CN101352960A - 液滴喷出方法、及液滴喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供液滴喷出方法、及液滴喷出装置，其实施用于正确地测定喷出重量的喷出重量测定工序，并且，抑制实施喷出重量测定工序而导致的朝向描绘对象物喷出液状体的描绘喷出工序中止的时间的增加，抑制利用液滴喷出的描绘所需的时间的增加。液滴喷出方法包括：描绘喷出工序，其从液滴喷出头喷绘液状体，并且，通过使作为使液状体着附的对象的基材、和液滴喷出头相对移动，在基材上配置液状体；材料供给去除工序，其用于对具备液滴喷出头的液滴喷出装置实施基材的材料供给去除；重量测定喷出工序，其实施用于实施从该液滴喷出头喷出的液状体的重量测定的重量测定喷出，在实施材料供给去除工序的期间，大致并行而实施重量测定喷出工序。

Description

液滴喷出方法、及液滴喷出装置

技术领域

本发明涉及使用了将液状体作为液滴喷出的液滴喷出头的液滴喷出方法、及具备液滴喷出头的液滴喷出装置。

背景技术

以往开始知道具有将液状体作为液滴喷出的液滴喷出头，且通过将液状体的液滴喷出而使其着附于描绘对象物上的任意的位置，在描绘对象物的任意的位置配置液状体的液滴喷出装置。通过使用这样的液滴喷出装置，能够将彩色液晶装置的滤色片膜等之类的含有功能膜的材料的液态材料以任意的量精度良好地涂敷于任意的位置。通过干燥涂敷的液态材料，能够形成任意的厚度及形状的功能膜。

从液滴喷出头喷出的液状体的一次喷出的喷出量根据该液状体的粘度等而变动。然而，供给于液滴喷出头的液状体由于制造批号的差异或能够供给地贮存于液滴喷出头的状态下的经时变化等，可能未必一定维持恒定的特性。

在专利文献1中，公开了通过正确测定实际的喷出重量，根据该测定值，调节喷出量，使其成为正确的值，从而能够实施正确的液滴喷出的液滴喷出系统、液滴喷出头的喷出量测定方法、及液滴喷出头的喷出量适当化方法。

【专利文献1】特开2004-209429号公报

然而，需要实施用于正确测定喷出重量的喷出重量测定工序，在喷出重量测定工序期间，向描绘对象物喷出液状体的描绘喷出工序中止，因此，存在用于利用液滴喷出的描绘所需的时间增加的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而做成的，能够通过以下的方式或适用例来实现。

[适用例1]本适用例的液滴喷出方法，其特征在于，包括：描绘喷出工序，其从液滴喷出头喷绘液状体，并且，通过使作为使所述液状体着附的对象的基材、和所述液滴喷出头相对移动，在所述基材上配置所述液状体；材料供给去除工序，其用于对具备所述液滴喷出头的液滴喷出装置实施所述基材的材料供给去除；重量测定工序，其包括所述液滴喷出头实施用于实施从该液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出的重量测定喷出工序，并测定重量测定喷出的所述液状体的重量，在实施所述材料供给去除工序的期间，大致并行而实施所述重量测定喷出工序。

根据该液滴喷出方法可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除工序的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的重量测定喷出工序。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施重量测定喷出工序，不重新产生用于重量测定喷出工序的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。

还有，材料供给去除工序除了实际上卸载已处理的基材，或实际上安装接下来要处理的基材的实际上实施材料供给去除的工序之外，还包括安装的基材的对位工序、或为了材料供给去除，使用于载置基材的载物台移动的工序等。

[适用例2]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选还包括：丢弃喷出工序，其使所述液滴喷出头实施用于维持所述液滴喷出头的状态的丢弃喷出；喷出检查工序，其包括所述液滴喷出头实施用于检测所述液滴喷出头的喷出状态的检查喷出的检查喷出工序、和获得检查喷出而着附的液状体的状态的信息的状态信息获得工序，并检查所述液滴喷出头的喷出状态，在实施所述材料供给去除工序的期间，实施所述丢弃喷出工序及所述检查喷出工序。

根据该液滴喷出方法可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除工序的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的检查喷出工序。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施检查喷出，不重新产生用于检查喷出工序的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。另外，若在材料供给去除工序的期间，液滴喷出头中止，则可能导致发生喷出口的干燥等不妥善情况。通过在材料供给去除工序期间实施丢弃喷出工序，能够抑制喷出口的干燥等，能够维持液滴喷出头的适当的状态。

[适用例3]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选在具有多个所述液滴喷出头的组中包含的一台所述液滴喷出头实施所述重量测定喷出，包含于该组的进行所述重量测定喷出的所述液滴喷出头以外的所述液滴喷出头并行于包含于所述组的一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出，实施所述丢弃喷出。

根据该液滴喷出方法可知，在一组液滴喷出头中的一个液滴喷出头实施重量测定喷出的期间，其他液滴喷出头实施丢弃喷出，由此抑制喷出口的干燥等，能够维持液滴喷出头的适当的状态。

[适用例4]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选将所述状态信息获得工序、和所述重量测定喷出工序相互错开实施各自的工序的时刻而实施。

在重量测定喷出工序中，需要使液滴喷出头、和接受喷出的液状体的装置对置。作为状态信息获得工序中，需要使状态信息获得工序和测定对象对置。若将液滴喷出头、接受液状体的装置、状态信息获得装置、和测定对象配置为能够同时实施两个工序的状态，则限制各装置分别配置的位置的位置关系，因此，用于喷出液状体的装置变得大型的可能性变高。

根据该液滴喷出方法可知，通过错开实施重量测定喷出工序、和状态信息获得工序的时间，不需要以能够同时实施两个工序的方式配置各装置，因此，保持各装置的配置的自由度，故能够抑制用于喷出液滴的装置变得大型化的情况。

另外，也可以使液滴喷出头、接受液状体的装置、状态信息获得装置、和测定对象的任一个一体地移动，能够削减移动用装置。

[适用例5]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选大致并行于所述状态信息获得工序，实施所述重量测定喷出工序。

根据该液滴喷出方法可知，在实施重量测定喷出工序、和状态信息获得工序的任一方的期间，能够实施另一方。由此，实施重量测定喷出工序所需的时间、和实施状态信息获得工序所需的时间的任一方几乎不对利用液滴喷出的描绘所需的时间产生影响，能够抑制利用液滴喷出的描绘所需的时间的增加。

[适用例6]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于基准值的差异超过规定值的情况下，实施确认检查。

根据该液滴喷出方法可知，通过确认检查，能够验证重量测定工序中的测定结果。通过验证测定结果，能够抑制由于临时发生的喷出量的变动被测定出，从而导致对应于该临时的变动，实施无用的应对处置的情况。

[适用例7]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选所述确认检查为所述重量测定工序。

根据该液滴喷出方法可知，临时发生的喷出量的变动在再次实施的重量测定中被测定出的可能性也小，因此，通过实施再次重量测定，能够验证重量测定工序中的测定结果。

[适用例8]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选所述确认检查为所述喷出检查工序。

根据该液滴喷出方法可知，通过实施喷出检查工序，验证包括喷出不良等的喷出状态，能够验证成为喷出重量的变动的要因的喷出状态的变动的有无。另外，能够验证成为喷出重量的变动的要因的喷出状态的变动的种类。作为喷出状态的变动的种类，例如，可以举出喷出口的堵塞引起的喷出不良(喷不出)或喷出量过多或喷出量过少等。

[适用例9]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于基准值的差异超过第一值，并且为第二值以下的情况下，实施所述液滴喷出头中的喷出条件的修正。

根据该液滴喷出方法可知，仅通过实施喷出条件的修正，就能够消除喷出重量的变动。由于能够在短时间内实施喷出条件的修正，因此，与为了消除喷出重量的变动而使用其他方法的情况相比，能够缩短用于应对喷出重量的变动的时间。第一值例如为喷出重量的容许误差，第二值例如为能够通过喷出条件改变的喷出重量的可变量。

[适用例10]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选所述液滴喷出头的驱动源为压电元件，所述喷出条件之一是向所述液滴喷出头施加的驱动电压，所述修正包括驱动电压值的修正或驱动电压波形的修正。

根据液滴喷出方法可知，通过调节施加于液滴喷出头的驱动电压或驱动电压波形，能够修正喷出重量的变动。将压电元件作为驱动源的液滴喷出头通过选择适当的驱动电压或驱动电压波形来实现喷出量的设定值，因此，通过调节驱动电压或驱动电压波形，能够修正喷出重量的变动。

[适用例11]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选在实施一次所述材料供给去除工序的期间，实施利用一台所述液滴喷出头的所述重量测定喷出工序。

在用多个液滴喷出头实施重量测定喷出工序的情况下，重量测定喷出工序所需的时间的总计增加，因此，该时间的总计超过材料供给去除工序所需的时间的可能性增加。超过材料供给去除工序所需的时间的时间成为用于描绘的作业时间的增加要因。根据该液滴喷出方法可知，在一次材料供给去除工序期间实施重量测定喷出工序的液滴喷出头为一台，重量测定喷出工序所需的时间最短，因此，能够使重量测定喷出工序所需的时间成为用于描绘的作业时间的增大要因的可能性最小。

[适用例12]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选规定包含多个所述液滴喷出头的头组，所述液滴喷出方法包括：头组重量测定工序，其使在所述头组中包含的所有的所述液滴喷出头分别依次实施一次所述重量测定喷出工序，并实施各自的所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定；重量测定中止工序，其在不并行实施所述重量测定喷出工序的情况下，实施规定的次数的所述材料供给去除工序。

根据该液滴喷出方法可知，通过设置重量测定中止工序，能够抑制重量测定工序所需的能量。重量测定工序只要隔着一定的起动时间来实施就能够发挥充分的验证功能。例如，将多个液滴喷出头作为一组，对该组的各液滴喷出头，实施各一次的重量测定工序，在规定的起动时间后，对于该组的各液滴喷出头，实施各一次的重量测定工序，即使是这样的方法，也能够发挥验证效果。

[适用例13]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选根据所述重量测定喷出工序的实施状态，发出收容通过所述重量测定喷出喷出的所述液状体的重量测定接受器的更换指示。

根据该液滴喷出方法可知，能够依照重量测定喷出工序的实施状态，掌握着附于重量测定接受器而蓄积的液状体的量，因此，能够依照该蓄积的液状体的量，效率良好地实施重量测定接受器的更换。还有，每次重量测定喷出工序时清空重量测定接受器导致每一次都需要更换时间，从而不是有效的。另外，在使用具有不需要将重量测定接受器清空的程度的容量的重量测定接受器的情况下，与重量测定接受器或具备该重量测定接受器的重量测定单元等使用需要将重量测定接受器清空的大小的重量测定接受器的情况相比变大，用于喷出液状体的装置变得大型。从而，重量测定接受器形成为需要适当清空的程度的大小是有效的。

[适用例14]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选累计所述重量测定喷出工序中测定的所述重量测定喷出的喷出次数，在该喷出次数的累计超过规定的数值的时刻，发出所述重量测定接受器的更换指示。

根据该液滴喷出方法可知，根据在重量测定喷出工序中喷出的喷出次数的累计，指示重量测定接受器的更换。在重量测定喷出工序中喷出的液状体的液滴除了喷出不良(不喷出)的情况之外，都着附于重量测定接受器。因此，着附于重量测定接受器的液状体的液滴的数量与在重量测定喷出工序中喷出的喷出次数大致相等。通过在重量测定喷出工序中喷出的喷出次数的累计，指示重量测定接受器的更换，由此能够有效地实施重量测定接受器的更换。还有，重量测定接受器内的液状体的溶剂蒸发，因此，在重量测定喷出工序中喷出的喷出次数的累计优选换算为喷出的喷出次数的液状体中包含的溶质的重量的累计来使用。

[适用例15]在上述适用例的液滴喷出方法中，优选累计所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量，在该重量的累计超过规定的数值的时刻，发出所述重量测定接受器的更换指示。

