CN114649236A - 维护单元及具有该维护单元的基板处理装置 - Google Patents

维护单元及具有该维护单元的基板处理装置 Download PDF

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CN114649236A CN202111503770.4A CN202111503770A CN114649236A CN 114649236 A CN114649236 A CN 114649236A CN 202111503770 A CN202111503770 A CN 202111503770A CN 114649236 A CN114649236 A CN 114649236A
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Abstract

本发明提供具有在校准板的两侧布置的侧板的维护单元及包括该维护单元的基板处理装置。所述基板处理装置包括：工艺处理单元，支承基板；喷墨头模块，向基板喷出处理液；维护单元，与工艺处理单元相邻设置；以及控制单元，利用维护单元校正处理液的喷出位置，其中，维护单元包括：盘，设置在台上；第一侧板，设置在盘上；以及第二侧板，设置在盘上，并且与第一侧板间隔开地设置，且控制单元利用第一侧板和第二侧板来校正处理液的喷出位置。

Description

维护单元及具有该维护单元的基板处理装置
技术领域
本发明涉及维护单元及具有该维护单元的基板处理装置。更具体地，本发明涉及适用于印刷装备的维护单元及具有该维护单元的基板处理装置。
背景技术
当为了制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置而在透明基板上执行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB Patterning))时，可以使用具有喷墨头单元(Inkjet Head Unit)的印刷装备。
发明内容
在像素喷墨工艺中，印刷时喷点的准确度很重要。为此，需要提高计量精度，以使从喷墨头单元喷出的液滴(Drop)的位置与在NJI(Nozzle Jetting Inspection，喷嘴喷射检测)中测量的喷点之间的偏差最小化。
然而，在现有技术中，以第一液滴的位置为基准判断之后的液滴的位置。因此，当第一喷嘴不能实现喷出时，可能无法设定基准位置。
另外，在使用校准板(Calibration Board)的情况下，由于仅在设定时临时放置使用校准板而不固定校准板，因此测量精度可能降低。
本发明要解决的技术问题是提供具有在校准板(Calibration Board)的两侧布置的侧板(Side Board)的维护单元(Maintenance Unit)及包括该维护单元的基板处理装置。
本发明要解决的技术问题的不限于以上提及的技术问题，且本领域技术人员将可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它技术问题。
用于解决上述技术问题的本发明的基板处理装置的一个方面包括：工艺处理单元，支承基板；喷墨头模块，向所述基板喷出处理液；维护单元，与所述工艺处理单元相邻设置；以及控制单元，利用所述维护单元校正所述处理液的喷出位置，其中，所述维护单元包括：盘，设置在台上；第一侧板，设置在所述盘上；以及第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置，且所述控制单元利用所述第一侧板和所述第二侧板来校正所述处理液的喷出位置。
所述第一侧板和所述第二侧板可以分别设置于所述盘上的两侧外围区域。
所述第一侧板可以与所述第二侧板平行地设置。
所述控制单元可以利用形成在所述第一侧板上的第二对准标记作为印刷起点来控制所述喷墨头模块。
所述控制单元可以利用形成在所述第二侧板上的第二对准标记作为印刷终点来控制所述喷墨头模块。
所述控制单元可以利用形成在所述第一侧板上的第二对准标记和形成在所述第二侧板上的第二对准标记来校正所述喷墨头模块的印刷位置。
所述基板处理装置还可以包括：第一视觉模块，设置在所述工艺处理单元上；以及第二视觉模块，设置在所述维护单元上，其中，所述控制单元利用对形成在所述第一侧板上的第二对准标记和形成在所述第二侧板上的第二对准标记测量的所述第一视觉模块的测量结果和所述第二视觉模块的测量结果来校正所述喷墨头模块的印刷位置。
形成在所述第一侧板上的第二对准标记可以与形成在所述第二侧板上的第二对准标记位于同一水平上。
所述维护单元还可以包括设置在所述盘上的校准板。
所述校准板的长度方向可以不同于所述第一侧板和所述第二侧板的长度方向。
所述校准板可以设置在所述第一侧板与所述第二侧板之间的区域。
所述校准板和所述第一侧板可以分别包括形成在表面上的多个第一对准标记和多个第二对准标记。
所述多个第一对准标记可以以与所述多个第二对准标记相同的间隔形成。
所述多个第一对准标记和/或所述多个第二对准标记可以具有与喷出到所述基板上的处理液相同的大小。
所述控制单元可以利用所述校准板来校正所述第一侧板与所述第二侧板之间的位置偏差。
所述控制单元可以利用形成在所述校准板上的多个第一对准标记之间的间隔来控制所述喷墨头模块的移动。
所述校准板、所述第一侧板和所述第二侧板中的至少一个板可以固定在所述盘上。
所述基板处理装置可以在印刷所述基板之前运转。
