JP2005262450A

JP2005262450A - インクジェット塗布装置

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Publication number: JP2005262450A
Application number: JP2004073819A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Konase; 淳木名瀬
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2004-03-16
Filing date: 2004-03-16
Publication date: 2005-09-29

Abstract

【課題】水晶センサを利用し容易に正確な液滴の吐出量を検出し、ノズル毎にその吐出量を調整可能なインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】インク塗布量測定装置１１は、水晶センサ２１、発振器２２、周波数カウンタ２３、質量算出器２４、制御調整装置２５を備え、周波数カウンタ２３は、液滴が水晶センサ２１に着弾することによって生じる発振器２２の出力信号の周波数をカウントし、質量算出器２４は、周波数変化量を基に１滴あたりの液滴の質量を算出し、制御調整装置２５は、質量が許容範囲内の値であるか判定し、質量が許容範囲外の値であった場合に、液滴を吐出させたピエゾ素子を駆動する駆動電圧の補正値を算出し、補正値を補正情報として制御装置９に対して出力する。
【選択図】図３

Description

本発明は、液滴の吐出量を正確に検出し、その吐出量を調整可能なインクジェット塗布装置に関する。

近年、ＰＣや携帯電話などの発達に伴い薄型表示装置への需要が増加している。現在主流となっている液晶ディスプレイに変わる次世代表示装置の有力候補として、有機ＥＬ（electroluminescence）ディスプレイが注目されている。

この有機ＥＬディスプレイのディスプレイパネルを製造する際には、発光層材料を有機溶媒に溶解させ、これをインクジェット方式で基板上の所定の位置に塗布することによって発光層を形成している。

当然のことながら、製造時には基板上にムラ無く発光層材料を塗布することが求められるが、そのため製造開始前に、インクジェットヘッドから吐出される液滴の吐出量が適正であるか判別し、全ノズルから適正量の液滴が吐出されるよう調整作業（キャリブレーション）が行われている。

従来は、吐出量を測定する手法としては、飛翔する液滴を高速カメラで撮像し、画像処理により液滴の大きさから質量を計算する方式（例えば、特許文献１）と、液滴をある容器に多数打ち込み、その全体の質量を測定することで１滴あたりの質量を算出する方式等がある。

ところが、飛翔する液滴を高速カメラで撮像する手法では、高速移動する小さな液滴を撮像した画像から吐出量を解析するため、その正確な値を得ることが難しいという欠点がある。

また、全体質量から１滴あたりの質量を算出する手法では、１滴ずつの正確な質量を測定することができず、例えば、徐々に吐出量が増加（減少）しつつ液滴が吐出されているような場合には、その検出が難しい。さらに、作業が煩雑であるという欠点もある。
特開２００２−３４７２２４号公報

解決しようとする問題点は、キャリブレーション時における１滴あたりの正確な液滴量検出の難しさであり、本発明は、水晶センサを利用し容易に正確な液滴の吐出量を検出し、ノズル毎にその吐出量を調整可能なインクジェット塗布装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載のインクジェット塗布装置は、水平面が設けられた台座であるベースと、塗布材が溶解されたインクを蓄え、供給管を通じて前記インクを供給するインク補給タンクと、前記ベース上に設けられ、前記水平面上に敷設されたレール上を移動するテーブルによって任意の方向に移動可能であり、前記インクが塗布される基板を保持するステージと、前記ステージ上方に固定され、縦列に複数のノズルが配置され当該ノズル毎に前記インクを吐出させるインク吐出機構を有するインクジェットヘッド部を有し、前記基板に対して前記インクを吐出塗布する塗布ヘッドユニットと、前記インク補給ボックスから供給される前記インクを蓄え、供給管を通じて前記塗布ヘッドユニットに前記インクを供給するインク供給タンクと、前記インク吐出機構を制御することによる前記インクの塗布、前記ステージの移動、および前記供給管路に設けられた開閉弁を制御することによる前記インクの供給を制御する制御装置と、前記ノズル直下に移動可能な水晶振動子を含んで構成される発振器を有し、当該水晶振動子に前記インクの液滴が着弾することによって生じる当該発振器の出力信号の周波数変化を基に、前記制御装置に対して前記インク吐出機構の吐出動作を補正するための補正情報を出力するインク塗布量測定装置とを備えることを特徴とする。

