JP2010131561A - 液状体吐出装置、及び液状体吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】多数のキャリッジ（ヘッド）をキャリッジの配列方向に移動することに起因してキャリッジ（ヘッド）の移動装置を制御する制御装置の負荷が大きくなることや、キャリッジ（ヘッド）の移動に要する時間が増大し、液滴吐出による描画のために要する時間が増大することを抑制することができる液状体吐出装置、及び液状体吐出方法を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ユニットを備え、吐出ユニットと基材とを第一の方向に相対移動させると共に、吐出ノズルから液状体を吐出することによって、基材上に液状体を配置する液状体吐出装置であって、基材を保持する基材台と、吐出ユニットを基材台に対して第一の方向に移動させる第一移動手段と、基材台を、吐出ユニットに対して第一の方向と交差する第二の方向に移動させる第二移動手段と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液状体吐出装置、当該液状体吐出装置における液状体吐出方法に関する。

従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状材料を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。塗布された液状材料を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。

近年、大型の液晶表示装置のように、液状体を配置する対象物の大型化がみられる。また、効率良く生産するために多くの表示装置などを一つの基材上に形成するために液状体を配置する対象物が大型化する傾向もみられる。
特許文献１には、ワークを第一方向とヘッドの配列方向である第２方向に移動可能な第１移動部と、ヘッドを有するキャリッジを第２方向に移動し位置決め可能な第２移動部とを備え、ノズルから液体をワークに吐出することで、大型のワークであっても、液滴をワークに対して容易に吐出することができ、ワークの生産性を向上することができる液滴吐出装置、及び液滴吐出方法が開示されている。

特開２００６−１８７７５８号公報

しかしながら、多数のキャリッジ（ヘッド）をキャリッジの配列方向に移動するのは、それぞれのキャリッジ（ヘッド）を個別に、相互の位置関係を保って移動することが必要であって、キャリッジ（ヘッド）の移動装置を制御する制御装置の負荷が大きくなるという課題があった。また、負荷が大きいことに起因して、キャリッジ（ヘッド）の移動に要する時間が増大し、液滴吐出による描画のために要する時間が増大するという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ユニットを備え、前記吐出ユニットと基材とを第一の方向に相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出することによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体吐出装置であって、前記基材を保持する基材台と、前記吐出ユニットを、前記基材台に対して前記第一の方向に移動させる第一移動手段と、前記基材台を、前記吐出ユニットに対して前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させる第二移動手段と、を備えることを特徴とする。

この液状体吐出装置によれば、吐出ユニットと基材台との第一の方向の相対移動は吐出ユニットを第一移動手段によって移動することで実施し、第二の方向の相対移動は基材台を第二移動手段によって移動することで実施する。これにより、第一の方向の相対移動に加えて第二の方向の相対移動も吐出ユニットを移動させる構成に比べて、吐出ユニットを移動させる移動装置の構成を簡単にすることができる。また、吐出ユニットの移動を制御する制御手段の負荷を軽減することもできる。

［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出ユニットは、複数の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルは、前記第二の方向に配列していることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、第一の方向の相対移動を一回実施することで、第二の方向に配列した吐出ノズルの配列範囲に対応する幅の領域に液状体を着弾させて配置することができる。

［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出ユニットは、１又は複数の前記吐出ヘッドをそれぞれ備える複数のヘッドユニットを備え、前記複数のヘッドユニットにおけるそれぞれのヘッドユニット相互の前記第二の方向における相対位置を調整する第三移動手段をさらに備えることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、第三移動手段を用いて、ヘッドユニットの相互の位置を調整することができる。これにより、基材の液状体を配置する位置に対応して、ヘッドユニット（吐出ノズルの列）の配置を適切な配置に調整することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記第一移動手段は、前記複数のヘッドユニットを一体にして移動させることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、複数のヘッドユニットは第一の方向に一体に移動させられる。一体で移動させることにより、複数のヘッドユニットを個別に移動させる場合にくらべて、移動の制御を容易にすることができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出ノズルの保守を行う保守装置をさらに備え、前記保守装置は、前記吐出ユニットが前記第一移動手段によって移動させられることで対向可能な位置に配設されていることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、保守装置は、吐出ユニットが第一移動手段によって移動させられることで対向可能な位置に位置する。したがって、保守装置は、基材台に対して第一の方向の位置に位置する。これにより、保守装置が基材台に対して第二の方向に位置する場合にくらべて、吐出装置の第二の方向の大きさを小さくすることができる。