根据该液滴喷出方法可知，通过在重量测定工序中测定的重量的累计，指示重量测定接受器的更换。在重量测定工序中测定的重量的累计是在重量测定接受器中累计的液状体的重量。通过在重量测定工序中测定的重量的累计，指示重量测定接受器的更换，由此能够有效地实施重量测定接受器的更换。还有，重量测定接受器内的液状体的溶剂蒸发，因此，在重量测定喷出工序中喷出的喷出次数的累计优选换算为喷出的喷出次数的液状体中包含的溶质的重量的累计来使用。

[适用例16]在本适用例的液滴喷出装置，其特征在于，具备：液滴喷出头，其喷出液状体；载物台，其用于载置作为使喷出的所述液状体着附的对象的基材；载物台移动机构，其使所述液滴喷出头和所述载物台在主扫描方向上相对移动；重量测定单元，其测定从所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量；重量测定单元移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在主扫描方向上相对移动；重量测定单元副移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动；重量测定控制部，其控制所述液滴喷出头、所述重量测定单元、所述重量测定单元移动机构、和所述重量测定单元副移动机构，所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，以使所述液滴喷出头位于面向所述重量测定单元的位置的方式，使所述液滴喷出头和所述重量测定单元相对移动，在包含实施对载物台的所述基材的材料供给去除的时间、及为了该材料供给去除而所述载物台利用所述载物台移动机构相对移动的时间的材料供给去除时间的期间，通过控制所述液滴喷出头，实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出。

根据该液滴喷出装置可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除工序的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的重量测定喷出。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施重量测定喷出，不重新产生用于重量测定喷出的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。

还有，材料供给去除时间除了实际上卸载已处理的基材，或实际上安装接下来要处理的基材的实际上实施材料供给去除的时间、或为了材料供给去除，使用于载置基材的载物台移动的时间之外，还包括安装的基材的对位的时间等。

[适用例17]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选还具备：丢弃喷出接受器，其接受通过为了维持所述液滴喷出头的状态而所述液滴喷出头实施的丢弃喷出喷出的所述液状体；喷出检查装置，其包含：使通过为了检查所述液滴喷出头的喷出状态而实施于所述液滴喷出头的检查喷出喷出的所述液状体着附的检查喷出着附片、和获得着附于该检查喷出着附片上的所述液状体的状态信息的状态观测装置；喷出检查控制部，其控制所述液滴喷出头和所述状态观测装置，所述重量测定单元移动机构使所述液滴喷出头、和所述喷出接受器及所述检查喷出着附片在所述主扫描方向上相对移动，所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，以使所述液滴喷出头位于面向所述丢弃喷出接受器或所述检查喷出着附片的位置的方式，使所述液滴喷出头、和所述喷出接受器及所述检查喷出着附片相对移动，通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置的方式，使所述状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动，所述喷出检查控制部在所述材料供给去除时间的期间，以实施所述丢弃喷出及所述检查喷出的方式控制所述液滴喷出头，所述喷出检查控制部又以获得着附于所述状态观测装置面向的所述检查喷出着附片上的所述液状体的状态信息的方式，控制所述状态观测装置。

根据该液滴喷出装置可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除工序的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的检查喷出。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施检查喷出，不重新产生用于检查喷出的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。另外，若在材料供给去除时间的期间，液滴喷出头中止，则可能导致发生喷出口的干燥等不妥善情况。通过在材料供给去除时间的期间实施丢弃喷出，能够抑制喷出口的干燥等，能够维持液滴喷出头的适当的状态。

[适用例18]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述重量测定控制部以使在具有多个所述液滴喷出头的组中包含的一台所述液滴喷出头实施所述重量测定喷出的方式进行控制，以使在该组中包含的进行所述重量测定喷出的所述液滴喷出头以外的所述液滴喷出头并行于利用所述组中包含的一台所述液滴喷出头的所述重量测定喷出，实施所述丢弃喷出的方式进行控制。

根据该液滴喷出装置可知，在一组液滴喷出头中的一个液滴喷出头实施重量测定喷出的期间，其他液滴喷出头实施丢弃喷出，由此抑制喷出口的干燥等，能够维持液滴喷出头的适当的状态。

[适用例19]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述喷出检查控制部及所述重量测定控制部以将分别实施利用所述状态观测装置的所述状态信息的获得、和利用所述液滴喷出头的所述重量测定喷出的实施的时刻相互错开而实施的方式，控制所述状态观测装置及所述液滴喷出头。

在实施重量测定喷出的情况下，需要使液滴喷出头和重量测定单元对置。在获得状态信息时，需要使状态观测装置和检查喷出着附片对置。为了将液滴喷出头、重量测定单元、状态观测装置、和检查喷出着附片形成为能够同时实施重量测定喷出和状态信息的结构，分别配置各装置的位置的位置关系被限制，因此，液滴喷出装置变得大型的可能性变高。

根据该液滴喷出装置可知，通过错开实施重量测定喷出和状态信息的获得的时间，不需要能够同时实施重量测定喷出和状态信息地配置各装置，从而保持各装置的配置的自由度，因此，能够抑制液滴喷出装置变得大型的情况。

另外，也能够使液滴喷出头、重量测定单元、状态观测装置、和检查喷出着附片一体地移动，因此，能够削减移动用装置。

[适用例20]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选还具备：检查单元移动机构，其使所述液滴喷出头或所述状态观测装置、和所述检查喷出着附片在所述主扫描方向上相对移动，所述喷出检查控制部控制所述检查单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，以使所述液滴喷出头位于面向所述检查喷出着附片的位置的方式，使所述液滴喷出头和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置的方式，使状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动，所述喷出检查控制部及所述重量测定控制部以大致并行实施利用所述状态观测装置的所述状态信息的获得、和利用所述液滴喷出头的所述重量测定喷出的实施的方式，控制所述状态观测装置及所述液滴喷出头。

根据该液滴喷出装置可知，通过使用检查单元移动机构及重量测定单元移动机构，能够分别独立实施状态观测装置和检查喷出着附片的主扫描方向的相对移动、和液滴喷出头和重量测定单元的主扫描方向的相对移动。即，能够并行实施使液滴喷出头和重量测定单元对置的操作、和使状态观测装置和检查喷出着附片对置的操作。由此，能够分别独立实施重量测定喷出和状态信息获得，在实施重量测定喷出和状态信息获得的任一方的期间，也能够实施另一方。因此，用于实施重量测定喷出所需的时间、和用于实施状态信息获得所需的时间的任一方对利用液滴喷出的描绘所需的时间几乎不产生影响，能够抑制利用液滴喷出的描绘所需的时间的增加。

[适用例21]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选还具备：检查单元副移动机构，其使所述液滴喷出头或所述状态观测装置、和所述检查喷出着附片在所述副扫描方向上相对移动，所述喷出检查控制部通过控制所述检查单元移动机构及所述检查单元副移动机构，以使所述液滴喷出头位于面向所述丢弃喷出接受器或所述检查喷出着附片的位置的方式，使所述液滴喷出头和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置的方式，使所述状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动。

根据该液滴喷出装置可知，通过使用检查单元副移动机构及重量测定单元副移动机构，能够分别独立实施状态观测装置和检查喷出着附片的副扫描方向上的相对移动、和液滴喷出头和重量测定单元的副扫描方向上的相对移动。由此，与仅使用重量测定单元副移动机构的情况相比，对于状态观测装置和检查喷出着附片的副扫描方向上的相对移动、和液滴喷出头和重量测定单元的副扫描方向上的相对移动两者，能够更容易地分别独立实施重量测定喷出和状态信息获得。

[适用例22]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选在利用所述重量测定单元测定从所述液滴喷出头所述重量测定喷出的所述液状体的重量得到的测定值的、相对于基准值的差异超过规定值的情况下，实施确认检查。

根据该液滴喷出装置可知，通过确认检查，能够验证重量测定的测定结果。通过验证测定结果，能够抑制由于临时发生的喷出量的变动在重量测定中被测定出，从而导致对应于该临时的变动，实施无用的应对处置的情况。

[适用例23]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述确认检查是利用所述重量测定单元的重量测定。

根据该液滴喷出装置可知，临时发生的喷出量的变动在再次实施的重量测定中被测定出的可能性也小，因此，通过实施再次重量测定，能够验证重量测定中的测定结果。

[适用例24]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述确认检查是利用所述喷出检查装置的所述液滴喷出头的喷出状态的检查。

根据该液滴喷出装置可知，通过实施喷出检查，验证包括喷出不良等的喷出状态，能够验证成为喷出重量的变动的要因的喷出状态的变动的有无。另外，能够验证成为喷出重量的变动的要因的喷出状态的变动的种类。作为喷出状态的变动的种类，例如，可以举出喷出口的堵塞引起的喷出不良(不喷出)或喷出量过多或喷出量过少等。

[适用例25]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选还具备：喷出条件设定部，其设定所述液滴喷出头的喷出条件，在利用所述重量测定单元测定从所述液滴喷出头所述重量测定喷出的所述液状体的重量得到的测定值的、相对于基准值的差异超过第一值，并且为第二值以下的情况下，所述喷出条件设定部实施所述液滴喷出头中的喷出条件的修正。

根据该液滴喷出装置可知，仅通过使用喷出条件设定部，实施喷出条件的修正，就能够消除喷出重量的变动。由于能够在短时间内实施基于喷出条件设定部的喷出条件的修正，因此，与为了消除喷出重量的变动而使用其他方法的情况相比，能够缩短用于应对喷出重量的变动的时间。第一值例如为喷出重量的容许误差，第二值例如为能够通过喷出条件改变的喷出重量的可变量。

[适用例26]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述喷出条件之一为施加于所述液滴喷出头的驱动电压，所述修正包括驱动电压值的修正或驱动电压波形的修正。

根据该液滴喷出装置可知，通过调节施加于液滴喷出头的驱动电压或驱动电压波形，能够修正喷出重量的变动。将压电元件作为驱动源的液滴喷出头通过选择适当的驱动电压或驱动电压波形来实现喷出量的设定值，因此，通过调节驱动电压或驱动电压波形，能够修正喷出重量的变动。

[适用例27]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选在一次所述材料供给去除时间的期间，实施利用一台所述液滴喷出头的所述重量测定喷出。

在用多个液滴喷出头实施重量测定喷出工序的情况下，重量测定喷出工序所需的时间的总计增加，因此，该时间的总计超过材料供给去除时间的可能性增加。超过材料供给去除时间的时间成为用于描绘的作业时间的增加要因。根据该液滴喷出装置可知，在一次材料供给去除工序期间实施重量测定喷出工序的液滴喷出头为一台，重量测定喷出所需的时间最短，因此，能够使重量测定喷出所需的时间成为用于描绘的作业时间的增大要因的可能性最小。

[适用例28]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选预先规定包含多个所述液滴喷出头的头组，所述重量测定控制部以伴随多次所述材料供给去除的实施，使包含于所述头组的所有的所述液滴喷出头依次实施各自一次的所述重量测定喷出，实施各自的所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定的方式，控制所述重量测定单元移动机构及所述液滴喷出头，并且，以在伴随并行于第一液滴喷出头的所述重量测定喷出而进行的实施的所述材料供给去除、和然后伴随并行于该第一液滴喷出头的所述重量测定喷出而进行的实施的所述材料供给去除的期间，实施多次不伴随并行于所述重量测定喷出而进行的实施的所述材料供给去除的方式，控制所述重量测定单元移动机构及所述液滴喷出头。

根据该液滴喷出装置可知，实施不伴随并行实施重量测定喷出的情况的材料供给去除。即，能够减少实施朝向基材喷出液状体的作业的一定时间中的重量测定的次数。由此，能够抑制重量测定所需的能量。重量测定只要隔着一定的起动时间来实施就能够发挥充分的验证功能。例如，将多个液滴喷出头作为一组，对该组的各液滴喷出头，实施各一次的重量测定，在规定的起动时间后，对于该组的各液滴喷出头，实施各一次的重量测定，即使是这样的方法，也能够发挥验证效果。

[适用例29]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选还具备：重量测定接受器，其收容通过所述重量测定喷出喷出的所述液状体；接受器管理部，其算出所述重量测定接受器的更换时期，发出更换指示信息，所述接受器管理部根据所述重量测定喷出的实施状态，算出所述更换时期。

