KR20230045678A - 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법 - Google Patents

잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20230045678A
KR20230045678A KR1020210127332A KR20210127332A KR20230045678A KR 20230045678 A KR20230045678 A KR 20230045678A KR 1020210127332 A KR1020210127332 A KR 1020210127332A KR 20210127332 A KR20210127332 A KR 20210127332A KR 20230045678 A KR20230045678 A KR 20230045678A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
head assembly
target substrate
composition
inspection
Prior art date
Application number
KR1020210127332A
Other languages
English (en)
Inventor
현진호
윤희창
이형섭
이혜민
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020210127332A priority Critical patent/KR20230045678A/ko
Priority to US17/890,656 priority patent/US20230094912A1/en
Priority to CN202211112909.7A priority patent/CN115871334A/zh
Priority to CN202222422911.6U priority patent/CN218399890U/zh
Publication of KR20230045678A publication Critical patent/KR20230045678A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00634—Production of filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00865—Applying coatings; tinting; colouring
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00951—Measuring, controlling or regulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/008—Controlling printhead for accurately positioning print image on printing material, e.g. with the intention to control the width of margins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04505—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits aiming at correcting alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/11—Ink jet characterised by jet control for ink spray
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/54—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed with two or more sets of type or printing elements
    • B41J3/543—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed with two or more sets of type or printing elements with multiple inkjet print heads
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04—Coating
    • C08J7/054—Forming anti-misting or drip-proofing coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00—Inks
    • C09D11/30—Inkjet printing inks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D11/00—Inks
    • C09D11/30—Inkjet printing inks
    • C09D11/32—Inkjet printing inks characterised by colouring agents
    • C09D11/328—Inkjet printing inks characterised by colouring agents characterised by dyes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
    • H10K71/611—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes using printing deposition, e.g. ink jet printing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
    • B41J2029/3935—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns by means of printed test patterns
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/09—Ink jet technology used for manufacturing optical filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B2207/00—Coding scheme for general features or characteristics of optical elements and systems of subclass G02B, but not including elements and systems which would be classified in G02B6/00 and subgroups
    • G02B2207/101—Nanooptics
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/206—Filters comprising particles embedded in a solid matrix

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

잉크젯 설비는, 서로 반대되는 정방향 및 역방향으로 왕복이동되고, 대상 기판이 배치되는 스테이지, 상기 스테이지 외측에 배치된 필름 및 상기 필름에 형성된 검사 패턴을 측정하는 측정 유닛을 포함하는 검사 장치, 및 상기 정방향과 교차하는 일 방향을 따라 이동되고, 상기 대상 기판으로 액상의 조성물을 제공하는 복수의 헤드들을 포함하는 헤드 조립체를 포함하고, 상기 헤드 조립체는, 상기 필름과 중첩하도록 상기 일 방향으로 이동되고 상기 필름 상에 상기 조성물을 분사하여 검사 패턴을 형성한다.

Description

잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법{INKJET PRINTING FACILITIES AND METHOD FOR MANUFACTURING OF DISPLAY PANEL USING THE SAME}
본 발명은 검사 장치를 포함한 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법에 관한 것이다.
잉크젯 설비를 이용하여 표시 패널의 광학 패턴, 컬러 필터, 또는 발광층을 형성할 수 있다. 예를 들어, 잉크젯 프린팅 장치는 베이스 물질 및 베이스 물질에 분산된 입자를 포함하는 잉크를 대상 기판에 토출하여 표시 패널을 구성하는 구성 요소를 형성할 수 있다.
본 발명은 양 방향 잉크젯 프린팅 시 대상 기판에 분사되는 조성물의 얼라인 상태를 용이하게 측정할 수 있는 검사 장치를 포함한 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
잉크젯 설비는 서로 반대되는 정방향 및 역방향으로 왕복이동되고, 대상 기판이 배치되는 스테이지, 상기 스테이지 외측에 배치된 필름 및 상기 필름에 형성된 검사 패턴을 측정하는 측정 유닛을 포함하는 검사 장치, 및 상기 정방향과 교차하는 일 방향을 따라 이동되고, 상기 대상 기판으로 액상의 조성물을 제공하는 복수의 헤드들을 포함하는 헤드 조립체를 포함하고, 상기 헤드 조립체는, 상기 필름과 중첩하도록 상기 일 방향으로 이동되고 상기 필름 상에 상기 조성물을 분사하여 검사 패턴을 형성한다.
상기 검사 장치는, 서로 이격되고 상기 필름을 상기 정방향 및 상기 역방향을 따라 왕복이동 시키는 제1 롤러부 및 제2 롤러부를 포함하는 롤러부, 및 서로 이격되고, 상기 필름이 왕복이동될 때, 상기 필름의 이동 방향에 따라 롤링되는 필름 공급부 및 필름 회수부를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 검사 패턴은, 각각이 상기 일 방향으로 연장된 라인 형상의 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴을 포함하고, 상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 상기 제1 검사 패턴을 형성한 이후에, 상기 롤러부는 상기 필름을 소정의 거리만큼 왕복이동시키고, 상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 상기 제2 검사 패턴을 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴 각각은 복수의 점들을 포함하고, 상기 측정 유닛은, 상기 제1 검사 패턴에 포함된 상기 점들 중 상기 제2 검사 패턴과 가장 멀리 떨어진 제1 점의 중심과, 상기 제2 검사 패턴에 포함된 상기 점들 중 상기 제1 검사 패턴과 가장 멀리 떨어진 제2 점의 중심 사이의 상기 정방향에서의 거리를 측정하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 점과 상기 제2 점 사이의 상기 거리가 50um 이하일 때, 상기 헤드 조립체는 상기 대상 기판과 중첩하도록 상기 일 방향으로 이동되어 상기 조성물을 상기 대상 기판에 분사하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 점과 상기 제2 점 사이의 상기 거리가 50um 초과일 때, 상기 헤드 조립체의 설정 값을 재조정하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 대상 기판은, 상기 조성물이 제공되는 복수의 영역들을 포함하고, 상기 영역들 각각은, 상기 정방향으로 연장되고, 상기 일 방향에서 서로 이격된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 영역들 각각에는, 상기 스테이지가 상기 정방향으로 이동될 때, 상기 조성물이 제1 차 분사되고, 상기 스테이지가 상기 역방향으로 이동될 때, 상기 조성물이 제2 차 분사되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 필름은, 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 필름은, 발수 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 측정 유닛은, 상기 필름과 정렬되도록 상기 검사 장치의 일 측에 배치되거나, 상기 헤드 조립체의 일 측에 결합된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 스테이지를 상기 정방향 및 상기 역방향으로 이동시키는 이송 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 일 방향으로 연장되고 상기 헤드 조립체를 상기 일 방향으로 가이드하는 레일 프레임 및 상기 레일 프레임의 일단 및 타단을 지지하는 수직 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 조성물은, 유기 물질 및 양자점 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
표시 패널 제조 방법은, 스테이지, 헤드 조립체, 및 필름과 측정 유닛을 포함하는 검사 장치를 포함하는 잉크젯 설비를 이용한 표시 장치 제조 방법에 있어서, 양방향 프린팅 단계, 및 상기 헤드 조립체의 상태를 검사하는 단계를 포함하고, 상기 양방향 프린팅 단계는, 상기 헤드 조립체를 상기 스테이지에 배치된 대상 기판 상에 정렬 시키는 단계, 상기 헤드 조립체에 포함된 액상의 조성물을 상기 대상 기판에 분사하는 단계, 상기 대상 기판의 제1 영역에 상기 조성물이 제1 차 분사되도록 상기 스테이지를 정방향으로 이동시키는 단계, 및 상기 제1 영역에 상기 조성물이 제2 차 분사되도록 상기 스테이지를 상기 정방향과 반대되는 역방향으로 이동시키는 단계를 포함하고, 상기 헤드 조립체의 상태를 검사하는 단계는, 상기 헤드 조립체를 상기 필름 상에 정렬시키는 단계, 상기 필름 상에 상기 조성물을 분사하여 검사 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 검사 패턴을 확인하는 단계를 포함한다.
