CN102069639A - 液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法 - Google Patents
液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102069639A CN102069639A CN2010105239542A CN201010523954A CN102069639A CN 102069639 A CN102069639 A CN 102069639A CN 2010105239542 A CN2010105239542 A CN 2010105239542A CN 201010523954 A CN201010523954 A CN 201010523954A CN 102069639 A CN102069639 A CN 102069639A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- inspection
- discharge
- workpiece
- platform
- droplet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 408
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 103
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims abstract description 86
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 152
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 54
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 34
- 238000000892 gravimetry Methods 0.000 claims description 32
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 29
- 230000008520 organization Effects 0.000 claims description 18
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 10
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 241000408529 Libra Species 0.000 description 3
- 238000012552 review Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- 241000294743 Gamochaeta Species 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012550 audit Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 239000010808 liquid waste Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000009991 scouring Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16579—Detection means therefor, e.g. for nozzle clogging
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16517—Cleaning of print head nozzles
- B41J2/1652—Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Abstract
本发明提供一种液滴排出装置等,第一,能够不影响工件处理的生产节拍也不受时间限制地实施功能液滴排出头的排出检查,第二,能够缩短工件处理的生产节拍且使功能液滴排出头的排出检查时间充分。其具有:设置工件的设置台;接受舍弃排出的冲洗单元;接受检查排出的检查台;配置在对功能液滴排出头进行检查的检查区域,且对检查排出结果进行图像识别的图像识别单元;使设置台、冲洗单元以及检查台在描绘的描绘区域以及检查区域间移动的移动机构,移动机构构成能够相对于设置台以及冲洗单元使检查台单独移动。
Description
技术领域
本发明涉及在共用的移动轴上通过功能液滴排出头进行向工件的描绘和对功能液滴排出头进行检查的液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法。
背景技术
以往,作为这种液滴排出装置,已知一种在工件的供给/去除期间实施功能液滴排出头的排出检查的装置(参照专利文献1)。
该液滴排出装置具有:使设置在工件设置台上的工件沿X轴方向移动的X轴工作台;以跨过X轴工作台的方式配置的Y轴工作台;搭载在Y轴工作台上且具有多个功能液滴排出头的两组滑架单元。在X轴工作台上,除了工件设置台外,还自由移动地搭载有接受来自功能液滴排出头的检查排出的目标单元、接受来自功能液滴排出头的舍弃排出(冲洗)的定期冲洗盒,另外,在Y轴工作台的导轨部分上,垂下地设有对被检查排出到检查片的附着墨点进行图像识别的摄像单元。
在X轴工作台以及Y轴工作台交叉的区域,设有排出功能液并进行描绘的描绘区域,在从描绘区域向X轴方向分离的区域,设定有工件的校准位置以及对工件进行供给/去除的校准位置。经由设置台使工件移动到校准位置,则定期冲洗盒移动到功能液滴排出头(滑架单元)的正下方,位于设置台和定期冲洗盒之间的目标单元移动到摄像单元的正下方。该状态下,实施工件的供给/去除以及校准(供给/去除工作动作),另外,在实施工件的供给/去除动作期间,实施从功能液滴排出头向定期冲洗盒的舍弃排出(维护动作)以及基于摄像单元所进行的图像识别(排出检查)。
专利文献1:日本特开2009-6212号公报
但是,在这样的液滴排出装置中,由于在工件设置台以及定期冲洗盒之间配置有目标单元,所以,检查排出,通过将检查数据包括在描绘数据中就能够与描绘动作连续地实施,但是,存在图像识别(排出检查)仅能在工件的供给/去除动作期间实施的限制。因此,在排出检查比供给/去除工件动作的时间长的情况下,会影响工件处理的生产节拍(Takt Time)。相反,为了维持生产节拍,则存在检查内容受时间限制的问题。
发明内容
本发明的第一目的在于提供一种不影响工件处理的生产节拍且不受时间的限制、能够实施功能液滴排出头的排出检查的液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法,第二目的在于提供一种能够缩短工件处理的生产节拍并能够使功能液滴排出头的排出检查时间充分的液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法。
<单台设置台>
本发明的液滴排出装置,在描绘区域中,边使工件移动边驱动功能液滴排出头从而对工件实施描绘,在从描绘区域向工件的移动方向分离的检查区域,实施所述功能液滴排出头的排出检查,该液滴排出装置的特征在于,具有:设置工件的设置台;相对于设置台配置在检查区域侧并接受来自功能液滴排出头的舍弃排出的冲洗单元;相对于冲洗单元配置在检查区域侧并搭载有接受来自功能液滴排出头的检查排出的检查片的检查台;配置在检查区域并对向检查片的检查排出结果进行图像识别的图像识别机构;和使设置台、冲洗单元以及检查台在共用的移动轴上移动的移动机构,该共用的移动轴在描绘区域以及检查区域间延伸,移动机构构成为,能够使检查台相对于设置台以及冲洗单元单独移动。
通过该构成,设置台、冲洗单元以及检查台从描绘区域侧起以该顺序能够移动地配置于在描绘区域以及检查区域间延伸的移动轴上,图像识别机构配置在检查区域。另外,检查台构成为能够相对于设置台以及冲洗单元单独移动。因此,在描绘区域中向检查台进行了检查排出后,使检查工作面对图像识别机构,实施功能液滴排出头的排出检查(图像识别),但能够与该排出检查并行地,使设置台面对描绘区域,实施描绘。另外,在工件的供给/去除时,使功能液滴排出头相对地面对冲洗单元并实施舍弃排出(维护),但该供给/去除工件所需要的时间也能够利用功能液滴排出头的排出检查时间。因此,能够不影响工件处理的生产节拍也不受时间的限制地实施功能液滴排出头的排出检查。
该情况下,优选地,移移动机构构成为能够使冲洗单元相对于设置台以及检查台单独移动。
根据该构成,在工件的供给/去除时,能够使功能液滴排出头相对地面对冲洗单元并实施舍弃排出。因此,在进行工件的供给/去除时,能够将功能液滴排出头维持在良好的状态。
另外,优选地,从描绘区域观察,在检查区域的前方,设有用于对检查台进行维护的副维护区域,移动轴穿过检查区域延伸到副维护区域,该液滴排出装置还具有:覆盖描绘区域以及检查区域的主腔;和覆盖副维护区域的副腔。
