CN103918350A - 喷墨式喷涂装置以及喷墨式喷涂方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于，抑制被喷涂在基板上的印刷液的干燥不匀。本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置具有喷头模块(12)，该喷头模块(12)具有第1喷头组(12A)和第2喷头组(12B)。在将基板S的整个表面区域看做由沿X轴方向划分成的多个区域(R1～R6)构成时，第1喷头组(12A)对规定的第1区域组(R1、R3、R5)喷涂印刷液的液滴。第2喷头组(12B)配置在相对于第1喷头组(12A)在Y轴方向上偏移规定距离(H)的位置上，对上述多个区域中剩余的第2区域组(R2、R4、R6)喷涂印刷液的液滴。此时，控制支承基板(S)的支承台(11)移动，以使由第1喷头组(12A)喷出的液滴落在基板(S)上之后到由第2喷头组(12B)喷出的液滴落在基板上时的时间在规定时间以内。
Description
技术领域
本发明涉及一种喷墨式喷涂装置以及喷墨式喷涂方法，用于例如在基板上喷出含有有机EL材料的印刷液滴，以形成有机EL元件。
背景技术
喷墨印刷法，由于能够精确地将印刷液滴落在基板上的规定位置上，被广泛用于制造液晶显示器或有机EL显示器的工序中，其印刷液例如可采用含有间隔粒子或有机发光材料的印刷液。例如，在下述专利文献1中记载有按照喷墨法形成间隔物(Spacer)的方法，在下述专利文献2中记载有按照喷墨印刷法形成R(红)、G(绿)、B(蓝)各有机发光材料层的方法。
喷墨式喷涂装置，典型的是，具有一个或多个喷头，喷头具有以规定间距形成的、用于喷墨的喷嘴(喷口)，使基板在一个(坐标)轴方向上相对于该喷头水平移动的同时，由喷头对基板上的多个位置喷涂液滴。
另外，在使用喷墨印刷法处理大型的基板时，使基板在上述一个轴方向上移动之后，在垂直于上述一个轴方向的水平方向上移动，从而使该基板与喷头的相对位置发生变化，再次在上述一个坐标轴方向移动。根据需要重复这样的操作，使液滴被喷涂在基板的整个表面上(参照专利文献1)。
专利文献1：日本发明专利公开公报特开2011-147861号
但是，在像上述那样使基板相对于喷头反复往复移动的方法中，在先被喷涂液滴的的区域和后被喷涂的液滴的区域之间，会产生液滴干燥不匀的问题。在使用像例如含有有机EL材料的印刷液这样的较为容易干燥的印刷液时，上述问题尤为突出。干燥不匀会引起有机EL层的厚度和形状的偏差，导致画质降低。
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种能够抑制被喷涂在基板上的印刷液的干燥不匀的喷墨式喷涂装置以及喷墨式喷涂方法。
为了实现上述目的，本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置具有支承台、第1喷头模块、移动机构、控制器。
上述支承台具有分别与第1轴方向和垂直于上述第1轴方向的第2轴方向平行的支承面，能够将基板支承在上述支承面上。
上述第1喷头模块具有第1喷头组和第2喷头组。在将上述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿上述第1轴方向划分成的多个区域构成时，上述第1喷头组对上述多个区域中规定的第1区域组喷涂印刷液的液滴。上述第2喷头组配置在相对于上述第1喷头组在上述第2轴方向上偏移规定距离的位置上，对上述多个区域中剩余的第2喷头组喷涂印刷液的液滴。
上述移动机构能够使上述支承台在上述第2轴方向上移动。
上述控制器控制上述移动机构，以使由上述第1喷头组喷出的上述液滴落在上述基板上之后到由上述第2喷头组喷出的上述液滴落在上述基板上时的时间在规定时间以内。
本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂方法包括：将基板配置在分别与第1轴方向和垂直于第1轴方向的第2轴方向平行的支承面上。
调整上述多个喷墨头部的各个喷嘴间距，以使得，在将上述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿上述第1轴方向划分成的多个区域构成时，对应于上述多个区域的由多个喷墨头部所喷出的墨水的液滴在上述第1轴方向上以规定间距落在上述基板上，
