201127500 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種於共同之移動軸上進行藉由功能液滴 噴出頭之對工件之描畫及功能液滴喷出頭之檢查的液滴喷 出裝置及液滴噴出裝置之控制方法。 【先前技術】 先前，作為此種液滴喷出裝置，眾所周知有於工件之材 料去除供給中實施功能液滴喷出頭之噴出檢查之裝置（參 照專利文獻1P / 該液滴喷出裝置包括：使設定於工件桌台之工件沿乂轴 方向移動之X軸桌台、以橫跨x軸桌台之方式配設之Y軸桌 。及搭载於Y軸桌台且具有複數個功能液滴噴出頭之2组 =::Γ軸桌台上’除工件桌台之外，移動自如地 。接觉來自功能液滴噴出頭之檢查噴出之乾材單 :接又受來自功能液滴喷出頭之預喷出叫定期沖洗 片材之嘖ΓΥ抽桌台之導軌部分垂設有對檢查喷出至檢查 喷附點進行圖像識別之攝像單元。 ==台及γ軸桌台交又之區域，設定有噴出功能液 區區域’於自描畫區域_方向偏離之 域q有I件之料或對工件進行材料切供 準置。若經由設定桌台使工件移動至對準位f 一 沖洗盒移動至功能液滴嘴出頭(托架單元：置方則定期 ==定㈣洗盒之—單：攝下= 、該狀態下，實施工件之材料去除供給及對準 150865.doc 201127500 (材料去除供給動作），且％香社丄 且於貫施材料去除供給動 間，實施自功能液滴噴出瞄柳—*丄A 之期 J貫出碩對定期沖洗盒之預噴 動作）及攝像單s之圖像識別（喷出檢查）。 出（保養 [先行技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2009-6212號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，於此種液滴噴出雄w 、“ 裝置中’因在工件桌台及定期沖 料包含於描*資料中而：喷出係藉由使檢查資 广中而能夠繼描晝動作之後實 像識別（喷出檢查）而言，存扁楛执 彳一就圖 子在僅月匕夠於工件之材料去昤供 給動作之期間内實施之制約。 ”供 a 此於嗔出檢查比材蚪本 除供給動作之時間更長之情 業時間造成影響。相反，若欲维牲皮件處理之工序作 右从、准持工序作業時間，則有 —内容產生時間性制約的問題。 、 本發明之課題在於提供如 ^ ^ ^r欣馮噴出裝置及液滴喷出裝 置之控制方法：第一，不合斜 33展 λ #鄉 a對件處理之工序作業時間造 成影響且不受時間性制約 J耳施功此液滴噴出頭之噴 八確二’能夠縮短工件處理之工序作業時間並且充 刀確保功靶液滴喷出頭之喷出檢查時間。 [解決問題之技術手段] <單台> 本發明之液滴喷出裝置之特徵在於：於描畫區域 J50865.doc 201127500 使工件移動-邊驅動功能液滴噴出頭以對工件實施描畫， 並且於自心畫區域向卫件之移動方向偏離之檢查區域，實 施功能液滴噴出頭之喷出檢查；#包括：設定台，其上設 定有工件；沖洗單元，其係相對於設定台配設於檢查區域 側’接受來自功能液滴喷出頭之預喷出；檢查台，其係相 對於沖洗單it配設於檢查區_，搭載有接受來自㈣液 滴噴出頭之檢查噴出之檢查片材；圖像識別機構，1係配 設於檢查區域’對檢查片材之檢查嘴出結果進行圖像識 別；以及㈣機構，其係使設定台、沖洗單元及檢查台， 在描畫區域及檢查區域間延伸之共同之移動轴上移動；且 移動機構係構成為可使檢查台相對於設定台及沖洗單元個 別地移動。 根據該構成’設定台、沖洗單元及檢查台在描畫區域及 檢查區域間延伸之移動軸上，自描畫區域側起依照該順序 可移動地配叹，圖像識別機構配設於檢查區域。又，檢查 台構成為相對於設定台及沖洗單元可個別地移動。因此7 於描畫區域對檢查台進行檢查喷出後，使檢查台面向圖像 識別機構，實施功能液滴喷出頭之喷出檢查（圖像識別广 但亦可與該喷出檢查並行地使設定台面向㈣區以執行描 一又於工件之材料去除供給時使功能液滴喷出頭相 對地面向沖洗單元而實施預心（保養），但該材料去昨 給所需之時間亦可料功驗滴噴出敎噴出檢查時間而、 利用H不會對工件處理之卫序作業時間造成影響且 不又時間性制約，可實施功能液滴喷出頭之喷出檢查。 150865.doc 201127500
於該情形時，移動機構較佳為構成為可使沖洗單元相對 於设定台及檢查台個別地移動D 根據該構成’於工件之材料去除供給時，可使功能液滴 喷出頭相對地面向沖洗單元而實施預噴出。因&，於工件 之材料去除供給時’可將功能液滴噴出頭維持成良好 態。 又，較佳為自描畫區域觀察，於檢查區域之前方，設定 有用於保養檢查台之次維護區域；移動軸係越過檢查區域 而延設至次維護區域為，卜.μ 、冰、女i , 巧馬止，上述液滴噴出裝置更包括：主 腔室’其覆蓋描畫區域及檢查區域；以及副腔室其覆蓋 次維護區域。 根據該構成’可將搭載有檢查片材之檢查台自主腔室移 動至副腔室’以實施檢查片材之更換等維護作業。藉此， 不會對主腔室中之描畫動作造成影響而可實施檢查台之維 護0 另方面，較佳為於功能液滴喷出頭之檢查中，有對功 能液滴喷出頭中之各喷出喷嘴之喷出不良進行檢查之喷出 不良檢查、及對來自各喷出喷嘴之功能液之喷出量進行檢 查之喷出量檢查’·上述液时出裝置更包括對功能液滴喷 出頭、圖像識別機構及移動機構進行控制之控制機構；控 制機構係對檢查片材實施用於進行噴出不良檢查之第1檢 查噴出、及用於進行喷出量檢查之第2檢查喷出；並且實 ^ ;第〗檢查喷出之喷出結果之圖像識別、及對於第2檢 查噴出之噴出結果之圖像識別。 150865.doc 201127500 :發明中’於描畫動作中可實施功能液滴嘴出頭 檢-。即，可充分確保用以喷出檢查之時間 出 :液：喷出頭之喷出不良檢查之外，還可 查，藉由將該檢查結果反映於描畫動 量檢 品質及工件之良率。 此夠棱向描畫 同樣地’較佳為於功能液滴噴出頭之檢查中 出頭中之各喷出喷嘴之喷出不良進行檢查之噴出： =量=來自各噴出喷嘴之功能液之噴出量進行檢查 之喷出量檢查；檢查台係包括搭載有接受用於進行 二第1檢查喷出之第1檢查片材的第1檢查台、及搭 ^有接^於進行喷出量檢查之第2檢查嘴出之第2檢杳片 材的第2檢查台；圖像識別機構係包括對第ι檢查台之第！ 喷出、。