JP4905140B2 - 重量測定方法及び液滴吐出装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態の対象であるノズル群としての吐出ヘッド(以下「ヘッド」と称する。)の内部構造を示す概略斜視図である。中心線56を挟んで対称となる片側の一部を、当該ヘッドを構成する主要部材である第1の板状部材としてのノズルプレート20、圧力室基板30、および第2の板状部材としての振動板40に分けて示している。圧力室52および共通流路54等が形成された圧力室基板30の上面および下面には、振動板40およびノズルプレート20がそれぞれ接合されてヘッドとなる。
このようなヘッド10が複数個集合して、液滴吐出ユニットとしてのヘッドユニットとなる。そしてキャリッジを介して液滴吐出装置に搭載される。液滴吐出装置は、ヘッドユニットを1個のみ搭載している場合もあり、また複数のヘッドユニットを搭載する場合もある。
図7は、本発明の第1の実施形態の液滴の重量測定方法を、当該測定後のパターン描画工程も含めて示すフローチャートである。本実施形態は、図5(a)に示す液滴吐出装置1、すなわちキャリッジ100がヘッドユニット90を1個のみ備える液滴吐出装置を用いる態様であり、ステップ1〜ステップ8で構成されている。請求項に示す第1測定工程および第2測定工程に該当するのが、ステップ3の計測用吐出工程である。そして、ステップ6の条件変更工程が請求項に示す条件変更工程である。
次に、本発明の第2の実施形態を図8のフローチャートを用いて説明する。図8は第2の実施形態の液滴の重量測定方法を、当該測定後の(基板Wへの)パターン描画工程も含めて示すフローチャートである。本実施形態は図5(c)に示す液滴吐出装置3を用いる態様である。液滴吐出装置3は、複数(7個)のヘッドユニット90を一列に配置したキャリッジ100を有することと、描画領域108および重量測定領域110に加えてメンテナンス領域112を有することが特徴である。また、本実施形態は、第1測定工程と、条件変更工程と、第2測定工程とに加えて、キャリッジ100を移動させず、ヘッド10からの液滴の吐出も行わない静置工程を有していることが特徴である。以下、各工程について述べる。
Claims (5)
- 複数のヘッドを備える液滴吐出ユニットから、基板上に液状体を液滴として吐出してパターンを描画する装置において、前記ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、
複数回に分けて、前記ヘッドごとに、液状体を液滴として重量測定機構に吐出し、吐出された当該液状体の重量を測定する第1測定工程と、
前記第1測定工程における測定結果の中に所定の規格の範囲外の数値がある場合、当該測定結果に基づいて、当該ヘッドの吐出条件を変更する条件変更工程と、
前記条件変更工程後に、前記第1測定工程と同一の順序で前記ヘッドごとに前記ヘッドから前記液状体を液滴として前記重量測定機構に吐出し、前記ヘッドごとに、吐出された前記液状体の重量を測定する第2測定工程と、
を有することを特徴とする重量測定方法。 - 前記第1測定工程および前記第2測定工程の前に、各々の前記ヘッドを構成する部材および内部に充填されている液状体の温度が所定の温度になるまで静置する静置工程を付加したことを特徴とする請求項1に記載の重量測定方法。
- 前記液滴吐出ユニットは、基板に対して前記液状体を吐出する描画領域と前記重量測定機構に対して前記液状体を吐出する重量測定領域との間を移動可能に構成されており、前記第1測定工程および前記第2測定工程においては前記重量測定領域に位置し、前記静置工程においては前記描画領域に位置することを特徴とする請求項2に記載の重量測定方法。
- 前記液滴吐出ユニットは、前記描画領域および前記重量測定領域のいずれとも異なる退避領域にも移動可能に構成されており、前記第1測定工程、前記静置工程、前記第2測定工程のいずれにも該当しないときには前記退避領域に位置することを特徴とする請求項2に記載の重量測定方法。
- 請求項1〜4にかかる重量測定方法を実行するプログラムを記録する記憶手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
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