用于解决上述技术问题的本发明的基板处理装置的另一方面包括：工艺处理单元，支承基板；喷墨头模块，向所述基板喷出处理液；维护单元，与所述工艺处理单元相邻设置；以及控制单元，利用所述维护单元校正所述处理液的喷出位置，其中，所述维护单元包括：盘，设置在台上；第一侧板，设置在所述盘上；第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置；以及校准板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板和所述第二侧板间隔开地设置，其中，所述校准板的长度方向不同于所述第一侧板和所述第二侧板的长度方向。
用于解决上述技术问题的本发明的维护单元的一个方面，与支承基板的工艺处理单元相邻设置，并且包括：盘，设置在台上；第一侧板，设置在所述盘上；以及第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置，其中，所述第一侧板和所述第二侧板用于校正喷出到所述基板上的处理液的喷出位置。
其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
图1是示意性地示出根据本发明的第一实施例的基板处理装置的内部结构的平面图。
图2是示意性地示出根据本发明的第二实施例的基板处理装置的内部结构的平面图。
图3是示意性地示出根据本发明一实施例的构成基板处理装置的校准板的结构的平面图。
图4是示意性地示出根据本发明一实施例的构成基板处理装置的侧板的结构的平面图。
图5是用于说明根据本发明一实施例的构成基板处理装置的校准板和侧板的布置形态的示例图。
图6是示出当基板处理装置不包括侧板时的基板的印刷状态的示例图。
图7是示出当基板处理装置根据本发明一实施例包括侧板时的基板的印刷状态的示例图。
图8是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括第一侧板和第二侧板时的效果的示例图。
图9是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板和第二侧板时的效果的第一示例图。
图10是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板及第二侧板时的效果的第二示例图。
图11是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板及第二侧板时的效果的第三示例图。
附图标记的说明
100：基板处理装置 110：工艺处理单元
111：第一台 112：气孔
120：维护单元 121：第二台
122：第一导轨 123：第一盘
124：第二导轨 125：第二盘
130：吊架单元 131：基座模块
132：喷墨头模块 133：第一视觉模块
134：第二视觉模块 135：第三导轨
136：第四导轨 140：控制单元
150：校准板 160：侧板
210：第一对准标记 220：第一标尺
230：第二对准标记 240：第二标尺
310：第一侧板 320：第二侧板
330：第一侧板上的第二对准标记
340：第二侧板上的第二对准标记
410：喷点 420：虚拟的第一线
430：虚拟的第二线
520a、520b、……、520n：第一对准标记
530：虚拟的第四线
具体实施方式
下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
元件或层被称为在另一个元件或层“上(on)”或“上方(on)”不仅包括其在另一个元件或层的正上方，而且还包括其它层或其它元件介于中间的情况。相反，元件被称为“直接”在另一个元件“上”或者在另一个元件的正上方表示没有其它元件或层介于中间的情况。
为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单数形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包括(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其他构成要素、步骤、操作和/或元件。
如果没有其它定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义所使用。此外，在通常使用的词典中定义的术语，除非明确地特别定义，否则不被理想地或过度地解释。
以下，参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。
本发明涉及可适用于印刷装备的维护单元及包括该维护单元的基板处理装置。具体地，本发明涉及具有校准板(Calibration Board)和布置在其两侧的侧板(Side Board)的维护单元(Maintenance Unit)及包括该维护单元的基板处理装置。
以下，将参照附图等详细说明本发明。
图1是示意性地示出根据本发明的第一实施例的基板处理装置的内部结构的平面图。
根据图1，基板处理装置100可以包括工艺处理单元110、维护单元120、吊架单元(Gantry unit)130和控制单元140。
基板处理装置100用于处理基板G(例如，玻璃基板)。这种基板处理装置100可以向基板G上喷出处理液(例如，墨)从而对基板G进行印刷。例如，基板处理装置100可以由具有喷墨头模块(Inkjet Head Module)132的印刷装备来实现。