根据该构成,能够使搭载有检查片的检查台从主腔向副腔移动,并实施检查片的更换等维护操作。由此,能够不影响主腔中的描绘动作地实施检查台的维护。
另一方面,优选地,功能液滴排出头的检查包括对功能液滴排出头中的各排出喷嘴的排出不良进行检查的排出不良检查和对来自各排出喷嘴的功能液的排出量进行检查的排出量检查,该液滴排出装置还具有对功能液滴排出头、图像识别机构以及移动机构进行控制的控制机构,控制机构对检查片实施用于排出不良检查的第一检查排出以及用于排出量检查的第二检查排出,并且,实施针对第一检查排出的排出结果的图像识别以及针对第二检查排出的排出结果的图像识别。
本发明中,能够在描绘动作中实施功能液滴排出头的排出检查。即,能够充分确保用于排出检查的时间。因此,除了功能液滴排出头的排出不良检查外,还能够实施排出量检查,通过将该检查结果反映到描绘动作,能够提高描绘品质以及工件的成品率。
同样,优选地,功能液滴排出头的检查包括对功能液滴排出头中的各排出喷嘴的排出不良进行检查的排出不良检查和对来自各排出喷嘴的功能液的排出量进行检查的排出量检查,检查台具有第一检查台和第二检查台,第一检查台搭载有接受用于排出不良检查的第一检查排出的第一检查片,第二检查台搭载有接受用于排出量检查的第二检查排出的第二检查片,图像识别机构具有:对向第一检查台的第一检查排出结果进行图像识别的第一图像识别单元;和对向第二检查台的第二检查排出结果进行图像识别的第二图像识别单元。
根据该构成,通过第一检查台(第一检查片)接受用于排出不良检查的第一检查排出,并且通过第二检查台(第一检查片)接受用于排出量检查的第二检查排出,因此,排出不良检查以及排出量检查的排出模式不会相互受到制约。另外,同时,能够使用于排出检查的控制系统单纯化。
另外,优选地,相对于第一检查片的更换频率,第二检查片的更换频率被设定得较高,在移动轴上,从设置台侧起以第一检查台以及第二检查台的顺序配置,移动机构构成为,能够使第一检查台以及第二检查台分别移动。
根据该构成,第一检查片以及第二检查片的更换频率各不相同,因此,能够单独地对检查片的收卷定时以及更换定时等进行调整。另外,更换频率高的第二检查台相对于移动轴配置在最外端,所以,在更换第二检查片时,第一检查台不会成为妨碍。
本发明的液滴排出装置的控制方法,该液滴排出装置具有:边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对工件进行描绘的描绘区域;和设定在从描绘区域向工件的移动方向分离的位置,并进行功能液滴排出头的排出检查的检查区域,在共用的移动轴上搭载有设置工件的设置台以及接受从功能液滴排出头的检查排出的检查台,并且在检查区域配置有对向检查台的检查排出结果进行图像识别的图像识别机构,该共用的移动轴在描绘区域以及检查区域间延伸,该控制方法的特征在于:在即将对工件进行描绘之前,在描绘区域对检查台实施检查排出,然后,在描绘区域对工件进行描绘的期间,使检查台移动至检查区域,实施由图像识别机构进行的检查排出结果的图像识别。
根据该构成,由于在向工件的描绘中实施功能液滴排出头的排出检查(图像识别),所以,能够使用于排出检查的时间充分。因此,能够不影响工件处理的生产节拍也不受时间的限制地实施功能液滴排出头的排出检查。
<双台设置台>
本发明的其他的液滴排出装置,其在描绘区域,边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对工件实施描绘工作,在从述描绘区域向工件的移动方向两外侧分离的两个工件供给/去除区域中,交替地实施工件的供给/去除,在向各工件供给/去除区域的移动方向外侧分离的两个检查区域,交替地实施基于图像识别的功能液滴排出头的排出检查,该液滴排出装置特征在于:具有:设置工件的一对设置台;配设在各设置台的外侧并接受来自功能液滴排出头的检查排出的一对检查台;配设在各检查区域并对检查台的检查排出结果进行图像识别的一对图像识别机构;和移动机构,使一方的设置台在描绘区域以及一方的工件供给/去除区域间自由移动,并且使另一方的设置台在描绘区域以及另一方的工件供给/去除区域间自由移动;使一方的检查台在描绘区域以及一方的检查区域间移动,并且使另一方的检查台在描绘区域以及另一方的检查区域间移动。
该情况下,优选地,该液滴排出装置还具有对功能液滴排出头、一对图像识别机构以及一对移动机构进行控制的控制机构,该控制机构,使一对设置台在描绘区域和各工件供给/去除区域之间交替地移动,并交替地实施描绘工作,并且,使一对检查台在描绘区域和各检查区域之间交替地移动,并交替地实施与描绘工作并行的检查排出以及排出检查。
根据该构成,使一对设置台在描绘区域以及工件供给/去除区域间移动,并交替地实施描绘动作,并且使一对检查台在描绘区域以及检查区域间移动,并交替实施与该描绘动作并行的检查排出以及排出检查。由此,能够交替连续地实施向工件的描绘动作和功能液滴排出头的排出检查。另外,在向一方的检查台的检查排出后,只要使其直接移动到检查区域,就能够在一方的设置台中向工件实施描绘期间,实施基于一方的图像识别机构所进行的排出检查。而且,只要使排出检查的时间充分,即使在连续的另一方的设置台中进行向工件的描绘动作期间,也能够作为排出检查的时间活用。因此,能够缩短相对于向工件的描绘动作的生产节拍,并且使排出检查的时间充分。
另外,优选地,移动机构使一对设置台以及一对检查台在共用的移动轴上移动。
根据该构成,能够使一对设置台以及一对检查台中的移动系统的构造单纯化。此外,移动机构优选使用线性电机。
另外,优选地,控制机构,在描绘区域使各设置台在移动方向上多次往复移动并实施描绘工作,与往复移动的最初的往动动作同步,使检查台从检查区域移动至描绘区域并实施检查排出。
该情况下,优选地,控制机构,在实施了检查排出后,使检查台从描绘区域移动至检查区域并实施排出检查。
通过这些构成,能够不影响描绘动作地实施检查排出,并且,能够进行反映了实际的描绘状况的检查排出。另外,与描绘动作的初期进行检查排出的时间相应地,能够得到足够的排出检查的时间。
而且,优选地,控制机构使排出检查在伴随着检查排出的描绘工作结束前结束。
根据该构成,由于能够将排出检查的检查结果反映到下一次的描绘动作,所以能够提高成品率。
同样,优选地,控制机构使排出检查在伴随着检查排出的描绘工作的下一次的描绘工作结束前结束。
根据该构成,不会影响工件处理(描绘动作)的生产节拍,能够进行需要时间的高精度的排出检查。
另一方面,优选地,该液滴排出装置还具有配置在各工件供给/去除区域并进行工件的供给/去除的一对工件供给/去除机构,控制机构对一对工件供给/去除机构进行控制,对于移动来到各工件供给/去除区域的各设置台,实施工件的供给/去除。
根据该构成,能够连续地进行相对于设置台的工件的供给/去除。即,能够交替连续地进行向工件的描绘动作和工件的供给/去除,能够使工件处理(描绘动作)高效地进行。
另外,优选地,该液滴排出装置还具有配置在一对设置台间并接受来自功能液滴排出头的舍弃排出的单一的冲洗单元,移动机构构成为,能够使冲洗单元在两个工件供给/去除区域间移动。
根据该构成,在上述的排出检查结果为NG的情况下等,即使发生暂时使描绘动作停止的情况,也能够实施从功能液滴排出头的舍弃排出,能够维持功能液滴排出头的排出性能。另外,能够活用冲洗单元,并实施经常在描绘开始时进行的舍弃排出(描绘前冲洗)。
同样,优选地,该液滴排出装置还具有配置在一方的检查台的移动方向外侧并接受来自功能液滴排出头的舍弃排出的单一的冲洗单元,移动机构构成为,能够使冲洗单元在一方的检查区域和描绘区域间移动。
根据该构成,冲洗单元位于工件的移动方向最外端。由此,能够与描绘动作无关地进行冲洗单元的维护。
同样,优选地,该液滴排出装置还具有添加设置在各设置台的移动方向内侧并接受来自功能液滴排出头的舍弃排出的一对冲洗单元,移动机构构成为,能够使各冲洗单元与各设置台一体地移动。
根据该构成,在上述的排出检查结果为NG的情况下等,即使发生暂时使描绘动作停止的情况,也能够实施从功能液滴排出头的舍弃排出,能够维持功能液滴排出头的排出性能。另外,能够活用冲洗单元,并实施经常在描绘开始时进行的舍弃排出(描绘前冲洗)。而且,能够使各冲洗台以及各设置台的移动系统单纯化。此外,冲洗单元可以为搭载在设置台上的形态,也可以为连结的形态。
另外,优选地,该液滴排出装置还具有配设在一对设置台间并对从功能液滴排出头排出的功能液的重量进行测定的单一的重量测定台,移动机构构成为,能够使重量测定台在两个工件供给/去除区域间移动。
根据该构成,在功能液滴排出头的更换(滑架更换)时等需要进行排出功能液的重量测定的情况下,在移动机构上,能够实施重量测定,使生产效率提高。
而且,优选地,该液滴排出装置还具有配设在一方的检查台的移动方向外侧并对从功能液滴排出头排出的功能液的重量进行测定的单一的重量测定台,移动机构构成为,能够使重量测定台在一方的检查区域和描绘区域间移动。
根据该构成,重量测定台位于工件的移动方向最外端。由此,能够与描绘动作无关地进行重量测定台的维护。
附图说明
图1是第一实施方式的液滴排出装置的俯视示意图。
图2是功能液滴排出头的外观立体图。
图3是用于说明第一实施方式的液滴排出装置所进行的一系列的动作的说明图。
图4是第一变型例的液滴排出装置的俯视示意图。
