JP2004337729A

JP2004337729A - 主走査用送り方法および主走査用送り装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器

Info

Publication number: JP2004337729A
Application number: JP2003136483A
Authority: JP
Inventors: Seigo Mizutani; 誠吾水谷
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-12-02

Abstract

【課題】本発明は、描画処理時におけるワークの機械的なうねりを矯正して、精度良く描画処理を行うことができる主走査用送り方法および主走査用送り装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、ワークＷに所定の描画処理を行うために、主走査用送り装置２０１を用いて、機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッド３２に対して、ワークＷを主走査方向に相対的に送る主走査用送り方法において、ワークＷの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出する送り量検出工程と、送り量検出工程の検出結果に基づいて、ワークＷの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、ワークＷの両側端部それぞれの送り量を調整する送り量調整工程と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図５

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークに所定の描画処理を行うために、主走査方向にワークを送る主走査用送り方法および主走査用送り装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出法（インクジェット法）により、液晶表示装置などの表示装置に適用される、カラーフィルタ等を製造するフィルタ製造装置（液滴吐出装置）は、基板（ワーク）をセットするテーブル（セットテーブル）を移動させる第１移動手段を備えており、フィルタ製造装置ではテーブルを介して基板を移動させながら、基板に対して描画処理を行っている。第１移動手段は、テーブルを支持するスライダと、スライダの移動を案内する（Ｙ軸方向に延在する）ガイドレールと、スライダを移動させるためのリニアモータと、を有している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−２４８９２５号公報（第４頁−第５頁、図９）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ガイドレールやスライダは一定の機械的公差や微小な歪みを有しているため、テーブルにセットされた基板は、僅かにうねりながら（ヨーイングしながら）移動することがある。液滴吐出装置では、基板の所定位置に精度良く機能液を吐出することが要求されており、基板に対する描画処理時における基板のヨーイングは、描画結果に悪影響を及ぼすため問題となる。
【０００５】
そこで本発明は、描画処理時におけるワークの機械的なうねりを矯正して、精度良く描画処理を行うことができる主走査用送り方法および主走査用送り装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークに所定の描画処理を行うために、主走査用送り装置を用いて、機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドに対して、ワークを主走査方向に相対的に送る主走査用送り方法において、ワークの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出する送り量検出工程と、送り量検出工程の検出結果に基づいて、ワークの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、ワークの両側端部それぞれの送り量を調整する送り量調整工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、ワークに所定の描画処理を行うために、機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドに対して、ワークを主走査方向に相対的に送る主走査手段と、ワークの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出する送り量検出手段と、ワークの送り方向両側端部の送り量をそれぞれ調整する送り量調整手段と、送り量検出手段の検出結果に基づいて、ワークの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、送り量調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、（送り量調整手段を制御することにより、）ワークの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、ワークの送り量が調整されるので、ワークのうねりを矯正しながら直進移動させることができる。すなわち、ワークがヨーイングしながら相対的に移動して、ワークの送り方向両側端部の送り量がそれぞれ異なったとしても、ワークの両側端部の送り量を同一に調整することにより、ワークのうねりを修正して、ワークをまっすぐに移動させることができる。なお、ワーク側を移動（主走査）させる場合には、主走査手段と送り量調整手段を兼用させることが可能となる。
【０００９】
この場合、主走査手段は、ワークをセットするセットテーブルを有し、セットテーブルを介してワークを相対的に送っており、セットテーブルの両側端部には、ワークの送り量を指標する一対のスケールが付され、送り量検出手段は、両スケールを検出することにより、ワークの両側端部の送り量を個々に検出することが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、セットテーブルの両側端部に付された一対のスケールを検出することにより、ワークの両側端部の送り量を個々に検出しており、主走査時におけるセットテーブルのうねりに基づいて、ワークの両側端部の各送り量を調整することができる。
