JP4922724B2

JP4922724B2 - 溶液の塗布装置

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Publication number: JP4922724B2
Application number: JP2006277935A
Authority: JP
Inventors: 慎二梶原
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2005-10-20
Filing date: 2006-10-11
Publication date: 2012-04-25
Anticipated expiration: 2026-10-11
Also published as: JP2007136450A

Description

この発明は基板に溶液を塗布する溶液の塗布装置、基板に供給される溶液の量を計測する計測方法に関する。

たとえば、液晶表示装置の製造工程においては、ガラス製の基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、基板の板面にたとえば配向膜やレジストなどの機能性薄膜が形成される。

基板に機能性薄膜を形成する場合、この機能性薄膜を形成する溶液をノズルから吐出して基板の板面に塗布するインクジェット方式の塗布装置が用いられることがある。

この塗布装置は、基板を搬送する載置テーブルを有しており、この載置テーブルの上方には、上記ノズルが形成された複数の塗布ヘッドが基板の搬送方向に対してほぼ直交する方向に沿って配置されている。それによって、搬送される基板の上面には複数の塗布ヘッドのノズルから吐出された溶液が搬送方向並びにその方向と交差する方向に所定間隔で塗布されるようになっている。

各塗布ヘッドには各ノズルに対向して圧電素子が可撓板を介して設けられている。圧電素子に電圧を印加すると、上記可撓板が変形し、上記ノズルから溶液が供給されるようになっている。

各塗布ヘッドの圧電素子に同じ電圧を印加しても、それぞれの塗布ヘッドは溶液の供給源からの配管抵抗や製作精度、組み立て精度などによって特性が異なるため、供給される溶液の量に差異が生じる。その結果、基板に形成される機能性薄膜の厚さが均一にならないということがある。

そこで、従来は各ヘッドに印加する電圧を所定の値に設定した後、それぞれのヘッドに電圧を印加したときにノズルから供給される溶液を作業者がカップ体で受け、その供給量を塗布装置と別の位置に設けられた電子式の秤で測定し、その測定に基いてそれぞれの塗布ヘッドに印加する電圧を調整するということが行われていた。このような調整は塗布装置の運転開始前や定期的に行われている。

ところで、最近では液晶表示装置が大型化する傾向にあり、それに伴って基板も大型化している。基板が大型化すると、塗布装置に設けられる塗布ヘッドの数もたとえば２０〜５０個或いはそれ以上に多くなることもある。

塗布ヘッドの数が多くなると、作業者がそれぞれの塗布ヘッドから供給される溶液をカップ体で受けて秤で測定するという作業を塗布ヘッドの数に応じて繰り返して行わなければならないから、作業者に掛かる負担が大きくなり、生産性が著しく低下するということがある。

また、配向膜などの機能性薄膜を形成する溶液である、たとえばポリイミド溶液の場合、その溶液には有機溶媒が含まれている。溶媒を含む溶液は塗布ヘッドのノズルから吐出された時点から吸湿が始まり、重量が経時変化するということがある。

そのため、作業者が塗布ヘッドから供給された溶液をカップ体で受け、塗布装置と別の位置に設けられた秤で重量を測定する場合、溶液を受けてから重量測定するまでに時間が掛かることがあるから、そのような場合には塗布ヘッドから供給される溶液の重量を高精度に測定できないということがある。

さらに、秤が塗布装置と別の場所に設けられていると、溶液の重量を測定する場所と、塗布ヘッドが設けられた場所とで温度や湿度などの環境に差があることがある。そのような場合、測定結果に基いて塗布ヘッドに印加する電圧を設定しても、環境の差が加味されないため、塗布ヘッドから供給される溶液の量を高精度に設定できないということもある。

この発明は、ノズルから供給される溶液の供給量の測定精度とこの測定作業の能率の向上を図ることができるようにした溶液の塗布装置及び溶液供給量の測定方法を提供することにある。

この発明は、基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置され上記基板に上記溶液を供給塗布する複数のノズルと、
上記所定方向とは交差する方向に沿って設けられたガイド部材に沿って移動可能に設けられ、上面に上記基板が載置される載置テーブルと、
この載置テーブルを上記ガイド部材に沿って移動させる第１の駆動手段と、
上記ガイド部材上に上記載置テーブルとは独立して移動可能に設けられた第１の可動部材と、
この第１の可動部材上に、上記所定方向に沿って移動可能に設けられた第２の可動部材と、
上記第１の可動部材および上記第２の可動部材を移動させる第２の駆動手段と、
上記第２の可動部材に支持され、上記ノズルから供給された溶液の重量を測定する秤と
を有することを特徴とする溶液の塗布装置にある。