상기 검사 패턴을 형성하는 단계는, 상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 제1 검사 패턴을 형성한 이후에, 상기 대상 기판의 왕복이동과 대응되도록 상기 필름을 왕복이동 시킨 후, 상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 제2 검사 패턴을 형성하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 검사 패턴을 확인하는 단계는, 상기 제1 검사 패턴과 상기 제2 검사 패턴 사이의 거리를 측정하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 거리가 50um 이하인 경우, 상기 양방향 프린팅 단계를 재 실행 하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 거리가 50um 초과인 경우, 상기 헤드 조립체의 설정 값을 재조정하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 검사 패턴 및 상기 제2 검사 패턴 각각은, 복수의 점들을 포함하고 상기 정방향과 교차하는 일 방향을 따라 연장된 라인 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비는 양방향 프린팅 공정을 진행함에 따라, 프린팅 공정에 소요되는 원가 및 소요 시간을 감소시킬 수 있으며, 헤드 조립체에 포함된 헤드들의 개수를 단일 방향 프린팅 공정에 비해 감소시킬 수 있다.
또한, 헤드 조립체의 초기 설정 값에 따른 조성물의 탄착 상태를 스테이지의 일측에 배치된 검사 장치를 통해 곧바로 진행하고, 헤드 조립체의 상태를 판별함에 따라, 공정 수율이 향상된 잉크젯 설비를 제공할 수 있다
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 설비의 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치, 측정 유닛, 및 헤드 조립체의 관계를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 공정의 알고리즘을 도시한 블록도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치 및 이에 형성된 검사 패턴을 도시한 평면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치 및 이에 형성된 검사 패턴을 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 패턴의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 설비의 사시도이다. 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다. 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다. 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지상에 배치된 대상 기판과 헤드 조립체의 관계를 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면 본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)는, 지지부(100), 이송부(200), 프레임(300), 헤드 조립체(400), 검사 장치(500), 및 검사 장치(500)에 포함된 측정 유닛(600)을 포함할 수 있다.
지지부(100)는 이송부(200)가 배치될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 지지부(100)는 복수의 레일들(110, 120)을 포함할 수 있다. 레일들(110, 120) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)을 따라 서로 이격될 수 있다.
이송부(200)는 이송 장치(220) 및 스테이지(210)를 포함할 수 있다. 이송 장치(220)는 레일들(110, 120) 상에 배치되고, 스테이지(210)와 결합되어 스테이지(210)를 제1 방향(DR1, 청구항 상의 '정방향') 및 제4 방향(DR4, 청구항 상의 '역방향')으로 왕복이동 시키는 장치일 수 있다. 따라서, 이송 장치(220)는 별도의 모터가 구비되거나 지지부(100)를 통해 연결된 별도의 제어 장치를 통해 레일들(110, 120) 상에서 왕복이동될 수 있다.
스테이지(210)는 대상 기판(BS)이 배치될 수 있는 평면을 제공할 수 있다. 스테이지(210)는 이송 장치(220)에 결합되어 지지부(100)의 일단에서 끝단까지 이동될 수 있다.
도시되지 않았으나, 이송부(200)는 대상 기판(BS)과 헤드 조립체(400) 사이의 제3 방향(DR3)에서의 거리를 조절할 수 있는 수직 이송 장치를 포함할 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
프레임(300)은 지지부(100)의 중앙에 배치될 수 있다. 프레임(300)은 수직 프레임들(310) 및 레일 프레임(320)을 포함할 수 있다.
수직 프레임들(310) 각각은 제3 방향(DR3)으로 연장되고, 지지부(100)의 장변으로부터 제2 방향(DR2) 및 제5 방향(DR5)으로 이격되어 배치될 수 있다.
레일 프레임(320)은 수직 프레임들(310) 각각의 일단 사이에 배치될 수 있다. 레일 프레임(320)은 대상 기판(BS)으로부터 제3 방향(DR3)으로 소정의 거리를 두고 스테이지(210) 상에 배치될 수 있다.
본 실시예에 따른 레일 프레임(320)은 헤드 조립체(400)가 제2 방향(DR2) 및 제5 방향(DR5)으로 이동될 수 있는 프레임 레일(321)을 포함할 수 있다. 따라서, 레일 프레임(320)은 헤드 조립체(400)를 제2 방향(DR2) 및 제5 방향(DR5)으로 가이드할 수 있다.
헤드 조립체(400)는 복수의 헤드들(410) 및 헤드 이송부(420)를 포함할 수 있다.
헤드들(410) 각각은 액상의 조성물을 저장할 수 있는 저장 탱크 및 조성물을 대상 기판(BS)로 분사할 수 있는 노즐들을 포함할 수 있다.
헤드들(410) 각각은 잉크젯 설비에 사용되는 헤드이면 어느 하나로 한정되지 않으며, 헤드에 포함된 구성 또한 일반적인 구성(eg. 필터, 교반기, 펌프 등)이면 본 발명에 적용될 수 있다.
각각의 노즐들은 독립적으로 제어가 가능할 수 있다. 예를 들어, 노즐들 중 일부가 턴-오프(또는 잠금 상태)될 때 다른 일부가 턴-온(또는 열림 상태)될 수 있다. 노즐들 각각의 온-오프 간격(또는 열림-잠금 간격 또는 배출-미배출 간격)을 제어될 수 있다. 또한, 노즐들은 초기 프린팅 공정이 진행될 때 설정 값이 변경되어 토출 상태가 변경될 때, 이를 개별적으로 제어할 수 있다.