根据该液滴喷出装置可知，接受器管理部依照重量测定喷出的实施状态，算出重量测定接受器的更换时期，依次该更换时期，发出更换指示信息。能够依照重量测定喷出的实施状态，掌握着附于重量测定接受器而蓄积的液状体的量，因此，能够依照接受器管理部的更换指示信息，有效地实施重量测定接受器的更换。还有，每次实施重量测定喷出时清空重量测定接受器导致每一次都需要更换时间，从而不是有效的。另外，在使用具有不需要将重量测定接受器清空的程度的容量的重量测定接受器的情况下，与重量测定接受器或具备该重量测定接受器的重量测定单元等使用需要将重量测定接受器清空的大小的重量测定接受器的情况相比，液滴喷出装置变大。从而，重量测定接受器形成为需要适当清空的程度的大小是有效的。

[适用例30]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述接受器管理部累计所述重量测定喷出的喷出次数，将该喷出次数的累计超过规定的数值的时刻作为所述更换时期。

根据该液滴喷出装置可知，根据在重量测定喷出中喷出的喷出次数的累计，发出指示重量测定接受器的更换的更换指示信息。在重量测定喷出中喷出的液状体的液滴除了喷出不良(不喷出)的情况之外，都着附于重量测定接受器。因此，着附于重量测定接受器的液状体的液滴的数量与在重量测定喷出中喷出的喷出次数大致相等。通过在重量测定喷出中喷出的喷出次数的累计，指示重量测定接受器的更换，由此能够有效地实施重量测定接受器的更换。还有，重量测定接受器内的液状体的溶剂蒸发，因此，在重量测定喷出中喷出的喷出次数的累计优选换算为喷出的喷出次数的液状体中包含的溶质的重量的累计来使用。

[适用例31]在上述适用例的液滴喷出装置中，优选所述接受器管理部累计在所述重量测定中测定的所述液状体的重量，将该重量的累计超过规定的数值的时刻作为所述更换时期。

根据该液滴喷出装置可知，通过在重量测定中测定的重量的累计，指示重量测定接受器的更换。在重量测定中测定的重量的累计是在重量测定接受器中累计的液状体的重量。通过在重量测定中测定的重量的累计，指示重量测定接受器的更换，由此能够有效地实施重量测定接受器的更换。还有，重量测定接受器内的液状体的溶剂蒸发，因此，在重量测定喷出中喷出的喷出次数的累计优选换算为喷出的喷出次数的液状体中包含的溶质的重量的累计来使用。

[适用例32]在本适用例的液滴喷出装置的喷出重量测定方法中，其从所述液滴喷出头喷出液状体，并且，通过使作为使所述液状体着附的基材、和所述液滴喷出头相对移动，在所述基材上配置所述液状体，其特征在于，包括：重量测定喷出工序，其使所述液滴喷出头实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出，在对所述液滴喷出装置实施用于实施所述基材的材料供给去除的材料供给去除工序的期间，实施所述重量测定喷出工序。

根据该液滴喷出装置的喷出重量测定方法可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除工序的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的重量测定喷出工序。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施重量测定喷出工序，不重新产生用于重量测定喷出工序的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。

还有，材料供给去除工序除了如实际上卸载已处理的基材，或实际上安装接下来要处理的基材的实际上实施材料供给去除的工序之外，还包括安装的基材的对位工序、或为了材料供给去除，使用于载置基材的载物台移动的工序等。

[适用例33]本适用例的液滴喷出装置的喷出重量测定装置，其特征在于，所述液滴喷出装置具备：液滴喷出头，其喷出液状体；载物台，其用于载置作为使喷出的所述液状体着附的对象的基材；载物台移动机构，其使所述液滴喷出头和所述载物台在主扫描方向上相对移动；重量测定单元，其测定从所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量；重量测定单元移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在主扫描方向上相对移动；重量测定单元副移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动，具备：重量测定控制部，其控制所述液滴喷出头、所述重量测定单元、所述重量测定单元移动机构、和所述重量测定单元副移动机构，所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，以使所述液滴喷出头位于面向所述重量测定单元的位置的方式，使所述液滴喷出头和所述重量测定单元相对移动，在包含实施对载物台的所述基材的材料供给去除的时间、及为了该材料供给去除而所述载物台利用所述载物台移动机构相对移动的时间的材料供给去除时间的期间，通过控制所述液滴喷出头，实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出。

根据该液滴喷出装置的喷出重量测定装置可知，在不需要液滴喷出头实施喷出的材料供给去除时间的期间，实施需要液滴喷出头实施喷出的重量测定喷出。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施重量测定喷出，不重新产生用于重量测定喷出的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。

还有，材料供给去除时间除了实际上卸载已处理的基材，或实际上安装接下来要处理的基材的实际上实施材料供给去除的时间、或为了材料供给去除，使用于载置基材的载物台移动的时间之外，还包括用于安装的基材的对位的时间等。

附图说明

图1是表示液滴喷出装置的概略结构的俯视图。

图2是表示液滴喷出装置的概略结构的侧面图。

图3是表示液滴喷出装置的概略结构的侧面图。

图4是表示液滴喷出头的概要的外观立体图。

图5是表示头单元的概略结构的俯视图。

图6是表示液滴喷出装置的电结构的电结构方框图。

图7是表示检查描绘单元的整体结构的外观立体图。

图8(a)是包括重量测定单元的部分及冲洗(フラツシング)单元的部分的重量测定块的俯视图，(b)是重量测定块的侧面图。

图9是表示检查摄像机、液滴喷出头、重量测定时冲洗盒及定期冲洗盒的位置关系的示意图。

图10是表示校准摄像机、工件载置台、定期冲洗盒、重量测定时冲洗盒、和头组的液滴喷出头的位置关系的示意图。

图11是表示头单元和重量测定装置的位置关系的侧面图。

图12是表示液滴喷出头和重量测定装置的位置关系的俯视图。

图13(a)是表示头单元和重量测定装置的位置关系的侧面图，(b)是表示液滴喷出头和重量测定装置的位置关系的俯视图。

图14是表示描绘工序的流程图。

图中：1-液滴喷出装置；2-喷出单元；3-工件单元；4-检查单元；4a-喷出检查块；6-喷出装置控制部；11-X轴工作台；12-Y轴工作台；14-冲洗板单元；17-液滴喷出头；18-喷出检查单元；19-重量测定单元；21-工件载置台；22-X轴第一滑块；23-X轴第二滑块；24-X轴共用支撑基座；26-X轴线性马达；44-CPU；54-头单元；55-头组；91-重量测定装置；93-定期冲洗盒；94-受液容器；95、95a、95b-重量测定时冲洗盒；99-电子天平；161-检查描绘单元；162-摄像单元；163-检查摄像机；171-检查片；W-工件。

具体实施方式

以下，参照附图，说明液滴喷出方法、及液滴喷出装置的一实施方式。本实施方式的液滴喷出装置例如组入平板显示器的制造生产线，使用导入了含有颜料的功能液或含有发光性树脂的功能液的液滴喷出头，形成液晶显示装置的滤色片或有机EL装置的发光元件等。

<液滴喷出法>

首先，对在滤色片等的形成中使用的液滴喷出法进行说明。作为液滴喷出法的喷出技术，可以举出带电控制方式、加压振动方式、机电变换方式、电热变换方式、静电吸引方式等。带电控制方式中用带电电极向材料赋予电荷，用偏转电极控制材料的飞翔方向，将其从喷出嘴喷出。另外，加压振动方式中向材料施加30kg/cm²左右的超高压，向喷出嘴前端侧喷出材料，在不施加控制电压的情况下，使材料前进，将其从喷出嘴喷出，若施加控制电压，则在材料间引起静电排斥，材料飞散，不从喷出嘴喷出。另外，机电变换方式中利用压电元件(压电元件)受到脉冲电信号而变形的性质，通过压电元件的变形，向贮存材料的空间通过挠曲物质赋予压力，将材料从该空间挤出，从喷出嘴喷出。

另外，电热变换方式中通过在贮存材料的空间内设置加热器，使材料急剧地气化，产生气泡(泡)，利用阀的压力，喷出空间内的材料。静电吸引方式中向贮存材料的空间内施加微小压力，在喷出嘴形成材料的弯月面，在该状态下施加静电引力后，引出材料。另外，此外，还可以适用利用基于电场的流体的粘性变化的方式、或用放电火花使其飞行的方式等技术。液滴喷出法具有：材料的使用上没有浪费，而且，能够将希望的量的材料准确地配置于希望的位置的优点。其中，压电方式由于向液态材料不施加热量，因此具有：对材料的组成等不产生影响，通过调节驱动电压，能够容易地调节液滴的大小的优点。在本实施方式中，由于液态材料选择的自由度高，且液滴的控制性良好，因此，使用上述压电方式。

<液滴喷出装置>

其次，参照图1，说明液滴喷出装置的整体结构。图1是表示液滴喷出装置的概略结构的俯视图。

如图1所示，液滴喷出装置1具备：具有液滴喷出头17(参照图4)的喷出单元2；工件单元3；功能液供给部(省略图示)；检查单元4；维护单元5；喷出装置控制部6(参照图6)。

喷出单元2具有：20个将液状体即功能液作为液滴喷出的液滴喷出头17。工件单元3具有载置将从液滴喷出头17喷出的液滴的喷出对象即工件W的工件载置台21。功能液供给部具有贮存功能液的贮存罐(省略图示)，进行向液滴喷出头17的功能液的供给。检查单元4具有：用于检查来自液滴喷出头17的喷出状态的、喷出检查单元18及重量测定单元19，在重量测定单元19并设冲洗单元14。维护单元5具有：进行液滴喷出头17的维护的吸引单元15及擦拭单元16。喷出装置控制部6总括控制这些机构部等。后述的重量测定处理、描绘处理、喷出检查处理、及维护处理等基于利用喷出装置控制部6的控制来进行。喷出装置控制部6想到那个鱼重量测定控制部、或喷出检查控制部。

液滴喷出装置1具备：支撑于石平台的X轴支撑基座1A，各单元等配设于X轴支撑基座1A上。X轴工作台11在作为主扫描方向的X轴方向上延伸，配设于X轴支撑基座1A上，使工件载置台21沿X轴方向(主扫描方向)移动。Y轴工作台12配设于以经由多根支柱7A横跨X轴工作台11的方式跨设的一对Y轴支撑基座7上，在作为副扫描方向的Y轴方向上延伸。喷出单元2具备：10个分别具有12个的液滴喷出头17的滑架单元51。10个滑架单元51分别吊设于10个桥板52。桥板52通过Y轴滑块(省略图示)在Y轴方向上滑动移动自如地支撑于Y轴工作台12。Y轴工作台12使桥板52(滑架单元51)在Y轴方向(副扫描方向)上移动。

通过同步于X轴工作台11及Y轴工作台12的驱动，将液滴喷出头17喷出驱动，喷出功能液滴，对于在工件载置台21上载置的工件W描绘任意的描绘图案。

喷出检查单元18具有：检查描绘单元161、和摄像单元162(参照图2)。检查描绘单元161构成为使重量测定单元19及冲洗单元14一体地移动。一体地设置了检查描绘单元161、重量测定单元19、和冲洗单元14的块(block)标记为喷出检查块4a。摄像单元162具有：两个检查摄像机163、163(参照图2)、和将检查摄像机163支撑为在Y轴方向上滑动自如的摄像机移动机构164(参照图2)。摄像机移动机构164固定于Y轴支撑基座7。两个检查摄像机163、163利用摄像机移动马达(在图2中省略图示)，分别独立在Y轴方向上移动。

将维护单元5具备的吸引单元15及擦拭单元16从X轴工作台11卸载，并将其配设于利用Y轴工作台12使滑架单元51能够移动的位置上配设的台架8上。吸引单元15具有多个分割吸引单元141，吸引液滴喷出头17，从液滴喷出头17的喷出嘴78(参照图4)强制排出功能液。擦拭单元16具有将清洗液喷雾的擦拭单元151，擦拭吸引后的液滴喷出头17的喷嘴形成面76a(参照图4)。这样，吸引单元15及擦拭单元16进行液滴喷出头17的维护，实现液滴喷出头17的功能维持或功能恢复。