上記秤は、上記ノズルから供給される溶液を受けるカップ体を有し、このカップ体は上面開口がシャッタによって開閉可能になっていることが好ましい。

上記複数のノズルが配置された上記所定方向の位置情報に基づいて上記秤を各ノズルに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することが好ましい。

上記ノズルが設けられて上記所定方向に配置された複数の塗布ヘッドを有し、
上記複数の塗布ヘッドの上記所定方向における位置情報に基づいて上記秤を各塗布ヘッドに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することが好ましい。

上記秤によって計測された溶液の供給量に基づいて各ノズルが供給する溶液の供給量を補正する制御手段を備えていることが好ましい。

この発明によれば、秤を載置テーブルとは独立して所定方向及びその所定方向と交差する方向に移動可能に設け、その移動によって各ノズルから供給される溶液を上記秤によって順次受けて測定するようにした。

そのため、ノズルが基板に対して溶液を供給塗布する位置において各ノズルから供給される溶液の重量の測定を行なえるので、溶液が使用される環境に即した環境下で溶液の重量を測定することができる。

しかも、秤は載置テーブルとは独立して移動可能であるので、載置テーブルに載置された基板に溶液を供給塗布するときであっても、秤をそこから退避させて位置付けておくことができる。そのため、基板に溶液を塗布しているときでも、退避させた位置において秤の保守を並行して行なうことが可能となる。したがって、測定精度と作業効率の向上を図ることができる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。

図１と図２に示すこの発明を適用した塗布装置はほぼ直方体状のベース１を有する。このベース１の下面の所定位置にはそれぞれ脚２が設けられており、上記ベース１を水平に支持している。

図２に示すように、上記ベース１の上面の幅方向両端部には、長手方向に沿ってそれぞれ取付け板３が設けられている。これら取付け板３の上面の幅方向一端部には長手方向に沿ってそれぞれガイド部材４が設けられている。これらガイド部材４の上面には、矩形板状のＸテーブル５が、その下面の幅方向両側に平行に設けられた断面ほぼ逆Ｕ字状の一対の第１の受け部材６をスライド可能に係合させて支持されている。Ｘテーブル５の上面には、このＸテーブル５よりも小さい載置テーブル7が設けられている。つまり、載置テーブル７は上記Ｘテーブル５を介して上記ガイド部材４に沿うＸ方向に移動可能となっている。

図２に示すように、上記ガイド部材４には固定子４ａが設けられ、上記第１の受け部材６には可動子６ａが設けられている。つまり、上記固定子４ａと可動子６ａとで第１の駆動手段となる第１のリニアモータ８を形成している。

上記載置テーブル７には、たとえばアクティブマトリックス方式の液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Ｗが供給される。この基板Ｗは、上記載置テーブル７に真空吸着や静電吸着などの手段によって吸着保持される。したがって、載置テーブル７に保持された基板Ｗは上記Ｘテーブル５によってＸ方向に駆動されるようになっている。

上記ベース１の長手方向中途部には上記一対のガイド部材４を跨ぐように門型の支持体１１が立設されている。この支持体１１の両側上部には角柱からなる取付け部材１２が水平に架設されている。

上記取付け部材１２にはヘッドテーブル１９が上記Ｘテーブル５の駆動方向であるＸ方向と直交するＹ方向（図２に矢印で示す）に沿って移動可能に設けられている。上記支持体１１の幅方向一側にはパルスモータからなるＹ駆動源２１が設けられている。このＹ駆動源２１は上記ヘッドテーブル１９をＹ方向に沿って駆動するようになっている。なお、ヘッドテーブル１９のＹ方向の駆動はパルスモータに代わり、リニアモータで行うようにしてもよい。

上記ヘッドテーブル１９の一側面にはインクジェット方式によって機能性薄膜である、たとえば配向膜を形成する溶液（ポリイミド溶液）をドット状に吐出する複数の塗布ヘッド２２がＹ方向に沿って配置されている。この実施の形態では、たとえば７つの塗布ヘッド２２が千鳥状に二列で配置されている。

