CN101903810B - 涂布装置和涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够实现了装置的小型化且便于维护的涂布装置。涂布装置(1)构成为：该涂布装置(1)构成有喷头单元(52)，通过该喷头单元(50)在基板(K)上，沿扫描方向(X)扫描S次，对该基板(K)涂布涂料，其中，S为2以上的整数，所述喷头单元(52)配置有多个喷头模块(52)，该喷头模块由排出相同颜色的涂料的多个涂料喷头(51)构成，在该涂布装置(1)中，在与扫描方向(X)垂直的扫描垂直方向(Y)上，以规定的排列间距(P)，配置有一列喷头模块(52)，构成单色的喷头单元(50)，涂布装置(1)具有喷头单元移动部件(45)，该喷头单元移动部件(45)在喷头单元(50)的每一次扫描结束时，使喷头单元(50)沿扫描垂直方向(Y)移动规定量P/S。

Description

涂布装置和涂布方法

技术领域

本发明涉及涂布装置。详细地讲，涉及在使多个涂料喷嘴与作为涂布对象的基板在彼此相对且接近的状态下相对移动(扫描)的同时，在规定位置从多个涂料喷嘴排出规定量的涂料的装置，特别适合应用于滤色器制造装置。 

背景技术

彩色液晶显示器由滤色器、TFT阵列基板等构成。其中，滤色器是作为彩色液晶显示器的颜色形成中枢的部件，其是将由格子状的黑矩阵框起来的各像素分为R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)三种颜色，并将它们规则地形成在玻璃基板上而成的。这种滤色器通常通过如下方式来制造：1)在玻璃基板上，形成黑色的光致抗蚀材料的涂布膜，之后，通过光刻法将黑色涂布膜加工成格子状(格子状黑矩阵的形成)；2)暂且在整个表面形成R的涂布膜，之后，通过光刻法，仅在格子间的R像素中保留R涂布膜(R像素的形成)；3)针对G、B，也是通过与R同样的方法，暂且在整个表面形成B、G各自的涂布膜，之后，仅在B、G像素中保留B、G涂布膜(B、G像素的形成)。在上述基于光刻法的R、G、B像素形成中，需要针对R、G、B，进行在整个表面上形成涂布膜、曝光、显影等多个工序。 

近年来，为了简化上述工序，在工业上，已经在使用如下方法：仅在由黑矩阵格子形成的像素部中，通过涂料喷头直接供给R、G、B的各涂布液，从而形成R、G、B的颜色像素。基于该涂料喷头的R、G、B像素形成方法不需要曝光、显影等工序，而是仅仅使用了形成彩色像素所需的量的涂布液，所以，能够大幅降低滤色器制造的成本(例如参照专利文献1、2、3)。 

作为使用了涂料喷头的滤色器制造装置的代表例，有这样的装置，该装置具备：具有多个涂料喷嘴的涂料喷头；保持基板的保持台；以及使涂料喷头与保持台相对移动的移动单元。该装置在使多个涂料喷嘴与基板在彼此相对且接近的状态下沿水平方向X相对移动(扫描)的同时，在规定定时从多个涂料喷嘴排出规定量的涂料，由此，在基板上形成滤色器。 

滤色器的像素尺寸一般为100微米左右这样小，因此，在上述滤色器制造装置中，需要提高涂料喷头的分辨率。并且，为了提高生产效率，希望尽量缩短涂布所需的时间。 

因此，例如如图19所示，通过在扫描方向X上直列地配置多个(图中为2个)涂料喷头510来构成喷头模块520，由此提高了分辨率。并且，通过在与扫描方向X垂直的方向Y上并列地配置多个涂料喷头510，减少了涂料喷头510的扫描次数。由此，缩短了对基板K上的所有被涂布部位进行涂布所需的涂布时间。 

如图19所示，现有的滤色器制造装置将喷头模块520配置成锯齿状。其原因如下。即，喷头模块520的筐体52A的宽度比涂料喷嘴540的排列宽度W大，所以，在筐体52A的端部512与喷嘴组的端部511之间存在间隔T。因此，当在多个喷头模块520沿Y轴方向配置成一列的状态下，当沿X轴方向进行扫描时，由于间隔T的存在，产生了涂料喷嘴540完全未通过的喷嘴未通过区域。喷嘴未通过区域的宽度为间隔T的2倍的宽度。因此，将喷头模块520配置成以锯齿状，不会产生喷嘴未通过区域(参照专利文献4的图2)。 

专利文献1：日本特开2006-209140号公报 

专利文献2：日本特开2002-273868号公报 

专利文献3：日本特许第3925525号公报 

专利文献4：日本特愿2006-134514号 

但是，在现有的滤色器制造装置中，由于将喷头模块520配置成锯齿状，因此，喷头单元500整体变大，不仅扫描行程增大，而且滤色器制造装置整体大型化，从而设置该滤色器制造装置的无尘室也大型化， 所以，存在设备费用高昂的问题。并且，由于喷头表面的防水加工的劣化等，涂料喷头510的寿命有限，所以需要定期更换，然而，在更换时，要求喷头模块520的极其准确的定位，存在更换作业需要很长时间的问题。 

并且，喷头模块中的涂料喷嘴无法制作成完全一致，因此，每个喷头或每个喷嘴的涂料排出量不一致。当使用这种喷头模块在X轴方向上进行扫描和涂布时，喷头模块在涂布宽度内的涂料排出不均匀很明显。 

发明内容

本发明正是鉴于这种问题而完成的，其目的在于，提供能够实现装置的小型化且便于维护的涂布装置，并且，提供能够改善在喷头模块的涂布宽度内产生的涂布不均匀的涂布方法和装置。 

本发明的第1方面提供一种涂布方法，在该涂布方法中，配置有喷头模块的涂料排出部通过重复执行如下动作，来对由多个像素构成的待涂布涂料的涂布对象物的规定区域进行涂布，所述喷头模块由多个形成有多个喷嘴的喷头组合而成，且具有涂布宽度Wm，所述动作是：所述涂料排出部在所述涂布对象物的上方，一边在与作为所述喷头模块的配置方向的Y轴方向垂直的X轴方向上移动，一边从所述喷嘴排出涂料，进行涂布，接着，所述涂料排出部停止所述涂料的排出，沿所述Y轴方向进行移动，其中，该涂布方法具有以下工序：扫描涂布工序，所述涂料排出部在沿所述X轴方向移动的同时，对规定像素涂布涂料；以及扫描移动工序，该扫描移动工序包含这样的移动：在该移动中，所述涂料排出部沿所述Y轴方向移动的移动量y比所述喷头模块的涂布宽度Wm小。 

在本方面中，喷头模块在Y轴方向上进行比涂布宽度Wm短的距离的移动，所以，能够在由喷头模块的端部涂布的部分中，设置重叠部，在该重叠部中，喷头模块再次通过喷头模块所一度通过的场所。该重叠部的形成能够使由喷头模块端部涂布的区域的干燥环境接近于由喷头模块中央部涂布的区域的干燥环境，能够降低涂布不均匀。 

本发明的第2方面提供第1方面所述的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置排出一种颜色的涂料的喷头模块，并且，以相对于所述排出一种颜色的涂料的喷头模块，沿所述X轴方向排列且在所述Y轴方向上错开所述涂布宽度Wm以下的距离的方式，在所述Y轴方向上，以所述规定间距P，配置排出与上述一种颜色不同颜色的涂料的喷头模块。 

在本方面中，排出不同涂料的喷头模块彼此被配置成锯齿状，所以，对于由某个颜色的喷头模块的端部分涂布的像素，在其周边存在由其他颜色涂布的像素，所以，其干燥环境与喷头模块的中间差异不太，能够降低涂布不均匀。 

本发明的第3方面提供第1或第2方面的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置所述喷头模块，在所述扫描移动工序中，所述移动量y始终为恒定的距离。 

在本方面中，尤其对于在Y轴方向上以间距P直线地配置相同颜色的喷头模块的涂料排出部，能够对喷头模块之间的间隔部分进行涂布。因此，即使不将喷头模块配置成锯齿状，也能够消除喷头模块的未通过部位，能够使涂料排出部小型化。 

并且，在喷头模块之间的间距为P这样的条件下，如果y＜Wm、且移动量y始终恒定，则能够通过{Int(P/y)+1}次的涂布动作对全部的区域P进行涂布。其中，Int是仅提取P/S的整数部的函数。 

本发明的第4方面提供第1或第2方面的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置多个所述喷头模块，在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：对于每个所述扫描涂布工序，所述移动距离y不同。 