工艺处理单元110用于支承基板G。这种工艺处理单元110可以在对基板G进行印刷处理的期间支承基板G。
工艺处理单元110可以包括第一台111和气孔112。第一台111用于安置基板G。气孔112可以形成于这种第一台111的上表面，并且可以形成为至少一个(优选为多个)。
气孔112可以向第一台111的上部方向(第三方向30)喷射空气。由此，气孔112可以使安置在第一台111上的基板G悬浮。
工艺处理单元110还可以包括夹具(未示出)。夹具用于夹持在第一台111上悬浮的基板G。这种夹具可以以夹持基板G的状态沿着导轨(未示出)滑动，以使基板G能够沿着第一台111的长度方向(第一方向10)移动。
维护单元120用于针对喷墨头模块132所具有的多个喷嘴中的每个测量处理液的喷出位置(即，喷点)。此外，维护单元120用于针对各个喷嘴测量处理液的喷出与否。控制单元140可以基于通过维护单元120获得的测量结果(处理液的喷出位置、处理液的喷出与否等)来对喷墨头模块132采取适当的措施。
维护单元120可以包括第二台121、第一导轨122、第一盘123、第二导轨124和第二盘125。
第一导轨122设置在第二台121上。这种第一导轨122可以在与基板G的移动方向(第一方向10)平行的方向上延伸形成。即，第一导轨122的长度方向可以是第一方向10。例如，第一导轨122可以由LM导轨(Linear Motion Guide，线性运动导轨)实现。
第一盘123设置在第一导轨122上。这种第一盘123可以沿着第一导轨122的长度方向(第一方向10)移动。
第二导轨124设置在第一盘123上。这种第二导轨124可以在与基板G的移动方向垂直的方向(第二方向20)上延伸形成。即，第二导轨124的长度方向可以是第二方向20。第二导轨124可以与第一导轨122一样由LM导轨实现。
第二盘125设置在第二导轨124上。这种第二盘125可以沿着第二导轨124的长度方向(第二方向20)移动。
在本实施例中，校准板(Calibration Board)150和侧板(Side Board)160可以用于确定基板G上的处理液的喷出位置。这种校准板150和侧板160可以设置在第二盘125上。
当校准板150和侧板160设置在第二盘125上时，它们可以在第二台121上沿着第一导轨122和第二导轨124在第一方向10和第二方向20上移动从而实现移位。
然而，本实施例不限于此。校准板150和侧板160也可以在第二台121上沿着第一导轨122仅在第一方向10上移动从而实现移位。在这种情况下，如图2所示，第二导轨124和第二盘125可以不设置在第一盘123上，并且校准板150和侧板160可以设置在第一盘123上。图2是示意性地示出根据本发明的第二实施例的基板处理装置的内部结构的平面图。
另一方面，对于校准板150和侧板160的结构和功能的详细说明将在后面进行描述。
再次参照图1进行说明。
吊架单元130用于支承喷墨头模块132。这种吊架单元130可以设置在工艺处理单元110和维护单元120的上部，以使喷墨头模块132能够向基板G上喷出处理液。
吊架单元130可以包括基座模块(Base Module)131、喷墨头模块132和第一视觉模块(First Vision Module)133。
基座模块131设置在第一台111和第二台121的上部。为此，基座模块131可以在第一台111和第二台121的宽度方向(第二方向20)上延伸形成。
基座模块131可以沿着第一台111的长度方向(第一方向10)移动，以使喷墨头模块132能够位于基板G上所期望的位置。此时，基座模块131可以通过吊架移动单元(未示出)的控制沿着第三导轨135和第四导轨136在第一方向10上移动。
吊架移动单元可以设置在基座模块131的内部，并且可以包括第一移动模块和第二移动模块。第一移动模块和第二移动模块可以在基座模块131内设置在两个端部，并且可以沿着设置在第一台111和第二台121的外侧的导轨(未示出)滑动。
喷墨头模块132向基板G上以液滴(Droplet)形态喷出处理液。这种喷墨头模块132可以设置于基座模块131的侧表面，也可以设置于基座模块131的底表面。
喷墨头模块132可以包括喷嘴板(未示出)、多个喷嘴(未示出)和压电元件(未示出)。
喷嘴板构成喷墨头模块132的主体。多个(例如，128个、256个等)喷嘴可以在这种喷嘴板的底表面以一定的间隔布置成一列，并且压电元件可以设置为与喷嘴板中喷嘴的数量对应的数量。喷墨头模块132在如此构成的情况下，可以根据压电元件的运转，通过喷嘴向基板G上喷出处理液。
另一方面，喷墨头模块132也可以根据施加到压电元件的电压，独立地控制通过各个喷嘴喷出的处理液的量(即，喷出量)。
当对基板G执行印刷工艺(Printing Process)时，喷墨头模块132可以移动到第一台111的上部，并且在沿着第一台111的宽度方向(第二方向20)往复移动的同时向悬浮在第一台111上的基板G上喷出处理液。
此外，当通过执行维护工艺(Maintenance Process)来维护维修喷墨头模块132时，控制单元140可以获得关于由喷墨头模块132喷出的处理液的喷出位置和喷出与否的信息，以对喷墨头模块132的喷点进行校正，或者确认多个喷嘴中的哪个喷嘴没有适当地喷出处理液。