［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記第一移動手段は、前記基材台における前記基材を載置する面に平行な方向において、前記基材台と、重ならない位置に配設されていることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、第一移動手段は、基材台と重ならない位置に配設されている。これにより、基材台に対して基材を給除材する際に、基材を基材台に対して移動するための空間をつくるために基材台を第一移動手段と重ならない位置に移動させることを不要にすることができる。基材台を第一移動手段と重ならない位置に移動させる移動装置を設けることを不要にすることもできる。

［適用例７］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ユニットと基材とを相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出することによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体吐出方法であって、前記吐出ユニットを、前記基材を載置する基材台に対して第一の方向に移動させると共に、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出する吐出走査工程と、前記基材台を、前記吐出ユニットに対して前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させて、前記基材に対する所定の位置に前記吐出ノズルを位置させる移動走査工程と、を有することを特徴とする。

この液状体吐出方法によれば、吐出走査工程における第一の方向の相対移動を、吐出ユニットを移動することで実施し、移動走査工程における第二の方向の相対移動を、基材台を移動することで実施する。これにより、第一の方向の相対移動に加えて第二の方向の相対移動も吐出ユニットを移動させる場合に比べて、吐出ユニットを移動させる移動装置の構成を簡単にすることができる。また、吐出ユニットの移動を制御する制御手段の負荷を軽減することもできる。

［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ユニットは、複数の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルは、前記第二の方向に配列していることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、第一の方向の相対移動を一回実施することで、第二の方向に配列した吐出ノズルの配列範囲に対応する幅の領域に、液状体を着弾させて配置することができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ユニットは、１又は複数の前記吐出ヘッドをそれぞれ備える複数のヘッドユニットを備え、前記複数のヘッドユニットにおけるそれぞれのヘッドユニット相互の前記第二の方向における相対位置を調整する位置調整工程をさらに有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、位置調整工程において、ヘッドユニットの相互の位置が調整される。これにより、基材の液状体を配置する位置に対応して、ヘッドユニット（吐出ノズルの列）の配置を適切な配置に調整することができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出走査工程では、前記複数のヘッドユニットを一体にして移動させることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、複数のヘッドユニットは第一の方向に一体に移動させられる。一体で移動させることにより、複数のヘッドユニットを個別に移動させる場合にくらべて、移動の制御を容易にすることができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出ノズルの保守作業を行う保守工程をさらに有し、前記保守工程は、前記吐出ユニットを前記第一の方向に移動させることによって保守作業を行う位置に移動させる保守移動工程を含むことが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、保守移動工程では、吐出ユニットを第一の方向に移動させる。したがって、保守工程における保守作業は、基材台に対して第一の方向の位置において実施される。これにより、保守作業が基材台に対して第二の方向の位置で実施される場合にくらべて、保守作業を実施する際に吐出ユニットが位置する領域を含む液状体の吐出を実施する装置の第二の方向の大きさを小さくすることができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記基材台に前記基材を載置する、又は前記基材台に載置された前記基材を除材する給除材工程と、前記給除材工程に先んじて、前記吐出ユニットを前記第一の方向に移動させることによって、前記基材台と前記第一の方向において重ならない位置に移動させる給除材前移動工程と、をさらに有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、給除材工程に先立って給除材前移動工程を実施することによって、吐出ユニットを基材台と第一の方向において重ならない位置に移動させる。これにより、給除材工程を実施する際に、基材を基材台に対して移動するための空間をつくるために基材台を吐出ユニットと重ならない位置に移動させる工程を不要にすることができる。基材台を吐出ユニットと重ならない位置に移動させる移動装置を設けることを不要にすることもできる。

以下、液状体吐出装置、及び液状体吐出方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。実施形態は、吐出ノズルを有する吐出ヘッドの一例として、液滴を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒーターにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１、図２及び図３を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２及び図３は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。図２は、液滴吐出装置を図１の矢印ａの方向から見た、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図であり、図３は、液滴吐出装置を図１の矢印ｂの方向から見た、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能液供給ユニット７（図６参照）と、検査ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７（図２参照）を有している。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３１を有している。
機能液供給ユニット７は、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。
検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置を備えている。
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する各装置を備えている。
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６（図６参照）を備えている。
描画ユニット２と、ワークユニット３と、検査ユニット４と、保守ユニット５とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。