在本方面中，重叠部的宽度可以根据场所不同而变化，或者，只要最终形成了重叠部，则可以在Y轴方向上进行移动距离y以外的距离的移动。因此，能够从容易干燥的场所起优先进行涂布。并且，在每次沿Y轴方向的移动中，移动距离y可以与y相差略微距离。 

本发明的第5方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述扫描移动工序中，对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1大，最后的移动距离y_t比所述涂布宽度Wm小。

在本方面中，至少包含有一次比涂布宽度Wm小的Y轴方向的移动，所以，能够可靠地形成重叠部。其中，采用这样的涂布方法：随着涂布的进行，Y轴方向的移动减小。 

本发明的第6方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：设通过所述扫描涂布工序对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的第k次的移动距离由(-1)^k-1{(S-k)P}/S来表示，其中，上述S是通过对根据所述最后的移动距离y_t和所述规定间距P求出的P/y_t的整数部加1来确定的。 

在本方面中，涂料排出部在以从外侧朝向中间的螺旋状移动的同时，进行涂布，所以，对于由喷头模块的端部涂布的区域，通过喷头模块在2次以内的扫描移动对相邻区域进行了涂布。因此，由喷头模块的端部涂布的区域与由中央部涂布的区域相比，干燥环境的差异小，能够降低涂布不均匀。 

本发明的第7方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述扫描移动工序中，对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1小，最初的移动距离y_s比所述涂布宽度Wm小。 

在本方面中，至少包含一次比涂布宽度Wm小的Y轴方向的移动，所以，能够可靠地形成重叠部。其中，采用这样的涂布方法：随着涂布的进行，Y轴方向的移动增大。 

本发明的第8方面提供第7方面的涂布方法，其中，在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：设通过所述扫描涂布工序对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的第k次的移动距离由(-1)^k-1(kP)/S来表示，其中，上述S是通过对根据所述最初的移动距离y_s 和所述规定间距P求出的P/y_s的整数部加1来确定的。 

在本方面中，涂料排出部在以从中间朝向外侧的螺旋状移动的同时，进行涂布，所以，对于由喷头模块的端部涂布的区域，通过喷头模块在2次以内的扫描移动对相邻区域进行了涂布。因此，由喷头模块的端部涂布的区域与由中央部涂布的区域相比，干燥环境的差异小，能够降低涂布不均匀。 

本发明的第9方面提供第1～第8方面的涂布方法，其中，该涂布方法还具有这样的工序：在所述涂布对象物的特定区域中，针对属于所述喷头模块的涂布宽度的一部分重复通过的重叠部的像素，随机选择在第1次的所述扫描涂布工序中所要涂布的像素和在第2次以后的所述扫描涂布工序中所要涂布的像素，所述扫描涂布工序包含对通过所述选择工序选择的所述像素进行涂布的工序。 

在本方面中，对于喷头模块多次通过的重叠部，随机选择在最初通过时所要涂布的像素和在第2次以后通过时所要涂布的像素，进行涂布，所以，干燥时的涂布不均匀被随机地分散开，涂布不均匀不明显。 

本发明的第10方面提供第1～第9方面的涂布方法，其中，所述进行随机选择的工序是这样的工序：沿所述X轴方向，将所述重叠部分割为多个分割区域，针对每个所述分割区域，以预定的比例确定在第1次中所要涂布的像素的个数以及在第2次以后所要涂布的像素的个数，针对每个所述分割区域，随机选择所述个数的像素。 

根据本方面，在对重叠部进行分割后，随机选择第1次所要涂布的像素和第2次以后所要涂布的像素，所以，随机选择的区域逐渐发生变化，涂布不均匀更加不明显。 

本发明的第11方面提供一种涂布装置，其中，该涂布装置具有：保持涂布对象物的工作台；涂料排出部，其配置有喷头模块，该喷头模块由多个形成有多个喷嘴的喷头组合而成，且具有涂布宽度Wm；驱动单元，其使所述涂料排出部沿所述工作台上的X轴方向和与所述X轴方向垂直的Y轴方向移动；位置检测单元，其检测所述涂料排出部的位置信息；以及控制部，其与所述涂料排出部、所述驱动单元以及所述位置检 测单元连接，该控制部具有：使所述涂料排出部沿所述X轴方向移动的X轴方向移动指示；使所述涂料排出部沿所述Y轴方向移动的Y轴方向移动指示；从所述喷嘴排出涂料的排出指示；以及排出预定信息，其示出所述涂料排出部的X坐标、Y坐标及所述排出指示之间的关系以及输出所述Y轴方向移动指示的定时，所述Y轴方向移动指示包含移动量y比所述涂布宽度Wm小的移动指示。 

另外，本发明的第12方面提供第11方面的涂布装置，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置有排出一种颜色的涂料的所述喷头模块，并且，以相对于所述排出一种颜色的涂料的喷头模块，沿所述X轴方向排列且在所述Y轴方向上错开所述涂布宽度Wm以下的距离的方式，在所述Y轴方向上，以所述规定间距P，配置有排出与上述一种颜色不同颜色的涂料的喷头模块。 

另外，本发明的第13方面提供第11或第12方面的涂布装置，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置了所述喷头模块，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：针对所述涂料排出部在所述X轴方向上的每次移动，所述移动距离y均相同。 

另外，本发明的第14方面提供第11或第12方面的涂布装置，其中，所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置了所述喷头模块，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：针对所述涂料排出部在所述X轴方向上的每次移动，所述移动距离y均不同。 

另外，本发明的第15方面提供第14方面的涂布装置，其中，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：在对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1小，最后的移动距离y_t比所述涂布宽度Wm小。 

另外，本发明的第16方面提供第15方面的涂布装置，其中，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：设对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的所述涂料排出部的第k次在所述Y轴方向上的移动距离为(-1)^k-1{(S-k)P}/S，其中，上述S是通过对根据所述最 后的移动距离y_t和所述规定间距P求出的P/y_t的整数部加1来确定的。 

另外，本发明的第17方面提供第14方面的涂布装置，其中，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：在对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1大，最初的移动距离y_s比所述涂布宽度Wm小。 

另外，本发明的第18方面提供第17方面的涂布装置，其中，所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：设对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的所述涂料排出部的第k次在所述Y轴方向上的移动距离为(-1)^k-1(kP)/S，其中，上述S是通过对根据所述最初的移动距离y_s和所述规定间距P求出的P/y_s的整数部加1来确定的。 

另外，本发明的第19方面提供第11～第18方面的涂布装置，其中，所述排出预定信息中的所述涂料排出部的X坐标、Y坐标以及所述排出指示之间的关系是对应于如下状态的关系：在所述状态中，在属于所述涂布对象物的特定区域的像素中，随机选择了在第1次中所要涂布的像素和在第2次以后所要涂布的像素。 

另外，本发明的第20方面提供第11～第19方面的涂布装置，其中，所述排出预定信息中的所述涂料排出部的X坐标与所述排出指示之间的关系是对应于如下状态的关系：在所述状态中，沿所述Y轴方向，将所述涂布对象物的特定区域分割为多个分割区域，针对每个所述分割区域，以预定的比例确定了要在第1次中涂布的像素的个数和要在第2次以后涂布的像素的个数，针对每个所述分割区域，随机选择了所述个数的所述像素。 