至少一个喷墨头模块132可以设置在基座模块131上。在多个喷墨头模块132设置在基座模块131上的情况下，多个喷墨头模块132可以沿着基座模块131的长度方向(第二方向20)布置成一列。
另一方面，喷墨头模块132可以沿着基座模块131的长度方向(第二方向20)移动以在基板G上位于所期望的位置。然而，本实施例不限于此。喷墨头模块132也可以在基座模块131的高度方向(第三方向30)上移动。另一方面，喷墨头模块132也可以在顺时针方向或逆时针方向上旋转。
喷墨头模块132可以根据头移动控制模块(未示出)的控制在基座模块131的长度方向或高度方向上移动。头移动控制模块用于控制喷墨头模块132的移动。至少一个这种头移动控制模块可以设置在吊架单元130内。在多个喷墨头模块132设置在基板处理装置100中的情况下，头移动控制模块可以使各个喷墨头模块独立地移动，也可以使所有喷墨头模块统一地移动。
第一视觉模块133用于获得关于基板G、校准板150和侧板160的图像信息。这种第一视觉模块133实时地拍摄基板G、校准板150和侧板160，因此即使基板G、校准板150和侧板160等移动，也可以有效地获得其图像信息。例如，第一视觉模块133可以由区域摄像机(Area Camera)实现。
第一视觉模块133可以设置于喷墨头模块132。例如，第一视觉模块133可以以附接于喷墨头模块132的侧表面的形态设置。然而，本实施例不限于此。第一视觉模块133也可以设置于基座模块131。
另一方面，第一视觉模块133可以固定地设置在喷墨头模块132或基座模块131上，也可以可移动地设置在喷墨头模块132或基座模块131上。
至少一个第一视觉模块133可以设置在基板处理装置100中。在多个第一视觉模块133设置在基板处理装置100中的情况下，一些第一视觉模块133可以设置于喷墨头模块132的侧表面，且另一些第一视觉模块133可以设置于基座模块131的侧表面和/或下部等。然而，本实施例不限于此。多个第一视觉模块133中的一部分也可以通过支承件等设置在第一台111和第二台121的周围。
吊架单元130还可以包括第二视觉模块134。
第二视觉模块134与第一视觉模块133一样用于获得关于基板G、校准板150和侧板160的图像信息。这种第二视觉模块134可以以与第一视觉模块133不同的方式获得关于基板G、校准板150和侧板160的图像信息。例如，第二视觉模块134可以由线扫描摄像机(LineScan Camera)实现。
第二视觉模块134可以设置于基座模块131。在本实施例中，第一视觉模块133和第二视觉模块134都可以设置于基座模块131。在这种情况下，第一视觉模块133可以设置于基座模块131的侧表面，且第二视觉模块134可以设置于基座模块131的底表面。或者，第一视觉模块133和第二视觉模块134可以以在两侧间隔开的状态设置于基座模块131的侧表面或底表面。
至少一个第二视觉模块134可以设置在基板处理装置100中。在多个第二视觉模块134设置在基板处理装置100中的情况下，一些第二视觉模块134可以设置于基座模块131的底表面，且另一些第二视觉模块134可以设置于基座模块131的侧表面。然而，本实施例不限于此。多个第二视觉模块134中的一部分也可以通过支承件等设置在第一台111和第二台121的周围。
控制单元140用于对喷墨头模块132执行维护维修。这种控制单元140可以基于维护单元120的测量结果来校正喷墨头模块132所具有的各个喷嘴的处理液的喷出位置，或者检测出多个喷嘴中的不良喷嘴(即，不喷出处理液的喷嘴)以便对不良喷嘴执行清洁作业。为此，控制单元140可以控制工艺处理单元110、维护单元120、吊架单元130等的运转。
控制单元140可以包括过程控制器、输入工具、输出工具、控制程序、存储工具等。过程控制器可以由实施对基板处理装置100的控制的微处理器(计算机)等实现。输入工具供操作员执行命令输入操作以管理基板处理装置100。输出工具可以由可视地显示基板处理装置100的工作情况的显示装置等实现。控制程序用于根据过程控制器的控制执行在基板处理装置100中所实施的处理。存储工具用于存储根据各种数据和处理条件来使各构成部分实施处理的程序、即处理配方。输出工具和存储工具可以连接于过程控制器，并且处理配方可以存储于存储工具的存储介质。存储介质可以是硬盘，也可以是CD-ROM、DVD等的便携式磁盘或闪存等的半导体存储器。
如上所述，校准板150和侧板160可以用于确定基板G上的处理液的喷出位置。以下，对此进行说明。
校准板150和侧板160可以分别设置于第二盘125上的外围区域。具体地，侧板160可以分别设置于在第二盘125上面对的两个外围区域，且校准板150可以设置于位于上述两个外围区域之间的任一个外围区域。
校准板150可以沿着第二盘125的长度方向(第一方向10)延伸形成。相反，侧板160可以沿着第二盘125的宽度方向(第二方向20)延伸形成。在本实施例中，校准板150的长度方向可以是第一方向10，且侧板160的长度方向可以是第二方向20。
侧板160可以与校准板150的两侧相邻设置。在这种情况下，两个侧板160可以设置在第二盘125上。然而，本实施例不限于此。侧板160也可以与校准板150的任一侧相邻设置。在这种情况下，一个侧板160可以设置在第二盘125上。
如图3所示，校准板150可以在其表面上包括第一对准标记(First Align Mark)210、第一标尺220和第一辅助标记250。同样地，如图4所示，侧板160可以在其表面上包括第二对准标记(Second Align Mark)230、第二标尺240和第二辅助标记260。