其次，除了图1之外，参照图2及图3，说明液滴喷出装置1的各构成要件。图2及图3是表示液滴喷出装置的概略结构的侧面图。图2是在X轴方向上延伸的侧面的侧面图，图3是在Y轴方向上延伸的侧面的侧面图。

如图1、图2、或图3所示，X轴工作台11具备：X轴第一滑块22；X轴第二滑块23；左右一对X轴线性马达26；一对X轴共用支撑基座24。在X轴第一滑块22安装有工件载置台21。

在X轴第一滑块22上安装有工件载置台21。X轴第一滑块22在X轴方向上滑动自如地支撑于在X轴方向上延伸的X轴共用支撑基座24上。在X轴第二滑块23安装有一体地设置有检查描绘单元161、重量测定单元19、和冲洗单元14的喷出检查块4a。X轴第二滑块23在X轴方向上滑动自如地支撑于在X轴方向上延伸的X轴共用支撑基座24上。X轴线性马达26并列设置于X轴共用支撑基座24，通过使X轴第一滑块22或X轴第二滑块23沿X轴共用支撑基座24移动，使工件载置台21(载置于工件载置台21的工件W)或喷出检查块4a沿X轴方向移动。X轴第一滑块22和X轴第二滑块23能够利用X轴线性马达26分别驱动。X轴线性马达26、X轴共用支撑基座24、和X轴第一滑块22相对于载物台移动机构。X轴线性马达26、X轴共用支撑基座24、和X轴第二滑块23相对于重量测定单元移动机构。X轴方向相当于主扫描方向，Y轴方向相当于副扫描方向。

工件载置台21具有：吸附设置工件W的吸附工作台31、和支撑吸附工作台31，将设置于吸附工作台31的工件W的位置向θ轴方向进行θ修正的θ工作台32。图1及图2中的工件载置台21的位置成为用于进行工件W的材料供给去除的材料供给去除位置，在将未处理的工件W导入(材料供给)吸附工作台31时或回收已处理的工件W时，使吸附工作台31移动至该位置。在该材料供给去除位置，利用机器人臂(省略图示)，进行对吸附工作台31进行的工件W送入·送出(载置更换)。另外，在吸附工作台31组入有使进行了材料供给的工件W靠向X轴方向及Y轴方向，将其预排列的机构(省略图示)。材料供给于吸附工作台31的未处理的工件W的排列使用θ工作台32，在材料供给去除位置实施。在工件载置台21的与Y轴方向平行的一对边添加设置有描绘前冲洗单元111的一对描绘前冲洗盒121。

图像识别单元80具有：两台校准摄像机81、81、和摄像机移动机构82。摄像机移动机构82沿Y轴方向延伸，并横跨X轴工作台11地配设在X轴支撑基座1A上。校准摄像机81通过摄像机固定器(省略图示)，在Y轴方向上滑动自如地支撑于摄像机移动机构82上。支撑于摄像机移动机构82的校准摄像机81从上侧面向X轴工作台11，能够识别在X轴工作台11上的工件载置台21载置的工件W的各基准标记(排列标记)(省略图示)。两台校准摄像机81、81通过摄像机移动马达(省略图示)，分别独立在Y轴方向上移动。

各校准摄像机81连动于工件载置台21的沿X轴方向的移动，利用摄像机移动机构82沿Y轴方向移动，同时，拍摄供给了材料的上述机器人臂的各种工件W的排列标记，实施各工件W的位置识别。还有，基于该校准摄像机81的摄像结果，实施利用θ工作台32的工件W的θ修正。

Y轴工作台12具备：10组Y轴滑块(省略图示)、和一对Y轴线性马达(省略图示)。一对Y轴线性马达分别设置于上述一对Y轴支撑基座7、7上，在Y轴方向上延伸。20个(10组)Y轴滑块以各10个滑动移动自如地分别支撑于一对Y轴支撑基座7、7。分别支撑于一对Y轴支撑基座7、7的各一个Y轴滑块构成的一组Y轴滑块通过两端支撑来支撑固定有构成喷出单元2的滑架单元51的桥板52。分别固定构成喷出单元2的10个各滑架单元51的10个桥板52通过用两端支撑来支撑10个桥板52的10组Y轴滑块，设置于一对Y轴支撑基座7、7上。

若(同步)驱动一对Y轴线性马达，则各Y轴滑块被一对Y轴支撑基座7、7引导，同时沿Y轴方向平行移动。由此，桥板52沿Y轴方向移动，吊设于桥板52的滑架单元51沿Y轴方向移动。还有，在这种情况下，通过控制Y轴线性马达的驱动，能够独立地个别移动滑架单元51，也能够使10个滑架单元51一体地移动。

滑架单元51具备(参照图5)：头单元54，该头单元54具有：12个液滴喷出头17、和按6个分为两组来支撑12个液滴喷出头17的子承载器53。另外，滑架单元51具备：能够进行θ修正地支撑头单元54的θ旋转机构61；通过θ旋转机构61将头单元54支撑于桥板52的吊设部件62。

<液滴喷出头的结构>

其次，参照图4，说明液滴喷出头17。图4是表示液滴喷出头的概要的外观立体图。

如图4所示，该液滴喷出头17是双联式，具备：具有双联式连接针72、72的液体导入部71；连接于液体导入部71的方形头主体74；从液体导入部71和头主体74之间向侧方突出的头基板73。头主体74具有：与液体导入部71连接的泵部75、和与泵部75连接的喷嘴形成板76。在喷嘴形成板76形成有向喷嘴形成面76a开口的喷出嘴78。在液滴喷出头17中，每一列中形成有由180个喷出嘴78构成的喷嘴列78b。在泵部75设置有压电元件，通过驱动该压电元件，将从液体导入部71供给过来的功能液从喷出嘴78喷出。对应于一个喷出嘴78，设置有一个压电元件，能够分别按喷出嘴78每一个独立喷出功能液。在头基板73设置有一对连接器77、77。该连接器77通过FFC电缆等，与连接于喷出装置控制部6的中继基板连接，由此，液滴喷出头17与喷出装置控制部6连接。

在将液滴喷出头17安装于液滴喷出装置1的状态下，喷嘴列78b在Y轴方向上延伸。分别构成两列喷嘴列78b的喷出嘴78之间在Y轴方向上相互错开一半喷嘴间距的位置。在X轴方向的相同位置，从构成各自的喷嘴列78b的喷出嘴78喷出的液滴在设计方面，在Y轴方向上以等间隔排列而着附于一直线上。

<头单元>

其次，参照图5，说明头单元54。图5是表示头单元的概略结构的俯视图。图5所示的X轴及Y轴在头单元54安装于液滴喷出装置1的状态下，与图1所示的X轴及Y轴一致。如图5所示，头单元54具有：子承载器53、搭载于子承载器53的12个液滴喷出头17。液滴喷出头17固定于子承载器53，头主体74活动嵌入在子承载器53形成的孔(省略图示)中，喷嘴形成面76a从子承载器53的面突出。图5是从喷嘴形成面76a侧观察的图。12个液滴喷出头17在Y轴方向上分开而形成两组分别具有各6个液滴喷出头17的头组55。各自的液滴喷出头17的喷嘴列78b在Y轴方向上延伸。

一个头组55具有的六个液滴喷出头17定位如下，即：相对于在Y轴方向上相互相邻的液滴喷出头17的一方的液滴喷出头17的一端的喷出嘴78，另一方的液滴喷出头17的一端的喷出嘴78位于错开一半喷嘴间距的位置。假设具有头组55的六个液滴喷出头17中，使所有的喷出嘴78的X轴方向的位置相同的情况下，喷出嘴78在Y轴方向上以一半喷嘴间距的等间隔排列。即，在X轴方向的相同位置，从构成各自的液滴喷出头17具有的各自的喷嘴列78b的喷出嘴78喷出的液滴在设计方面，在Y轴方向上以等间隔排列而着附于一直线上。间该直线标记为喷嘴组线。液滴喷出头17在Y轴方向杀死你过相互重叠，因此，在X轴方向上以阶梯状排列而构成头组55。

头单元54具有的两个头组55在Y轴方向上空开一个头组55量的间隔而配置。即，若从一个头单元54的喷出嘴78一滴一滴地喷出，在X轴方向上成为相同的位置地着附，则空开喷嘴组线一条的长度的量的间隔，形成两条喷嘴组线。通过使头单元54在Y轴方向上移动一个头组55的量，同样地形成两条喷嘴组线，形成喷嘴组线四条相连的直线。该直线在设计方面，构成喷嘴列78b的喷出嘴78的数量的48倍的数量的点以构成喷嘴列78b的喷出嘴78的喷嘴间距的一半的间隔(喷嘴间距)相连。

在相邻的头单元54中，各自头组55也可以位处如下，即：相互在Y轴方向上空开一个头组55的间隔而配置。从而，通过夹着相当于喷嘴组线的长度的Y轴方向的移动，分别向喷出单元2具有的各喷出嘴78一滴一滴地喷出功能液，能够形成在Y轴方向上延伸的一直线。该喷出单元2具有的所有120个液滴喷出头17通过各两次的喷出内描绘的线的长度对应于在工件载置台21能够搭载的最大尺寸的工件W的宽度。

还有，在不使用喷嘴列78b的一端侧的喷出嘴78的情况下，不使用的喷出嘴78将液滴喷出头17配置为在Y轴方向上与使用喷出嘴78重叠。

<液滴喷出装置的电结构>

其次，参照图6，说明用于驱动具有上述结构的液滴喷出装置1的电结构。图6是表示液滴喷出装置的电结构的电结构方框图。液滴喷出装置1通过控制装置65进行数据的输入、或起动开始或停止等控制指令的输入而进行控制。控制装置65具有：进行运算处理的主计算机66、和用于对液滴喷出装置1进行信息的输入输出的输入输出装置68，并经由接口(I/F)67与喷出装置控制部6连接。输入输出装置68是能够输入信息的键盘、通过记录介质输入输出信息的外部输入输出装置、保存通过外部输入输出装置输入的信息的记录部、监视器装置等。

液滴喷出装置1的喷出装置控制部6具有：接口(I/F)47、CPU(CentralProcessing Unit)44、ROM(Read Only Memory)45、RAM(Random AccessMemory)46、和硬盘48。另外，具有头驱动器2d、驱动机构驱动器40d、供液驱动器60d、维护驱动器5d、检查驱动器4d、检测部接口(I/F)43。这些经由数据总线49相互电连接。

接口(I/F)47与控制装置65进行数据的接收授予，CPU44基于来自控制装置65的指令进行各种运算处理，输出控制液滴喷出装置1的各部的动作的控制信号。RAM46按照来自CPU44的指令，临时保存从控制装置65接受的控制命令或印刷数据。ROM45存储CPU44进行各种运算处理的程序等。硬盘48保存从控制装置65接受的控制命令或印刷数据，或存储CPU44用于进行各种运算处理的程序等。

在头驱动器2d连接构成喷出单元2的液滴喷出头17。头驱动器2d按照来自CPU44的控制信号，驱动液滴喷出头17，判处功能液的液滴。在驱动机构驱动器40d连接包括Y轴工作台12的头移动马达、X轴工作台11的X轴线性马达26、具有各种驱动源的各驱动机构的驱动机构41。各种驱动机构是如上所述的用移动校准摄像机81的摄像机移动马达或θ旋转机构61的驱动马达等。驱动机构驱动器40d按照来自CPU44的控制信号，驱动上述马达等，使液滴喷出头17和工件W相对移动，使工件W的任意的位置和液滴喷出头17对置，连动于头驱动器2d，使功能液的液滴着附于工件W上的任意的位置。

在维护驱动器5d连接维护单元5的吸引单元15、擦拭单元16、和冲洗单元14。维护驱动器5d按照来自CPU44的控制信号，驱动吸引单元15、擦拭单元16、或冲洗单元14，实施液滴喷出头17的维护作业。

在检查驱动器4d连接检查单元4的喷出检查单元18、重量测定单元19。检查驱动器4d按照来自CPU44的控制信号，驱动喷出检查单元18或重量测定单元19，实施喷出重量或喷出与否或着附位置精度等液滴喷出头17的喷出状态的检查。