また、請求項２に記載のインクジェット塗布装置は、請求項１に記載のインクジェット塗布装置であって、前記制御装置は、前記水晶振動子を前記ノズル直下に相対的に移動させ、前記基板に前記インクを塗布する際には、前記水晶振動子を前記ノズル直下から退避させることを特徴とする。

また、請求項３に記載のインクジェット塗布装置は、請求項１乃至請求項２に記載のインクジェット塗布装置であって、前記インクジェット塗布装置は、前記水晶振動子の雰囲気を撹拌または加熱することで前記水晶振動子に着弾した液滴を乾燥させる乾燥装置を備えることを特徴とする。

また、請求項４に記載のインクジェット塗布装置は、請求項１乃至請求項３に記載のインクジェット塗布装置であって、前記インク塗布量測定装置は、前記液滴が着弾することによって生じる前記発振器の出力信号の周波数変化量を基に、１滴あたりの前記液滴の質量を算出し、当該質量が許容範囲内の値であるか判定し、当該質量が許容範囲外の値であった場合に、当該液滴を吐出させた前記インク吐出機構を駆動する駆動電圧の補正値を算出し、当該補正値を前記補正情報として前記制御装置に対して出力することを特徴とする。

また、請求項５に記載のインクジェット塗布装置は、請求項１乃至請求項３に記載のインクジェット塗布装置であって、前記インク塗布量測定装置は、前記液滴が着弾することによって生じる前記発振器の出力信号の周波数変化量と、基準となる周波数変化量を比較し、当該発振器の出力信号の周波数変化量が許容範囲外の値であった場合に、当該液滴を吐出させた前記インク吐出機構を駆動する駆動電圧の補正値を算出し、当該補正値を前記補正情報として前記制御装置に対して出力することを特徴とする。

本発明によれば、１滴あたりの正確な吐出量を検出することが可能となるので、インクジェットヘッドのノズル１つひとつからの吐出量を調整することができ、発光層材料をムラ無く塗布することが可能となる。そのため、ディスプレイパネル製造時の歩留まりが向上する。

本発明の実施形態について、図１〜図６を用いて説明する。

＜第１の実施形態＞
第１の実施形態について、図１〜図５を用いて説明する。

まず、インクジェット塗布装置１の全体構成について説明する。インクジェット塗布装置１は、図１に示すように、インク供給ボックス２とインク塗布ボックス３に大別される。

インク供給ボックス２は、ガラス基板上に発光層等の機能性薄膜を形成するための有機ＥＬインクが充填されたインク補給タンク４を備え、インク補給タンク４は、供給管を通じて後述するインク供給タンク１０に有機ＥＬインクを供給し、所定の高さになるよう上下に移動する昇降装置を備える。

また、インク塗布ボックス３は、装置の台座であるベース５、ステージ６、支持体７、塗布ヘッドユニット８、制御装置９、インク供給タンク１０、およびインク塗布量測定装置１１を備える。

ステージ６は、ガラス基板を保持し、図示しない駆動装置によってＸ方向に敷設されたレール上を移動するテーブルと、図示しない駆動装置によってＹ方向に敷設されたレール上を移動するテーブルとによって、Ｘ−Ｙ方向に自在に移動する。