果進行圖像識別之第i圖像識別單元及對第2 檢查台之第2檢查喷出結果進行圖像識別之第2圖像識 元0 4根據該構成’由第1檢查台（第1檢查片峨受用於進行 噴出不良檢查之第1檢查喷出，並且由第2檢查台(第2檢省 片材）接受用於進行喷出量檢查之第2檢查喷出’因此喷出 不良檢查及喷出量檢查之噴出圖案不會相互受到制約。而 且’同時能夠簡化用於進行喷出檢查之控制系統。 又較佳為相對於第1檢查片材之更換頻率，將第2檢查 片材之更換頻率設定為更高；於移動軸上，自設定台側起 按照第1檢查台及上述第2檢查台之順序進行配設；移動機 構係構成為可使第1檢查台及第2檢查台個別地移動。 150865.doc 201127500 根據該構成，第1檢查片材及第2檢查片材之更換頻率分 別不同，因此可個別地調整檢查片材之捲取時序或更換^ 序等。又，更換頻率較高之第2檢查台相對於移動軸配設 於最外端，因此於第2檢查片材之更換時，不會對第1檢杳 台造成不便。 本發明之液滴喷出裝置之控制方法之特徵在於：包括一 邊使工件移動一邊驅動功能液滴喷出頭以對上述進行描畫 之描畫區域，及設定於自描晝區域向工件之移動方向偏離 之位置且進行功能液滴喷出頭之喷出檢查之檢查區域，於 描畫區域及檢查區域間延伸之共同之移動軸上搭載設定有 工件之設定台及接受來自功能液滴噴出頭之檢查噴出之檢 查σ，並且於檢查區域配置對檢查台之檢查喷出結果進行 圖像識別之圖像識別機構；在即將對工件進行描晝之前， 於描畫區域對檢查台實施檢查喷出；其後，於描畫區域對 工件進行描晝之期間，使檢查台移動至檢查區域，實施藉 由圖像識別機構對檢查喷出結果之圖像識別。 根據該構成，因能夠於對工件之描畫中實施功能液滴喷 出頭之喷出檢查（圖像識別），故而能夠使用於進行噴出檢 查之時間充分。因此，不會對工件處理之工序作業時間造 成影響且不受時間性制約，而可實施功能液滴喷出頭之喷 出檢查。 <雙台> 本發明之另一液滴喷出裝置之特徵在於：於描晝區域， 一邊使工件移動一邊驅動功能液滴喷出頭以對工件實施描 150865.doc •10· 201127500 晝動作，於自描晝區域向工件之移動方向兩外側偏離之2 個材料去除供給區域，交替實施工件之材料去除供給，於 向各材料去除供給區域之移動方向外側偏離之2個檢查區 域，交替實施藉由圖像識別所進行之功能液滴喷出頭之喷 出檢查；其包括：一對設定台，其等設定有工件；一對檢 查σ，其專配設於各設定台之外側，接受來自功能液滴喷 出頭之檢查喷出；一對圖像識別機構，其等配設於各檢查 區域’對檢查台之檢查喷出結果進行圖像識別；以及移動 機構其使一方之设定台於描畫區域及一方之材料去除供 給區域間自如移動，並且使另一方之設定台於描畫區域及 另方之材料去除供給區域間自如移動，且使一方之檢查 台於描晝區域及之上述檢查區域間移動，並且使另一方之 檢查台於描晝區域及另一方之檢查區域間移動。 於戎情形時，較佳為本發明之液滴喷出裝置更包括對功 能液滴喷出頭、—對圖像識別機構及一對移動機構進行控 制之控制機構；控制機構係使一對設定台於描晝區域與各 材料去除供給區域之間交替移動，以交替實施描畫動作； 並且使一對檢查台於描晝區域與各檢查區域之間交替移 動’以乂替實施與描晝動作—併進行之檢查喷&及喷出檢 杳Ο 根據該構成，使一對設定 區域間移動，以交替實施描 描晝區域及檢查區域間移動 進行之檢查喷出及噴出檢查 台於描晝區域及材料去除供給 晝動作，並且使一對檢查台於 ’以交替實施與描畫動作一併 。藉此，可交替連續地實施對 150865.doc • 11 · 201127500 工件之描晝動作與功能液滴噴出頭之喷出檢查。又，若於 對-方之檢查台之檢查喷出後，將其立即移動至檢^區 域，則於實施對-方之設定台之工件之描畫之期間^實 施藉由一方之圖像識別機構所進行之。 確保喷出檢查之時間，則繼而於對另—方設u = 2 描畫動作中，亦可活用作為喷出檢查之時間。因此，可縮 短相對於工件之描畫動作之工序作業時間，並且可充 保喷出檢查之時間。 又’移動機構較佳為使—對設定台及—對檢查台於共同 之移動軸上移動。 '、 根據該構成’可簡化—對設Μ及—對檢查台中之移動 系統之結構。再者’較佳為移動機構中使用線性馬達。 又，控制機構較佳為於描畫區域，使各設定台沿移動方 向往返移動複數次而實施描畫動作；與往返移動之最初之 在向移動動作同步地’使檢查台自檢查區域移動至描畫區 域以貫施檢查喷出。 11 2 °亥情形時’控制機構較佳為於實施檢查喷出後，使檢 —0自描晝區域移動至檢查區域以實施喷出檢查。 根據。亥等構成，不會對描畫動作造成影響而可實施檢查 喷出’並且可進行反映實際之描畫狀況之檢查喷出。又y 檢-噴出於描畫動作之初期進行，可確保充分之喷 之時間。 宜 、進而’控制機構較佳為直至伴隨檢查喷出之描畫動作完 成為止’完成噴出檢查。 70 150865.doc 201127500 根據該構成’可將喷出檢查之檢查結果反映於下一描畫 動作中，因此可提高良率。 同樣地’控制機構較佳為直至伴隨檢查噴出之描晝動作 之下-次描晝動作完成為止，完成喷出檢查。 ::°亥構成，不會對工件處理(描畫動作)之工序作業時 B 響而可進行需要時間之高精度之喷出檢查。 另方面’較佳為本發明之液滴喷出裝置更包括配設於 各材料去除供給區域並進行工 ； 仃仟之材枓去除供給之一對材 y斗去除供給機構•批生 構；對於移：::制—對材料去除供給機 μ #料去除供給區域之各設定台，實施卫 牛之材料去除供給。 :::構成，可連續地進行相對於設定台之工件之材料 2、·，。1’可交#連續地進行對工件之描畫動作及工 作）。 供、··°從而可两效地進行工件處理（描畫動 較佳為本發明之液滴喷出裝置更包括配設於 ::間且接受來自功能液滴喷出頭之預喷出之單一之沖，'先 ::域=構係構成為可使沖洗單元於2個材料去除供 根據該構成，即便發生上述喷 等暫時地停止描畫動作之情形，亦可實―扩。果為NG之情形 ψ 55 Λ 」貫轭來自功能液滴喑 又：：噴出，從而可維持功能液滴嗔出頭之喷出性能。 Z夠活用沖洗單元，實施於描畫 噴出（描晝前沖洗）。 直進仃之預