【００１１】
この場合、ワークの両側端部には、ワークの送り量を指標する一対のスケールが付され、送り量検出手段は、両スケールを検出することにより、ワークの両側端部の送り量を個々に検出することが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ワークには、ワークの送り量を指標する一対のスケールが付されているので、主走査時におけるワークのうねりを直接検出して、ワークの両側端部の各送り量が同一となるように調節することができる。また、ワークに付された一対のスケールに基づいて、ワークの両側端部の送り量が同一となるように調整されるので、液滴吐出装置に対するワークのセット姿勢に関わらず、ワークを主走査方向に均一に送ることができる。また、一対のスケールがワークに付されているため、ワークの送り量がワークの熱膨張の影響を受けることがない。
【００１３】
これらの場合、主走査手段は、機能液滴吐出ヘッドに対しワークを送るよう構成されており、送り量調整手段は、ワークの両側端部にそれぞれ臨み、制御手段により個別に駆動制御される一対の制動機構を有していることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、主走査手段により送られるワークに対し、一対の制動機構が臨んで、ワークの両側端部の送り量をブレーキングにより個別に調整する、すなわち一対の制動機構を個別に制御して、ワークの送り量に応じ、ワークの両側端部の送り速度を個別に調整することができるので、ワークの両側端部の送り量を同一に調整することができる。
【００１５】
これらの場合、送り量調整手段は、ワークの両側端部をそれぞれ送ると共に、制御手段により個別に駆動制御される一対の送り調整機構を有していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、送り調整機構を駆動制御してワークの送り量を制御することにより、主走査手段に起因するワークのうねりによって生じるワークの両側端部の送り量の違いを調整することができ、ワークを均一に送ることができる。具体的には、一対の送り調整機構を制御することにより、ワーク送り方向に対して、ワークが右側に向かってうねったときには、ワーク左側端部の送り量に対して、ワーク右側端部の送り量を相対的に増加させ、ワークが左側に向かってうねったときには、ワーク左側端部の送り量に対して、ワーク右側端部の送り量を相対的に減少させるようにする。
【００１７】
この場合、主走査手段は、機能液滴吐出ヘッドに対しワークを送るよう構成されており、一対の送り調整機構は、主走査手段を兼ねていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、主走査手段が一対の送り調整機構を兼ねているので、比較的簡易な構成としたまま、ワークのうねりを矯正することができる。
【００１９】
これらの場合、送り調整機構は、ワークの送り方向に列設した複数の送りローラ機構を有しており、各送りローラ機構は、ワークに転接してこれを送る駆動ローラおよび従動ローラから成るグリップローラと、駆動ローラを回転駆動する送りモータと、により、構成されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、送り調整機構は、送りローラ機構で構成されているので、送りローラ機構の回転速度を調整することにより、ワークの送り量を確実に調整することができる。また、送り調整機構は、複数の送りローラ機構を有しているので、単数の送りローラ機構で構成した場合に比して、安定してワークを送ることができると共に、ワークの両側端部の送り量を細かく調整することができる。
【００２１】
これらの場合、一対の送り駆動機構を一括して支持すると共に、一対の送り調整機構をワークの送り方向と直交する方向に微小移動させる横移動テーブルと、ワークの送り方向と直交する方向の横ぶれを検出する横ぶれ検出手段と、を更に備え、制御手段は、横ぶれ検出手段の検出結果に基づいて、ワークが直進するように横移動テーブルを制御することが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ワークの送り方向と直交する方向の横ぶれを検出し、横移動テーブルを駆動制御することにより、ワークが直進するようにワークの横ぶれが調整（補正）されるので、主走査時にワークが微小に横ぶれしたとしてもこれを修正することができ、描画処理に悪影響を及ぼすことがない。
【００２３】
この場合、ワークには、ワークの送り方向に延在すると共に相互に平行な横ぶれ検出用の一対のラインが付されており、横ぶれ検出手段は、一対のラインの中心間距離に対し僅かに広狭位置ずれさせて設けた一対の検出センサを有し、制御手段は、一対の検出センサがそれぞれ両ラインを同時に検出するように横移動テーブルを制御することが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、ワークが横ぶれすると、検出センサにより、横ぶれ検出用の一対のラインを同時に検出することができなくなるため、ワークに横ぶれが生じたこと、および横ぶれのぶれ方向を精度良く検出することができると共に、ワークの横ぶれを正確に調整することができる。
【００２５】
本発明の液滴吐出装置は、上記した主走査用送り装置と、ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、ワークを精度良く送ることができる主走査用送り装置を備えているので、機能液滴吐出ヘッドに対してワークを均一に送ることができ、ワークに対して、高品質な描画処理を行うことができる。
【００２７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２９】
これらの構成によれば、精度良くワークを送ることにより、高度な描画処理を行うことができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（ＰｌａｓｍａＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３０】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００３３】
