KR100845880B1 - 용액 도포 장치 및 용액 공급량 계측 방법, 용액 공급 방법 - Google Patents

용액 도포 장치 및 용액 공급량 계측 방법, 용액 공급 방법 Download PDF

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시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 노즐로부터 공급되는 용액의 공급량의 측정 정밀도의 향상과 측정 작업의 능률 향상을 도모할 수 있는 도포 장치를 제공하는 것에 있다. 기판에 용액을 공급하여 도포하는 용액 도포 장치로서, 소정 방향을 따라 배치되고 기판에 용액을 공급하여 도포하는 복수개의 도포 헤드(22)와, 상면에 상기 기판이 탑재되는 탑재 테이블(7)과, 탑재 테이블과 도포 헤드를 소정 방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 제1 리니어 모터(8)와, 도포 헤드로부터 공급되는 용액의 중량을 측정하는 저울(41)과, 저울을 소정 방향 및 그 소정 방향과 교차하는 방향으로 탑재 테이블과 독립적으로 이동시키는 제2 리니어 모터(44)를 구비한다.
도포 장치, 도포 헤드, 탑재 테이블, 리니어 모터, 저울

Description

용액 도포 장치 및 용액 공급량 계측 방법, 용액 공급 방법 {APPARATUS FOR APPLYING SOLUTION AND METHOD OF MEASURING QUANTITY OF SOLUTION}
도 1은 본 발명의 제1 실시예의 도포 장치의 개략적 구성을 나타낸 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 도포 장치의 측면도이다.
도 3은 도포 헤드의 종단면도이다.
도 4는 도포 헤드의 노즐이 설치된 하면을 나타낸 도면이다.
도 5는 제어 계통을 나타낸 블록도이다.
도 6은 저울의 평면도이다.
도 7은 가이드 부재에 설치된 저울의 정면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예의 도포 장치의 개략적 구성을 나타낸 평면도이다.
도 9는 도 8에 나타낸 도포 장치의 측면도이다.
도 10 (A)는 차폐 부재의 평면도이며, 도 10 (B)는 도 10 (A)에 나타낸 차폐 부재의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 11은 도포 헤드의 노즐로부터 용액을 토출시키기 위한 제어 회로도이다.
[부호의 설명]
(4) 가이드 부재, (7) 탑재 테이블, (8) 제1 리니어 모터(제1 구동 수단),
(22) 도포 헤드, (40) 제어 장치, (41) 저울,
(44) 제2 리니어 모터(제2 구동 수단), (48) 컵체, (101) 베이스,
(102) 가이드 레일, (103) 탑재 테이블, (34) 노즐,
(128) 차폐 부재, (129) 전자 천칭(측정 수단), (131) 액저류부,
(132) 통과공, (134) 제1 센서(위치 결정 센서),
(135) 제2 센서(위치 결정 센서), (137) 액배출관,
(139) 청소 부재, (171) 제어 장치(제어 수단)
본 발명은 기판에 용액을 도포하는 용액 도포 장치, 기판에 공급되는 용액의 양을 계측하는 계측 방법 및 용액 공급 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 액정 표시 장치의 제조 스텝에 있어서는, 유리제의 기판에 회로 패턴을 형성하기 위한 성막 프로세스가 있다. 이 성막 프로세스에서는, 기판의 판면에, 예를 들면 배향막이나 레지스트 등의 기능성 박막이 형성된다.
기판에 기능성 박막을 형성하는 경우, 이 기능성 박막을 형성하는 용액을 노즐로부터 토출하여 기판의 판면에 도포하는 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용되는 경우가 있다.
이 도포 장치는, 기판을 반송하는 탑재 테이블을 가지고 있고, 이 탑재 테이 블의 상부에는, 상기 노즐이 설치된 복수개의 도포 헤드가 기판의 반송 방향에 대하여 대략 직교하는 방향을 따라 배치되어 있다. 그에 따라 반송되는 기판의 상면에는 복수개의 도포 헤드의 노즐로부터 토출된 용액이 반송 방향 및 그 방향과 교차하는 방향으로 소정 간격으로 도포되도록 되어 있다.
각 도포 헤드에는 각 노즐에 대향하여 압전(壓電) 소자가 가요판(可撓板)을 사이에 두고 설치되어 있다. 압전 소자에 전압을 인가하면, 상기 가요판이 변형되고, 상기 노즐로부터 용액이 공급되도록 되어 있다.
각 도포 헤드의 압전 소자에 같은 전압을 인가해도, 각각의 도포 헤드는 용액의 공급원으로부터의 배관 저항이나 제작 정밀도, 조립 정밀도 등에 따라 특성이 상이하므로, 공급되는 용액의 양에 차이가 생긴다. 그 결과, 기판에 형성되는 기능성 박막의 두께가 균일하게 되지 않는 경우가 있다.
그래서, 종래는 각 헤드에 인가하는 전압을 소정값으로 설정한 후, 각각의 헤드에 전압을 인가했을 때 노즐로부터 공급되는 용액을 작업자가 컵체로 받아, 그 공급량을 도포 장치와 다른 위치에 설치된 전자식의 저울로 측정하고, 그 측정에 따라 각각의 도포 헤드에 인가하는 전압을 조정하는 것이 행해지고 있었다. 이와 같은 조정은 도포 장치의 운전 개시 전이나 정기적으로 행해지고 있다.
그런데, 최근에는 액정 표시 장치가 대형화되는 경향이 있으므로, 그에 따라 기판도 대형화되고 있다. 기판이 대형화되면, 도포 장치에 설치되는 도포 헤드의 수도 예를 들면 20 ~ 50개 또는 그 이상으로 많아지는 경우도 있다.
도포 헤드의 수가 많아지면, 작업자가 각각의 도포 헤드로부터 공급되는 용액을 컵체로 받아 저울로 측정하는 작업을 도포 헤드의 수에 따라 반복하여 행하지 않으면 안되므로, 작업자에게 주어지는 부담이 커지고, 생산성이 현저하게 저하되는 경우가 있다.
또, 배향막(配向膜) 등의 기능성 박막을 형성하는 용액인, 예를 들면, 폴리이미드 용액의 경우, 그 용액에는 유기용매가 포함되어 있다. 용매를 포함하는 용액은 도포 헤드의 노즐로부터 토출된 시점으로부터 흡습(吸濕)이 시작되어, 중량이 경시(經時) 변화되는 경우가 있다.
그러므로, 작업자가 도포 헤드로부터 공급된 용액을 컵체로 받아, 도포 장치와 다른 위치에 설치된 저울로 중량을 측정하는 경우, 용액을 받고나서 중량 측정하기까지에 시간이 걸리므로, 그와 같은 경우에는 도포 헤드로부터 공급되는 용액의 중량을 고정밀도로 측정할 수 없는 경우가 있다.
또한, 저울이 도포 장치와 다른 장소에 설치되어 있으면 용액의 중량을 측정하는 장소와, 도포 헤드가 설치된 장소에서 온도나 습도 등의 환경에 차이가 있는 경우가 있다. 그와 같은 경우, 측정 결과에 따라 도포 헤드에 인가하는 전압을 설정해도, 환경의 차이가 가미되지 않기 때문에, 도포 헤드로부터 공급되는 용액의 양을 고정밀도로 설정할 수 없는 경우도 있다.
본 발명은, 노즐로부터 공급되는 용액의 공급량의 측정 정밀도와 이 측정 작업의 능률의 향상을 도모할 수 있도록 한 용액 도포 장치, 용액 공급량의 측정 방법 및 용액 공급 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 기판에 용액을 공급하여 도포하는 용액 도포 장치로서,
소정 방향을 따라 배치되고 상기 기판에 상기 용액을 공급하여 도포하는 복수개의 노즐과,
상면에 상기 기판이 탑재되는 탑재 테이블과,
상기 탑재 테이블과 상기 도포 헤드를 상기 소정 방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 제1 구동 수단과,
상기 노즐로부터 공급되는 용액의 중량을 측정하는 저울과,
상기 저울을 상기 소정 방향 및 그 소정 방향과 교차하는 방향으로 상기 탑재 테이블과 독립적으로 이동시키는 제2 구동 수단
을 구비한 용액 도포 장치에 있다.
본 발명은, 소정 방향을 따라 배치된 복수개의 노즐로부터 기판에 공급되는 용액의 양을 저울에 의해 계측하는 용액 공급량 계측 방법으로서,
상기 저울을 상기 노즐에 대하여 상대적으로 상기 소정 방향으로 이동시키는 스텝과,
상기 저울의 상기 소정 방향의 이동에 따라 복수개의 노즐로부터 공급되는 용액을 상기 저울에 의해 차례로 받아 계측하는 스텝
을 포함하는 용액 공급량 계측 방법에 있다.
본 발명은, 복수개의 노즐을 가지고, 이들 노즐로부터 용액을 토출시키는 용액 공급 방법으로서,
복수개의 노즐로부터 액적(液滴) 상태의 용액을 동시에 토출시키는 스텝과,
각 노즐로부터 동시에 토출된 복수개의 액적 상태의 용액 중 1개의 노즐로부터 토출된 용액만을 취하여 그 중량을 측정하는 동시에, 그 측정을 각 노즐로부터 토출되는 용액에 대하여 행하는 스텝과,
복수개의 노즐로부터 토출된 액적 상태의 용액의 중량을 비교하여 각각의 용액의 중량이 같아지도록 설정하는 스텝
을 포함하는 용액 공급 방법에 있다.
