CN101932958B - 涂布装置和涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供喷嘴数量少且不会在边界部产生不均匀的涂布装置和涂布方法。涂布装置通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量为N的涂料，来制造滤色器，其特征在于，由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成了喷头模块(52)，该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距P在扫描方向上排列，并且这些喷头模块(52)在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L，由此构成了喷头单元(50)，按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料，并且，相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式：[式1]L≥W+(N-1)×P(N＝1、2、3...)。

Description

涂布装置和涂布方法

技术领域

本发明涉及涂布装置和涂布方法。详细地讲，涉及在使多个涂料喷嘴与作为涂布对象的基板在彼此相对且接近的状态下相对移动(扫描)的同时，在规定位置从多个涂料喷嘴排出规定量的涂料的涂布装置和涂布方法，特别适合应用于滤色器制造装置。

背景技术

彩色液晶显示器由滤色器、TFT阵列基板等构成。其中，滤色器是构成彩色液晶显示器的颜色形成中枢的部件，一般地，其是将由格子状的黑矩阵框起来的各像素分为R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)三种颜色，并将它们规则地形成在玻璃基板上而成的。

这种滤色器通常通过如下方式来制造：1)在玻璃基板上，形成黑色的光致抗蚀材料的涂布膜，之后，通过光刻法将黑色涂布膜加工成格子状(格子状黑矩阵的形成)；2)暂且在整个表面形成R的涂布膜，之后，通过光刻法，仅在格子间的R像素中保留R涂布膜(R像素的形成)；3)针对G、B，也是通过与R同样的方法，暂且在整个表面形成B、G各自的涂布膜，之后，仅在B、G像素中保留B、G涂布膜(B、G像素的形成)。在上述基于光刻法的R、G、B像素形成中，需要针对R、G、B，进行在整个表面上形成涂布膜、曝光、显影等多个工序。

近年来，为了简化上述工序，在工业上，已经在使用如下方法：仅在由黑矩阵格子形成的像素部中，通过涂料喷头直接涂布R、G、B的各涂料，从而形成R、G、B的颜色像素(例如参照专利文献1)。该基于涂料喷头的R、G、B像素形成方法不需要曝光、显影这样的工序，而是仅仅使用了形成彩色像素所需的量的涂料，所以，能够大幅降低滤色器制造的成本(参照专利文献1、2、3、4)。

在该专利文献1中，公开了与基于涂料喷放的R、G、B的各涂料液本身的性质有关的最佳标准，在专利文献2和专利文献3中，公开了使用涂料喷头的滤色器的制造装置和制造方法。

作为使用了涂料喷头的滤色器制造装置的主要结构要素的一例，有这样的装置，该装置具备：具有多个涂料喷嘴的涂料喷头；保持基板的保持台；以及使涂料喷头与保持台进行相对移动的移动单元。该装置在使多个涂料喷嘴与基板在彼此相对且接近的状态下沿水平方向X相对移动(扫描)的同时，按规定定时从多个涂料喷嘴排出规定量的涂料，由此，在基板上形成滤色器。

滤色器的像素尺寸一般为100微米左右这样小，因此，在上述滤色器制造装置中，需要提高涂料喷头的分辨率(排列密度)。并且，为了提高生产效率，希望尽量缩短涂布所需的时间。

因此，在专利文献4中，如图10所示，通过在扫描方向X上直列地配置多个(图中为2个)涂料喷头510来构成喷头520，由此提高了分辨率(排列密度)。并且，通过在与扫描方向X垂直的方向Y上并列地配置多个喷头520，从而减少了涂料喷头510的扫描次数。由此，缩短了对基板K上的所有被涂布部位进行涂布所需的涂布时间。

在该滤色器制造装置的喷头排列中，如图10所示，将喷头520配置成锯齿状。其原因如下。即，喷头520的筐体52A的宽度比涂料喷嘴540的排列宽度W0大，所以，在筐体52A的端部512与喷嘴组的端部511之间存在间隔T。因此，当在多个喷头模块520沿Y轴方向配置成一列的状态下、沿X轴方向进行扫描时，由于间隔T的存在，产生了涂料喷嘴540完全未通过的喷嘴未通过区域。喷嘴未通过区域的宽度为间隔T的2倍的宽度。因此，将喷头520配置成以锯齿状，不会产生喷嘴未通过区域。

在液晶显示器等的影像设备中，始终存在对影像的高精细化、高品位化的要求，另一方面，随着影像设备的大型化的发展，强烈要求实现如下这样的可靠性高且价格低的装置：该装置用于制造大尺寸的影像设备用的滤色器，且能够针对滤色器的整个有效像素区域，在微小的像素上高精度地涂布涂料。

因此，在专利文献2中，以如下方式构成组合了多个形成有喷嘴列的液滴排出喷头的喷头单元来涂布涂料，由此，避免了颜色不均匀以及纹理不均匀，所述方式是：直线地排列所述液滴排出喷头而构成喷头列，且将多个喷头列配置成使得所述液滴排出喷头的端部的相接部分不重叠，或者非直线地构成一个喷嘴列的结构，以液滴排出喷头的端部相互重叠的方式进行配置。

另一方面，在专利文献3的滤色器制造方法/装置中，克服了以下两个问题，即：通过对喷嘴的间距、多个喷头之间的配置以及移动量进行规定，消除了向作为滤色器要素的显示点(dot)准确地排出涂料中的位置精度的问题；并且，通过对各个喷嘴的涂料排出量进行最佳化，校正消除了在利用由多个喷嘴形成的一个喷头排出滤色器材料(涂料)时每个喷嘴的涂料排出量所具有的特征性偏差(排出分布特性)的产生，消除了在滤色器要素的主扫描方向上因光透过性的偏差而产生纵向纹理的问题。

