィルタエレメントの間には、図示はしないが、色を際立たせる等の役割を果たすブラックマトリクスが設けられる。通常、紙への記録に用いられるインクジェット印刷装置におけるインクジェットヘッドの各ノズルの間隔は３００ｄｐｉ（dots per inch ）、３６０ｄｐｉ、６００ｄｐｉ、７２０ｄｐｉ等の表示分解能を満たすものである。ところが、表示装置の場合、各フィルタエレメントの間隔は９．４インチのＶＧＡの表示装置では３００μｍ（８４．７ｄｐｉ相当）であったり、１０．４インチのＸＧＡの表示装置では２０７μｍ（１２２．７ｄｐｉ相当）であったりと、その分解能は異なり、それぞれの間隔が一致するということは稀である。したがって、インクジェット印刷装置と同様のインクジェットヘッド１２０を単にインクジェット印刷装置と同じ感覚で用いることはできない。
【００６７】
そこで、第１の実施の形態では特に示さなかったが、カラーフィルタ製造装置に用いるインクジェットヘッド１２０を製造する場合には、インクジェットヘッド１２０の各ノズルの間隔（以下、ピッチという）を、カラーフィルタ用基板１３０の各フィルタエレメントのピッチに合わせるようにしてもよい。その際、表示サイズ、分解能によりピッチは異なるので、生産量が多い、歩留まりを低くしたい等、コストを考慮したインクジェットヘッドを用いるようにしてもよい。
【００６８】
ただ、このような場合、そのためだけにフォトレジストパターンの形成等を行い、特別なインクジェットヘッド１２０を製造する必要がある。そこで、次にインクジェット印刷装置に用いられるものと同じインクジェットヘッドでピッチを合わせることを考える。
【００６９】
ストライプ型のフィルタエレメントの配置の場合に、赤、青、緑のそれぞれの色のインクの吐出に割り当てた３つのインクジェットヘッドをフィルタエレメントのピッチに合わせて多重化し、ストライプの方向に走査させてるようにすると、ノズルのピッチとフィルタエレメントのピッチを合わせなくてもよいが、むらが生じる可能性がある。
【００７０】
そこで、例えば、カラーフィルタ用基板１３０のＸ軸方向又はＹ軸方向に対して平行に設置していたインクジェットヘッド１２０を角度を持たせて設置し、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に対する間隔を変化させることでピッチを調整することができる。
【００７１】
逆に、特に定められた又は慣用的な規格がない表示装置（例えば携帯電話や時計の表示部分）に用いるようなカラーフィルタを製造する場合には、インクジェットヘッドのピッチに合わせてフィルタエレメントの配置を決定してもよい。
【００７２】
以上のように第４の実施の形態によれば、インクジェットヘッド１２０の各ノズルから吐出されるカラーフィルタ材料のインク重量を均一にすることができ、むらなくカラーフィルタ着色材料を塗布することができ、カラーフィルタの色むらをなくすことができる。また、工程上、３色の加法原色のカラーフィルタ材料を１度で塗布することもできるし、カラーフィルタ材料を直接フィルタエレメントに吐出するので無駄に消費することもない。以上より、歩留まりを低くすることができ、コストパフォーマンスがよいカラーフィルタ製造装置を得ることができる。特に、従来方法よりも格段に低コストで作成できるので、インクジェットヘッドのコストを考えても、コストパフォーマンスがよいカラーフィルタを得ることができる。また、カラーフィルタ材料を無駄にせず環境によい。
【００７３】
実施の形態５．
本実施の形態では、第１の実施の形態のようなインクジェットヘッドを用いたＯＥＬ基板製造装置によりＯＥＬ基板を作成する手順について説明する。この場合のＯＥＬ基板製造装置は、第３の実施の形態で説明したカラーフィルタ製造装置の構成をほとんど適用することができるので、図番等は図６と同じものを用いることにする。
【００７４】
次に、本発明に係る部分のＯＥＬ基板の製造について説明する。ＯＥＬに発光層等を形成する方法として、従来では、通常、例えば金属染料等を発光層に蒸着させる方法が採られる。インクジェット方式でＯＥＬ基板の製造を行うと、電界発光素子となる高分子有機化合物の塗布とパターニングとが一度で行える。また目的の位置に直接吐出するので、電界発光素子となる有機化合物を無駄にせず必要最小限の量を吐出するだけで済む。
【００７５】
そこで本実施の形態では、例えばガラス等の透明基板上にＩＴＯ電極、正孔注入層及び正孔輸送層を形成した後、赤、緑、青に発光する発光材料を溶媒に溶かした溶液をインクジェットヘッド１２０から基板上に吐出し、塗布する。そして、その溶液の溶媒を蒸発させて発光層を形成するようにする。ここで赤の発光層となる部分には、ローダミンＢをドープしたＰＰＶ（ポリ（ｐ・フェニレンビニレン））のキシレン溶液を用いる。また緑の発光層となる部分にはＭＥＨ・ＰＰＶのキシレン溶液を用いる。さらに青の発光層となる部分にはクマリンをドープしたＰＰＶのキシレン溶液を用いる。ここで、赤、青又は緑の発光層に用いる有機化合物及び溶液はさまざまあるので、特に上記に示したものでなくてもよい。また、中間色を発色するような材料を用いてもよい。ただ、それぞれの材料によって重量、粘度等が変わるので、吐出する材料に応じ、第１の実施の形態で説明したようにインク重量、インクスピードを調整しておく必要がある。このように、高分子有機化合物の溶液をインクジェット方式で吐出できるのは、本実施の形態のインクジェットヘッドが接着剤を使わないで製造したインクジェットヘッドであるからである。
【００７６】
そして、電子注入層として例えばＰＰＶを溶媒に溶かして塗布した後にコーティング乾燥する。その後、例えばアルミニウムリチウム合金の陰極電極をパターニングして、ＯＥＬ基板を作成する。
【００７７】
