JP4534546B2 - 液滴吐出装置、位置調整方法、電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、第１軸と第２軸を有している座標調整装置を有する液滴吐出装置、座標調整方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。

液滴吐出装置は、対象物であるワークに対して機能液を描画するための描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
インクジェット式で液滴を吐出する装置のヘッドは、たとえば記録紙のようなワークに対してインクを吐出する形式のものがある（たとえば特許文献１）。

特開２００３−８９２１２号公報（第４頁、図１）

この種のインクジェット式記録装置のヘッドは、記録紙のようなワークに対して直交する方向に移動することで、ワークに対して液滴を吐出する構造である。ヘッドの移動方向に対してワークの移動方向は直交する方向に移動することで、ワーク上に液滴を吐出する。ヘッドを支えるキャリッジの移動軸とワークの移動軸は直交する方向であるので、ヘッドとワークは直交座標内で移動するようになっている。
ところが、ヘッドを支えるキャリッジの移動軸とワークの移動軸との相対的な位置精度が正しく設定されていないと、ワークに対する印字精度に大きく影響を与えることになる。したがって、ワークに対して液滴を吐出する吐出作業前に、ヘッドを支えるキャリッジの移動軸とワークの移動軸との相対的な位置精度を調整して向上することにより、印字精度（吐出精度）を正確にしたいという希望がある。従来、キャリッジの移動軸とワークの移動軸との相対的な位置精度を十分に確保するためには、液滴吐出装置を製作して組立てる際の精度をより高精度にする必要があり、コスト高になってしまった。

そこで本発明は上記課題を解消し、液滴を吐出するのに先立って、ヘッドを移動する第１移動軸とワークを移動する第２移動軸との座標の相対的な位置精度の調整を行って位置精度を向上することにより、精度の高い液滴吐出を行うことができる座標調整装置を有する液滴吐出装置、座標調整方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。

本発明の液滴吐出装置は、液滴をワークに吐出する際の位置を調整するための位置調整装置を有する液滴吐出装置であって、前記位置調整装置は、液滴を吐き出すヘッドを支えるキャリッジと、所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材と、前記位置ずれ計測用部材を保持するテーブルと、第１移動軸に沿って移動させる第１操作部と、前記テーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させる第２操作部と、前記キャリッジに対して保持されるとともに、前記第１操作部により前記第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させて前記マークを撮像する撮像部と、前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように、前記第１操作部及び第２操作部を制御して位置を調整する制御部と、前記制御部で調整した量を記録するデータ格納部と、を備える。
また、本発明の位置調整方法は、液滴を吐き出すヘッドを支えるキャリッジを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えるのに先立って行う位置調整方法であって、所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を前記テーブルに搭載する搭載ステップと、前記第１操作部は、前記キャリッジ及び前記キャリッジに対して保持された撮像部を第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させるとともに、前記撮像部は、前記マークを撮像する撮像ステップと、前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように位置を調整する位置調整ステップと、前記位置調整ステップで調整した量をデータ格納部に記録する記録ステップと、を有する。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、液滴を吐き出すヘッドを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えて電気光学装置を製造するのに先立って位置の調整を行う電気光学装置の製造方法であって、前記位置調整では、所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を前記テーブルに搭載する搭載ステップと、前記第１操作部は、前記キャリッジ及び前記キャリッジに対して保持された撮像部を第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させるとともに、前記撮像部は、前記マークを撮像する撮像ステップと、前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように位置を調整する位置調整ステップと、
前記位置調整ステップで調整した量をデータ格納部に記録する記録ステップと、を有する。
上記目的は、第１の発明にあっては、液滴をワークに吐出する際の座標を調整するための座標調整装置を有する液滴吐出装置であって、前記座標調整装置は、液滴を吐き出すヘッドを第１移動軸に沿って移動させる第１操作部と、前記ヘッドからワークに対して前記液滴を与える際に前記ワークを保持するためのテーブルを有しており、前記テーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させる第２操作部と、前記テーブルに保持される位置ずれ計測用部材であって、前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれを計測するために所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している前記位置ずれ計測用部材と、前記第１移動軸に沿って移動しながら前記位置ずれ計測用部材の前記パターンを撮像するための撮像部と、前記撮像部により得られた撮像結果から前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれデータを得て、前記位置ずれの補正を行う制
御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。