专利文献1：日本特开2006-209140号公报

专利文献2：日本特许第3925525号公报

专利文献3：日本特开2003-84125号公报

专利文献4：日本特愿2006-134514号

但是，如专利文献3那样，在通过喷头的主扫描方向上的移动来向滤色器基材涂布涂料的涂布中，要使喷头在副扫描方向上移动数次，并重复地使喷头在主扫描方向移动，由此来对滤色器基材涂布涂料，在利用这样的方法来生产面向所述大型影像设备的滤色器等的情况下，在通过喷头的一次扫描而涂布了涂料的滤色器基材的区域与通过喷头的下一次以后的扫描而涂布了涂料的滤色器基材的邻接区域之间，对这种邻接的涂布区域涂布涂料的时间存在差异(参照专利文献3、图25)。

本发明人等发现：由于该时间差的原因，涂布在像素上的涂料的干燥后的表面形状存在差异，这对于基于涂料涂布方式的像素的涂料涂布方法而言，在面向使用滤色器作为光学部件的、特别高精细的影像设备的使用中，将形成可看到的“纹理不均”，从而导致质量降低。

即，通过在与扫描方向垂直的方向上经多次分割的喷头移动(扫描)，对滤色器的有效像素的整个区域涂布涂料，当在截面中观察该干燥后的像素的经涂布的涂料表面时，在该分割地涂布的周边像素中，该像素的涂料表面的截面形状与在像素周边同时涂布了涂料的其他像素的涂料表面的截面形状不同，当利用外光反射光进行观察时，能够确认到在涂布时的涂料喷头的移动方向上连续产生的纵向纹理。

该纵向纹理是如下产生的：对于在如上涂布的区域与未涂布的区域的边界部处产生的涂布区域端部的涂料而言，在未涂布区域侧干燥快，因此，所述未涂布区域侧的涂料的浓度高，所以，在未涂布区域侧，干燥后的截面形状厚。

下面，使用图14进行详细说明。这里，图14是示出针对滤色器基材100(也称为基板)的必要涂布宽度W，使喷头扫描2次来进行涂布时的图。即，通过从喷头101排出涂料来对沿Y方向排列的多个像素涂布涂料，并通过使该喷头101沿X方向进行扫描来依次对沿X方向排列的多个像素涂布涂料。这样，通过使喷头101进行第1次的扫描，来对必要涂布宽度W的左侧(称为区域A)进行涂布(图14(b))，然后，通过进行第2次的扫描来对必要涂布宽度W的右侧(称为区域B)进行涂布(图14(c))。另外，滤色器基材100是通过最终切断来得到成品滤色器的原材料，由一个滤色器基材100能得到多个必要涂布宽度W的滤色器。

如该图14所示，在基于涂布前的滤色器基材100(图14(a))、通过喷头101的第1次扫描对区域A进行了涂布的状态(图14(b))下，对于区域A的中央部分的像素与区域A的端部的像素而言，干燥状态不同。即，区域A的中央部分的像素在其周围存在涂布了涂料的像素，所以，涂料的蒸发量(干燥速度)在其周围一带是恒定的。因此，对于中央部分的像素自身而言，其是在整体上恒定的干燥速度下进行干燥的，关注一个像素时，是在涂料的干燥后的厚度均匀的状态下进行干燥的。

然而，对于区域A的端部的像素，即与区域A和区域B之间的边界α邻接的像素，在区域A侧存在涂布了涂料的像素，但尚未对区域B侧的像素涂布涂料。因此，处于这样的状态：在区域A的端部的像素的区域A侧，因其他像素引起的涂料蒸发量多，在区域B侧，则不存在因其他像素引起的涂料蒸发量。从而产生了如下现象：对于区域A的端部的像素，在接近区域A的部分中干燥速度慢，在接近区域B的部分中干燥速度快。因此，干燥后的区域A的端部的像素是在区域A侧涂料厚、区域B侧涂料薄的状态下进行干燥的。而且，沿着边界α附近形成了一列这样的像素。同样，对于区域B，沿着边界α附近，也形成了这样的区域A侧涂料薄、区域B侧涂料厚的像素。

因此，当以这种状态而用作成品滤色器时，由于涂料的厚度差异，边界α附近的透光比例比其他部分大，产生了其可作为“纹理不均匀”而被看到的问题。

另一方面，在专利文献2的装置的结构中，为了消除这种因透光量的差异或外光反射的差异引起的纵向纹理，需要在与涂料喷头101的移动方向垂直的方向上，在滤色器的宽度以上的宽度的整个区域内，准备所需的排列密度的喷嘴，使得不产生所述边界部。即，将喷头101的排出宽度延伸到滤色器基材100的必要涂布宽度W(参照专利文献2、图2)，利用喷头101的1次扫描来完成针对必要涂布宽度W的涂布。由此，能够消除因边界α而导致“纹理不均匀”这一因素。但是，在这种结构中，伴随喷头101的高长度化，需要大量高价的排出喷嘴，所以，存在装置整体昂贵的问题。而且，由于滤色器至少由红(R)、绿(G)、蓝(B)3种颜色的各种颜色构成，所以，喷嘴的总数为其3倍，存在喷嘴数量极大的问题。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供喷嘴数量少且不会在边界部产生不均匀的涂布装置和涂布方法。

为了解决上述课题，本发明的涂布装置具有喷头单元，并且一边使该喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头单元排出N种颜色的涂料，由此来制造滤色器，其中，所述喷头单元设置有多个排出单一颜色的涂料的喷头模块，能够涂布N种颜色(N＝1、2、3...)的涂料，该涂布装置的特征在于，在所述喷头单元中，所述喷头模块以按N种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距P排列了长度L，该长度L和待形成滤色器的滤色器形成区域的与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度W之间的关系满足：L≥W+(N-1)×P(N＝1、2、3...)。