150865.dOC •13· 201127500 同樣地’較佳為本發明之液滴噴出裝置更包括配設於-方之檢查台之上述移動方向外側且接受來自功能液滴喷出 頭之預喷出之單—之沖洗單元；移動機構係構成為可使沖 洗單元於一方之檢查區域與描晝區域間移動。 ^虞^構成冲洗單元係、構成為位於卫件之移動方向最 外端藉it匕彳與描畫動作無關地進行沖洗單元之保養。 同樣地較佳為本發明之液滴喷出裝置更包括添設於各 設定台之移動方向内側且接受來自功能液滴喷出頭之預喷 出=對沖洗單元；移動機構係構成為可使各沖洗單元與 各设定台一體地移動。 根據§玄構成，即便路4 μ、+、‘， 丨更發生上述喷出檢查結果為NG之情 等暫時地停止描畫動作愔 .,ε 卞之11形，亦可貫施來自功能液滴 出頭之預喷出，從而可维牲从At、— T，⑽功&液滴噴出頭之喷出性能 又，此夠活用沖洗單元，實 只他於才田畫開始時一直進行之 噴出(描晝前沖洗)。並 彳Μ订之 $ 了簡化各沖洗單元及各設定 I秒動糸統。再去，、:由、土 σβ _ ,早兀可為搭載於設定台之形態 亦可為連結於設定台之形態。 又，較佳為本發明之液滴 貝出屐置更包括配設於一對 :二=自功能液滴喷出頭喷出之功能液之重量的 個材料：二：台；移動機構係構成為可使重量測定台方 個材枓去除供給區域間移動。 根據該構成，於功能 需要進行噴出^；^壬 更換（托架更換）時 <〜貝功忐液之重量測 JL ^ 重則疋之情形時，可於移動機 上貫施邊測定’從而可提高生產性。 150865.doc 14 201127500 較佳為本發明之液滴嘴出裝置更包括配㈣_方 之檢查〇之上述移動方向外側 出之功能液之重量的單一之重量·^自^液滴喷出頭嘴 為可使重量測定台於一方之檢杳:：台；移動機構係構成 根據該構成，重量二: = 晝區域間移動。 : 猎可無關於描畫動作而進行重量測定台之保 香0 【實施方式】 隨附圖式對本發明之—實施形態之液滴喷出 裝置及』制方法進行說明。該液滴噴出裝置係裝入至平 板顯不器之生產線上，例如使用導入有特殊墨水或發光性 之樹脂液即功能液之噴墨方式之功能液滴嘴出頭，形成成 為彩色渡光片或有機EL(EleetrQlumineseence，電致發幻 裝置之各像素之發光元件等，並且並行地實施功能㈣喷 出頭之功能維持.功能恢復（保養）。 <第1實施形態：單台> ―如圖1所示，液滴喷出裝Μ包括：於福晝時沿成為主掃 描方向之X軸方向延伸且使工件评朝父軸方向移動之X軸桌 台2’以跨越X軸桌台2之方式架設且於描畫時沿成為副掃 描方向之Υ轴方向延伸之Υ軸桌台3，移動自如地爷射於γ 軸桌台3且分別搭載有複數個（12個）功能液滴喷出頭8之η 個托架單元4。液滴噴出裝置丨與又軸桌台2&γ軸桌台3之 驅動同步地’選擇性地驅動喷出功能液滴喷出頭8，藉此 根據特定之描晝圖案對工件W進行描晝。再者，托架單元 150865.doc -15- 201127500 4於各圖中僅圖示有4個，又，功能液滴喷出頭8於各圖中 僅針對每一個托架單元4而圖示有1個。 又，液滴噴出裝置1包括：具有抽吸單元u、擦栻單元 12及冲洗單兀丨3且維護功能液滴喷出頭8之維護裝置$，以 及具有檢查台14及圖像識別單元15(圖像識別機構）且進行 功能液滴11出頭8之噴出檢查之喷出檢查裝置6 Μ由吸單元 11及擦拭單元12配設於後述之維護區域22，沖洗單元13及 檢查台14移動自如地配設於描畫區域21與後述之檢查區域 23之間，進而圖像識別單元15配設於檢查區域以。 進而，液滴喷出裝L包括對該等構成裝置進行總括控 制之控㈣置（省略圖示），並且包括收容該等構成裝置之 腔至7。腔室7具有預製式潔淨棚之形態，其内部一直進行 換氣，以將内部環境調和為固定之溫度等。 於X轴桌台2及Υ軸桌台3之交叉區域設^有對工㈣進行 描晝處理之描畫區域21，於自描畫區域21向γ軸方向偏離 之γ軸桌台3之移動區域設定有配設抽吸單元u及擦拭單元 12之維護區域22。X，於自描畫區域21向X抽方向偏離之 幸桌σ之方之移動區域設定有配設上述喷出檢查裝置 6之檢查區域23，於另一方之移動區域設定有用於對工件 W進行材料去除供給之材料去除供給區域24。 X軸桌台2包括：沿父軸方向延伸之一對X轴導軌31 (移動 軸）搭載於-對X軸冑軌31上且對工件w進行吸附設定之 «又疋D 32，使设定台32沿又軸導軌31移動之設定台移動機 構 使中洗單元13沿X軸導執3 1移動之沖洗移動機構 I50865.doc 201127500 34，以及使檢查台1 4沿X軸導軌3 1移動之檢查台移動機構 35 ° 設定台移動機構33、沖洗移動機構34及檢查台移動機構 35由具有與該等機構對應之三個滑件之線性馬達所構成， 設定台32、沖洗單元13及檢查台14構成為可在X軸導執31 上個別地移動。又，一對X軸導軌3丨以縱向切斷材料去除 供給區域24、描畫區域21及檢查區域23之方式延伸，再 者，於本實施形態中，本發明技術方案所提及之移動機構 係包含設定台移動機構33、沖洗移動機構34及檢查台移動 機構35。又，亦可藉由單一之滑件使設定台32及沖洗單元 13成為一體而移動（省略圖示）。 Y軸桌台3包括：跨越χ軸桌台2而沿γ軸方向延伸之一對 車導軌41。以架设之方式搭載於一對X軸導軌η且分別 射各托架單元4之複數個橋板（省略圖示），以及經由各橋 板使複數個托架單儿4沿γ輪導軌41移動之托架移動機構 42。托架移動機構42由具有與複數個托架單元％複數個橋 對應之複數個滑件之線性馬達所構成，且構成為可使 =單元4個別地移動(亦可使"個托架單元4成為一體 而移動）。又，—斟ν紅道 至維護區域叫止，Ymr㈣描晝區域21而延伸 出魏架單元4)進:!除了於描晝時對功能液滴喷 面向維護區域22。外，於維護時使托架翠元4