在供液驱动器60d连接供液单元60。供液驱动器60d按照来自CPU44的控制信号，驱动供液单元60，向液滴喷出头17供给功能液。在检测部接口43连接包含各种传感器的检测部42。由检测部42的各传感器检测的检测信息经由检测部接口43传递于CPU44。

<喷出检查单元>

其次，参照图7，说明喷出检查单元18。如参照图1的说明所述，喷出检查单元18具有：检查描绘单元161、和摄像单元162。检查描绘单元161构成为一体地移动重量测定单元19及冲洗单元14。图7是表示检查描绘单元的整体结构的外观立体图。

喷出检查单元18用于检查是否从构成喷出单元2的所有液滴喷出头17(的喷出嘴78)适当地喷出功能液。检查描绘单元161构成为接受从构成喷出单元2的所有头单元54具备的所有液滴喷出头17的所有喷出嘴78检查喷出的功能液。摄像单元162拍摄在检查描绘单元161描绘的检查图案(着附点的图案)而进行检查。如上所述，检查描绘单元161搭载于X轴工作台11。摄像单元162在Y轴工作台12的正下方，固定于Y轴支撑基座7，固定设置于检查位置，两个检查摄像机163、163能够分别独立在Y轴方向上移动。

如图7所示，检查描绘单元161具备：检查片171、检查台172、片输送机构173、片输送支撑机构174、单元基座175、真空传感器(省略图示)。检查片171是用于使从液滴喷出头17检查喷出的功能液的液滴着附的带状片，在Y轴方向上延伸。检查台172在Y轴方向上延伸，在检查台172上搭载检查片171。移动检查片171，以将非检查完毕部分向片输送机构173送入，且将检查片171的检查完毕部分从检查台172送出。片输送机构173支撑于片输送支撑机构174，片输送支撑机构174支撑于单元基座175。真空传感器检测在检查台172上载置的检查片171的设置不良。

如参照图2的说明所述，摄像单元162具有：两个检查摄像机163、163、和将检查摄像机163支撑为在Y轴方向上滑动自如的摄像机移动机构164。检查摄像机163图像识别被检查片171检查喷出的着附点，以从上侧面向X轴工作台11的姿势，通过固定于Y轴支撑基座7的摄像机移动机构164，在Y轴方向上滑动自如地支撑于Y轴支撑基座7。

检查描绘单元161在吸附工作台31向材料供给去除位置移动时，能够使检查片171向面向摄像单元162的检查摄像机163的位置移动，位于该位置。即，摄像单元162能够在工件W的载置更换中及排列中，实施检查图案的摄像。基于两个检查摄像机163的摄像结果发送至喷出装置控制部6，进行图像识别，基于该图像识别，判断各液滴喷出头17的喷出嘴78是否正常地喷出功能液(是否有喷嘴堵塞)。另外，判断着附的液滴的相对位置是否为规定的位置。这样判断也在工件载置更换中及排列中进行。检查片171相当于检查喷出着附片，摄像单元162相当于状态观测装置，喷出检查单元18相当于喷出检查装置。

<重量测定单元>

其次，参照图8说明重量测定单元19及冲洗单元14。图8是包括重量测定单元的部分及冲洗单元的部分的重量测定方框图。图8(a)是重量测定块的俯视图，图8(b)是重量测定块的侧面图。如上所述，一体地设置有重量测定单元19、冲洗单元14、及检查描绘单元161的喷出检查块4a构成为一体地移动。

如图8所示，重量测定块91A具备：四个重量测定装置91、和支撑框92。支撑框92支撑四个重量测定装置91，支撑框92固定于X轴第二滑块23，重量测定块91A搭载于X轴第二滑块23。喷出检查块4a具有五个重量测定块91A，总计20个重量测定装置91在Y轴方向上排列，搭载于X轴第二滑块23。一个重量测定装置91对应于一个头组55，排列的两个重量测定装置91对应于头单元54。

重量测定装置91具有：定期冲洗盒93、受液容器94、电子天平99(在图8(a)中隐藏于受液容器94的下方)、重量测定时冲洗盒95、功能液吸收部件97、压板98、收容这些的箱96。定期冲洗盒93、重量测定时冲洗盒95、功能液吸收部件97、和压板98包含于冲洗单元14。冲洗单元14包括：在分别形成于20个重量测定装置91的各自20个定期冲洗盒93、重量测定时冲洗盒95。受液容器94、和电子天平99包含于重量测定单元19。重量测定单元19包括：在分别形成于20个重量测定装置91的各自20个受液容器94、和电子天平99。

受液容器94是仅与构成头组55的6个液滴喷出头17中的任意的一个液滴喷出头17对置，能够接受从该液滴喷出头17喷出功能液的大小。受液容器94搭载于电子天平99上，电子天平99通过测定受液容器94的重量，测定着附于受液容器94内的功能液的重量。由于接受从液滴喷出头17喷出的功能液而增加的受液容器94的重量是从液滴喷出头17喷出而着附于受液容器94内的功能液的重量。

喷出装置控制部6的CPU44将测定的功能液的重量累计计算而存储于RAM46，在累计计算重量达到一定量的情况下，发出受液容器94的交换指示信息。该情况下的喷出装置控制部6相当于接受器管理部，受液容器94相当于重量测定接受器。

在重量测定时冲洗盒95中，重量测定时冲洗盒95a、和重量测定时冲洗盒95b在X轴方向上夹着受液容器94而配置。在构成头组55的6个液滴喷出头17中一个液滴喷出头17面向受液容器94时，构成头组55的其他5个液滴喷出头17位于面向重量测定时冲洗盒95a或重量测定时冲洗盒95b的任一个的位置。在重量测定对象的液滴喷出头17面向受液容器94，实施用于重量测定的喷出时，测定对象以外的液滴喷出头17面向重量测定时冲洗盒95a或重量测定时冲洗盒95b，实施丢弃喷出。

用一个重量测定装置91对头组55的6个液滴喷出头17进行重量测定，因此，在一个液滴喷出头17进行重量测定喷出时，其他5个液滴喷出头17等待该重量测定喷出结束，但可以使该“等待”状态的液滴喷出头17进行丢弃喷出。因此，在“等待”的状态的期间抑制喷出嘴78干燥，能够在“等待”状态后良好地进行重量测定喷出，能够得到适当的测定结果。

定期冲洗盒93接受在定期冲洗时丢弃喷出的功能液。

在重量测定时冲洗盒95及定期冲洗盒93内，以用一对压板98压紧两长边部的状态敷设有功能液吸收部件97。还有，受液容器94形成为相对于液滴喷出头17，能够以喷嘴列单位接受功能液的大小。

电子天平99测定向受液容器94喷出的功能液的重量，将测定结果向喷出装置控制部6输出。喷出装置控制部6基于从电子天平99输入的测定结果，控制从头驱动器2d向液滴喷出头17施加的驱动电力(电压值)。即，在重量测定结果为目标范围内的情况下，不需要变更电压值，进行对其次的工件W的描绘。另一方面，在重量测定结果为目标范围以外的情况下，基于预先求出的施加电压值和重量测定值的分解能数据，变更电压值，用变更后的电压值再次进行重量测定。该重量测定及电压值变更在重量测定结果成为目标的范围内为止反复进行。该情况下的喷出装置控制部6相当于喷出条件设定部。

<冲洗盒的结构>

其次，参照图9，说明重量测定时冲洗盒95、定期冲洗盒93的形状、及对检查摄像机163及液滴喷出头17(头组55)的位置关系。图9是表示检查摄像机、液滴喷出头、重量测定时冲洗盒及定期冲洗盒的位置关系的示意图。

在两处重量测定时冲洗盒95中，形成于定期冲洗盒93侧的重量测定时冲洗盒95a、和定期冲洗盒93在利用检查摄像机163获得着附于检查片171上的液滴的图像时使用。这些形成为如下大小，即：即使在检查摄像机163面向检查片171的X轴方向上的任意位置的情况下，也能够同时接受构成头组55的6个液滴喷出头17的丢弃喷出。如上所述，重量测定时冲洗盒95a、和定期冲洗盒93包含于冲洗单元14，检查片171配备于检查描绘单元161。冲洗单元14和检查描绘单元161构成喷出检查块4a，相互的位置关系固定，使其一体地移动。从而，重量测定时冲洗盒95a、定期冲洗盒93、检查片171一体地移动。检查摄像机163和液滴喷出头17(头组55)的X轴方向的位置关系也固定。

图9(a)所示的喷出检查块4a位于使检查摄像机163面向检查片171的X轴方向上的最面向定期冲洗盒93侧的一端的位置。若喷出检查块4a位于该位置，则头组55的液滴喷出头17与重量测定时冲洗盒95a或定期冲洗盒93对置，从液滴喷出头17喷出的功能液着附于重量测定时冲洗盒95a或定期冲洗盒93。

图9(b)所示的喷出检查块4a位于使检查摄像机163面向检查片171的X轴方向上的最面向材料供给去除位置侧的一端的位置。若喷出检查块4a位于该位置，则头组55的液滴喷出头17与定期冲洗盒93对置，从液滴喷出头17喷出的功能液着附于定期冲洗盒93。

其次，对实施工件W的校准作业时的工件载置台21、定期冲洗盒93及重量测定时冲洗盒95、和头组55的液滴喷出头17的位置关系进行说明。图10是表示校准摄像机、工件载置台、定期冲洗盒、重量测定时冲洗盒、和头罩的液滴喷出头的位置关系的示意图。

在图10(a)中，在工件载置台21上，以在工件载置台21的中央设置工件W的状态，设置有校准标记M从液滴喷出头17最远离的工件W1。工件载置台21利用X轴第一滑块22在X轴方向上移动，该工件W1的校准标记M面向校准摄像机81，位于能够进行利用校准摄像机81的校准标记M的图像识别的位置。该情况下的工件载置台21的位置是实施工件W的校准作业的状态下的工件载置台21的位置中最靠向头组55侧的位置。即使工件载置台21位于该位置，在利用喷出检查块4a使喷出检查块4a最大限度接近工件载置台21的状态下，头组55的液滴喷出头17的正下方也面向重量测定时冲洗盒95的从定期冲洗盒93远的一侧的最远部分。即，即使限制喷出检查块4a的X轴方向的位置的工件载置台21的位置位于最靠向头组55侧的位置，也使液滴喷出头17的一个面向受液容器94，实施重量测定，利用重量测定时冲洗盒95，能够接受来自头组55的其他5个液滴喷出头17的丢弃喷出。

喷出检查块4a的向材料供给去除位置侧的移动通过工件载置台21的位置来限制，但向与材料供给去除位置相反一侧的移动没有限制，因此，喷出检查块4a能够位于图10(b)所示的位置。在图10(b)所示的位置下，头组55的液滴喷出头17与定期冲洗盒93面向，从液滴喷出头17喷出的功能液着附于定期冲洗盒93。

这样，定期冲洗盒93能够接受在工件W的载置更换时等描绘处理中止时进行的、头组55的6个所有液滴喷出头17的丢弃喷出(冲洗)。定期冲洗盒93设置于从受液容器94远离的位置，因此，从液滴喷出头17丢弃喷出的功能液滴进入受液容器94的可能性极小。由此，能够抑制受液容器94的更换的次数。

其次，参照图11及图12，对实施重量测定的一系列动作进行说明。图11是表示头单元和重量测定装置的位置关系的侧面图。图12是表示液滴喷出头和重量测定装置的位置关系的俯视图。

如图11(a)及图12(a)所示，在开始重量测定时，利用X轴线性马达26使X轴第二滑块23沿X轴方向移动，并且，利用Y轴线性马达使构成喷出单元2的10个头单元54沿Y轴方向移动。通过该操作，使固定于X轴第二滑块23的各重量测定装置91的各受液容器94面向头单元54的各头组55的第一个液滴喷出头17a。

其次，朝向各受液容器94，从各头组55的第一个液滴喷出头17a的所有喷嘴开始，实施重量测定喷出。此时，各头组55的第二个到第六个的液滴喷出头17b～17f与重量测定时冲洗盒95对置，朝向重量测定时冲洗盒95实施丢弃喷出。