헤드 이송부(420)는 적어도 하나의 헤드들(410)이 결합되어 헤드들(410)을 대상 기판(BS) 상에서 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 헤드 이송부(420)는 별도의 모터가 구비되어 프레임 레일(321)을 따라 제2 방향(DR2) 및 제5 방향(DR5)으로 헤드들(410)을 이동시킬 수 있다.
다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 헤드 조립체(400)는 레일 프레임(320)에 구비된 별도의 이송 장치를 통해 프레임 레일(321)을 따라 이동될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
검사 장치(500)는 스테이지(210)의 일측에 배치될 수 있다. 검사 장치(500)는 헤드 조립체(400)에서 분사되는 조성물의 얼라인 상태를 검사할 수 있다.
본 발명에 따른 헤드 조립체(400)는 검사 장치(500)와 중첩하도록 프레임 레일(321)을 따라 제2 방향(DR2)으로 이동될 수 있다. 따라서, 프린팅 공정에 사용되고 있는 헤드들(410)의 탄착 상태를 곧바로 검사 장치(500)를 통해 확인할 수 있다. 이에 관한 설명은 후술하도록 한다.
일 실시예에 따른 검사 장치(500)는 측정 유닛(600)을 포함할 수 있다. 측정 유닛(600)은 검사 장치(500)의 일측에 배치되어 헤드들(410)의 탄착 상태에 관한 검사가 진행되는 동안 검사 장치(500)에 제공된 조성물의 상태를 측정할 수 있다. 측정 유닛(600)은 로봇 암과 같은 구조물을 통해 검사 장치(500)의 일 측에 배치될 수 있다.
측정 유닛(600)은 액상의 조성물 상태를 검사할 수 있는 장치이면 어느 하나로 한정되지 않는다. 예를 들어, 측정 유닛(600)은 비젼 카메라와 같은 카메라 모듈을 포함하는 장치로 제공될 수 있고, 현미경으로도 제공될 수 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 1에는 측정 유닛(600)이 검사 장치(500)의 일측에 배치된 것을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 측정 유닛(600)은 헤드 조립체(400)의 일측에 부착되어 헤드 조립체(400)와 함께 프레임 레일(321)을 따라 이동될 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000, 도 1 참조)의 프린팅 공정을 간략히 도시한 평면도들이다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 대상 기판(BS)은 복수의 프린팅 영역들(A1, A2, A3)을 포함할 수 있다. 프린팅 영역들(A1, A2, A3) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)을 따라 서로 이격 배열될 수 있다.
대상 기판(BS)의 프린팅 영역들(A1, A2, A3) 각각은, 프린팅 공정 후 컷팅되는 영역일 수 있다. 컷팅된 프린팅 영역들(A1, A2, A3)은 적어도 하나의 개별적인 표시 패널로 제공될 수 있다. 이에 관한 설명은 후술하도록 한다.
도 2a를 참조하면, 대상 기판(BS)의 제1 영역(A1)에 제1 차 정방향 프린팅 공정이 진행될 수 있다. 이때, 헤드 조립체(400)는 제1 영역(A1)의 일측 상에 고정될 수 있다. 헤드 조립체(400)가 고정된 상태에서 조성물은 제1 영역(A1)으로 분사되고, 이와 동시에 대상 기판(BS)은 스테이지(210) 상에 배치되어 제1 방향(DR1)으로 이동될 수 있다. 도 2b에는 제1 차 정방향 프린팅 공정이 진행된 후, 조성물이 제공된 제1 영역(A1)을 해칭으로 도시하였다.
도 2b를 참조하면, 제1 차 정방향 프린팅 공정이 진행된 후, 본 발명에 따른 잉크젯 설비는 제1 차 역방향 프린팅 공정이 진행될 수 있다. 이때, 헤드 조립체(400)는 제1 차 정방향 프린팅 공정이 진행될 때 고정된 위치와 동일한 위치에 고정될 수 있다. 대상 기판(BS)이 제1 방향(DR1)으로 이동됨에 따라, 제1 차 역방향 프린팅 공정의 시작 지점은, 제1 차 정방향 프린팅 공정의 종료 지점이 될 수 있다.
헤드 조립체(400)가 고정된 상태에서 조성물은 제1 영역(A1)으로 재 분사되고, 이와 동시에 대상 기판(BS)은 스테이지(210) 상에 배치되어 제5 방향(DR5)으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 제1 영역(A1)은 2번의 잉크젯 공정이 진행될 수 있다.
이후, 도 2c에는, 제2 영역(A2)이 상기 제1 차 정/역방향 프린팅 공정과 동일한 방법으로 제2 차 정/역방향 프린팅 공정이 진행된 후, 제3 영역(A3)의 제3 차 정방향 프린팅 공정이 시작되는 헤드 조립체(400)의 위치를 도시하였다. 제1 영역(A1)에서 제3 영역(A3)으로 프린팅 공정이 진행될수록, 헤드 조립체(400)는 제5 방향(DR5)을 따라, 대응되는 영역으로 이동될 수 있다.
도 2a 내지 도 2c에는 제1 내지 제3 영역(A1, A2, A3)을 예시적으로 도시하였으나, 대상 기판(BS) 상에 프린팅 되는 영역의 개수는 어느 하나로 한정되지 않는다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)는 동일 영역에 대한 양방향 잉크젯 프린팅(Bidirectional inkjet printing)이 가능한 설비를 제공할 수 있다. 이에 따라, 프린팅 공정에 소요되는 원가 및 소요 시간을 감소시킬 수 있으며, 헤드 조립체(400)에 포함된 헤드들(410, 도 1 참조)의 개수를 일방향 프린팅 공정에 비해 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 공정 수율이 향상된 잉크젯 설비(1000)를 제공할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치, 측정 유닛, 및 헤드 조립체의 관계를 도시한 단면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 공정의 알고리즘을 도시한 블록도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치 및 이에 형성된 검사 패턴을 도시한 평면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 패턴의 평면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 패턴의 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 검사 장치(500)는 도 2a 내지 도 2c에서 설명한 프린팅 공정이 진행될 때, 헤드들(410)에서 제공되는 조성물의 탄착 상태를 검사하는 장치일 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000, 도 1 참조)는 동일 영역에 대해 양방향 프린팅 공정이 진행됨으로, 제n 차 정방향 프린팅 공정이 시작될 때(또는 끝날 때), 헤드 조립체(400)에서 분사된 조성물의 탄착 상태와, 제n 차 역방향 프린팅 공정이 끝날 때(또는 시작될 때), 헤드 조립체(400)에서 분사된 조성물의 탄착 상태가 얼라인되어야 균일한 프린팅 상태를 가지고 양방향 프린팅 공정이 진행될 수 있다.