본 발명에 의하면, 저울을 탑재 테이블과는 독립적으로 소정 방향 및 그 소정 방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 그 이동에 의해 각 노즐로부터 공급되는 용액을 상기 저울에 의해 차례로 받아 측정하도록 했다.
그러므로, 노즐이 기판에 대하여 용액을 공급하여 도포하는 위치에 있어서 각 노즐로부터 공급되는 용액의 중량의 측정을 행할 수 있으므로, 용액이 사용되는 환경에 맞는 환경 하에서 용액의 중량을 측정할 수 있다.
또한, 저울은 탑재 테이블과는 독립적으로 이동 가능하므로, 탑재 테이블에 탑재된 기판에 용액을 공급 도포할 때라도, 저울을 그곳으로부터 퇴피시켜 위치하게 해둘 수 있다. 그러므로, 기판에 용액을 도포하고 있을 때라도, 퇴피시킨 위치에 있어서 저울의 보수를 병행하여 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 측정 정밀도와 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.
[발명을 실시하기 위한 바람직한 실시예]
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 내지 도 7은 본 발명의 제1 실시예를 나타내고, 도 1 및 도 2에 나타낸 본 발명을 적용한 도포 장치는 대략 직육면체형의 베이스(1)를 가진다. 이 베이스(1)의 하면의 소정 위치에는 각각 다리(2)가 설치되어 있고, 상기 베이스(1)를 수평으로 지지하고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 베이스(1)의 상면의 폭방향 양 단부에는, 길이 방향을 따라 각각 장착판(3)이 설치되어 있다. 이들 장착판(3)의 상면의 폭방향 일단부에는 길이 방향을 따라 각각 가이드 부재(4)가 설치되어 있다. 이들 가이드 부재(4)의 상면에는, 직사각형판형의 X테이블(5)이, 그 하면의 폭방향 양측에 평행하게 설치된 단면 대략 역U자형의 한쌍의 제1 받이부재(6)를 슬라이드 가능하게 걸어맞추어져 지지되어 있다. X테이블(5)의 상면에는, 이 X테이블(5)보다 작은 탑재 테이블(7)이 설치되어 있다. 즉, 탑재 테이블(7)은 상기 X테이블(5)을 통하여 상기 가이드 부재(4)에 따르는 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드 부재(4)에는 고정자(4a)가 설치되고, 상기 제1 받이부재(6)에는 가동자(6a)가 설치되어 있다. 즉, 상기 고정자(4a)와 가동자(6a)에 의해 제1 구동 수단으로 되는 제1 리니어 모터(8)를 형성하고 있다.
상기 탑재 테이블(7)에는, 예를 들면, 액티브 매트릭스 방식의 액정 표시 장치에 사용되는 유리제의 기판 W가 공급된다. 이 기판 W는, 상기 탑재 테이블(7)에 진공 흡착이나 정전(靜電) 흡착 등의 수단에 의해 흡착 유지된다. 따라서, 탑재 테이블(7)에 유지된 기판 W는 상기 X테이블(5)에 의해 X방향으로 구동되도록 되어 있다.
상기 베이스(1)의 길이 방향 중도부에는 상기 한쌍의 가이드 부재(4)를 넘도록 문형(門型)의 지지체(11)가 직립되어 있다. 이 지지체(11)의 양쪽 상부에는 각주(角柱)로 이루어지는 장착 부재(12)가 수평으로 가설되어 있다.
상기 장착 부재(12)에는 헤드 테이블(19)가 상기 X테이블(5)의 구동 방향인 X방향과 직교하는 Y방향(도 2에 화살표로 나타냄)을 따라 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 지지체(11)의 폭방향 일측에는 펄스 모터로 이루어지는 Y구동원(21)이 설치되어 있다. 이 Y구동원(21)은 상기 헤드 테이블(19)을 Y방향을 따라 구동하도록 되어 있다. 그리고, 헤드 테이블(19)의 Y방향의 구동은 펄스 모터에 대신하여, 리니어 모터로 행하도록 해도 된다.
상기 헤드 테이블(19)의 일측면에는 잉크젯 방식에 의해 기능성 박막인, 예를 들면 배향막을 형성하는 용액(폴리이미드 용액)을 도트형으로 토출하는 복수개의 도포 헤드(22)가 Y방향을 따라 배치되어 있다. 이 실시예에서는, 예를 들면, 7개의 도포 헤드(22)가 지그재그형으로 2열로 배치되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 각 도포 헤드(22)는 헤드 본체(28)를 구비하고 있다. 헤드 본체(28)는 통형으로 형성되고, 그 하면 개구는 가요판(29)에 의해 폐색되어 있다. 이 가요판(29)은 노즐 플레이트(31)에 의해 덮혀 있고, 이 노즐 플레이트(31)와 상기 가요판(29) 사이에는 복수개의 액실(液室)(32)이 형성되어 있다.
각 액실(32)은, 노즐 플레이트(31) 내에 형성된 지관로(枝管路)(31A)에 도시하지 않은 지관로를 통하여 각각 연통되어 있으므로, 상기 주관로(31A)로부터 상기 지관로를 통하여 용액이 각 액실(32)에 공급된다. 주관로(31A)는, 일단이 후술하는 액공급공(33)에 접속되고, 타단이 후술하는 회수공(回收孔)(37)에 접속된다.
상기 헤드 본체(28)의 길이 방향 일단부에는 상기 액실(32)에 연통하는 상기 액공급공(33)이 형성되어 있다. 이 액공급공(33)으로부터 상기 각 액실(32)에는 기능성 박막을 형성하는 상기 용액이 공급된다. 그에 따라 상기 액실(32) 내는 용액으로 채워지도록 되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐 플레이트(31)에는, 기판 W의 반송 방향과 직교하는 방향인, Y방향을 따라 복수개의 노즐(34)이 지그재그형으로 천공되어 있다. 상기 가요판(29)의 상면에는, 도 3에 나타낸 바와 같이 상기 각 노즐(34)에 각각 대향하여 복수개의 압전 소자(35)가 설치되어 있다.
각 압전 소자(35)는 상기 헤드 본체(28) 내에 설치된 구동부(36)에 의해 구동 전압이 공급된다. 그에 따라 압전 소자(35)는 신축되고, 가요판(29)을 부분적으로 변형시키면서, 그 압전 소자(35)에 대향 위치하는 노즐(34)로부터 용액이 도트형으로 토출되고, 반송되는 기판 W의 상면에 공급 도포된다. 따라서, 기판 W의 상면에는, 도트형의 용액이 행렬형으로 배열되어 이루어지는 도포 패턴이 형성된다. 그리고, 이 도포 패턴은, 도트형의 각 용액이 유동하여 젖고 퍼짐에 따라, 부착되어 합해서 1개의 막으로 된다.
그리고, 압전 소자(35)에 인가하는 전압의 강도를 바꾸어 압전 소자(35)의 작동량을 제어하면, 각 압전 소자(35)가 대향하는 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 액적의 크기를 바꿀 수가 있다. 즉, 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량을 제어 할 수 있다.
상기 헤드 본체(28)의 길이 방향 타단부에는 상기 액실(32)에 연통하는 상기 회수공(37)이 형성되어 있다. 상기 액공급공(33)으로부터 액실(32)에 공급된 용액은, 상기 회수공(37)으로부터 회수할 수 있도록 되어 있다. 즉, 각 헤드(22)는 상기 액실(32)에 공급된 용액을 노즐(34)로부터 토출시킬뿐아니고, 상기 액실(32)을 통해서 상기 회수공(37)으로부터 회수하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 각 도포 헤드(22)에 설치된 구동부(36)는 제어 장치(40)에 의해 구동이 제어된다. 즉, 상기 제어 장치(40)는, 예를 들면, 각 도포 헤드(22)를 헤드 테이블(19)에 장착한 상태에 있어서, 복수개의 도포 헤드(22)에 형성된 각 노즐(34)의 X, Y 좌표를 인식할 수 있도록 되어 있다. 그에 따라 기판 W에 대한 용액의 상기 Y방향에 따른 토출 위치를 제어할 수 있다.
상기 제어 장치(40)는 각 도포 헤드(22)의 구동부(36)만아니고, X테이블(5)을 X방향으로 구동하는 제1 리니어 모터(8), 도포 헤드(22)가 설치된 헤드 테이블(19)을 Y방향으로 구동하는 Y구동원(21)의 구동도 제어한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드 부재(4)의 일단부에는 전자식의 저울(41)이 설치되어 있다. 즉, 가이드 부재(4)의 일단부에는, 제1 가동 부재(42)가 그 하면의 폭방향 양 단부에 설치된 한쌍의 제2 받이부재(43)(1개만 도시)를 상기 각 가이드 부재(4)에 각각 슬라이드 가능하게 걸어맞추어져 지지되어 있다.
전자식의 저울(41)로서는, 피계량물의 중량을 전자력으로 균형잡아, 그때의 전류의 크기로부터 피계량물의 무게를 검출하는 전자식의 것이나, 중량에 따른 신 호를 출력하는 하중 변환기(로드셀)를 사용하여 피계량물의 무게를 검출하는 로드셀식의 것을 사용할 수 있다.
상기 제2 받이부재(43)에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드 부재(4)에 설치된 고정자(4a)와, 제2 리니어 모터(44)를 구성하는 가동자(43a)가 설치되어 있다. 상기 제2 리니어 모터(44)는 상기 제어 장치(40)에 의해 구동이 제어된다. 그에 따라 상기 제1 가동 부재(42)는 상기 가이드 부재(4)에 따르는 X방향으로 구동 가능하게 되어 있다.