若液滴喷出头17a的重量测定喷出结束，则使重量测定装置91沿X轴方向移动，如图11(b)所示，使各受液容器94向在重量测定装置91的移动轨迹上设置的防风部件101的正下方移动。在该状态下，利用电子天平99，进行着附于受液容器94的喷出液滴的重量的测定。通过使重量测定装置91位于防风部件101的正下方，由防风部件101遮断气流(例如，腔室中的下降流或湍流等)，因此，电子天平99能够在不受到气流的影响的情况下，正确地进行重量测定。

在液滴喷出头17a的喷出液滴的重量测定后，使第二个液滴喷出头17b面向受液容器94，同样地进行重量测定喷出。以下，相同地，对于各头组55的6个液滴喷出头17，测定依次喷出的液滴的重量。最后，如图12(b)所示，使第六个液滴喷出头17f面向受液容器94，实施重量测定喷出，测定喷出的液滴的重量。

其次，参照图13，对工件载置台21位于材料供给去除位置，实施了对工件载置台21的工件W的材料供给去除时的描绘处理中止状态下的液滴喷出头17的动作进行说明。图13(a)是表示头单元和重量测定装置的位置关系的侧面图，图13(b)是表示液滴喷出头和重量测定装置的位置关系的俯视图。在工件W的材料供给等描绘处理中止时，利用X轴线性马达26使X轴第二滑块23沿X轴方向移动，由此，使固定于X轴第二滑块23的重量测定装置91的各定期冲洗盒93面向头组55的6个液滴喷出头17。还有，所有液滴喷出头17朝向各定期冲洗盒93，实施丢弃喷出。

<描绘>

其次，参照图14，说明利用液滴喷出装置1，在工件W的规定的位置配置功能液的描绘工序。图14是表示描绘工序的流程图。

图14的步骤S1、S2、S3、S4、S5的各步骤利用与液滴喷出装置1的材料供给去除有关的各装置实施，从步骤S21到步骤S34的各步骤利用喷出单元2或检查单元4等来实施。液滴喷出装置1的各装置构成为能够并行实施图14的步骤S1、S2、S3、S4、S5的各步骤、和步骤S21到步骤S34的各步骤。

在图14的步骤S1中，向位于液滴喷出装置1的材料供给去除位置的工件载置台21供给工件W。工件W的材料供给通过材料供给机器人等来实施。

其次，在步骤S2中，实施载置于工件载置台21的工件W的校准。工件W的校准通过图像识别单元80的校准摄像机81，获得在工件W形成的校准标记M的图像，基于图像结果，利用θ工作台32，实施工件W的θ修正而实施。

其次，步骤S3中，使工件载置台21沿X轴方向移动。工件载置台21通过利用X轴线性马达26驱动X轴第一滑块22，使在材料供给去除位置校准的工件W位于开始接下来的描绘喷出工序的开始位置。

对于位于开始位置地移动的工件W，开始步骤S21。在步骤S21中，从喷出单元2的液滴喷出头17朝向工件W实施描绘喷出。更具体来说，通过利用X轴工作台11(利用X轴线性马达26驱动X轴第一滑块22)的工件W的移动、及利用Y轴工作台12的液滴喷出头17(喷出单元2的头单元54)的移动，使液滴喷出头17与工件W的任意位置对置。与此同时，喷出驱动液滴喷出头17，朝向工件W喷出功能液滴，由此，对于在工件载置台21上载置的工件W，描绘由功能液构成的任意描绘图案。

在步骤S21之后的步骤S4中，使工件载置台21沿X轴方向移动。工件载置台21通过利用X轴线性马达26驱动X轴第一滑块22，位于材料供给去除位置地移动。该移动从描绘喷出的最后的相对移动开始没有X轴第一滑块22(工件载置台21)停止的情况，作为描绘喷出的最后的相对移动的延长来实施。

其次，在步骤S5中，从工件载置台21除去形成有描绘图案的工件W。工件W的除去通过材料除去机器人等来实施。

在步骤S5之后，进入步骤S1，重复步骤S1、S2、S3、S21、S4、S5。步骤S4、S5、S1、S2、S3相当于材料供给去除工序。如上所述，步骤S4、S5、S1、S2、S3通过使用X轴线性马达26或图像识别单元80或θ工作台32或材料供给机器人等来实施。

在步骤S21之后的与步骤S4大致同时开始的步骤S22中，由喷出单元2的液滴喷出头17实施用于喷出检查的检查喷出。更具体来说，通过在步骤S4中使工件载置台21在材料供给去除位置的方向上移动，能够使喷出检查块4a移动至面向喷出单元2的液滴喷出头17的位置，。喷出检查块4a固定于X轴第二滑块23，利用X轴线性马达26驱动X轴第二滑块23，由此沿X轴方向移动。工件载置台21通过利用X轴线性马达26驱动X轴第一滑块22而移动，因此，能够使喷出检查块4a和工件载置台21分别独立移动。从而，用于检查喷出的喷出检查块4a的移动可以大致并行于工件载置台21的用于描绘喷出的最后的相对移动而实施。在本实施方式中，大致同步于工件载置台21的用于描绘喷出的最后的相对移动，开始用于检查喷出的喷出检查块4a的移动。即，在步骤S21的描绘喷出结束之前，开始步骤S22的用于实施检查喷出的喷出检查块4a的移动。

在移动中的喷出检查块4a中的检查描绘单元161的检查片171分别与喷出单元2的液滴喷出头17对置的时刻，从液滴喷出头17朝向检查片171，实施检查喷出。各自的液滴喷出头17的喷出时序规定如下，即：分别从喷出单元2的液滴喷出头17喷出，着附于检查片171的功能液的液滴在检查片171上形成沿Y轴方向延伸的一直线。喷出检查块4a移动至，着附于检查片171的功能液的液滴形成的一直线位于利用喷出检查单元18的检查摄像机163能够摄像的位置。在检查片171与喷出单元2的液滴喷出头17对置的时刻，从该液滴喷出头17朝向检查片171，实施检查喷出的工序相当于检查喷出工序。在结束描绘喷出之前，开始用于实施检查喷出的喷出检查块4a的移动，因此，液滴喷出头17大致连续于描绘喷出，实施检查喷出。从而，在描绘喷出和检查喷出之间，液滴喷出头17的状态的变化基本上没有，因此，在检查喷出中，再现与描绘喷出相同的喷出。

其次，在步骤S23中，利用检查摄像机163，获得着附于检查片171的功能液的液滴的图像。图像是关于各自的液滴得到的，从该图像得到各自的液滴的大小或着附位置的信息。另外，并行于利用检查摄像机163的图像获得，液滴喷出头17实施用于将液滴喷出头17内的功能液的状态维持为恒定的状态的丢弃喷出。如参照图9的说明所述，在检查摄像机163位于面向检查片171的位置的状态下，喷出单元2的液滴喷出头17与重量测定时冲洗盒95a或定期冲洗盒93对置。因此，从液滴喷出头17喷出的功能液着附于重量测定时冲洗盒95a或定期冲洗盒93。

其次，在步骤S24中，移动检查单元4，重量测定单元19与液滴喷出头17对置地将重量测定单元19(检查单元4)进行对位。更具体来说，如参照图11及图12的说明所述，利用X轴线性马达26，使X轴第二滑块23沿X轴方向移动。与此同时，利用Y轴线性马达和Y轴滑块，使构成喷出单元2的10个头单元54沿Y轴工作台12，在Y轴方向上移动。由此，使固定于X轴第二滑块23的各重量测定装置91的各受液容器94面向各头组55中的一个液滴喷出头17。X轴线性马达26、X轴共用支撑基座24、和X轴第二滑块23相当于重量测定单元移动机构，Y轴线性马达、Y轴滑块、和Y轴工作台12相当于重量测定单元副移动机构。

其次，在步骤S25中，从各头组55中面向受液容器94的一个液滴喷出头17朝向受液容器94，由液滴喷出头17的所有喷嘴实施重量测定喷出。着附于受液容器94的功能液的重量利用电子天平99来测定。着附于受液容器94的电子天平99测定的功能液的重量是喷出重量。

此时，如参照图11及图12所示，各头组55中没有面向受液容器94的各5个液滴喷出头17与重量测定时冲洗盒95对置，朝向重量测定时冲洗盒95实施丢弃喷出。

其次，在步骤S26中，将测定的喷出重量与喷出重量的标准值进行比较，求出喷出重量的误差，将该误差与误差的标准值进行比较，判断测定的喷出重量的误差是否适合标准值。

在喷出重量的误差适合标准值的情况下(在步骤S26中为是)，进入步骤S27。

在步骤S26之后的步骤S27中，对于各头组55分别具有的6个液滴喷出头17的全部，判断重量测定是否结束。

对于各头组55分别具有的6个液滴喷出头17的全部，在重量测定结束的情况下(在步骤S27中为是)，进入步骤S28。

在步骤S28中，不实施重量测定，实施描绘。在不实施重量测定的描绘的期间，通过实验等预先求出来规定能够维持恒定的喷出状态的期间或维持恒定的喷出状态而能够描绘的工件W的描绘片数等。在规定的不实施重量测定的描绘的期间中，实施步骤S28后，进入步骤S21，将重新载置于工件载置台21上的工件W作为描绘对象，实施步骤S21到步骤S27、及步骤S29到步骤S34。

对于各头组55分别具有的6个液滴喷出头17的全部，在重量测定没有结束的情况下(在步骤S27中为否)，进入步骤S21，将重新载置于工件载置台21上的工件W作为描绘对象，重复步骤S21到步骤S27。此时，在步骤S24中，在各头组55分别具有的6个液滴喷出头17中，使受液容器94面向重量测定没有结束的液滴喷出头17。其次，将面向受液容器94的液滴喷出头17作为测定对象，实施步骤S25到步骤S27。

在步骤S26中，在喷出重量的误差不适合标准值的情况下(在步骤S中为否)，进入步骤S29。

在步骤S26之后的步骤S29中，判断测定的喷出重量的值的相对于标准值的误差是否为规定值以下。喷出重量的误差的规定值例如通过调节液滴喷出头17的驱动条件，预先求出能够修正的误差量。

在步骤S29中，在测定的喷出重量的值相对于标准值的误差为规定值以下的情况下(在步骤S29中为是)，进入步骤S30。

在步骤S30中，根据测定的喷出重量的值相对于标准值的误差，调节下个作为测定对象的液滴喷出头17施加的驱动电压。

在步骤S30之后，进入步骤S25。重复步骤S25到步骤S29。

在步骤S29中，在测定的喷出重量的值相对于标准值的误差超过规定值的情况下(在步骤S29中为否)，进入步骤S31。

在步骤S31中，与上述步骤S25相同地，从在各头组55中面向受液容器94的一个液滴喷出头17朝向各受液容器94，由液滴喷出头17的所有喷嘴，实施重量测定喷出。着附于受液容器94的功能液的重量利用电子天平99来测定。

各头组55中的没有面向受液容器94的各5个液滴喷出头17朝向重量测定时冲洗盒95，实施丢弃喷出。

以下，与步骤S26、步骤S29、步骤S30的各步骤相同地，实施步骤S32、步骤S33、步骤S34的各步骤。

喷出重量有时临时变动而立刻返回适当状态的情况。从步骤S31到步骤S34的各步骤是用于验证在步骤S29中，判断为测定的喷出重量的值相对于标准值的误差超过规定值的情况是否为临时变动而引起的情况的步骤。通过实施步骤S32、步骤S33、步骤S34的各步骤，能够返回自步骤S21的各步骤。

在步骤S33中，在测定的喷出重量的值相对于标准值的误差超过的规定值的情况下(在步骤S33中为否)，进入步骤S35。

在步骤S35中，实施调节处置。作为调节处置，可以举出利用吸引单元15的功能液的强制排出或利用擦拭单元16的喷嘴形成面76a的擦拭等维护作业。或者在液滴喷出头17自身的劣化进展的情况下，将液滴喷出头17更换为新的液滴喷出头。