ここでは先ず、液滴吐出装置の説明に先立ち、有機ＥＬ装置の構造および製造工程について簡単に説明する。図１は、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。同図に示すように、有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００３４】
同図に示すように、有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００３５】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００３６】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。この場合、上記バンク部７４１により形成したマトリクス状の多数の凹部開口７４４に対し、３色の発光層７５３の配列は、例えば図２に示すように、ストライプ配列（同図（ａ））、モザイク配列（同図（ｂ））およびデルタ配列（同図（ｃ））が知られている。
【００３７】
そして、有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００３８】
本実施形態の液滴吐出装置は、注入／輸送層形成工程に用いるものと、発光層形成工程に用いるものとがあるが、装置自体は同一構造のものが用いられるため、ここでは、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層７５３を形成するための液滴吐出装置を例に、詳細に説明する。
【００３９】
図３の平面模式図に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、描画装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド機能回復装置４とを有し、描画装置３に備えられた機能液滴吐出ヘッド３２によりワークＷ上に機能液滴による描画を行うと共に、ヘッド機能回復装置４により適宜、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復処理（メンテナンス）を行うようにしている。
【００４０】
液滴吐出装置１を構成する各装置の装置構成について簡単に説明する。描画装置３は、ワークＷを主走査方向に移動させるＸ軸テーブル（主走査手段）１２およびＸ軸テーブル２１に直交するＹ軸テーブル２２からなるＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル２２に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に垂設したヘッドユニット１３とを備えている。ヘッドユニット１３には、サブキャリッジ３１を介して、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の３つの機能液滴吐出ヘッド３２が搭載されると共に、Ｙ軸方向に離間して、後述するリニアエンコーダ２０２の一対のリニアセンサ２０５が搭載されている。
【００４１】
この場合、基板であるワークＷは、透光性（透明）のガラス基板で構成されている。ワークＷには、２ヶ所の基準マーク７６が付されており、ワークＷをＸ軸テーブル２１に搬入した段階で、これに臨む一対のワーク認識カメラ７５，７５により、Ｘ軸テーブル２１に位置決めされた状態でセットされる。なお、図示のサブキャリッジ３１には、色別の機能液滴吐出ヘッド３２が１つずつ搭載されているが、これらが複数の機能液滴吐出ヘッド３２で構成されていてもよい。
【００４２】
また、ヘッド機能回復装置４は、機台２上に載置した移動テーブル４１と、移動テーブル４１上に載置した保管ユニット４２、吸引ユニット４３およびワイピングユニット４４とを備えている。保管ユニット４２は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル３４の乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット４３は、機能液滴吐出ヘッド３２から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド３２の全ノズル３４からの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット４４は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３をワイピング（拭き取り）する。
【００４３】
保管ユニット４２には、例えば機能液滴吐出ヘッド３２に対応する封止キャップ５１が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット（の機能液滴吐出ヘッド３２）１３に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３に封止キャップ５１を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【００４４】
同様に、吸引ユニット４３には、例えば機能液滴吐出ヘッド３２に対応する吸引キャップ５２が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット（の機能液滴吐出ヘッド３２）１３に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド３２内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ５２を機能液滴吐出ヘッド３２に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出（描画）を休止するときには、吸引キャップ５２を機能液滴吐出ヘッド３２から僅かに離間させておいて、フラッシング（捨て吐出）を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復が図られる。
【００４５】
ワイピングユニット４４には、例えば、ワイピングシート５３が繰出し且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート５３を送りながら、且つ移動テーブル４１によりワイピングユニット４４をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３を拭き取るようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３に付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。