상기 제1 가동 부재(42)의 상면에는 제2 가동 부재(45)가 상기 X방향과 직교하는 Y방향을 따라 이동 가능하게 설치되어 있다. 상기 제1 가동 부재(42)의 길이 방향 일단에는 펄스 모터로 이루어지는 Y구동원(46)이 설치되어 있다. 이 Y구동원(46)을 작동시킴으로써, 상기 제2 가동 부재(45)가 Y방향을 따라 구동되도록 되어 있다.
상기 제2 가동 부재(45)의 상면에는 상기 저울(41)이 설치되어 있다. 이로써, 저울(41)은 X방향과 Y방향으로 구동되도록 되어 있다. 즉, 상기 제2 리니어 모터(44)와 상기 Y구동원(46)에 의해, 상기 저울(41)을 X, Y방향으로 구동하는 제2 구동 수단을 구성하고 있다.
상기 저울(41)의 수압부(受壓部)(47)에는 상면이 개구된 컵체(48)가 착탈 가능하게 탑재되어 있다.
이 컵체(48)의 상면 개구는, 적어도 1개의 도포 헤드(22)의 평면적보다 크게 형성되어 있다.
그리고, 이 실시예에서는, 컵체(48)는 그 상면 개구가 X방향에서는 도포 헤드(22)의 2개분의 폭치수에 여유값을 더한 길이 치수를 가지고, Y방향에서는 도포 헤드(22)의 1개분의 길이 방향의 치수에 여유값을 더한 길이 치수를 가지는 크기로 형성된다. 또, 컵체(48)는, 후술하는 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량을 설정할 때 7개의 도포 헤드(22)의 각각으로부터 공급되는 용액을 저류하기에 충분한 용적을 가진다.
상기 컵체(48)는 후술하는 바와 같이 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액을 받는다. 컵체(48)가 용액을 받으면, 저울(41)은 수압부(47)에 의해 용액의 중량을 계측하고, 그 계측 신호를 상기 제어 장치(40)에 출력한다.
제어 장치(40)는, 컵체(48)가 용액을 받기 전과 용액을 받은 후에서의 저울(41)의 계측 신호를 비교하여 양자의 차이로부터 컵체(48)에 공급된 용액의 중량을 구한다. 그리고, 구한 용액의 중량과 미리 설정된 설정값과 비교하여, 그 비교에 따라 도포 헤드(22)의 구동부(36)에 인가하는 전압을 설정한다. 그에 따라 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액의 중량이 소정값으로 되도록 제어된다.
상기 저울(41)의 측방에는 상기 제2 가동 부재(45)에 장착된 L자형의 지지 부재(49)가 설치되어 있다. 이 지지 부재(49)의 상단에는 로드레스 실린더(51)가 설치되어 있다. 이 로드레스 실린더(51)의 슬라이더(52)에는 L자형의 연결 부재(53)의 한 변이 장착되어 있다. 이 연결 부재(53)의 타변에는 셔터(54)가 장착되어 있다. 이 셔터(54)는, 상기 연결 부재(53)가 상기 로드레스 실린더(51)에 의해 도 6에 실선으로 나타낸 위치와 쇄선으로 나타낸 위치 사이에서 구동됨으로써, 상기 컵체(48)의 상면 개구를 개폐하도록 되어 있다. 그리고, 셔터(54)는, 컵체(48)의 상면 개구 사이에 미소한 간극을 가지고 설치되어 있다.
상기 제1 가동 부재(42)가 X방향으로 구동됨으로써, 상기 저울(41)을 상기 지지체(11)에 설치된 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치시킬 수 있다. 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치한 저울(41)은, 상기 제2 가동 부재(45)가 Y방향으로 구동됨으로써, 복수개의 도포 헤드(22) 중 1개의 도포 헤드(22)의 아래쪽에 대향하도록 위치결정할 수 있다.
그리고, 상기 X테이블(5)과 상기 저울(41)은, 함께 가동자(6a, 43a)에 통전함으로써 X방향으로 구동된다. 그러나, X테이블(5)을 X방향으로 구동하는 제1 받이부재(6)와, 저울(41)을 X방향으로 구동하는 제2 받이부재(43)는 상기 가이드 부재(4)의 상이한 위치에 설치되어 있다. 따라서, 상기 X테이블(5)과 상기 저울(41)은 제1, 제2 받이부재(6, 43)의 가동자(6a, 43a)에 대한 통전을 개별적으로 제어함으로써 별개로 구동을 제어할 수 있다.
상기 제어 장치(40)에는 조작 패널(56)(도 5 참조)이 접속되어 있다. 이 조작 패널(56)에는 상기 기판 W에 용액을 도포하는 도포 모드, 상기 저울(41)에 의한 각 도포 헤드(36)로부터의 용액의 토출량을 조정하는 조정 모드 등을 설정하기 위한 조작 키가 설치되어 있다.
먼저 7개의 도포 헤드(36)의 위치를 상기 제어 장치(40)에 티칭하여 둠으로써, 상기 조작 패널(56)의 키 조작에 의해 상기 저울(41)을 각 도포 헤드(22)의 아래쪽으로 차례로 대향하도록 위치결정하는 것이 가능하도록 되어 있다.
상기 저울(41)의 X, Y방향의 티칭 위치는 위치 검출기(57)가 검출하는 검출 신호가 제어 장치(40)에 출력됨으로써 행해진다. 위치 검출기(57)로서는, 자세한 것은 도시하지 않지만, 예를 들면, X방향은 제2 리니어 모터(44)에 부수하여 설치된 위치 검출기(57)(도 5 참조), Y방향은 Y구동원(46)에 부수하여 설치된 위치 검출기(57)(도 5 참조)로부터의 각각의 신호를 제어 장치(40)에 출력함으로써 검출 가능하다.
예를 들면, 작업자는 조작 패널(56)의 키 조작에 의해 제2 리니어 모터(44)로 Y구동원(46)을 작동시켜, 저울(41)의 컵체(48)를 도 2에 있어서 우측단에 위치한 1번째의 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치시킨다. 제어 장치(40)는, 이 때의 저울(41)의 위치를 위치 검출기(57)로부터 출력되는 신호에 의해 검출한다. 그리고, 이 위치를 1번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치로서 기억한다.
2번째로부터 7번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치는, 1번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치와 기존의 각 도포 헤드(22)의 배치 간격으로부터 제어 장치(40)가 산출한다.
그리고, 컵체(48)는, 전술한 바와 같이, 그 상면 개구가 X방향에서는 도포 헤드(22)의 2개분의 폭치수에 여유값을 더한 길이 치수를 가지는 크기로 형성되어 있으므로, 1번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치를 티칭할 때 는, 컵체(48)의 중심이 지그재그형으로 2열로 배치된 도포 헤드(22)의 중간에 위치하도록 하면 된다. 이와 같이 하면, Y구동원(46)을 작동시키는 것만으로, 컵 체(48)를 7개의 도포 헤드(22) 각각의 아래쪽에 차례로 위치결정할 수 있다.
또, 작업자가 1번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치를 티칭하고, 제어 장치(40)가 2~7번째의 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치를 산출하는 것으로 설명하였으나, 모든 도포 헤드(2)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치를 작업자가 티칭하도록 해도 된다. 또, 제어 장치(40)가 도포 헤드(22)의 배치 위치 정보로부터 모든 도포 헤드(22)에 대한 저울(41)의 위치 결정 위치를 산출하도록 해도 된다.
상기 구성의 도포 장치에 있어서, 기판 W에 대하여 용액의 도포를 개시하기 전, 또는 도포 장치를 소정 시간 가동시켰다면, 각 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액의 공급량을 측정하고, 그 공급량이 일정하게 되도록 설정한다.
도포 헤드(22)로부터 토출되는 용액의 공급량을 설정하는 경우, 상기 조작 패널(56)의 키 조작에 의해 조정 모드를 선택한다. 이 조정 모드가 선택되면, 탑재 테이블(7)은 도 1에 나타낸 바와 같이 X방향으로 구동되고, 도 1에 있어서 베이스(1)의 좌측단 측, 즉 지지체(11)에 설치된 도포 헤드(22)의 하방으로부터 퇴피시킨다. 그 다음에, 저울(41)이 티칭 위치에 따라 지지체(11)의 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치한다. 저울(41)은 최초에 복수개의 도포 헤드(22) 중 1번째의 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치 결정된다.
저울(41)이 X방향으로 위치결정되었으면, 셔터(54)가 구동되어 컵체(48)의 상면이 개방된 후, 1번째의 도포 헤드(22)의 모든 노즐(34)로부터 제어 장치(40)에 의해 설정된 설정 조건인, 전압, 전압의 인가 시간 및 토출 회수에 따라 용액이 컵 체(48)에 공급된다. 용액을 공급했으면, 셔터(54)에 의해 컵체(48)의 상면이 폐쇄된다. 그에 따라 컵체(48)에 공급된 용액의 용매가 흡습하여 중량에 변화가 생기는 것을 방지할 수 있으므로, 저울(41)에 의한 용액의 중량 측정이 정확하게 행해진다.
또, 셔터(54)에 의해 컵체(48)의 상면이 폐쇄되므로, 도포 장치의 윗쪽으로부터 크린 에어가 공급되도록 한 다운 플로의 분위기 하이더라도, 컵체(48) 내에 모인 용액의 액면이 흐트러지는 것이 방지된다.