R 架早7L4包括頭單元（省 示 .G.B.C-M.Yi6色之夂乂頌早兀包含 各2個（共計12個）功能液滴喷出頭8、 150865.doc •17· 201127500 及將12個功能液滴喷出頭8以每6個而分為2組進行支持的 頂板。又，各托架單元4包括可朝θ方向旋轉地支持頭單元 之Θ旋轉機構、及經由9旋轉機構使頭單元支持於橋板之吊 設構件（均省略圖示）。再者，托架單元4之個數及搭载於各 托架單元4之功能液滴喷出頭8之個數為任意。 如圖2所示，功能液滴噴出頭8包括：具有2排連接針54 之功能液導入部51，與功能液導入部51相連之2排頭基板 52，及與頭基板52相連並噴出功能液之頭本體53。功能液 導入部51自圖外之功能液供給裝置接受功能液之供給。 又，頭本體53包括：由壓電元件等構成之2排泵部55，以 及具有形成有複數個喷出喷嘴57之喷嘴面58之喷嘴板％。 形成於噴嘴板56之複數個喷出喷嘴57以等間隔排列，使噴 嘴列59形成為2列》並且，2列喷嘴列59相互平行且位移半 喷嘴間距而列設。功能液滴喷出頭8將來自控制裝置之驅 動波形經由頭基板52而施加至各泵部55(壓電元件），藉此 自各喷出喷嘴57喷出功能液。再者，於後述用於檢查漏點 或飛行彎曲之第1檢查喷出中，以喷嘴列59為單位對功能 液進行檢查喷出，於用於測定噴出量之第2檢查喷出中， 錯開噴出位置，以喷嘴列59為單位複數次喷出功能液。 配設於維護區域2 2之抽吸單元丨丨包含與複數個托架單元 4為相同數量之個別抽吸單元Ua。各個別抽吸單元包 括·具有與12個功能液滴喷出頭8對應之丨2個頭罩之罩單 元，與罩單元相連之抽吸機構，及使罩單元升降之升降機 構（均省略圖示）。個別抽吸單元Ua於保管用.功能液抽吸 I50S65.doc •18· 201127500 用之密接位置、沖洗用之離開位置、及頭單元之更換或罩 單元之消耗品更換用之更換位置之間，使罩單元以3階段 升降。 擦拭單元12配設於描晝區域21及抽吸單元u間，且包 括·將擦拭片材捲繞成軺i狀之抽出捲轴，將自抽出捲轴抽 出之擦拭片材捲取之捲取捲軸，將架設於兩捲軸間之擦拭 片材朝功能液滴噴出頭8擠壓之之擠壓輥（均省略圖示）。擦 拭單元12—邊經由擠壓輥將擦拭片材擠壓至功能液滴噴出 頭8 ’ 一邊使擦拭片材移動，進而整體朝X軸方向移動，從 而拂拭各把架単元4之功能液滴喷出頭8之喷嘴面Μ。 沖洗單元13相對於設定台32配設於檢查區域23側，藉由 沖洗移動機構34而相對於X軸導軌31滑動自如地受到支 持。沖洗單元13包括：#受自功能液滴喷出頭8噴出之功 能液之沖洗盒，抽吸並排除積存於沖洗盒内之功能液之抽 吸排出機構（均省略圖示）。沖洗單㈣於玉件^材料去 除ί、、.·σ時，接受來自功能液滴噴出頭8之預喷出（沖洗），使 功能液滴噴出頭8之功能液喷出穩定。 再者，雖，然省略圖示，但於設定台32之乂轴方向兩端部 S己& # —對描畫前油
自往向移動及來向移動之描 免滴噴出頭8接受沖洗。 配設於設定在自描畫區域21 一方之區域的檢查區域23(主 像識別單元15。於噴出檢查 元4(功能液滴喷出頭8)之正 150865.doc 19· 201127500 下方並接受檢查喷出後’移動至圖像識別單元15之正下方 以供圖像識別。 檢查台14相對於沖洗單元13配設於檢查區域23側，藉由 檢查台移動機構35而相對於X軸導軌3 1滑動自如地受到支 持。檢查台14包括：吸附載置捲繞成輥狀之檢查片材S之 檢查桌台61，將檢查片材S抽出至檢查桌台61之抽出機構 62，以及將檢查後之檢查片材S捲取之捲取機構63。檢查 台14係使藉由抽出機構62抽出之檢查片材S於吸附於檢查 桌台61之狀態下，接受來自功能液滴噴出頭8之檢查喷 出。並且’檢查台14藉由捲取機構63將由噴附點填滿之檢 查後之檢查片材S捲繞’並且將新的檢查片材s抽出至檢查 桌台61。又，抽出至檢查桌台61之檢查片材s中，設定有 用於貫施喷出不良檢查而接受第1檢查喷出之第1檢查喷出 £域64，及用於貫施喷出量檢查而接受第2檢查喷出之第2 檢查喷出區域65。 圖像s哉別單元15包括：自上方而面向檢查台14之相機 71，支持相機71之相機台72，以跨越X軸桌台2之方式架設 且沿γ軸方向滑動自如地支持相機台72之相機框73，經由 相機台72使相機71沿相機框73朝丫軸方向移動之相機移動 機構（省略圖示）。相機框73包含配設於χ軸桌台2之兩側方 之複數根支柱74、由支柱74支持且沿γ軸方向延伸之一對 相機導件75 ’整體形成為門型^圖像識別單元i5—邊經由 相機台72使相機7如轴方向移動，一邊以數點為單位對 檢查喷出至檢查片材S之喷附點連續進行圖像識別。再 150865.doc -20· 201127500 二相機71可設置有複數台，亦可根據情形而縮短圖像識 別時間。 此處’說明根據對第】檢查喷出區域64之第i檢查喷出結 進仃之噴出不良檢查、及根據對第2檢查噴出區域Μ之 = 檢查喷出結果進行之噴出量檢查。喷出不良檢查係用 '功月液滴喷出頭8中之各喷出喷嘴57之喷出不良進行 檢查者先自所有噴出噴嘴57對檢查片材s喷出功能液 滴（第1檢查噴出）。然後，藉由圖像識別單元15對第1檢查 嘴出結果進行®像識別。經朗之®像由控制裝置進行圖 像處理後檢查漏點或飛行彎曲檢查。該檢查結果中’於成 為輕度之邮之情形時’在沖洗單幻3中進行沖洗以實現 功能恢復’於成為重度之NG之情形時，#由抽吸單元" 及擦拭單7C 12進行功能液抽吸及擦拭以實現功能恢復。 &另—方面，噴出量檢查係用於對來自各噴出喷嘴57之功 此液之噴出量進行檢查者，一邊驅動檢查台移動機構乂， 一邊藉由同-喷嘴列59對檢查片材S複數次噴出功能液（第 2檢查噴出）。繼而’藉由圖像識別單元15對第2檢查喷出 結果進行圖像制，經圖像處理後根㈣附點之面積 各喷出噴嘴57而算出平均之喷出量。然後，根據算出之功 能液噴出量修正功能液滴噴出頭8之驅動電壓。 如此，第i檢查喷出即便於比第2檢查喷出更窄之 可進行檢查喷出’ ®而第1檢查噴出區域64於主掃描 (X軸方向）上設定為比第2檢查噴出區域Μ更窄。再者，D 2喷出檢查不必每次針對卫㈣之描畫而進行，定期地^ 150865.doc 201127500 订亦可。於該情形時，僅於進行第2檢查喷出時設定第2檢 查噴出區域65，而於不進行第2檢查喷出時則將檢查片材s 整個面設定為第1檢查喷出區域64(省略圖示）。 其次，參照圖3，針對液滴噴出裝置丨之一連串動作，以 對工件W之描畫及功能液滴喷出頭8之噴出檢查為中心進 行說明。再者’此處對僅進行喷出不良檢查作為功能液滴 噴出頭8之喷出檢查之情形進行說明。已將工件w設定為 對準狀態之設定台32位於材料去除供給區域24，檢查台i4 位於描畫區域21中之托架單元4之正下方。自該狀態起， 使檢查台14、沖洗單元13及設定台32朝χ轴方向（檢查區域 23側）移動，首先對檢查片材s實施第1檢查噴出。