根据该结构，喷头模块以按N种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距P进行设置，所以，针对基板上的像素，能够在一次的扫描中，在与扫描方向垂直的方向上连续地涂布相同颜色或不同颜色的涂料。因此，在针对涂布后的一个像素进行观察时，在一次的扫描中，处于这样的状态，即：在与扫描方向垂直的方向上，在相邻的位置处存在进行了涂布的像素，所以，能够使涂布后的像素的干燥状态大致均匀。即，以往，进行了涂布的像素是在扫描方向上连续地形成的，而对于在与扫描方向垂直的方向上相邻的像素，直到下一扫描才会对其进行涂布，在该状态下，会产生干燥速度的差异，难以实现干燥状态的均匀化，但在本发明中，在一次的扫描中，在进行了涂布的像素的周围，存在大致相同图案的相同颜色或不同颜色的像素，因此，来自其周围的像素的涂料蒸发量大致相同，涂布后的每一个像素的干燥速度大致恒定。由此，能够使涂布后的像素的干燥状态大致均匀。而且，喷头模块被设定得比必要涂布宽度W长(N-1)倍的间距以上，所以，能够在整个必要涂布宽度W内使干燥状态大致均等。因此，能够抑制由燥状态引起的“纹理不均匀”的形成。

并且，喷头模块是以按N种颜色依次改变颜色的方式设置的，所以，不需要像以往那样在整个必要涂布宽度W内设置单色的喷头模块，能够减少喷头模块的整体数量。

另外，可以构成为：对于多个所述喷头模块，在与扫描方向垂直的方向上排列的喷头模块彼此以间距P排列，并且，这些喷头模块彼此在扫描方向上邻接配置，由此，形成了呈阶梯状排列配置的喷头模块组，在所述喷头单元中，所述喷头模块组在与扫描方向垂直的方向上重复地排。

根据该结构，相比于喷头模块在与扫描方向垂直的方向上呈一列地连续排列的情况，能够减少喷头模块的数量，所以，能够实现装置的低成本化。

进而，可以构成为：在所述喷头模块中设置有多个排出涂料的涂料喷嘴，在与扫描方向垂直的方向上排列的各个喷头模块是在从扫描方向看，所述涂料喷嘴的涂料排出区域重叠的状态下配置的。

根据该结构，能够在整个长度L内不间断地连续形成涂料排出区域，所以，能够在整个必要涂布宽度W内，在不产生涂布不均匀的情况下对像素涂布涂料。

另外，为了解决上述课题，在本发明的涂布方法中采用了喷头单元，并且一边使该喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头单元排出N种颜色的涂料，由此来制造滤色器，其中，所述喷头单元设置有多个排出单一颜色的涂料的喷头模块，能够涂布N种颜色(N＝1、2、3...)的涂料，该涂布方法的特征在于，在所述喷头单元中，所述喷头模块以按N种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距P排列了长度L，该长度L和形成滤色器的滤色器形成区域的与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度W之间的关系满足：L≥W+(N-1)×P(N＝1、2、3...)，该涂布方法具有扫描工序，在该扫描工序中，一边使喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头模块排出涂料，由此，进行如下方式的涂布，所述方式是：在整个必要涂布宽度W内，以按N种颜色依次改变颜色的方式，使得用不同颜色的涂料涂布的像素分别配置于在与扫描方向垂直的方向上且在扫描方向上相邻的位置处。

根据该结构，由于具有上述扫描工序，因此能够使像素的干燥状态大致均匀。即，当从具有上述关系的喷头单元的喷头模块排出涂料时，在一次的扫描中，涂布成这样的状态，即：对于在与扫描方向垂直的方向上且在扫描方向上相邻的位置，存在进行了涂布的像素。由此，在一次的扫描中，在进行了涂布的像素的周围，存在大致相同图案的相同颜色或不同颜色的像素，因此，来自其周围的像素的涂料蒸发量大致相同，能够使涂布后的像素的干燥速度大致均匀。因此，相比于直到下一次的扫描才对与已涂布的像素相邻的像素进行涂布的状态的现有的涂布方法，能够在整个滤色器区域内得到均匀的干燥状态，能够抑制由燥状态引起的“纹理不均匀”的形成。

另外，可以构成为：依次重复所述扫描工序、使所述喷头单元在与扫描方向垂直的方向上移动的移动工序以及再次的所述扫描工序，由此，在下一个扫描工序中，对与在之前的扫描工序中涂布了特定颜色的涂料的像素邻接的像素涂布相同颜色的涂料，由此，沿着与扫描方向垂直的方向形成涂布了相同颜色的涂料的像素。

根据该结构，能够在干燥状态大致均匀的状态下，形成这样的滤色器：该滤色器沿着与扫描方向垂直的方向，形成了用相同颜色的涂料涂布的像素。

另外，为了实现上述目的，本发明的涂布装置通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量(N种)的涂料，制造滤色器，其特征在于，由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成喷头模块(52)，该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距P在扫描方向上排列，并且这些喷头模块(52)在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L，由此构成了喷头单元(50)，按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料，并且，相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式：[式1]L≥W+(N-1)×P。

另外，针对每次扫描在与扫描方向垂直的方向上移动间距P，进行N次扫描。

而且，喷头模块(52)的排列间距P满足下式：

[式2]

P≤(1/N)×W。

另外，在“权利要求书”和“发明内容”的各栏中对各结构要素标注的括号，表示与后述实施方式所记载的具体手段之间的对应关系。

根据本发明，提供如下的涂布装置和涂布方法：针对作为涂布对象物的滤色器，在它的整个有效像素整个区域中，实现了作为主要光学特性的透光量的均匀化以及涂料的干燥后的表面形状的平坦化和均匀化，能够利用小型装置来制造滤色器表面的外光反射在整个表面中都是均匀的、没有明暗局部偏差的高质量的滤色器。

并且，关于排出所要涂布的颜色数量的涂料的涂料喷嘴54的数量，相对于必要涂布宽度“W”，排出各种颜色的喷嘴的必要喷嘴数量只要为能够对宽度值为(1/N)或(1/N+1)的宽度进行涂布的数量即可，所以，能够抑制作为涂布装置的设备成本。