그러므로, 액면의 흐트러짐에 기인하는 저울(41)의 계측 신호의 변동이 방지되므로, 고정밀도의 저울(41)을 사용한 경우라도, 용액의 중량 측정을 정확하게 행할 수 있다. 따라서, 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 액적의 크기가 미소한 기능성 박막의 도포 장치에 사용하기에 매우 적합하다.
그 다음에, 컵체(48)에 용액이 공급되면, 저울(41)은 그 용액의 중량의 계측 신호를 제어 장치(40)에 입력한다. 이 실시예에 있어서 보다 상세하게는, 제어 장치(40)는 셔터(54)가 열리기 전의 저울(41)의 계측 신호와 컵체(48)에 용액이 공급되어 셔터(54)가 닫힌 후의 계측 신호를 비교하고, 그 차이로부터 컵체(48)에 공급된 용액의 중량을 구한다.
그리고, 구한 용액의 중량과 미리 설정된 설정값을 비교하고, 측정된 용액의 중량이 설정값의 허용 범위 내에 있는지 여부, 즉 목표하는 공급량을 얻을 수 있는지 여부의 양부를 판별한다. 측정값이 허용값 내이면, 1번째의 도포 헤드(22)의 공급량은 양호하다는 판정을 한다.
허용값으로부터 벗어나 있었다면, 불량으로 판정되고, 측정값과 설정값의 차이가 구해진다. 그리고, 측정값과 설정값의 차이가 없어지도록, 토출 조건이 조정된다. 그 조정은, 각 노즐(34)에 대응하여 설치된 압전 소자(35)에 인가하는 전압을 증감함으로써 행해진다. 예를 들면, 측정값과 설정값의 차이가 D, 토출 회수가 N, 도포 헤드(22)의 노즐수가 n인 경우, 토출 회수 1회당의, 또한 1개당의 노즐(34)의 용액의 과부족 ΔW는, ΔW = D/(Nㆍn)에 의해 구할 수 있다. 그리고, ΔW가 0 또는 허용 범위 내가 되도록 압전 소자(35)에 인가하는 전압을 설정한다.
이 경우의 압전 소자(35)에 인가하는 전압은, 전압과 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 공급량과의 관계를 미리 구하여 둠으로써, 설정할 수 있다.
이같이 하여 1번째의 도포 헤드(22)의 조정이 종료하면, 이 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량의 측정을 재차 행하고, 목표하는 공급량을 얻을 수 있는지 여부를 확인한다. 그리고, 목표하는 공급량이 얻어지고 있으면 양호로 하고, 얻어지지 않았으면 전술한 조정을 반복한다.
그리고, 조정의 반복수에 상한을 설정해 두고, 상한 회수까지 조정해도 목표하는 공급량이 얻어지지 않으면, 도포 헤드(22)의 번호 등, 그 도포 헤드(22)를 특정할 수 있는 정보를 조작 패널(56)에 표시하는 등하여 조정할 수 없는 것을 작업자에게 알리도록 한다. 조정 불가능한 경우에는, 예를 들면, 도포 헤드(22)의 노즐(34)이 막혀져 있는 경우 등이 고려된다. 따라서, 조정 불가능한 경우, 작업자는 그 도포 헤드(22)에 비정상이 있는 것을 확인할 수 있으므로, 그 확인에 따라 노즐(34)의 청소나 도포 헤드(22)의 교환 등을 행하면 된다.
이같이 하여, 1번째의 도포 헤드(22)의 조정이 종료하면, 마찬가지로 하여 우측단으로부터 2~7번째의 도포 헤드(22)에 대하여 용액의 공급량의 조정을 차례로 행한다. 그리고, 모든 도포 헤드(22)의 조정이 종료하면, 그것이 조작 패널(56)에 표시되게 된다. 또, 저울(41)은 도 1에 나타낸 X방향 우측단의 대기 위치로 이동한다.
그리고, 제어 장치(40)는, 컵체(48)에 용액이 공급되기 전과 공급된 후에서의 계측 신호의 차이로부터 금번 컵체(48)에 공급된 용액의 중량을 구하므로, 컵체(48)에 공급된 용액을 1회의 계측마다 제거하지 않아도 되고, 도포 헤드(22)로부터의 용액 공급량의 설정을 효율적으로 행할 수 있다.
또, 이 때 컵체(48)가 가득차기까지 연속하여 행할 수 있는 용액의 공급량의 계측 회수의 상한값을 제어 장치(40)의 기억부(도시하지 않음)에 설정해 두고, 1개의 도포 헤드(22)에 대한 용액의 공급량의 설정이 종료할 때마다 제어 장치(40)에 의해 계측 회수를 카운트하여 카운트값이 상한값에 도달한 시점에서, 컵체(48) 내의 용액의 제거를 촉구하는 경보를 조작 패널(56)에 표시하도록 해도 된다.
또, 컵체(48) 내에 흘러넘치는 일 없이 저류 가능한 용액의 중량의 상한값을 미리 측정하여 제어 장치(40)의 기억부(도시하지 않음) 내에 설정해 두고, 제어 장치(40)에 의해 컵체(48) 내의 용액의 실제의 중량과 중량의 상한값을 비교하고, 실제의 중량이 중량의 상한값에 이르렀을 때는 용액의 공급량의 설정을 중지하는 동시에 컵체(48) 내의 제거를 촉구하는 경보를 조작 패널(56)에 표시하도록 해도 된다.
또, 이 경우, 제어 장치(40)가 컵체(48) 내의 용액의 실제의 중량과 중량의 상한값의 비교를 전술한 조정 모드가 선택된 것을 조건에 행하도록 해도 된다. 이 때의 제어 장치(40)는, 실제의 중량과 중량의 상한값 사이에, 7개의 도포 헤드(22)에 대하여 용액의 공급량의 설정을 행하는데 있어서 컵체(48) 내에 공급이 예상되는 총량의 용액(이하, 「설정에 필요한 용액량」이라고 함)을 허용할 수 있는 만큼의 차이가 있는지 여부를 판정한다.
그리고, 상기 차이가 있는 것으로 판정한 경우에는, 용액의 공급량의 설정을 행하고, 상기 차이가 없는 것으로 판정한 경우에는 용액의 공급량의 설정을 행하지 않고, 조작 패널(56)에 컵체(48) 내의 용액의 제거를 촉구하는 경보를 표시한다.
또, 제어 장치(40)는, 전술한 판정을 행했을 때, 컵체(48) 내의 용액의 실제의 중량과 중량의 상한값과의 차이가, 설정에 필요한 용액량의 2배에 못 미쳤을 때는, 이번 용액의 공급량의 설정이 완료한 시점에서 조작 패널(56)에 컵체(48) 내의 용액의 제거를 촉구하는 경보를 표시한다.
이와 같이 함으로써, 용액의 공급량의 설정 후에 도포 모드의 선택에 의해 실행되는 기판 W에 대한 용액의 도포 중에, 대기 위치에 위치하는 저울(41)의 컵체(48) 내의 용액을 제거할 수 있으므로, 조정 모드에 있어서 컵체(48) 내의 용액을 제거하기 위해 용액의 공급량의 설정이 중단되지 않고, 용액의 공급량의 설정을 효율적으로 행할 수 있다.
그리고, 제어 장치(40)는, 컵체(48) 내의 용액의 실제의 중량을, 컵체(48) 내가 비었을 때의 저울(41)의 계측 신호와 저울(41)의 현시점의 계측 신호와의 차 이로부터 구할 수 있다
이와 같이, 상기 구성의 도포 장치에 의하면, 복수개의 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액의 중량을 차례로 자동적으로 측정하여 보정할 수 있으므로, 기판 W가 대형화되어 도포 헤드(22)의 수가 많아진 경우라도, 각 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량의 설정을 능률적으로 행할 수 있다.
또한, 저울(41)이 X, Y방향으로 구동되어 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치결정됨으로써, 도포 헤드(22)로부터 저울(41)에 탑재된 컵체(48)에 공급된 용액의 중량을 즉시 계측할 수 있다. 또한, 용액이 공급된 컵체(48)는 셔터(54)에 의해 폐쇄된다. 그러므로, 용액에 포함되는 용매가 흡습하여 중량이 변화하기 전에, 도포 헤드(22)로부터 공급된 용액의 중량 측정을 행할 수 있으므로, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 저울(41)이 X, Y방향으로 구동됨으로써, 도포 헤드(22)가 설치된 위치와 대략 같은 위치에서 각 도포 헤드(22)로부터 공급된 용액의 중량을 측정할 수 있다. 즉, 용액이 실제로 사용되는 환경과 같은 환경 하에서 용액의 중량 측정과 공급량의 보정을 행할 수 있으므로, 그에 의해서도 각 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량을 양호한 정밀도로 설정하는 것이 가능해진다.
또, 제어 장치(40)가 저울(41)을 티칭한 위치에 차례로 위치결정하므로 저울(41)을 각 도포 헤드(22)에 대응하는 위치에 정확하게 위치결정할 수 있으므로, 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액을 확실하게 컵체(48)에 받을 수 있어, 공급된 용액의 중량을 정확하게 측정할 수 있다.
또, 저울(41)을 이동시켜 각 도포 헤드(22)에 대응하는 위치에 위치결정하도록 했으므로, 단일의 저울(41)로 복수개의 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량의 설정을 행할 수 있어, 장치 구성을 간소화시킬 수 있다.