根据本发明，提供了一种能够实现装置的小型化且便于维护的涂布装置。 

并且，能够提供可进行在喷头模块宽度内不存在涂布不均匀和干燥不均匀的涂布的方法和装置。 

附图说明

图1是示出本发明的滤色器制造装置的立体图。 

图2是示出本发明的滤色器制造装置的要部的平面图。 

图3是涂料排出部的平面概略图。 

图4是喷头单元(head block)的平面概略图。 

图5是作为滤色器的形成对象的玻璃基板的平面图。 

图6是示出本发明的滤色器制造装置的动作概要的流程图。 

图7是详细示出图6的涂布动作的流程图。 

图8是用于说明涂布时的扫描动作的图。 

图9是用于更详细地说明涂布时的扫描动作的图。 

图10是将喷头模块配置成锯齿状的涂料排出部的平面图。 

图11是说明图10的涂料排出部在每次进行X轴方向的扫描涂布时沿Y轴方向移动P/S的量的状态的图。 

图12是示出通过将喷头模块配置成锯齿状，从而在由喷头模块的端部涂布的像素周围，存在进行了涂布的像素的状态的图。 

图13是不同颜色的喷头模块的涂布区域重合的涂料排出部的平面图。 

图14是说明通过图13的涂料排出部进行涂布时产生的重叠部的图。 

图15是示出使涂料排出部从外向内呈螺旋状移动而进行涂布的状态的图。 

图16是示出使涂料排出部从内向外呈螺旋状移动而进行涂布的状态的图。 

图17是示出随机选择重叠部的像素来进行涂布的状态的图。 

图18是示出将重叠部分割为多个区域、再随机选择像素来进行涂布的状态的图。 

图19是现有的喷头单元的平面概略图。 

标号说明 

1：滤色器制造装置(涂布装置)；2：机台；3：吸附台；4：涂布架(gantry)；5：涂料排出部；6：照相机架；7：对准照相机；8：扫描照相机；9：基板输送机器人；10：控制装置；31：载置面；32：真空吸附 孔；33：升降销(lift pin)孔；34：升降销；41：支柱部；42：水平框部；43：第1直线电动机；44：伺服电动机机构；45：第2直线电动机；50R、50G、50B：喷头单元；51：涂料喷头；52：喷头模块；54：涂料喷嘴；55：喷嘴组；62：水平框部；63：第4直线电动机；64：第3直线电动机；91：电动机；92：臂；93：可动支承台；45：第2直线电动机(喷头单元移动部件)；50：喷头单元；51：涂料喷头；52：喷头模块；54：涂料喷嘴；70R、70G、70B：喷头模块；77、78：喷头模块的涂布区域；79：区域77的端部的像素；80、8l：区域78的端部的像素；85：不同颜色的喷头模块之间的涂布区域重合的部分；88：重复涂布区域；97：关注的喷头模块；98：喷头模块97的左侧相邻的喷头模块；103～106：涂料排出部的位置；110～113：涂料排出部的移动；120～123：涂布的区域；133～136：涂料排出部的位置；140～143：涂料排出部的移动；150～153：涂布的像素；160、161：同时涂布的区域；162：重叠部；170、171：同时涂布的区域；172～176：重叠部；200：涂布区域；201：重叠部；gs：像素(被涂布部位)；K：玻璃基板(基板)；X轴方向(扫描方向)；Y轴方向(扫描垂直方向)。 

具体实施方式

下面，参照附图来说明本发明的实施方式。图1是示出本发明的滤色器制造装置的立体图，图2是示出本发明的滤色器制造装置的要部的平面图，图3是涂料排出部的平面概略图，图4是喷头单元的平面概略图。在这些各图中，设正交坐标系的3个轴为X、Y、Z、XY平面为水平面、Z轴方向为铅直方向、绕铅直轴的旋转方向为θ方向。并且，设图1中x方向的纸面近前侧为上游、x方向的纸面里侧为下游。即，在图1中，A方向为上游，B方向为下游。而且，将从上游朝下游的动作设为前进动作，将从下游朝上游的动作设为返回动作。并且，将前进动作或返回动作称为扫描动作。 

如图1所示，本发明的滤色器制造装置(后面也称为“涂布装置”)1具有：机台2、吸附工作台3、涂布架4、涂料排出部5、照相机架6、 对准照相机7、扫描照相机8、基板输送机器人9、以及控制装置10等。 

机台2作为可动地支撑滤色器制造装置1的主结构部(例如吸附工作台3、涂布架4、照相机架6等)的台座发挥功能，主要由石料构成。采用石料是为了将随温度变化的变形抑制为最小限度。 

如图2所示，吸附工作台3具有载置面31，该载置面31以可确保充分的平面度的方式载置作为彩色涂料的涂布对象的玻璃基板K，该吸附工作台3与机台2同样，由石料构成。在该载置面31上，贯穿地设有多个真空吸附孔32和多个升降销孔33。真空吸附孔32经由配管和三通阀与吸引泵连接。用于支承玻璃基板K的升降销34可相对于升降销孔33，突出或缩入。可通过未图示的工作台旋转驱动单元，在θ方向上，对吸附工作台3进行旋转驱动。另外，吸附工作台还可简称为“工作台”。 

涂布架4为能够跨越吸附工作台3的尺寸的门形，该涂布架4具有：至少隔开吸附工作台3的宽度间隔而直立地设置的2个支柱部41；以及架设于2个支柱部41之间的水平框部42。而且，该涂布架4在跨越吸附工作台3的状态下，以可通过一对第1直线电动机43在X轴方向上移动的方式，支承在机台2上。一对第1直线电动机43以沿X轴相互平行的方式，安装在基台2的Y轴方向上的两侧。 

上述水平框部42可通过分别设置在2个支柱部41上的伺服电动机机构44，沿Z轴方向进行升降。伺服电动机机构44例如可由沿着Z轴方向设置的直线电动机构成。或者，也可以由以下部分等构成：沿Z轴方向配设的滚珠丝杠轴；绕滚珠丝杠轴的轴线对该滚珠丝杠轴进行正反旋转驱动的旋转伺服电动机；以及与滚珠丝杠轴螺合，并通过滚珠丝杠轴的旋转而在Z轴方向上进行进退移动的滚珠螺母。在水平框部42上，以可通过第2直线电动机45在Y轴方向上移动的方式，设有涂料排出部5。第2直线电动机45沿着水平框部42的长度方向(Y轴方向)而安装在水平框部42上。 

如图3所示，涂料排出部5构成为：按照用于涂布红色涂料的喷头单元50R、用于涂布绿色涂料的喷头单元50G、以及用于涂布蓝色涂料的喷头单元50B的顺序，沿X轴方向，直列地排列设置上述喷头单元50R、 上述喷头单元50G以及上述喷头单元50B。另外，关于这些喷头单元的标号，在需要按照每种颜色进行区分的情况下，在“50”的末尾附加“R”、“G”、“B”，而在不需要区分的情况下，简记为“50”。 

如图4所示，红色涂料的喷头单元50R具有沿Y轴方向配置的Q个喷头模块52。各喷头模块52分别具有沿X轴方向配置的M段(在本图中为M＝5)的涂料喷头51。 

各涂料喷头51分别具有喷嘴组55。喷嘴组55由在Y轴方向上等间隔地排列的N个(在本图中为N＝10)涂料喷嘴54构成，其排列宽度为W。因此，涂料喷头51的涂布宽度为W。N个涂料喷嘴54可排出相同的颜色。例如，从与红色涂料的喷头单元50R对应的涂料喷嘴54全部排出红色涂料。同样，从与绿色涂料的喷头单元50G对应的涂料喷嘴54全部排出绿色涂料，从与蓝色涂料的喷头单元50B对应的涂料喷嘴54全部排出蓝色涂料。另外，涂料喷嘴可简称为喷嘴，涂料喷头可简称为喷头。 

另外，在配置了多段涂料喷头的喷头模块中，存在全部喷嘴均不使用的情况、以及略微错开地配置涂料喷头的情况。即，喷头模块的涂布宽度，不一定与涂料喷头51的涂布宽度一致。因此，将喷头模块的涂布宽度设为Wm。另外，在本实施方式中，涂布宽度W与涂布宽度Wm相同。 

并且，涂料喷嘴形成在涂料喷头上的预定位置处，涂料喷头以规定的精度进行排列而形成喷料模块。而且，涂料喷头彼此也以规定的精度组成喷料单元，喷料单元以规定的精度组成涂料排出部5。因此，只要在涂料排出部的可动范围内，确定涂料排出部的位置，即可以规定的精度确定全部涂料喷嘴的位置。 

喷头模块52的配置满足以下条件。即，对于在Y轴方向上彼此相邻的喷头模块52，设喷嘴组55之间的间距为P。 

当如下地定义S、W和P时，S、W和P满足下式所示的关系。 

(S/2)·W＜P＜S·W 

S：涂料喷头51对玻璃基板K上的全部像素gs涂布涂料所需的扫描次数(2以上的整数) 

W：喷料模块的涂布宽度 

P：喷头模块52在Y轴方向上的排列间距 

另外，S也可以称为是对间距P之间进行涂布的次数。 

喷头单元50G和喷头单元50B也为与上述喷头单元50R相同的结构。当设玻璃基板K的宽度为GW、搭载在喷头单元50上的两端的涂料喷嘴54的距离为L时，以使L＞GW-(P-W)的关系成立的方式，确定喷头模块52的配置数量Q。 

照相机架6与涂布架4同样，为能够跨越吸附工作台3的尺寸的门形，该照相机架6具有：至少隔开吸附工作台3的宽度间隔而直立地设置的2个支柱部61；以及架设在2个支柱部61之间的水平框部62。而且，该照相机架6在跨越吸附工作台3的状态下，以可通过一对第1直线电动机43沿X轴方向移动的方式，支承在机台2上。 

在上述水平框部62上，以可通过第3直线电动机64在Y轴方向上移动的方式，设有2台对准照相机7。并且，以可通过第4直线电动机63在Y轴方向上移动的方式，设有1台扫描照相机8。对准照相机7和扫描照相机8均构成为：搭载有CCD(Charge Coupled Device)，且能够将摄像得到的图像数据发送到控制装置10。各照相机7、8的摄像方向朝下，以便能够分别对吸附保持在吸附工作台3上的玻璃基板K进行摄像。 