図３と図４に示すように、上記各塗布ヘッド２２はヘッド本体２８を備えている。ヘッド本体２８は筒状に形成され、その下面開口は可撓板２９によって閉塞されている。この可撓板２９はノズルプレート３１によって覆われており、このノズルプレート３１と上記可撓板２９との間には複数の液室３２が形成されている。

各液室３２は、ノズルプレート３１内に形成された主管路３１Ａに図示しない枝管路を介してそれぞれ連通していて、上記主管路３１Ａから上記枝管路を介して溶液が各液室３２に供給される。主管路３１Ａは、一端が後述する給液孔３３に接続され、他端が後述する回収孔３７に接続される。

上記ヘッド本体２８の長手方向一端部には上記液室３２に連通する上記給液孔３３が形成されている。この給液孔３３から上記各液室３２には機能性薄膜を形成する上記溶液が供給される。それによって、上記液室３２内は溶液で満たされるようになっている。

図４に示すように、上記ノズルプレート３１には、基板Ｗの搬送方向に直交する方向である、Ｙ方向に沿って複数のノズル３４が千鳥状に穿設されている。上記可撓板２９の上面には、図３に示すように上記各ノズル３４にそれぞれ対向して複数の圧電素子３５が設けられている。

各圧電素子３５は上記ヘッド本体２８内に設けられた駆動部３６によって駆動電圧が供給される。それによって、圧電素子３５は伸縮し、可撓板２９を部分的に変形させるから、その圧電素子３５に対向位置するノズル３４から溶液がドット状に吐出され、搬送される基板Ｗの上面に供給塗布される。したがって、基板Ｗの上面には、ドット状の溶液が行列状に配列されてなる塗布パターンが形成される。そして、この塗布パターンは、ドット状の各溶液が流動して濡れ広がることにより、付着し合って１つの膜となる。

なお、圧電素子３５に印加する電圧の強さを変えて圧電素子３５の作動量を制御すれば、各圧電素子３５が対向するノズル３４から吐出される溶液の液滴の大きさを変えることができる。つまり、塗布ヘッド２２からの溶液の供給量を制御できる。

上記ヘッド本体２８の長手方向他端部には上記液室３２に連通する上記回収孔３７が形成されている。上記給液孔３３から液室３２に供給された溶液は、上記回収孔３７から回収することができるようになっている。すなわち、各ヘッド２２は上記液室３２に供給された溶液をノズル３４から吐出させるだけでなく、上記液室３２を通じて上記回収孔３７から回収することが可能となっている。

図５に示すように、各塗布ヘッド２２に設けられた駆動部３６は制御装置４０によって駆動が制御される。すなわち、上記制御装置４０は、たとえば各塗布ヘッド２２をヘッドテーブル１９に取付けた状態において、複数の塗布ヘッド２２に形成された各ノズル３４のＸ、Ｙ座標を認識できるようになっている。それによって、基板Ｗに対する溶液の上記Ｙ方向に沿う吐出位置を制御することができる。

上記制御装置４０は各塗布ヘッド２２の駆動部３６だけでなく、Ｘテーブル５をＸ方向に駆動する第１のリニアモータ８、塗布ヘッド２２が設けられたヘッドテーブル１９をＹ方向に駆動するＹ駆動源２１の駆動も制御する。

図１に示すように、上記ガイド部材４の一端部には電子式の秤４１が設けられている。すなわち、ガイド部材４の一端部には、第１の可動部材４２がその下面の幅方向両端部に設けられた一対の第２の受け部材４３（１つのみ図示）を上記各ガイド部材４にそれぞれスライド可能に係合させて支持されている。

電子式の秤４１としては、被計量物の重量を電磁力で釣り合わせ、そのときの電流の大きさから被計量物の重さを検出する電磁式のものや、重量に応じた信号を出力する荷重変換器（ロードセル）を使用して被計量物の重さを検出するロードセル式のものを用いることができる。

上記第２の受け部材４３には、図７に示すように、上記ガイド部材４に設けられた固定子４ａとで第２のリニアモータ４４を構成する可動子４３ａが設けられている。上記第２のリニアモータ４４は上記制御装置４０によって駆動が制御される。それによって、上記第１の可動部材４２は上記ガイド部材４に沿うＸ方向に駆動可能となっている。