图3是示意性地示出根据本发明一实施例的构成基板处理装置的校准板的结构的平面图。此外，图4是示意性地示出根据本发明一实施例的构成基板处理装置的侧板的结构的平面图。以下，参照图3和图4进行说明。
第一对准标记210用于校正由喷墨头模块132喷出到基板G上的处理液的喷出位置。多个这种第一对准标记210可以以一定的间隔形成在校准板150上。
第二对准标记230用于校正由喷墨头模块132喷出到基板G上的处理液的喷出位置。多个这种第二对准标记230可以以一定的间隔形成在侧板160上。
第一对准标记210和第二对准标记230可以以相同的间隔分别形成在校准板150和侧板160上。在这种情况下，可以通过确认第一对准标记210与第二对准标记230的间隔是否相同来对第一视觉模块133和第二视觉模块134的测量距离的一致性进行确认和校正。
然而，本实施例不限于此。第一对准标记210和第二对准标记230也可以以彼此不同的间隔分别形成在校准板150和侧板160上。例如，第一对准标记210可以以比第二对准标记230的间隔更大的间隔形成在校准板150上。
第一对准标记210和第二对准标记230可以分别在校准板150和侧板160上形成为具有相同的大小。然而，本实施例不限于此。第一对准标记210和第二对准标记230也可以分别在校准板150和侧板160上形成为具有彼此不同的大小。例如，第一对准标记210可以在校准板150上形成为具有比第二对准标记230更大的大小。
第一对准标记210和第二对准标记230可以形成为具有与由喷墨头模块132喷出到基板G上的处理液相同的大小。例如，第一对准标记210和第二对准标记230可以分别在校准板150和侧板160上以200μm的间隔构成为20μm直径的圆。当第一对准标记210和第二对准标记230如此形成时，可以对第一视觉模块133和第二视觉模块134中可能产生的尺寸(Size)测量误差和位置(Position)测量误差进行详细设定(Setting)和S/W校正。
第一标尺220用于测量由喷墨头模块132喷出到基板G上的处理液的喷出位置。基板G可以安置在第一台111上以进行印刷工艺。那么，喷墨头模块132可以向基板G上的一个位置喷出处理液。假设与在第一台111上安置的基板G的位置对应地在第二盘125上安置基板G，并且向与在第一台111上的情况相同的位置喷出处理液。在这种情况下，第一标尺220可以测量喷出到在第二台121上所安置的基板G上的处理液的喷出位置，从而计算喷出到在第一台111上安置的基板G上的处理液的喷出位置。
在本实施例中，可以利用第一视觉模块133测量喷出到基板G上的处理液的喷出位置。此外，当利用第一标尺220时，可以更精确地测量处理液的喷出位置。
在利用第一标尺220的情况下，可以获得X轴的坐标值作为关于处理液的喷出位置的信息。另外，在利用第二标尺240的情况下，可以获得Y轴的坐标值作为关于处理液的喷出位置的信息。在本实施例中，为了精确地测量处理液的喷出位置，可以利用第一标尺220和第二标尺240两者。
另一方面，当利用喷墨头模块132印刷基板G时，第一辅助标记250和第二辅助标记260可以用于确定基准点。
在本实施例中，为了确定基板G上的处理液的喷出位置，基板处理装置100可以包括校准板150和侧板160两者。在这种情况下，例如，如图5所示，校准板150和侧板160可以在第二盘125上布置于各个外围区域。
具体地，侧板160可以在第二盘125上在面对的两个外围区域中以第二方向20为长度方向分别布置。即，第一侧板310可以布置于面对的两个外围区域中的任一个外围区域，且第二侧板320可以布置于面对的两个外围区域中的另一个外围区域。
此外，校准板150可以在第二盘125上在位于两个侧板160之间的任一个外围区域中以第一方向10为长度方向布置。图5是用于说明根据本发明一实施例的构成基板处理装置的校准板和侧板的布置形态的示例图。
另一方面，在本实施例中，基板处理装置100也可以不包括校准板150而仅包括侧板160。
在基板处理装置100仅包括侧板160的情况下，基板处理装置100可以包括在第二盘125上布置在面对的两个外围区域中的两个侧板160。即，基板处理装置100可以包括第一侧板310和第二侧板320。
相反，在基板处理装置100不仅包括侧板160而且还包括校准板150的情况下，也可以仅包括与校准板150的一个端部相邻布置的任一个侧板160。即，基板处理装置100可以包括第一侧板310和第二侧板320中的任一个侧板。
当基板处理装置100包括布置在两侧外围区域的第一侧板310和第二侧板320时，可以将第一侧板310和第二侧板320中的任一侧板310或320上的第二对准标记230用作印刷开始(Printing Start)的绝对基准点。
即，在本实施例中，可以利用第一视觉模块133识别形成在第一侧板310和第二侧板320中的任一个侧板上的第二对准标记230之后进行对基板G的印刷，从而使印刷的位置基准总是相同。
在基板处理装置100不包括侧板160而仅包括校准板150的情况下，可以利用校准板150上的第一对准标记210来校正喷墨头模块132的处理液的喷出位置之后开始对基板G的印刷。然而在这种情况下，由于没有确定印刷起点，因此如图6所示，多个喷点410可能在基板G上集中于一侧，因此可能无法均匀地印刷基板G的整个面。图6是示出当基板处理装置不包括侧板时的基板的印刷状态的示例图。