基板输送机器人9具有电动机91、臂92以及可动支承台93。可动支承台93呈可载置玻璃基板K的叉状，其构成为：在电动机91的驱动下，通过臂92，在X、Y、Z、θ这各个方向上移动自如。 

控制装置10由以下部分等构成：触摸面板等输入输出装置、以存储器芯片或微处理器等为主体的适当的硬件、安装了用于使该硬件工作的计算机程序的硬盘装置、以及与滤色器制造装置1中的各驱动装置等结构部进行数据通信的适当的接口电路等。该控制装置10使滤色器制造装置1进行一系列的动作。 

更具体而言，控制装置10能够分别向第1直线电动机43、第2直线电动机45、伺服电动机机构44等驱动单元以及涂料排出部5发送移动指示。该移动指示至少包含沿X轴方向移动的X轴方向移动指示以及沿 Y轴方向移动的Y轴移动指示。 

并且，能够从各个要素接收与当前位置有关的信息。这里，与位置有关的信息(后面也称为“位置信息”)可以是在涂料排出部5的可动范围内定义的坐标。此外，也可以另外配置位置传感器等，从该位置传感器取得与位置有关的信息。将这样的检测与涂料排出部5的位置有关的信息的要素统称为位置检测单元。 

并且，控制装置10至少可以内置用于预先规定涂布工序的程序，并能够根据该程序，对上述驱动单元和涂料排出部5进行控制。上述程序没有特别限定，只要至少记载有如下指示即可，所述指示是：当输入了涂料排出部5的位置信息时，针对全部涂料喷嘴，指示是否排出涂料。另外，将指示喷嘴进行排出的指示称为排出指示。 

控制装置10按照该程序，根据涂料排出部5的位置信息，确定从哪个喷嘴排出涂料或是不排出涂料，然后进行执行。即，这种程序可以称为排出预定信息，其给出了位置信息(X坐标、Y坐标)与排出指示之间的关系以及输出Y轴方向移动指示的定时。排出预定信息被记录在控制装置10拥有的存储器中。 

接着，参照图5～图9，说明如上构成的滤色器制造装置1的动作。图5是作为滤色器形成对象的玻璃基板的平面图，图6是示出本发明的滤色器制造装置的动作概要的流程图，图7是详细示出图6的涂布动作的流程图，图8是用于说明涂布时的扫描动作的图，图9是用于更详细地说明涂布时的扫描动作的图。另外，控制部10从第1直线电动机43等要素取得位置信息等，通过预定的流程进行判断，向各要素送出指示，由此来实现上述这些流程。 

如图5所示，在作为滤色器形成对象的玻璃基板K的表面上，预先形成有作为彩色涂料的涂布分区的黑矩阵BM和对准标志M1。图中的“R”、“G”、“B”表示与红、绿、蓝各个目标色对应的像素。并且，滤色器制造装置1处于如下这样的初始状态。即，吸附工作台3处于未吸附状态，涂布架4位于最上游位置，涂料排出部5处于未排出状态，照相机架6位于最下游位置。在基板输送机器人9的可动支承台93上载置 着玻璃基板K。 

[送入玻璃基板(步骤S1)] 

首先，基板输送机器人9对可动支承台93进行驱动控制，使玻璃基板K到达吸附工作台3的正上方。接着，使升降销34从升降销孔33中突出，上升到作为玻璃基板接受位置的最上方位置。接着，基板输送机器人9使可动支承台93逐渐下降，将玻璃基板K载置到升降销34的顶端部上。在将玻璃基板K载置到升降销34上之后，基板输送机器人9使可动支承台93退避。接着，吸附工作台3使支承着玻璃基板K的升降销34下降。当玻璃基板K下降而到达载置面31时，吸附工作台3使真空吸附孔32中产生真空压力，通过真空吸附将玻璃基板K保持在载置面31上。 

[玻璃基板的定位(步骤S2)] 

首先，第1直线电动机43对照相机架6进行驱动控制，使对准照相机7到达对准标志M1的上方。接着，对准照相机7拍摄对准标志M1，并将得到的图像数据发送到控制装置10。在控制装置10中，通过对送来的图像数据实施适当的图像处理，来计算玻璃基板K相对于规定位置的偏移量。然后，根据该偏移量对工作台旋转驱动单元进行驱动控制，由此来进行玻璃基板K的定位。 

通过该定位，能够确定涂料排出部的坐标与所要涂布的像素gs的位置的对应关系。即，只要知道涂料排出部5的位置坐标，即可确定位于该位置的所有涂料喷嘴能对哪个像素gs进行涂布。 

[涂布前的准备(步骤S3)] 

首先，第1直线电动机43对涂布架4进行驱动控制，使涂料排出部5到达玻璃基板K的上游侧的涂布开始位置。接着，以使涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面之间的间隙为0.5mm～1.0mm左右的微小距离的方式，通过伺服电动机机构44使涂料排出部5下降。 

[涂料的涂布(步骤S4)] 

[第1次前进动作中的涂布] 

第1直线电动机43使涂布架4进行前进动作。由此，如图8的箭头 X1所示，在涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面之间隔着微小距离而彼此相对的接近状态下，涂料涂布部5进行前进动作。控制部10向涂料排出部5送出指令，以便对作为涂布目标的像素gs排出目标颜色的涂料。更具体而言，根据涂料排出部的位置坐标，向能够对作为涂布目标的像素gs涂布涂料的涂料喷嘴发送涂布涂料的指令。由此，正处于前进动作中的涂料排出部5在规定位置处排出规定量的涂料。将这样地在沿X轴方向移动的同时进行涂布的工序称为扫描涂布工序。然后，对玻璃基板K的黑矩阵BM中的各像素gs涂布目标颜色的涂料液(参照图7的步骤S42、S43)。另外，在步骤S42中，“像素上方”表示像素的z轴方向的上方。 

当涂料排出部5到达玻璃基板K的下游侧的涂布结束位置时(步骤S44：“是”)，第1直线电动机43停止涂布架4的前进动作。由此，涂料涂布部5停止(参照图8的单点划线)。如图8的箭头Y1所示，第2直线电动机45使涂料排出部5在Y轴方向上移动规定距离(参照图8的双点划线)。具体而言，该移动距离y为P/S(参照步骤S45)。该P/S的移动距离y比喷头模块的涂布宽度W小。并且，在每次进行X轴方向的移动时，均移动相同的距离P/S。另外，这些动作是根据控制部10的指示来进行的。将该在Y轴方向上的移动称为扫描移动工序。 

[第1次返回动作中的涂布] 

第1直线电动机43使涂布架4进行返回动作(步骤S41)。由此，如图8的箭头X2所示，涂料排出部5进行返回动作。控制部10向涂料排出部5送出指令，以便对作为涂布目标的像素gs排出目标颜色的涂料。由此，正处于返回动作中的涂料排出部5在规定位置处排出规定量的涂料，通过这种方式，对玻璃基板K的黑矩阵BM中的各像素gs涂布目标颜色的涂料液(参照图7的步骤S42、S43)。 

当涂料排出部5到达玻璃基板K的上游侧的涂布结束位置时(步骤S44：“是”)，第1直线电动机43使涂布架4停止向返回动作方向行进。由此，涂料涂布部5停止。如图8的箭头Y2所示，第2直线电动机45使涂料排出部5在Y轴方向上移动规定距离。该距离量与上述前进动作 停止后的移动同样为P/S(参照步骤S45)。 

[第2次前进动作中的涂布] 

与第1次前进动作中的涂布动作同样，如图8的箭头X3所示，使涂料涂布部5在进行前进动作的同时进行涂布。 

[第2次返回动作中的涂布] 

如图8的箭头Y3所示，使涂料排出部5在Y轴方向上移动规定距离，之后，与第1次返回动作中的涂布动作同样，如图8的箭头X4所示，使涂料涂布部5在进行返回动作的同时进行涂布。 

如上所述，通过进行第1次前进动作(参照图9的箭头X1)、第1次返回动作(参照图9的箭头X2)、第2次前进动作(参照图9的箭头X3)以及第2次返回动作(参照图9的箭头X4)这合计4次的扫描，来对玻璃基板K上的全部像素gs涂布目标颜色的涂料。 

另外，在上述各涂布动作中，伴随涂料的涂布动作，通过照相机架6和第3直线电动机的驱动，扫描照相机8在沿X轴、Y轴各方向移动的同时，对所涂布的液滴进行摄像，并将图像数据发送到控制装置10。控制装置10根据送来的图像数据，通过适当的图像处理，对涂料的命中状态进行评价。在不良部位显著的情况下，可以在后序工序中将该玻璃基板K作为不合格品而排除。 