图5是第二变型例的液滴排出装置的俯视示意图。
图6是用于说明第二变型例的液滴排出装置所进行的一系列的动作的说明图。
图7是第二实施方式的液滴排出装置的俯视示意图。
图8是用于说明第二实施方式的液滴排出装置的一系列的动作的说明图。
图9是第一变型例的液滴排出装置的俯视示意图。
图10是第二变型例的液滴排出装置的俯视示意图。
符号说明
1液滴排出装置 2移动机构 8功能液滴排出头
13冲洗单元 14检查台 14a第一检查台
14b第二检查台 15图像识别单元 15a第一图像识别单元
15b第二图像识别单元 16重量测定台 17工件供给/去除机械手
21描绘区域 22主维修区域 23检查区域 W工件
24工件供给/去除区域 32设置台 81副腔 82主腔
S检查片 S1第一检查片 S2第二检查片
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的一个实施方式的液滴排出装置以及其控制方法进行说明。该液滴排出装置被组装入平板显示器的生产线,例如,使用喷墨方式的功能液滴排出头,该功能液滴排出头导入有特殊的墨或发光性的树脂液即功能液,形成成为滤色镜或有机EL装置的各像素的发光元件等,并且与此并行地,实施功能液滴排出头的功能维持/功能恢复(保守)。
<第一实施方式:单台设置台>
如图1所示,液滴排出装置1具有:在描绘时沿成为主扫描方向的X轴方向延伸,使工件W沿X轴方向移动的X轴工作台2;以跨越X轴工作台2的方式架设,且在描绘时成为副扫描方向的Y轴方向上延伸的Y轴工作台3;和自由移动地吊设在Y轴工作台3上,分别搭载有多个(12个)功能液滴排出头8的13个滑架单元4。液滴排出装置1,与X轴工作台2以及Y轴工作台3的驱动同步地,选择性地对功能液滴排出头8进行排出驱动,由此,在工件W上基于预定的描绘图案进行描绘。此外,滑架单元4在各图中仅示出了四个,另外,功能液滴排出头8在各图中对于一个滑架单元4仅示出了一个。
另外,液滴排出装置1具有:对功能液滴排出头8进行维护的维护装置5,其具有吸引单元11、刮拭单元12以及冲洗单元13;和进行功能液滴排出头8的排出检查的排出检查装置6,其具有检查台14以及图像识别单元15(图像识别机构)。吸引单元11以及刮拭单元12配置在后述的维护区域22上,冲洗单元13以及检查台14自由移动地配置在描绘区域21和后述的检查区域23之间,而且,图像识别单元15配置在检查区域23。
而且,液滴排出装置1具有对这些构成装置进行统一控制的控制装置(省略图示),且具有收置这些构成装置的腔7。腔7具有预制形式的清洁棚(clean booth)的形态,其内部进行常时换气,从而将内部气氛调和到一定的温度等。
在X轴工作台2以及Y轴工作台3的交叉区域,设定有对工件W进行描绘处理的描绘区域21,在从描绘区域21向Y轴方向离开的Y轴工作台3的移动区域中,设定有配置有吸引单元11以及刮拭单元12的维护区域22。另外,在从描绘区域21向X轴方向离开的X轴工作台2的一方的移动区域中,设定有配置有上述的排出检查装置6的检查区域23,在另一方的移动区域中,设定有用于对工件W进行供给/去除的工件供给/去除区域24。
X轴工作台2具有:沿X轴方向延伸的一对X轴导轨31(移动轴);搭载在一对X轴导轨31上并对工件W进行吸附设置的设置台32;使设置台32沿X轴导轨31移动的设置台移动机构33;使冲洗单元13沿X轴导轨31移动的冲洗移动机构34;和使检查台14沿X轴导轨31移动的检查台移动机构35。
设置台移动机构33、冲洗移动机构34以及检查台移动机构35由具有与这些机构对应的三个滑块的线性电机构成,设置台32、冲洗单元13以及检查台14构成为能够单独在X轴导轨31上移动。另外,一对X轴导轨31以纵切工件供给/去除区域24、描绘区域21以及检查区域23的方式延伸。此外,在本实施方式中,技术方案所述的移动机构,由设置台移动机构33、冲洗移动机构34以及检查台移动机构35构成。另外,还可以使设置台32以及冲洗单元13通过单个的滑块一体移动(省略图示)。
Y轴工作台3具有:跨过X轴工作台2而在Y轴方向上延伸的一对Y轴导轨41;以架设的方式搭载在一对X轴导轨31上,且分别吊设各滑架单元4的多个桥接板(省略图示);和经由各桥接板使多个滑架单元4沿Y轴导轨41移动的滑架移动机构42。滑架移动机构42由具有与多个滑架单元4(多个桥接板)对应的多个滑块的线性电机构成,构成为能够使各滑架单元4单独移动(还可以使13个滑架单元4一体移动)。另外,一对Y轴导轨41横切描绘区域21地延伸到维护区域22,Y轴工作台3,在描绘时对功能液滴排出头8(滑架单元4)进行副扫描,除此以外,在维护时使滑架单元4面对维护区域22。
各滑架单元4具有排出头单元(省略图示),该排出头单元由R·G·B·C·M·Y6色各两个(合计12个)功能液滴排出头8和将12个功能液滴排出头8按每六个分成一组并对该两组进行支承的排出头支板构成。另外,各滑架单元4具有:能够θ旋转地支承排出头单元的θ旋转机构;和经由θ旋转机构使排出头单元支承在桥接板上的吊设部件(都省略图示)。此外,滑架单元4的个数以及搭载在各滑架单元4上的功能液滴排出头8的个数为任意的。
如图2所示,功能液滴排出头8具有:具有双联式连接针54的功能液导入部51;与功能液导入部51相连的双联式排出头基板52;和与排出头基板52相连且对功能液进行排出的排出头主体53。功能液导入部51接受来自图外的功能液供给装置的功能液的供给。另外,排出头主体53具有由压电式喷墨元件元件等构成的双联式泵部55;和具有形成了多个排出喷嘴57的喷嘴面58的喷嘴板56。形成在喷嘴板56上的多个排出喷嘴57以等间隔并列,将喷嘴列59形成为两列。而且,两列的喷嘴列59相互平行,且位置错开半个喷嘴间距地并列设置。功能液滴排出头8,通过将来自控制装置的驱动波形经由排出头基板52施加在各泵部55(压电元件),从而从各排出喷嘴57排出功能液。此外,在用于对后述的墨点遗漏以及飞行偏曲进行检查的第一检查排出中,以喷嘴列59为单位对功能液进行检查排出,在用于对排出量进行测定的第二检查排出中,边使排出位置错开,边以喷嘴列59为单位进行多次功能液的排出。
配置在维护区域22中的吸引单元11由与多个滑架单元4相同数量的单个吸引单元11a构成。各单个吸引单元11a具有:具有与12个功能液滴排出头8对应的12个排出头罩的罩单元;与罩单元相连的吸引机构;和使罩单元升降的升降机构(都省略图示)。单个吸引单元11a使罩单元在保管用/功能液吸引用的密接位置、冲洗用的分离位置和排出头单元的更换或罩单元的消耗品更换用的更换位置之间分三个阶段升降。
刮拭单元12配置在描绘区域21以及吸引单元11之间,具有:将刮拭片卷绕成卷状的抽出卷轴;将从抽出卷轴被抽出的刮拭片进行收卷的收卷卷轴;和架设在两卷轴间的将刮拭片向功能液滴排出头8推压的推压辊(都省略图示)。刮拭单元12边经由推压辊将刮拭片向功能液滴排出头8推压边使刮拭片移动,进一步使整体沿X轴方向移动,对各滑架单元4的功能液滴排出头8的喷嘴面58进行擦拭。
冲洗单元13相对于设置台32配置在检查区域23侧,其通过冲洗移动机构34相对于X轴导轨31自由滑动地被支承。冲洗单元13具有:接受从功能液滴排出头8排出的功能液的冲洗盒;和对积存在冲洗盒内的功能液进行吸引并将其排出的吸引排出机构(都省略图示)。冲洗单元13,在进行工件W的供给/去除时,接受来自功能液滴排出头8的舍弃排出(冲洗),使功能液滴排出头8的功能液排出稳定。
此外,虽在图示中省略,但在设置台32的X轴方向两端部配置有一对描绘前冲洗单元,从向去往移动以及返回移动的描绘动作过渡的移动中的功能液滴排出头8接受冲洗。
排出检查装置6,如上所述,配置在检查区域23(原始位置),该检查区域23设定在从描绘区域21向X轴方向离开的X轴工作台2的一方的区域中,排出检查装置6由检查台14以及图像识别单元15构成。在进行排出检查时,检查台14,在移动到滑架单元4(功能液滴排出头8)的正下方并接受检查排出后,移动到图像识别单元15的正下方供图像识别使用。
检查台14相对于冲洗单元13配置在检查区域23侧,通过检查台移动机构35被滑动自由地支承在X轴导轨31上。检查台14具有:对卷绕呈卷状的检查片S进行吸附载置的检查工作面61;在检查工作面61上抽出检查片S的抽出机构62;和对检查后的检查片S进行收卷的收卷机构63。检查台14在使由抽出机构62抽出的检查片S吸附在检查工作面61上的状态下,接受来自功能液滴排出头8的检查排出。而且,检查台14,通过收卷机构63对通过附着墨点完全覆盖的检查后的检查片S进行收卷,并且将新的检查片S抽出到检查工作面61。另外,在被抽出到检查工作面61上的检查片S上,设定有用于实施排出不良检查的接受第一检查排出的第一检查排出区域64和用于实施排出量检查的接受第二检查排出的第二检查排出区域65。
图像识别单元15具有:从上方面对检查台14的照相机71;支承照相机71的照相机基台72;以跨过X轴工作台2的方式架设,且自由滑动地将照相机台72支承在Y轴方向上的照相机框架73;和经由照相机基台72使照相机71沿照相机框架73在Y轴方向上移动的照相机移动机构(省略图示)。照相机框架73由配置在X轴工作台2的两侧方的多根支柱74和被支承在支柱74上且沿Y轴方向延伸的一对照相机导向部75构成,整体形成为门型。图像识别单元15边经由照相机基台72使照相机71沿Y轴方向移动,边以每数个点对向检查片S检查排出的附着墨点连续地进行图像识别。此外,照相机71可以设置多台,该情况下,能够缩短图像识别时间。