使上述支承面相对于上述多个喷头部在上述第2轴方向上移动。
对上述多个区域中每隔一个所被选择出来的第1区域组喷出上述液滴，
在对上述第1区域组喷出印刷液的液滴后的规定时间以内，对上述多个区域中剩余的第2区域组喷出上述液滴。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置的俯视示意图。
图2是表示上述喷墨式喷涂装置的侧视示意图。
图3是表示上述喷墨式喷涂装置中的喷头的印刷液喷出面的主要部分的放大图。
图4是说明上述喷墨式喷涂装置的作用的俯视示意图。
图5是表示本发明的其他实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置的俯视示意图。
具体实施方式
本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置具有支承台、第1喷头模块、移动机构。
上述支承台具有分别与第1轴方向和垂直于上述第1轴方向的第2轴方向平行的支承面，能够将基板支承在上述支承面上。因此，配置在支承面上的基板的表面属于与上述第1轴方向和垂直于上述第1轴方向的第2轴方向平行的平面。
上述第1喷头模块具有第1喷头组和第2喷头组。在将上述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿上述第1轴方向划分成的多个区域构成时，上述第1喷头组对上述多个区域中规定的第1区域组喷涂印刷液的液滴。上述第2喷头组配置在相对于上述第1喷头组在上述第2轴方向上偏移规定距离的位置上，对上述多个区域中剩余的喷头组即第2喷头组喷涂印刷液的液滴。
上述移动机构使上述支承台在上述第2轴方向上移动。上述控制器控制上述移动机构，以使由上述第1喷头组喷出的上述液滴落在上述基板上之后到由上述第2喷头组喷出的上述液滴落在上述基板上时的时间在规定时间以内。
根据上述喷墨式喷涂装置，通过使基板相对于第1喷头模块移动一次，便能够将印刷液的液滴喷涂在基板的整个表面区域上。从而能够提高生产效率。另外，通过将由第1喷头组喷出的液滴落在基板上之后到由第2喷头组喷出的液滴落在基板上时的时间设定在规定时间以内，能够抑制被喷涂在基板上的印刷液的干燥不匀。从而能够抑制印刷液层的厚度和形状产生偏差，实现高品质的打印工序。
上述规定时间可以通过采用如下等适当的方法来进行调整：调整支承台的移动速度，或者，调整第1喷头组和第2喷头组间的上述偏移的大小。另外，上述规定时间可以被设定为不会产生印刷液的干燥不匀的适当的时间，典型的是，根据印刷液的干燥速度来设定上述规定时间。作为上述规定速度，例如可以设定在10秒以下。
上述支承台还可以具有冷却机构，该冷却机构用于将上述支承面上的基板冷却到规定温度以下。从而能够调整被喷涂在基板上的液滴的干燥速度，因此能够更容易抑制被喷涂在基板上液滴的干燥不匀。上述冷却机构典型的是可以采用使冷却水在支承台的内部循环的机构。
基板的冷却温度并没有特别限定，可以根据印刷液的干燥速度等进行适当的设定。基板温度过高，会加速印刷液的干燥，基板温度过低，会使基板产生结露现象。典型的是，基板温度例如被设定在20℃以下。
支承面上的基板被假设划分出来的多个区域被划分为由第1喷头组处理的第1区域组和由第2喷头组处理的第2区域组。第1区域组和第2区域组怎么选定都可以，例如，分别由每隔一个所被选择出来的多个区域构成。从而，能够减小构成第1和第2喷头组的各个喷头大小的限制，以及能够提高各喷头的设置布局。
构成第1喷头组和第2喷头组的各喷头怎么配置都可以，既可以沿上述第1轴方向配置，又可以沿相对于上述第1轴方向倾斜交叉的水平方向配置。
分别构成第1喷头组和第2喷头组的多个喷头分别具有多个液滴喷出用喷嘴。在这种情况下，第1喷头组和第2喷头组可以具有调整机构，上述调整机构能够调整上述多个喷头相对于基板的位置，以使由上述多个液滴喷出用喷嘴所喷出的液滴沿上述第1轴方向以规定间距落在基板上。作为上述调整机构，典型的是，由能够以基板的法线方向为轴线方向分别使喷头转动的机构构成。从而能够沿第1轴方向以规定的间距将液滴喷涂在基板上。
上述印刷液可以含有用于形成有机EL(Electro-Luminescence，电致发光)元件的有机EL材料。从而能够抑制有机EL层的厚度和形状的偏差，稳定地制造出高画质的有机EL显示器。
上述喷墨式喷涂装置还可以具有第2喷头模块和第3喷头模块。
