JP5463653B2 - 液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法および液滴吐出装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 51
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 10
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000008239 natural water Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
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- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
しかしながら、吐出着弾に代えてレーザーを用いているものの、このようなテスト描画を行う方法では、テスト描画における描画結果を画像認識すると共に、認識した画像を解析する必要があり、ヨーイング誤差の補正動作が煩雑であるという問題があった。特に高精度で補正を行う場合には、高解像度で描画結果を画像認識する必要があり、画像認識および解析がさらに煩雑となる。また、少なくとも、テスト用のワーク(感光フィルム)および画像認識装置を有する必要があり、液滴吐出装置の装置構成が複雑になってしまうという問題があった。
Claims (5)
- 多数の吐出ノズルで構成されたノズル列を有するインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドと、
ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルを任意の1の方向である第1方向に移動させる移動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドを制御する制御手段と、を備え、前記ノズル列の前記各吐出ノズルに対応したX軸と前記セットテーブルの移動量に対応したY軸とを有し且つXY座標に各画素が配置されたビットマップデータである吐出パターンデータに基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを移動させながら当該ワークに描画を行う液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法であって、
前記制御手段は、
前記第1方向における所定ピッチ毎の前記セットテーブルの傾き角度を、前記移動手段のヨーイング特性として取得するヨーイング特性取得ステップと、
前記所定ピッチ毎の前記各傾き角度と、前記吐出パターンデータ上で前記セットテーブルの重心に当たる中心座標と各画素の座標との距離と、前記中心座標と各画素の座標との線分の角度と、に基づいて、前記中心座標を中心として前記各傾き角度だけ回転移動させた際の各画素の座標を算出すると共に、算出した前記回転移動させた際の各画素の座標に基づいて、前記吐出パターンデータにおける各画素のXY座標を補正する吐出パターン補正ステップと、を実行し、
前記吐出パターン補正ステップでは、算出した前記回転移動させた際の各画素の座標におけるX座標が、前記吐出ノズルごとに定められた対応範囲内にあるか否かを求め、対応範囲内にある場合には、当該吐出ノズルに対応したX座標を、補正後のX座標とすることを特徴とする液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法。 - 前記液滴吐出装置は、前記機能液滴吐出ヘッドの制御に用いるための、前記移動手段による前記セットテーブルの移動量を検出する移動量検出手段を更に備え、
前記制御手段は、
前記第1方向における前記所定ピッチ毎の前記移動量検出手段の検出誤差を取得する検出誤差取得ステップを更に実行し、
前記吐出パターン補正ステップでは、前記所定ピッチ毎の前記各検出誤差に基づいて、前記吐出パターンデータを補正することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法。 - 前記ヨーイング特性取得ステップでは、
前記所定ピッチ毎に、平面内における前記セットテーブル上または前記ワーク上の異なる2点の座標位置を検出し、
検出した前記2点の座標位置における線分の角度と、ヨーイングしていない状態の当該線分の角度とを比較することで、前記セットテーブルの傾き角度を取得することを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法。 - 前記ヨーイング特性取得ステップでは、
前記2点の座標位置を、前記セットテーブルの端面上の点とし、
前記端面上の2点にレーザーを照射するレーザー距離計を用いて、前記座標位置を検出することを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法。 - 多数の吐出ノズルで構成されたノズル列を有するインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを有し、前記ノズル列の前記各吐出ノズルに対応したX軸とセットテーブルの移動量に対応したY軸とを有し且つXY座標に各画素が配置されたビットマップデータである吐出パターンデータに基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドに対しワークを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出してワークに描画を行う液滴吐出装置であって、
前記ワークをセットする前記セットテーブルと、
前記セットテーブルを任意の1の方向である第1方向に移動させる移動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを記憶する吐出パターン記憶手段と、
前記移動手段によるヨーイング特性を記憶するヨーイング特性記憶手段と、
前記ヨーイング特性に基づいて、前記吐出パターンデータを補正する吐出パターン補正手段と、
補正した前記吐出パターンデータに基づいて、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御する吐出制御手段と、を備え、
前記ヨーイング特性記憶手段は、前記ヨーイング特性として、前記第1方向における所定ピッチ毎の前記セットテーブルの傾き角度を記憶し、
前記吐出パターン補正手段は、
前記所定ピッチ毎の前記各傾き角度と、前記吐出パターンデータ上で前記セットテーブルの重心に当たる中心座標と各画素の座標との距離と、前記中心座標と各画素の座標との線分の角度と、に基づいて、前記中心座標を中心として前記各傾き角度だけ回転移動させた際の各画素の座標を算出すると共に、算出した前記回転移動させた際の各画素の座標に基づいて、前記吐出パターンデータにおける各画素のXY座標を補正し、
算出した前記回転移動させた際の各画素の座標におけるX座標が、前記吐出ノズルごとに定められた対応範囲内にあるか否かを求め、対応範囲内にある場合には、当該吐出ノズルに対応したX座標を、補正後のX座標とすることを特徴とする液滴吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008294437A JP5463653B2 (ja) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法および液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008294437A JP5463653B2 (ja) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法および液滴吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010120215A JP2010120215A (ja) | 2010-06-03 |
JP5463653B2 true JP5463653B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=42321983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008294437A Active JP5463653B2 (ja) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法および液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5463653B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10882160B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-01-05 | Applied Materials, Inc. | Correction of fabricated shapes in additive manufacturing using sacrificial material |
US10967482B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-04-06 | Applied Materials, Inc. | Fabrication of polishing pad by additive manufacturing onto mold |
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JP6974816B1 (ja) * | 2021-08-05 | 2021-12-01 | 株式会社トライテック | 記録装置及び記録データ処理方法 |
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-
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US10882160B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-01-05 | Applied Materials, Inc. | Correction of fabricated shapes in additive manufacturing using sacrificial material |
US10967482B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-04-06 | Applied Materials, Inc. | Fabrication of polishing pad by additive manufacturing onto mold |
US11059149B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-07-13 | Applied Materials, Inc. | Correction of fabricated shapes in additive manufacturing using initial layer |
US11084143B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-08-10 | Applied Materials, Inc. | Correction of fabricated shapes in additive manufacturing using modified edge |
US11642757B2 (en) | 2017-05-25 | 2023-05-09 | Applied Materials, Inc. | Using sacrificial material in additive manufacturing of polishing pads |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010120215A (ja) | 2010-06-03 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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