相反，在基板处理装置100包括侧板160的情况下，可以将第一侧板310和第二侧板320中的任一个侧板310或320上的第二对准标记230用作印刷开始的绝对基准点，因此可以确定印刷起点。因此，如图7所示，多个喷点410可以在基板G上均匀地分布，因此可以得到均匀地印刷基板G的整个面的效果。图7是示出当基板处理装置根据本发明一实施例包括侧板时的基板的印刷状态的示例图。
另一方面，在本实施例中，也可以使用第一侧板310上的第二对准标记230作为印刷开始的绝对基准点，并且使用第二侧板320上的第二对准标记230作为印刷结束的绝对基准点，从而将基板G上的印刷的位置基准对准在所期望的位置(例如，中央)。
另一方面，在本实施例中，也可以使用第一侧板310上的第一辅助标记250作为印刷开始的绝对基准点，并且使用第二侧板320上的第二辅助标记260作为印刷结束的绝对基准点。
在基板处理装置100包括第一侧板310和第二侧板320的情况下，如图8所示，可以利用第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340来校正喷墨头模块132的印刷位置与第二视觉模块134的计量位置之间的偏差。
图8是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括第一侧板和第二侧板时的效果的示例图。以下，参照图8进行说明。
当利用第一视觉模块133测量到第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340时，控制单元140可以根据此在S/W上沿着X轴方向形成虚拟的第一线420。
同样地，当利用第二视觉模块134测量到位于相同位置的第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340时，控制单元140可以根据此在S/W上沿着X轴方向形成虚拟的第二线430。
之后，如果在一个基板G上布置虚拟的第一线420和虚拟的第二线430，则控制单元140可以据此测量第一视觉模块133的计量位置与第二视觉模块134的计量位置之间的偏差d。即，控制单元140可以测量并校正喷墨头模块132的印刷位置与第二视觉模块134的计量位置之间的偏差。
在上文中，当第二侧板320的第二对准标记340形成在与第一侧板310的第二对准标记330对应的位置时，第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340可以位于同一水平上。然而，本实施例不限于此。第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340也可以位于不同的水平上。
当基板处理装置100包括第一侧板310和第二侧板320时，可以通过形成在第一侧板310上的第二标尺240和形成在第二侧板320上的第二标尺240来确认基板G上的处理液的喷出位置，并且即使在基板G上进行多次印刷的情况下，也可以准确地找出想要计量的印刷位置。
另外，在基板处理装置100还包括校准板150的情况下，除了形成在第一侧板310上的第二标尺240和形成在第二侧板320上的第二标尺240之外，还可以利用形成在校准板150上的第一标尺220来更准确地确认基板G上的处理液的喷出位置。
另一方面，在本实施例中，至少一个维护单元120可以设置在基板处理装置100中。在多个维护单元120设置在基板处理装置100中的情况下，可以利用设置于各个维护单元120的对准标记(形成于校准板150的第一对准标记210、形成于第一侧板310的第二对准标记330和形成于第二侧板320的第二对准标记340中的至少一种对准标记)来进行维护单元120之间的位置设定和S/W校正。
另一方面，在本实施例中，也可以是一个维护单元120设置在基板处理装置100中，并且设置有校准板150和侧板160的多个第二盘125设置在该一个维护单元120上。
在基板处理装置100包括校准板150、第一侧板310和第二侧板320的情况下，可以利用校准板150来校正第一侧板310与第二侧板320之间的位置偏差。
图9是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板和第二侧板时的效果的第一示例图，且图10是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板和第二侧板时的效果的第二示例图。此外，图11是用于说明当基板处理装置根据本发明一实施例包括校准板、第一侧板和第二侧板时的效果的第三示例图。
以下，参照图9至图11进行说明。
例如，当校正喷墨头模块132的印刷位置与第二视觉模块134的计量位置之间的偏差时，控制单元140可以测量形成在第一侧板310上的多个第二对准标记中的任一个第二对准标记330和形成在第二侧板320上的多个第二对准标记中的任一个第二对准标记340从而生成虚拟的线420、430。此时，如图9所示，第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340可以位于同一水平上。
然而，当第一侧板310和第二侧板320在两侧外围区域中没有位于相互对应的位置(即，第一侧板310和第二侧板320设置成不彼此平行)，或者第一侧板310上的多个第二对准标记和第二侧板320上的多个第二对准标记没有位于相互对应的位置时，如图10所示，第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340可能不会位于同一水平上。