저울(41)을, 제2 리니어 모터(44)에 의해, 제1 리니어 모터(8)에 의해 이동하는 탑재 테이블(7)과는 독립적으로 X방향으로 이동 가능하도록 하고, 기판 W에 대하여 용액을 도포할 때, 도 1에 나타낸 X방향 우측단의 대기 위치에 대기시키도록 했다.
그러므로, 기판 W에 대하여 용액을 도포하고 있을 때라도, 저울(41)의 컵체(48) 내에 모인 용액을 제거하는 등의 저울(41)의 보수 점검을 병행하여 행할 수 있다. 따라서, 컵체(48) 내의 용액을 제거하기 위해 기판 W에 대하여 용액을 도포하는 작업이 중단되는 것을 방지할 수 있어 기판 W에 대하여 용액을 도포하는 작업을 효율적으로 행할 수 있다.
상기 제1 실시예의 도포 장치는 도포 헤드(22)에 대하여 기판 W를 1회 통과시킴으로써 도포를 행하는 것이라도, 복수회 통과시킴으로써 도포를 행하는 것이라도 된다.
또, 복수회 통과시키는데 있어서, 1회의 통과마다 Y구동원(22)에 의해 헤드 테이블(19)을 이동시켜 도포 헤드(22)를, 예를 들면, Y축 방향(노즐(34)의 배열 방향)으로 노즐(34)의 배열 간격의 1/2씩 보내는 등하여 피치 이송을 하는 경우, 각 도포 헤드(22)로부터 용액의 공급량의 설정을 피치 이송한 위치마다 각각 행하도록 하면 된다.
이와 같이 하면, 용액이 실제로 사용되는 환경(온도나 습도, 또는 용액 헤드(22)의 용액 공급관의 굽힘 상태 등)에 맞는 환경 하에서 용액의 공급량이 설정되므로, 실제의 용액의 도포를 행할 때, 설정한 용액의 공급량을 보다 정확하게 재현하는 것이 가능해진다. 따라서, 기판 W에 대한 용액의 도포 정밀도가 향상되고, 형성되는 기능성 박막의 막두께의 균일화를 보다 한층 향상시킬 수 있다.
상기 제1 실시예에서는, 소정 위치에 위치결정된 도포 헤드에 대하여 기판을 X방향으로 구동하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 도포 헤드를 X방향으로 구동하여 기판에 용액을 도포하는 구성이라도 된다.
도포 헤드로부터 토출되는 용액의 중량 측정은, 도포 헤드마다가 아니고, 도포 헤드의 노즐마다 행하도록 해도 된다. 따라서, 본 발명은 복수개의 도포 헤드를 가지는 도포 장치에 한정되지 않고, 단일의 도포 헤드에 복수개의 노즐을 구비한 구성의 도포 장치에 적용할 수도 있다. 또, 이 경우, 용액의 공급량의 측정을 복수개의 노즐을 1개의 그룹으로 한 그룹마다 행하도록 해도 된다.
또, 이 때의 저울의 노즐에 대한 위치 결정 위치는, 제어 장치에 의해 인식되는 노즐의 X, Y 좌표에 따라 구할 수 있다. 또, 작업자가 조작 패널의 조작에 의해 저울을 이동시키고, 각 노즐이나 노즐의 각 그룹에 대한 위치결정 위치를 티칭하도록 해도 된다.
도포 헤드로부터의 용액의 공급량이 설정값과 다른 경우, 공급량의 조정을 반복하여 행하도록 했지만, 경보를 내도록 해도 된다. 그에 따라 작업자는 비정상으로 된 도포 헤드를 점검하도록 한다. 즉, 비정상으로 된 도포 헤드의 모든 노즐 로부터 용액이 토출되고 있는지 여부를 확인한다. 그리고, 비정상을 제거한 다음에, 그 도포 헤드로부터의 용액의 공급량을 재차 측정하도록 해도 된다.
또, 저울(41)이 1개의 예인 경우로 설명하였으나, 복수개 설치하도록 해도 된다. 저울(41)을 복수개 설치함으로써, 1개의 저울(41)이 맡는 도포 헤드(22)의 수를 적게 할 수 있으므로, 도포 헤드(22)로부터의 용액의 공급량의 설정을 행하는 시간을 단축할 수 있는 등, 작업을 보다 효율적으로 행할 수 있다.
또, 도포 헤드(22)가 잉크젯 방식의 도포 헤드로서 설명하였으나, 다른 방식의 도포 헤드, 예를 들면, 플런저 방식이나 에어 가압 방식의 도포 헤드에도 적용할 수 있다.
또, 탑재 테이블(7)이 이동하여 기판을 반송하는 것으로 하였으나, 예를 들면, 탑재 테이블(7)이 롤러 반송 기구 등의 반송 수단을 구비하고, 탑재 테이블(7) 상에서 기판이 반송되는 것으로서 해도 된다.
또, 도포 헤드(22)로부터 공급되는 용액의 중량을 측정하는데 있어서, 저울(41)을 X, Y방향으로 이동시키는 구성으로 하였으나, 저울(41)은 X방향만으로 하고, 도포 헤드(22)는 Y방향으로 각각 독립적으로 이동 가능하도록 구성해도 된다.
다음에, 본 발명의 제2 실시예를 도 8 내지 도 11을 참조하면서 설명한다.
도 8에 나타낸 용액 도포 장치는 베이스(101)를 구비하고 있다. 이 베이스(101) 상에는 소정 간격으로 평행하게 이격된 한쌍의 가이드 레일(102)이 소정 방향을 따라 설치되어 있다. 이 가이드 레일(102)에는 탑재 테이블(103)이 주행 가능하게 설치되고, 예를 들면, 리니어 모터 등의 도시하지 않은 구동원에 의해 구 동되도록 되어 있다. 탑재 테이블(103)의 구동 방향을 도 8에 화살표로 나타낸 X방향으로 한다. 탑재 테이블(103)의 상면에는 예를 들면, 액정 표시 장치에 사용되는 유리제의 기판 W가 공급되고, 정전(靜電) 척이나 진공 흡착 등의 수단에 의해 흡착 지지되어 지지된다.
상기 베이스(101)의 X방향의 중도부에는, X방향과 직교하는 Y방향의 양 단부에 지주(104)가 직립되어 있다. 한쌍의 지주(104)의 일측면과 타측 면에는 X방향에 대하여 소정 간격으로 대향한 2개의 장착판(105)이 Y방향을 따라 가설되어 있다. 각 장착판(105)의 내면에는 복수개, 이 실시예에서는 각각 4개의 도포 헤드(22)가 유지되어 있다. 즉, 2개의 장착판(105)의 내면에는 합계 8개의 도포 헤드(22)가 지그재그형으로 설치되어 있다.
각 도포 헤드(22)는 제1 실시예의 도 3 및 도 4에 나타낸 구성과 동일하므로, 동일 부분에 동일 부호를 부여하여 설명을 생략한다.
상기 가이드 레일(102)에는 상기 탑재 테이블(103)과 마찬가지로, 도시하지 않은 리니어 모터 등의 구동원에 의해 X방향으로, 또한 상기 탑재 테이블(103)과는 별개로 구동 가능한 계측용 테이블(125)이 설치되어 있다. 이 계측용 테이블(125)에는 제1 가동체(126)와 제2 가동체(127)가 계측용 테이블(125)의 길이 방향인, Y방향을 따라 이동 가능하게 설치되어 있다. 제1, 제2 가동체(126, 127)는 예를 들면, 리니어 모터 등의 도시하지 않은 구동원에 의해 각각 별개로 Y방향으로 구동할 수 있도록 되어 있다.
제1, 제2 가동체(126, 127)는 상측 탑재부(126a, 127a)와, 하측 탑재 부(126b, 127b)가 상하 방향으로 소정 간격으로 설치되어 있다. 상측 탑재부(126a, 127a)에는 직사각형의 차폐(遮蔽) 부재(128)가 설치되고, 하측 탑재부(126b, 127b)에는 전자식의 저울(이하 「전자 천칭」이라고 함)(129)이 설치되어 있다.
상기 차폐 부재(128)는 도 10 (A), (B)에 나타낸 바와 같이 상면에 개구된 직사각형 요형(凹型)의 액저류부(131)가 형성되어 있다. 이 액저류부(131)의 X방향에 따른 일단부의 Y방향 중도부에는 원추형의 철부(凸部)(133)가 형성되고, 이 철부(133)에는 통과공(132)이 두께 방향으로 관통하여 형성되어 있다. 이 통과공(132)은 도포 헤드(22)의 1개의 노즐(34)로부터 토출되는 액적 상태의 용액만을 통과할 수 있는 크기로 형성되어 있다.
예를 들면, 도포 헤드(22)에 직경이 0.1mm의 노즐(34)이 1mm간격으로 형성되어 있는 것으로 하면, 상기 통과공(132)은 예를 들면, 0.2 ~ 0.4mm의 직경으로 형성되어 있다. 그에 따라 도 3 및 도 4에 나타낸 도포 헤드(22)의 복수개의 노즐(34)로부터 용액을 동시에 토출시켜도, 통과공(132)에 대향하는 노즐(34)로부터 토출된 용액만이 통과공(132)을 통과하고, 다른 노즐(34)로부터 토출된 용액은 상기 액저류부(131)에 모이도록 되어 있다. 액저류부(131)에 모인 용액은, 통과공(132)이 철부(133)에 형성되어 있으므로, 통과공(132)에 흘러드는 것이 저지되도록 되어 있다.