【００４６】
なお、ヘッド機能回復装置４として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド３２から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド３２から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。さらに、同図示では省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド３２に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画装置３や機能液滴吐出ヘッド３２等の構成装置を統括制御する制御装置（制御手段：後述する）５などが組み込まれている。
【００４７】
次に、描画装置３を構成要素について説明する。図３および図４に示すように、Ｘ軸テーブル２１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ６２駆動のＸ軸スライダ６１を有し、これに吸着テーブル６４およびθテーブル６５等から成るセットテーブル６３を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ６８駆動のＹ軸スライダ６７を有し、これにθテーブル６５を介して上記のメインキャリッジ１２を移動自在に搭載して、構成されている。
【００４８】
この場合、Ｘ軸テーブル２１は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル２２は、機台２上に立設した左右の支柱７１，７１に支持されている。Ｘ軸テーブル２１とヘッド機能回復装置４とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル２２は、Ｘ軸テーブル２１とヘッド機能回復装置４の移動テーブル４１とを跨ぐように延在している。
【００４９】
Ｘ軸テーブル２１は、セットテーブル６３（吸着テーブル６４）にセットしたワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に移動させ、移載エリア７４（後述する）で導入されたワークＷを描画エリア７２に移動させる。
【００５０】
Ｙ軸テーブル２２は、これに搭載したヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド３２）１３を、ヘッド機能回復装置４の直上部に位置する機能回復エリア７３と、Ｘ軸テーブル２１の直上部に位置する描画エリア７２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル２２は、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット１３を機能回復エリア７３に臨ませ、またＸ軸テーブル２１に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１３を描画エリア７２に臨ませる。
【００５１】
そして、描画エリア７２に導入したワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット１３）３２を描画エリア７２に臨ませておいて、Ｘ軸テーブル２１による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、機能液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動（機能液滴の選択的吐出）させる。また、Ｙ軸テーブル２２により適宜、副走査（ヘッドユニット１３の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域に所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画が行われる。
【００５２】
また、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復を行う場合には、移動テーブル４１により吸引ユニット４３を機能回復エリア７３に移動させると共に、Ｙ軸テーブル２２によりヘッドユニット１３を機能回復エリア７３に移動させ、機能液滴吐出ヘッド３２のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル４１によりワイピングユニット４４を機能回復エリア７３に移動させ、機能液滴吐出ヘッド３２のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット４２により、機能液滴吐出ヘッド３２にキャッピングが行われる。
【００５３】
なお、Ｘ軸テーブル２１の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル２１にセット（載せ代える）するための移載エリア７４となっており、移載エリア７４には、上記した一対のワーク認識カメラ７５，７５が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ７５，７５により、吸着テーブル６４上に供給されたワークＷの上記の２箇所の基準マーク７６が同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントが為される。
【００５４】
次に、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。図４に示すように、液滴吐出装置１は、インタフェース９１を有し、ホストコンピュータから送信された描画データおよび各種指令を入力すると共に、液滴吐出装置１内部における各種データをホストコンピュータに出力するためのデータ入出力部８１と、後述するリニアエンコーダ２０２や横ぶれセンサ２５２等を有し、各種検出を行う検出部８２と、機能液滴吐出ヘッド３２を有し、機能液滴による描画を行う描画部８３と、Ｘ軸モータ６２、Ｙ軸モータ６８等のモータを有し、メインキャリッジ１２の移動およびワークＷの送りを行う搬送部８４と、ヘッド機能回復装置４を有し、機能液滴吐出ヘッド３２の保全を行う保全部８５と、機能液滴吐出ヘッド３２を駆動するヘッドドライバ９２や、各種モータを駆動するモータドライバ９３、ヘッド機能回復装置４の各ユニットを駆動するメンテナンスドライバ９４、等を有し、液滴吐出装置１各部を駆動する各種ドライバを有する駆動部８６と、これら各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部８７と、を備えている。