본 발명에 따르면, 양방향 프린팅 공정이 진행될 때 사용되는 헤드 조립체(400)를 검사 장치(500)로 이동시켜 동일한 조건에서 헤드 조립체(400)로부터 분사되는 조성물의 탄착 상태를 검사할 수 있다. 이하, 검사 장치(500)의 구성들을 설명하도록 한다.
검사 장치(500)는 필름(FL), 필름 공급부(511), 필름 회수부(512), 롤러부, 및 하우징(530)을 포함할 수 있다. 롤러부는 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)를 포함할 수 있다.
하우징(530)의 내부에는 필름 공급부(511) 및 필름 회수부(512)가 배치될 수 있으며, 필름(FL)의 출입이 가능한 개구부를 포함할 수 있다. 검사 장치(500)에서 하우징(530)은 생략될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
필름(FL)은 대상 기판(BS)과 유사한 표면을 제공할 수 있다. 예를 들어, 필름(FL)은 고분자 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 필름(FL)은 폴리머(Polymer)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 필름(FL)은 조성물이 제공되는 면 상에 배치되는 발수 코팅층을 더 포함할 수 있다. 발수 코팅층은 발수 물질을 포함하는 일반적인 것이면 어느 하나로 한정되지 않는다.
필름 공급부(511) 및 필름 회수부(512)는 서로 이격되고 제1 방향(DR1)을 따라 서로 이격 배열될 수 있다. 필름 공급부(511) 및 필름 회수부(512)는 필름(FL)의 이동 방향에 대응되도록 롤링될 수 있다.
필름 공급부(511)는 검사 장치(500)에서 검사가 진행될 때, 새로운 필름(FL)을 제공하고, 필름 회수부(512)는 검사에서 기 사용된 필름(FL)을 회수할 수 있다. 이에 따라, 기 사용된 필름(FL)은 필름 회수부(512)에 롤링되고, 새로이 검사가 시작될 때, 필름 공급부(511)에서 새로운 필름(FL)이 제공될 수 있다.
롤러부는 필름(FL)이 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로 이동될 수 있도록 필름(FL)을 롤링시키는 이송 장치일 수 있다. 롤러부는 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)를 포함할 수 있다. 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)는 하우징(530) 상에 배치될 수 있다. 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)는 개별적인 모터로 구동되거나, 지지부(100)에 연결되어 제어 장치로 구동될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
대상 기판(BS)의 동일 영역에 양방향 프린팅 공정이 진행될 때, 대상 기판(BS)이 스테이지(210) 상에서 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로 왕복이동되는 것과 대응되도록, 필름(FL)은 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)를 통해 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로 이동될 수 있다.
즉, 필름(FL)이 제1 방향(DR1)으로 이동될 때, 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)는 시계 방향으로 회전되고, 필름 공급부(511) 및 필름 회수부(512)는 필름(FL)이 이에 대응되어 회전될 수 있다.
필름(FL)이 제4 방향(DR4)으로 이동될 때, 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)는 반시계 방향으로 회전되고, 필름 공급부(511) 및 필름 회수부(512)는 필름(FL)이 이에 대응되어 회전될 수 있다.
스테이지(210, 도 1 참조)가 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로 대상 기판(BS)을 이동 시키는 속도와, 제1 롤러부(521) 및 제2 롤러부(522)가 필름(FL)을 롤링시킴으로써 필름(FL)을 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로 이동시키는 속도는 서로 동일하게 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 헤드 조립체(400)는 대상 기판(BS, 도 1 참조)에서 조성물을 탄착 시킬 때와 동일한 조건으로 검사 장치(500)의 필름(FL)에 조성물을 탄착시킬 수 있다.
도 3에는 일 예시로 측정 유닛(600)이 헤드 조립체(400)의 일 측에 배치된 것으로 도시하였다. 본 발명에 따르면, 측정 유닛(600)을 통해 검사 장치(500)의 필름(FL)에 형성된 조성물의 탄착 상태를 바로 확인할 수 있다.
도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 검사 장치(500)를 포함한 잉크젯 설비(1000)를 통해 표시 패널을 제조하는 방법을 설명하도록 한다.
도 4에는 본 발명 잉크젯 설비(1000)를 통해 표시 패널 제조 방법 진행 시, 검사 장치(500)를 통해 헤드 조립체의 탄착 상태에 대한 검사를 진행하는 알고리즘을 블록도로 간략하게 도시하였다.
본 발명에 따른 표시 장치 제조 방법은, 정방향 프린팅 단계(S10), 역방향 프린팅 단계(S20), 헤드 조립체 상태 검사 단계(S30), 검사 패턴 확인 단계(S40), 헤드 조립체 설정 값 재조정 단계(S50), 및 양방향 프린팅 재실행 단계(S60)를 포함할 수 있다. 정방향 프린팅 단계(S10) 및 역방향 프린팅 단계(S20)는 '양방향 프린팅 단계'로 정의될 수 있다.
정방향 프린팅 단계(S10)는 헤드 조립체(400, 도 1 참조)를 스테이지(210, 도 1 참조)에 배치된 대상 기판(BS, 도 1 참조) 상에 정렬 시키는 단계, 헤드 조립체(400)에 포함된 액상의 조성물을 대상 기판(BS)에 분사하는 단계, 및 대상 기판(BS)의 일영역에 조성물을 제1 차 분사되도록 스테이지(210)를 정방향으로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
역방향 프린팅 단계(S20)는 상기 일영역에 조성물이 제2 차 분사되도록 스테이지(210)를 역방향으로 이동시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상기 일영역은 정방향 프린팅 단계(S10) 및 역방향 프린팅 단계(S20)를 통해 양방향으로 두 번의 프린팅 공정이 진행될 수 있다.
정방향 프린팅 단계(S10) 및 역방향 프린팅 단계(S20)는 도 2a 내지 도 2c에서 설명한 양방향 프린팅 공정과 동일한 공정으로 진행될 수 있다.
이후, 헤드 조립체 상태 검사 단계(S30)를 포함할 수 있다. 헤드 조립체(400) 상태 검사 단계(S30)는 헤드 조립체(400)를 필름(FL) 상에 정렬시키는 단계, 필름(FL) 상에 조성물을 분사하여 검사 패턴(IP, IP-A)을 형성하는 단계, 및 검사 패턴(IP, IP-A)을 확인하는 단계를 포함할 수 있다.
검사 패턴(IP, IP-A)은 대상 기판(BS)에 조성물을 분사하던 헤드 조립체(400)를 이동시켜 필름(FL) 상에 정렬시킨 이후에, 필름(FL) 상에 조성물을 분사함에 따라 형성할 수 있다.