塗布ヘッドユニット８は、支持体７に固定され、図２に示すように、縦列に複数のノズル１３（１〜ｎ）が配置されたインクジェットヘッド部１２を有し、インクを塗布する。図１では、ＲＧＢそれぞれの有機ＥＬインクを塗布するよう、インクジェット塗布装置１は３つの塗布ヘッドユニット８を備えている。キャリブレーション時には、図２（ｂ）に示すノズル１３の１つひとつから順に有機ＥＬインクの液滴を１滴ずつ塗布する。なお、本実施形態においては、塗布ヘッドユニット８は、ピエゾ素子を利用したピエゾ素子方式のノズル１３を備えることとするが、これに限定されるものではなく、バブルジェット（登録商標）方式、サーマルインクジェット方式等でも良い。

制御装置９は、有機ＥＬインクの塗布、ステージ６の移動、供給管路に設けられた開閉弁を制御することによってインクの供給を制御する。

インク供給タンク１０は、インク供給ボックス２から供給される有機ＥＬインクを一時的に蓄え、供給管を通じて塗布ヘッドユニット８にインクを供給する。

インク塗布量測定装置１１は、図３に示すように、水晶センサ２１、発振器２２、周波数カウンタ２３、質量算出器２４、制御調整装置２５を備える。また、インク塗布量測定装置１１は、図示しない制御信号線で制御装置９と接続され、キャリブレーション時にノズル１３から吐出される液滴の質量を基に、各ノズル１３の吐出量を補正するための補正情報を出力する。

水晶センサ２１は、水晶素板上に液滴が着弾する電極が形成されたセンサであり、発振器２２に水晶センサ２１が装着されることによって発振回路が構成される。発振器２２には、図示しないＤＣ電源が接続される。なお、水晶センサ２１および発振器２２は、従来からあるものなのでその機能の詳細な説明は省略するが、本実施形態においては、発振器２２は少なくとも水晶センサ２１を着脱可能な装着構造を有する。

また、ノズル１３から吐出される液滴は１０ｐｌ〜２０ｐｌ程度の大きさであるが、この液滴量が電極に着弾して際に周波数の変化が顕著に現れるように、発振器を構成する素子のパラメータは調整可能であることとする。

周波数カウンタ２３は、水晶センサ２１と発振器２２とによって構成される発振回路から出力される信号の周波数Ｆ_ｎを計測して、記憶している基準となる周波数Ｆ_０に対する周波数Ｆ_ｎの変化量ΔＦ_ｎを出力する。

質量算出器２４は、周波数の変化量ΔＦ_ｎから、ノズル１３から吐出され水晶センサ２１に着弾した液滴による質量の変化量ΔＭ_ｎを算出し、１滴あたりの液滴の質量Ｍ_ｎを算出する。本実施形態においては、質量算出器２４は、下記の数式に従って、質量の変化量ΔＭ_ｎを算出する。

周波数変化と質量変化の関係式（Sauerbreyの式）
ΔＦ：周波数の変化量、Ｆ_０：共振周波数、ΔＭ：質量の変化量（電極に付着した物質の質量）、Ａ：電極面積、μ：水晶のせん断応力（2.947×10¹⁰kgms）、ｐ：水晶の比重（2648kg/m³）
特定のノズル１３から吐出された液滴が水晶センサ２１に着弾すると、発振回路から出力される信号の周波数は、その着弾した液滴の質量に比例して変動する。これはＱＣＭ（Quartz Crystal Microbalance）として知られる測定方法である。

制御調整装置２５は、質量算出器２４が算出する質量Ｍ_ｎと基準となる液滴の適正質量Ｍ_０との差分を基に、個々のノズル１３の液滴吐出量を調整するためピエゾ素子に印加する電圧を補正する補正情報（ピエゾ素子の駆動電圧の補正量ΔＶ_１）を制御装置９へ出力する。また、制御調整装置２５は、インクジェット制御装置９のインクジェットヘッド部１２の液滴吐出動作を制御する制御信号、およびステージ６の移動を指示する制御信号を制御装置９へ出力する。なお、塗布ヘッドユニット８が備えるノズル１３がバブルジェット（登録商標）方式、サーマルインクジェット方式で液滴を吐出する場合には、制御調整装置２５は、ヘッド内のヒーターに印加する電圧を補正する補正情報を出力することになる。