[涂布后的处理(步骤S5)] 

首先，伺服电动机机构44通过驱动水平框部42上升，来使涂料排出部5上升。由此，使涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面分离。接着，第1直线电动机43控制涂布架4进行返回动作，使涂料排出部5向吸附工作台3的上游端退避。 

[送出基板(步骤S6)] 

吸附工作台3使真空吸附孔32中产生的真空压力恢复为大气压。由此，升降销34从升降销孔33中突出，在支承着玻璃基板K的状态下，上升到最上方位置。基板输送机器人9通过可动支承台93接受已完成涂料涂布的玻璃基板K，将其移交到下一个工序，例如减压干燥工序。 

如以上说明的那样，本发明的滤色器制造装置1是通过如下方式对 玻璃基板K上的全部像素gs涂布目标颜色的涂料。即，通过第1直线电动机43的驱动，使喷头单元50相对于玻璃基板K，在X轴方向上进行相对移动。在该相对移动的期间，涂料喷头51根据玻璃基板K与涂料喷嘴54之间的规定的位置关系，向玻璃基板K上的与目标颜色对应的像素gs排出目标颜色的规定量的涂料。当X轴方向上的相对移动结束时，通过第2直线电动机45的驱动，使喷头单元50与玻璃基板K在Y轴方向上相对移动规定量P/S。在进行了Y轴方向上的相对移动之后，再次进行X轴方向上的相对移动，与上述同样，从涂料喷头51向玻璃基板K排出涂料。此后，重复S次这一系列的动作。 

根据滤色器制造装置1，单色的喷头单元50是通过在Y轴方向上，以规定的排列间距P配置一列喷头模块52而构成的。并且，第2直线电动机45构成为，每当喷头单元50在X轴方向上的1次扫描结束时，使喷头单元50沿Y轴方向移动规定量P/S。通过根据喷头模块52的扫描次数S和喷头模块52的排列间距P来设定移动量，从而能够针对玻璃基板K上的全部像素gs排出涂料。因此，无需将喷头模块52配置成锯齿状，即可消除喷嘴未通过区域，与将喷头模块52配置成锯齿状的现有技术相比，能够使涂布装置小型化。 

并且，由于将喷头模块52的排列间距P设定为(S/2)·W＜P＜S·W的范围，因此，喷头模块52在Y轴方向上的移动量P/S比W小。由此，涂料喷头51中的涂料喷嘴54的一部分在每次扫描时均通过玻璃基板K的相同区域，因此，只要喷头模块52的安装位置的误差处于通过所述相同区域的宽度范围以内，就不会产生涂料喷头51中的涂料喷嘴54完全未通过的区域(喷嘴未通过区域)，喷头模块52的安装调整容易。 

这样，根据滤色器制造装置1，能够实现装置的小型化和维护的容易化。 

另外，在喷头模块的涂布宽度上的两端，涂料的排出量本身不均匀。为了消除这种不均匀，需要针对喷头模块的涂布宽度上的端部部分的涂布进行设计。作为其前提，重点在于，涂料喷头51中的涂料喷嘴54的一部分在每次扫描时均要通过玻璃基板K的相同区域。因此，将喷头模 块这样地多次重复通过的涂布对象物上的区域称为重复涂布区域，将重复通过的情况称为重叠(overlap)。并且，将重复涂布区域中相同颜色的喷头模块重叠的部分称为重叠部。关于喷头模块的涂布宽度上的端部部分的涂布方法，包含其他实施方式在内，将从后述的实施方式5起进行说明。 

另外，从Y轴方向上的移动距离y(＝P/S)的角度来看，排列间距P的(S/2)·W＜P＜S·W的关系可以变形为W/2＜y(＝P/S)＜W。这也可以这样理解：将Y轴方向的移动距离y设定在W/2＜y＜W的范围内，并且在每次扫描移动时为相同的移动量y，为了对间距P的范围的区域中的全部像素进行涂布，需要{Int(P/y)+1}次的涂布次数S。另外，这里，“Int”是指仅提取(P/S)的整数部的函数。 

(实施方式2) 

在实施方式1中，是通过相邻地配置用于涂布红色涂料、绿色涂料、蓝色涂料的喷头模块来形成喷头单元，并沿X轴方向直列地并列设置这些喷头单元，所以，实现了涂料排出部的小型化。 

但是，在实施方式1中，由于是沿X轴方向直列地并列设置这些喷头单元，因此，在最初的前进动作时，对于由喷头模块的涂布宽度Wm上的两端部涂布的像素，是在与未涂布涂料的像素相邻的状况下，进行干燥。另一方面，对于由喷头模块的涂布宽度上的中央部涂布的像素，是在周围存在已进行涂布的像素的状况下，进行干燥。这样，对于涂布的像素来说，当干燥时的周围条件不同时，干燥程度会产生差异，这种差异将被识别为涂布不均匀。 

因此，在本实施方式中，通过将喷头模块配置成锯齿状，来避免该问题。本实施方式的涂布装置1与实施方式1相同，所以省略说明。并且，涂布流程也与实施方式1的图7相同。 

图10是本发明的涂料排出部5的平面概略图。在本实施方式中，将颜色不同的喷头模块配置成锯齿状。排出红色涂料的喷头模块70R与排出绿色涂料的喷头模块70G被配置成，各自的涂布宽度Wm上的端部彼此一致。并且，排出绿色涂料的喷头模块70G与排出蓝色涂料的喷头模 块70B也被配置成，各自的涂布宽度Wm上的端部彼此一致。另外，各个喷头模块由5个涂料喷头51构成。 

因此，排出相同颜色的涂料的喷头模块彼此之间的间距P等于3Wm。这样地配置喷头模块的涂料排出部5与实施方式1同样，在以Y轴方向的移动量始终为P/S的方式移动的同时，进行涂布。另外，S是涂料喷头51对玻璃基板K上的全部像素gs涂布涂料所需的扫描次数(2以上的整数)。 

图11是示意性示出喷头模块的动作的图。为了进行说明，设涂料排出部5具有2组由70R、70G、70B这3个喷头模块构成的组，并用箭头表示各个喷头模块。各个喷头模块的涂布宽度为Wm。并且，在本实施方式中，喷头模块的配置间隔P表示相同颜色的喷头模块之间的配置间隔。 

除了将喷头模块配置成锯齿状以外，与实施方式1相同，所以，图11基本上与图9相同。但是，在本实施例中，由于将喷头模块配置成锯齿状，所以，在由某个喷头模块的涂布宽度上的端部涂布的像素的周围，存在相邻颜色的涂料。 

图12(a)是示出该状况的图。如图5所示，所要涂布的像素沿着每列以R、G、B的顺序排列，各像素gs之间被黑矩阵BM隔开。这里，单点划线所示的区域77是排出红色涂料的喷头模块所涂布的像素的区域。并且，双点划线所示的区域78是排出绿色涂料的喷头模块所涂布的像素的区域。 

为了进行比较，图12(b)示出了如实施方式1那样，沿X轴方向直列地排列不同颜色的喷头模块时最初的扫描涂布的情况。由于R、G、B的喷头模块直列地排列，所以，在区域77中，对R、G、B的全部像素进行了涂布，但是，与相邻的喷头模块之间的区域78则完全未被涂布。 

参照这些涂布状态，例如，像素79是红色的属于区域77中最右端的像素。当直列地排列喷头时，像素79的右端存在完全未被涂布的像素(区域78的像素)，与区域77中间的干燥状态不同。而在将不同颜色的喷头模块配置成锯齿状时，其附近存在涂布绿色的像素80和81，与区域77中间的像素相比，干燥环境的差异不大。 

这里，干燥环境是决定所涂布的涂料的干燥速度的主要原因，尤其是在这里，由于周围存在涂料，因此可以认为，包含是否存在进行干燥的溶剂蒸汽的因素。在涂布了涂料的像素周围存在使溶剂蒸发的像素的情况下，与不存在使溶剂蒸发的像素的情况相比，可认为干燥进行得更加缓慢。因此，如果干燥环境的差异小，则因干燥环境的差异导致的涂布不均匀变小。 

而且，也可以重叠地配置不同颜色的喷头模块的涂布区域。图13示出了此时的涂料排出部5的平面概略图。R、G、B的喷头模块被配置成，涂布区域重叠了标号85所示的宽度的量。图14示出了由该涂料排出部进行涂布时最初的前进动作中的涂布图案。喷头模块的涂布区域中的两端部发生重叠，所以，由红色(R)的喷头模块涂布的区域77与由绿色(G)的喷头模块涂布的区域78，在一部分的区域88中发生了重叠。这就是已经说明过的重复涂布区域。 

