JP2007296446A - 液滴塗布装置、液滴吐出部のギャップ測定方法、および、液滴吐出部のギャップ調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビーム部41,42に移動可能に取り付けられると共に載置面11aに載置された基板10に液滴を吐出する複数の液滴吐出部6と、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部と、上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離および上記各基準部との間の距離を測定する測長部14と、上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部15とを有する。
【選択図】図1B
Description
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と、
上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に、上記載置面との間の距離が既知である基準部と、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられると共に、上記各液滴吐出部の吐出面に対向して上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定し、上記各基準部に対向して上記各基準部との間の距離を測定する測長部と、
上記測長部によって測定された一の上記液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部と
を備えることを特徴としている。
上記ビーム部は、ビーム部本体と、このビーム部本体に取り付けられると共に、このビーム部本体に対して移動可能となるように上記液滴吐出部を取り付けるスライド機構とを有し、
上記基準部は、上記スライド機構に、設けられている。
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを測定する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と
を備えることを特徴としている。
基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と、
上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部の吐出面を上記載置面に対して接近または離隔する工程と
を備えることを特徴としている。
41 第1のビーム部
410 ビーム部本体
410a 対向面
410b 取付面
42 第2のビーム部
420 ビーム部本体
420a 対向面
420b 取付面
6,6A 液滴吐出部
60 吐出面
7 スライド機構
72 ベース板
10 基板
110 アライメントマーク
113 欠損部
11 基台
11a 載置面
14 測長部
15 算出部
16 基準部
17 調整部
90 撮像部
91 観察カメラ
97 低倍率モードのカメラユニット
98 高倍率モードのカメラユニット
Claims (6)
- 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と、
上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に、上記載置面との間の距離が既知である基準部と、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられると共に、上記各液滴吐出部の吐出面に対向して上記各液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定し、上記各基準部に対向して上記各基準部との間の距離を測定する測長部と、
上記測長部によって測定された一の上記液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する算出部と
を備えることを特徴とする液滴塗布装置。 - 請求項1に記載の液滴塗布装置において、
上記各液滴吐出部の吐出面を上記載置面に対して接近または離隔して、上記各液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整する調整部を有することを特徴とする液滴塗布装置。 - 請求項1に記載の液滴塗布装置において、
上記測長部は、上記載置面に重ならず、上記載置面に関して上記ビーム部および上記液滴吐出部と反対側に位置していることを特徴とする液滴塗布装置。 - 請求項1に記載の液滴塗布装置において、
上記ビーム部は、
ビーム部本体と、
このビーム部本体に取り付けられると共に、このビーム部本体に対して移動可能となるように上記液滴吐出部を取り付けるスライド機構と
を有し、
上記基準部は、上記スライド機構に、設けられていることを特徴とする液滴塗布装置。 - 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを測定する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と
を備えることを特徴とする液滴吐出部のギャップ測定方法。 - 基板が載置される載置面を有する基台と、
上記載置面に対向し上記載置面の一方向に延在すると共に、上記載置面の他方向に上記基台に対して相対的に移動可能となるように上記基台に取り付けられたビーム部と、
上記ビーム部に着脱自在に取り付けられると共に、吐出面から上記基板に液滴を吐出して塗布する複数の液滴吐出部と
を備えた液滴塗布装置における上記液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを調整する方法であって、
上記ビーム部に対して移動可能となるように上記基台に取り付けられた測長部を、一の上記液滴吐出部の吐出面に対向して、上記一の液滴吐出部の吐出面との間の距離を測定する工程と、
上記測長部を、上記ビーム部における上記各液滴吐出部の吐出面の近傍の部位に設けられると共に上記載置面との間の距離が既知である基準部のうちの、上記一の液滴吐出部の吐出面近傍の一の上記基準部に対向して、上記一の基準部との間の距離を測定する工程と、
上記測長部によって測定された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記測長部との間の距離、および、上記一の基準部と上記測長部との間の距離と、既知である上記一の基準部と上記載置面との間の距離とから、算出部によって、上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップを算出する工程と、
上記算出部によって算出された上記一の液滴吐出部の吐出面と上記載置面との間のギャップが所定量となるように、上記一の液滴吐出部の吐出面を上記載置面に対して接近または離隔する工程と
を備えることを特徴とする液滴吐出部のギャップ調整方法。
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