这里,基于向第一检查排出区域64的第一检查排出结果所进行的排出不良检查和基于向第二检查排出区域65的第二检查排出结果所进行的排出量检查进行说明。排出不良检查是用于对功能液滴排出头8中的各排出喷嘴57的排出不良进行检查的过程,首先,从全部排出喷嘴57使功能液滴向检查片S排出(第一检查排出)。然后,通过图像识别单元15对第一检查排出结果进行图像识别。识别了的图像通过控制装置被进行图像处理,并检查墨点遗漏以及飞行偏曲。在该检查结果中,在轻度NG的情况下,在冲洗单元13进行冲洗从而实现功能恢复,在成为重度的NG的情况下,通过吸引单元11以及刮拭单元12进行功能液吸引以及刮拭从而实现功能恢复。
另一方面,排出量检查是用于对来自各排出喷嘴57的功能液的排出量进行检查的过程,边驱动检查台移动机构35,边通过同一喷嘴列59向检查片S排出数次功能液(第二检查排出)。而且,通过图像识别单元15对第二检查排出结果进行图像识别,经过图像处理根据附着墨点的面积算出各排出喷嘴57的平均的排出量。而且,基于算出的功能液排出量,功能液滴排出头8的驱动电压被校正
这样,由于第一检查排出在比第二检查排出狭窄的区域也能够进行检查排出,所以,第一检查排出区域64在主扫描方向(X轴方向)上被设定得比第二检查排出区域65窄。此外,第二排出检查无需每次向工件W进行描绘都进行,只要定期进行即可。该情况下,仅在进行第二检查排出的情况下,设定第二检查排出区域65,在不进行第二检查排出的情况下,将检查片S整个面设定为第一检查排出区域64(省略图示)。
下面,参照图3,对液滴排出装置1中的一系列动作,以向工件W的描绘以及功能液滴排出头8的排出检查为中心进行说明。此外,这里,作为功能液滴排出头8的排出检查,对仅进行排出不良检查的情况进行说明。将工件W设置在校准状态的设置台32位于工件供给/去除区域24,检查台14位于描绘区域21中的滑架单元4的正下方。使检查台14、冲洗单元13以及设置台32从该状态沿X轴方向(检查区域23侧)移动,首先对检查片S进行第一检查排出。检查台14向检查区域23移动,设置台32向描绘区域21移动。冲洗单元13通过滑架单元4的正下方,设置台32的端部到达滑架单元4的正下方,然后开始向工件W的描绘。
在第一检查排出后的检查台14到达图像识别单元15的正下方后,停止检查台14的移动。接下来,驱动图像识别单元15并对第一检查排出的附着墨点进行图像识别,从而对排出不良进行检查。另一方面,在描绘区域21中,使工件W在主扫描方向(X轴方向)上往复运动,且使滑架单元4适当地在副扫描方向(Y轴方向)上移动,对工件W基于预定的排出图案进行描绘。即,在描绘区域21中,在向工件W实施描绘期间,在检查区域23中,实施以附着墨点作为图像识别的中心的排出不良的检查。
向工件W的描绘结束后,设置台32移动到工件供给/去除区域24,同时,冲洗单元13移动到滑架单元4的正下方。这里,实施新旧工件W的供给/去除,且实施被功给的工件W的校准。与此并行地,从滑架单元4对冲洗单元13进行冲洗,功能液滴排出头8的弯液面被良好维持。而且,其间排出检查结束后的检查台14再次移动到描绘区域21,准备下一次的检查排出。通过重复以上的工序,在对向工件W的描绘期间以及工件W的供给/去除期间进行功能液滴排出头8的排出检查。此外,由于设定为在工件W的描绘期间进行排出检查,所以,在排出检查的结果为NG的情况下,中止工件W的描绘,实施滑架单元4(功能液滴排出头8)的功能恢复和工件W的更换(供给/去除)。
在这样的构成中,设置台32、冲洗单元13以及检查台14构成为,在X轴导轨31上从描绘区域21侧起以该顺序分别能够移动,图像识别单元15配置在检查区域23中。由此,不受时间的制约,能够在描绘区域21中的描绘时以及工件供给/去除区域24中的工件W的供给/去除以及校准时,实施功能液滴排出头8的排出检查。
<第一变型例:单台设置台>
下面,参照图4,对本发明的第一变型例的液滴排出装置1进行说明。此外,为了避免重复的记载,以与第一实施方式不同的部分为主进行说明。在该液滴排出装置1中,除了排出不良检查外,还实施上述的排出量检查。因此,检查台14中的检查片S的消耗极大,作为卷纸需要频繁更换检查片S。因此,从描绘区域21观察,在检查区域23的前方设定有副维修区域25,能够使检查台14移动到该副维修区域25中。而且,在上述的腔7中,通过副腔81覆盖副维修区域25,通过主腔82覆盖其他的部分。由此,能够不使描绘动作停止地进行检查台14中的检查片S更换。另外,伴随着副维修区域25的设定,使X轴导轨31延伸设置到副维修区域25。
主腔82构成为覆盖描绘区域21、检查区域23以及维护区域22,在X轴方向的副腔81侧的侧壁上,设置有:插通X轴导轨31并供检查台14通过的主腔开口83;和对主腔开口83的X轴工作台2以外的部分进行开闭的开闭门84。另外,主腔82构成为能够通过图外的主腔调整机构对内部气氛进行调整。此外,内部气氛的调整是使用配置在主腔82内的各种传感器,对内置在主腔调整机构中的加热器、冷却器、风扇等进行控制。另外,优选,边对主腔82内进行常时换气边进行内部气氛的调整。
副腔81主要是在更换检查台14的检查片S时使用的,构成为对移动到X轴工作台2的端部的检查台14进行收置。副腔81,在主腔82侧的侧壁插通有X轴导轨31,且开有供检查台14通过的副腔开口85。另外,副腔81构成为能够通过图外的副腔调整机构对内部气氛进行调整。此外,内部气氛的调整与主腔82的情况相同。
在本实施方式的液滴排出装置1的动作中,实施用于检查排出不良的第一检查排出和随后的用于检查功能液的排出量的第二检查排出。具体地,实施第一检查排出,接着对同一检查片S实施第二检查排出。而且,第一、第二检查排出后的检查台14到达图像识别单元15的正下方后,使检查台14的移动停止,驱动图像识别单元15并对第一、第二检查排出的附着墨点进行图像识别,检查排出不良,并检查排出量。此外,先进行第一检查排出以及第二检查排出中的哪个都可以。
该情况下,副腔81在进行检查片S的更换时打开开闭门84对移动来的检查台14进行收置,关闭开闭门84后,对内部气氛进行大气置换。而且,操作者在副腔81内更换检查片S后,将副腔81的内部气氛置换成与主腔82的内部分相同的氮气或干燥空气。然后,打开开闭门84,将检查台14移动到主腔82供检查排出。
由此,由于能够在副腔81内进行检查台14的检查片S更换,所以,在该更换操作时,无需使液滴排出装置1停止。另外,因人的操作而产生的大气的搅乱以及尘埃等不会影响主腔82内的描绘区域21中的处理。此外,可以使主腔调整机构以及副腔调整机构作为共用(兼用)的腔调整机构,并可以对与此连接的管道(或配管)进行适当的流路切换。
<第二变型例:单台设置台>
下面,参照图5,对本发明的第二变型例的液滴排出装置1进行说明。该液滴排出装置1中的检查台14由搭载第一检查片S1且接受第一检查排出的第一检查台14a和搭载第二检查片S2并接受第二检查排出的第二检查台14b构成,第一检查台14a以及第二检查台14b经由X轴导轨31能够收置在副腔81中。
另外,检查台移动机构35由使第一检查台14a在X轴导轨31上移动的第一检查台移动机构35a和使第二检查台14b在X轴导轨31上移动的第二检查台移动机构35b构成。即,第一检查台14a以及第二检查台14b构成为通过第一检查台移动机构35a以及第二检查台移动机构35b能够分别沿X轴导轨31单独移动。此外,由于第一检查台14a以及第二检查台14b与上述的检查台14为同一构造,这里省略说明。
该情况下,接受上述的第一检查排出的第一检查排出区域64设在第一检查台14a的第一检查片S1整个面上,接受第二检查排出的第二检查排出区域65设在第二检查台14b的第二检查片S2整个面上。而且,如上所述,第一检查台14a所接受的第一检查排出(排出不良检查),与第二检查台14b所接受的第二检查排出(排出量检查)相比,能够在狭窄的区域内实施,即该情况下,第一检查片S1以及第二检查片S2的更换频率不同,第二检查片S2的更换频率被设定成比第一检查片S1的更换频率高。因此,通过对第一检查片S1以及第二检查片S2的收卷定时以及更换定时进行单独管理,能够节省两检查片S1、S2不至于浪费。
另一方面,图像识别单元15由对第一检查排出结果进行图像识别的第一图像识别单元15a和对第二检查排出结果进行图像识别的第二图像识别单元15b构成。此外,由于第一图像识别单元15a以及第二图像识别单元15b与上述的图像识别单元15为同一构造,所以这里省略说明。第一图像识别单元15a,与第一检查台14a对应地,以跨过X轴工作台2的方式配置在检查区域23的端部。同样,第二图像识别单元15b,与第二检查台14b对应地,以跨过X轴台面2的方式配置在第一图像识别单元15a的副腔81侧。即,第一图像识别单元15a以及第二图像识别单元15b,在X轴工作台2的端部,以该顺序从描绘区域21侧起配置。