【００５５】
制御部８７は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３、周辺制御回路（Ｐ−ＣＯＮ）１０４を備えており、これらは互いに内部バス１０５により接続されている。ＲＯＭ１０２は、ＣＰＵ１０１で処理する制御プログラムを記憶する制御プログラム領域１１１の他、各種制御データを記憶する制御データ領域１１２を有している。ＲＡＭ１０３は、外部から入力した描画データを記憶する描画データ領域１１３、印刷のための吐出パターンデータを記憶する吐出パターンデータ領域１１４の他、各種バッファ領域１１５や各種レジスタ群１１６を有し、制御処理のための作業領域として使用される。
【００５６】
Ｐ−ＣＯＮ１０４には、ＣＰＵ１０１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。すなわち、Ｐ−ＣＯＮ１０４は、ホストコンピュータや液滴吐出装置１各部からの描画データや各種検出信号などをそのまま、あるいは加工して内部バス１０５に取り込むと共に、ＣＰＵ１０１と連動して、ＣＰＵ１０１等から内部バス１０５に出力されたデータや制御信号を（駆動部８６を介して）液滴吐出装置１各部に出力している。また、Ｐ−ＣＯＮ１０４には、時間制御を行うためのタイマー１１７が組み込まれている。
【００５７】
ＣＰＵ１０１は、ＲＯＭ１０２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１０３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して駆動部８６に制御信号を出力する。このように、制御部８７により液滴吐出装置１全体が統括制御される。
【００５８】
ところで、本実施形態では、上記のＸ軸テーブル２１、ワークＷの位置情報を検出するためのリニアエンコーダ２０２、および制御装置５により、ワークＷを主走査方向に送るための主走査用送り装置２０１が構成されており、描画装置３では、Ｘ軸テーブル２１によるＸ軸（主走査）方向へのワークＷの移動と、Ｙ軸テーブル２２によるＹ軸（副走査）方向への機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット１３）５の移動と、を繰り返し行いながら、制御装置５に記憶する吐出パターンデータ、およびリニアエンコーダ２０２の位置情報に基づいて機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動を制御することにより、ワークＷに対する描画処理を行うようになっている。
【００５９】
図５を参照して、主走査用送り装置２０１について説明する。上述したように、ワークは、予め回路素子部７２１、画素電極７３１およびバンク部７４１を形成した透明なガラス基板７１１（ワークＷ）で構成されている。そして、ワークＷの表面には、送り方向の両側端部、すなわち描画範囲から幅方向外側に外れた位置にリニアエンコーダ２０２を構成する一対のリニアスケール２０３が形成されている。各リニアスケール２０３は、バンク部７４１により構成される凹部開口７４４の配設ピッチと同一ピッチとなるように線引きした多数の検出線２０４で構成されており、バンク部７４１と同様に半導体製造技術により、予めワークＷに形成される。
【００６０】
このように、描画処理の対象となるワークＷにリニアスケール２０２を形成することにより、ワークＷとヘッドユニット１３との位置関係を正確に把握することができ、ワークＷのセット位置の多少のずれや環境温度の変化に伴うワークＷの熱膨張などに起因して、描画精度が悪化することを防止できる。
【００６１】
また、同図の機能液滴吐出ヘッド３２は、そのノズル３４列がワークＷの描画範囲（幅方向）より長いものとなっており、いわゆるラインプリント方式で描画を行う。このため、Ｘ軸テーブル２１により主走査方向に送られるワークＷの一対のリニアスケール２０３には、ヘッドユニット１３に搭載した一対のリニアセンサ２０５が上側から臨むようになっている。すなわち、一対のリニアスケール２０３と一対のリニアセンサ２０５とにより、ワークＷの両側端部における送り量（ワークＷの位置情報）を検出する一対のリニアエンコーダ２０２が構成されている。そして、描画装置３では、リニアエンコーダ２０２に基づいて、Ｘ軸テーブル２１によるワークＷの送りが制御されると共に、ワークＷの送りと同期した機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動が為されるようになっている。
【００６２】
Ｘ軸テーブル２１のセットテーブル６３上には、着座プレート２０７が設けられており、この着座プレート２０７には、Ｘ軸テーブル２１の機械的精度に基づくワークＷのヨーイング（水平面内におれるブレ）を機械的に矯正するヨーイング矯正機構２０６が組み込まれている。ヨーイング矯正機構２０６は、着座プレート２０７に支持されたベースプレート２０８と、ベースプレート２０８の送り方向中間位置に立設した送り調整ユニット２０９とで構成されている。
【００６３】
送り調整ユニット２０９は、ベースプレート２０８の両側端部にそれぞれ固定したモータ（ヨーイング矯正モータ２１２）内蔵の一対の送り送り駆動部２１１と、各送り駆動部２１１の上部から内側に延びる一対の駆動軸２２２および各駆動軸２２２に固定したローラ２２３からなる駆動ローラ２２１と、両送り駆動部２１１の下部間に渡した従動軸２３２および従動軸２３２に固定した複数のローラ２３３からなる従動ローラ２３１と、で構成されている。すなわち、ワークＷの側端部を挟んで対峙する駆動ローラ２２１と従動ローラ２３１とにより、ワークＷを回転送りするグリップローラ２４１が構成されている。また、ベースプレート２０８には、従動軸２３２を挟んで、２つの補助ローラ２４２が固定されている。補助ローラ２４２は、ワークＷを安定にセットするためのものであり、各補助ローラ２４２は、従動ローラ２３１と同様のフリーローラで構成されている。