上述第2喷头模块在上述第2轴方向上与所述第1喷头模块排列成一列，具有与上述第1喷头模块相同的结构。上述第3喷头模块在上述第2轴方向上与上述第1和第2喷头模块排列成一列，具有与上述第1喷头模块相同的结构。
在这种情况下，上述第2喷头模块用于喷出含有第2有机EL材料的印刷液的液滴，上述第2有机EL材料的(发光)颜色与由上述第1喷头模块所喷出的第1有机EL材料的(发光)颜色不同，
上述第3喷头模块用于喷出含有第3有机EL材料的印刷液的液滴，上述第3有机EL材料的(发光)颜色与由上述第1和第2喷头模块分别喷出的第1和第2有机EL材料的(发光)颜色不同。
从而，由于仅使基板向上述第2轴方向移动一次，例如便能够在基板上连续形成R、G、B有机EL层，因而能够提高有机EL显示器的生产效率。
本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂方法包括：将基板配置在分别与第1轴方向和垂直于第1轴方向的第2轴方向平行的支承面上。
调整上述多个喷墨头部的各个喷嘴间距，以使得，在将上述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿上述第1轴方向划分成的多个区域构成时，对应于上述多个区域的由多个喷墨头部所吐出的墨水的液滴在上述第1轴方向上以规定间距落在上述基板上，
使上述支承面相对于上述多个喷头部在上述第2轴方向上移动，
对上述多个区域中每隔一个所被选择出来的第1区域组喷出上述液滴，
在对上述第1区域组喷出印刷液的液滴后的规定时间以内，对上述多个区域中剩余的第2区域组喷出上述液滴。
根据喷墨式喷涂方法，通过使基板相对于第1喷头模块移动一次，便能够将印刷液的墨滴喷涂在基板的整个表面区域上。从而能够提高生产效率。另外，在对第1区域组喷出印刷液的液滴后的规定时间以内，对第2区域组喷出印刷液的液滴，从而能够抑制印刷液的厚度和形状的偏差，实现高品质的打印工序。
下面，参照附图说明本发明的实施方式。
<第1实施方式>
图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置的俯视示意图，图2是该喷墨式喷涂装置的侧视示意图。在各图中，X轴和Y轴表示相互垂直的位于水平面内的方向，Z轴表示分别与X轴和Y轴垂直的铅直方向。
本实施方式的喷墨式喷涂装置1具有：支承台11，其支承基板S；喷头模块12，其对支承台11上的基板S喷涂印刷液液滴；移动机构13，其使支承台在一个(坐标)轴方向上移动。
基板S由大致呈矩形的玻璃基板构成。基板S的大小并没有特别限定，例如，横长为1850mm、纵长为1500mm。作为基板S，除上述以外，也可以由金属、塑料、纸等板状、片状或薄膜状的基材构成。另外，基板S并不局限于单层结构，也可以具有如下形成的多层结构：在表面上层积绝缘膜和导电膜等固态膜或形成为规定形状的功能膜。
支承台11设置在底座部10上且能够在Y轴方向上移动。支承台11具有支承基板S的支承面11a。支承面11a属于分别与X轴方向和Y轴方向平行的平面(XY平面)，在本实施方式中，由大致呈矩形的平坦的面构成。支承台11也可以具有用于将基板S保持在支承面11a上的各种夹持机构。
喷墨式喷涂装置1具有冷却机构14，该冷却机构14用于将支承台11的支承面11a冷却到规定温度以下。冷却机构14例如包括：冷却水的循环通路，其形成于支承台11的内部；泵单元，其使冷却水在该循环通路中循环。冷却机构14使支承面11a维持在20℃以下，优选18℃以下，从而将支承在支承面11a上的基板S冷却到该温度。上述泵单元既可以安装在支承台11上，也可以通过供冷却水经过的具有柔软性的管部件设置在底座部10上或除此之外的其他部位上。
移动机构13包括：一对导轨13a、13b，其设置在底座部10上；线性电动机等驱动源，其使支承台11沿导轨13a、13b移动；控制部，其控制上述驱动源。一对导轨13a、13b在Y轴方向上平行延伸，支承台11设置在导轨13a、13b上。上述驱动源配置在支承台11的内部，由上述控制部对沿导轨移动的支承台11进行高精度的移动控制。
喷头模块12具有多个喷头121、122、123、124、125、126。喷头121～126对沿导轨13a、13b在Y轴方向上移动的支承台11上的基板S的整个表面喷涂规定的印刷液的液滴D。