검사 패턴(IP, IP-A)을 형성하는 헤드 조립체(400)의 분사 조건은, 대상 기판(BS)에서 양방향 프린팅 공정을 진행하던 헤드 조립체(400)의 분사 조건과 동일 조건으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 대상 기판(BS)의 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로의 이동 속도와 필름(FL)의 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)으로의 이동 속도는 동일할 수 있다. 대상 기판(BS) 상에서 진행되는 정방향 프린팅 시작(및 종료) 후 역방향 프린팅 시작(및 종료) 시간도, 필름(FL) 상에서 진행되는 검사 패턴(IP, IP-A)을 형상하는 시간과 동일할 수 있다. 또한, 헤드 조립체(400)에서 분사되는 조성물의 Waveform도 대상 기판(BS)과 필름(FL) 상에서 동일할 수 있다.
일 실시예에 따른 검사 패턴(IP, IP-A)은 제2 방향(DR2)으로 연장된 라인 형상을 가질 수 있다. 즉, 헤드 조립체(400)가 연속적으로 조성물을 대상 기판(BS)의 일영역 전체에 분사하는 것과 달리, 필름(FL) 상에서는 소량의 조성물을 분사하여 라인 형상으로 검사 패턴(IP, IP-A)을 형성할 수 있다.
검사 패턴(IP, IP-A)은 조성물을 필름(FL) 상에 적어도 두 번 토출함으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 검사 패턴(IP, IP-A)은 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴을 포함할 수 있다.
필름(FL) 상에 라인 형상으로 제1 검사 패턴을 형성한 뒤, 대상 기판(BS)이 양방향 프린팅 공정에서 이동되는 거리와 대응되도록 필름(FL)을 제1 방향(DR1) 및 제4 방향(DR4)을 따라 왕복이동시킨다.
이때, 대상 기판(BS)에서 양방향 프린팅 공정이 종료되는 시간과 대응되는 시간으로 필름(FL) 상에 라인 형상으로 제2 검사 패턴을 형성한다. 또는, 필름(FL) 상에 제1 검사 패턴을 형성한 뒤, 필름(FL)을 제1 방향(DR1)으로 이동시키고, 대상 기판(BS)에 역방향 프린팅이 시작되는 시간과 대응되는 시간으로 필름(FL) 상에 제2 검사 패턴을 형성할 수 있다.
따라서, 필름(FL) 상에는, 대상 기판(BS)에 양방향 프린팅 공정 시, 정방향 프린팅 공정의 시작(또는 끝) 지점에서 형성되는 제1 검사 패턴과 역방향 프린팅 공정(또는 시작) 지점에서 형성되는 제2 검사 패턴이 형성되는 것이다.
잉크젯 설비(1000)를 통해 양방향 프린팅 단계(S10, S20)를 진행한 뒤, 헤드 조립체 상태 검사 단계(S30)로 변경되는 주기는 대상 기판(BS)의 면적 및 헤드들(410)의 상태에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
이후, 검사 패턴(IP, IP-A) 확인 단계(S40)는 측정 유닛(600, 도 1 참조)을 통해 필름(FL) 상에 형성된 검사 패턴(IP, IP-A)의 탄착 상태를 검사하여 진행될 수 있다.
측정 유닛(600)에 의해 측정된 검사 패턴(IP, IP-A)의 상태에 따라, 헤드 조립체(400)의 탄착 상태가 초기 설정 값과 상이할 경우(이하, 불량 상태), 헤드 조립체 설정 값 재조정 단계(S50)를 진행하고, 헤드 조립체(400)의 탄착 상태가 초기 설정 값과 동일할 경우(이하, 정상 상태), 양방향 프린팅 재실행 단계(S60)를 진행한다.
이하, 필름(FL) 상에 형성된 검사 패턴(IP, IP-A)에 관한 정상 상태 및 불량 상태에 관한 실시예는 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명하도록 한다.
도 5는 헤드 조립체(400, 도 1 참조)가 정상 상태일 때, 필름(FL) 상에 형성된 검사 패턴(IP)을 도시하였다.
검사 패턴(IP)은 헤드 조립체(400)에서 두 번의 조성물 토출을 통해 형성된 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴이 겹쳐서 하나의 라인으로 형성된 것일 수 있다. 검사 패턴(IP)은 복수의 점들을 포함할 수 있다.
검사 장치(500, 도 1 참조)에서 헤드 조립체(400)가 검사 패턴(IP)을 형성할 경우, 헤드 조립체(400)의 양방향 프린팅 시 토출되는 조성물은, 정방향 프린팅 공정의 시작(또는 끝) 지점과, 역방향 프린팅 공정의 끝(또는 시작) 지점이 동일한 정상 상태로 판단될 수 있다.
이에 따라, 헤드 조립체(400)의 토출 상태는 정상 상태로 판단되고, 다음 단계인 양방향 프린팅 재실행 단계(S60)를 진행할 수 있다. 양방향 프린팅 재실행 단계(S60)는 상술한 양방향 프린팅 실행 단계와 동일한 공정으로 진행될 수 있다.
도 6 및 도 7에는 헤드 조립체(400, 도 1 참조)가 불량 상태일 때, 필름(FL) 상에 형성된 검사 패턴(IP-A)을 도시하였다.
검사 패턴(IP-A)은 헤드 조립체(400)에서 두 번의 조성물 토출을 통해 형성된 제1 검사 패턴(IP1) 및 제2 검사 패턴(IP2)을 포함할 수 있다. 제1 검사 패턴(IP1) 및 제2 검사 패턴(IP2) 각각은 제2 방향(DR2)으로 연장되고, 제1 방향(DR1)을 따라 소정의 거리(GP)만큼 이격될 수 있다. 제1 검사 패턴(IP1) 및 제2 검사 패턴(IP2) 각각은 복수의 점들을 포함할 수 있다.
검사 장치(500, 도 1 참조)에서 헤드 조립체(400)가 검사 패턴(IP-A)을 형성할 경우, 헤드 조립체(400)의 양방향 프린팅 시 토출되는 조성물은, 정방향 프린팅 공정의 시작(또는 끝) 지점과, 역방향 프린팅 공정의 끝(또는 시작) 지점이 상이한 것으로 판단될 수 있다.
이때, 거리(GP)가 50um 이하인 경우, 헤드 조립체(400)의 토출 상태는 정상 상태로 판단되어 양방향 프린팅 재 실행 단계(S60)를 진행할 수 있다.
거리(GP)가 50um 초과인 경우, 헤드 조립체(400)의 토출 상태는 불량 상태로 판단되어 헤드 조립체 설정 값 재조정 단계(S50)를 진행할 수 있다.
거리(GP) 측정은, 제1 검사 패턴(IP1)에 포함된 점들 중, 제2 검사 패턴(IP2)과 가장 멀리 배치된 점의 중심에서, 제2 검사 패턴(IP2)에 포함된 점들 중, 제1 검사 패턴(IP1)과 가장 멀리 배치된 점의 중심사이의 제1 방향(DR1)에서의 이격 거리(수직 거리)로 측정될 수 있다.