水晶センサ収納ボックス２６は、図４に示すように、水晶センサ２１の電極の直上に位置する面（液滴が落下する面）に開口部を有する収納具であり、電極が雰囲気の影響（雰囲気の対流、温度等）を受けないように水晶センサ２１と発振器２２をあわせて収納する。また、水晶センサ収納ボックス２６は、電極表面を乾燥させる送風機やヒーター等の乾燥装置２８をその底部または側面に備えても良い。乾燥装置２８のＯＮ／ＯＦＦの制御は、制御調整装置２５によって行われる。ヒーターの場合、有機溶媒が容易に蒸発するように、水晶センサ２１の雰囲気を、例えば、蒸発温度以上の一定温度に保つために用いられる。また、送風機の場合、水晶センサ２１に応力がかからないよう雰囲気を撹拌するために用いられる。

なお、周波数カウンタ２３、質量算出器２４、および制御調整装置２５の設置場所は、インクジェット塗布装置１上の任意の場所、例えば、制御装置９内でも良いが、周波数カウンタ２３、質量算出器２４、および制御調整装置２５を水晶センサ収納ボックス２６内に収納しても良い。本実施形態においては、周波数カウンタ２３、質量算出器２４、および制御調整装置２５は水晶センサ収納ボックス２６内にあわせて収納され、ステージ６の端部に設置されていることとする。

インク塗布量測定装置１１をステージ６の端部に設置しない場合、キャリブレーション時に水晶センサ収納ボックス２６をノズル１３の直下に移動させるための移動装置が必要となる。例えば、図４に示すように、水晶センサ収納ボックス２６を底面にテーブル２７を設け、測定を行うノズル１３から吐出される液滴が水晶センサ２１表面に形成されている電極中央に着弾するように、図示しない移動装置によってこのテーブル２７をＸ−Ｙ方向に移動させるようにしても良い。キャリブレーション終了時には、有機ＥＬインクの塗布動作の障害にならない位置にインク塗布量測定装置１１を退避させる。

インク塗布量測定装置１１の動作について、図５のフローチャートを用いて説明する。

インク塗布量測定装置１１がキャリブレーションを開始すると、発振器２２から初期の状態における信号が出力される。周波数カウンタ２３は、この時の信号の周波数を計測して基準となる周波数Ｆ_０として記憶、出力する（ステップＳ０１）。質量算出器２４は、周波数Ｆ_０をそのまま制御調整装置２５へ出力し、制御調整装置２５は、周波数Ｆ_０が供給されると制御装置９に対して水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動するようステージ６の移動を指示する制御信号を出力する（ステップＳ０２）。

水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動すると、制御調整装置２５は、制御装置９に対して測定対象の１番目のノズル１３から所定数ｐ発の液滴を吐出させる制御信号を出力する（ステップＳ０３）。水晶センサ２１の分解能が十分に高ければ、ノズル１３から１発だけ液滴を吐出させれば良い。

１番目のノズル１３からｐ発の液滴が水晶センサ２１の電極に着弾すると、発振器２２から出力される信号の周波数に変化が生じる。周波数カウンタ２３は、この時の信号の周波数Ｆ_１（周波数Ｆ_ｎ）を計測して、周波数Ｆ_０と周波数Ｆ_１（周波数Ｆ_ｎ）との差分を算出し、その差分を周波数の変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）として出力する（ステップＳ０４）。変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）を出力した後、周波数カウンタ２３は、周波数Ｆ_１（周波数Ｆ_ｎ）を周波数Ｆ_０として記憶する。