附图说明

图1是示出本发明的滤色器制造装置的立体图。

图2是示出本发明的滤色器制造装置的要部的平面图。

图3是示出涂料排出部的一部分的平面概略图。

图4是喷头单元(head block)的平面概略图。

图5是作为滤色器形成对象的玻璃基板的平面图。

图6是示出本发明的滤色器制造装置的动作概要的流程图。

图7是详细示出图6的涂布动作的流程图。

图8是用于说明涂布时的扫描动作的图。

图9是用于说明一次扫描的针对像素的涂料涂布状态的图。

图10是现有的喷头单元的平面概略图。

图11是示出涂布在像素上的涂料表面的触针式高度计的计测数据的图。

图12是示出基于4色涂料的制造装置的喷头模块配置的图。

图13是用于说明针对与图9不同方向上的像素的涂料涂布状态的图。

图14是示出现有的涂布方法的概略图。

图15是示出第1次扫描工序结束时的涂布状态的图。

图16是示出第2次扫描工序结束时的涂布状态的图。

图17是示出第3次扫描工序结束时的涂布状态的图。

标号说明

1：滤色器制造装置(涂布装置)；45：第2直线电动机(喷头单元移动部件)；50：喷头单元；51：涂料喷头；52：喷头模块；54：涂料喷嘴；gs：像素(被涂布部位)；K：玻璃基板(基板)；X：方向(扫描方向)；Y：方向(扫描垂直方向)；W：必要涂布宽度；A：滤色器形成区域。

具体实施方式

下面，参照附图，说明本发明的实施方式的生产使用了红(R)、绿(G)、蓝(B)3种颜色的涂料的滤色器的装置和方法。

图1是示出本发明的滤色器制造装置的立体图，图2是示出本发明的滤色器制造装置的要部的平面图，图3是示出涂料排出部的一部分的平面概略图，图4是喷头单元50的平面概略图。在这些图的各个中，设：正交坐标系的3个轴为X、Y、Z；XY平面为水平面；Z轴方向为铅直方向；绕铅直轴的旋转方向为θ方向。并且，将从图1的上游朝下游的动作设为前进动作，将从下游朝上游的动作设为返回动作。

另外，在本实施方式中，设正交坐标系的X方向为后述的涂布架4移动的方向(扫描方向)，设与其垂直的Y方向为涂料排出部5移动的方向(移动方向)。

如图1所示，本发明的滤色器制造装置1(本发明的涂布装置)具有：机台2、吸附工作台3、涂布架4、涂料排出部5、照相机架6、对准照相机7、扫描照相机8、基板输送机器人9、以及控制装置10。

机台2作为可动地支承滤色器制造装置1的主结构部(吸附工作台3、涂布架4、照相机架6)的台座发挥功能。

如图2所示，吸附工作台3具有载置面31，该载置面31以可确保充分的平面度的方式载置作为彩色涂料的涂布对象的玻璃基板K(也简称为基板K)。在该载置面31上，贯穿地设有多个真空吸附孔32和多个升降销孔33。真空吸附孔32经由配管和三通阀与吸引泵连接。用于支承玻璃基板K的升降销34可相对于升降销孔33突出或缩入。可通过未图示的工作台旋转驱动单元，在θ方向上对吸附工作台3进行旋转驱动。

另外，滤色器形成在基板K的一部分上，在本实施方式中，示出了针对一个基板K形成一个滤色器的情况。此时，在基板K的形成有滤色器的规定区域、即滤色器形成区域R中涂布涂料，在本实施方式中，设该滤色器形成区域R的Y方向尺寸为必要涂布宽度W(参照图2、图15～图17)。

涂布架4为能够跨越吸附工作台3的尺寸的门形，该涂布架4具有：至少隔开吸附工作台3的宽度间隔而直立地设置的2个支柱部41；以及架设于2个支柱部41之间的水平框部42。而且，该涂布架4在跨越吸附工作台3的状态下，以可通过一对第1直线电动机43在X轴方向上移动的方式，支承在机台2上。一对第1直线电动机43以沿X轴相互平行的方式，安装在机台2的Y轴方向上的两侧。

上述水平框部42可通过分别设置在2个支柱部41上的伺服电动机机构44，沿Z方向进行升降。伺服电动机机构44例如可由沿着Z轴方向设置的直线电动机构成。或者，也可以由以下部分等构成：沿Z轴方向配设的滚珠丝杠轴；绕滚珠丝杠轴的轴线对该滚珠丝杠轴进行正反旋转驱动的旋转伺服电动机；以及与滚珠丝杠轴螺合，并通过滚珠丝杠轴的旋转而在Z轴方向上进行进退移动的滚珠螺母。在水平框部42上，以可通过第2直线电动机45在Y轴方向上移动的方式设有涂料排出部5。第2直线电动机45沿着水平框部42的长度方向(Y轴方向)而安装在水平框部42上。

如图3和图4所示，在Y方向上配置有搭载于涂料排出部5上的喷头模块52。如图3所示，各喷头模块52分别具有沿X方向配置的D段(在本图中为D＝5)的涂料喷头51。另外，图3仅示出了涂料排出部5的一部分，即红色的喷头模块52。

各涂料喷头51分别由在Y方向上等间隔地排列的J个(在本图中为J＝10)涂料喷嘴54构成，它的涂料排出宽度为H。J个涂料喷嘴54能够排出相同颜色。例如，从与红色涂料的喷头模块52对应的涂料喷嘴54全部排出红色涂料。

该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，按间距P在扫描方向上排列。这些喷头模块(52)在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L，从而构成喷头单元(50)，按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料。

更详细地进行说明，在喷头单元50中设有多个喷头模块52，在本实施方式中，如图4所示，在Y方向上以间距P并列地排列所有的喷头模块52。具体而言，沿X方向阶梯状地排列3个喷头模块52，将该阶梯状地排列的一个结构单位作为喷头模块组，并在Y方向上重复排列多组。

沿X方向，由排出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)涂料的喷头模块52构成一个上述喷头模块组，这些喷头模块52分别在X方向上邻接，并且在Y方向上以间距P排列。换言之，在X方向及Y方向上错开地配置相邻的喷头模块52彼此，由此，呈阶梯状地并列排列这些喷头模块52。通过在Y方向上重复排列该喷头模块组，从而当针对Y方向观察时，喷头模块52是以按3种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期(在本实施方式中为3色周期)来进行排列。另外，图4中的52(R)、52(G)、52(B)分别表示排出红色、绿色、蓝色涂料的喷头模块52。