如图6所示,在由本实施方式的液滴排出装置1进行的一系列的动作中,独立实施排出不良检查以及排出量检查。具体地,设置有工件W的设置台32位于工件供给/去除区域24,第二检查台14b位于滑架单元4的正下方,第一检查台14a位于设置台32以及第二检查台14b之间。该状态下,使各构成装置32、14a、14b在X轴方向(检查区域23侧)上移动,首先,对第二检查片S2实施第二检查排出。第二检查台14b,在第二检查排出后向检查区域23移动,第一检查台14a向描绘区域21移动并接受第一检查排出。冲洗单元13通过滑架单元4的正下方,并在设置台32的端部到达滑架单元4的正下方后,开始向工件W的描绘。
在第二检查排出后的第二检查台14b到达第二图像识别单元15b的正下方后,使第二检查台14b的移动停止。接下来,驱动第二图像识别单元15b从而对第二检查排出的附着墨点进行图像识别,检查排出量。与其并行地,在第一检查排出后的第一检查台14a到达第一图像识别单元15a的正下方后,使第一检查台14a的移动停止,驱动第一图像识别单元15a并对第一检查排出的附着墨点进行图像识别,检查排出不良。另一方面,在描绘区域21中,使工件W以及滑架单元4相对地进行主扫描以及副扫描,对工件W基于预定的排出图案进行描绘。在向工件W的描绘结束后,使设置台32向工件供给/去除区域24移动,并实施工件W的供给/去除以及工件W的校准。另外,与此并行地,实施向滑架单元4的冲洗单元13的冲洗。而且,使排出检查结束后的第一检查台14a再次向描绘区域21附近移动并成为待机状态。
该情况下,副腔81在第一检查片S1(第二检查片S2)的更换时,打开开闭门84并对移动来的第二检查台14b或第一检查台14a以及第二检查台14b进行收置,关闭开闭门84后,对内部气氛进行大气置换。而且,操作者在副腔81内对第一检查片S1(第二检查片S2)进行更换后,将副腔81的内部气氛置换成与主腔82的内部气氛相同的氮气或干燥空气。然后,打开开闭门84,将第一检查台14a以及第二检查台14b向主腔82移动供检查排出。
由此,由于能够在副腔81内,对第一检查台14a以及第二检查台14b的各第一、第二检查片S1、S2进行更换,所以,在进行第一、第二检查片S1、S2的更换时,无需停止液滴排出装置1。另外,因人的操作发生的大气的搅乱、尘埃等也不会影响主腔82内的描绘区域21的处理。
<第二实施方式:双台设置台>
下面,参照图7至图10,对本发明的第二实施方式的液滴排出装置1进行说明。此外,为了避免重复记载,以与第一实施方式不同的部分为主进行说明。如图7所示,液滴排出装置1具有:一对设置台32;在X轴方向延伸,主要经由一对设置台32使工件W在X轴方向上交替移动的X轴工作台2;以跨过X轴工作台面2的方式架设,且在Y轴方向上延伸的Y轴工作台3;和自由移动地吊设在Y轴工作台面3上,分别搭载多个(12个)功能液滴排出头8的13个滑架单元4。此外,在本实施方式中,技术方案中所说的移动机构由X轴工作台2构成。
另外,液滴排出装置1具有:配置在维护区域22的吸引单元11以及刮拭单元12;搭载在X轴工作台2上的冲洗单元13、重量测定台16以及一对检查台14;配置在各检查区域23a、23b上的一对图像识别单元15;以面对后述的工件供给/去除区域24的方式设置的一对工件供给/去除机械手17(工件供给/去除机构)以及一对校准单元18;对这些构成装置进行统一控制的控制装置;和收置这些构成装置的腔7。此外,Y轴工作台3、各滑架单元4、功能液滴排出头8、吸引单元11、刮拭单元12、冲洗单元13、检查台14和图像识别单元15为与第一实施方式相同的构造,所以省略其说明。
在X轴工作台2以及Y轴工作台3的交叉区域中,设定有对工件W进行描绘动作的描绘区域21,在从描绘区域21向Y轴方向的外侧一侧离开的位置上设定有进行功能液滴排出头8的维护的维护区域22。另外,在从描绘区域21向X轴方向离开的两侧,设定有进行工件W的供给/去除的两个工件供给/去除区域24。而且,在从各工件供给/去除区域24向X轴方向离开的两侧,设定有进行功能液滴排出头8的排出检查的两个检查区域23。
而且,两个工件供给/去除区域24由一侧(图7中上侧)的第一工件供给/去除区域24a以及另一侧(图7中下侧)的第二工件供给/去除区域24b构成。另外,两个检查区域23由一侧(图7中上侧)的第一检查区域23a以及另一侧(图7中下侧)的第二检查区域23b构成。
一对设置台32由第一设置台32a以及第二设置台32b构成,分别搭载在X轴工作台2上。各设置台32a(32b)具有对工件W进行吸附设置的吸附台91和将吸附台91在θ方向上自由旋转地支承的旋转机构92。同样,一对检查台14由第一检查台14a以及第二检查台14b构成。另外,一对图像识别单元15由第一图像识别单元15a以及第二图像识别单元15b构成。而且,一对工件供给/去除机械手17由第一工件供给/去除机械手17a以及第二工件供给/去除机械手17b构成,一对校准单元18由第一校准单元18a以及第二校准单元18b构成。
X轴工作台2具有:一对X轴导轨31;使第一设置台32a沿X轴导轨31移动的第一设置台移动机构33a;使第二设置台32b沿X轴导轨31移动的第二设置台移动机构33b;使冲洗单元13以及重量测定台16一体并沿X轴导轨31移动的共有工作台移动机构36;使第一检查台14a沿X轴导轨31移动的第一检查台移动机构35a;和使第二检查台14b沿X轴导轨31移动的第二检查台移动机构35b。
X轴工作台2使第一设置台32a在描绘区域21以及第一工件供给/去除区域24间自由移动,且使第二设置台32b在描绘区域21以及第二工件供给/去除区域24b间自由移动。另外,X轴工作台2使第一检查台14a在描绘区域21以及第一检查区域23a间自由移动,且使第二检查台14b在描绘区域21以及第二检查区域23b间自由移动。
第一、第二两设置台移动机构33a、33b、共有工作台移动机构36和第一、第二两检查台移动机构35a、35b由与这些机构对应的电机驱动(线性电机)的滑块构成,第一、第二两设置台移动机构33a、33b、共有工作台移动机构36和第一、第二两检查台移动机构35a、35b构成为能够在X轴导轨31上单独移动。另外,一对X轴导轨31以及线性电机的定子(省略图示)遍及第一检查区域23a、第一工件供给/去除区域24a、描绘区域21、第二工件供给/去除区域24b以及第二检查区域23b的范围延伸。即,X轴工作台2能够使第一、第二两设置台32a、32a、冲洗单元13、重量测定台16以及第一、第二两检查台14a、14b在共用的移动轴上单独移动。
冲洗单元13配置在第一设置台32a以及第二设置台32b之间,构成为能够通过X轴工作台2在第一工件供给/去除区域24a以及第二工件供给/去除区域24b间移动。重量测定台16配置在第一设置台32a以及第二设置台32b间,构成为能够通过X轴工作台2在第一工件供给/去除区域24a以及第二工件供给/去除区域24b间移动。各检查台14a、14b相对于各设置台32a、32b配置在X轴方向外侧,接受来自功能液滴排出头8的检查排出。重量测定台16具有多个电子天秤和承接电子天秤的多块承接皿(一起省略图示),对功能液滴排出头8所排出的功能液的重量进行测定。电子天秤,在功能液滴排出头8排出功能液的前后对承接皿的重量进行测定,从排出前后的承接皿的重量的差量能够测定排出的功能液的重量。而且,基于算出的功能液的平均排出量,功能液滴排出头8的驱动电压被校正。此外,冲洗单元13和重量测定台16还可以被一体地单元化。
此外,在上述的腔7中,被分隔成覆盖描绘区域21以及第一、第二工件供给/去除区域24a、24b的主腔82和分别覆盖第一、第二检查区域23a、23b的一对副腔81,可以在各副腔81内,进行冲洗单元13以及重量测定台16的维护(墨吸收件或承接皿的更换等)。这样,不会影响描绘,能够实施冲洗单元13以及重量测定台16的维护。
各工件供给/去除机械手17a、17b从X轴工作台2的外侧面对各工件供给/去除区域24a、24b,对于移动到各工件供给/去除区域24a、24b的各设置台32a、32b,将描绘后的工件W从设置台32去除,且将新工件W供给到各设置台32a、32b。此外,该情况下的工件供给/去除动作包含工件W的更换(输入、输出)和设置的工件W的校准。而且,该工件供给/去除动作在向另一方的设置台32a、32b进行描绘动作期间实施。
下面,参照示意地表示第一设置台32a、第二设置台32b、第一检查台14a、第二检查台14b、冲洗单元13以及重量测定台16的位置关系的图8,对液滴排出装置1中的一系列的动作进行说明。首先,使工件W设置在校准状态的第一设置台32a位于第一工件供给/去除区域24,第一检查台14a位于第一检查区域23a(该图(a))。使第一设置台32a以及第一检查台14a从该状态向描绘区域21移动,首先在第一设置台32a的先行端部到达滑架单元4的正下方(描绘区域21)后,开始对工件W进行第一轨迹(path)(去往移动)的描绘动作(该图(b))。然后,在第一检查台14a到达滑架单元4的正下方后,实施第一检查排出(该图(c))。
第一检查台14a,在结束检查排出后,与第一设置台32a的返回移动同步地向第一图像识别单元15a的正下方移动,并供通过第一图像识别单元15a进行排出检查所用(该图(d))。另一方面,在描绘区域21中,边使工件W在主扫描方向(X轴方向)上往复运动多次,边从功能液滴排出头8向工件W基于预定的排出图案进行描绘动作(该图(d))。即,在描绘动作中的第一轨迹的去往移动(也可以为返回移动)时实施第一检查排出,在成为第二轨迹的返回移动时,第一检查台14向第一检查区域23移动,开始排出检查。在开始排出检查的时刻,描绘动作继续进行,直到该描绘动作结束(实质上,直到第一设置台32a回到第一工件供给/去除区域24a),排出检查才结束。另一方面,其间,在第二工件供给/去除区域24b中,通过第二工件供给/去除机械手17b以及第二校准单元18b,相对于第二设置台32b进行工件W的供给/去除(更换)和新工件W的校准。