以上のように第５の実施の形態によれば、インクジェットでＯＥＬ基板製造装置を構成したので、真空蒸着等の高度の技術を用いなくても容易に基板を製造することができる。その際、インクジェットヘッド１２０の各ノズルから吐出される、発光材料を溶媒に溶かした溶液のインク重量を均一に吐出するので、それぞれ位置ではＯＥＬ素子をむらなく形成することができ、ＯＥＬ基板全体での表示の色むらをなくすことができる。また、発光材料を直接吐出するので無駄がない。したがって、歩留まりを低くすることができ、コストパフォーマンスがよいＯＥＬ基板製造装置を得ることができる。特に、従来方法よりも格段に低コストで作成できるので、インクジェットヘッドのコストを考えても、コストパフォーマンスがよいＯＥＬ基板を得ることができる。また、発光材料を無駄にせず環境によい。ここでは、ＯＥＬ基板の製造について述べているが、無機電界発光素子で基板を製造する場合にも適用することができる。
【００７８】
実施の形態６．
上述した第１の実施の形態は、インクジェットヘッドの側面部分からインクを吐出するエッジ方式のインクジェットヘッドについて説明した。しかし、本出願に係る発明はこれに限定されるものではなく、ガラス基板にノズルを設けてインクを吐出させるフェイス方式のインクジェットヘッドについても適用することができる。
【００７９】
実施の形態７．
上述した第１の実施の形態では、静電気力を用いたインクジェットヘッドに用いる例について示した。ただ、本出願の発明は静電気力を用いたインクジェットヘッドに特に有効なものではあるが、他のインクジェットヘッドへの適用を特に限定するものではない。他の圧電素子（アクチュエータ）を利用したインクジェットヘッドについても適用することができる。
【００８０】
実施の形態８．
上述の第４の実施の形態では、第１の実施の形態のようなインクジェットヘッドをカラーフィルタ製造装置に利用することについて説明した。また、第４の実施の形態では、ＯＥＬ基板製造装置に利用することについて説明した。ただ、本発明はこれに限定されるものではない。他のあらゆる工業用途、家庭用途に、第１の実施の形態のようなインクジェットヘッドを用いた印刷装置、記録装置を用いることができる。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように本出願に係る発明によれば、例えば吐出室の厚さや質を変化させて、ノズルから吐出される吐出材料のインク重量及びインクスピードを調整するようにしたインクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェット印刷装置、カラーフィルタ製造装置及び電界発光基板製造装置を構成して、それぞれの対象物に吐出するようにしたので、インク重量等のバラツキを抑えることができ、工業用途にも充分に耐え得るインクジェットヘッドその他そのインクジェットヘッドを使った機器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを製造するためのシステムの構成を表すブロック図である。
【図２】静電気力を用いたインクジェットヘッドの構成を表す図である。
【図３】Ｓｉ基板１の断面の一部を表す図である。
【図４】本実施の形態に係るインクジェットヘッドの断面を表す図である。
【図５】インク重量と振動板を削る量との関係を表した図である。
【図６】第１の実施の形態で製造したインクジェットヘッドを用いたインクジェット印刷装置の主要な構成手段を表す図である。
【図７】第１の実施の形態で製造したインクジェットヘッドを用いたカラーフィルタ製造装置を表す図である。
【図８】カラーフィルタを拡大した図である。
【符号の説明】
１ Ｓｉ基板
２、３ ガラス基板
１１、２２ 溝
１２、１４ 凹部
１３ 細溝
１５ 振動板
２１ ＩＴＯ電極
２３ ワイヤ
３１ インク供給口
３２ 接続パイプ
３３ チューブ
１００ レーザ照射装置
２００ レーザ制御装置
３００ 吐出特性測定装置
１１０ プリント紙
１１１ ドラム
１１２、１２０ インクジェットヘッド
１１３ 紙圧着ローラ
１１４ 送りネジ
１１５ ベルト
１１６ モータ
１１７ プリント制御手段
１２１ 設置台
１２２ Ｙ方向駆動軸
１２３ Ｙ方向駆動モータ
１２４ Ｘ方向ガイド軸
１２５ 設置台駆動モータ
１２６ クリーニング機構部
１２７ 基台
１２８ 制御手段
１２９ ヒータ
１３０ カラーフィルタ用基板
１４０ 絵素

Claims (20)

1. レーザ光を照射して削ることで一部の厚さを変化させて、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を個別に加えた複数の吐出室と、
   前記各吐出室に連通するノズルと、
   前記吐出室に力を加える加圧手段と
   を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. レーザ光を照射して加熱することで一部分のバネ質を変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を個別に加えた複数の吐出室と、
   前記各吐出室に連通するノズルと、
   前記吐出室に力を加える加圧手段と
   を備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
3. シリコン基板に形成した吐出室にレーザ光を照射して前記吐出室を削って厚さを変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を加えることを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
4. シリコン基板に形成した吐出室にレーザ光を照射して前記吐出室のバネ質を変化させ、吐出材料のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を加えることを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