헤드 조립체(400)의 설정 값이 재조정되는 인자는 조성물이 탄착되는 형상을 변형 시키는 인자이면 어느 하나로 한정되지 않는다. 예를 들어, 설정 값은, 헤드 조립체(400)의 이동 속도, 헤드 조립체(400)의 Waveform, 헤드들(410, 도 3 참조)에 포함된 노즐의 교체 또는 노즐의 위치, 대상 기판(BS, 도 1 참조)의 이동 속도, 헤드들(410)에 포함된 조성물의 농도 등, 조성물이 탄착되는 형상을 변형 시키는 인자이면, 어느 하나로 한정되지 않는다.
헤드 조립체 설정 값 재조정 단계(S50)가 진행된 후, 헤드 조립체 상태 검사 단계(S30), 갭 발생 여부 확인 단계(S40)를 다시 진행할 수 있다. 이때, 헤드 조립체(400)가 정상 상태로 판명될 경우, 양방향 프린팅 재실행 단계(S60)를 진행할 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)는 양방향 프린팅 공정을 진행함에 따라, 프린팅 공정에 소요되는 원가 및 소요 시간을 감소시킬 수 있으며, 헤드 조립체(400)에 포함된 헤드들(410)의 개수를 단일 방향 프린팅 공정에 비해 감소시킬 수 있다.
또한, 헤드 조립체(400)의 초기 설정 값에 따른 조성물의 탄착 상태를 스테이지(210, 도 1 참조)의 일측에 배치된 검사 장치(500)를 통해 곧바로 진행하고, 헤드 조립체(400)의 상태를 판별함에 따라, 공정 수율이 향상된 잉크젯 설비(1000)를 제공할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 8 내지 도 10은 도 1 내지 도 7을 통해 설명한 잉크젯 설비(1000, 도 1 참조)를 통해 형성된 적어도 하나의 층을 포함하는 표시 패널에 관한 실시예들을 도시한 것이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 구성과 동일/유사한 구성에 대해 동일/유사한 참조 부호를 사용하며, 중복된 설명은 생략한다.
도 8을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OLED), 및 상부 절연층(TFL)을 포함할 수 있다.
표시 패널(DP)은 복수 개의 절연층들 및 복수 개의 반도체 패턴들, 복수 개의 도전 패턴들, 및 복수 개의 신호 라인들을 포함할 수 있다. 코팅, 증착 등의 방식으로 절연층, 반도체층, 및 도전층을 형성한다.
이후, 포토리소그래피의 방식으로 절연층, 반도체층, 및 도전층을 선택적으로 패터닝할 수 있다. 이러한 방식으로 회로 소자층(DP-CL) 및 표시 소자층(DP-OLED)에 포함된 복수 개의 반도체 패턴들, 복수 개의 도전 패턴들, 및 복수 개의 신호 라인들을 형성할 수 있다.
제1 베이스 기판(BS1)은 플라스틱 기판 또는 유리기판을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 회로 소자층(DP-CL)은 버퍼막(BFL), 제1 절연층(10), 제2 절연층(20), 및 제3 절연층(30)을 포함할 수 있다. 예컨대, 버퍼막(BFL), 제1 절연층(10), 및 제2 절연층(20)은 무기층이고, 제3 절연층(30)은 유기층일 수 있다. 제1 베이스 기판(BS1)은 상술한 대상 기판(BS)과 대응될 수 있다.
표시 패널(DP)은 적어도 하나의 트랜지스터를 포함할 수 있다. 도 8에는 예시적으로 하나의 구동 트랜지스터(T-D)를 도시하였다. 구동 트랜지스터(T-D)는 액티브(A-D), 소오스(S-D), 드레인(D-D), 및 게이트(G-D)를 포함할 수 있다. 액티브(A-D), 소오스(S-D), 드레인(D-D)은 반도체 패턴의 도핑 농도 또는 전도성에 따라 구분되는 영역일 수 있다.
표시 소자층(DP-OLED)은 발광소자(OLED)를 포함한다. 발광소자(OLED)는 소스광을 생성할 수 있다. 발광소자(OLED)는 화소 정의막(PDL)예 정의된 개구부(OP)에 노출된 제1 전극(AE), 제2 전극(CE), 및 이들 사이에 배치된 발광층(EML)을 포함한다. 본 실시예에서 표시 소자층(DP-OLED)은 유기발광 다이오드를 포함할 수 있다. 표시 소자층(DP-OLED)은 화소 정의막(PDL)을 포함한다. 예컨대, 화소 정의막(PDL)은 유기층일 수 있다.
발광소자(OLED)는 제1 전극(AE)과 발광층(EML) 사이에 배치되는 정공 제어층(HCL) 및 발광층(EML)과 제2 전극(CE) 사이에 배치되는 전자 제어층(ECL)을 더 포함할 수 있다.
상부 절연층(TFL)은 발광소자(OLED) 상에 배치되어 발광소자(OLED)를 보호할 수 있다. 상부 절연층(TFL)은 복수의 무기층들(IL1, IL2) 및 무기층들(IL1, IL2) 사이에 배치된 유기층(OL)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)에는 복수의 발광소자들을 포함할 수 있으며, 유기층(OL)은 발광소자들 전부를 커버하도록 형성될 수 있다. 본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)는 상부 절연층(TFL)에 포함된 유기층(OL)을 형성하는데 사용될 수 있다. 따라서, 상술한 헤드들(410, 도 1 참조) 각각에 포함된 조성물은 유기 물질을 포함할 수 있다.
도 9를 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 패널(DP-1)은 제2 베이스 기판(BS2), 상에 배치된 분할패턴(BM), 컬러필터들(CF-R, CF-G, CF-B), 컬러필터(CF-R)의 상에 배치된 광 변환패턴(CCF-R, CCF-G, CCF-B), 및 분할격벽(BW)을 포함한다.
제2 베이스 기판(BS2)은 플라스틱 기판 또는 유리기판을 포함할 수 있다. 제2 베이스 기판(BS2)은 상술한 대상 기판(BS)과 대응될 수 있다.
분할패턴(BM)은 다층구조를 가질 수 있다. 제1 층(BM-1)은 블루광을 투과시키는 컬러필터와 동일한 물질을 포함할 수 있다. 제2 층(BM-2)은 통상의 블랙 성분(black coloring agent)을 포함할 수 있다. 제2 층(BM-2)은 베이스 수지에 혼합된 블랙 염료, 블랙 안료를 포함할 수 있다.
분할패턴(BM) 중 제1 층(BM-1)에는 제1 및 제2 화소영역들(PXA-R, PXA-G) 각각에 대응하는 개구부들(BM1-OP)이 정의될 수 있다. 제3 화소영역(PXA-B)과 중첩하는 제1 층(BM-1)은 개구부 없이 하나의 패턴으로 형성될 수 있다.