＜描画ユニット＞
次に、描画ユニット２について、図１、図２及び図３を参照して説明する。描画ユニット２は、吐出ユニット２０と、Ｘ軸走査機構２５とを備えている。
Ｘ軸走査機構２５は、Ｘ軸リニアモーター２７と、Ｘ軸スライダ２８と、Ｘ軸支持ベース２９と、支柱２９Ａとを備えている。４本の支柱２９Ａは、長方形形状の定盤９の略四隅に立設されている。Ｘ軸支持ベース２９は、両端をそれぞれ支柱２９Ａに支持されて、定盤９の上方で、Ｘ軸方向に延在している。一対のＸ軸支持ベース２９は、互いに平行であって、上面の定盤９の面からの高さが同じである。一対のＸ軸支持ベース２９のそれぞれの上面には、一対のＸ軸リニアモーター２７，２７の一方がそれぞれ配設されている。それぞれのＸ軸リニアモーター２７の上面には、一対のＸ軸スライダ２８，２８の一方が、それぞれＸ軸方向にスライド自在に配設されている。Ｘ軸方向が、第一の方向に相当する。Ｘ軸走査機構２５が、第一移動手段に相当する。

吐出ユニット２０は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット１８と、ヘッドキャリッジ２１と、キャリッジ枠２２と、ブリッジプレート２４とを備えている。吐出ユニット２０は、ヘッドユニット１８と、ヘッドキャリッジ２１と、キャリッジ枠２２との組を、例えば１０組備えている。

ヘッドユニット１８は、ヘッドキャリッジ２１に固定されている。ヘッドキャリッジ２１は、定盤９の面（図１に示したＸＹ平面）に略垂直な軸回りに回動調整可能な回動調整機構（図示省略）を介してキャリッジ枠２２に吊着されている。ヘッドキャリッジ２１に固定されたヘッドユニット１８における液滴吐出ヘッド１７は、当該回動調整機構によって、吐出ノズル７８（図４参照）の配列方向を調整可能である。
キャリッジ枠２２は、移動機構（図示省略）を介して、Ｘ軸方向に移動及び固定可能にブリッジプレート２４に取付けられている。１０個のキャリッジ枠２２は、移動機構によって、ブリッジプレート２４に対して独立して移動可能であり、キャリッジ枠２２に吊着されているヘッドキャリッジ２１に固定されたヘッドユニット１８における液滴吐出ヘッド１７の相互の位置を調整可能である。この移動機構が、第三移動手段に相当する。
ブリッジプレート２４の両端には、上述した一対のＸ軸スライダ２８，２８の一方が、それぞれ固定されており、一対のＸ軸スライダ２８，２８がブリッジプレート２４を両持ちで支持している。

一対のＸ軸リニアモーター２７，２７を（同期して）駆動すると、一対のＸ軸スライダ２８，２８が、図示省略したＸ軸ガイドを案内にして同時にＸ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート２４がＸ軸方向に移動し、吐出ユニット２０がＸ軸方向に、一体に移動する。Ｘ軸リニアモーター２７の駆動を制御することにより、吐出ユニット２０をＸ軸方向に移動させることも可能であるし、Ｘ軸方向の任意の位置に保持することも可能である。

＜ワークユニット＞
次に、ワークユニット３について、図１、及び図２を参照して説明する。ワークユニット３は、ワーク載置台３１と、Ｙ軸走査機構３２とを備えている。
ワーク載置台３１は、載置されたワークＷを吸引して固定する吸引機構（図示省略）と、載置されたワークＷの平面方向の傾きを補正するためのシータ調整機構３１ａとを備えている。ワーク載置台３１が、基材台に相当する。ワークＷが、基材に相当する。

Ｙ軸走査機構３２は、Ｙ軸リニアモーター３３と、Ｙ軸スライダ３４と、Ｙ軸支持ベース３６と、を備えている。一対のＹ軸支持ベース３６，３６は、Ｙ軸方向に延在して、定盤９上に固定されている。一対のＹ軸支持ベース３６，３６のそれぞれの溝部には、一対のＹ軸リニアモーター３３，３３の一方がそれぞれ配設されている。一対のＹ軸スライダ３４，３４は、それぞれ一対のＹ軸支持ベース３６，３６のそれぞれに、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｙ軸スライダ３４には、ワーク載置台３１が固定されて支持されている。