喷头模块52具有多个排出单一颜色的涂料的涂料喷头51，能够通过喷头模块52单体来涂布单一颜色的涂料。即，涂料喷头51具有多个涂料喷嘴54，从该涂料喷嘴54中排出单一颜色的涂料。该涂料喷嘴54沿Y方向排列，能够通过该涂料喷嘴54排出涂料的Y方向上的区域为涂料的排出区域。在本实施方式中，将间距P设定为从X方向观察，使得该涂料的排出区域重叠的值。由此，从X方向观察时，在Y方向上相邻的所有喷头模块52(例如排出红色涂料的喷头模块52与排出绿色涂料的喷头模块52)是在排出区域重叠的状态下配置的。另外，在Y方向上相邻的喷头模块52是指在Y方向上逐一错开的喷头模块52彼此。即，例如在图4中，与红色的喷头模块52(图中左上)相邻的喷头模块52是绿色的喷头模块52。

这里，如图4所示，在本实施方式中，多个喷头模块52以间距P排列了长度L。

而且，相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式。

[式1]L≥W+(N-1)×P  (N＝1、2、3...)

并且，喷头模块(52)的排列间距P满足下式。

[式2]P≤(1/N)×W  (N＝1、2、3...)

即，如图5所示，针对某纵/横大小的滤色器，在将该滤色器载置在涂布装置上时，用于进行涂布的喷头单元50的在与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度为“W”，在该情况下，构成如下这样的喷头单元50：该喷头单元50所要进行涂布的涂料的数量“N”为3，而且，以各色的涂料排出宽度邻接或重叠的方式，分别错开间距“P”，并在与扫描方向垂直的方向上连续地排列了(W+2P)以上的长度“L”。

即，喷头单元50中设置的多个喷头模块52整体的Y方向尺寸被设定为比必要涂布宽度W长2P，在喷头单元50与基板K相对的状态下，成为有2个喷头模块52位于必要涂布宽度W的Y方向外侧的状态。

并且，为了减少喷头单元50所具有的涂料喷嘴54的数量，而将各色的喷头模块52的排列间距“P”设为必要涂布宽度“W”的1/N、即1/3以下，进一步优选将其设为涂料喷头的宽度以下。在将间距P设定为与涂料喷头的宽度相同的情况下，喷头模块的宽度为一个涂料喷头的宽度，搭载在喷头单元上的涂料喷头为最小数量。

搭载在机台2上的照相机架6，与涂布架4同样为能够跨越吸附工作台3的尺寸的门形，该照相机架6具有：至少隔开吸附工作台3的宽度间隔而直立地设置的2个支柱部61；以及架设在2个支柱部61之间的水平框部62。而且，该照相机架6在跨越吸附工作台3的状态下，以可通过一对第1直线电动机43沿X轴方向移动的方式，支承在机台2上。

在上述水平框部62上，以可通过第3直线电动机63在Y轴方向上移动的方式，设有2台对准照相机7。在机台2上进行玻璃基板K的填装/取出的基板输送机器人9具有电动机91、臂92以及可动支承台93。可动支承台93呈可载置玻璃基板K的叉状，其构成为：在电动机91的驱动下，通过臂92，在X、Y、Z、θ这各个方向上移动自如。

该装置的控制装置10构成为使滤色器制造装置1进行一系列的动作。具体而言，能够适当进行控制，以便在喷头模块52的涂料喷嘴54位于基板K的规定像素gs上的情况下，从该涂料喷嘴54排出涂料。

接着，参照图5～图9说明如上构成的滤色器制造装置1的动作。图5是作为滤色器形成对象的玻璃基板的平面图，图6是示出本发明的滤色器制造装置的动作概要的流程图，图7是详细示出图6的涂布动作的流程图，图8是用于说明涂布时的扫描动作的图，图9是用于说明一次扫描动作的针对像素gs的涂料涂布状态的图。

如图5所示，在作为滤色器形成对象的玻璃基板K的表面上，预先形成有作为彩色涂料的涂布分区的黑矩阵BM和对准标记M1。图中的“R”、“G”、“B”表示与红色、绿色、蓝色的各个目标色对应的像素gs。并且，滤色器制造装置1处于如下这样的初始状态。即，吸附工作台3处于未吸附状态，涂布架4位于最上游位置，涂料排出部5处于未排出状态，照相机架6位于最下游位置。在基板输送机器人9的可动支承台93上载置着玻璃基板K。

[送入玻璃基板(步骤S1)]

首先，基板输送机器人9对可动支承台93进行驱动控制，使玻璃基板K到达吸附工作台3的正上方。接着，使升降销34从升降销孔33中突出，上升到作为玻璃基板接受位置的最上方位置。接着，基板输送机器人9使可动支承台93逐渐下降，将玻璃基板K载置到升降销34的顶端部上。在将玻璃基板K载置到升降销34上之后，基板输送机器人9使可动支承台93退避。接着，吸附工作台3使支承着玻璃基板K的升降销34下降。当玻璃基板K下降而到达载置面31时，吸附工作台3使真空吸附孔32中产生真空压力，通过真空吸附将玻璃基板K保持在载置面31上。

[玻璃基板的定位(步骤S2)]

首先，第1直线电动机43对照相机架6进行驱动控制，使对准照相机7到达对准标记M1的上方。接着，对准照相机7拍摄对准标记M1，并将得到的图像数据发送到控制装置10。在控制装置10中，通过对送来的图像数据实施适当的图像处理，来计算玻璃基板K相对于规定位置的偏移量。然后，根据该偏移量对工作台旋转驱动单元进行驱动控制，由此来进行玻璃基板K的定位。

[涂布前的准备(步骤S3)]

首先，第1直线电动机43对涂布架4进行驱动控制，使涂料排出部5到达玻璃基板K的上游侧的涂布开始位置。接着，以使涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面之间的间隙为0.5mm～1.0mm左右的微小距离的方式，通过伺服电动机机构44使涂料排出部5下降。

接着，包含这样的涂布动作在内，对装置的动作进行详细说明。

[涂料的涂布(步骤S4)]