在图14中，成为实施步骤S35，结束描绘工序的工序顺序，但调节处置为使用液滴喷出装置1具备的维护单元5的维护作业等的情况下，临时终端描绘工序，实施维护作业等，在该维护作业等结束后，接着实施描绘工序。在需要液滴喷出头17的更换等处置的情况下，暂时结束描绘工序。

如上所述，步骤S22与步骤S4大致同时开始。步骤S22及连续于步骤S22实施的步骤S23到步骤S34在实施相当于材料供给去除工序的步骤S4、S5、S1、S2、S3的期间，并行于步骤S4、S5、S1、S2、S3而实施。

根据本实施方式可知，得到以下所述的效果。

(1)在不需要实施液滴喷出头17实施喷出的材料供给去除工序(步骤S4、S5、S1、S2、S3)的期间，实施需要实施液滴喷出头实施喷出的重量测定喷出工序(步骤S25)。通过在液滴喷出头的所谓的中止时间，实施重量测定喷出工序，不重新产生用于重量测定喷出工序的时间，因此，能够抑制用于利用液滴喷出的描绘的作业时间的增加。

(2)在液滴喷出装置1中，X轴工作台11具备：X轴第一滑块22、X轴第二滑块23、左右一对X轴线性马达26、和一对X轴共用支撑基座24。在X轴第一滑块22固定有工件载置台21，在X轴第二滑块23固定有冲洗单元14、喷出检查单元18的检查描绘单元161及重量测定单元19。工件载置台21、冲洗单元14、检查描绘单元161、及重量测定单元19位于同一轨道上，因此，为了使这些各单元等和头组55对置，仅使这些各单元等沿同一轨道移动即可。由此，朝向载置于工件载置台21的工件W的描绘喷出、和利用喷出检查单元18的喷出检查或里也能够重量测定单元19的重量测定的转移时间与在描绘喷出、喷出检查或重量测定的转移时，需要改变移动方向，实施各装置相互的相对移动的情况相比，能够缩短。因此，即使在定期实施重量测定或喷出检查的情况下，也能够在短时间内实施重量测定处理、描绘处理、和喷出检查处理的相互间的转移，因此，能够在整体上缩短节奏时间。

(3)重量测定时冲洗盒95中重量测定时冲洗盒95a和重量测定时冲洗盒95b在X轴方向上夹着受液容器94而配置。头组55的6个液滴喷出头17中一个液滴喷出头17与受液容器94对置，实施重量测定喷出时，其他5个液滴喷出头17与重量测定时冲洗盒95a或重量测定时冲洗盒95b对置，能够实施丢弃喷出。尤其，液滴喷出头17能够抑制在“等待”状态的期间喷出嘴78干燥，能够在“等待”状态后良好地进行重量测定喷出。

(4)喷出检查块4a中一体地设置有重量测定单元19、冲洗单元14及检查描绘单元161，因此，除了X轴线性马达26、和X轴共用支撑基座24之外，使用X轴第二滑块23，沿X轴方向一体地移动。分别使冲洗单元14、及检查描绘单元161沿X轴方向移动，因此，与分别个别地设置细孔的结构相比，能够小型化用于移动的装置。

(5)液滴喷出装置1使工件载置台21位于在工件载置台21不与液滴喷出头17对置的位置设定的材料供给去除位置，实施工件W的材料供给去除。由此，在实施工件W的材料供给去除的状态下，能够使重量测定单元19与液滴喷出头17对置，因此，在材料供给去除的期间，能够实施重量测定。

(6)重量测定时冲洗盒95a及定期冲洗盒93形成为，在检查摄像机163面向检查片171的X轴方向的任意位置的状态下，也使构成头组55的6个液滴喷出头17与重量测定时冲洗盒95a或定期冲洗盒93对置的大小。由此，在利用检查摄像机163的检查片171上着附的液滴的图像获得时，能够同时实施构成头组55的6个液滴喷出头17的丢弃喷出。

以上，参照附图的同时，说明了适合的实施方式，但适合的实施方式不限于所述实施方式。当然可以在不脱离宗旨的范围内施加各种变更，还能够如下所述地实施。

(变形例1)，在所述实施方式中，具有检查片171(检查喷出着附片)的检查描绘单元161构成为，与重量测定单元19及冲洗单元14在X轴方向(主扫描方向)上一体地移动。但是，使检查喷出着附片和重量测定单元在主扫描方向上一体地移动不是必须的。也可以为使检查喷出着附片、和重量测定单元分别个别地沿主扫描方向移动的结构。通过这样构成，在检查喷出着附片与状态观测装置对置时，能够使重量测定单元和液滴喷出头对置。使检查喷出着附片个别地沿主扫描方向移动的装置相当于检查单元移动机构。

在所述实施方式中，在利用摄像单元162的检查摄像机163(状态观测装置)，获得着附于检查片171(检查喷出着附片)的功能液的液滴的图像的步骤(状态信息获得工序)后，从液滴喷出头17朝向重量测定单元19的受液容器94实施重量测定喷出(重量测定喷出工序)。但是，通过构成为使检查喷出着附片、和重量测定单元分别个别地沿主扫描方向移动，在检查喷出着附片与状态观测装置对置的状态下，能够使重量测定单元和液滴喷出头对置，能够大致并行实施状态信息获得工序、和重量测定喷出工序。

(变形例2)在所述实施方式中，仅有液滴喷出头17能够沿Y轴方向移动，喷出检查块4a一体地设置有重量测定单元19、冲洗单元14、及检查描绘单元161，Y轴方向的位置相互固定。另外，具有检查摄像机163的摄像单元162的Y轴方向的位置也固定。但是，设置使检查描绘单元161的检查片171、摄像单元162、或重量测定单元19沿Y轴方向移动的Y轴方向移动装置也可。Y轴方向移动装置相当于检查单元副移动机构。

在所述实施方式中，仅有液滴喷出头17能够沿Y轴方向移动，因此，上述装置间的Y轴方向的相对移动通过液滴喷出头17的沿Y轴方向的移动来实现。例如，若构成头组55的6个液滴喷出头17的一个与受液容器94对置，则头组55的Y轴方向的位置未必与检查描绘单元161的检查片171的适当的位置对置，因此，对于使液滴喷出头17对置的装置每一个，需要进行液滴喷出头17的沿Y轴方向的移动。通过设置Y轴方向移动装置，能够进行检查描绘单元161的检查片171、摄像单元162、及重量测定单元19的相互间的相对移动，因此，能够实施相互间的Y轴方向的对位。由此，能够减少用于对这些装置进行的液滴喷出头17的对位的液滴喷出头17的沿Y轴方向的移动及对位的必要次数。

(变形例3)在所述实施方式中，重量测定对于各液滴喷出头17每一个实施，但不需要用液滴喷出头17的单位测定喷出重量。可以按液滴喷出头具备的喷嘴列每一个测定，也可以按各喷嘴每一个测定。

(变形例4)在所述实施方式中，作为应对喷出重量的偏离的方法，对通过调节施加于液滴喷出头17的驱动电压来将喷出量调节为适当的值的方法进行了说明，但应对喷出重量的偏离的方法可以为其他方法。例如，将喷出在与来自该喷出重量不适当的液滴喷出头的喷出液滴着附的位置邻接的位置着附的液滴的液滴喷出头与喷出重量不适当的液滴喷出头加起来调节，使其成为适当的喷出重量，由此修正也可。

(变形例5)在所述实施方式中，在每次实施一次工件W的更换时实施一次喷出检查，但不需要工件W的每次更换时实施喷出检查。例如，在实施各一次的构成头组的全部液滴喷出头的重量测定的期间，实施一次喷出检查也可。

(变形例6)在所述实施方式中，将与构成头组55的6个液滴喷出头17的重量测定在连续的6次材料供给去除工序的期间中实施，但不需要每次进行材料供给去除工序时实施与液滴喷出头17有关的重量测定。例如，像在两次材料供给去除工序中实施一次重量测定一样，在伴随一系列的重量测定的材料供给去除工序的期间，不实施重量测定，实施材料供给去除工序也可。

(变形例7)在所述实施方式中，在材料供给去除工序的期间实施了喷出检查工序的状态信息获得工序，但不需要在材料供给去除工序的期间实施状态信息获得工序。在材料供给去除工序的期间仅实施使用液滴喷出头的检查喷出，状态信息获得工序并行于描绘喷出等而实施也可。

(变形例8)在所述实施方式中，作为接受器管理部的喷出装置控制部6的CPU44将测定的功能液的重量累计计算而存储于RAM46，累计计算重量达到一定量的情况下，发出受液容器94(重量测定接受器)的交换指示信息。但是，不一定将接受器管理部测定的功能液的重量累计计算而发出重量测定接受器的交换指示信息。接受器管理部将液滴喷出头重量测定喷出的喷出次数累计计算而存储，在喷出次数达到一定量的情况下，发出重量测定接受器的交换指示信息也可。重量测定喷出每一次的喷出次数是恒定的，重量测定喷出的次数是发出重量测定喷出的指令的次数，容易计数，因此，能够容易地累计计算及存储喷出次数的累计，因此，与累计计算测定的重量的情况相比，接受器管理部中的信息处理减少也可。

(变形例9)在所述实施方式中，在液滴喷出头17实施重量测定喷出的期间，构成该液滴喷出头17属于的头组55的其他液滴喷出头17实施丢弃喷出。但是，在该液滴喷出头17实施重量测定喷出的期间爱你，这些液滴喷出头17不一定实施丢弃喷出。在一个液滴喷出头17实施重量测定喷出的期间，在其他液滴喷出头17中，只要基本上没有喷出嘴的干燥等不妥善情况发生大的可能性，就可以单单中止其他液滴喷出头17。

(变形例10)在所述实施方式中，在一次材料供给去除时间的期间，一个液滴喷出头17实施重量测定喷出，实施一个液滴喷出头17喷出的液滴的重量测定，但在一次材料供给去除时间的期间，不需要仅对一个液滴喷出头17实施重量测定。在一次材料供给去除时间的期间，只要能够对多个液滴喷出头实施重量测定，就可以对多个液滴喷出头实施重量测定。

(变形例11)在所述实施方式中，对于各头组55分别具有的6个液滴喷出头17全部，设置了在每次重量测定结束时，在不实施重量测定的情况下实施描绘的期间，但不需要一定设置在不实施重量测定的情况下实施描绘的期间。在实施工件W的更换时，每次实施重量测定也可。

(变形例12)在所述实施方式中，在测定的喷出重量的值的相对于标准值的误差超过规定值的情况下，为了验证测定结果，实施了再次重量测定，但不需要为了验证测定结果而实施的一定是重量测定。为了验证测定结果而实施的可以是使用了喷出检查单元18的喷出检查等。

(变形例13)在所述实施方式中，液滴喷出头17、和工件载置台21的X轴方向的相对移动通过使也沿X轴方向移动来实施。液滴喷出头17、和检查描绘单元161、重量测定单元19、或冲洗单元14的X轴方向的相对移动通过使由检查描绘单元161、重量测定单元19、和冲洗单元14构成的喷出检查块4a沿X轴方向移动来实施。摄像单元162和检查描绘单元161的X轴方向的相对移动通过使检查描绘单元161沿X轴方向移动来实施。但是，不需要一定通过使工件载置台21、或喷出检查块4a沿X轴方向移动来实施这些的X轴方向的相对移动。通过使液滴喷出头17或摄像单元162沿X轴方向移动，形成为实施上述X轴方向的相对移动的结构也可。

另外，在所述实施方式中，液滴喷出头17、工件载置台21、检查描绘单元161、重量测定单元19、或冲洗单元14的Y轴方向的相对移动通过使具有液滴喷出头17的喷出单元2沿Y轴方向移动来实施。也可以形成为该相对移动通过使喷出检查块4a沿Y轴方向移动来实施的结构。