檢查台 14朝檢查區域23移動，設定台32朝描畫區域21移動。沖洗 單元13通過托架單元4之正下方，設定台η之端部到達托 架單元4之正下方後，開始對工件w進行描畫。 第1檢查喷出後之檢查台14到達圖像識別單元15之正下 方後，使檢查台14之移動停止。繼而，驅動圖像識別單元 U以對第1檢查喷出之喷附點進行圖像識別，檢查喷出不 良。另一方面，於描畫區域2丨中，使工件w沿主掃描方向 (X軸方向）往返移動，並且使托架單元4適當地沿副掃描方 向（Y轴方向）移動，根據特定之喷出圖案對工件w進行描 畫。即，於描畫區域中’對工件w實施描畫之期間，^ 檢查區域23中實施以喷附點為圖像識別之中心之噴出不良 之檢查。 當對工件w之描晝結束時，設定台32移動至材料去除供 150865.doc •22· 201127500 區域24，/¾日夺，沖洗單元！ 3移動至托架單元4之正下 方。此處，實施新舊工件冒之材料去除供給，並且實施已 供給材料之工件W之對準。又，與其並行地自托架單元4 ^先單元13進行沖洗，從而將功能液滴f出頭8之f液 2維持為良好。進而’在此期間内喷出檢查結束後之檢查 -14再-人移動至描晝區域21，準備下—次檢查喷出。藉由 重複以上之步驟，於對工件w之描畫中及工件歡材料去 除供給中進行功能液滴喷出頭8之喷出檢查。再者，因可 於件W之描晝中進行喷出檢查，故而當喷出檢查之結果 為NG時，中止工件w之描畫，實施托架單_功㈣㈣ 出碩8)之功能恢復及工件w之更換（材料去除供給" 於此種構成中，設定台32、沖洗單元13及檢查台咐乂 軸導軌3 1上自描畫區域2 !側起以該順序分別可移動地構 成’圖像識別單元15配設於檢查區域23。藉此，於描畫區 域21中之描畫時及材料去除供給區域叫之工件w之材料 去除供給及對準時’不受時間性制約，而可實施功能液滴 喷出頭8之喷出檢查。 <第1變型例：單台> 其次，參照圖4對本發明之第1變型例之液滴噴出裝们 進行說明。再者’為了避免重複記載，主要對與第丄實施 形態不同之部分進行說明。該液滴喷出裝置艸，除了喷 出不良檢查之外還進行上述喷出量檢查。因此，檢查台Μ 中之檢查片材S之消耗激增，必須頻繁進行作為捲紙之檢 查片材S之更換。對此’自描晝區域21觀察，於檢查區域 150865.doc 23· 201127500 23之則方设定次維護區域25，使檢查台“可於該次維護區 域25移動。並且，於上述腔室7中，由副腔室“覆蓋次維 護區域25，由主腔室82覆蓋其他部分。藉此，無需停止描 畫動作便可進行檢查台14中之檢查片材s之更換。又，伴
Ik -人維護區域25之設定，將x軸導軌3丨延設至次維護區域 25為止。 主腔至82以覆蓋描畫區域21、檢查區域23及維護區域22 之方式構成，於X軸方向之副腔室81側之側壁，設置有插 通X軸導軌31並且供檢查台14通過之主腔室開口 83，以及 使主腔室開口 83之X軸桌台2以外之部分開閉之開閉門84。 又，主腔室82構成為可藉由圖外之主腔室調整機構調整内 邛環i兄。再者，内部環境之調整係使用配置於主腔室U内 之各種感測器，控制内置於主腔室調整機構之加熱器、冷 部态、風扇等。又，較佳為一邊於主腔室82内一直換氣一 邊進行内部環境之調整。 副腔室8 1主要係於更換檢查台丨4之檢查片材s時使用， 且構成為收容移動至X軸桌台2之端部之檢查台14。副腔室 8 1中，開口有將X軸導執3丨插通至主腔室82側之側壁、並 且供檢查台1 4通過之副腔室開口 85。又，副腔室8丨構成為 可藉由圖外之副腔室調整機構調整内部環境。再者，内部 環境之調整與主腔室82之情形同樣。 於本實施形態之液滴噴出裝置丨之動作中，實施用於檢 查喷出不良之第1檢查喷出' 繼而用於檢查功能液之噴出 量之第2檢查喷出。具體而言，實施^檢查喷出，繼而對 150865.doc -24. 201127500 同一檢查片材S實施第2檢查喷出。然後，第1.第2檢查噴 出後之檢查台14到達圖像識別單元1 5之正下方後，使檢查 台14之移動停止’驅動圖像識別單元1 5對第1、第2檢查喷 出之喷附點進行圖像識別，檢查噴出不良，並且檢查噴出 量。再者’第1檢查噴出及第2檢查喷出之任一者均可先實 施。 於該情形時，副腔室81中，於檢查片材s之更換時，開 放開閉門84以收容移動而來之檢查台14，將開閉門84閉合 後’對内部環境進行大氣置換。繼而，作業者於副腔室81 内更換檢查片材S後’將副腔室81之内部環境置換成與主 腔室82之内部環境相同之氮或乾燥空氣。其後，開放開閉 門84’使檢查台14移動至主腔室82以供檢查喷出。 藉此，可於副腔室81内更換檢查台14之檢查片材s，因 而於該更換作業時無需使液滴喷出裝置丨停止。又，因人 工作業所產生之大氣亂流、灰塵及塵埃等不會對主腔室Μ 内之描畫區域21之處理造成影響。再者，亦可將主腔室調 整機構及副腔室調整機構作為共同（兼用）之腔室調整機 構，從而對與其連接之管道（或配管）適當地進行流路切 換。 <第2變型例：單台> 其次’參照圖5對本發明夕贫。德i Λ丨，， + %月之第2變型例之液滴喷出裝置} 進行說明。該液滴喷出裝詈丨由 置1中之檢查台14包含搭載第1檢 查片材S1接受第1檢杳喷出 —嘴出之第1檢查台14a、及搭載第2檢 查片材S2接受第2檢查喷出笛 —贾出之第2檢查台14b，第}檢查台 150865.doc -25- 201127500 14a及第2檢查台14b經由χ軸導軌31可收容於副腔室81。 又，檢查台移動機構35包含使第丨檢查台14a於χ軸導軌 31上移動之第1檢查台移動機構35a、及使第2檢查台於 X軸導軌31上移動之第2檢查台移動機構35b。即，第丨檢查 台14a及第2檢查台Mb構成為藉由第1檢查台移動機構35a 及第2檢查台移動機構35b，分別沿χ軸導軌3丨可個別地移 動。再者，第1檢查台14a及第2檢查台14b與上述檢查台14 為同相同結構’因而此處省略其說明。 於该情形時，接受上述第丨檢查噴出之第丨檢查喷出區域 64 s史置於第1檢查台14a之第1檢查片材si整個面，接受第2 檢查喷出之第2檢查喷出區域65設置於第2檢查台i4b之第2 檢查片材S2整個面。