上記第１の可動部材４２の上面には第２の可動部材４５が上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って移動可能に設けられている。上記第１の可動部材４２の長手方向一端にはパルスモータからなるＹ駆動源４６が設けられている。このＹ駆動源４６を作動させることで、上記第２の可動部材４５がＹ方向に沿って駆動されるようになっている。

上記第２の可動部材４５の上面には上記秤４１が設けられている。それによって、秤４１はＸ方向とＹ方向とに駆動されるようになっている。つまり、上記第２のリニアモータ４４と上記Ｙ駆動源４６とで、上記秤４１をＸ、Ｙ方向に駆動する第２の駆動手段を構成している。

上記秤４１の受圧部４７には上面が開口したカップ体４８が着脱可能に載置されている。このカップ体４８の上面開口は、少なくとも１つの塗布ヘッド２２の平面積よりも大きく形成されている。

なお、この実施の形態では、カップ体４８はその上面開口がＸ方向では塗布ヘッド２２の２つ分の幅寸法に余裕値を加えた長さ寸法を有し、Ｙ方向では塗布ヘッド２２の１つ分の長手方向の寸法に余裕値を加えた長さ寸法を有する大きさに形成される。また、カップ体４８は、後述する塗布ヘッド２２からの溶液の供給量を設定するときに７つの塗布ヘッド２２のそれぞれから供給される溶液を貯留するに十分な容積を有する。

上記カップ体４８は後述するように塗布ヘッド２２から供給される溶液を受ける。カップ体４８が溶液を受けると、秤４１は受圧部４７によって溶液の重量を計測し、その計測信号を上記制御装置４０に出力する。

制御装置４０は、カップ体４８が溶液を受ける前と溶液を受けた後での秤４１の計測信号を比較して両者の差からカップ体４８に供給された溶液の重量を求める。そして、求めた溶液の重量と予め設定された設定値と比較し、その比較に基いて塗布ヘッド２２の駆動部３６に印加する電圧を設定する。それによって、塗布ヘッド２２から供給される溶液の重量が所定の値になるよう制御される。

上記秤４１の側方には上記第２の可動部材４５に取付けられたＬ字状の支持部材４９が設けられている。この支持部材４９の上端にはロッドレスシリンダ５１が設けられている。このロッドレスシリンダ５１のスライダ５２にはＬ字状の連結部材５３の一辺が取り付けられている。この連結部材５３の他辺にはシャッタ５４が取付けられている。このシャッタ５４は、上記連結部材５３が上記ロッドレスシリンダ５１によって図６に実線で示す位置と鎖線で示す位置との間で駆動されることで、上記カップ体４８の上面開口を開閉するようになっている。なお、シャッタ５４は、カップ体４８の上面開口との間に微小な隙間を有して設けられている。

上記第１の可動部材４２がＸ方向に駆動されることで、上記秤４１を上記支持体１１に設けられた塗布ヘッド２２の下方に位置させることができる。塗布ヘッド２２の下方に位置した秤４１は、上記第２の可動部材４５がＹ方向に駆動されることで、複数の塗布ヘッド２２のうちの１つの塗布ヘッド２２の下方に対向するよう位置決めすることができる。

なお、上記Ｘテーブル５と上記秤４１は、ともに可動子６ａ，４３ａに通電することでＸ方向に駆動される。しかしながら、Ｘテーブル５をＸ方向に駆動する第１の受け部材６と、秤４１をＸ方向に駆動する第２の受け部材４３とは上記ガイド部材４の異なる位置に設けられている。したがって、上記Ｘテーブル５と上記秤４１は第１、第２の受け部材６、４３の可動子６ａ，４３ａに対する通電を個別に制御することで別々に駆動を制御することができる。

上記制御装置４０には操作パネル５６（図５参照）が接続されている。この操作パネル５６には上記基板Ｗに溶液を塗布する塗布モード、上記秤４１による各塗布ヘッド３６からの溶液の吐出量を調整する調整モードなどを設定するための操作キーが設けられている。

予め７つの塗布ヘッド３６の位置を上記制御装置４０にティーチングしておくことで、上記操作パネル５６のキー操作によって上記秤４１を各塗布ヘッド２２の下方に順次対向するよう位置決めすることができるようになっている。