상기 액저류부(131)의 Y방향에 따른 치수는 상기 도포 헤드(22)의 노즐(34)의 열에 있어서의 Y방향에 따른 길이 치수의 약 2배 또는 그 이상의 크기로 설정되 어 있다. 그에 따라 도포 헤드(22)의 Y방향의 말단에 위치하는 노즐(34)을 통과공(132)에 대향시킨 상태에서 그 도포 헤드(22)의 모든 노즐(34)로부터 용액 L를 토출시켜도, 통과공(132)에 대향한 노즐(34) 이외의 노즐(34)로부터 토출된 용액은 상기 액저류부(131)에 토출시키는 것이 가능하다.
상기 통과공(132)을 통과한 용액은 상기 전자 천칭(129)의 받이부(129a)(도 9에 나타냄)에 적하(滴下)된다. 그에 따라 복수개의 노즐(34)로부터 동시에 용액을 토출시켜도, 1개의 노즐(34)로부터 토출된 용액만의 중량이 상기 전자 천칭(129)에 의해 계측하는 것이 가능하게 되어 있다. 여기서, 받이부(129a)에는 제1 실시예의 컵체(48)에 상당하는, 트레이형의 받이접시가 이용되고 있다.
상기 차폐 부재(128)의 상면에는, 위치 결정 센서로서 Y방향에 따른 한 변에 한쌍의 제1 센서(134)가 설치되고, X방향에 따른 한 변에는 제2 센서(135)가 설치되어 있다. 제1, 제2 센서(134, 135)는 예를 들면 투광부와 수광부를 가지는 반사형의 광 센서로서, 상기 차폐 부재(128)가 도포 헤드(22)의 아래쪽으로 구동되었을 때, 이 도포 헤드(22)의 Y방향에 따른 일측과 X방향에 따른 일측을 검출한다. 그에 따라 제1, 제2 가동체(126, 127)를 도포 헤드(22)에 대하여 X, Y방향으로 위치 결정할 수 있도록 되어 있다.
상기 액저류부(131)의 상기 통과공(132)으로부터 소정 치수 멀어지진 위치에는 액배출공(136)이 형성되어 있다. 이 액배출공(136)에는 도 10 (B)에 나타낸 바와 같이 액배출관(137)이 접속되어 있다. 그에 따라 상기 통과공(132)과 대향하지 않는 노즐(34)로부터 상기 액저류부(131)에 토출된 용액 L는 상기 액배출관(137)을 통해서 배출되도록 되어 있다.
또한, 상기 액저류부(131)의 Y방향의 일단부에는 고무 등의 탄성재에 의해 블레이드형으로 형성되고 상기 액저류부(131)의 상면 개구로부터 위쪽으로 돌출하는 높이로 청소 부재(139)가 X방향을 따라 설치되어 있다. 제1, 제2 가동체(126, 127)가 도포 헤드(22)의 아래쪽으로 Y방향을 따라 구동되면, 상기 청소 부재(139)에 의해 노즐(34)의 개구면인 도포 헤드(22)의 하면이 문질러진다. 그에 따라 헤드(22)의 하면에 부착된 용액 L가 청소되게 된다. 도포 헤드(22)로부터 제거된 용액 L는, 청소 부재(13)를 통해 액저류부(131)에 모이고, 액배출관(137)을 통하여 배출된다.
도 11은 용액의 공급 장치의 제어 회로도이며, 동 도면 중 (171)은 제어 장치이다. 이 제어 장치(171)는 헤드 컨트롤러(172), 노즐 컨트롤러(173)를 제어하는 동시에, 상기 제1, 제2 가동체(126, 127)에 설치된 제1, 제2 센서(134, 135)로부터의 신호에 따라 제1, 제2 가동체(126, 127)를 X, Y방향으로 위치 결정 구동하고, 차폐 부재(128)에 설치된 통과공(132)을 헤드(22)에 설치된 복수개의 노즐(34)에 차례로 대향 위치시킨다.
상기 컨트롤러(172, 173)는 상기 탑재 테이블(103)의 X, Y 좌표를 검출하는 도시하지 않은 인코더로부터의 검출 신호에 따라 구동 신호를 마스터 유닛(174)에 출력한다. 이 마스터 유닛(174)은, 제1 CPU(175), 제1 트랜시버(176), 24V의 직류 전압을 공급하는 전원(177)을 가지고, 복수개의 도포 헤드(22)의 노즐(34)로부터의 용액 L의 분사를 제어한다.
각 도포 헤드(22)에는 전술한 구동 회로부(36)가 설치되어 있다. 이 구동 회로부(36)에는 제2 CPU(182)가 설치되어 있다. 이 제2 CPU(182)에는 상기 제1 CP U(175)로부터의 동기 펄스가 인식되는 동시에, 상기 제1 트랜시버(176)와 통신하는 제2 트랜시버(183)를 통하여 상기 노즐 컨트롤러(173)로부터 구동 신호가 입력된다.
상기 제1 CPU(175)는, 상기 테이블(103)의 X방향의 이동량에 따른 도시하지 않은 X 인코더로부터의 복수개의 펄스 신호에 대하여, 상기 제어 장치(171) 및 상기 도포 헤드 컨트롤러(172)를 통하여 1개의 동기 펄스를 상기 제2 CPU(182)에 출력하도록 되어 있다.
제2 CPU(182)에는 도포 데이터가 저장된 메모리(184)가 접속되어 있다. 이 도포 데이터는, 상기 제1 CPU(175)로부터의 동기 펄스 신호가 구동 회로부(36)의 제2 CPU(182)에 입력됨으로써, 이 제2 CPU(182)에 판독된다. 제2 CPU(182)에 판독된 도포 데이터는 시리얼/패럴렐 데이터 변환부(185)에 출력된다.
시리얼/패럴렐 데이터 변환부(185)에는 제1 변압부(186)가 접속되어 있다. 이 제1 변압부(186)는, 상기 마스터 유닛(174)의 전원(177)으로부터의 24V의 전압을, 상기 제2 CPU(182)로부터의 전압 지령에 따라 0 ~ 90V의 전압으로 변압하고, 상기 시리얼/패럴렐 데이터 변환부(185)에 출력한다. 이 시리얼/패럴렐 데이터 변환부(185)에는 상기 각 도포 헤드(22)에 설치된 복수개의 압전 소자(35)가 접속되어 있다.
제1 CPU(175)로부터 제2 CPU(182)에 동기 신호가 입력되면, 상기 시리얼/패 럴렐 데이터 변환부(185)에는 상기 제2 CPU(182)로부터 발진 신호가 출력된다. 그에 따라 메모리(184)로부터의 도포 데이터에 따른 소정의 압전 소자(35)에 제1 변압부(186)로부터의 전압이 인가되므로, 그 압전 소자(35)에 대응하는 노즐(34)로부터 용액이 분사되게 된다.
다음에, 상기 구성의 도포 장치의 각 도포 헤드(22)에 설치된 노즐(34)로부터의 용액의 토출량을 측정하여 설정하는 스텝을 설명한다. 기판 W에 용액을 도포하는 경우, 기판 W를 상면에 탑재한 탑재 테이블(103)은 도 8에 실선으로 나타낸 위치로부터 쇄선으로 나타낸 위치까지 X방향으로 이동된다. 그리고, 기판 W가 도포 헤드(22)의 하방을 통과할 때, 각 도포 헤드(22)의 노즐(34)로부터 용액이 토출됨으로써 행해진다.
상기 노즐(34)로부터의 용액의 토출량을 측정하여 설정하는 경우, 먼저, 탑재 테이블(103)을, 도 8에 실선으로 나타낸 바와 같이 도포 헤드(22)의 하방으로부터 퇴피시켰다면, 측정용 테이블(125)을 X방향으로 구동하여 제1, 제2 가동체(126, 127)를 각각 별개의 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치시킨다.
제어 장치(171)는, 제1, 제2 가동체(126, 127)를 각각 도포 헤드(22)의 아래쪽에 위치맞춤했으면, 먼저, 측정용 테이블(125)을 구동시켜 각 가동체(126, 127), 즉 차폐 부재(128)에 설치된 제1 센서(134)를 X방향으로 미리 설정된 범위로 이동시킨다. 제어 장치(171)는, 이 이동 중에서의 제1 센서(134)의 출력 신호와 측정용 Y 테이블(125)에 부수하여 설치된 도시하지 않은 위치 검출기의 출력 신호로부터, 도포 헤드(22)의 Y방향에 따른 도시한 우측의 위치를 검출한다.
도포 헤드(22)의 Y방향의 단부 위치를 구했으면, 이번에는, 각 가동체(126, 127)를 각각 구동시켜 차폐 부재(128)에 설치된 제2 센서(135)를 Y방향으로 미리 설정된 범위로 이동시킨다. 제어 장치(171)는, 이 이동 중에서의 제2 센서(135)의 출력 신호와 각 가동체(126, 127)에 부수하여 설치된 도시하지 않은 위치 검출기의 출력 신호로부터 도포 헤드(22)의 X방향에 따른 도시한 위쪽의 단부의 위치를 검출한다.
그리고, 제어 장치(171)는, 각 도포 헤드(22)에 대하여 구한 X방향의 단부 위치와 Y방향의 단부 위치로부터, 도포 헤드(22)와 각 가동체(126, 127)와의 위치 관계를 구한다.