進而如上述般，第1檢查台14a接受之 第1檢查喷出（喷出不良檢查）相比於第2檢查台1仆接受之第 2檢查喷出（喷出量檢查），能夠於更窄之區域實施，即，於 該情形時，第1檢查片材S1及第2檢查片材s 2之更換頻率不 同’第2檢查片材S2之更換頻率設定為比第1檢查片材81之 更換頻率更高。藉此’可個別地管理第1檢查片材s丨及第2 檢查片材S2之捲取時期或更換時期，從而不會造成兩檢查 片材SI、S2之浪費。 另一方面’圖像識別單元15包含對第1檢查喷出結果進 行圖像識別之第1圖像識別單元15 a、及對第2檢查喷出結 果進行圖像識別之第2圖像識別單元15t^再者，第1圖像 識別單元15a及第2圖像識別單元15b與上述圖像識別單元 15為同一結構，因而此處省略其說明。第1圖像識別單元 I50865.doc -26- 201127500 15a對應於第1檢查台14a，以跨越χ轴桌台2之方式配設於 檢查區域23之端部。同樣地’第2圖像識別單元15b對應於 第2檢查台14b ’以跨越X轴桌台2之方式配設於比第1圖像 識別單元1 5a更靠副腔室8 1側。即，第1圖像識別單元1 5a 及第2圖像識別單元1 5 b於X軸桌台2之端部，以該順序自描 晝區域21側起配設。 如圖6所示，於本實施形態之液滴喷出裝置1之一連串動 作中’獨立地實施喷出不良檢查與噴出量檢查。具體而 s ’設定有工件W之設定台32位於材料去除供給區域24, 第2檢查台14b位於托架單元4之正下方，第！檢查台1钝位 於設定台32及第2檢查台14b之間。自該狀態起，使各構成 裝置32、14a、14b移動至X軸方向（檢查區域23側），首先 對第2檢查片材S2實施第2檢查喷出。第2檢查台14b於第2 檢查喷出後朝檢查區域23移動，第i檢查台朝描畫區域 21移動以接受第1檢查噴出。沖洗單元13通過托架單元4之 正下方’設定台32之端部到達托架單元4之正下方後，開 始對工件W進行描畫。 第2檢查喷出後之第2檢查台14b到達第2圖像識別單元 15b之正下方後，使第2檢查台14b之移動停止。繼而，驅 動第2圖像識別單元1 5b對第2檢查噴出之噴附點進行圖像 識別，並檢查噴出量。與其並行地，第丨檢查噴出後之第1 檢查台14a到達第1圖像識別單元15a之正下方後，使第丄檢 查台14a之移動停止，驅動第1圖像識別單元15a對第}檢杳 噴出之喷附點進行圖像識別，並檢查喷出不良。另—方 150865.doc •27· 201127500 面，於描畫區域21中，使工件W及托架單元4相對地進行 主掃描及副掃描，根據特定之喷出圖案對工件w進行描 畫。於對工件w之描畫結束後，使設定台32移動至材料去 除供給區域24，實施工件W之材料去除供給及工件貿之對 準。又，與其並行地’實施對托架單元4之沖洗單元13之 沖洗。繼而，使喷出檢查結束後之第i檢查台14a再次移動 至描畫區域21附近而成為待機狀態。 於該情形時，副腔室81於第1檢查片材51(第2檢查片材 S2)之更換時，開放開閉門84以收容移動而來之第2檢查台 14b、或者第1檢查台】4a及第2檢查台丨4b，將開閉門84閉 合後，對内部環境進行大氣置換。繼而，作業者於副腔室 81内更換第1檢查片材81(第2檢查片材82)後，將副腔室81 之内部環境置換為與主腔室82之内部環境相同之氮或乾燥 二氣其後’開放開閉門84，將第1檢查台i4a及第2檢查 台14b移動至主腔室82以供檢查喷出。 藉此’於副腔室81内，能夠更換第1檢查台及第2檢 查台14b之各自之第1.第2檢查片材81、S2，因而於第丨·第2 檢查片材SI、S2之更換時，無需使液滴喷出裝置j停止。 又，因人工作業所產生之大氣亂流、灰塵及塵埃等不會對 主腔室82内之描晝區域21之處理造成影響。 <第2實施形態：雙台> 其次，參照圖7至圖1〇，對本發明之第2實施形態之液滴 喷出裝置1進行說明。再者，為了避免重複之記載而主要 說明與第1實施形態不同之部分。如圖7所示，液滴喷出裝 150865.doc •28· 201127500 置1包括.-對設定台32，沿χ軸方向延伸且主要經由一對 〇又疋〇 32使工件w在X軸方向上交替移動之χ軸桌台2，以 橫跨X軸桌台2之方式架設且沿γ轴方向延伸之γ轴桌台3， 移動自如地吊射於γ軸桌台3且分別搭載有複數個（⑵固）功 能液滴喷出頭8之13個托架單元4。再者，於本實施形態 中，本發明技術方案所提及之移動機構包含χ轴桌台2。 又，液滴喷出裝置1包括：配設於維護區域22之抽吸單 元11及擦拭單元12，搭載於χ軸桌台2之沖洗單元13、重量 測定台16及一對檢查台14，配設於各檢查區域23a、之几之 -對圖像識別單元1 5 ’ u面向後述之材料去除供給區域24 之方式配設之一對材料去除供給機械手丨7(材料去除供給 機構）及一對對準單元18，對該等構成裝置進行總括控制 之控制裝置，及收容該等構成裝置之腔室7。再者，γ軸桌 台3、各托架單元4、功能液滴喷出頭8、抽吸單元i】、擦 拭單元12、沖洗單元13、檢查台14、圖像識別單元Η與第 1實施形態為相同結構，因而省略其說明。 於X軸桌台2及Y軸桌台3之交叉區域設定有對工件w進行 描畫動作之描晝區域21，於自描畫區域21向¥軸方向之外 側一方偏離之位置設定有進行功能液滴噴出頭8之保養 維護區域22。又，於自描畫區域21向丫軸方向偏離之^ 側，設定有進行工件W之材料去除供給之2個材料去除供 給區域24。進而，於自各材料去除供給區域以向丫轴方向 偏離之兩侧’設定有進行功能液滴喷出頭8之噴出檢杳° 個檢查區域23。 150865.doc -29- 201127500 並且，2個材料去除供給區域24由一方（圖7中上側）之第 1材料去除供、給區域24a及另—方（圖7tT側）之第2材料去 除供給區域24b構成。又，2個檢查區域23由一方（圖7中上 側）之第！檢查區域23a及3 —方（圖7中下側）之第2檢查區域 2 3 b構成。 一對設定台32由第〗設定台32a及第2設定台32b構成，分 別搭載於X軸桌台2上。各設定台32a(32b)包括吸附設定工 件W之吸附台91及朝θ方向旋轉自如地支持吸附台之旋 2機構92。同樣地，一對檢查台14由第丨檢查台14&及第2 j查台14b構成。又，一對圖像識別單元15由第丨圖像識別 早^〇15a及第2圖像識別單元15b構成。