【００６４】
２つの送り駆動部２１１（駆動ローラ２２１）は、制御装置５により個別に制御されるようになっており、上記の一対のリニアエンコーダ２０２の検出結果に基づいて、ワークＷの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とか一致するように、右サイドの駆動ローラ２２１と左サイドの駆動ローラ２２１の送り量が微調整されるようになっている。
【００６５】
ワークＷのヨーイング矯正方法について説明する。先ず、Ｘ軸テーブル２１を駆動して、ワークＷを描画エリア７２に向かって移動させる。そして、ワークＷがヘッドユニット１３に臨むと、ヘッドユニット１３に搭載した一対のリニアセンサ２０５が、ワークＷに形成された一対のリニアスケール２０３の検出線２０４を同時に検出（カウント）していき、検出信号を制御装置５に送信する。このとき、ワークＷが蛇行せずにまっすぐ送られていれば、リニアスケール２０３の一対の検出線２０４が両リニアセンサ２０５により同時に検出される。一方、ワークＷがヨーイングしている場合、ワークＷの両側端部の送り量が異なるため、リニアスケール２０３の一対の検出線２０４はずれて検出される。
【００６６】
そこで、制御手段７は、両リニアセンサ２０５により、ワークＷの一対の検出線２０４が同時に検出されなかった場合、Ｘ軸テーブル２１の駆動と併せてヨーイング矯正機構２０６を駆動して、ヨーイングの補正を行う。具体的には、一対の検出線２０４のうち、ワークＷ左サイドの検出線２０４が右サイドの検出線２０４よりも速く検出されると、制御装置５は、ワークＷ右側の送り駆動部２１１を駆動することにより、ワークＷ右側端部を挟持する駆動ローラ２２１を回転させ、ワークＷ右側端部における送り速度を僅かに増加させる。
【００６７】
そして、ワークＷの右側端部と左側端部との送り量が一致して、両リニアセンサ２０５が、一対の検出線２０４を同時に検出するようになると、制御装置５は、送り駆動部２１１の駆動を停止させる。同様に、一対の検出線２０４のうち、ワークＷ右サイドの検出線２０４が左サイドの検出線２０４よりも速く検出されると、ワークＷ右側端部における送り速度を僅かに増加させ、ワークＷの右側端部と左側端部との送り量が同一となるように、ワークＷの送りを微調整する。これにより、ワークＷのヨーイングが矯正され、機能液滴吐出ヘッド３２に対してワークが均一に送られる。
【００６８】
なお、上記実施形態では、ワークＷ側に対し、ヘッド側（機能液滴吐出ヘッド３２）が主走査される装置にも適用可能である。一方、図示省略したが、上記の送り調整ユニット２０９に代えて、クランプユニット（制動機構）を設けるようにしてもよい。クランプユニットは、ワークＷの両側端部をそれぞれ上下方向にクランプする一対のクランパと、各クランパを作動させる一対のアクチュエータとで構成されている。この場合、一対のアクチュエータは、制御装置により個別に制御される。すなわち、Ｘ軸テーブル２１により全体として送られてゆくワークＷに対し、ワークＷの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とか一致するように、右サイドのクランパによるワークＷ右側端部の制動（ブレーキ）と左サイドのクランパによるワークＷ左側端部の制動（ブレーキ）が個別に行われ、ワークＷ両サイドの送り量が微調整される。
【００６９】
一方、ワークＷのヨーイングが矯正されても、ワークＷが全体としてＹ軸方向に位置ずれ（横ぶれ）すると、ワークＷに対する描画精度が悪化する。図６は、この横ずれを矯正可能とする変形例を示している。この変形例では、上記のリニアセンサ２０５に添設するように、一対の横ぶれセンサ２５２が設けられており、またワークＷの表面には、上記のリニアスケール２０３の両外側に位置して一対の横ぶれライン２５３が設けられている。
【００７０】
さらに、着座プレート２０７上には、正逆回転可能な横ぶれ矯正モータ２５４と、これに連結されたボールねじ２５６とが設けられる一方、ベースプレート２０８の下面には、ベースプレート２０８を支持すると共に、ボールねじ２５６に螺合する雌ねじブロック２５７が設けられている。すなわち、ヨーイング矯正機構２０６を介してワークＷをＹ軸方向に微小移動させる横移動テーブル２５８が構成されており、着座プレート２０７に対しベースプレート２０８がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。なお、着座プレート２０７には、ベースプレート２０８のスライドを案内する一対のガイド部２６１が形成されていると共に、ベースプレート２０８には、一対のガイド部２６１を摺動する一対のスライド部２６２が形成されており、ベースプレート２０８が安定してスライドするようになっている。
【００７１】
図７に示すように、一対の横ぶれライン２５３の中心間距離Ｌ_１に対し、一対の横ぶれセンサ２５２の検出端の中心間距離Ｌ_２が僅かに長く（短くても可）設定されており、両横ぶれセンサ２５２が同時に横ぶれライン２５３を検出するように、横移動テーブル２５８（横ぶれ矯正モータ２５４）が制御される。例えば、図示の左側の横ぶれセンサ２５２が（左側の横ぶれライン２５３を）非検出状態になった場合、すなわちワークＷが右側にぶれた場合には、横移動テーブル２５８によりワークＷを左側に微小移動させ（同図（ｂ）参照）、逆に、図示の右側の横ぶれセンサが（右側の横ぶれラインを）非検出状態になった場合、すなわちワークＷが左側にぶれた場合には、横移動テーブルによりワークを右側に微小移動させる（同図（ｃ）参照）。これにより、ワークの直線的送りが填補される。
【００７２】
図８は、Ｘ軸テーブル２１の第２実施形態の主走査送り装置２０１を表している。この実施形態では、上記の移載エリア７４に代えて、搬入エリア３０１および搬出エリア３０２が設けられており、描画エリア７２、搬入エリア３０１および搬出エリア３０２に、それぞれ描画部送り機構３１１、搬入部送り機構３１２および搬出部送り機構３１３が配設されている。搬入部送り機構３１２にセットされたワークＷは、搬入部送り機構３１２から描画部送り機構３１１に移載するように送られ、ここで機能液滴吐出ヘッド３２による描画が行われる。描画後のワークＷは、描画部送り機構３１１から搬出部送り機構３１３に移載するように送られ、ここから装置外に搬出される。
【００７３】