광 변환패턴(CCF-R, CCF-G, CCF-B)은 소스광의 광학 성질을 변화시킬 수 있다. 본 실시예에서 광 변환패턴(CCF-R, CCF-G, CCF-B)은 소스광을 흡수한 후 다른 컬러의 광을 생성할 수 있다. 본 실시예에서 제1 화소영역(PXA-R)에 배치된 제1 광 변환패턴(CCF-R)은 소스광을 흡수한 후 레드광을 생성할 수 있고, 제2 화소영역(PXA-G)에 배치된 제2 광 변환패턴(CCF-G)은 소스광을 흡수한 후 레드광을 생성할 수 있다. 제3 화소영역(PXA-B)에 배치된 제3 광 변환패턴(CCF-B)은 소스광을 투과시킬 수 있다.
제1 광 변환패턴(CCF-R) 및 제2 광 변환패턴(CCF-G)은 베이스 수지에 혼합된(또는 분산된) 양자점들로 형성될 수 있다.
제1 절연층(CL1)은 광 변환패턴(CCF-R, CCF-G, CCF-B)을 커버할 수 있다. 제1 절연층(CL1)은 무기 물질을 포함할 수 있다. 제2 절연층(CL2)은 제1 절연층(CL1) 상에 배치되고, 분할격벽(BW)이 배치될 평탄면을 제공할 수 있다. 제2 절연층(CL2)은 유기 물질을 포함할 수 있다.
분할격벽(BW)에 제1 화소영역(PXA-R), 제2 화소영역(PXA-G), 및 제3 화소영역(PXA-B)에 각각 대응하는 제1 개구부(BW-OPR), 제2 개구부(BW-OPG), 및 제3 개구부(BW-OPB)가 형성된다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)로 광 변환패턴들(CCF-R, CCF-G, CCF-B)을 형성할 수 있다. 제1 광 변환패턴(CCF-R)은 제1 개구부(BW-OPR)에 양자점을 포함하는 조성물을 분사하여 양방향 프린팅 공정을 통해 형성될 수 있다. 제2 광 변환패턴(CCF-G)은 제2 개구부(BW-OPG)에 양자점을 포함하는 조성물을 분사하여 양방향 프린팅 공정을 통해 형성될 수 있다. 제3 광 변환패턴(CCF-B)은 제3 개구부(BW-OPB)에 산란체를 포함하는 조성물을 분사하여 양방향 프린팅 공정을 통해 형성될 수 있다. 따라서, 헤드(410)에는 각각의 공정마다 서로 다른 양자점 또는 산란체를 포함할 수 있다.
광 변환패턴들(CCF-R, CCF-G, CCF-B)을 형성하는 순서는 양방향 프린팅 공정에 의해 형성되는 것이면 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
도 10의 표시 패널(DP-2)은 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OLED), 및 상부 절연층(TFL)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP-2)의 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OLED), 및 상부 절연층(TFL)은 도 8에서 설명한 표시 패널(DP)의 회로 소자층(DP-CL), 표시 소자층(DP-OLED), 및 상부 절연층(TFL)과 대응될 수 있으며, 중복된 설명은 생략한다.
표시 패널(DP-2)은 상부 절연층(TFL) 상에 직접 배치된 분할격벽(BW) 및 광 변환패턴(CCF-R)을 포함할 수 있다. 광 변환패턴(CCF-R)은 분할격벽(BW)의 개구부(BW-OPR)와 중첩하고, 상부 절연층(TFL) 상에 직접 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 설비(1000)는 상부 절연층(TFL) 상에 광 변환패턴(CCF-R)을 형성하는 공정에 이용될 수 있다. 따라서, 광 변환패턴(CCF-R)은 헤드(410)에 포함된 양자점을 분할격벽(BW)의 개구부(BW-OPR)에 분사하여 상술한 양방향 프린팅 공정을 통해 형성할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
1000: 잉크젯 설비
100: 지지부
200: 이송부
210: 스테이지
BS: 대상 기판
220: 이송 장치
300: 프레임
310: 수직 프레임들
320: 레일 프레임
400: 헤드 조립체
410: 헤드들
420: 헤드 이송부
500: 검사 장치
511: 필름 공급부
512: 필름 회수부
521: 제1 롤러부
522: 제2 롤러부
FL: 필름
IP, IP-A: 검사 패턴
600: 측정 유닛

Claims (20)

  1. 서로 반대되는 정방향 및 역방향으로 왕복이동되고, 대상 기판이 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지 외측에 배치된 필름 및 상기 필름에 형성된 검사 패턴을 측정하는 측정 유닛을 포함하는 검사 장치; 및
    상기 정방향과 교차하는 일 방향을 따라 이동되고, 상기 대상 기판으로 액상의 조성물을 제공하는 복수의 헤드들을 포함하는 헤드 조립체를 포함하고,
    상기 헤드 조립체는, 상기 필름과 중첩하도록 상기 일 방향으로 이동되고 상기 필름 상에 상기 조성물을 분사하여 검사 패턴을 형성하는 잉크젯 설비.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 검사 장치는,
    서로 이격되고 상기 필름을 상기 정방향 및 상기 역방향을 따라 왕복이동 시키는 제1 롤러부 및 제2 롤러부를 포함하는 롤러부; 및
    서로 이격되고, 상기 필름이 왕복이동될 때, 상기 필름의 이동 방향에 따라 롤링되는 필름 공급부 및 필름 회수부를 포함하는 잉크젯 설비.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 검사 패턴은, 각각이 상기 일 방향으로 연장된 라인 형상의 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴을 포함하고,
    상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 상기 제1 검사 패턴을 형성한 이후에, 상기 롤러부는 상기 필름을 소정의 거리만큼 왕복이동시키고,
    상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 상기 제2 검사 패턴을 형성하는 잉크젯 설비.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 검사 패턴 및 제2 검사 패턴 각각은 복수의 점들을 포함하고,
    상기 측정 유닛은,
    상기 제1 검사 패턴에 포함된 상기 점들 중 상기 제2 검사 패턴과 가장 멀리 떨어진 제1 점의 중심과, 상기 제2 검사 패턴에 포함된 상기 점들 중 상기 제1 검사 패턴과 가장 멀리 떨어진 제2 점의 중심 사이의 상기 정방향에서의 거리를 측정하는 잉크젯 설비.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 점과 상기 제2 점 사이의 상기 거리가 50um 이하일 때, 상기 헤드 조립체는 상기 대상 기판과 중첩하도록 상기 일 방향으로 이동되어 상기 조성물을 상기 대상 기판에 분사하는 잉크젯 설비.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 점과 상기 제2 점 사이의 상기 거리가 50um 초과일 때, 상기 헤드 조립체의 설정 값을 재조정하는 잉크젯 설비.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 대상 기판은, 상기 조성물이 제공되는 복수의 영역들을 포함하고,
    상기 영역들 각각은, 상기 정방향으로 연장되고, 상기 일 방향에서 서로 이격된 잉크젯 설비.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 영역들 각각에는, 상기 스테이지가 상기 정방향으로 이동될 때, 상기 조성물이 제1 차 분사되고, 상기 스테이지가 상기 역방향으로 이동될 때, 상기 조성물이 제2 차 분사되는 잉크젯 설비.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 필름은, 폴리머를 포함하는 잉크젯 설비.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 필름은, 발수 코팅층을 포함하는 잉크젯 설비.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 측정 유닛은, 상기 필름과 정렬되도록 상기 검사 장치의 일 측에 배치되거나, 상기 헤드 조립체의 일 측에 결합된 잉크젯 설비.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지를 상기 정방향 및 상기 역방향으로 이동시키는 이송 장치를 더 포함하는 잉크젯 설비.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 일 방향으로 연장되고 상기 헤드 조립체를 상기 일 방향으로 가이드하는 레일 프레임 및 상기 레일 프레임의 일단 및 타단을 지지하는 수직 프레임을 더 포함하는 잉크젯 설비.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 조성물은, 유기 물질 및 양자점 중 어느 하나를 포함하는 잉크젯 설비.
