JP4922724B2 - 溶液の塗布装置 - Google Patents
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Description
所定方向に沿って配置され上記基板に上記溶液を供給塗布する複数のノズルと、
上記所定方向とは交差する方向に沿って設けられたガイド部材に沿って移動可能に設けられ、上面に上記基板が載置される載置テーブルと、
この載置テーブルを上記ガイド部材に沿って移動させる第1の駆動手段と、
上記ガイド部材上に上記載置テーブルとは独立して移動可能に設けられた第1の可動部材と、
この第1の可動部材上に、上記所定方向に沿って移動可能に設けられた第2の可動部材と、
上記第1の可動部材および上記第2の可動部材を移動させる第2の駆動手段と、
上記第2の可動部材に支持され、上記ノズルから供給された溶液の重量を測定する秤と
を有することを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記複数の塗布ヘッドの上記所定方向における位置情報に基づいて上記秤を各塗布ヘッドに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することが好ましい。
このようにして1番目の塗布ヘッド22の調整が終了したならば、この塗布ヘッド22からの溶液の供給量の測定を再度行い、目標の供給量が得られているか否かを確認する。そして、目標の供給量が得られていれば良とし、得られていなければ上述した調整を繰り返す。
Claims (5)
- 基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置され上記基板に上記溶液を供給塗布する複数のノズルと、
上記所定方向とは交差する方向に沿って設けられたガイド部材に沿って移動可能に設けられ、上面に上記基板が載置される載置テーブルと、
この載置テーブルを上記ガイド部材に沿って移動させる第1の駆動手段と、
上記ガイド部材上に上記載置テーブルとは独立して移動可能に設けられた第1の可動部材と、
この第1の可動部材上に、上記所定方向に沿って移動可能に設けられた第2の可動部材と、
上記第1の可動部材および上記第2の可動部材を移動させる第2の駆動手段と、
上記第2の可動部材に支持され、上記ノズルから供給された溶液の重量を測定する秤と
を有することを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上記秤は、上記ノズルから供給される溶液を受けるカップ体を有し、このカップ体は上面開口がシャッタによって開閉可能になっていることを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。
- 上記複数のノズルが配置された上記所定方向の位置情報に基づいて上記秤を各ノズルに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。
- 上記ノズルが設けられて上記所定方向に配置された複数の塗布ヘッドを有し、
上記複数の塗布ヘッドの上記所定方向における位置情報に基づいて上記秤を各塗布ヘッドに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。 - 上記秤によって計測された溶液の供給量に基づいて各ノズルが供給する溶液の供給量を補正する制御手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の溶液の塗布装置。
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