一対のＹ軸リニアモーター３３，３３を（同期して）駆動すると、一対のＹ軸スライダ３４，３４が、図示省略したＹ軸ガイドを案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ワーク載置台３１がＹ軸方向に移動し、ワーク載置台３１に載置されて固定されたワークＷがＹ軸方向に移動する。Ｙ軸リニアモーター３３の駆動を制御することにより、ワーク載置台３１をＹ軸方向に移動させることも可能であるし、Ｙ軸方向の任意の位置に精度良く位置決めして、当該位置に保持することも可能である。Ｙ軸方向が第二の方向に相当する。Ｙ軸走査機構３２が、第二移動手段に相当する。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図４を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図４（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。

図４（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給ユニット７から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、略方形状のヘッド本体７４が構成されている。

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。

図４（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部７１から振動板５２の液供給孔５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。

圧力室５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル７８と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図４（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。

振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図４（ｂ）又は（ｃ）においては振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。

吐出装置制御部は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。

＜ヘッドユニット＞
次に、描画ユニット２が備えるヘッドユニット１８の概略構成について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット１８が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図５に示したように、ヘッドユニット１８は、キャリッジプレート６１と、キャリッジプレート６１に搭載された９個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート６１に固定されている。キャリッジプレート６１に固定された液滴吐出ヘッド１７は、ヘッド本体７４がキャリッジプレート６１に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート６１の面より突出している。図５は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組６２を３組、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａは、ヘッドユニット１８が液滴吐出装置１に取付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。

一つのヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組６２が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。一つのヘッド組６２は、例えば１８０個の６倍、１０８０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８のＹ軸方向における中心間距離は、約７５．５ｍｍである。ヘッド組６２を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組６２を構成している。ヘッド組６２が有する６本のノズル列７８Ａからなるノズル列をヘッド組ノズル列と表記する。

ヘッドユニット１８が有する３つのヘッド組６２は、それぞれが有する１本のヘッド組ノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列７８Ａの半ノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット１８は、互いに隣り合うヘッド組６２を構成する液滴吐出ヘッド１７の、一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方のヘッド組６２における液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が、Ｙ軸方向において、半ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
一つのヘッドユニット１８が備える３つのヘッド組６２における９個の液滴吐出ヘッド１７が有する１８本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば１８０個の１８倍、３２４０個の吐出ノズル７８を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル７８の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２６．７ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット１８の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。

図１又は図３に示した吐出ユニット２０においては、ヘッドユニット１８は間隔をあけて配置されている。しかし、上述したように、キャリッジ枠２２は、移動機構によって、ブリッジプレート２４に対して独立して移動可能であり、キャリッジ枠２２に吊着されているヘッドキャリッジ２１に固定されたヘッドユニット１８における液滴吐出ヘッド１７の相互の位置を調整可能である。ヘッドユニット１８の相互の位置を最も近づけると、吐出ユニット２０が備える９０個の液滴吐出ヘッド１７が有する１８０本のノズル列７８Ａは、１本のノズル列のように扱うことができる。当該ノズル列は、Ｙ軸方向におけるノズルピッチが例えば７０μｍであり、３２４００個の吐出ノズル７８を有するノズル列である。

＜検査ユニット＞
次に、検査ユニット４について、図１、及び図２を参照して説明する。検査ユニット４は、重量測定ユニット４２Ａと、吐出検査ユニット４３Ａとを備えている。
重量測定ユニット４２Ａは、電子天秤（図示省略）及び受容器４２ａを備える重量測定装置４２を備えている。受容器４２ａは、１個のヘッドユニット１８が有する９個の液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液を同時に受けることができる大きさに形成されている。液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受容器４２ａに着弾した機能液の重量は、電子天秤によって測定できる。重量測定のために吐出を実施する単位は、吐出ノズル７８や、ノズル列７８Ａや、液滴吐出ヘッド１７や、ヘッドユニット１８が有する液滴吐出ヘッド１７における任意の数の液滴吐出ヘッド１７などを任意に選択することができる。
なお、受容器４２ａを、後述する保守ユニット５におけるフラッシングユニット１４のように、フラッシングによって吐出された機能液の受容器として使用することもできる。

吐出検査ユニット４３Ａは、液着弾シート４３ａを備える着弾検査装置４３及び観察カメラ（図示省略）を備えている。着弾検査装置４３は、液着弾シート４３ａがＹ軸方向に延在して配設されており、吐出ユニット２０が備える全ての液滴吐出ヘッド１７が同時に液着弾シート４３ａに対向可能である。液滴吐出ヘッド１７から吐出されて液着弾シート４３ａに着弾した機能液の着弾跡を、観察カメラを用いて観測することによって、液滴の着弾の有無や、液滴の大きさや、着弾点の相対位置などを測定する。これにより、吐出ユニット２０における吐出ノズル７８ごとの、吐出状態（着弾の有無）、吐出重量（着弾液滴の広がりの大きさ）、着弾位置の精度などを検査する。