在本实施例中，可以利用在校准板150上布置成一列的多个第一对准标记来进行校正使得第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340位于同一水平上。
具体地，如图11所示，可以进行校正使得连接第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340的虚拟的第三线平行于利用多个第一对准标记520a、520b、……、520n获得的虚拟的第四线530，从而使第一侧板310上的第二对准标记330和第二侧板320上的第二对准标记340位于同一水平上。
在基板处理装置100包括校准板150的情况下，可以利用第一视觉模块133来测量多个第一对准标记210之间的间隔，从而校正当喷墨头模块132在第一方向10上移动时产生的喷点的位置精度误差。此时，控制单元140也可以利用第一视觉模块133来测量形成在第一侧板310或第二侧板320上的多个第二对准标记330、340之间的间隔，从而不仅可以校正喷墨头模块132在第一方向10上的移动，而且还可以校正喷墨头模块132在第二方向20上的移动。
在基板处理装置100包括校准板150和侧板160的情况下，可以在第二盘125上将校准板150和侧板160配置为固定型。那么，可以在基板处理装置100的运转过程中根据需要选择性地或经常地确认第一视觉模块133和/或第二视觉模块134的计量是否发生异常。
在本实施例中，基板处理装置100可以用于校正由喷墨头模块132喷出的处理液的喷出位置。基板处理装置100可以在利用喷墨头模块132对基板G执行印刷工艺之前执行上述功能。
在像素喷墨(Pixel Inkjet)工艺的情况下，为了提高印刷(Printing)时的喷点精度，可以基于由计量部(JOF)通过预先印刷而测量的喷点来校正在玻璃基板上进行印刷时的喷点，从而提高精度。在这种情况下，可以配置一个以上的该计量部(JOF)，并且也可以配置用于该计量部测量喷点所需的一个以上的视觉部(NJI：Nozzle Jetting Inspection)。
在计量部(JOF)中，可以在三个点(3Point)设置三个板(Board)、即一个校准板和两个侧板。根据情况，也可以在两个点(2Point)仅设置侧板。计量部(JOF)可以利用如此设置的校准板和/或侧板来提高视觉部(NJI)的计量精度。
侧板可以包括多个基准标记。此时，可以将形成在侧板上的基准标记用作印刷开始的绝对基准点。那么，可以用设置于头部的第一视觉(Head Vision)识别侧板上的基准标记之后进行印刷，从而使印刷的位置基准总是相同。
可以利用侧板上的基准标记来校正头所印刷的位置与视觉部(NJI)所计量的位置之间的偏差，从而提高精度。具体地，可以在用设置于头部的第一视觉测量两侧的基准标记并且用设置于视觉部(NJI)的第二视觉测量两侧的基准标记之后，在S/W上生成X轴方向的虚拟的线以确认头部与视觉部(NJI)之间的偏差，从而减小当将计量部(JOF)上所计量到的数据反映到喷墨头时可能发生的偏差。即，可以校正视觉部(NJI)的测量精度。
此外，可以通过设置于侧板的标尺来确认在计量部(JOF)上所散布的位置，因此即使在计量部(JOF)上进行多次印刷的情况下，也可以准确地找出想要计量的印刷位置。
校准板和侧板可以包括多个标记。此时，形成于校准板和侧板的标记可以以一定的间隔由与液滴大小(Drop Size)相同的标记构成(例如，以200μm间隔构成20μm直径的圆)，从而能够进行对第一视觉和第二视觉中可能发生的测量尺寸误差和位置误差的详细设定和S/W校正。
另一方面，可以配置多个计量部(JOF)。在这种情况下，可以通过标记来进行多个计量部(JOF)之间的位置设定和S/W校正。
在除了侧板之外还添加校准板的情况下，可以对侧板之间的位置偏差进行详细校正。即，可以通过利用校准板上的标记对在侧板之间的虚拟线之间(例如，200μm间隔)产生的误差进行附加的校正来改善测量精度。
另外，可以通过测量校准板上的标记之间的间隔来校正当头在X轴方向上移动时产生的位置精度误差。
另外，在校准板和侧板被配置为固定型的情况下，可以在运行过程中根据需要选择性地或经常地确认视觉部(NJI)的计量是否发生异常。
另外，可以通过在校准板和侧板上以相同的间隔配置标记并确认标记上的间隔是否相同来对视觉部(NJI)的测量距离的一致性进行确认和校正。
另外，可以通过在校准板和侧板上配置与液滴相同尺寸的标记并在测量该标记时确认与由视觉部(NJI)的摄像机测量时的尺寸的偏差来提高附加设定或校正的一致性。
以上，参照图1至图11对根据本发明的各种实施例的基板处理装置100进行了说明。根据本发明，可以获得以下效果。
第一，通过将侧板上的基准标记用作印刷绝对基准点，可以提高印刷位置的精度。
第二，通过利用侧板上的基准标记来校正喷墨头所印刷的位置与视觉部(NJI)所测量的位置之间的偏差，可以提高精度。
以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员将可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其它具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。