喷头模块的涂布区域的端部的周围存在进行了涂布的像素，因此，与喷头模块中间相比，干燥状态变化不大，能够减低涂布不均匀。例如，与图12(a)的情况相比，在区域77的端部的像素79的周围，存在更多进行了涂布的像素。而且，这些像素是与像素79同时期涂布的，所以，干燥环境接近于喷头模块的中央部的干燥环境。即，能够抑制涂布不均匀。 

(实施方式3) 

下面，对本实施方式的涂布方法进行说明。再次参照图11，在实施方式2中，在涂布相同颜色的区域中，涂料排出部5在每次沿X轴方向进行前进动作和返回动作时，均沿Y轴方向，向一个方向移动P/S，于此同时，对全部涂布区域进行涂布。但是，在涂料排出部5移动的方向上，对于在位于最后方的涂布区域端部处所涂布的像素，在相邻的喷头模块移动来之前，在该像素的周围不存在进行了涂布的像素。其中，S是涂料喷头51对玻璃基板K上的全部像素gs涂布涂料所需的扫描次数(2以上的整数)。 

具体而言，在图11中，对于由涂布R(红色)涂料的喷头模块的标号100的部分涂布了R涂料的像素，虽然在其前后涂布了G和B的涂料， 但是，在相邻的涂布R涂料的喷头模块移动来的标号101的定时之前，左侧不存在R涂料。即，该部分的干燥状态与其他区域的像素不同。这是因为，涂料排出部5仅向一个方向移动来对全部涂布区域进行涂布。 

因此，在本实施方式中，涂料排出部5向两个方向移动。在本实施方式中，涂布装置1与实施方式1相同。并且，涂料排出部5的结构与实施方式2相同。即，在本实施方式中，不同颜色的喷头模块处于被配置成锯齿状的状态。如果配置成锯齿状，则在不同颜色的喷头模块之间，涂布区域可以重叠。当然，在不同颜色的喷头模块彼此未被配置成锯齿状的情况下，也能够应用本实施方式。 

图15示出了本实施方式的喷头模块的轨迹和涂布区域的概念图。参照图15(a)，标号5表示涂料排出部5。喷料模块的3个颜色被配置成锯齿状(70R、70G、70B)。为了便于说明，用黑色四边形表示排出红色涂料的喷墨模块70R。 

在涂料排出部5的下方，用标号200表示涂布区域的概念图。如图5所示，涂布对象物的最小单位由R、G、B这3个颜色形成。在图15的涂布区域中，仅示出了两个单位。在涂料排出部5的左侧，示出了涂料排出部5的移动轨迹的概念。 

并且，用标号97表示所关注的喷料模块。喷头模块97是排出红色涂料的涂料喷头模块。用标号98表示喷头模块97的左侧相邻的喷头模块。 

最初，将涂料排出部5设定为初始位置103。然后，在最初的前进动作110中涂布涂料。一边进行涂布一边移动，当到达前进路径的最终端104时，在涂布区域200中，仅仅是存在涂料喷头模块的部分处于涂布了各种颜色的涂料的状态。涂料喷头模块97涂布了区域120。 

接着，参照图15(b)。涂料排出部5从最终端104向Y轴方向的右侧移动3P/S。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块98到达之前由涂料喷头模块97涂布的区域120左端的方式，使该涂料喷头模块98从Y轴方向的左侧向右侧进行移动。然后，一边进行返回动作111一边涂布涂料。 

通过该返回动作111对区域121进行涂布。该区域121与在前进动作110中涂布的区域120部分重叠。该重复涂布区域201是相同颜色的 重复涂布区域，如已经说明的，其是重叠部。 

接着，参照图15(c)。前进到X轴方向的涂布最终端105的涂料排出部5向Y轴方向的左侧移动2P/S。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块97到达之前由该涂料喷头模块97涂布的区域120的右端的方式，使该涂料喷头模块97从Y轴方向的右侧返回。然后，进行第2次前进动作112中的涂布。从区域120对其进行观察，是在区域120的右端产生重叠部的情况下进行涂布122。 

接着，参照图15(d)。前进到前进动作112的最终端106的涂料排出部5向右移动P/S。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块97到达之前由该涂料喷头模块97涂布的区域122的右端的方式，使该涂料喷头模块97从Y轴方向的左侧向右侧移动。然后，进行返回动作113中的涂布。由此，对区域123进行涂布。通过这种方式，对位于相同颜色的喷头模块之间的距离P之间的全部像素进行了涂布。 

即，对于在最初的前进动作110时所涂布的区域的任意一端，通过在其被涂布之后的2次以内的扫描动作，重叠地进行了涂布。因此，在周围不存在进行了涂布的像素的状态下被长时间搁置的像素，不再存在，所以，能够抑制干燥不均匀。 

另外，在上述说明中，示出了将相同颜色的喷头模块间隔设为P、将扫描次数S设为4次即可涂布全部区域的情况，但是，不需要限定为4次。只要移动量比喷头模块的涂布宽度Wm小，则也可以进行4次以上的扫描。但是，生产节拍时间(takt time)相应地增加。 

另外，在本实施方式中，Y轴方向的移动距离为P/S的整数倍，不过，也可以在重叠部的宽度范围内，有所增减。即，在本实施方式中，进行这样的涂布：第k次涂布后在Y轴方向上的移动距离y_k比第k+1次涂布后在Y轴方向上的移动距离y_k+1小。另外，在本实施方式中，在对喷头模块间隔P之间的所有部分进行涂布时，最后的Y轴方向的移动距离y_t比喷头模块的涂布宽度Wm小。换言之，能够根据最后在Y轴方向上的移动距离y_t和喷头模块间隔P，通过{Int(P/y_t)+1}来求出涂布次数S。 

并且，在本实施方式的情况下，不会失去一般性，即：在将Y轴方 向中的某一方表示为正、将相反方向表示为负时，第k次的扫描动作后在Y轴方向上移动的距离可表示为(-1)^k-1{(S-k)P}/S。或者，也可以表示为(-1)^k{(S-k)P}/S。其中k≤(S-1)。随着扫描次数k的增加，分子变小，所以，涂料排出部进行从外侧朝向内侧的螺旋状的扫描动作。并且，相对于实施方式2中始终进行P/S的等距离移动，在本实施方式中，对于Y轴方向的移动(扫描移动)中的每个工序，移动距离均不同。 

另外，控制装置10根据作为记录在控制装置10中的程序的排出预定信息，向驱动部和涂料排出部输出指示，由此来实施本实施方式的涂料排出部5的动作。 

(实施方式4) 

在实施方式3中，涂料排出部5是犹如从外侧向内侧描绘出螺旋形的方式，一边进行前进动作和返回动作，一边进行涂布。因此，沿着与其相反的轨迹，也能得到相同的效果。 

图16示出了本实施方式的喷头模块的轨迹和涂布区域的概念图。另外，图中表现的情况与图15相同。 

最初将涂料排出部5设定为初始位置133。接着，在最初的前进动作140中涂布涂料。一边进行涂布一边移动，当到达前进路径的最终端134时，在涂布区域200中，只有存在涂料喷头模块的部分处于涂布了各种颜色的涂料的状态。涂料喷头模块97涂布了区域150。 

接着，参照图16(b)。涂料排出部5从最终端134向Y轴方向的右侧移动P/S。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块97到达之前由该涂料喷头模块97涂布的区域150的右端的方式，使该涂料喷头模块97向Y轴方向的右侧移动。然后，一边进行返回动作141，一边涂布涂料。 

通过该返回动作141对区域151进行涂布。该区域151与在前进动作140中涂布的区域150部分重叠。如在实施方式3中说明的，该重复涂布区域201为重叠部。 

接着，参照图16(c)。前进到X轴方向的涂布最终端135的涂料排出部5向Y轴方向的左侧移动2P/S的量。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块97到达之前由该涂料喷头模块97涂布的区域150的左端的方 式，使涂料喷头模块97从Y轴方向的右侧返回。然后，进行第2次前进动作142中的涂布。从区域150对其进行观察，在区域150的左端产生了重叠部的情况下进行涂布142。 

接着，参照图16(d)。前进到前进动作142的最终端136的涂料排出部5向右移动3P/S的量。在涂料排出部5中，以使涂料喷头模块97到达之前由该涂料喷头模块97涂布的区域151的右端的方式，使该涂料喷头模块97从Y轴方向的左侧向右侧移动。然后，进行返回动作143中的涂布。由此，对区域153进行涂布。通过这种方式，对位于相同颜色的喷头模块之间的距离P的区间中的全部像素进行了涂布。 