重量測定ユニット４２Ａと、吐出検査ユニット４３Ａとは、吐出ユニット２０をＸ軸走査機構２５によってＸ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７を受容器４２ａ又は液着弾シート４３ａに対向させることができる位置に配設されている。重量測定ユニット４２Ａ及び吐出検査ユニット４３Ａは、定盤９に固定された昇降装置８４によって、液滴吐出ヘッド１７に対して離接方向に移動可能に支持されている。重量測定ユニット４２Ａ、及び吐出検査ユニット４３Ａが、保守装置に相当する。

＜保守ユニット＞
次に、保守ユニット５について、図１、図２及び図３を参照して説明する。保守ユニット５は、フラッシングユニット１４と、吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とを備えている。
フラッシングユニット１４は、吐出ユニット２０が備える全ての液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液を同時に受けることができる大きさに形成されている。機能液の粘度が増すことなどを抑制するための吐出（フラッシング）は、フラッシングユニット１４に向けて実施される。図１、及び図２に示したフラッシングユニット１４は、ワークユニット３と検査ユニット４との間に設置されている。
上述したように、フラッシングユニット１４に代えて、重量測定装置４２の受容器４２ａを、フラッシングの受け容器として用いてもよい。また、受容器４２ａに近接してフラッシングユニット１４に相当するフラッシング受容器を設け、ヘッドユニット１８が有する一部の液滴吐出ヘッド１７が重量測定のための吐出を実施するのに並行して、ヘッドユニット１８が有する他の液滴吐出ヘッド１７は、当該フラッシング受容器を用いてフラッシングを実施する構成も可能である。

吸引ユニット１５は、例えば１０組のヘッドユニット１８に対応して、１０組の分割吸引ユニット８２を備えている。分割吸引ユニット８２は、ヘッドキャップ８１と、吸引機構（図示省略）とを備えている。ヘッドキャップ８１をヘッドユニット１８に当接させることによって、キャリッジプレート６１とヘッドキャップ８１とで封止空間を形成する。キャリッジプレート６１に固定された液滴吐出ヘッド１７のノズルプレート７６は、封止空間内にあり、吸引機構によって封止空間内の気体を吸引することによって、吐出ノズル７８から、機能液が吸引される。これにより、液滴吐出ヘッド１７の圧力室５８内などに充填されている機能液を強制的に排出させる。
吐出ユニット２０が稼動していない状態では、フラッシングを実施するか、ヘッドユニット１８にヘッドキャップ８１を当接させることによって、吐出ノズル７８を封止して、吐出ノズル７８から機能液の溶媒などが蒸発することを抑制する。

ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート８６を有し、吸引後などに、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図４参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ために使用する。

吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とは、吐出ユニット２０をＸ軸走査機構２５によってＸ軸方向に移動させることで、ヘッドユニット１８をヘッドキャップ８１又はワイピングシート８６に対向させることができる位置に配設されている。吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、定盤９に固定された昇降装置８８によって、液滴吐出ヘッド１７に対して離接方向に移動可能に支持されている。吸引ユニット１５、及びワイピングユニット１６が、保守装置に相当する。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピューター６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、入出力インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバー１７ｄと、駆動機構ドライバー８ｄと、給液ドライバー７ｄと、保守ドライバー５ｄと、検査ドライバー４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）９２と、を有している。これらは、データーバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

入出力インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバー１７ｄには、吐出ユニット２０を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバー１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバー８ｄには、Ｙ軸走査機構３２のＹ軸リニアモーター３３と、Ｘ軸走査機構２５のＸ軸リニアモーター２７と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構８０とが接続されている。各種駆動機構は、ワークのアライメントを実施する際にアライメントカメラを移動するためのカメラ移動モーターや、ワーク載置台３１のθ駆動モーターや、ワーク載置台３１の吸引機構の駆動モーターなどである。駆動機構ドライバー８ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モーターなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバー１７ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

保守ドライバー５ｄには、保守ユニット５を構成する吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。保守ドライバー５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバー４ｄには、検査ユニット４が備える吐出検査ユニット４３Ａや、重量測定ユニット４２Ａなどが接続されている。検査ドライバー４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット４３Ａを駆動して、吐出の有無や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。また、重量測定ユニット４２Ａを駆動して、液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の液滴の重量である吐出重量の測定を実施させる。