上記秤４１のＸ、Ｙ方向のティーチング位置は位置検出器５７が検出する検出信号が制御装置４０に出力されることで行われる。位置検出器５７としては、詳細は図示しないが、たとえばＸ方向は第２のリニアモータ４４に付随して設けられた位置検出器５７（図５参照）、Ｙ方向はＹ駆動源４６に付随して設けられた位置検出器５７（図５参照）からのそれぞれの信号を制御装置４０に出力することで検出可能である。

たとえば、作業者は操作パネル５６のキー操作により第２のリニアモータ４４とＹ駆動源４６を作動させ、秤４１のカップ体４８を図２において右端に位置する１番目の塗布ヘッド２２の下方に位置させる。制御装置４０は、このときの秤４１の位置を位置検出器５７から出力される信号によって検出する。そして、この位置を１番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置として記憶する。

２番目から７番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置は、１番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置と既知である各塗布ヘッド２２の配置間隔とから制御装置４０が算出する。

なお、カップ体４８は、前述したように、その上面開口がＸ方向では塗布ヘッド２２の２つ分の幅寸法に余裕値を加えた長さ寸法を有する大きさに形成されているので、１番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置をティーチングするときには、カップ体４８の中心が千鳥状に二列で配置された塗布ヘッド２２の中間に位置するようにするとよい。このようにすれば、Ｙ駆動源４６を作動させるだけで、カップ体４８を７つの塗布ヘッド２２それぞれの下方に順次位置決めすることができる。

また、作業者が１番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置をティーチングし、制御装置４０が２〜７番目の塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置を算出するものと説明したが、全ての塗布ヘッド２に対する秤４１の位置決め位置を作業者がティーチングするようにしてもよい。また、制御装置４０が塗布ヘッド２２の配置位置情報から全ての塗布ヘッド２２に対する秤４１の位置決め位置を算出するようにしてもよい。

上記構成の塗布装置において、基板Ｗに対して溶液の塗布を開始する前、或いは塗布装置を所定時間稼動させたならば、各塗布ヘッド２２から供給される溶液の供給量を測定し、その供給量が一定になるよう設定する。

塗布ヘッド２２から吐出される溶液の供給量を設定する場合、上記操作パネル５６のキー操作によって調整モードを選択する。この調整モードが選択されると、載置テーブル７は図１に示すようにＸ方向に駆動され、図１においてベース１の左端側、つまり支持体１１に設けられた塗布ヘッド２２の下方から退避させる。ついで、秤４１がティーチング位置に基いて支持体１１の塗布ヘッド２２の下方に位置される。秤４１は最初に複数の塗布ヘッド２２のうちの１番目の塗布ヘッド２２の下方に位置決めされる。

秤４１がＸ方向に位置決めされたならば、シャッタ５４が駆動されてカップ体４８の上面が開放された後、１番目の塗布ヘッド２２の全てのノズル３４から制御装置４０によって設定された設定条件である、電圧、電圧の印加時間及び吐出回数によって溶液がカップ体４８に供給される。溶液を供給したならば、シャッタ５４によってカップ体４８の上面が閉じられる。それによって、カップ体４８に供給された溶液の溶媒が吸湿して重量に変化が生じるのを防止できるから、秤４１による溶液の重量測定が正確に行える。

また、シャッタ５４によってカップ体４８の上面が閉じられるので、塗布装置の上方からクリーンエアが供給されるようなダウンフローの雰囲気下であっても、カップ体４８内に溜まった溶液の液面が乱れることが防止される。

そのため、液面の乱れに起因する秤４１の計測信号の変動が防止されるので、高精度の秤４１を用いた場合であっても、溶液の重量測定が正確に行なえる。したがって、ノズル３４から吐出される溶液の液滴の大きさが微小な機能性薄膜の塗布装置に用いて好適である。

ついで、カップ体４８に溶液が供給されると、秤４１はその溶液の重量の計測信号を制御装置４０に入力する。この実施の形態においてさらに詳細には、制御装置４０はシャッタ５４が開く前の秤４１の計測信号とカップ体４８に溶液が供給されてシャッタ５４が閉じた後の計測信号とを比較し、その差からカップ体４８に供給された溶液の重量を求める。そして、求めた溶液の重量と予め設定された設定値とを比較し、測定された溶液の重量が設定値の許容範囲内にあるか否か、つまり目標の供給量が得られているか否かの良否を判別する。測定値が許容値内であれば、１番目の塗布ヘッド２２の供給量は良であるとの判定をする。