質量算出器２４は、周波数の変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）が供給されると、水晶センサ２１に着弾した液滴による質量の変化量ΔＭ_１（変化量ΔＭ_ｎ）を算出する（ステップＳ０５）。この質量の変化量ΔＭ_１（変化量ΔＭ_ｎ）はｐ発の液滴の質量なので、質量算出器２４は、ΔＭ_１（ΔＭ_ｎ）をｐで除算し１滴あたりの質量Ｍ_１を（質量Ｍ_ｎ）算出し、出力する（ステップＳ０６）。

制御調整装置２５は、質量Ｍ_１（質量Ｍ_ｎ）が供給されると、質量Ｍ_１（質量Ｍ_ｎ）と液滴の適正質量Ｍ_０との差分を算出し、質量Ｍ_１（質量Ｍ_ｎ）が所定の許容範囲内の値であるか判定する（ステップＳ０７）。質量Ｍ_１（質量Ｍ_ｎ）が許容範囲内の値でない場合、制御調整装置２５は、算出した差分を基にピエゾ素子の駆動電圧の補正量ΔＶ_１（補正量ΔＶ_ｎ）を算出し、制御装置９に対して補正量ΔＶ_１（補正量ΔＶ_ｎ）を補正情報として出力する（ステップＳ０８）。さらに、制御調整装置２５は、制御装置９に対して測定対象の１番目のノズル１３から所定数ｐ発の液滴を再吐出させる制御信号を出力する（ステップＳ０９）。

ピエゾ素子の駆動電圧補正後に吐出されたｐ発の液滴が水晶センサ２１の電極に着弾すると、ステップＳ０４〜ステップＳ０７の処理が再度行われる。

ステップＳ０７において質量Ｍ_１（質量Ｍ_ｎ）が許容範囲内の値であった場合、制御調整装置２５は、全ノズル１３を測定したか判定し（ステップＳ１０）、全てのノズル１３を測定していない場合は、ステップＳ０２の処理に移行して、次のノズル１３を測定するために、制御装置９に対して水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動するようステージ６の移動を指示する制御信号を出力する。

また、ステップＳ１０において全てのノズル１３を測定した場合、インク塗布量測定装置１１は、次の塗布ヘッドユニット３に対して同様の処理を行い、キャリブレーションを終了する。

このようにノズル１３の１つひとつ（１〜ｎ番目まで）から、順次液滴の吐出させ、周波数Ｆ_０と周波数Ｆ_ｎとの差分を算出し、その差分を周波数の変化量ΔＦ_ｎとして出力、周波数の変化量ΔＦ_ｎから質量の変化量ΔＭ_ｎを算出し、１滴あたりの質量Ｍ_ｎを算出して、各ノズル１３から吐出される液滴量を調整する。

なお、水晶センサ収納ボックス２６に乾燥装置２８が備え付けられている場合、液滴が水晶センサ２１の電極に着弾するタイミングで、制御調整装置２５は、乾燥装置２８のＯＮにする制御を行っても良い。

＜第２の実施形態＞
第２の実施形態について、図６を用いて説明する。

第２の実施形態におけるインク塗布量測定装置１１の制御調整装置２５は、周波数カウンタ２３が出力する周波数の変化量ΔＦと基準となる周波数Ｆ_０との差分を基に、個々のノズル１３の液滴吐出量を調整するためピエゾ素子に印加する電圧を補正する補正情報を制御装置９へ出力する。

なお、第２の実施形態においては、質量算出器２４は、周波数カウンタ２３が出力する変化量ΔＦをそのまま制御調整装置２５へ出力する。

インク塗布量測定装置１１の動作について、図６のフローチャートを用いて説明する。

インク塗布量測定装置１１がキャリブレーションを開始すると、発振器２２から初期の状態における信号が出力される。周波数カウンタ２３は、この時の信号の周波数を計測して基準となる周波数Ｆ_０として記憶、出力する（ステップＳ１１）。質量算出器２４は、周波数Ｆ_０をそのまま制御調整装置２５へ出力し、制御調整装置２５は、周波数Ｆ_０が供給されると制御装置９に対して水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動するようステージ６の移動を指示する制御信号を出力する（ステップＳ１２）。