第１の発明の構成によれば、第１操作部は、液滴を吐き出すヘッドを第１移動軸に沿って移動する。第２操作部は、ヘッドからワークに対して液滴を与える際にワークを保持するためのテーブルを有しており、この第２操作部はテーブルを第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動する。
位置ずれ計測用部材は、テーブルに保持される位置ずれ計測用の部材である。位置ずれ計測用部材は、第１移動軸と第２移動軸との位置ずれを計測するために所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している。
撮像部は、第１移動軸に沿って移動しながら位置ずれ計測用部材のパターンを撮像する。制御部は、撮像部から得られた撮像結果から、第１移動軸と第２移動軸との位置ずれデータを得て、位置ずれの補正を行う。

これにより、液滴をワークに対して吐出する吐出作業の前に、ヘッドを移動するための第１移動軸と、テーブルを移動させるための第２移動軸との間の相対的な位置精度を予め調整して位置精度を向上することができる。これにより、ヘッドがワークに対して液滴を与える際に液滴をワークの適切な位置に吐出することができる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記位置ずれ計測用部材の前記複数のマークは、前記位置ずれ計測用部材が前記テーブルに保持された際に前記第１移動軸と平行になるように配列されることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、位置ずれ計測用部材の複数のマークが第１移動軸と平行に配列されているので、第１移動軸と第２移動軸との間の相対的な位置精度をより確実に予め調整できる。

第３の発明は、、第１の発明または第２の発明の構成において、前記撮像部は、前記ヘッドを支えるキャリッジに設けられて前記第１操作部により前記第１移動軸に沿って移動されることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、撮像部は、ヘッドを支えるキャリッジに設けられている。この撮像部は第１操作部により第１移動方向に沿って移動される。
これにより、撮像部はキャリッジに設けるだけで、第１移動方向に移動させることができる。

第４の発明は第１の発明乃至第３の発明のいずれかの構成において、前記位置ずれ計測用部材の前記パターンは、第１パターン列と、前記第１パターン列と平行な第２パターン列を有し、前記撮像部は、前記第１パターン列を撮像する第１撮像素子と、前記第２パターン列を撮像する第２撮像素子を有していることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、位置ずれ計測用部材のパターンは、第１パターン列と第２パターン列を有している。撮像部の第１撮像素子は第１パターン列を撮像する。撮像部の第２撮像素子は第２パターン列を撮像する。
これにより、２つの撮像素子と２つのパターン列を用いて、第１移動軸と第２移動軸との相対的な位置精度をより正確に調整することができる。

上記目的は、第５の発明にあっては、液滴を吐き出すヘッドを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えるのに先立って行う座標調整方法であって、前記テーブルには、前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれを計測するために所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を保持し、撮像部を前記第１移動軸に沿って移動させながら前記位置ずれ計測用部材の前記パターンを撮像する撮像ステップと、前記撮像部により得られた撮像結果から制御部が前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれ補正データを得て、前記位置ずれの補正を行う位置補正ステップと、を有することを特徴とする座標調整方法により、達成される。

これにより液滴をワークに対して吐出する前に、ヘッドを移動するための第１移動軸と、テーブルを移動させるための第２移動軸との間の相対的な位置精度を予め調整することができる。これにより、ヘッドがワークに対して液滴を与える際に液滴をワークの適切な位置に吐出することができる。

第６の発明は、第５の発明の構成において、前記位置ずれ補正データにより前記撮像部を再度前記第１移動軸に沿って移動させながら前記位置ずれ計測用部材の前記パターンを撮像することで、前記撮像部の撮像中心が前記位置ずれ計測用部材の前記パターンに一致するかどうかを確認する位置確認ステップをさらに有することを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、位置確認ステップでは、次のようなことを行う。すなわち、位置ずれ補正データにより撮像部を再度第１移動軸に沿って移動させながら位置ずれ計測用部材のパターンを撮像する。そして撮像部の撮像中心が位置ずれ計測用部材のパターンに一致するかどうかを確認する。
これによって、第１移動軸と第２移動軸の相対的な位置精度が正しく得られているかどうかを確認することができる。

第７の発明は、第６の発明の構成において、前記位置ずれ補正データ外の位置に前記ヘッドを支えるキャリッジを移動する場合には、前記位置ずれ補正データを利用して補完することで、前記位置ずれ補正データ外の位置を定めることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、位置ずれ補正データ外の位置にヘッドを移動する場合には、位置ずれ補正データを利用して補完することで、位置ずれ補正データ外の位置を定める。
これによって、ヘッドが位置ずれ補正データ外の位置において液滴を吐出する場合でも、ワークの正しい位置に液滴を吐出することができる。