Claims (20)

1.一种基板处理装置，包括：
工艺处理单元，支承基板；
喷墨头模块，向所述基板喷出处理液；
维护单元，与所述工艺处理单元相邻设置；以及
控制单元，利用所述维护单元校正所述处理液的喷出位置，
其中，所述维护单元包括：
盘，设置在台上；
第一侧板，设置在所述盘上；以及
第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置，以及
所述控制单元利用所述第一侧板和所述第二侧板来校正所述处理液的喷出位置。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述第一侧板和所述第二侧板分别设置于所述盘上的两侧外围区域。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述第一侧板与所述第二侧板平行地设置。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述控制单元利用形成在所述第一侧板上的第二对准标记作为印刷起点来控制所述喷墨头模块。
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，
所述控制单元利用形成在所述第二侧板上的第二对准标记作为印刷终点来控制所述喷墨头模块。
6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述控制单元利用形成在所述第一侧板上的第二对准标记和形成在所述第二侧板上的第二对准标记来校正所述喷墨头模块的印刷位置。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置，还包括：
第一视觉模块，设置在所述工艺处理单元上；以及
第二视觉模块，设置在所述维护单元上，
其中，所述控制单元利用对形成在所述第一侧板上的第二对准标记和形成在所述第二侧板上的第二对准标记测量的所述第一视觉模块的测量结果和所述第二视觉模块的测量结果来校正所述喷墨头模块的印刷位置。
8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，
形成在所述第一侧板上的所述第二对准标记与形成在所述第二侧板上的所述第二对准标记位于同一水平上。
9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述维护单元还包括设置在所述盘上的校准板。
10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中
所述校准板的长度方向不同于所述第一侧板和所述第二侧板的长度方向。
11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述校准板设置在所述第一侧板与所述第二侧板之间的区域。
12.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述校准板和所述第一侧板分别包括形成在表面上的多个第一对准标记和多个第二对准标记。
13.根据权利要求12所述的基板处理装置，其中，
所述多个第一对准标记以与所述多个第二对准标记相同的间隔形成。
14.根据权利要求12所述的基板处理装置，其中，
所述多个第一对准标记和/或所述多个第二对准标记具有与喷出到所述基板上的处理液相同的大小。
15.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述控制单元利用所述校准板来校正所述第一侧板与所述第二侧板之间的位置偏差。
16.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述控制单元利用形成在所述校准板上的多个第一对准标记之间的间隔来控制所述喷墨头模块的移动。
17.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，
所述校准板、所述第一侧板和所述第二侧板中的至少一个板固定在所述盘上。
18.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述基板处理装置在印刷所述基板之前运转。
19.一种基板处理装置，包括：
工艺处理单元，支承基板；
喷墨头模块，向所述基板喷出处理液；
维护单元，与所述工艺处理单元相邻设置；以及
控制单元，利用所述维护单元校正所述处理液的喷出位置，
其中，所述维护单元包括：
盘，设置在台上；
第一侧板，设置在所述盘上；
第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置；以及
校准板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板和所述第二侧板间隔开地设置，
其中，所述校准板的长度方向不同于所述第一侧板和所述第二侧板的长度方向。
20.一种维护单元，与支承基板的工艺处理单元相邻设置，并且包括：
盘，设置在台上；
第一侧板，设置在所述盘上；以及
第二侧板，设置在所述盘上，并且与所述第一侧板间隔开地设置，
其中，所述第一侧板和所述第二侧板用于校正喷出到所述基板上的处理液的喷出位置。
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