制御装置４０は、許容値から外れていたならば、否と判定し、測定値と設定値との差を求める。そして、測定値と設定値との差がなくなるよう、吐出条件を調整する。その調整は、各ノズル３４に対応して設けられた圧電素子３５に印加する電圧を増減することで行われる。たとえば、測定値と設定値との差がＤ、吐出回数がＮ、塗布ヘッド２２のノズル数がｎである場合、吐出回数１回当たりの、しかも１つ当たりのノズル３４の溶液の過不足ΔＷは、ΔＷ＝Ｄ／（Ｎ・ｎ）によって求めることができる。そして、ΔＷが０若しくは許容範囲内になるよう圧電素子３５に印加する電圧を設定する。

この場合の圧電素子３５に印加する電圧は、電圧とノズル３４から吐出される溶液の供給量との関係を予め求めておくことで、設定することができる。
このようにして１番目の塗布ヘッド２２の調整が終了したならば、この塗布ヘッド２２からの溶液の供給量の測定を再度行い、目標の供給量が得られているか否かを確認する。そして、目標の供給量が得られていれば良とし、得られていなければ上述した調整を繰り返す。

なお、調整の繰り返し数に上限を設けておき、上限回数まで調整しても目標の供給量が得られなければ、塗布ヘッド２２の番号等、その塗布ヘッド２２を特定できる情報を操作パネル５６に表示するなどして調整ができないことを作業者に知らせるようにする。調整不能である場合は、たとえば塗布ヘッド２２のノズル３４が詰まっている場合などが考えられる。したがって、調整不能である場合、作業者はその塗布ヘッド２２に異常があることが確認できるから、その確認に基いてノズル３４の清掃や塗布ヘッド２２の交換などを行えばよい。

このようにして、１番目の塗布ヘッド２２の調整が終了したならば、同様にして右端から２〜７番目の塗布ヘッド２２に対して溶液の供給量の調整を順次行う。そして、全ての塗布ヘッド２２の調整が終了すると、そのことが操作パネル５６に表示されることになる。また、秤４１は図１に示すＸ方向右端の待機位置に移動する。

なお、制御装置４０は、カップ体４８に溶液が供給される前と供給された後での計測信号の差から今回カップ体４８に供給された溶液の重量を求めるので、カップ体４８に供給された溶液を１回の計測ごとに除去しなくてもよく、塗布ヘッド２２からの溶液の供給量の設定を効率よく行うことができる。

また、このときカップ体４８が満杯になるまでに連続して行える溶液の供給量の計測回数の上限値を制御装置４０の記憶部（不図示）に設定しておき、１つの塗布ヘッド２２に対する溶液の供給量の設定が終了するごとに制御装置４０により計測回数をカウントしカウント値が上限値に到達した時点で、カップ体４８内の溶液の除去を促す警報を操作パネル５６に表示するようにしてもよい。

また、カップ体４８内に溢れることなく貯留可能な溶液の重量の上限値を予め測定して制御装置４０の記憶部（不図示）内に設定しておき、制御装置４０によりカップ体４８内の溶液の実際の重量と、重量の上限値を比較し、実際の重量が重量の上限値に達したときには溶液の供給量の設定を中止すると共にカップ体４８内の除去を促す警報を操作パネル５６に表示するようにしてもよい。

また、この場合、制御装置４０がカップ体４８内の溶液の実際の重量と重量の上限値との比較を上述の調整モードが選択されたことを条件に行なうようにしてもよい。このときの制御装置４０は、実際の重量と重量の上限値との間に、７つの塗布ヘッド２２に対して溶液の供給量の設定を行なうにあたってカップ体４８内に供給が見込まれる総量の溶液（以下、「設定に要する溶液量」という）を許容できるだけの差があるか否かを判定する。

そして、上記差があると判定した場合には、溶液の供給量の設定を行い、上記差がないと判定した場合には溶液の供給量の設定を行なわず、操作パネル５６にカップ体４８内の溶液の除去を促す警報を表示する。

また、制御装置４０は、上述の判定を行なった際、カップ体４８内の溶液の実際の重量と重量の上限値との差が、設定に要する溶液量の２倍に満たなかったときには、今回の溶液の供給量の設定が完了した時点で操作パネル５６にカップ体４８内の溶液の除去を促す警報を表示する。