上記目的は、第８の発明あっては、液滴を吐き出すヘッドを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えて電気光学装置を製造するのに先立って座標の調整を行う電気光学装置の製造方法であって、前記座標調整では、前記テーブルには、前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれを計測するために所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を保持し、撮像部を前記第１移動軸に沿って移動させながら前記位置ずれ計測用部材の前記パターンを撮像する撮像ステップと、前記撮像部により得られた撮像結果から制御部が前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれ補正データを得て、前記位置ずれの補正を行う位置補正ステップと、を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。

これにより液滴をワークに対して吐出する吐出作業の前に、ヘッドを移動するための第１移動軸と、テーブルを移動させるための第２移動軸との間の相対的な位置精度を予め調整することができる。これにより、ヘッドがワークに対して液滴を与える際に液滴をワークの適切な位置に吐出することができる。このため、電気光学装置の製造時の精度が向上する。

上記目的は、第９の発明にあっては、液滴を吐き出すヘッドを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えるのに先立って座標の調整を行った後に製造される電気光学装置であって、前記座標調整では、前記テーブルには、前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれを計測するために所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を保持し、撮像部を前記第１移動軸に沿って移動させながら前記位置ずれ計測用部材の前記パターンを撮像する撮像ステップと、前記撮像部により得られた撮像結果から制御部が前記第１移動軸と前記第２移動軸との位置ずれ補正データを得て、前記位置ずれの補正を行う位置補正ステップと、を行い、この後に製造されたことを特徴とする電気光学装置により、達成される。

これにより液滴をワークに対して吐出する吐出作業の前に、ヘッドを移動するための第１移動軸と、テーブルを移動させるための第２移動軸との間の相対的な位置精度を予め調整することができる。これにより、ヘッドがワークに対して液滴を与える際に液滴をワークの適切な位置に吐出することができる。このため電気光学装置の精度が向上する。

第１０の発明は、第９の発明の前記電気光学装置を搭載した電子機器である。

以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の座標調整装置を有する液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。
図１に示す液滴吐出装置１０は、座標調整装置１００を有している。この液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、たとえばいわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。

液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。

図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークをチャンバ１２内のテーブル３０の上へ搬入したりあるいは処理後のワークをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。
図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。

ここで、簡単にメンテナンス部１５と回収部１６について説明する。メンテナンス部１５は、図示しないがフラッシングユニット、吸引ユニット、ワイピングユニット、吐出検査ユニットあるいは重量測定ユニット等を有している。フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された液滴を受けるためのものである。吸引ユニットは、ヘッド１１のノズルプレート面からインクや気泡を吸引するためのものである。ワイピングユニットは、ノズルプレート面に付着する汚れをワイピング部材により払拭するためのものである。吐出検査ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。

チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。

次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、マスク４０、撮像部５０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸に沿って水平に設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。
座標調整装置１００は、第１操作部２１、第２操作部２２、マスク４０、撮像部５０および制御部２００により構成されている。制御部２００はチャンバ１２の外に設けられている。

ここで、座標調整装置１００の各構成要素について順次説明する。
第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９、ヘッド１１および撮像部５０をＸ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなマスク４０を着脱可能に搭載することもできるし、このマスク４０に代えてワーク（図示せず）を搭載することができる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークに対して液滴を与える際に、ワークを保持する。そして第２操作部２２は、ワークをＹ軸に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。

第１操作部２１は、ヘッド１１および撮像部５０をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることによりヘッド１１および撮像部５０をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａはこの回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。第２操作部２２のモータ２２Ａは、やはりテーブル３０をＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。

第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、マスク４０あるいはワークを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、マスクまたはワークは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。

図１に示すマスク４０は、位置ずれ計測用部材の一例である。マスク４０は、たとえば長方形状のガラスマスクを用いることができる。マスク４０は、パターン４０Ａを有している。このパターン４０Ａは、撮像部５０により撮像する対象である。パターン４０Ａは、たとえば第１パターン列４１と第２パターン列４２を有している。

図２は、このマスク４０の形状例を示している。マスク４０の第１パターン列４１はマスク４０の一方の長辺部４０Ｂ側に形成されている。第２パターン列４２は、もう１つの長辺部４０Ｃ側に形成されている。第１パターン列４１と第２パターン列４２は、Ｘ軸方向と平行な方向である。第１パターン列４１と第２パターン列４２は、長辺部４０Ｂと４０Ｃにそれぞれ近い位置にあり、第１パターン列４１と第２パターン列４２は離して形成する方が、Ｘ軸とＹ軸との相対的な座標調整を行う際の調整精度を上げることができる。