第一设置台32a在最终去往移动动作结束后,向第一工件供给/去除区域24a移动。与该第一设置台32a向第一工件供给/去除区域24a的移动同步地,重量测定台16、冲洗单元13、第二设置台32b以及第二检查台14b追随第一设置台32a向第一工件供给/去除区域24a移动(该图(e))。此外,重量测定台16根据需要向滑架单元4的正下方移动,从功能液滴排出头8接受重量测定排出,同样,冲洗单元13也根据需要接受冲洗(该图(e))。
在第一设置台32a、冲洗单元13以及重量测定台16移动到第一工件供给/去除区域24a后,这次,使第二设置台32b以及第二检查台14b向描绘区域21移动。首先,对第二设置台32b的工件W实施第一轨迹(去往移动)的描绘动作(该图(f)),然后,对第二检查台14b实施检查排出(该图(g))。
第二检查台14b在结束检查排出后与第二设置台32b的返回移动同步地向第二图像识别单元15b的正下方移动,供排出检查(该图(h))。另一方面,在描绘区域21中,边使工件W在主扫描方向上往复运动多次,边从功能液滴排出头8向工件W以预定的排出图案进行描绘动作(该图(h))。即,在描绘动作中的第一轨迹的去往移动时实施第一检查排出,在成为第二轨迹的返回移动时,第一检查台14向第一检查区域23移动,开始排出检查。在排出检查开始的时刻,描绘动作继续进行,排出检查直到该描绘动作结束才会结束。另一方面,其间,在第一工件供给/去除区域24a中,通过第一工件供给/去除机械手17a以及第二校准单元18b对第一设置台32a进行工件W的供给/去除(更换)和新工件W的校准。
通过重复以上的工序,交替实施与向工件W进行的描绘动作并行的检查排出以及排出检查。此外,由于在向工件W的描绘动作中进行排出检查,所以,在排出检查的结果为NG的情况下,中止工件W的描绘动作,实施滑架单元4(功能液滴排出头8)的功能恢复和工件W的更换(工件供给/去除)。
另外,在本实施方式中,使得在每次对工件W进行描绘动作时进行检查排出以及排出检查,但也可以在对每数张工件进行描绘动作时进行排出检查以及排出检查。即,例如,在对每两张工件进行描绘动作时实施排出检查的情况下,在通过第一图像识别单元15a实施排出检查期间,使向设置在第一设置台32a以及第二设置台32b上的工件W的描绘动作结束。该情况下,能够进一步确保检查时间,能够实施更精密的排出检查(省略图示)。
通过以上的构成,对于一对设置台32,交替实施描绘动作,且使用一对检查台14,交替实施与描绘动作并行的检查排出以及排出检查,由此,能够交替地连续实施向工件W的描绘动作和功能液滴排出头8的排出检查。另外,在实施向一侧的设置台32b(32a)中的工件W的描绘期间,能够实施基于一侧的图像识别单元15a(15b)的排出检查,因此,能够缩短对于向工件W的描绘动作的生产节拍,且能够使排出检查的时间变得充分。
<第一变型例:双台设置台>
下面,参照图9,对本发明的第一变型例的液滴排出装置1进行说明。此外,为了避免重复的记载,以不同的部分为主进行说明。在该液滴排出装置1中,冲洗单元13以及重量测定台16配置在第一检查台14a或第二检查台14b的移动方向外侧,第一检查台移动机构35a或第二检查台移动机构35b(X轴工作台2),将第一检查台14a或第二检查台14b和冲洗单元13以及重量测定台16作为一体,并使其在描绘区域21以及第一检查区域23a或第二检查区域23b间移动。此外,该情况下的描绘动作、检查排出以及排出检查由于与上述的第二实施方式相同,这里省略其说明。
由此,由于冲洗单元13以及重量测定台16被配置在第一(第二)检查台14a(14b)的外侧,所以,能够在第一(第二)检查区域23a(23b),与描绘动作无关地进行检查片S的更换(维护)以及对积存在冲洗单元13中的功能液进行废液处理(维护)。
<第二变型例:双台设置台>
下面,参照图10,对本发明的第二变型例的液滴排出装置1进行说明。在该液滴排出装置1中,重量测定台16配置在第一检查台14a或第二检查台14b的移动方向外侧,且一对冲洗单元13搭载(或连结)在各设置台32a(32b)的移动方向内侧。该情况下,第一设置台移动机构33a,使第一设置台32a以及第一冲洗单元13a作为一体,另外,第二设置台移动机构33b,使第二设置台32b以及第二冲洗单元13b成为一体,并能够使其移动。此外,该情况下的描绘动作、检查排出以及排出检查也与上述第二实施方式相同,所以这里省略其说明。
由此,重量测定台16由于位于工件W的移动方向最外端,所以,无需停止描绘动作,就能够进行重量测定台16的维护。另外,即使发生暂时使描绘动作停止的情况,也能够实施冲洗,能够维持功能液滴排出头8的排出性能。而且,由于各冲洗单元13a、13b以及各设置台32a、32b构成为一体并能够移动,因此,能够使各冲洗单元13a、13b以及各设置台32a、32b的移动系统单纯化。
Claims (20)
1.一种液滴排出装置,其在描绘区域,边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件实施描绘,
在从所述描绘区域向所述工件的移动方向分离的检查区域,实施所述功能液滴排出头的排出检查,该液滴排出装置的特征在于,具有:
设置所述工件的设置台;
相对于所述设置台配置在所述检查区域侧并接受来自所述功能液滴排出头的舍弃排出的冲洗单元;
相对于所述冲洗单元配置在所述检查区域侧并搭载有接受来自所述功能液滴排出头的检查排出的检查片的检查台;
配置在所述检查区域并对向所述检查片的检查排出结果进行图像识别的图像识别机构;和
使所述设置台、所述冲洗单元以及所述检查台在共用的移动轴上移动的移动机构,该共用的移动轴在所述描绘区域以及所述检查区域间延伸,
所述移动机构构成为,能够使所述检查台相对于所述设置台以及所述冲洗单元单独移动。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,所述移动机构构成为,能够使所述冲洗单元相对于所述设置台以及所述检查台单独移动。
3.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,从所述描绘区域观察,在所述检查区域的前方,设有用于对所述检查台进行维护的副维护区域,
所述移动轴穿过所述检查区域延伸到所述副维护区域,
该液滴排出装置还具有:
覆盖所述描绘区域以及所述检查区域的主腔;和
覆盖所述副维护区域的副腔。
4.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,所述功能液滴排出头的检查包括对所述功能液滴排出头中的各排出喷嘴的排出不良进行检查的排出不良检查和对来自所述各排出喷嘴的功能液的排出量进行检查的排出量检查,
该液滴排出装置还具有对所述功能液滴排出头、所述图像识别机构以及所述移动机构进行控制的控制机构,
所述控制机构对所述检查片实施用于所述排出不良检查的第一检查排出以及用于所述排出量检查的第二检查排出,并且,
实施针对第一检查排出的排出结果的图像识别以及针对第二检查排出的排出结果的图像识别。
5.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,所述功能液滴排出头的检查包括对所述功能液滴排出头中的各排出喷嘴的排出不良进行检查的排出不良检查和对来自所述各排出喷嘴的功能液的排出量进行检查的排出量检查,
所述检查台具有第一检查台和第二检查台,所述第一检查台搭载有接受用于所述排出不良检查的第一检查排出的第一检查片,所述第二检查台搭载有接受用于所述排出量检查的第二检查排出的第二检查片,
所述图像识别机构具有:对向所述第一检查台的第一检查排出结果进行图像识别的第一图像识别单元;和对向所述第二检查台的第二检查排出结果进行图像识别的第二图像识别单元。
6.如权利要求5所述的液滴排出装置,其特征在于,相对于所述第一检查片的更换频率,所述第二检查片的更换频率被设定得较高,
在所述移动轴上,从所述设置台侧起以所述第一检查台以及所述第二检查台的顺序配置,
所述移动机构构成为,能够使所述第一检查台以及所述第二检查台分别移动。
7.一种液滴排出装置的控制方法,该液滴排出装置具有:边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件进行描绘的描绘区域;和设定在从所述描绘区域向所述工件的移动方向分离的位置,并进行所述功能液滴排出头的排出检查的检查区域,
在共用的移动轴上搭载有设置所述工件的设置台以及接受从所述功能液滴排出头的检查排出的检查台,并且在所述检查区域配置有对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的图像识别机构,该共用的移动轴在所述描绘区域以及所述检查区域间延伸,该控制方法的特征在于:
在即将对所述工件进行描绘之前,在所述描绘区域对所述检查台实施所述检查排出,