このようにすることで、溶液の供給量の設定後に塗布モードの選択によって実行される基板Ｗに対する溶液の塗布中に、待機位置に位置する秤４１のカップ体４８内の溶液を除去することができるから、調整モードにおいてカップ体４８内の溶液を除去するために溶液の供給量の設定が中断されることがなく、溶液の供給量の設定を効率的に行なうことができる。

なお、制御装置４０は、カップ体４８内の溶液の実際の重量を、カップ体４８内が空のときの秤４１の計測信号と秤４１の現時点の計測信号との差から求めることが可能である。

このように、上記構成の塗布装置によれば、複数の塗布ヘッド２２から供給される溶液の重量を順次自動的に測定して補正することができるから、基板Ｗが大型化して塗布ヘッド２２の数が多くなった場合であっても、各塗布ヘッド２２からの溶液の供給量の設定を能率よく行うことができる。

しかも、秤４１がＸ、Ｙ方向に駆動されて塗布ヘッド２２の下方に位置決めされることで、塗布ヘッド２２から秤４１に載置されたカップ体４８に供給された溶液の重量を即座に計測することができる。しかも、溶液が供給されたカップ体４８はシャッタ５４によって閉じられる。そのため、溶液に含まれる溶媒が吸湿して重量が変化する前に、塗布ヘッド２２から供給された溶液の重量測定を行えるから、測定精度を向上させることができる。

さらに、秤４１がＸ、Ｙ方向に駆動されることで、塗布ヘッド２２が設けられた位置とほぼ同じ位置で各塗布ヘッド２２から供給された溶液の重量を測定することができる。つまり、溶液が実際に使用される環境と同じ環境下で溶液の重量測定と、供給量の補正を行えるから、そのことによっても各塗布ヘッド２２からの溶液の供給量を精度よく設定することが可能となる。

また、制御装置４０が秤４１をティーチングした位置に順次位置決めするため、秤４１を各塗布ヘッド２２に対応する位置に正確に位置決めすることができるので、塗布ヘッド２２から供給される溶液を確実にカップ体４８に受けることができ、供給された溶液の重量を正確に測定することができる。

また、秤４１を移動させて各塗布ヘッド２２に対応する位置に位置決めするようにしたので、単一の秤４１で複数の塗布ヘッド２２からの溶液の供給量の設定を行うことができ、装置構成を簡素化できる。

秤４１を、第２のリニアモータ４４により、第１のリニアモータ８によって移動する載置テーブル７とは独立してＸ方向に移動できるようにし、基板Ｗに対して溶液を塗布するときに、図１に示すＸ方向右端の待機位置に待機させるようにした。

そのため、基板Ｗに対して溶液を塗布しているときでも、秤４１のカップ体４８内に溜まった溶液を除去する等の秤４１の保守点検を並行に行なうことができる。したがって、カップ体４８内の溶液を除去するために基板Ｗに対して溶液を塗布する作業が中断されるのを防止でき、基板Ｗに対して溶液を塗布する作業を効率よく行なうことができる。

上記第１の実施の形態の塗布装置は塗布ヘッド２２に対して基板Ｗを１回通過させることで塗布を行なうものであっても、複数回通過させることで塗布を行なうものであってもよい。

また、複数回通過させるに当たり、１回の通過毎にＹ駆動源２１によりヘッドテーブル１９を移動させて塗布ヘッド２２を例えばＹ軸方向（ノズル３４の配列方向）にノズル３４の配列間隔の１／２ずつ送るなどしてピッチ送りをする場合、各塗布ヘッド２２から溶液の供給量の設定をピッチ送りした位置毎にそれぞれ行うようにすると良い。

このようにすると、溶液が実際に使用される環境（温度か湿度、或いは溶液ヘッド２２への溶液供給管の曲がり状態など）に即した環境下で溶液の供給量が設定されるので、実際の溶液の塗布を行なうときに、設定した溶液の供給量をより正確に再現することが可能となる。したがって、基板Ｗに対する溶液の塗布精度が向上し、形成される機能性薄膜の膜厚の均一化をより一層向上させることができる。

上記第１の実施の形態では、所定位置に位置決めされた塗布ヘッドに対して基板をＸ方向に駆動する場合を例に挙げて説明したが、塗布ヘッドをＸ方向に駆動して基板に溶液を塗布する構成であってもよい。