도포 헤드(22) 상에서의 각 노즐(34)의 위치 정보와 차폐 부재(128) 상에서의 통과공(132)의 위치 정보는 설계 데이터에 의해 기존이므로, 제어 장치(171)는, 미리 설정된 이 기존의 위치 정보와, 전술한 바와 같이 구한 도포 헤드(22)와 각 가동체(126, 127)와의 위치 관계로부터, 각 노즐(34)과 통과공(132)의 상대 위치를 구한다.
이같이 하여 구한 각 노즐(34)과 통과공(132)의 상대 위치에 따라서, 제어 장치(171)는, 제1, 제2 가동체(126, 127)를 각각의 차폐 부재(128)에 설치된 통과공(132)이 각 헤드(22)의 37개의 노즐(34)에 대하여 차례로 대향하도록 위치결정한다.
그리고, 차폐 부재(128)에는 Y방향을 따라 2개의 제1 센서(134)가 설치되어 있다. 그러므로, 2개의 제1 센서(134)에 의해 도포 헤드(22)의 X방향에 대한 경사 각도를 검출할 수 있으므로, 그에 의해 도포 헤드(22)의 위치 인식을 보다 양호한 정밀도로 행하는 것이 가능해진다.
상기 통과공(132)가 헤드(7)의 37개의 노즐(34) 중 1개에 대향하면, 그 헤드(22)의 37개의 노즐(34)로부터 용액이 동시에 토출된다. 그리고, 통과공(132)에 대향하는 1개의 노즐(34)로부터 토출된 용액만이 상기 통과공(132)을 통과하여 전자 천칭(129)의 받이부(129a)에 적하되어 중량이 측정된다. 측정된 용액의 중량은 제어 장치(171)에 입력되고, 도시하지 않은 기억부에 기억된다. 최초의 노즐(34)을 1번째의 노즐(34)로 한다.
그리고, 제어 장치(171)는, 1번째의 노즐(34)로부터 용액이 토출되기 전과 토출된 후에서의 전자 천칭(129)의 출력값의 차이로부터 받이부(129a)에 적하된 용액의 중량을 산출한다. 예를 들면, 각 노즐(34)에서 1000회 액적을 토출시켰을 경우, 받이부(129a)에는 1000방울의 용액이 적하되게 된다. 제어 장치(171)는, 이 1000방울의 액적이 적하되기 전과 후에서의 전자 천칭(129)의 출력값의 차이를 구하고, 이 차이를 1000으로 나눈 값을 1번째의 노즐(34)로부터 토출되는 1방울의 액적의 중량으로서 구한다. 그리고, 이 액적 1방울분의 중량이 제어 장치(171)의 기억부에 기억된다.
그리고, 통과공(132)에 대향하는 1개의 노즐(34) 이외의 36개의 노즐(34)로부터 토출된 용액은 차폐 부재(128)의 액저류부(131)에 토출되고, 그곳으로부터 액배출공(136)을 통해서 액배출관(137)으로 배출된다.
다음에, 제1, 제2 가동체(126, 127)를 구동하여 통과공(132)를 2번째의 노 즐(34)에 대향시켜 헤드(22)의 37개의 노즐(34)로부터 용액을 동시에 토출시킨다. 그에 따라 2번째의 노즐(34)로부터 토출된 용액만이 통과공(132)을 통과하여 그 중량이 전자 천칭(129)에 의해 측정된다. 이하, 마찬가지로 하여 3번째 ~ 37번째까지의 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량이 측정된다.
이같이 하여, 1개의 헤드(22)의 37개의 노즐(34)로부터 각각 토출되는 용액의 중량이 측정되면 그들 중량이 제어 장치(171)의 도시하지 않은 비교부에 의해 목표값으로 하는 중량과 비교된다. 각 노즐(34)로부터 토출된 용액의 중량이 목표로 하는 중량에 대하여 허용값 이상의 차이가 있으면 그것이 제2 CPU(182)에 출력된다. 목표로 하는 중량은, 제어 장치(171)의 도시하지 않은 기억부에 미리 기억 하게 한다.
그에 따라 제2 CPU(182)는, 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액이 목표로 하는 중량의 허용값 내로 되도록, 제1 변압부(186)로부터 시리얼/패럴렐 데이터 변환부(185)를 통하여 각 노즐(34)에 대향하는 압전 소자(35)에 인가하는 전압값 또는 전압의 펄스 폭을 제어한다.
예를 들면, 압전 소자(35)에 인가하는 전압값을 제어하여 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 양을 조정하는 경우, 제2 CPU(182)의 메모리(184)에 전압 보정량을 미리 기억하게 한다. 그리고, 제2 CPU(182)는, 제어 장치(171)로부터 보내진 용액의 중량의 차이가 정(正)(측정한 중량이 목표로 하는 중량보다 큼)일 때는, 토출량을 감소시킬 필요가 있으므로, 압전 소자(35)에 인가하는 전압값을 전압 보정량분 만큼 내리도록 제1 변압부(185)를 제어한다. 반대로, 용액의 중량의 차이가 부 (負)(측정한 중량이 목표로 하는 중량보다 작음소)일 때는, 토출량을 증가시킬 필요가 있기 때문에, 제2 CPU(182)는, 압전 소자(35)에 인가하는 전압값을 전압 보정량분만큼 올리도록 제1 변압부(185)를 제어한다.
이같이 하여, 각 노즐(34)로부터의 용액의 토출량을 보정했으면, 전술한 바와 동일한 수단에 의해, 재차 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을 측정하고, 목표로 하는 중량과 비교하는 동작이 제어 장치(171)에 의해 행해진다. 비교의 결과, 모든 노즐(34)에 있어서 토출되는 용액의 중량이 목표로 하는 중량의 허용값 내에서 조정을 완료하고, 허용값을 벗어나 있으면, 모든 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량이 목표로 하는 중량의 허용값 내로 되기까지 반복 조정이 행해진다.
이같이 하여, 1개의 도포 헤드(22)의 각 노즐(34)에 대하여 토출량의 설정 동작이 완료되었으면, 다른 도포 헤드(22)에 대해서도 마찬가지로 하여 제어 장치(171)에 의해 토출량의 설정 동작이 행해진다.
전술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 1개의 도포 헤드(22)에 설치된 복수개의 노즐(34)의 모두로부터 용액을 동시에 토출시키고, 그 때 차폐 부재(128)의 통과공(132)에 대향하는 1개의 노즐(34)로부터 토출된 용액 L만을, 상기 통과공(132)을 통과시켜 전자 천칭(129)으로 중량을 측정하도록 했다. 그리고, 그와 같은 측정을 도포 헤드(22)의 37개의 노즐(34)에 대하여 차례로 행하도록 했다.
용액의 공급의 설정을 노즐(32)마다 행하므로, 도포 헤드(22)에 있어서 노즐(32)마다의 토출량의 불균일이 억제된다. 그러므로, 각 노즐(32)로부터의 용액 의 토출량이 균일화되어, 형성되는 기능성 박막의 막두께의 보다 한층의 균일화를 도모할 수 있다.
전술한 바와 같이, 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을, 용액을 실제로 기판 W에 도포할 때와 같은 조건 하에서 측정 가능하므로, 그 측정에 따라서, 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을 설정하면, 기판 W에 용액을 도포할 때 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을 필요로 하는 값으로 할 수 있다. 즉, 기판 W에 대하여 균일한 원하는 두께의 기능성 박막을 형성할 수 있다.
차폐 부재(128)에는 X방향을 따라 청소 부재(139)가 설치되어 있다. 그러므로, 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을 측정하므로 제1, 제2 가동체(126, 127)를 도포 헤드(22)의 하방을 Y방향으로 구동시키면, 청소 부재(139)는 선단부가 도포 헤드(22)의 하면을 닦으면서 이동하게 되기 때문에, 노즐(34)의 개구면에 부착된 용액을 청소할 수 있다.
예를 들면, 노즐(34)로부터의 용액의 토출량을 측정하여 설정하는 설정 동작에 있어서, 1개의 노즐(34)에 대한 측정이 완료할 때마다, 가동체(126, 127)를 Y방향으로 왕복동시켜 도포 헤드(22)의 하면 전체를 닦는다. 그리고, 이 때, 상측 탑재부(126a, 127a)를 가동체(126, 127)에 대하여 도시하지 않은 에어 실린더 등의 구동 장치에 의해 승강 가능하게 해 두고, 전술한 왕복동 중, 왕동시에는 상측 탑재부(126a, 127a)를 상승단으로 이동시켜 청소 부재(139)의 상단이 도포 헤드(22)의 하면에 접촉하는 닦아내는 위치에, 복동시에는 상측 탑재부(126a, 127a)를 하강단으로 이동시켜 청소 부재(139)의 상단이 도포 헤드(22)의 하면에 접촉하는 것이 없는 대기 위치에 위치시키도록 한다.
노즐(34)로부터의 용액의 토출을 반복하는 동안에, 도포 헤드(22)의 하면에 용액이 부착되는 것이 알려져 있다. 그리고, 용액의 부착량이 증가해 가면, 그 용액에 의해 노즐(34)의 개구가 막혀 노즐(34)로부터의 용액의 토출이 방해되는 경우가 있다.
그래서, 전술한 바와 같이, 토출량의 설정 동작중, 청소 부재(139)와 도포 헤드(22)의 하면을 닦도록 하면, 도포 헤드(22)의 하면에 부착된 용액에 의해 노즐(34)이 막히는 것을 방지할 수 있으므로, 각 노즐(34)로부터의 토출량의 측정 및 설정을 보다 정밀도 양호하고 행할 수 있다.