5. 吐出材料のインク重量が均一になるように吐出室に変化を加えることを特徴とする請求項３又は４記載のインクジェットヘッド製造方法。
6. 吐出材料のインクスピードがそれぞれ２ｍ／ｓ以上かつ均一になるように吐出室に変化を加えることを特徴とする請求項３又は４記載のインクジェットヘッド製造方法。
7. インクジェットヘッド作製後に、ノズルから前記吐出材料を吐出させ、その際のインク重量又はインクスピードを直接又は間接に測定するための吐出特性を測定し、前記吐出特性に基づいて前記吐出室に変化を加えることを特徴とする請求項３又は４記載のインクジェットヘッド製造方法。
8. インクジェットヘッドに設けられた各ノズルから吐出される吐出材料のインク重量又はインクスピードを、直接又は間接に測定する吐出特性測定手段と、
   前記吐出特性測定手段が測定したインク重量又はインクスピードに基づいて、レーザ光を照射する位置、照射時間、出力を決定するレーザ制御手段と、
   前記レーザ制御手段から送信される指示信号に基づいて、レーザ制御手段が決定した位置に決定した時間だけ決定した出力でレーザ光を照射して、前記インクジェットヘッドの吐出室の一部を削る又は加熱するレーザ光照射手段と
   を少なくとも備えたことを特徴とするインクジェットヘッド製造装置。
9. 前記レーザとしてＹＡＧレーザを用いたことを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド製造装置。
10. 前記レーザ制御手段は、吐出材料のインク重量が均一で、かつそれぞれのインクスピードが２ｍ／ｓ以上になるように、照射位置、照射時間及び出力を決定することを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド製造装置。
11. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により、製造したインクジェットヘッドと、
    前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給手段と、
    ヘッド位置制御信号に基づいて前記インクジェットヘッドを移動させる走査駆動手段と、
    記録対象となる記録部材と前記インクジェットヘッドとの相対位置を変化させる位置制御手段と
    を少なくとも備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
12. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により製造したインクジェットヘッドと記録対象物とを相対的に移動させる工程と、
    前記インクジェットヘッドから前記記録対象物にインクを吐出する工程と
    を少なくとも有することを特徴とするインクジェット記録方法。
13. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により、カラーフィルタを形成させる溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドと、
    前記インクジェットヘッドに前記溶液を供給する材料供給手段と、
    位置制御信号に基づいてインクノズルからカラーフィルタ基板に向けての前記溶液の吐出を制御する制御手段と
    を少なくとも備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
14. 前記製造装置は前記インクジェットヘッドを複数個有し、それぞれの前記インクジェットヘッドが、複数色の加法原色の前記溶液を前記カラーフィルタ基板の所定位置に吐出することを特徴とする請求項１３記載のカラーフィルタ製造装置。
15. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により、カラーフィルタを形成させる溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドにより、加法原色の複数色の溶液を、光透過性のカラーフィルタ基板の所定位置にそれぞれ吐出する工程と、
    吐出された溶液により着色された色を前記カラーフィルタ基板に定着させる工程と
    を少なくとも有するカラーフィルタ製造方法。
16. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により、発光材料を含む溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドと、
    前記インクジェットヘッドに前記溶液を供給する材料供給手段と、
    位置制御信号に基づいてインクノズルから電界発光基板に向けての前記溶液の吐出を制御する制御手段と
    を備えたことを特徴とする電界発光基板製造装置。
17. 前記基板の製造装置は前記インクジェットヘッドを複数個有し、それぞれの前記インクジェットヘッドが、複数色の加法原色を発光させるための前記発光材料を含む溶液を前記電界発光基板の所定位置に吐出することを特徴とする請求項１６記載の電界発光基板製造装置。
18. 前記発光材料は、有機化合物であることを特徴とする請求項１６又は１８記載の電界発光基板製造装置。
19. 請求項３〜７のいずれかに記載の製造方法により、発光材料を含む溶液のインク重量又はインクスピードを調整するための変化を吐出室に加えて製造したインクジェットヘッドにより、加法原色の複数色を発光させるための発光材料を含む溶液を、電界発光基板の所定位置にそれぞれ吐出する工程と、
    吐出された前記溶液を蒸発させ、前記発光材料を前記電界発光基板に固化させる工程と
    を少なくとも有する電界発光基板製造方法。
20. 前記発光材料は、有機化合物であることを特徴とする請求項１９記載の電界発光基板製造方法。

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