進而，一對材料去 除供給機械手17由第丨材料去除供給機械手17a及第2材料 去除供給機械手17b構成，一對對準單元18由第丨對準單元 18a及第2對準單元18b構成。 X軸桌台2包括··一對X軸導軌31，使第丨設定台32&沿又 軸導轨31移動'第丨設定台移動機構33a，使第2設定台32b 沿X軸導執31移動之第2設定台移動機構33b，使沖洗單元 13及重量測定台16作為一體沿χ軸導執31移動之共有台移 動機構36，使第1檢查台143沿父軸導軌31移動之第丨檢查台 移動機構35a，及使第2檢查台14b沿X軸導軌31移動之第2 檢查台移動機構35b。 X軸桌台2使第1設定台32a於描畫區域21及第丨材料去除 供給區域24a間自如移動，並且使第2設定台32b於描晝區 域21及第2材料去除供給區域24b間自如移動。又，χ軸桌 150865.doc •30· 201127500 台2使第1檢查台14a於描畫區域21及第1檢查區域23a間自 如移動’並且使第2檢查台i4b於描畫區域21及第2檢查區 域23b間自如移動。 第1·第2兩設定台移動機構33a、33b、共有台移動機構 36、第1·第2兩檢查台移動機構35&、351>係由與該等機構 對應之馬達驅動（線性馬達）之滑件而構成，第丨.第2兩設定 台移動機構33a、33b、共有台移動機構36、第丨.第2兩檢 查台移動機構35a ' 35b係構成為於X軸導軌3丨上可個別地 移動。又，一對X軸導軌31及線性馬達之定子（省略圖示） 跨及第1檢查區域23a、第1材料去除供給區域24a、描畫區 域21、第2材料去除供給區域24b及第2檢查區域23b而延 伸。即，X軸桌台2可使第丨·第2兩設定台32&、32a、沖洗 單元13、重量測疋台16及第1.第2兩檢查台丨“、14b於共 同之移動軸上個別地移動。 沖洗單元13配設於第1設定台32a及第2設定台3几之間， 且構成為藉由X軸桌台2可於第1材料去除供給區域24a及第 2材料去除供給區域24b間移動。重量測定台16配設於第i 設定台32及第2設定台似間，且構成為藉由又軸桌台2可於 第1材料去除供給區域24a及第2材料去除供給區域24b間移 動。各檢查台i4a' 14b相對於各設定台仏、奶配設於χ 軸方向外側，並接受來自功能液滴喷出頭8之檢查喷出。 重量測定台16共有複數個電子天平、承接電子天平之複數 張托盤（均省略圖示），對自功能液滴喷出頭㈣出之功能液 之重量進行敎。電子天平於功能液滴噴出頭㈣出功能 I50865.doc 201127500 、、之前後測定托盤之重量’根據喷出前後之托盤之重量 刀而可測定出所喷出之功能液之重量。並且，根據算 出之力此液之平均喷出量來修正功能液滴喷出頭8之驅動 電堅再者中洗單70 13與重量測定台16亦可-體地單元 化° 再者於上述腔室7中，分隔有覆蓋描畫區域21及第卜 第2材料去除供給區域24a、m之主腔⑽、及分別覆蓋 第1第2才欢查區域23a、23b之一對副腔室81，於各副腔室 81内亦可進行沖洗單元13及重量測定台μ之保養（墨水 及收材料或托盤之更換等）。如此，不會對描畫造成影響 而可實施沖洗單元13及重量測定台16之保養。 各材料去除供給機械手17a、17b|x軸桌台2之外側面向 各材料去除供給區域24a、24b，對於移動至各材料去除供 給區域24a、24b之各設定台32a、32b，自設定台32對完成 描晝之工件W進行材料去除，並且將新的工件|之材料供 給至各設定台32a、321^再者，該情形時之材料去除供給 動作係包含工件界之更換（搬入.搬出）及設定之工件w之對 準。並且，該材料去除供給動作可於對另一方之設定台 32a、32b進行描畫動作之期間實施。 其次，參照模式性地表示第1設定台32a、第2設定台 32b、第1檢查台i4a、第2檢查台14b、沖洗單元13及重量 測定台16之位置關係之圖8，對液滴喷出裝置1之一連串動 作進行說明。首先，設定為對準狀態之工件w之第丨設定 台32a位於第1材料去除供給區域24a ’第1檢查台14a位於 150865.doc •32- 201127500 第1檢查區域23a(同圖（a))。自該狀態起，使第1設定台32a 及第1檢查台14a朝描畫區域21移動，首先第1設定台32a之 先行端部到達托架單元4之正下方（描畫區域21)後，開始進 行對工件W之第1通行（往向移動）之描畫動作（同圖（b))。繼 而，第1檢查台14a到達托架單元4之正下方後實施第】檢查 喷出（同圖（c))。 第1檢查台14a於結束檢查喷出時，與第】設定台32&之來 向移動同步地，移動至第丨圖像識別單元15a之正下方藉 由第1圖像識別單元15a而供喷出檢查（同圖（d))。另一方 面’於描畫區域21中’-邊使工件W沿主掃描方向(X軸方 向）複數次往返移動’―邊自功能液滴喷出頭8根據特定之 喷出圖案對工進行摇畫動作（同圖⑷）。#，於描畫動 作中之第旧行之往向移動(亦可為來向移動)時實施約檢 查噴出，於第2通行之來向移動時第丨檢查台14移動至第1 檢查區域23 ’ f出檢查開始。於開始喷出檢查之時間點， 持續進行描畫動作，直至完成該描畫動作為止（實質上第i 設定台32a回到第丨材料去除供給區域24a為止）， 結束：另-方面’在此期間，於第2材料去除供給區域2仆 中藉由第2材料去除供給機械手17b及第2對準單元i8b而 對於第2設定台32b進行工㈣之材料去除供給（更換） 工件W之對準^ 第1設定台…於結束最終往向移動動作時，移動至第1 材料去除供給區域24ae與該第!設定台❿之向第削 除供給區域24a之移動同步地，重量測定台16、沖洗單元 I50865.doc •33· 201127500 13第2 5又疋台32b及第2檢查台14b以追隨第1設定台32a之 方式朝第1材料去除供給區域24a移動（同圖（e))〇再者，重 量測定台16視需要移動至托架單元4之正下方，自功能液 滴喷出頭8接受重量測定喷出，同樣地沖洗單元13亦視需 要接受沖洗（同圖（e))。 第1設定台32a、沖洗單元13及重量測定台16移動至第i 材料去除供給區域24a後，此次使第2設定台32b及第2檢查 台14b朝描晝區域21移動。