在向本发明的滤色器制造装置1的玻璃基板K上的全部像素gs涂布目标色涂料的一系列动作中，如图8所示，通过X箭头所示的基于涂布架4的移动(扫描)的3次涂布以及Y箭头所示的涂料排出部5的规定间距的2次横向移动，从涂料喷头51向玻璃基板K排出涂料，然后结束涂布动作。下面进行更详细的说明。

[第1次前进动作中的涂布]

首先，开始扫描工序。具体而言，第1直线电动机43使涂布架4进行前进动作。由此，如图8的箭头X1所示，在涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面之间隔着微小距离而彼此相对的接近状态下，涂料涂布部5进行前进动作。控制装置10向涂料排出部5送出指令，以便对作为涂布目标的像素gs排出目标颜色的涂料。由此，正处于前进动作中的涂料排出部5按规定定时排出规定量的涂料。然后，对玻璃基板K的黑矩阵BM中的各像素gs涂布目标颜色的涂料液(参照图7的步骤S42、S43)。另外，在图9、图15中，为了便于说明而示出了通过一个喷头模块52对3像素gs进行涂布的情况。而且，在开始涂布的状态下，即在喷头单元50与基板K相对的状态下，将喷头模块52配置成相比于滤色器形成区域R，在Y方向上突出2个间距P的量的状态。即，本实施方式的多个喷头模块52整体的长度L被设定为比必要涂布宽度W长喷头模块52的2个间距的量。

在该第1次前进动作的涂布中，对于根据控制装置10的指令从涂料喷头51的涂料喷嘴54排出涂料而被涂布了涂料的像素gs的配置，如图9那样，各色的涂料涂布宽度在Y方向的距离上邻接或重叠。换言之，依次进行了3种颜色的上色的像素gs是在如下配置状态下进行涂布的，所述配置状态是：上述依次进行3种颜色的上色的像素gs被配置于在Y方向(与扫描方向垂直的方向)上且在X方向(扫描方向)上相邻的位置处。在图9、图15所示的例子中，在Y方向上涂布3个相同颜色的像素gs，在沿X方向和Y方向错开的位置(在Y方向上错开3个像素、且在X方向上错开一个像素的位置)处，涂布不同颜色的像素gs。即，在X方向上一段一段错开的状态下，沿Y方向延伸地涂布不同颜色的像素gs，由此大致涂布成阶梯形状。并且，在整个必要涂布宽度W内形成这种涂布状态。

因此，观察玻璃基板K上的滤色器的被涂布了涂料的像素gs的周围像素gs，对于相同颜色的像素gs，在扫描方向、或与扫描方向垂直的方向上邻接的像素gs中，至少在一侧被填充了相同的涂料，并且，对于位于涂布区域端部的像素gs，在与其横向倾斜邻接的像素gs中填充了其他颜色的涂料。

即，除作为滤色器的有效像素gs的端部之外，对于在基于控制装置10的指令的喷头单元50的一次扫描中、通过从涂料喷头51的涂料喷嘴54排出涂料而被涂布了涂料的像素gs，将其与邻接的填充了涂料的其他像素gs之间的最大距离设为与横向倾斜邻接的像素gs之间的距离，这样地进行一次的涂料涂布。

由此，对于在玻璃基板K的滤色器形成部分的有效像素gs区域中所有涂布了涂料的像素gs而言，涂布了涂料的像素gs中的涂料表面的干燥进程大致相同。

其原因如下。

根据图4的喷头模块的配置可知，对于在第1次扫描中涂布的滤色器，如图9或图13所示，基于涂布时的像素gs的方向，RGB各色之间的一次的涂布区域接近，所以，在涂布了某个涂布颜色(例如红R)的涂料的像素gs的周边，存在涂布了其他颜色(例如绿G或蓝B)的涂料的像素gs，由此，在一次的某种颜色的涂布区域的端部周围存在其他颜色的涂布区域。

由此，抑制了该涂布了某种涂布颜色(例如红R)的涂料的像素gs的涂料干燥的进行，其等同于，在连续涂布某种颜色的涂料的像素gs的邻接像素gs中存在涂料，从而是在相同氛围气中进行干燥。

即，通过一次的扫描工序，无论对于已涂布的哪个像素gs而言，在其周围一定存在图案大致相同的相同颜色或不同颜色的像素gs，由此，来自其周围的像素gs的涂料蒸发量大致相同。由此，涂布后的任何像素gs均是同等地进行干燥。而且，在喷头单元50中以等间距P排列了长度L的喷头模块52，所以，在整个必要涂布宽度W内涂布状态恒定。因此，在滤色器形成区域R的整个必要涂布宽度W内，涂布后的任何像素gs均是同等地进行干燥。另外，对于在Y方向上相邻的不同颜色的像素gs彼此而言，虽然它们在X方向上错开了一段，但由于1个像素gs的大小仅为100μm左右，所以，与延迟一次扫描来涂布相邻像素gs的情况相比，该在X方向进行错开的影响很小，所以可以将其忽略，可以看作是均等地进行干燥。另外，在本发明中，在与扫描方向垂直的方向上且在扫描方向上相邻的位置，是指在Y方向上相邻、且在X方向上错开一段的位置。

当涂料排出部5到达玻璃基板K的下游侧的涂布结束位置时(步骤S44：“是”)，第1直线电动机43停止涂布架4的前进动作。由此，涂料涂布部5停止(参照图8的单点划线)。然后，开始移动工序。即，如图8的箭头Y1所示，第2直线电动机45使排出涂料的宽度5在Y方向上移动规定间距P(参照图8的双点划线)。该规定的间距量与一个喷头模块52的有效涂布宽度(排出区域)相同，或者可以是比其小与几个喷嘴相应的量的值(参照步骤S45)。

[第1次返回动作中的涂布]

接着，通过再一次的扫描工序，第1直线电动机43使涂布架4进行返回动作(步骤S41)。由此，如图8的箭头X2所示，涂料排出部5进行返回动作。控制装置10向涂料排出部5送出指令，以便对作为涂布目标的像素gs排出目标颜色的涂料。于是，正处于返回动作中的涂料排出部5按规定定时排出规定量的涂料，由此，对玻璃基板K的黑矩阵BM中的各像素gs涂布目标颜色的涂料液(参照图7的步骤S42、S43)。