給液ドライバー７ｄには、機能液供給ユニット７が接続されている。給液ドライバー７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って機能液供給ユニット７を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス９２には、各種センサーを有する検出部９１が接続されている。検出部９１の各センサーによって検出された検出情報が検出部インタフェイス９２を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜描画＞
次に、液滴吐出装置１によって、ワークＷの所定の位置に機能液を配置する描画工程について、図７を参照して説明する。図７は、描画工程を示すフローチャートである。

図７のステップＳ１では、液滴吐出装置１の給除材位置に在るワーク載置台３１にワークＷを給材する。ワークＷの給材は、給材ロボットなどによって実施される。このとき、吐出ユニット２０は、予めＸ軸走査機構２５によって移動されて、ワーク載置台３１と重ならない位置に、位置している。
次に、ステップＳ２では、ワーク載置台３１に載置されたワークＷのアライメントを実施する。ワークＷのアライメントは、アライメントカメラによってワークＷに形成されたアライメントマーク画像を取得し、撮像結果に基づいて、シータ調整機構３１ａによってワークＷのθ補正を実行することで実施する。
次に、ステップＳ３では、吐出ユニット２０をＸ軸方向に移動する。吐出ユニット２０は、Ｘ軸リニアモーター２７によってＸ軸スライダ２８を駆動することで、吐出ユニット２０の液滴吐出ヘッド１７が、アライメントされたワークＷに対して描画吐出工程を開始する開始位置に位置するように移動される。

次に、ステップＳ４では、ワーク載置台３１に供給されており、次に描画吐出を実施する対象のワークの種類が変更されたか否かを判定する。
ワークの種類が変更されていた場合（ステップＳ４でＹＥＳ）には、ステップＳ５に進む。ステップＳ５では、吐出ユニット２０におけるヘッドユニット１８の相互の位置を、次に描画吐出を実施する対象のワークに適した配列に調整する。ステップＳ５の次には、ステップＳ６に進む。
ワークの種類が変更されていなかった場合（ステップＳ４でＮＯ）には、吐出ユニット２０におけるヘッドユニット１８の相互の位置を維持して、ステップＳ６に進む。

ステップＳ４又はステップＳ５の次に、ステップＳ６では、ワークＷのＹ軸方向における位置を調整する。ワークＷが載置されたワーク載置台３１をＹ軸走査機構３２によってＹ軸方向に移動することで、ワークＷと吐出ユニット２０における液滴吐出ヘッド１７とのＹ軸方向における相対位置を、描画吐出開始位置に調整する。
次に、ステップＳ７では、描画ユニット２による描画吐出を実施する。Ｘ軸走査機構２５によって吐出ユニット２０をＸ軸方向に移動させると共に、吐出ユニット２０が有する吐出ノズル７８から選択的に機能液を吐出することによって、ワークＷ上の規定された位置に機能液を配置する。

次に、ステップＳ８では、ワーク載置台３１上のワークＷに対する描画が完了したか否かを判定する。
描画が完了していなかった場合（ステップＳ８でＮＯ）には、ステップＳ９に進む。ステップＳ９では、ワークＷをＹ軸方向に移動する走査を実施する。ステップＳ６と同様に、ワークＷが載置されたワーク載置台３１をＹ軸走査機構３２によってＹ軸方向に移動するが、ワークＷと液滴吐出ヘッド１７とのＹ軸方向における相対位置は、すでに調整されており、ステップＳ９における走査はいわゆる改行走査である。したがって、ステップＳ９においては、ワークＷやヘッドユニット１８などの位置検出は実施せず、規定の改行量だけ、ワーク載置台３１をＹ軸方向に移動する。ステップＳ９の次には、ステップＳ７に戻り、ステップＳ７及びステップＳ８を繰り返す。
描画が完了していた場合（ステップＳ８でＹＥＳ）には、ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、Ｘ軸走査機構２５によって吐出ユニット２０をＸ軸方向に移動させることによって、吐出ユニット２０をワーク載置台３１と重ならない位置に移動する。上述したように、Ｘ軸走査機構２５は、Ｘ軸リニアモーター２７と、Ｘ軸スライダ２８と、Ｘ軸支持ベース２９と、支柱２９Ａとを備えている。４本の支柱２９Ａは、長方形形状の定盤９の略四隅に立設されており、Ｘ軸支持ベース２９は、両端をそれぞれ支柱２９Ａに支持されて、定盤９の上方で、Ｘ軸方向に延在している。すなわち、Ｘ軸走査機構２５はワーク載置台３１と重ならない位置に配設されている。このため、吐出ユニット２０をワーク載置台３１と重ならない位置に移動することで、ワーク載置台３１に対してワークＷを給除材する作業が容易に行える状態になる。