水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動すると、制御調整装置２５は、制御装置９に対して測定対象の１番目のノズル１３から所定数ｐ発の液滴を吐出させる制御信号を出力する（ステップＳ１３）。

１番目のノズル１３からｐ発の液滴が水晶センサ２１の電極に着弾すると、発振器２２から出力される信号の周波数に変化が生じる。周波数カウンタ２３は、この時の信号の周波数Ｆ_１（周波数Ｆ_ｎ）を計測して、周波数Ｆ_０と周波数Ｆ_１（周波数Ｆ_ｎ）との差分を算出し、その差分を周波数の変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）として出力する（ステップＳ１４）。変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）を出力した後、周波数カウンタ２３は、周波数Ｆ_１（変化量ΔＦ_ｎ）を周波数Ｆ_０として記憶する。

また、制御調整装置２５は、周波数カウンタ２３から出力される周波数の変化量ΔＦ_１（変化量ΔＦ_ｎ）を記憶した後、制御調整装置２５は、全ノズル１３を測定したか判定し（ステップＳ１５）、全てのノズル１３を測定していない場合は、ステップＳ１２に移行して、次のノズル１３を測定するために、制御装置９に対して水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動するようステージ６の移動を指示する制御信号を出力する。

このように、２番目、３番目、…ｎ−１番目、ｎ番目と順に各ノズル１３からｐ発の液滴が吐出されるので、順次、周波数カウンタ２３は、周波数の変化量ΔＦ_２、ΔＦ_３、…ΔＦ_ｎ−１、ΔＦ_ｎを出力し、制御調整装置２５は、周波数カウンタ２３から出力される周波数の変化量ΔＦ_１〜ΔＦ_ｎを記憶する。

ステップＳ１５において全てのノズル１３を測定した場合、制御調整装置２５は、周波数の変化量ΔＦ_１〜ΔＦ_ｎの各値が所定の許容範囲内にあるか判定する（ステップＳ１６）。この許容範囲内にあるかどうかの判定については、ある特定のノズル１３から吐出された液滴が電極に付着した際の周波数の変化量ΔＦを基準とする場合と、適正な質量を有する液滴が付着した際の周波数の変化量ΔＦを基準とする場合とがある。前者は、特定のノズル１３を基準として有機ＥＬインクの均質化を図る場合であり、後者は、絶対的な吐出量を要求する場合である。

制御調整装置２５は、基準となる周波数の変化量ΔＦに対して、ΔＦ_１〜ΔＦ_ｎのそれぞれの値が所定の許容範囲内にない場合、その値が許容範囲内になかったノズル１３を測定対象として設定する（ステップＳ１７）。制御調整装置２５は、基準となる周波数の変化量ΔＦと所定の許容範囲内になかった周波数それぞれとの差分を算出し、算出した差分を基に許容範囲外のあったノズル１３毎にピエゾ素子の駆動電圧の補正量ΔＶを算出し、制御装置９に対して補正量ΔＶを補正情報として出力する（ステップＳ１８）。

次に、ステップＳ０２の処理に移行し、制御調整装置２５は、制御装置９に対して水晶センサ２１が測定対象のノズル１３の直下に移動するようステージ６の移動を指示する制御信号を出力する。ここからは、許容範囲内になかったノズル１３のみからの再吐出が行われ、再度周波数が所定の許容範囲内にあるか判定される。

また、ステップＳ１６において全てのノズル１３を測定し、ΔＦ_１〜ΔＦ_ｎのそれぞれの値が所定の許容範囲内にあった場合、インク塗布量測定装置１１は、次の塗布ヘッドユニット３に対して同様の処理を行い、キャリブレーションを終了する。

このようにノズル１３の１つひとつ（１〜ｎ番目まで）から、順次液滴の吐出させ、周波数Ｆ_０と周波数Ｆ_ｎとの差分を算出し、その差分を周波数の変化量ΔＦ_ｎとして出力、ΔＦ_１〜ΔＦ_ｎのそれぞれの値から各ノズル１３から吐出される液滴量を調整する。