在该扫描工序中，如图16所示，也与之前的扫描工序同样，针对处于沿Y方向(与扫描方向垂直的方向)和X方向(扫描方向)排列的状态的、依次进行3种颜色的上色的像素gs进行涂布(在该扫描工序中涂布的像素gs用深色表示)。然后，在Y方向上涂布3个相同颜色的像素gs，在沿X方向和Y方向错开的位置(朝X方向与Y方向的合成方向错开的位置)处，涂布不同颜色的像素gs。即，在X方向上一段一段错开的状态下，沿Y方向延伸地涂布不同颜色的像素gs，从而大致涂布成阶梯形状。并且，在整个必要涂布宽度W内形成这种涂布状态。因此，无论对于在该扫描工序中涂布的哪个像素gs而言，在其周围一定存在图案大致相同的相同颜色或不同颜色的像素gs，由此，来自其周围的像素gs的涂料蒸发量大致相同。因此，涂布后的任何像素gs均是同等地进行干燥。

当涂料排出部5到达玻璃基板K的上游侧的涂布结束位置时(步骤S44：“是”)，第1直线电动机43使涂布架4停止向返回动作方向行进。由此，涂料涂布部5停止。如图8的箭头Y2所示，第2直线电动机45使涂料排出部5在Y方向上移动规定间距P(移动工序)。该间距量为与上述前进动作结束时相同的规定间距P(参照步骤S45)。

[第2次前进动作中的涂布]

与第1次前进动作中的涂布动作同样，再次开始扫描工序，如图8的箭头X3所示，一边使涂料涂布部5进行前进动作一边进行涂布。图17示出涂布后的状态。如图17所示，通过该扫描工序对滤色器形成区域R的全部像素gs涂布了涂料。即，喷头模块52被设定为比必要涂布宽度W长2个间距的量，所以，即使通过2次的移动工序使涂料涂布部5沿Y方向移动了2个间距，也能够针对滤色器形成区域R的全部像素gs，在不发生过量或不足的情况下涂布涂料。另外，对于滤色器形成区域R以外的区域的像素(图15～图17的左侧)，可以通过使喷头模块52停止排出涂料而不进行涂布。

如上所述，通过进行第1次前进动作(参照图8的箭头X1)、第1次返回动作(参照图8的箭头X2)、第2次前进动作(参照图8的箭头X3)这合计3次的扫描，涂布目标颜色的涂料的涂布工序完成。

这样，在通过涂布架的多次移动而在喷头单元50的玻璃基板K上形成的滤色器上，通过扫描而对有效像素gs的全部区域涂布了涂料，从而构成滤色器，在该滤色器中，能够使填充在全部像素gs中的涂料的干燥后的表面的截面形状相同。

即，即使在滤色器的整个表面上观察外光反射，涂布的涂料表面的干燥后的形状也是同等地形成的，表面的截面形状为相似形，在这样生产的滤色器中，在有效像素gs的全部区域内，实现了作为主要光学特性的透光量的均匀化，而且，滤色器表面上的外光反射在整个表面中是均匀的，形成了外光反射光不存在明暗局部偏差的高质量的滤色器。

另外，在上述各涂布动作中，伴随涂料的涂布动作，通过照相机架6和第3直线电动机的驱动，扫描照相机8在沿X、Y各方向移动的同时，还对涂布的液滴进行摄像以作为测试图案，并将图像数据发送到控制装置10。控制装置10根据送来的图像数据，通过适当的图像处理，对涂料的命中状态进行评价。在不良部位显著的情况下，可以在后序工序中将该玻璃基板K作为不合格品而排除。

[涂布后的处理(步骤S5)]

首先，伺服电动机机构44通过驱动水平框部42上升，来使涂料排出部5上升。由此，使涂料喷嘴54的排出口与玻璃基板K的表面分离。接着，第1直线电动机43控制涂布架4进行返回动作，使涂料排出部5向吸附工作台3的上游端(原点)退避。

[送出基板(步骤S6)]

吸附工作台3破坏真空吸附孔32中产生的真空压力。升降销34从升降销孔33中突出，在支承着玻璃基板K的状态下，上升到最上方位置。基板输送机器人9通过可动支承台93接受已完成涂料涂布的玻璃基板K，将其移交到下一个工序，例如减压干燥工序。

根据本发明的滤色器制造装置1，通过将其应用于作为涂布材料的涂料的涂布对象物，即滤色器，由此，在它的整个有效区域中，实现了作为主要光学特性的透光量的均匀化以及涂料的干燥后的表面形状的平坦化和均匀化，能够实现滤色器表面的外光反射在整个表面中都是均匀的、不存在明暗局部偏差的高质量的滤色器。

对于滤色器，作为表现涂布涂料后的像素gs的截面形状的稳定性的例子，图11A示出了利用触针式的表面粗糙计对通过该装置进行涂料涂布后的滤色器的像素gs表面的凹凸进行测定的测定结果，图11B示出了利用其他方法涂布时的计测结果。在表示本发明的滤色器的截面的计测结果的曲线图11A中，形状均匀，与表示其他方式的截面形状的计测结果的曲线图11B相比，存在明显的优势。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，不过，以上公开的实施方式只不过是例示，本发明的范围不限于这些实施方式。本发明的范围由权利要求书的记载给出，而且，旨在包含与权利要求书等同的含义的范围以及其范围内的全部变更。

实施例1

作为本发明的实施例，将37英寸的液晶彩色TV用滤色器作为一例进行说明。

该37英寸的影像设备的画面尺寸的纵横比为16∶9，其中，横为820mm，纵为460mm，该情况下，设滤色器的必要涂布宽度“W”为其纵向长度460mm。

在喷头单元50中，设红(R)、绿(G)、蓝(B)即“N”为3的3色涂料喷头51的有效涂布宽度为“P”、其长度为36mm，则相对于滤色器的必要涂布宽度“W”，排列15个涂料模块。在进行喷头单元50的第1次前进动作(X1箭头方向的移动)之后的从第2次起的涂布动作之前，使喷头单元50沿Y方向移动间距36mm。