또, 각 노즐(34)로부터 토출된 용액의 중량을 전자 천칭으로 직접 측정하도록 했으므로, 토출량을 정밀도 양호하게 측정할 수 있어 각 노즐(34)로부터의 토출량을 필요로 하는 토출량에 정확하게 맞출 수 있다. 그 결과, 기판 W에 대하여 용액을 도포할 때는, 용액을 균일한 도포량으로 도포할 수 있어 얼룩이 없는 균일 두께의 기능성 박막을 형성하는 것이 가능해진다.
상기 일실시예에서는 계측용 테이블에 2개의 가동체를 설치하고, 2개의 헤드의 노즐로부터 토출되는 용액의 중량을 동시에 측정 가능하도록 하였으나, 계측용 테이블에 설치되는 가동체의 수는 한정되지 않고, 1개 또는 3개 이상이라도 지장을 주지 않는다.
또, 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량이 동일하게 되도록 설정했지만, 노즐(34)마다 상이한 중량으로 설정해도 된다.
또, 모든 노즐(34)로부터 용액을 동시에 토출시키면서 각 노즐(34)로부터 토출된 용액의 중량을 측정하는 예로서 설명했지만, 모든 노즐(34) 중 일부의 노즐(34)로부터의 용액의 토출을 정지시켜 행해도 된다. 예를 들면, 이번 기판 W 상에 형성하는 기능성 박막의 패턴에 있어서는, 헤드(22)의 37개 있는 노즐(34) 중 30개의 노즐(34)로부터 밖으로 용액을 토출시키지 않는 것과 같은 경우, 그 30개의 노즐(34)로부터 만큼 용액을 동시에 토출시키면서 이들 30개의 노즐(34) 각각으로부터 토출된 용액의 중량을 측정한다. 이와 같이 한 경우라도, 기판 W에 용액을 실제로 도포할 때 사용되는 모든 노즐(34)로부터 용액을 토출시키면서 각 노즐(34)로부터 토출되는 용액의 중량을 측정할 수 있다. 그러므로, 그 측정에 따라 조정된 용액의 토출량은 실제의 도포에 맞는 것으로 되고, 형성되는 기능성 박막의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
또, 차폐 부재로서 직사각형판형의 차폐 부재(129)에 통과공(132)을 형성한 것으로서 설명하였으나, 요는, 1개의 노즐(34)로부터 토출된 용액만을 통과시킬 수 있으면 되므로, 예를 들면, 2개의 직사각형판을 1개의 노즐(34)로부터 토출된 용액만을 통과할 수 있는 간격을 두고 배치하고, 다른 노즐(34)로부터 토출된 용액을 2개의 직사각형판 중 어느 하나로 받도록 해도 된다.
또, 노즐(34)로부터 토출되는 액적의 중량을 1000방울분의 액적의 중량으로부터 산출하는 예로서 설명하였으나, 중량을 측정하기 위해 토출되는 액적의 수는1000방울에 한정되지 않고 몇개라도 되고, 1방울이라도 상관없다. 또, 1방울 분의 액적의 중량을 목표로 하는 중량을 비교하는 예로서 설명하였으나, 1000방울 등 복 수개 물방울분의 중량을 비교하여 토출량을 조정해도 된다.
본 발명에 의하면, 저울을 탑재 테이블과는 독립적으로 소정 방향 및 그 소정 방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하게 설치하고, 그 이동에 의해 각 노즐로부터 공급되는 용액을 상기 저울에 의해 차례로 받아 측정하도록 했다.
그러므로, 노즐이 기판에 대하여 용액을 공급하여 도포하는 위치에 있어서 각 노즐로부터 공급되는 용액의 중량의 측정을 행할 수 있으므로, 용액이 사용되는 환경에 맞는 환경 하에서 용액의 중량을 측정할 수 있다.
또한, 저울은 탑재 테이블과는 독립적으로 이동 가능하므로, 탑재 테이블에 탑재된 기판에 용액을 공급 도포할 때라도, 저울을 그곳으로부터 퇴피시켜 위치하도록 할 수 있다. 그러므로, 기판에 용액을 도포하고 있을 때라도, 퇴피시킨 위치에 있어서 저울의 보수를 병행하여 행하는 것이 가능해진다. 따라서, 측정 정밀도와 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 기판에 용액을 공급하여 도포하는 용액 도포 장치로서,
    소정 방향을 따라 배치되고, 상기 기판에 상기 용액을 공급하여 도포하는 복수개의 노즐과,
    상면에 상기 기판이 탑재되는 탑재 테이블과,
    상기 탑재 테이블과 상기 도포 헤드를 상기 소정 방향과 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 제1 구동 수단과,
    상기 노즐로부터 공급되는 용액의 중량을 측정하는 저울, 및
    상기 저울을 상기 소정 방향 및 그 소정 방향과 교차하는 방향으로 상기 탑재 테이블과 독립적으로 이동시키는 제2 구동 수단
    을 포함하고,
    상기 탑재 테이블은, 상기 소정 방향과 교차하는 방향으로 설치된 가이드 부재를 따라 이동 가능하게 설치되고,
    상기 제2 구동 수단은, 상기 가이드 부재를 따라 상기 탑재 테이블과는 독립하여 이동 가능하게 설치된 제1 가동 부재와, 상기 제1 가동 부재에 상기 소정 방향을 따라 이동 가능하게 설치된 제2 가동 부재를 더 포함하며,
    상기 저울은, 상기 제2 가동 부재에 설치되어 있는
    용액 도포 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 저울은 상기 노즐로부터 공급되는 용액을 받는 컵체를 가지고, 상기 컵체는 상면 개구가 셔터에 의해 개폐 가능하게 되어 있는, 용액 도포 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수개의 노즐이 배치된 상기 소정 방향의 위치 정보에 따라 상기 저울을 각 노즐에 대응하는 위치에 차례로 위치결정하는 제어 수단을 구비하는, 용액 도포 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 노즐이 설치되어 상기 소정 방향으로 배치된 복수개의 도포 헤드를 가지고,
    상기 제어 수단은 상기 복수개의 도포 헤드의 상기 소정 방향에서의 위치 정보에 따라 상기 저울을 각 도포 헤드에 대응하는 위치에 차례로 위치결정하는, 용액 도포 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 노즐의 아래쪽에 위치 결정 가능하게 설치되고, 복수개의 노즐로부터 동시에 토출되는 복수개의 액적(液滴) 상태의 용액 중 1개의 노즐로부터 토출된 용액만을 통과시키는 차폐(遮蔽) 부재를 구비하고,
    상기 저울은 상기 차폐 부재를 통과한 용액의 중량을 측정하는, 용액 도포 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 측정에 따라서 각 노즐로부터 토출되는 용액의 중량이 같아지도록 설정하는 제어 수단을 구비하는, 용액 도포 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    베이스를 가지고, 상기 베이스에는 상기 테이블을 소정 방향으로 이동 가능하게 가이드하는 가이드 레일이 설치되고, 상기 차폐 부재와 상기 저울은 상기 가이드 레일에 가이드되어 상기 소정 방향으로 이동 가능하게 되는 동시에 이 소정 방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는, 용액 도포 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 차폐 부재에는, 상기 소정 방향 및 소정 방향과 교차하는 방향의 위치를 검출하는 위치 결정 센서가 설치되고, 상기 위치 결정 센서의 검출에 따라 상기 차폐 부재는 상기 노즐에 대하여 위치 결정되는, 용액 도포 장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 차폐 부재에는, 상기 차폐 부재를 상기 노즐의 아래쪽으로 상기 소정 방향과 교차하는 방향으로 이동시켰을 때 상기 노즐의 개구면에 부착된 용액을 청소하여 제거하는 청소 부재가 설치되어 있는, 용액 도포 장치.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 차폐 부재에는 상기 용액이 저류되는 액저류부가 형성되고, 상기 액저류부에는 용액을 배출하는 액배출관이 접속되어 있는, 용액 도포 장치.
  12. 삭제
  13. 소정 방향을 따라 배치된 복수개의 노즐로부터 기판에 공급되는 용액의 양을 저울에 의해 계측하는 용액 공급량 계측 방법으로서,
    상기 저울을 상기 노즐에 대하여 상대적으로 상기 소정 방향으로 이동시키는 스텝과,
    상기 저울의 상기 소정 방향의 이동에 따라 복수개의 노즐로부터 공급되는 용액을 상기 저울에 의해 차례로 받아 계측하는 스텝
    을 포함하는 용액 공급량 계측 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 저울에 의해 계측되는 용액의 공급량에 따라 각 노즐이 공급하는 용액의 공급량을 보정하는 스텝을 포함하는, 용액 공급량 계측 방법.
  15. 도포 헤드에 설치된 복수개의 노즐을 가지고, 이들 노즐로부터 용액을 토출시키는 용액 공급 방법으로서,
    복수개의 노즐로부터 액적 상태의 용액을 동시에 토출시키는 스텝과,
    각 노즐로부터 동시에 토출된 복수개의 액적 상태의 용액 중 1개의 노즐로부터 토출된 용액만을 취출하여 그 중량을 측정하고, 그 측정을 각 노즐로부터 토출되는 용액에 대하여 행하는 스텝과,
    복수개의 노즐로부터 토출된 액적 상태의 용액의 중량을 비교하여 각각의 용액의 중량이 같아지도록 설정하는 스텝
    을 포함하는 용액 공급 방법.
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