即，对于通过最初的前进动作140涂布的区域150的任意一端，通过在其被涂布之后的2次以内的涂料排出部的扫描动作，进行重叠涂布。因此，在周围不存在进行了涂布的像素的状态下被长期搁置的像素，不再存在，所以，能够抑制干燥不均匀。 

另外，在上述说明中，示出了将相同颜色的喷头模块间隔设为P、将扫描次数S设为4次即可涂布全部区域的情况，但是，不需要限定为4次。只要移动量比喷头模块的涂布宽度Wm小，则也可以进行4次以上的扫描。但是，生产节拍时间(takt time)相应地增加。 

另外，在本实施方式中，Y轴方向的移动距离为P/S的整数倍，不过，也可以在重叠部的宽度范围内，有所增减。即，在本实施方式中，进行这样的涂布：第k次涂布后在Y轴方向上的移动距离y_k比第k+1次涂布后在Y轴方向上的移动距离y_k+1大。另外，在本实施方式中，对喷头模块间隔P之间的所有部分进行涂布时，最初的Y轴方向的移动距离y_s比喷头模块的涂布宽度Wm小。换言之，在该情况下，能够根据最初在Y轴方向上的移动距离y_s和喷头模块间隔P，通过{Int(P/y_s)+1}来求出涂布次数S。 

并且，在本实施方式的情况下，不会失去一般性，即：在将Y轴方向中的某一方表示为正、将相反方向表示为负时，第k次的扫描动作后在Y轴方向上移动的距离可表示为(-1)^k-1(k·P)/S。或者，也可以表示为(-1)^k(k·P)/S。其中k≤(S-1)。随着扫描次数k的增加， 分子变小，所以，涂料排出部进行从外侧朝向内侧的螺旋状的扫描动作。并且，相对于实施方式2中始终进行P/S的等距离移动，在本实施方式中，对于Y轴方向的移动(扫描移动)中的每个工序，移动距离均不同。 

另外，控制装置10根据作为记录在控制装置10中的程序的排出预定信息，向驱动部和涂料排出部输出指示，由此来实施本实施方式的涂料排出部5的动作。 

(实施方式5) 

在本实施方式中，对重叠区域的处理进行说明。在实施方式1～4中，对于由喷头模块的端部涂布的像素区域，相同的喷头模块或其他的喷头模块会再次通过上述图像区域。对于由该喷头模块的端部实施的涂布，由于形成的涂料喷嘴的不均匀、喷头模块的中央部与端部在排出量上的差异、以及涂布的像素的干燥状态的差异等原因，容易产生涂布不均匀。 

为了使这种涂布不均匀不明显，有效方法是，尽量分散涂布不均匀的出现部位。因此，在该重叠部分中，分散进行对像素的涂布，利用第2次以后的涂料排出部通过中的涂布，来完成对该区域的像素的涂布。在本实施方式中，提供基于这种思路的重叠部分的涂布方法。因此，实施方式1～4中的任一方式均可应用本实施方式的重叠部分的涂布方法。 

图17示出了重叠部分的示意图。涂布对象物是被黑矩阵BM隔开的像素gs。为了便于说明，仅示出了一个颜色的像素。在搭载于喷头模块中的涂料喷头上，形成有多个喷嘴。而且，在涂布一个像素时，通过从喷头模块中的多个喷嘴排出的涂料，进行涂布。该多个喷嘴可以是一个涂料喷头中的喷嘴，也可以是多个涂料喷头中的喷嘴。 

而且，可对喷头模块中的喷嘴分别进行ON/OFF控制，来控制是排出涂料还是不进行涂布。即，能够针对某个特定像素，实施涂布或不进行涂布。因此，在本实施方式中，对于重叠部分，随机选择在涂料排出部的第1次通过中所要涂布的像素，进行涂布，对于剩余的像素，在涂料排出部的第2次通过中，进行涂布。 

参照图17，区域160是通过第1次涂布对其中的全部像素进行涂布的部分。区域161是通过第2次涂布对其中的全部像素进行涂布的部分。 区域162是重叠区域。这里，横线的像素是第1次涂布的像素，涂满灰色的像素是第2次涂布的像素。这里，为了进行说明，用3个像素来表示重叠部。 

关于是对重叠部162中的哪个像素进行第1次涂布或第2次涂布，可以是使用了随机数或伪随机数的任意的确定方法，没有特别限定。另外，这里，伪随机数是指根据函数产生的随机数。例如，可通过随机地确定是进行第1次涂布或进行第2次涂布，来实现属于重叠部分的全部像素。另外，还可以使用控制部10以外的计算机来决定是第1次涂布还是第2次涂布，并将其反映在控制部10所执行的程序中。 

另外，虽然也可以在进行涂布的同时，确定重叠部中的涂布像素，不过，优选的是，预先确定出重叠部中的涂布像素并反映在程序(排出预定信息)中。另外，对于重叠部，也可以使用随机决定了第1次所要涂布的像素的排出预定信息，对多个涂布对象物进行涂布。并且，也可以针对每个涂布对象物，重新确定每个重叠部第1次所要涂布的像素。 

这里，对于重叠部，是预先随机地确定第1次所要涂布的像素，并将其反映在控制部10执行的程序(排出预定信息)中。即，控制部10在取得涂料排出部5的位置信息时，根据排出预定信息，向各个喷嘴发送涂料的排出指示。 

换言之，在记录于控制部10的存储器内的排出预定信息中，与随机地选择了第1次所要涂布的像素和第2次以后所要涂布的像素的状态对应地，记录有涂料排出部5的位置信息与排出指示之间的关系。 

通过这种方式，本实施方式也能够按照图4的涂布流程对涂布对象面的整个面进行涂布。但是，在图4的流程中，在Y轴方向上的移动不仅可以采用实施方式1的方法，还可以采用实施方式2～4中的任意一种方法。具体而言，在实施方式1和2的情况下，使涂料排出部在Y轴方上每次移动P/S的量，而在实施方式3中，是使其在Y轴方向上按照3P/S、-2P/S、P/S的顺序移动。此外，在实施方式4中，是使涂料排出部在Y轴方向上按照P/S、-2P/S、3P/S的顺序移动。 

如上所述，针对重叠部分的像素，预先确定是通过第几次的扫描来 进行涂布，由此使涂布分散地进行，所以，能够抑制涂布不均匀的产生。另外，在本实施方式中，是以喷头模块通过重叠部分2次为例进行了说明，不过，根据喷头模块的涂布宽度和在Y轴方向上的移动量的不同，也存在喷头模块通过2次以上的情况。该情况下，也是预先确定是通过第几次的扫描来进行涂布，从而也能够抑制涂布不均匀的产生。 

(实施方式6) 

在本实施方式中，示出了重叠部分的涂布方法的其他方法。图18示出了本发明的涂布方法中的重叠部分。区域170是通过第1次涂布对其中的全部像素进行涂布的部分。区域171是通过第2次的涂布对其中的全部像素进行涂布的部分。区域172～176的部分是重叠区域。这里，横线的像素是第1次所要涂布的像素，涂满灰色的像素是第2次所要涂布的像素。 

在本实施方式的方法中，将重叠部分割为多个区域，确定是以各个区域中的全部像素数量的哪种比例，来进行第1次的涂布。在图18中，将重叠部均等地分割为5个区域，在各个区域中，将第1次所要涂布的像素的个数的比例分别设定为90％、70％、50％、30％、10％。在图18中，在各个区域中观察到10个要进行涂布的像素。因此，在区域172中，对9个像素进行第1次的扫描涂布。即，横线的像素有9个。剩余的一个通过第2次的扫描涂布动作来进行涂布，所以，是涂满灰色的像素。 

同样，对于区域173，在第1次扫描涂布动作时涂布7个像素，对于区域174中，在第1次扫描涂布动作时涂布5个像素，对于区域175，在第1次扫描涂布动作时涂布3个像素，对于区域176，在第1次扫描涂布动作时涂布1个像素。接着，随机地选择在各区域中对哪个像素进行第1次的涂布。随机选择方法本身没有特别限定。 

例如，如果设对重叠部进行分割后的像素的列为m列、沿X轴方向有n行，则在该分割区域中，存在m×n个像素。例如，当第1次所要涂布的像素数量为90％时，涂布0.9×m×n个像素。按照从左上朝向右下的顺序，对这些像素进行编号，以随机数的形式依次产生m×n个整数。然后，依次选择0.9×m×n个与产生的整数对应的像素，由此，能够将 随机选择的90％的像素作为第1次涂布的像素。 

对于其他区域，也可以通过同样的步骤来确定第1次涂布的像素，剩余的像素为第2次涂布的像素。像这样，通过将重叠部分割为多个区域，并在分割出的各个区域中改变涂布比例，从而能够使重叠部分的不均更加不明显。 