描画部送り機構３１１は、第１実施形態と略同様の形態であり、ワークＷのヨーイングを機械的に矯正するヨーイング矯正機構２０６が組み込まれている。ヨーイング矯正機構２０６は、上記の送り調整ユニット２０９を６組有している。描画部送り機構３１１では、この６組の送り調整ユニット２０９がＸ軸テーブル２１を兼ねており、各送り調整ユニット２０９は、ワークＷ全体の送りを行いながら、ヨーイングの矯正を行っている。
【００７４】
描画部送り機構３１１は、着座プレート２０７を有しており、ヨーイング矯正機構２０６は、着座プレート２０７上に組み込まれている。ヨーイング矯正機構２０６は、着座プレート２０７に支持されたベースプレート２０８と、ベースプレート２０８に立設した６組の送り調整ユニット２０９とで構成されている。なお、第２実施形態では、６組の送り調整ユニット２０９により、ワークＷを安定して支持することができるため、補助ローラ２４２は設置されていない。
【００７５】
各送り調整ユニット２０９は、第１実施形態の送り調整ユニット２０９と同様の構成をしており、ワークＷの側端部を挟んで対峙する駆動ローラ２２１と従動ローラ２３１とで構成されたワークを回転送りする左右一対のグリップローラ２４１と、ベースプレート２０８の両側端部にそれぞれ固定され、グリップローラ２４１を回転させるモータ（ヨーイング矯正モータ２１２）内蔵の一対の送り駆動部２１１と、を備えている。
【００７６】
この場合も、計１２の送り駆動部２１１（駆動ローラ２２１）は、制御装置５により個別に制御されるようになっており、制御装置５は、上記の一対のリニアエンコーダ２０２の検出結果に基づいて、ワークＷの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが一致するように、右サイドの駆動ローラ２２１と左サイドの駆動ローラ２２１の回転を個別にコントロールする。すなわち、制御装置５は、１２個の送り駆動部２１１を個別に制御することにより、各駆動ローラ２２１の回転速度を個別に調整し、機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動と同期させるようにワークＷを主走査方向に送りながら、ワークＷのヨーイングを適宜矯正している。このように、本実施形態では、１２個の駆動ローラ２２１により、ワークＷの両側端部の送り量を微調整することができるので、状況に応じてワークＷの両側端部の送り量をきめ細かく微調整することができる。
【００７７】
なお、この第２実施形態にも、上記の横移動テーブル２５８を組み込むことが好ましい。また、搬入部送り機構３１２および搬出部送り機構３１３は、描画部送り機構３１１と同一の構造を有している。但し、搬入部送り機構３１２および搬出部送り機構３１３は、ワークＷを単純に送るだけで、ヨーイングの矯正制御は行わない。
【００７８】
図９は、上記第２実施形態の変形例を表している。この変形例では、上記の描画部送り機構３１１のベースプレート２０８上には、送込みローラ４０１および送出しローラ４０２が組み込まれている。送込みローラ４０１は送り方向（主走査方向）の手前に、送出しローラ４０２は送り方向（主走査方向）の先方に配設されており、両ローラ４０１、４０２には、ワークＷをセットする無端のセットシート４０３が架け渡されている。本実施形態では、ワークＷ上に、リニアスケール２０３が形成されておらず、セットシート４０３の送り方向両側端に、一対のリニアスケール２０３が形成されている。送込みローラ４０１には、送込みモータ４０４が接続されており、送込みモータ４０４を駆動すると、セットシート４０３が送り方向に送られていく。
【００７９】
また、第２実施形態と同様に、ベースプレート２０８上には、ヨーイング矯正機構を構成する６組の送り調整ユニット２０９が立設されており、各送り調整ユニット２０９の駆動ローラ２２１および従動ローラ２３１に、セットシート４０３が挟持されている。そして、送込みローラ４０１および送出しローラ４０２により、セットシート４０３にセットしたワークＷの主走査方向への送りを行いながら、６組の送り調整ユニット２０９により、送り方向におけるセットシート４０３のヨーイング矯正を行うようになっている。具体的には、ヘッドユニット１３に搭載した一対のリニアセンサ２０５で、セットシート４０３に形成された一対リニアスケール２０３を検出することにより、セットシート４０３の両側端部における送り量のずれを検出する。そして、これに基づいて、ヨーイング矯正機構２０６を駆動し、セットシート４０３の両側端部の送り量が同一となるように、セットシート４０３の送りを微調整する。これにより、セットシート４０３のヨーイングに伴うワークＷのヨーイングを矯正することができる。
【００８０】
次に、上記の液滴吐出装置２を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図１０は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００８１】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えており、着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００８２】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。また、対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００８３】
液滴吐出装置１は、上記したカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
【００８４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように、本発明の主走査用送り方法および主走査用送り装置によれば、相対的に主走査方向へワークの送るときに、ワークの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出し、ワークの両側端部の送り量が同一と成るように、ワーク両側端部それぞれの送り量を調整するので、ワークのヨーイングを矯正することができ、ワーク全体を適切に送ることができる。
【００８６】
また、本発明の液滴吐出装置は、上記の主走査送り装置を適用して構成されているので、機能液滴吐出ヘッドに対するワークのうねりを矯正しながらワークを送ることができ、精度良くワークに描画処理を行うことが可能である。