首先，實施對第2設定台3几之 工件W之第1通行（往向移動）之描晝動作（同圖⑺），繼而， 對第2檢查台14b實施檢查噴出（同圖（g))。 第2檢查台14b於結束檢查噴出時，與第2設定台3孔之來 向移動同步地，移動至第2圖像識別單元15b之正下方，以 供喷出檢查（同圖（h))。另一方面，於描畫區域21中一邊 使工件料主掃描方向複數次往返移動，—邊自功能液滴 喷出頭8根據特定之喷出圖案對卫件w進行描畫動作（同圖 ㈨）。即，於描晝動作中之第〗通行之往向移動時實施第】 檢查喷出，於第2通行之來向移動時第〗檢查台14移動至第 1檢查區域23，從而開始喷出檢查。於開始噴出檢查之時 間點’持續進行描晝動作直至該描畫動作完成為止，從而 結束喷出檢查。另一方面，在此期間，於第顷料去除供 、。區域24a中，藉由第1材料去除供給機械手及第2對準 單元18b對第i設定台32a進行工㈣之材料去除供給（更換） 與新工件W之對準。 藉由重複以上之步驟，可交替實施—併進行對工件*之 I50865.doc • 34 · 201127500 描畫動作之檢查噴出及喷出檢查。再者，因於對工件％之 描畫動作中進行噴出檢查，故而於喷出檢查之結果為^^^^ 之情形時，中止工件W之描晝動作，實施托架單元4(功能液 滴噴出頭8)之功能恢復與工件w之更換（材料去除供給）。 又’於本實施形態中，在每次對工件W進行描畫動作時 進行喷出檢查及喷出檢查，但亦可以複數次描畫動作為單 位而進行。即，例如，於每進行2次描畫動作時實施噴出 檢查之情形時，在藉由第1圖像識別單元15a實施喷出檢杳 之期間’對設定於第1設定台32a及第2設定台32b之工件w 完成描畫動作。於該情形時，可進一步確保檢查時間，進 一步實施精密之噴出檢查（省略圖示）。 根據以上之構成，對一對設定台32交替實施描畫動作， 並且使用一對檢查台14交替實施與描晝動作一併進行之檢 查噴出及喷出檢查’藉此可連續交替地實施對工件w之描 晝動作及功能液滴噴出頭8之喷出檢查。又，於實施對一 方之設定台32b(32a)之工件W之描畫期間，可實施一方之 圖像識別單元15a( 15b)之喷出檢查，從而可縮短相對於工 件W之描晝動作之工序作業時間，並且可充分確保喷出檢 查之時間。 <第1變型例：雙台> 其次，參照圖9對本發明之第丨變型例之液滴噴出裝置i 進行說明。再者，為了避免重複記載，主要對不同之部分 進行說明。該液滴噴出裝置丨中，沖洗單元13及重量測定 台16配設於第1檢查台14a或者第2檢查台Mb之移動方向外 150865.doc -35- 201127500 侧’第1檢查台移動機構35a或者第2檢查台移動機構35b(X 軸桌台2)使第1檢查台14a或者第2檢查台14b與沖洗單元π 及重量測定台16作為一體，於描畫區域21及第1檢查區域 23a或者第2檢查區域23b間移動。再者，該情形之描畫動 作、檢查喷出及喷出檢查與上述第2實施形態相同，因而 此處省略其說明。 藉此，因沖洗單元13及重量測定台丨6配設於比第1 (第2) 檢查台14a(14b)更外側，故而於第丨（第2)檢查區域23a(23b) 中，無關於描畫動作而可進行檢查片材8之更換（保養）、 或積存於沖洗單元13中之功能液之廢液處理（保養）。 <第2變型例：雙台> 其次，參照圖10對本發明之第2變型例之液滴噴出
可維持功能液滴喷出頭8之噴出 霞測定台16之保養。 之情形，亦可實施沖 由性能。進而構成為 150865.doc -36 * 201127500 各沖洗單元Ua、Bb及各設定台32a、32b可—體地移動， 因而可簡化各沖洗單元13a、13b及各設定台32a、32b之移 動系統。 【圖式簡單說明】 圖1係第1實施形態之液滴喷出裝置之平面模式圖. 圖2係功能液滴喷出頭之外觀立體圖； 圖3係用於說明第丨實施形態之液滴噴出萝 罝之—連串動 作之說明圖； 圖4係第1變型例之液滴喷出裝置之平面模式圖； 圖5係第2變型例之液滴喷出裝置之平面模式圖· 圖6係用於說明第2變型例之液滴噴出裝 之說明圖； 連串動作 圖7係第2實施形態之液滴喷出裝置之平面模式圖. 圖8係用於說明第2實施形態之液滴噴出裝置之一 作之說明圖； 率動 圖9係第1變型例之液滴喷出裝置之平面模式圖；及 圖10係第2變型例之液滴噴出裝置之平面模式圖。 【主要元件符號說明】 1 液滴喷出裝置 2 移動機構 3 Y軸桌台 4 托架單元 5 維護裝置 6 噴出檢查裝置 150865.doc -37- 201127500 7 腔室 8 功能液滴喷出頭 11 抽吸單元 11a 個別抽吸單元 12 擦拭單元 13 沖洗單元 14 檢查台 14a 第1檢查台 14b 第2檢查台 15 圖像識別單元 15a 第1圖像識別單元 15b 第2圖像識別單元 16 重量測定台 17 材料去除供給機械手 17a 第1材料去除供給機械手 17b 第2材料去除供給機械手 18 對準單元 18a 第1對準單元 18b 第2對準單元 21 描晝區域 22 維護區域 23 檢查區域 23a 第1檢查區域 23b 第2檢查區域 150865.doc -38- 201127500 24 材料去除供給區域 24a 第1材料去除供給區域 24b 第2材料去除供給區域 25 次維護區域 31 X軸導軌 32 設定台 32a 第1設定台 32b 第2設定台 33 設定台移動機構 33a 第1設定台移動機構 33b 第2設定台移動機構 34 沖洗移動機構 35 檢查台移動機構 35a 第1檢查台移動機構 35b 第2檢查台移動機構 36 共有台移動機構 41 Y軸導執 42 托架移動機構 51 功能液導入部 52 頭基板 53 頭本體 54 連接針 55 泵部 56 喷嘴板 150865.doc -39- 201127500 57 喷出喷嘴 58 喷嘴面 59 喷嘴列 61 檢查桌台 62 抽出機構 63 捲取機構 64 第1檢查喷出區域 65 第2檢查喷出區域 71 相機 72 相機台 73 相機框 74 支柱 75 相機導件 81 副腔室 82 主腔室 83 主腔室開口 84 開閉門 85 副腔室開口 91 吸附台 92 旋轉機構 S 檢查片材 SI 第1檢查片材 S2 第2檢查片材 W 工件 150865.doc -40-