塗布ヘッドから吐出される溶液の重量測定は、塗布ヘッドごとでなく、塗布ヘッドのノズルごとに行うようにしてもよい。したがって、この発明は複数の塗布ヘッドを有する塗布装置に限られず、単一の塗布ヘッドに複数のノズルを備えた構成の塗布装置に適用することも可能である。また、この場合、溶液の供給量の測定を複数個のノズルを１つのグループとしたグループごとに行うようにしてもよい。

また、このときの秤のノズルに対する位置決め位置は、制御装置によって認識されるノズルのＸ、Ｙ座標に基いて求めることができる。また、作業者が操作パネルの操作により秤を移動させ、各ノズルやノズルの各グループに対する位置決め位置をティーチングするようにしてもよい。

塗布ヘッドからの溶液の供給量が設定値と異なる場合、供給量の調整を繰り返して行うようにしたが、警報を出すようにしてもよい。それによって、作業者は異常とされた塗布ヘッドを点検するようにする。つまり、異常とされた塗布ヘッドの全てのノズルから溶液が吐出されているか否かを確認する。そして、異常を除去した後で、その塗布ヘッドからの溶液の供給量を再度測定するようにしてもよい。

また、秤４１が１つの例で説明したが、複数個設けるようにしてもよい。秤４１を複数個設けることで、１つの秤４１が受け持つ塗布ヘッド２２の数を少なくできるので、塗布ヘッド２２からの溶液の供給量の設定を行う時間を短縮できる等、作業をより効率よく行うことができる。

また、塗布ヘッド２２がインクジェット方式の塗布ヘッドとして説明したが、他の方式の塗布ヘッド、たとえばプランジャ方式やエア加圧方式の塗布ヘッドにも適用することができる。

また、載置テーブル７が移動して基板を搬送するものとしたが、たとえば載置テーブル７がローラ搬送機構などの搬送手段を有し、載置テーブル７上で基板が搬送されるものであってもよい。

また、塗布ヘッド２２から供給される溶液の重量を測定するに当たり、秤４１をＸ、Ｙ方向に移動させる構成としたが、秤４１はＸ方向のみとし、塗布ヘッド２２はＹ方向にそれぞれ独立して移動できるように構成してもよい。

この発明の一実施の形態の塗布装置の概略的構成を示す正面図。図１に示す塗布装置の側面図。塗布ヘッドの縦断面図。塗布ヘッドのノズルが形成された下面を示す図。制御系統を示すブロック図。秤の平面図。ガイド部材に設けられた秤の正面図。

符号の説明

４…ガイド部材、７…載置テーブル、８…第１のリニアモータ（第１の駆動手段）、２２…塗布ヘッド、４０…制御装置、４１…秤、４４…第２のリニアモータ（第２の駆動手段）、４８…カップ体。

Claims

基板に溶液を供給塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置され上記基板に上記溶液を供給塗布する複数のノズルと、
上記所定方向とは交差する方向に沿って設けられたガイド部材に沿って移動可能に設けられ、上面に上記基板が載置される載置テーブルと、
この載置テーブルを上記ガイド部材に沿って移動させる第１の駆動手段と、
上記ガイド部材上に上記載置テーブルとは独立して移動可能に設けられた第１の可動部材と、
この第１の可動部材上に、上記所定方向に沿って移動可能に設けられた第２の可動部材と、
上記第１の可動部材および上記第２の可動部材を移動させる第２の駆動手段と、
上記第２の可動部材に支持され、上記ノズルから供給された溶液の重量を測定する秤と
を有することを特徴とする溶液の塗布装置。
上記秤は、上記ノズルから供給される溶液を受けるカップ体を有し、このカップ体は上面開口がシャッタによって開閉可能になっていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
上記複数のノズルが配置された上記所定方向の位置情報に基づいて上記秤を各ノズルに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
上記ノズルが設けられて上記所定方向に配置された複数の塗布ヘッドを有し、
上記複数の塗布ヘッドの上記所定方向における位置情報に基づいて上記秤を各塗布ヘッドに対応する位置に順次位置決めする制御手段を有することを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
上記秤によって計測された溶液の供給量に基づいて各ノズルが供給する溶液の供給量を補正する制御手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の溶液の塗布装置。