另外，关于重叠部的区域的分割方式以及在第1次涂布中对各个区域中的多少像素进行涂布，没有特别限制。这是因为，它们是根据涂布对象物所要求的规格而变化的。 

另外，在记录于控制装置10的存储器内的排出预定信息中，与如下这样的状态对应地，记录有涂料排出部的位置信息与排出指示之间的关系，在所述状态中：沿所述Y轴方向，将涂布对象物的特定区域分割为多个分割区域，针对每个分割区域，根据预先确定的比例来确定在第1次涂布和第2次以后的涂布中进行涂布的像素的个数，针对每个分割区域，随机选择了所述个数的所述像素。 

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但是，以上公开的实施方式只不过是例示，本发明的范围不限于这些实施方式。本发明的范围由权利要求书的记载给出，而且，旨在包含与权利要求书等同的含义的范围以及其范围内的全部变更。 

实施例1 

作为本发明的实施方式1的实施例，设： 

W＝25.4(mm) 

N＝360(个) 

M＝5(级) 

S＝4(次)， 

则由每一英寸范围内的喷嘴数量表示的分辨率为W(mm)×N/25.4×M＝1800(dpi)，间距P的范围如下： 

50.8(mm)＜P＜101.6(mm)。 

Claims (18)

1.一种涂布方法，在该涂布方法中，配置有喷头模块的涂料排出部通过重复执行如下动作，来对由多个像素构成的待涂布涂料的涂布对象物的规定区域进行涂布，所述喷头模块由多个形成有多个喷嘴的喷头组合而成，且具有涂布宽度Wm，所述动作是：所述涂料排出部在所述涂布对象物的上方，一边在与作为所述喷头模块的配置方向的Y轴方向垂直的X轴方向上移动，一边从所述喷嘴排出涂料，进行涂布，接着，所述涂料排出部停止所述涂料的排出，沿所述Y轴方向进行移动，

其中，该涂布方法具有以下工序：

扫描涂布工序，所述涂料排出部在沿所述X轴方向移动的同时，对规定像素涂布涂料；以及

扫描移动工序，该扫描移动工序包含这样的移动：在该移动中，所述涂料排出部沿所述Y轴方向移动的移动量y比所述喷头模块的涂布宽度Wm小，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置排出一种颜色的涂料的喷头模块，

并且，以相对于所述排出一种颜色的涂料的喷头模块，沿所述X轴方向排列且在所述Y轴方向上错开所述涂布宽度Wm以下的距离的方式，在所述Y轴方向上，以所述规定间距P，配置排出与上述一种颜色不同颜色的涂料的喷头模块。

2.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置所述喷头模块，

在所述扫描移动工序中，所述移动量y始终为恒定的距离。

3.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置多个所述喷头模块，

在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：对于每个所述扫描涂布工序，所述移动距离y不同。

4.根据权利要求3所述的涂布方法，其中，

在所述扫描移动工序中，对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y _k+1大，最后的移动距离y_t比所述涂布宽度Wm小。

5.根据权利要求3所述的涂布方法，其中，

在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：

设通过所述扫描涂布工序对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的第k次的移动距离由(-1)^k-1{(S-k)P}/S来表示，其中，上述S是通过对根据所述最后的移动距离y_t和所述规定间距P求出的P/y_t的整数部加1来确定的。

6.根据权利要求3所述的涂布方法，其中，

在所述扫描移动工序中，对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1小，最初的移动距离y_s比所述涂布宽度Wm小。

7.根据权利要求6所述的涂布方法，其中，

在所述扫描移动工序中，进行这样的移动：

设通过所述扫描涂布工序对所述规定间距P之间进行涂布的次数为S、所述Y轴方向上的一个方向为正向、另一个方向为负向，则满足k≤(S-1)的关系的第k次的移动距离由(-1)^k-1(kP)/S来表示，其中，上述S是通过对根据所述最初的移动距离y_s和所述规定间距P求出的P/y_s的整数部加1来确定的。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的涂布方法，其中，

该涂布方法还具有这样的工序：在所述涂布对象物的特定区域中，针对属于所述喷头模块的涂布宽度的一部分重复通过的重叠部的像素，随机选择在第1次的所述扫描涂布工序中所要涂布的像素和在第2次以后的所述扫描涂布工序中所要涂布的像素，

所述扫描涂布工序包含对通过所述选择工序选择的所述像素进行涂布的工序。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的涂布方法，其中，

所述进行随机选择的工序是这样的工序：

沿所述X轴方向，将所述重叠部分割为多个分割区域，

针对每个所述分割区域，以预定的比例确定在第1次中所要涂布的像素的个数以及在第2次以后所要涂布的像素的个数，

针对每个所述分割区域，随机选择所述个数的像素。

10.根据权利要求8所述的涂布方法，其中，

所述进行随机选择的工序是这样的工序：

沿所述X轴方向，将所述重叠部分割为多个分割区域，

针对每个所述分割区域，以预定的比例确定在第1次中所要涂布的像素的个数以及在第2次以后所要涂布的像素的个数，

针对每个所述分割区域，随机选择所述个数的像素。

11.一种涂布装置，该涂布装置具有：

保持涂布对象物的工作台；

涂料排出部，其配置有喷头模块，该喷头模块由多个形成有多个喷嘴的喷头组合而成，且具有涂布宽度Wm；

驱动单元，其使所述涂料排出部沿所述工作台上的X轴方向和与所述X轴方向垂直的Y轴方向移动；

位置检测单元，其检测所述涂料排出部的位置信息；以及

控制部，其与所述涂料排出部、所述驱动单元以及所述位置检测单元连接，该控制部具有：使所述涂料排出部沿所述X轴方向移动的X轴方向移动指示；使所述涂料排出部沿所述Y轴方向移动的Y轴方向移动指示；从所述喷嘴排出涂料的排出指示；以及排出预定信息，其示出所述涂料排出部的X坐标、Y坐标及所述排出指示之间的关系以及输出所述Y轴方向移动指示的定时，

所述Y轴方向移动指示包含移动量y比所述涂布宽度Wm小的移动指示，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置有排出一种颜色的涂料的所述喷头模块，

并且，以相对于所述排出一种颜色的涂料的喷头模块，沿所述X轴方向排列且在所述Y轴方向上错开所述涂布宽度Wm以下的距离的方式，在所述Y轴方向上，以所述规定间距P，配置有排出与上述一种颜色不同颜色的涂料的喷头模块。

12.根据权利要求11所述的涂布装置，其中，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置了所述喷头模块，

所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：针对所述涂料排出部在所述X轴方向上的每次移动，所述移动距离y均相同。

13.根据权利要求11所述的涂布装置，其中，

所述涂料排出部在所述Y轴方向上，以规定间距P配置了所述喷头模块，

所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：针对所述涂料排出部在所述X轴方向上的每次移动，所述移动距离y均不同。

14.根据权利要求13所述的涂布装置，其中，

所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：在对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y _k+1小，最后的移动距离y_t比所述涂布宽度Wm小。

15.根据权利要求13所述的涂布装置，其中，

所述Y轴方向移动指示是这样的移动指示：在对所述规定间距P的宽度的区域进行涂布时的第k次的移动距离y_k比第k+1次的移动距离y_k+1大，最初的移动距离y_s比所述涂布宽度Wm小。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的涂布装置，其中，

所述排出预定信息中的所述涂料排出部的X坐标、Y坐标以及所述排出指示之间的关系是对应于如下状态的关系：在所述状态中，在属于所述涂布对象物的特定区域的像素中，随机选择了在第1次中所要涂布的像素和在第2次以后所要涂布的像素。

17.根据权利要求11～15中任一项所述的涂布装置，其中，

所述排出预定信息中的所述涂料排出部的X坐标与所述排出指示之间的关系是对应于如下状态的关系：

在所述状态中，

沿所述Y轴方向，将所述涂布对象物的特定区域分割为多个分割区域，

针对每个所述分割区域，以预定的比例确定了在第1次中所要涂布的像素的个数和在第2次以后所要涂布的像素的个数，

针对每个所述分割区域，随机选择了所述个数的所述像素。

18.根据权利要求16所述的涂布装置，其中，

所述排出预定信息中的所述涂料排出部的X坐标与所述排出指示之间的关系是对应于如下状态的关系：

在所述状态中，

沿所述Y轴方向，将所述涂布对象物的特定区域分割为多个分割区域，

针对每个所述分割区域，以预定的比例确定了在第1次中所要涂布的像素的个数和在第2次以后所要涂布的像素的个数，

针对每个所述分割区域，随机选择了所述个数的所述像素。

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