第１パターン列４１は、左端マークＭＬから右端マークＭＲまでの間で等間隔（所定ピッチ）に複数のマークＭを有している。第２パターン列４２は、左端マークＮＬから右端マークＮＲまでの間で等間隔（所定ピッチ）に複数のマークＮを有している。第１パターン列４１の各マークＭの配列ピッチは、第２パターン列４２の各マークＮの配列ピッチと同じである。
このように、第１パターン列４１と第２パターン列４２は、ヘッド１１およびヘッド１１を保持しているキャリッジ１９が直線移動するＸ軸方向に平行な方向に形成されている。

次に、図３と図４を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１および撮像部５０の構造例について説明する。
図３は、キャリッジ１９とヘッド１１および撮像部５０の周りの形状例を示す斜視図であり、図４は、図３のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。図３と図４のキャリッジ１９は、ヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。

撮像部５０は、たとえばキャリッジ１９のヘッドホルダ６１に対して保持されている。図３に示すモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１、ヘッド１１および撮像部５０が、キャリッジ１９に対してＺ方向に沿って上下動して位置決め可能である。もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１と撮像部５０は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。

図３に示すようにヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４は複数のノズル開口６５を有している。ヘッド１１は、図示しない機能液貯蔵部に接続されている。機能液貯蔵部の機能液は、ノズル開口６５からたとえば圧電振動子の伸縮作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。図４に示すようにモータ６２，６３の動作は制御部２００により制御される。

図３と図４では、撮像部５０はキャリッジ１９のヘッドホルダ６１に対して保持されている。しかしこれに限らず撮像部５０はキャリッジ１９の他の部分に保持することで、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転できるようにしても勿論構わない。

次に、図１と図２を参照して、撮像部５０について説明する。
撮像部５０は、支持部７０と、第１カメラ７１および第２カメラ７２を有している。支持部７０はたとえば長尺状の部材であり、第１カメラ７１と第２カメラ７２は、支持部７０の一端部と他端部に設けられている。第１カメラ７１は第１パターン列４１と対応した位置にあり、第２カメラ７２は第２パターン列４２に対応した位置にある。第１カメラ７１は第１撮像素子の一例であり、第２カメラ７２は第２撮像素子の一例である。第１カメラ７１と第２カメラ７２は、たとえばＣＣＤ（電荷結合素子）カメラやその他の形式のカメラを用いることができる。
支持部７０は、上述したＵ軸を中心としてθ方向に回転して位置決めできる。このＵ軸は図２の紙面垂直方向でありＺ軸と平行な方向である。このＵ軸は図３のヘッド１１の回転中心でもある。

次に、図５乃至図７を参照しながら、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０の座標調整装置１００による座標調整方法の実施形態について説明する。
図５は、図２の第１カメラ７１と第２カメラ７２が、それぞれ第１パターン列４１の各マークＭと第２パターン列４２の各マークＮをそれぞれ画像認識することにより、Ｘ軸とＹ軸の相対的な位置精度を検出している例を示している。
図６は、図５のようにして画像認識して、撮像部５０により得た撮像結果から、Ｘ軸とＹ軸との相対的な位置ずれ補正データを得て、位置ずれの補正を行った状態の例を示している。

図７は、本発明の座標調整方法の好ましい実施形態を示すフロー図である。
図７に示す座標調整方法は、マスク搭載ステップＳＴ１、図２のテーブル３０上のマスク４０の姿勢の調整をするステップＳＴ２０、撮像ステップＳＴ６、位置補正ステップＳＴ３０、そして位置確認（再現確認）ステップＳＴ１２を有している。

マスク搭載ステップＳＴ１
マスク搭載ステップＳＴ１では、図１と図２に示すテーブル３０の上にマスク４０を搭載する。この搭載する場合にはマスク４０はテーブル３０のある定められた位置に位置決めしてセットする。

テーブル上のマスクの姿勢の調整をするステップＳＴ２０
このステップＳＴ２０では、ステップＳＴ２からステップＳＴ５を有している。
ステップＳＴ２０は、テーブル３０の上のマスク４０のテーブル３０に対する姿勢を予め調整するためのステップである。ステップＳＴ２では、図２に示す第１カメラ７１の１ピクセル内に第１パターン列４１の左端マークＭＬが入るように調整する。ステップＳＴ３では、テーブル３０をＹ軸方向（＋方向）に移動して、第１カメラ７１の１ピクセル内に、第２パターン列４２の左端マークＮＬが入るように調整する。