【００８７】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器は、上記の液滴吐出装置を備えているので、高度な描画処理を行うことができ、効率よくこれらを製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬ装置の縦断面図である。
【図２】有機ＥＬ素子を構成する発光層の配列を示した図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列の説明図である。
【図３】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の平面模式図である。
【図４】液滴吐出装置の主制御系を示したブロック図である。
【図５】第１実施形態の主走査用送り装置の外観斜視図である。
【図６】第１実施形態の主走査用送り装置の変形例を示した図である。
【図７】横ぶれ矯正機構による横ぶれ矯正方法の説明図である。
【図８】第２実施形態の主走査用送り装置の外観斜視図である。
【図９】第２実施形態の描画部送り機構の変形例を示した図である。
【図１０】液晶表示装置の断面図である。
【符号の説明】
１液滴吐出装置３描画装置
５制御装置２１Ｘ軸テーブル
３２機能液滴吐出ヘッド６３セットテーブル
２０１主走査用送り装置２０２リニアエンコーダ
２０３リニアスケール２０４リニアセンサ
２０６ヨーイング矯正機構２０９送り調整ユニット
２１１送り駆動部２１２ヨーイング矯正モータ
２２１駆動ローラ２３１従動ローラ
２４１グリップローラ２５１横ぶれ矯正機構
２５２横ぶれセンサ２５３横ぶれライン
２５８横移動テーブル
Ｗワーク

Claims

ワークに所定の描画処理を行うために、主走査用送り装置を用いて、機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドに対して、前記ワークを主走査方向に相対的に送る主走査用送り方法において、
前記ワークの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出する送り量検出工程と、
前記送り量検出工程の検出結果に基づいて、前記ワークの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、前記ワークの両側端部それぞれの送り量を調整する送り量調整工程と、を備えたことを特徴とする主走査用送り方法。
ワークに所定の描画処理を行うために、機能液を選択的に吐出する機能液滴吐出ヘッドに対して、前記ワークを主走査方向に相対的に送る主走査手段と、
前記ワークの送り方向両側端部における送り量を個々に且つ連続的に検出する送り量検出手段と、
前記ワークの送り方向両側端部の送り量をそれぞれ調整する送り量調整手段と、
前記送り量検出手段の検出結果に基づいて、前記ワークの一方の側端部の送り量と他方の側端部の送り量とが同一になるように、前記送り量調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする主走査用送り装置。
前記主走査手段は、前記ワークをセットするセットテーブルを有し、前記セットテーブルを介して前記ワークを相対的に送っており、
前記セットテーブルの両側端部には、前記ワークの送り量を指標する一対のスケールが付され、
前記送り量検出手段は、前記両スケールを検出することにより、前記ワークの両側端部の送り量を個々に検出することを特徴とする請求項２に記載の主走査用送り装置。
前記ワークの両側端部には、前記ワークの送り量を指標する一対のスケールが付され、
前記送り量検出手段は、前記両スケールを検出することにより、前記ワークの両側端部の送り量を個々に検出することを特徴とする請求項２に記載の主走査用送り装置。
前記主走査手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを送るよう構成されており、
前記送り量調整手段は、前記ワークの両側端部にそれぞれ臨み、前記制御手段により個別に駆動制御される一対の制動機構を有していることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の主走査用送り装置。
前記送り量調整手段は、前記ワークの両側端部をそれぞれ送ると共に、前記制御手段により個別に駆動制御される一対の送り調整機構を有していることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の主走査用送り装置。
前記主走査手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを送るよう構成されており、
前記一対の送り調整機構は、前記主走査手段を兼ねていることを特徴とする請求項６に記載の主走査用送り装置。
前記送り調整機構は、前記ワークの送り方向に列設した複数の送りローラ機構を有しており、
前記各送りローラ機構は、前記ワークに転接してこれを送る駆動ローラおよび従動ローラから成るグリップローラと、
前記駆動ローラを回転駆動する送りモータと、により、構成されていることを特徴とする請求項６または７に記載の主走査用送り装置。
前記一対の送り駆動機構を一括して支持すると共に、前記一対の送り調整機構を前記ワークの送り方向と直交する方向に微小移動させる横移動テーブルと、
前記ワークの送り方向と直交する方向の横ぶれを検出する横ぶれ検出手段と、を更に備え、
前記制御手段は、前記横ぶれ検出手段の検出結果に基づいて、前記ワークが直進するように前記横移動テーブルを制御することを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の主走査用送り装置。
前記ワークには、前記ワークの送り方向に延在すると共に相互に平行な横ぶれ検出用の一対のラインが付されており、
前記横ぶれ検出手段は、前記一対のラインの中心間距離に対し僅かに広狭位置ずれさせて設けた一対の検出センサを有し、
前記制御手段は、前記一対の検出センサがそれぞれ両ラインを同時に検出するように前記横移動テーブルを制御することを特徴とする請求項９に記載の主走査用送り装置。
請求項２ないし１０のいずれかに記載の主走査用送り装置と、
ワークに機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項１３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。