实施例2

关于滤色器的原色，从最近的颜色再现性等的多样化的要求出发，还出现了除红、绿、蓝这3种颜色以外还使用了青、品红、黄这3种颜色的合计6种颜色的滤色器，不过这里，作为其他实施例之一，对制造“N”为4的4色滤色器的喷头单元50进行说明。

图12示出此时的像素gs的整体宽度和各色(在该例中为红(R)、绿(G)、蓝(B)、黄(Y))的喷头单元50的配置。针对滤色器的各种颜色的涂布如图12所示，在扫描方向上，喷头单元的长度L增加了除红(R)、绿(G)、蓝(B)这3种颜色的涂布以外新增的一种颜色即黄色(Y)的间距P的量，并且，为了针对该增加的一种颜色进行补足，可在涂布装置的动作中增加一次在与扫描方向垂直的方向上的移动工序，并通过上述动作来完成针对滤色器的有效像素gs的全部区域的涂布。

在该4色喷头结构中，根据图12可知，可将增加的黄色(Y)配置在其他颜色的中间，从而具有如下优点：不需要改变装置在扫描方向上的大小，而只需使宽度增大一个喷头模块的量即可。

Claims (8)

1.一种涂布装置，该涂布装置具有喷头单元，并且一边使该喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头单元排出N种颜色的涂料，由此来制造滤色器，其中，所述喷头单元设置有多个排出单一颜色的涂料的喷头模块，能够涂布N种颜色的涂料，其中N＝3、4、5...，该涂布装置的特征在于，

在所述喷头单元中，全部所述喷头模块以按N种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距P排列了长度L，

该长度L和待形成滤色器的滤色器形成区域的与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度W之间的关系满足：

L≥W+(N-1)×P，

其中，N＝3、4、5...，

多个所述喷头模块彼此在扫描方向上邻接配置，由此，形成了呈阶梯状排列配置的喷头模块组，在所述喷头单元中，所述喷头模块组在与扫描方向垂直的方向上重复地排列。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

在所述喷头模块中设置有多个排出涂料的涂料喷嘴，在与扫描方向垂直的方向上排列的各个喷头模块是在从扫描方向看，所述涂料喷嘴的涂料排出区域重叠的状态下配置的。

3.一种涂布方法，在该涂布方法中采用了喷头单元，并且一边使该喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头单元排出N种颜色的涂料，由此来制造滤色器，其中，所述喷头单元设置有多个排出单一颜色的涂料的喷头模块，能够涂布N种颜色的涂料，其中N＝3、4、5...，该涂布方法的特征在于，

在所述喷头单元中，全部所述喷头模块以按N种颜色依次改变颜色的方式，按规定周期，在与扫描方向垂直的方向上以规定间距P排列了长度L，

该长度L和待形成滤色器的滤色器形成区域的与扫描方向垂直的方向上的必要涂布宽度W之间的关系满足：

L≥W+(N-1)×P，

其中，N＝3、4、5...，

多个所述喷头模块彼此在扫描方向上邻接配置，由此，形成了呈阶梯状排列配置的喷头模块组，在所述喷头单元中，所述喷头模块组在与扫描方向垂直的方向上重复地排列，

该涂布方法具有扫描工序，在该扫描工序中，一边使喷头单元与基板在扫描方向上进行相对移动，一边从所述喷头模块排出涂料，由此，进行如下方式的涂布：在整个必要涂布宽度W内，以按N种颜色依次改变颜色的方式，使得用不同颜色的涂料涂布的像素分别配置于在与扫描方向垂直的方向上且在扫描方向上相邻的位置处。

4.根据权利要求3所述的涂布方法，其特征在于，

依次重复所述扫描工序、使所述喷头单元在与扫描方向垂直的方向上移动的移动工序以及再次的所述扫描工序，由此，在下一个扫描工序中，对与在之前的扫描工序中涂布了特定颜色的涂料的像素邻接的像素涂布相同颜色的涂料，由此，沿着与扫描方向垂直的方向形成涂布了相同颜色的涂料的像素。

5.一种涂布装置，该涂布装置通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量N种的涂料，制造滤色器，其特征在于，

由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成喷头模块(52)，全部该喷头模块(52)以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距P在扫描方向上排列，

并且这些喷头模块(52)彼此在与扫描方向垂直的方向上连续排列了长度L且在扫描方向上邻接配置，由此，形成了呈阶梯状排列配置的喷头模块组，该喷头模块组在与扫描方向垂直的方向上重复地排列，由此构成了喷头单元(50)，

按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料，并且，相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式1：

[式1]

L≥W+(N-1)×P，

其中，N＝3、4、5...。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，

所述喷头模块(52)的排列间距P满足下式2：

[式2]

P≤(1/N)×W，

其中，N＝3、4、5...。

7.一种涂布方法，该涂布方法通过多个涂料喷头(51)涂布原色数量N种的涂料，制造滤色器，其特征在于，

由供给相同颜色的涂料的一个以上的涂料喷头(51)构成喷头模块(52)，以至少喷头模块(52)的涂料排出宽度的两端邻接或重叠的方式，以间距P在扫描方向上排列全部该喷头模块(52)，并且这些喷头模块(52)彼此在与扫描方向垂直的方向上连续排列长度L且在扫描方向上邻接配置，由此，形成了呈阶梯状排列配置的喷头模块组，该喷头模块组在与扫描方向垂直的方向上重复地排列，由此构成喷头单元(50)，按该喷头单元(50)的每个喷头模块(52)依次改变颜色来供给涂料，并且，

相对于滤色器的必要涂布宽度W，L满足下式1：

[式1]

L≥W+(N-1)×P，

其中，N＝3、4、5...，

针对每次扫描在与扫描方向垂直的方向上移动间距P，进行N次扫描。

8.根据权利要求7所述的涂布方法，其特征在于，

喷头模块(52)的排列间距P满足下式2：

[式2]

P≤(1/N)×W，

其中，N＝3、4、5...。

Images