次に、ステップＳＴ４では、テーブル３０をＹ軸（−方向）に移動して、第２カメラ７２の１ピクセル内に、第１パターン列４１の左端マークＭＬが入るように調整する。そしてステップＳＴ５では、テーブル３０をＹ軸方向（＋方向）に移動して、第２カメラ７２の１ピクセル内に第２パターン列４２の左端マークＮＬが入るように調整する。
このように第１カメラ７１と第２カメラ７２のそれぞれについて第１パターン列４１の左端マークＭＬと第２パターン列４２の左端マークＮＬを観察して、各カメラ７１，７２の１ピクセル内に入るようにする。これによって、マスク４０がテーブル３０の上において、Ｘ軸とＹ軸に対してほぼ正しい姿勢に調整することができる。
このようなテーブル上のマスクの姿勢の調整は、たとえば作業者が手動で行うことができる。この後、図１の吸着部３０Ｂがマスク４０を搭載面３０Ａに吸着して固定して、マスク４０が動かないようにする。

次に、図７の撮像ステップＳＴ６に移る。
撮像ステップＳＴ６
撮像ステップＳＴ６では、図２に示すようにテーブル３０の上にマスク４０が上述した要領で姿勢を正しくした状態で搭載されている。撮像部５０は、Ｘ軸に沿って直線移動することにより、撮像部５０の第１カメラ７１と第２カメラ７２は、それぞれ第１パターン列４１のマークＭと第２パターン列４２のマークＮを順次撮像していくことになる。

この場合には、キャリッジ１９およびヘッド１１と共に第１カメラ７１と第２カメラ７２がＸ軸方向の＋方向にマークＭの１ピッチ分ずつ送ることにより、第１パターン列４１の複数のマークＭと第２パターン列４２の複数のマークＮを第１カメラ７１と第２カメラ７２によりそれぞれ撮像していくことができる。
第１カメラ７１は、第１パターン列４１の左端マークＭＬから右端マークＭＲまで１ピッチずつマークＭを撮像していく。同時に第２カメラ７２は、第２パターン列４２の左端マークＮＬから右端マークＮＲまでマークＮを１ピッチずつ撮像していく。

図５は、第１パターン列４１の途中のマークＭと第２パターン列４２の途中のマークＮの撮像例を代表して示している。図５は、第１パターン列４１のマークＭ１とマークＭ２と、第２パターン列４２のマークＮ１とマークＮ２の例を示している。各マークは図５に示すように基準線ＢＬと各交差線ＣＬにより形成されている。基準線ＢＬはＸ軸に平行な線である。交差線ＣＬは左端マークＭＬから右端マークＭＲまで同じピッチで形成されており、基準線ＢＬに対して直交する方向に形成された線分である。

図５に示す例では、マークＭ１とマークＭ２およびマークＮ１とマークＮ２の例を拡大して示している。
マークＭ１では、第１カメラ７１の撮像中心ＣＣが基準線ＢＬと交差線ＣＬからずれた位置にある。この場合の撮像中心ＣＣは、＋ΔＸ１と＋ΔＹ１だけ原点０からずれた位置にある。マークＮ１では、第２カメラ７２の撮像中心ＣＣが原点０から−ΔＸ２と−ΔＹ２だけずれた位置にある。

同様にしてマークＭ２では、第１カメラ７１の撮像中心ＣＣが原点０から−ΔＸ３と＋ΔＹ３だけずれている。マークＮ２では、第２カメラ７２の撮像中心が原点０から＋ΔＸ４と−ΔＹ４だけずれている。これにより、マークＭ１とマークＮ１におけるそれぞれの第１カメラ７１の撮像中心ＣＣと第２カメラ７２の撮像中心ＣＣのずれの発生により、撮像中心ＣＣ，撮像中心ＣＣを結ぶ傾き線ＬＤ１は、Ｙ軸に対して角度θ１だけ傾いている。

同様にして、マークＭ２とマークＮ２については、第１カメラ７１の撮像中心ＣＣと第２カメラ７２の撮像中心ＣＣを結ぶ傾き線ＬＤ２は、Ｙ軸に対して角度θ２傾いている。
このことから、マークＭ１はマークＮ１に対する第１カメラ７１の撮像中心ＣＣは、原点０に対して座標（ΔＸ１，ΔＹ１，Δθ１）となっている。同様にしてマークＮ１では、第２カメラ７２の撮像中心ＣＣは、座標（−ΔＸ２，−ΔＹ２，Δθ１）である。
さらにマークＭ２に関しては、第１カメラ７１の撮像中心ＣＣは、原点０に対して座標（−ΔＸ３，ΔＹ３，Δθ２）である。マークＮ２に関しては、第２カメラ７２の撮像中心ＣＣは、座標（ΔＸ４，−ΔＹ４，Δθ２）である。