次に、ステップＳ１１では、描画が実施されたワークＷを除材する。
次に、ステップＳ１２では、次に描画するワークＷの有無を判定する。次に描画するワークＷが有る場合（ステップＳ１２でＹＥＳ）には、ステップＳ１に戻り、ステップＳ１からステップＳ１１を繰り返す。
次に描画するワークＷが無い場合（ステップＳ１２でＮＯ）には、ステップＳ１２を終了して描画工程を終了する。
ステップＳ１１、ステップＳ１２、ステップＳ１、及びステップＳ２を実施している間は、液滴吐出ヘッド１７は稼動していない。この間に、液滴吐出ヘッド１７内の機能液が乾燥などすることを抑制するために、ステップＳ１０では、吐出ユニット２０を液滴吐出ヘッド１７がフラッシングユニット１４に臨む位置に移動して、ステップＳ１１、ステップＳ１２、ステップＳ１、及びステップＳ２を実施している間は、液滴吐出ヘッド１７がフラッシングを実施することが好ましい。
描画工程を終了する場合には、吐出ユニット２０をヘッドユニット１８がヘッドキャップ８１に臨む位置まで移動して、ヘッドキャップ８１によって吐出ノズル７８を封止した状態で、液滴吐出装置１を休止させることが好ましい。

本実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）吐出ユニット２０とワーク載置台３１とのＸ軸方向の相対移動は、吐出ユニット２０をＸ軸走査機構２５によって移動することによって実施し、Ｙ軸方向の相対移動は、ワーク載置台３１をＹ軸走査機構３２によって移動することによって実施する。これにより、Ｘ軸方向の相対移動に加えてＹ軸方向の相対移動も吐出ユニット２０を移動させる構成に比べて、吐出ユニット２０を移動させる走査機構の構成を簡単にすることができる。また、吐出ユニット２０の移動を制御する制御手段である吐出装置制御部６の負荷を軽減することもできる。

（２）キャリッジ枠２２は、移動機構によって、ブリッジプレート２４に対して独立して移動可能であり、キャリッジ枠２２に吊着されているヘッドキャリッジ２１に固定されたヘッドユニット１８における液滴吐出ヘッド１７の相互の位置を調整可能である。これにより、ヘッドユニット１８の相互の位置を近づけて、吐出ユニット２０が備える９０個の液滴吐出ヘッド１７が有する１８０本のノズル列７８Ａを、１本のノズル列のように扱うこともできるし、間隔を広げて、一回の走査における機能液を配置可能な幅を広くすることもできる。

（３）吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とは、吐出ユニット２０をＸ軸走査機構２５によってＸ軸方向に移動させることで、ヘッドユニット１８をヘッドキャップ８１又はワイピングシート８６に対向させることができる位置に配設されている。これにより、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６が、例えばワーク載置台３１のＹ軸方向側に配設されており、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６に臨む位置に移動した吐出ユニット２０がＹ軸方向に突出する構成にくらべて、Ｙ軸方向の大きさを小さくすることができる。また、Ｘ軸走査機構２５を用いることで、新たな移動機構を設けることを必要とせずに、吐出ユニット２０のヘッドユニット１８をヘッドキャップ８１又はワイピングシート８６に対向させることができる。

（４）重量測定ユニット４２Ａと、吐出検査ユニット４３Ａとは、吐出ユニット２０をＸ軸走査機構２５によってＸ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７を受容器４２ａ又は液着弾シート４３ａに対向させることができる位置に配設されている。これにより、重量測定ユニット４２Ａ、又は吐出検査ユニット４３Ａが、例えばワーク載置台３１のＹ軸方向側に配設されており、重量測定ユニット４２Ａ、又は吐出検査ユニット４３Ａに臨む位置に移動した吐出ユニット２０がＹ軸方向に突出する構成にくらべて、Ｙ軸方向の大きさを小さくすることができる。また、Ｘ軸走査機構２５を用いることで、新たな移動機構を設けることを必要とせずに、吐出ユニット２０のヘッドユニット１８を重量測定ユニット４２Ａ、又は吐出検査ユニット４３Ａに対向させることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、フラッシングユニット１４と、吐出検査ユニット４３Ａと、重量測定ユニット４２Ａと、ワイピングユニット１６と、吸引ユニット１５とは、ワーク載置台３１に近い方からこの順序で定盤９上に配設されていたが、これらの配列順は必須ではない。これらのユニットのような各種保守装置は、それぞれの使用頻度などによって、適宜配置することができる。