进而，也可以形成为将上述X轴方向及Y轴方向的相对移动通过使工件载置台21、喷出检查块4a、液滴喷出头17、或摄像单元162沿X轴方向及Y轴方向移动来实施的结构。

(变形例14)在所述实施方式中，与步骤S4大致同时开始步骤S22，步骤S22及连续于其实施的步骤S23到步骤S34在实施相当于材料供给去除工序的步骤S4、S5、S1、S2、S3的期间，并行于步骤S4、S5、S1、S2、S3而实施。但是，在实施测定的喷出重量的值的相对于标准值的误差超过规定值的情况下实施的步骤S29到步骤S34、或用于验证而实施的步骤S31到步骤S34的情况下，除了用于实施步骤S22到步骤S28的时间之外，需要用于实施步骤S29到步骤S34或步骤S31到步骤S34的时间。在这些时间的总计超过材料供给去除工序的时间的情况下，在有必要实施步骤S29到步骤S34或步骤S31到步骤S34时，暂时停止描绘喷出也可。

Claims (33)

1.一种液滴喷出方法，其特征在于，包括：

描绘喷出工序，其从液滴喷出头喷出液状体，并且，通过使作为所述液状体着附的对象的基材、和所述液滴喷出头相对移动，在所述基材上配置所述液状体；

材料供给去除工序，其用于对具备所述液滴喷出头的液滴喷出装置实施所述基材的材料供给去除；

重量测定工序，其包括所述液滴喷出头实施用于实施从该液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出的重量测定喷出工序，并测定重量测定喷出的所述液状体的重量，

在实施所述材料供给去除工序的期间，大致并行地实施所述重量测定喷出工序。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，

还包括：丢弃喷出工序，其使所述液滴喷出头实施用于维持所述液滴喷出头的状态的丢弃喷出；

喷出检查工序，其包括检查喷出工序和状态信息获得工序，并检查所述液滴喷出头的喷出状态，所述检查喷出工序使所述液滴喷出头实施用于检查所述液滴喷出头的喷出状态的检查喷出，所述状态信息获得工序获得检查喷出而着附的液状体的状态的信息，

在实施所述材料供给去除工序的期间，实施所述丢弃喷出工序及所述检查喷出工序。

3.根据权利要求2所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在具有多个所述液滴喷出头的组中所包含的一台所述液滴喷出头实施所述重量测定喷出，包含于该组的除进行所述重量测定喷出的所述液滴喷出头以外的所述液滴喷出头与包含于所述组中的一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出并行地实施所述丢弃喷出。

4.根据权利要求2或3所述的液滴喷出方法，其特征在于，

将所述状态信息获得工序、和所述重量测定喷出工序以相互错开实施各自的工序的时刻的方式进行实施。

5.根据权利要求2或2所述的液滴喷出方法，其特征在于，

与所述状态信息获得工序大致平行地实施所述重量测定喷出工序。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于基准值的差异超过规定值的情况下，实施确认检查。

7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述确认检查为所述重量测定工序。

8.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述确认检查为所述喷出检查工序。

9.根据权利要求1～5中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于基准值的差异超过第一值且在第二值以下的情况下，实施所述液滴喷出头中的喷出条件的修正。

10.根据权利要求9所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述液滴喷出头的驱动源为压电元件，所述喷出条件之一是向所述液滴喷出头施加的驱动电压，所述修正包括驱动电压值的修正或驱动电压波形的修正。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在实施一次所述材料供给去除工序的期间，实施利用一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出工序。

12.根据权利要求11所述的液滴喷出方法，其特征在于，

规定包含多个所述液滴喷出头的头组，

所述液滴喷出方法包括：头组重量测定工序，其使在所述头组中包含的所有的所述液滴喷出头分别依次实施一次所述重量测定喷出工序，并实施各个所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定；

重量测定中止工序，其在不并行实施所述重量测定喷出工序的情况下，实施规定的次数的所述材料供给去除工序。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

根据所述重量测定喷出工序的实施状态，发出收容由所述重量测定喷出喷出的所述液状体的重量测定接受器的更换指示。

14.根据权利要求13所述的液滴喷出方法，其特征在于，

对在所述重量测定喷出工序中的所述重量测定喷出的喷出次数进行累计，在该喷出次数的累计超过规定的数值的时刻，发出所述重量测定接受器的更换指示。

15.根据权利要求13所述的液滴喷出方法，其特征在于，

对在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量进行累计，在该重量的累计超过规定的数值的时刻，发出所述重量测定接受器的更换指示。

16.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

液滴喷出头，其喷出液状体；

载物台，其用于载置作为使喷出的所述液状体着附的对象的基材；

载物台移动机构，其使所述液滴喷出头和所述载物台在主扫描方向上相对移动；

重量测定单元，其测定从所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量；

重量测定单元移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在主扫描方向上相对移动；

重量测定单元副移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动；

重量测定控制部，其控制所述液滴喷出头、所述重量测定单元、所述重量测定单元移动机构、和所述重量测定单元副移动机构，

所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，使所述液滴喷出头和所述重量测定单元相对移动，以使所述液滴喷出头位于面向所述重量测定单元的位置，

在材料供给去除时间的期间，通过控制所述液滴喷出头，实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出，并且

所述材料供给去除时间包含对所述载物台实施所述基材的材料供给去除的时间、及为了该材料供给去除而利用所述载物台移动机构相对移动所述载物台的时间。

17.根据权利要求16所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具备：丢弃喷出接受器，其接受为了维持所述液滴喷出头的状态而通过所述液滴喷出头实施的丢弃喷出所喷出的所述液状体；

喷出检查装置，其包含：检查喷出着附片，使为了检查所述液滴喷出头的喷出状态而通过对所述液滴喷出头实施的检查喷出所喷出的所述液状体着附；和状态观测装置，获得着附于该检查喷出着附片上的所述液状体的状态信息；

喷出检查控制部，其控制所述液滴喷出头和所述状态观测装置，

所述重量测定单元移动机构使所述液滴喷出头、和所述喷出接受器及所述检查喷出着附片在所述主扫描方向上相对移动，

所述重量测定单元副移动机构使所述液滴喷出头、和所述喷出接受器及所述检查喷出着附片在所述副扫描方向上相对移动，

所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，使所述液滴喷出头、和所述喷出接受器及所述检查喷出着附片相对移动，以使所述液滴喷出头位于面向所述丢弃喷出接受器或所述检查喷出着附片的位置，并

通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，使所述状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置，

所述喷出检查控制部以在所述材料供给去除时间的期间，实施所述丢弃喷出及所述检查喷出的方式来控制所述液滴喷出头，

所述喷出检查控制部又以获得着附于所述状态观测装置面向的所述检查喷出着附片上的所述液状体的状态信息的方式，控制所述状态观测装置。

18.根据权利要求17所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述重量测定控制部控制包含在具有多个所述液滴喷出头的组中的一台所述液滴喷出头来实施所述重量测定喷出，并控制在该组中包含的除进行所述重量测定喷出的所述液滴喷出头以外的所述液滴喷出头，与利用所述组中包含的一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出并行地实施所述丢弃喷出。

19.根据权利要求17或18所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述喷出检查控制部及所述重量测定控制部以将实施利用所述状态观测装置获得所述状态信息、和利用所述液滴喷出头实施所述重量测定喷出的时刻相互错开而分别实施的方式，控制所述状态观测装置及所述液滴喷出头。

20.根据权利要求17或18所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具备：检查单元移动机构，其使所述液滴喷出头或所述状态观测装置、和所述检查喷出着附片在所述主扫描方向上相对移动，

所述喷出检查控制部控制所述检查单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，

使所述液滴喷出头和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述液滴喷出头位于面向所述检查喷出着附片的位置，并且

使状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置，

所述喷出检查控制部及所述重量测定控制部以大致并行实施利用所述状态观测装置获得所述状态信息、和利用所述液滴喷出头实施所述重量测定喷出的方式，控制所述状态观测装置及所述液滴喷出头。

21.根据权利要求20所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具备：检查单元副移动机构，其使所述液滴喷出头或所述状态观测装置、和所述检查喷出着附片在所述副扫描方向上相对移动，

所述喷出检查控制部通过控制所述检查单元移动机构及所述检查单元副移动机构，

使所述液滴喷出头和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述液滴喷出头位于面向所述丢弃喷出接受器或所述检查喷出着附片的位置，并且

使所述状态观测装置和所述检查喷出着附片相对移动，以使所述状态观测装置位于面向所述检查喷出着附片的位置。

22.根据权利要求16～21中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在利用所述重量测定单元测定从所述液滴喷出头所述重量测定喷出的所述液状体的重量得到的测定值的、相对于基准值的差异超过规定值的情况下，实施确认检查。

23.根据权利要求22所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述确认检查是利用所述重量测定单元进行的重量测定。

24.根据权利要求22所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述确认检查是利用所述喷出检查装置进行的所述液滴喷出头的喷出状态的检查。

25.根据权利要求16～21中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具备：喷出条件设定部，其设定所述液滴喷出头的喷出条件，

在利用所述重量测定单元测定从所述液滴喷出头所述重量测定喷出的所述液状体的重量得到的测定值相对于基准值的差异超过第一值、且在第二值以下的情况下，所述喷出条件设定部实施所述液滴喷出头中的喷出条件的修正。

26.根据权利要求25所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述喷出条件之一为施加于所述液滴喷出头的驱动电压，所述修正包括驱动电压值的修正或驱动电压波形的修正。

27.根据权利要求16～26中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在一次所述材料供给去除时间的期间，实施利用一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出。

28.根据权利要求27所述的液滴喷出装置，其特征在于，

预先规定包含多个所述液滴喷出头的头组，

所述重量测定控制部以伴随实施多次所述材料供给去除，包含于所述头组的所有的所述液滴喷出头依次各自实施一次所述重量测定喷出，并实施各个所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定的方式，控制所述重量测定单元移动机构及所述液滴喷出头，并且，

以在伴随并行实施第一液滴喷出头的所述重量测定喷出的所述材料供给去除、和下次伴随并行实施该第一液滴喷出头的所述重量测定喷出的所述材料供给去除的期间，实施多次不伴随并行实施所述重量测定喷出的所述材料供给去除的方式，控制所述重量测定单元移动机构及所述液滴喷出头。

29.根据权利要求16～28中任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，

还具备：重量测定接受器，其收容由所述重量测定喷出喷出的所述液状体；

接受器管理部，其算出所述重量测定接受器的更换时期，并发出更换指示信息，

所述接受器管理部根据所述重量测定喷出的实施状态，算出所述更换时期。

30.根据权利要求29所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述接受器管理部对所述重量测定喷出的喷出次数进行累计，并将该喷出次数的累计超过规定的数值的时刻作为所述更换时期。

31.根据权利要求29所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述接受器管理部对在所述重量测定中测定的所述液状体的重量进行累计，并将该重量的累计超过规定的数值的时刻作为所述更换时期。

32.一种液滴喷出装置的喷出重量测定方法，该液滴喷出装置从液滴喷出头喷出液状体，并且，通过使作为所述液状体着附对象的基材、和所述液滴喷出头相对移动，在所述基材上配置所述液状体，其特征在于，包括：

重量测定喷出工序，其使所述液滴喷出头实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出，

在对所述液滴喷出装置实施用于实施所述基材的材料供给去除的材料供给去除工序的期间，实施所述重量测定喷出工序。

33.一种液滴喷出装置的喷出重量测定装置，所述液滴喷出装置具备：液滴喷出头，其喷出液状体；载物台，其用于载置作为使喷出的所述液状体着附的对象的基材；载物台移动机构，其使所述液滴喷出头和所述载物台在主扫描方向上相对移动；重量测定单元，其测定从所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量；重量测定单元移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在主扫描方向上相对移动；重量测定单元副移动机构，其使所述液滴喷出头和所述重量测定单元在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动，所述液滴喷出装置的喷出重量测定装置的特征在于，

具备：重量测定控制部，其控制所述液滴喷出头、所述重量测定单元、所述重量测定单元移动机构、和所述重量测定单元副移动机构，

所述重量测定控制部通过控制所述重量测定单元移动机构及所述重量测定单元副移动机构，使所述液滴喷出头和所述重量测定单元相对移动，以使所述液滴喷出头位于面向所述重量测定单元的位置，

在材料供给去除时间的期间，通过控制所述液滴喷出头，实施用于实施喷出的所述液状体的重量测定的重量测定喷出，并且

所述材料供给去除时间包含对所述载物台实施所述基材的材料供给去除的时间、及为了该材料供给去除而利用所述载物台移动机构相对移动所述载物台的时间。

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