また、本実施形態では、有機ＥＬインクの塗布を例にして説明しているが、これに限定されるものではなく、例えば、液晶用カラーフィルターのカラーインクの塗布にも利用可能である。また、インクに限らず利用することが可能である。

本発明の実施形態におけるインクジェット塗布装置の全体構成を示す図である。塗布ヘッドユニットの構成を示す図である。インク塗布量測定装置の機能構成を示す図である。インク塗布量測定装置の構成の一例を示す図である。第１の実施形態におけるインク塗布量測定装置の動作を示すフローチャートである。第２の実施形態におけるインク塗布量測定装置の動作を示すフローチャートである。

符号の説明

１…インクジェット塗布装置、２…インク供給ボックス、３…インク塗布ボックス、４…インク補給タンク、５…ベース、６…ステージ、７…支持体、８…塗布ヘッドユニット、９…制御装置、１０…インク供給タンク、１１…インク塗布量測定装置、１２…インクジェットヘッド部、１３…ノズル、２１…水晶センサ、２２…発振器、２３…周波数カウンタ、２４…質量算出器、２５…制御調整装置、２６…水晶センサ収納ボックス、２７…テーブル、２８…乾燥装置

Claims

水平面が設けられた台座であるベースと、
塗布材が溶解されたインクを蓄え、供給管を通じて前記インクを供給するインク補給タンクと、
前記ベース上に設けられ、前記水平面上に敷設されたレール上を移動するテーブルによって任意の方向に移動可能であり、前記インクが塗布される基板を保持するステージと、
前記ステージ上方に固定され、縦列に複数のノズルが配置され当該ノズル毎に前記インクを吐出させるインク吐出機構を有するインクジェットヘッド部を有し、前記基板に対して前記インクを吐出塗布する塗布ヘッドユニットと、
前記インク補給ボックスから供給される前記インクを蓄え、供給管を通じて前記塗布ヘッドユニットに前記インクを供給するインク供給タンクと、
前記インク吐出機構を制御することによる前記インクの塗布、前記ステージの移動、および前記供給管路に設けられた開閉弁を制御することによる前記インクの供給を制御する制御装置と、
前記ノズル直下に移動可能な水晶振動子を含んで構成される発振器を有し、当該水晶振動子に前記インクの液滴が着弾することによって生じる当該発振器の出力信号の周波数変化を基に、前記制御装置に対して前記インク吐出機構の吐出動作を補正するための補正情報を出力するインク塗布量測定装置と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
前記制御装置は、前記水晶振動子を前記ノズル直下に相対的に移動させ、前記基板に前記インクを塗布する際には、前記水晶振動子を前記ノズル直下から退避させることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
前記インクジェット塗布装置は、前記水晶振動子の雰囲気を撹拌または加熱することで前記水晶振動子に着弾した液滴を乾燥させる乾燥装置を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
前記インク塗布量測定装置は、前記液滴が着弾することによって生じる前記発振器の出力信号の周波数変化量を基に、１滴あたりの前記液滴の質量を算出し、当該質量が許容範囲内の値であるか判定し、当該質量が許容範囲外の値であった場合に、当該液滴を吐出させた前記インク吐出機構を駆動する駆動電圧の補正値を算出し、当該補正値を前記補正情報として前記制御装置に対して出力することを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のインクジェット塗布装置。
前記インク塗布量測定装置は、前記液滴が着弾することによって生じる前記発振器の出力信号の周波数変化量と、基準となる周波数変化量を比較し、当該発振器の出力信号の周波数変化量が許容範囲外の値であった場合に、当該液滴を吐出させた前記インク吐出機構を駆動する駆動電圧の補正値を算出し、当該補正値を前記補正情報として前記制御装置に対して出力することを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のインクジェット塗布装置。