然后,在所述描绘区域对所述工件进行描绘的期间,使所述检查台移动至所述检查区域,实施由所述图像识别机构进行的所述检查排出结果的图像识别。
8.一种液滴排出装置,其在描绘区域,边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件实施描绘工作,
在从所述描绘区域向所述工件的移动方向两外侧分离的两个工件供给/去除区域中,交替地实施所述工件的供给/去除,
在向所述各工件供给/去除区域的所述移动方向外侧分离的两个检查区域,交替地实施基于图像识别的所述功能液滴排出头的排出检查,该液滴排出装置特征在于:具有:
设置所述工件的一对设置台;
配设在所述各设置台的外侧并接受来自所述功能液滴排出头的检查排出的一对检查台;
配设在所述各检查区域并对所述检查台的检查排出结果进行图像识别的一对图像识别机构;和
移动机构,使一方的所述设置台在所述描绘区域以及一方的所述工件供给/去除区域间自由移动,并且使另一方的所述设置台在所述描绘区域以及另一方的所述工件供给/去除区域间自由移动;使一方的所述检查台在所述描绘区域以及一方的所述检查区域间移动,并且使另一方的所述检查台在所述描绘区域以及另一方的所述检查区域间移动。
9.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,所述移动机构使所述一对设置台以及所述一对检查台在共用的移动轴上移动。
10.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有对所述功能液滴排出头、所述一对图像识别机构以及所述一对移动机构进行控制的控制机构,
所述控制机构,使所述一对设置台在所述描绘区域和所述各工件供给/去除区域之间交替地移动,并交替地实施所述描绘工作,并且,使所述一对检查台在所述描绘区域和所述各检查区域之间交替地移动,并交替地实施与所述描绘工作并行的所述检查排出以及所述排出检查。
11.如权利要求10所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构,在所述描绘区域,使所述各设置台在所述移动方向上多次往复移动并实施所述描绘工作,
与所述往复移动的最初的往动动作同步,使所述检查台从所述检查区域移动至所述描绘区域并实施所述检查排出。
12.如权利要求11所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构,在实施了所述检查排出后,使所述检查台从所述描绘区域移动至所述检查区域并实施所述排出检查。
13.如权利要求12所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构使所述排出检查在伴随着所述检查排出的所述描绘工作结束前结束。
14.如权利要求12所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构使所述排出检查在伴随着所述检查排出的所述描绘工作的下一次的所述描绘工作结束前结束。
15.如权利要求10所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有配置在所述各工件供给/去除区域并进行所述工件的供给/去除的一对工件供给/去除机构,
所述控制机构对所述一对工件供给/去除机构进行控制,对于移动来到所述各工件供给/去除区域的所述各设置台,实施所述工件的供给/去除。
16.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有配置在所述一对设置台间并接受来自所述功能液滴排出头的舍弃排出的单一的冲洗单元,
所述移动机构构成为,能够使所述冲洗单元在所述两个工件供给/去除区域间移动。
17.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有配置在一方的所述检查台的所述移动方向外侧并接受来自所述功能液滴排出头的舍弃排出的单一的冲洗单元,
所述移动机构构成为,能够使所述冲洗单元在一方的所述检查区域和所述描绘区域间移动。
18.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有添加设置在所述各设置台的所述移动方向内侧并接受来自所述功能液滴排出头的舍弃排出的一对冲洗单元,
所述移动机构构成为,能够使所述各冲洗单元与所述各设置台一体地移动。
19.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有配设在所述一对设置台间并对从所述功能液滴排出头排出的功能液的重量进行测定的单一的重量测定台,
所述移动机构构成为,能够使所述重量测定台在所述两个工件供给/去除区域间移动。
20.如权利要求8所述的液滴排出装置,其特征在于,
该液滴排出装置还具有配设在一方的所述检查台的所述移动方向外侧并对从所述功能液滴排出头排出的功能液的重量进行测定的单一的重量测定台,
所述移动机构构成为,能够使所述重量测定台在一方的所述检查区域和所述描绘区域间移动。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP245203/2009 | 2009-10-26 | ||
JP2009245203A JP5428754B2 (ja) | 2009-10-26 | 2009-10-26 | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法 |
JP046143/2010 | 2010-03-03 | ||
JP2010046143A JP2011177679A (ja) | 2010-03-03 | 2010-03-03 | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102069639A true CN102069639A (zh) | 2011-05-25 |
CN102069639B CN102069639B (zh) | 2015-07-01 |
Family
ID=43898071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010523954.2A Active CN102069639B (zh) | 2009-10-26 | 2010-10-26 | 液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8376512B2 (zh) |
KR (1) | KR101696251B1 (zh) |
CN (1) | CN102069639B (zh) |
TW (1) | TW201127500A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104441993A (zh) * | 2013-09-19 | 2015-03-25 | 精工爱普生株式会社 | 图像记录装置 |
CN112138896A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 东京毅力科创株式会社 | 液滴释放装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011177643A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
JP2011177641A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
US11691413B2 (en) * | 2014-06-13 | 2023-07-04 | Electronics For Imaging, Inc. | Integration of a line-scan camera on a single pass inkjet printer |
US10513110B2 (en) * | 2014-06-13 | 2019-12-24 | Electronics For Imaging, Inc. | Integration of a line-scan camera on a single pass inkjet printer |
JP6338507B2 (ja) * | 2014-10-16 | 2018-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
EP3434488A1 (en) * | 2015-10-12 | 2019-01-30 | Agfa Nv | A moving gantry flatbed table inkjet printer |
US11468554B2 (en) | 2019-10-18 | 2022-10-11 | Electronics For Imaging, Inc. | Assessing printer quality by assigning quality scores to images |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005297475A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