  15. 스테이지, 헤드 조립체, 및 필름과 측정 유닛을 포함하는 검사 장치를 포함하는 잉크젯 설비를 이용한 표시 장치 제조 방법에 있어서,
    양방향 프린팅 단계; 및
    상기 헤드 조립체의 상태를 검사하는 단계를 포함하고,
    상기 양방향 프린팅 단계는,
    상기 헤드 조립체를 상기 스테이지에 배치된 대상 기판 상에 정렬 시키는 단계;
    상기 헤드 조립체에 포함된 액상의 조성물을 상기 대상 기판에 분사하는 단계;
    상기 대상 기판의 제1 영역에 상기 조성물이 제1 차 분사되도록 상기 스테이지를 정방향으로 이동시키는 단계; 및
    상기 제1 영역에 상기 조성물이 제2 차 분사되도록 상기 스테이지를 상기 정방향과 반대되는 역방향으로 이동시키는 단계를 포함하고,
    상기 헤드 조립체의 상태를 검사하는 단계는,
    상기 헤드 조립체를 상기 필름 상에 정렬시키는 단계;
    상기 필름 상에 상기 조성물을 분사하여 검사 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 검사 패턴을 확인하는 단계를 포함하는 표시 패널 제조 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 검사 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 제1 검사 패턴을 형성한 이후에, 상기 대상 기판의 왕복이동과 대응되도록 상기 필름을 왕복이동 시킨 후, 상기 헤드 조립체가 상기 필름 상에 제2 검사 패턴을 형성하는 표시 패널 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 검사 패턴을 확인하는 단계는,
    상기 제1 검사 패턴과 상기 제2 검사 패턴 사이의 거리를 측정하는 표시 패널 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 거리가 50um 이하인 경우,
    상기 양방향 프린팅 단계를 재 실행 하는 표시 패널 제조 방법.
  19. 제17 항에 있어서,
    상기 거리가 50um 초과인 경우,
    상기 헤드 조립체의 설정 값을 재조정하는 표시 패널 제조 방법.
  20. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 검사 패턴 및 상기 제2 검사 패턴 각각은, 복수의 점들을 포함하고 상기 정방향과 교차하는 일 방향을 따라 연장된 라인 형상을 갖는 표시 패널 제조 방법.
KR1020210127332A 2021-09-27 2021-09-27 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법 KR20230045678A (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210127332A KR20230045678A (ko) 2021-09-27 2021-09-27 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법
US17/890,656 US20230094912A1 (en) 2021-09-27 2022-08-18 Inkjet printing apparatus and display panel manufacturing method using the same
CN202211112909.7A CN115871334A (zh) 2021-09-27 2022-09-14 喷墨印刷设备和使用喷墨印刷设备的显示面板制造方法
CN202222422911.6U CN218399890U (zh) 2021-09-27 2022-09-14 喷墨印刷设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210127332A KR20230045678A (ko) 2021-09-27 2021-09-27 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230045678A true KR20230045678A (ko) 2023-04-05

Family

ID=85031683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210127332A KR20230045678A (ko) 2021-09-27 2021-09-27 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230094912A1 (ko)
KR (1) KR20230045678A (ko)
CN (2) CN115871334A (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
CN218399890U (zh) 2023-01-31
CN115871334A (zh) 2023-03-31
US20230094912A1 (en) 2023-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100651362B1 (ko) 액적 토출 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및전자 기기
KR100552534B1 (ko) 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터를 구비한 표시 장치,표시 장치의 제조 방법, 표시 장치 및 전자 기기
CN1762708B (zh) 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
US7510272B2 (en) Apparatus and method of assembling head unit, of positioning liquid droplet ejection head, and of fixing liquid droplet ejection head; as well as method of manufacturing LCD device, organic EL device, electron emission device, PDP device, electrophoretic display device, color filter, organic EL, spacer, metallic wire, lens, resist, and light diffusion member
WO2010090080A1 (ja) インクジェットヘッドの吐出状態検査方法およびインクジェットヘッドの吐出状態検査装置
US20060093751A1 (en) System and methods for inkjet printing for flat panel displays
US7724323B2 (en) Pattern-forming method for manufacturing device having partitioning layer formed on foundation layer with preliminary partitioning and residue fragment formed by removing part of partitioning layer
KR20080079212A (ko) 착탄 도트 측정 방법 및 착탄 도트 측정 장치, 및 액적토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치및 전자 기기
JP3915789B2 (ja) カラーフィルタ基板の製造方法
US7059705B2 (en) Workpiece processing and liquid droplet ejection inspection apparatus
CN106476433B (zh) 液滴排出方法以及有机el装置的制造方法
US8580335B2 (en) Method for discharging liquid body, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing organic EL device
KR20230045678A (ko) 잉크젯 설비 및 이를 이용한 표시 패널 제조 방법
JP2008225348A (ja) 液滴吐出装置の検査測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2004341114A (ja) 液滴吐出装置、カラーフィルター製造装置、カラーフィルター及びその製造方法、液晶装置、電子機器
CN101932958B (zh) 涂布装置和涂布方法
JP2003280535A (ja) 表示装置製造方法、表示装置製造装置、表示装置、及びデバイス
KR20070104746A (ko) 잉크젯 분사 장치 및 방법과 이를 이용한 표시 소자의제조방법
JP2007038204A (ja) 液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器
JP6752577B2 (ja) インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法
JP2006309241A (ja) 表示装置及び液晶表示装置の製造方法並びにこれに使用される膜形成装置及び配向膜形成装置
KR20090104661A (ko) 도포장치 및 도포방법
KR20230142538A (ko) 액적 토출 장치 및 액적 토출 방법
KR20190030203A (ko) 인쇄 장치
JP2009255086A (ja) 液滴吐出装置