（変形例２）前記実施形態においては、フラッシングユニット１４は、ワークユニット３と検査ユニット４との間に設置されて、定盤９に固定されていたが、吐出ヘッドからのフラッシングを受けるフラッシングユニットの配設位置はこのような位置に限らない。例えば、ワーク載置台３１などの載置台における、吐出走査方向（前記実施形態ではＸ軸方向）と交差する端辺に沿って、フラッシングユニットを載置台に固定する構成であってもよい。フラッシングユニットを載置台に固定することで、描画吐出を実施する位置からフラッシングを実施する位置までの移動量を少なくして、移動に要する時間を低減させることができる。

液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。 液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図。 液滴吐出装置の概略構成を示す、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 描画工程を示すフローチャート。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…描画ユニット、３…ワークユニット、４…検査ユニット、５…保守ユニット、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、１８…ヘッドユニット、２０…吐出ユニット、２４…ブリッジプレート、２５…Ｘ軸走査機構、３１…ワーク載置台、３２…Ｙ軸走査機構、４４…ＣＰＵ、６２…ヘッド組、７６…ノズルプレート、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、Ｗ…ワーク。

Claims (12)

1. 液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ユニットを備え、前記吐出ユニットと基材とを第一の方向に相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出することによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体吐出装置であって、
   前記基材を保持する基材台と、
   前記吐出ユニットを、前記基材台に対して前記第一の方向に移動させる第一移動手段と、
   前記基材台を、前記吐出ユニットに対して前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させる第二移動手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
2. 前記吐出ユニットは、複数の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルは、前記第二の方向に配列していることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
3. 前記吐出ユニットは、１又は複数の前記吐出ヘッドをそれぞれ備える複数のヘッドユニットを備え、
   前記複数のヘッドユニットにおけるそれぞれのヘッドユニット相互の前記第二の方向における相対位置を調整する第三移動手段をさらに備えることを特徴とする、請求項２に記載の液状体吐出装置。
4. 前記第一移動手段は、前記複数のヘッドユニットを一体にして移動させることを特徴とする、請求項３に記載の液状体吐出装置。
5. 前記吐出ノズルの保守を行う保守装置をさらに備え、
   前記保守装置は、前記吐出ユニットが前記第一移動手段によって移動させられることで対向可能な位置に配設されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
6. 前記第一移動手段は、前記基材台における前記基材を載置する面に平行な方向において、前記基材台と、重ならない位置に配設されていることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
7. 液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ユニットと基材とを相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出することによって、前記基材上に前記液状体を配置する液状体吐出方法であって、
   前記吐出ユニットを、前記基材を載置する基材台に対して第一の方向に移動させると共に、前記吐出ノズルから選択的に前記液状体を吐出する吐出走査工程と、
   前記基材台を、前記吐出ユニットに対して前記第一の方向と交差する第二の方向に移動させて、前記基材に対する所定の位置に前記吐出ノズルを位置させる移動走査工程と、を有することを特徴とする液状体吐出方法。
8. 前記吐出ユニットは、複数の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルは、前記第二の方向に配列していることを特徴とする、請求項７に記載の液状体吐出方法。
9. 前記吐出ユニットは、１又は複数の前記吐出ヘッドをそれぞれ備える複数のヘッドユニットを備え、
   前記複数のヘッドユニットにおけるそれぞれのヘッドユニット相互の前記第二の方向における相対位置を調整する位置調整工程をさらに有することを特徴とする、請求項８に記載の液状体吐出方法。
10. 前記吐出走査工程においては、前記複数のヘッドユニットを一体にして移動させることを特徴とする、請求項９に記載の液状体吐出方法。
11. 前記吐出ノズルの保守作業を行う保守工程をさらに有し、
    前記保守工程は、前記吐出ユニットを前記第一の方向に移動させることによって保守作業を行う位置に移動させる保守移動工程を含むことを特徴とする、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
12. 前記基材台に前記基材を載置する、又は前記基材台に載置された前記基材を除材する給除材工程と、
    前記給除材工程に先んじて、前記吐出ユニットを前記第一の方向に移動させることによって、前記基材台と前記第一の方向において重ならない位置に移動させる給除材前移動工程と、をさらに有することを特徴とする、請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。

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