図５では、マークＭ１、マークＭ２、マークＮ１、マークＮ２の４つについて代表して図示している。しかし左端マークＭＬから右端マークＭＲの各マークＭと左端マークＮＬから右端マークＮＲにかけて、第１カメラ７１と第２カメラ７２は同様にして画像認識をすることができる。このような第１カメラ７１の撮像中心ＣＣと第２カメラ７２の撮像中心ＣＣが、原点０に対してずれている座標（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）について調整して撮像中心ＣＣを各マークの中心である原点０に移動して位置補正するために、図７の位置補正ステップＳＴ３０を行う。

位置補正ステップＳＴ３０
位置補正ステップＳＴ３０では、ステップＳＴ７乃至ステップＳＴ９を有している。
ステップＳＴ７では、第１パターン列４１のパターンのマークＭが第１カメラ７１の１ピクセル内に入り、第２パターン列のパターンのマークＮが第２カメラ７２の１ピクセル内に入るように、（Ｘ，Ｙ，Ｕ）軸をそれぞれ調整する。
代表して図示したマークＭ１，Ｍ２，Ｎ１，Ｎ２について位置調整すると、たとえば図６のようになる。各マークにおいては、第１カメラ７１の撮像中心ＣＣと第２カメラ７２の撮像中心ＣＣはそれぞれ原点０にくるように調整される。

ステップＳＴ８では、この場合に、各座標のＸ，Ｙ，Ｕ軸の調整した量については、エンコーダパルスによりＸ軸，Ｙ軸，θ軸についての量を図２の制御部２００のデータ格納部２０１に記録する。このように、調整後の（Ｘ，Ｙ，Ｕ）軸についての調整量をステップＳＴ８で記録し、第１パターン列４１の各マークＭおよび第２パターン列の各マークＮについて１ピッチ分ずつ送りながら（Ｘ，Ｙ，Ｕ）軸についての調整後の補正量を記録していく。
このようにして、図５のように第１カメラ７１と第２カメラ７２の撮像中心ＣＣがずれた量を位置補正する。この位置補正には、Ｘ軸，Ｙ軸およびＵ軸に関する角度θの補正をすることにより、Ｘ軸，Ｙ軸に関する相対的な位置精度を向上させることができる。

位置確認（再現確認）ステップＳＴ１２
ステップＳＴ１２では、このようにして図２の制御部２００のデータ格納部２０１に記録した（Ｘ，Ｙ，Ｕ）軸に関する位置補正データを指令値として、図２のキャリッジ１９とヘッド１１および撮像部５０は、第１パターン列４１と第２パターン列４２のそれぞれのマークＭ，Ｎを１ピッチ分ずつに対応するように送っていく。
これによって、図６に示すように第１パターン列４１の各マークＭ１，Ｍ２の原点０において第１カメラ７１の撮像中心ＣＣが位置され、第２パターン列４２のマークＮ１，Ｎ２の原点０において第２カメラ７２の撮像中心ＣＣが位置しているかを確認する。つまり、キャリッジ１９とヘッド１１および撮像部５０は、Ｘ軸にパターンのマークの１ピッチ分ずつを送りながら、各マークＭ，Ｎが第１カメラ７１と第２カメラ７２のそれぞれ１ピクセル内に入っているかどうかを確認するのである。

以上のように調整した後に、図１の液滴吐出装置１０を用いてワークに対して液滴を吐出して描画することができる。この場合にはテーブル３０の上のマスクを取り除いて、その代わりにテーブル３０の上には有機ＥＬ装置の基板を搭載して吸着部３０Ｂで吸着する。そして図２のキャリッジ１９とヘッド１１および撮像部５０は、ワークに対してＸ軸とＹ軸に移動しながら発光機能材料を吐出することにより、正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。

すでにＸ軸とＹ軸の相対的な位置精度を座標調整装置１００を用いて調整しているので、このような基板に対して成膜部は正確な位置に形成することができる。これによって、得られた基板およびその基板を有する有機ＥＬ装置のようなディスプレイの製造品質を向上させることができる。

以上説明したように、本発明の実施形態の液滴吐出装置は、Ｘ軸とＹ軸が共に正確な直線性を有していて正確に直交するように製造し組立てられていれば、カメラの撮像中心は各マークの原点に一致することが考えられる。しかし実際には、撮像部５０がＸ軸に沿って移動すると、撮像中心ＣＣとマークの原点の間には変位（エラー）（ΔＸ，ΔＹ，Δθ）が生じる。