US20060050102A1 (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-09 | Kenji Kojima | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
CN101157302A (zh) * | 2006-09-29 | 2008-04-09 | 兄弟工业株式会社 | 液体喷射装置 |
US20080088662A1 (en) * | 2006-10-17 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
CN101352960A (zh) * | 2007-07-23 | 2009-01-28 | 精工爱普生株式会社 | 液滴喷出方法、及液滴喷出装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004098400A (ja) | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、デバイスの製造方法、及び電子機器 |
JP2008155113A (ja) | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、及びデバイスの製造方法 |
JP2008225248A (ja) | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
JP2008238143A (ja) | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド交換方法 |
JP2009006212A (ja) | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 |
-
2010
- 2010-09-16 US US12/883,452 patent/US8376512B2/en active Active
- 2010-10-21 KR KR1020100102751A patent/KR101696251B1/ko active IP Right Grant
- 2010-10-21 TW TW099135951A patent/TW201127500A/zh unknown
- 2010-10-26 CN CN201010523954.2A patent/CN102069639B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005297475A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
US20060050102A1 (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-09 | Kenji Kojima | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment |
CN101157302A (zh) * | 2006-09-29 | 2008-04-09 | 兄弟工业株式会社 | 液体喷射装置 |
US20080088662A1 (en) * | 2006-10-17 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
CN101352960A (zh) * | 2007-07-23 | 2009-01-28 | 精工爱普生株式会社 | 液滴喷出方法、及液滴喷出装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104441993A (zh) * | 2013-09-19 | 2015-03-25 | 精工爱普生株式会社 | 图像记录装置 |
CN104441993B (zh) * | 2013-09-19 | 2017-06-06 | 精工爱普生株式会社 | 图像记录装置 |
CN112138896A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 东京毅力科创株式会社 | 液滴释放装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201127500A (en) | 2011-08-16 |
CN102069639B (zh) | 2015-07-01 |
KR20110046294A (ko) | 2011-05-04 |
KR101696251B1 (ko) | 2017-01-13 |
US20110096119A1 (en) | 2011-04-28 |
US8376512B2 (en) | 2013-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102069639A (zh) | 液滴排出装置以及液滴排出装置的控制方法 | |
DE102016205372A1 (de) | Systemarchitektur zur druckkopfreinigung unter verwendung von mobilen wartungswagen | |
KR100725824B1 (ko) | 도포장치 | |
CN101351276A (zh) | 液滴涂布装置 | |
CN101273448A (zh) | 工件存放装置 | |
CN102300712A (zh) | 丝网印刷设备和丝网印刷方法 | |
EP3253581A1 (de) | Single-pass-tintenstrahldrucker | |
CN102189057A (zh) | 液滴排出装置 | |
DE102015203423A1 (de) | Fördereinrichtung mit einem endlosen Lastenträger | |
CN102189061B (zh) | 液滴排出装置 | |
JP2010164776A (ja) | 液滴噴射装置及び物品の製造方法 | |
EP3844803B1 (de) | Inspektion beim übertragen elektronischer bauteile von einem ersten zu einem zweiten träger | |
EP3261965B1 (de) | Vorrichtung zum bearbeiten eines substrates | |
US8555807B2 (en) | Liquid droplet discharging apparatus | |
DE102018006771B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Übertragen elektronischer Bauteile von einem ersten zu einem zweiten Träger | |
JP5428754B2 (ja) | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法 | |
JP2011177679A (ja) | 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法 | |
CN114096420B (zh) | 打印板状打印介质的打印机、打印机的清洁装置和维护打印机的方法 | |
JP6193251B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
JPH05193105A (ja) | スクリーン印刷機 | |
EP1985559A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen von Trennmitteln auf Flachglaselemente | |
CN104070852A (zh) | 记录装置 | |
KR101696195B1 (ko) | 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP3881841B2 (ja) | セラミック積層体の製造装置 | |
KR101827364B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20160602 Address after: Tokyo, Japan, Japan Patentee after: Tokyo Electron Limited Address before: Tokyo, Japan, Japan Patentee before: Seiko Epson Corp. |