そこで本発明の実施形態の図２の座標調整装置の制御部２００は、第１カメラの１ピクセル（撮像中心）と第１パターン列の各マークＭの原点との間の変位（位置ずれ量）と、第２カメラの１ピクセル（撮像中心）と第２パターン列の各マークＮの原点との間の変位（位置ずれ量）を求めた後に、その変位を各マークＭ，Ｎについて補正した補正データを得る。そして、制御部２００は、補正データによりＸ軸とＹ軸の相対的な位置ずれ補正を行って、再度第１カメラと第２カメラによりマークＭ，Ｎを撮像することで、位置ずれの補正ができたかどうかを確認するのである。
これによって、第１移動軸（Ｘ軸）と第２移動軸（Ｙ軸）との座標の相対的位置精度の調整を行って位置精度を向上することで、精度の高い液滴吐出作業が行えることになる。

次に、本発明の他の実施形態について説明する。
図８は、テーブル３０の上に搭載されたマスクの別の実施形態を示している。このマスク４０は、位置決め計測用部材の一例であるが、このマスク４０は、第１パターン列４１と第２パターン列４２を有している。この場合に、第１パターン列４１の右端のマークＭＲと右端のマークＮＲの外の領域にまで、キャリッジ、ヘッドおよび撮像部５０の組み立て体が移動する場合には、たとえば次のようにして補完データを得ることができる。

図９（Ａ）は、第１パターン列４１の右端マークＭＲを示している。この右端マークＭＲよりもさらに右側の破線で示す領域は、第１パターン列４１から外れた領域である。つまり上述した実施形態において、位置の補正を行ったデータの外の位置の領域である。このような位置補正データ外の領域Ｔにおいて、Ｘ軸とＹ軸の相対的な位置関係の補正を行うためのデータ（ΔＸ５０，ΔＹ５０，Δθ５０）を得る場合には、図９（Ｂ）に示すようなたとえば直線性を利用した補完方法により、たとえば複数個のマークＭ３０，Ｍ３１，Ｍ３２、右端マークＭＲにおける第１カメラ７１の撮像中心ＣＣの座標（ΔＸ５０，ΔＹ４６，Δθ５０），（ΔＸ５０，ΔＹ４７，Δθ５０），（ΔＸ５０，ΔＹ４８，Δθ５０），（ΔＸ５０，ΔＹ４９，Δθ５０）を用いて、推定することができる。この例では、簡単化のために角度θは同じθ５０としている。

図１０は、本発明のさらに別の実施形態を示している。
図１０に示す実施形態が、図２に示す実施形態と異なるのは、マスク４０と撮像部５０の構成である。マスク４０と撮像部５０以外の各構成要素については、図２の実施形態と同じであるので同じ符号を記してその説明を用いる。

マスク４０は、１つのパターン列４１のみを有している。これに対応して撮像部は１つのカメラ７１を有している。このようにすることによっても、パターン列４１を基準としてＸ軸とＹ軸の相対的な位置調整を行うことが可能である。
ただし、図２に示す実施形態では、図１０の実施形態に比べて、第１パターン列４１と第２パターン列４２および第１カメラ７１と第２カメラ７２を用いているので、より高精度に位置精度の調整が行える。

図１１（Ａ）と図１１（Ｂ）は、撮像部５０の別の実施形態を示している。図１１（Ａ）の撮像部５０は第１カメラ７１と第２カメラ７２および支持部７０を有しているが、この支持部７０の回転中心であるＵ軸は、第１カメラ７１の中心にある点が異なる。図１１（Ｂ）の実施形態では、撮像部５０は１つのカメラ７２と支持部７０を有している。カメラ７２は支持部７０の一端部に設けられているが、Ｕ軸は支持部７０の他端部に設けられている点が異なる。

本発明の座標調整装置を有する液滴吐出装置の実施形態は、上述したように電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、この他に金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。

図１２は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。

有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。

有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。

また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。

次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１３は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。
対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。

カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。

液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。

対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

図１４は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。

図１５は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。

本発明の実施形態では、液滴をワークに対して吐出する前に、ヘッドを直線移動するための第１移動軸と、ワークを直線移動させるための第２移動軸との間の相対的な位置精度を予め調整することができる。これにより、ヘッドがワークに対して液滴を与える際に液滴をワークの適切な位置に吐出することができる。撮像部はヘッドに設けるだけで、第１移動方向に直線移動させることができる。２つの撮像素子と２つのパターン列を用いて、第１移動軸と第２移動軸との相対的な位置精度をより正確に調整することができる。第１移動軸と第２移動軸の相対的な位置精度が正しく得られているかどうかを確認することができる。ヘッドが位置ずれ補正データ外の位置において液滴を吐出する場合でも、ワークの正しい位置に液滴を吐出することができる。
なお、撮像部は、キャリッジとは別の部分に設けてもよい。このキャリッジとは別の部分は、Ｘ軸方向に沿って第１操作部により直線移動して位置決め可能である。

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。

本発明の座標調整装置を有する液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。 図１の液滴吐出装置の座標調整装置の好ましい実施形態を示す平面図。 キャリッジ、ヘッドおよび撮像部の形状例を示す斜視図。 キャリッジ、ヘッドおよび撮像部を示す正面図。 第１カメラと第２カメラが第１パターン列と第２パターン列を画像認識している例を示す図。 画像認識した後に位置調整した後の例を示す図。 本発明の座標調整方法の一例を示すフロー図。 本発明の別の実施形態を示す図。 図８の実施形態をより詳しく説明する図。 本発明のさらに別の実施形態を示す平面図。 本発明のさらに別の実施形態を示す図。 本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。 本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。 本発明により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。 電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。

符号の説明

１０・・・液滴吐出装置、２１・・・第１操作部、２２・・・第２操作部、３０・・・テーブル、４０・・・マスク、４０Ａ・・・パターン、４１・・・第１パターン列、４２・・・第２パターン列、５０・・・撮像部、７１・・・第１カメラ（第１撮像装置）、７２・・・第２カメラ（第２撮像装置）、１００・・・座標調整装置、２００・・・制御部、Ｘ軸・・・第１移動軸、Ｙ軸・・・第２移動軸

Claims (5)

1. 液滴をワークに吐出する際の位置を調整するための位置調整装置を有する液滴吐出装置であって、
   前記位置調整装置は、
   液滴を吐き出すヘッドを支えるキャリッジと、
   所定のピッチで配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材と、
   前記位置ずれ計測用部材を保持するテーブルと、
   第１移動軸に沿って移動させる第１操作部と、
   前記テーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させる第２操作部と、
   前記キャリッジに対して保持されるとともに、前記第１操作部により前記第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させて前記マークを撮像する撮像部と、
   前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように、前記第１操作部及び第２操作部を制御して位置を調整する制御部と、
   前記制御部で調整した量を記録するデータ格納部と、
   を備える液滴吐出装置。
2. 前記位置ずれ計測用部材の前記複数のマークは、前記位置ずれ計測用部材が前記テーブルに保持された際に前記第１移動軸と平行になるように配列されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記位置ずれ計測用部材の前記パターンは、第１パターン列と、前記第１パターン列と平行な第２パターン列を有し、
   前記撮像部は、前記第１パターン列を撮像する第１撮像素子と、前記第２パターン列を撮像する第２撮像素子を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 液滴を吐き出すヘッドを支えるキャリッジを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えるのに先立って行う位置調整方法であって、
   所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を前記テーブルに搭載する搭載ステップと、
   前記第１操作部は、前記キャリッジ及び前記キャリッジに対して保持された撮像部を第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させるとともに、前記撮像部は、前記マークを撮像する撮像ステップと、
   前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように位置を調整する位置調整ステップと、
   前記位置調整ステップで調整した量をデータ格納部に記録する記録ステップと、を有する位置調整方法。
5. 液滴を吐き出すヘッドを第１操作部により第１移動軸に沿って移動させ、第２操作部によりテーブルを前記第１移動軸とは直交する第２移動軸に沿って移動させて前記ヘッドから前記テーブルにあるワークに対して前記液滴を与えて電気光学装置を製造するのに先立って位置の調整を行う電気光学装置の製造方法であって、
   前記位置調整では、
   所定のピッチで前記第１移動軸に沿って配列された複数のマークからなるパターンを有している位置ずれ計測用部材を前記テーブルに搭載する搭載ステップと、
   前記第１操作部は、前記キャリッジ及び前記キャリッジに対して保持された撮像部を第１移動軸に沿って前記所定のピッチ分ずつ移動させるとともに、前記撮像部は、前記マークを撮像する撮像ステップと、
   前記マークと前記撮像部の撮像中心とのずれに基づき、前記マークが前記撮像中心にくるように位置を調整する位置調整ステップと、
   前記位置調整ステップで調整した量をデータ格納部に記録する記録ステップと、を有する電気光学装置の製造方法。

Images