在假设将支承台11上的基板S的整个表面划分为沿X轴方向排列的多个区域R1、R2、R3、R4、R5、R6划分时，喷头121～126分别对应于各上述区域R1～R6配置。在基板S的表面上被划分的区域R1～R6分别是长度方向与Y轴方向平行、宽度方向与X轴方向平行的矩形，喷头121～126分别在X轴方向和Y轴方向上以规定的间距对各区域R1～R6喷涂印刷液液滴D。
上述多个区域R1～R6被划分为第1区域组RA和第2区域组RB。在本实施方式中，第1区域组RA由多个区域R1～R6中每隔一个所选择出来的多个区域R1、R3、R5构成。第2区域组RB由多个区域R1～R6中剩余的多个区域R2、R4、R6构成。
第1区域组RA由喷头121、123、125进行处理。即，喷头121、123、125分别对构成第1区域组RA的区域R1、R3、R5喷涂液滴D。另外，第2区域组RB由喷头122、124、126进行处理。即，喷头122、124、126分别对构成第2区域组RB的区域R2、R4、R6喷涂液滴D。
喷头121、123、125构成第1喷头组12A。第1喷头组12A通过支承框架120A设置在底座部10的正上方位置上，喷头121、123、125分别以与基板S上的第1区域组RA(R1、R3、R5)相对的方式被定位配置。另外，喷头122、124、126构成第2喷头组12B。第2喷头组12B通过支承框架120B设置在底座部10的正上方位置上，喷头122、124、126分别以与基板S上的第2区域组RA(R2、R4、R6)相对的方式被定位配置。
喷头模块12具有多个转动机构部M(调整机构)，该转动机构部M能够使喷头121～126分别以Z轴为中心转动。这些转动机构部M分别设置在支承框架120A、120B上，能够使喷头121～126分别各自以Z轴为中心在规定角度范围内转动。这些转动机构部M由控制器15控制。
控制器15典型的是由包括CPU和各种存储器的计算机构成。控制器15控制驱动喷头模块12、移动机构13、冷却机构14等各种机构部。控制器15设置在底座部10上，但是也可以设置在与底座部10不同的位置上。
各喷头121～126具有形成有多个液滴喷出用喷嘴(喷口)的印刷液喷出面。图3是表示喷头121的印刷液喷出面121s的主要部分的放大图。印刷液喷出面121a大致呈长方形，多个液滴喷出用喷嘴(喷口)N以规定间距p0沿该印刷液喷出面121a的长度方向形成。各个液滴喷出用喷嘴N与未图示的印刷液盒相连接，在各个液滴喷出用喷嘴N上配置有用于喷出规定量的印刷液的压电驱动部V。液滴喷出面121s各种规定距离与经过其正下方的基板S的表面相面对配置。
转动机构部M通过使喷头121以Z轴为中心转动来调整沿X轴方向的液滴的喷出间距。例如，图3中(A)表示使喷头121以Z轴为中心相对于X轴倾斜角度θ1时的沿X轴方向的液滴的喷出间距由Po转变为P1的状态，图3中(B)表示使喷头121以Z轴为中心相对于X轴倾斜角度θ2(θ2＞θ1)时的沿X轴方向的液滴的喷出间距由Po转变为P2的状态。这样，通过喷头121的转动角度能够使沿X轴方向的液滴的喷出间距连续变化。
喷头122～126也具有与喷头121相同的结构。各喷头121～126的沿X轴方向的液滴的喷出间距被设定为相同的间距。沿X轴方向的液滴的喷出间距根据被喷涂在基板S上的液滴的种类或工序来作适当的调整。
构成第1喷头组12A的喷头121、123、125沿其各自的长度方向在同一直线上排列。构成第2喷头组12B的喷头122、124、126沿其各自的长度方向在同一直线上排列。代替于此，构成第1和第2喷头组12A、12B的各个喷头可以沿X轴方向排列。
第2喷头组12B配置在于基板S的移动方向(Y轴方向)上偏离(离开)第1喷头组12A的位置上。这样，喷头121～126对应于基板S上的整个区域R1～R6而配置，因而，使基板S向Y轴方向移动一次，便能够对基板S的整个表面区域喷涂印刷液的液滴。从而能够提高对基板S的液滴喷涂工序的效率以及生产效率。
图4是表示由喷头模块12对基板S的表面喷涂液滴时的状态的俯视示意图。基板S沿Y轴方向以规定速度向箭头A所示方向移动而经过喷头模块12的正下方。基板S的表面，由其始端S1到终端S2被喷涂上由喷头模块12喷出的液滴D。
液滴D在X轴方向和Y轴方向上以一定的间距px、py被喷涂。间距px通过由转动机构部M所控制的喷头121～126的转动角度来调整，间距py通过喷头121～126喷出液滴D的时刻来调整。形成于基板S上的液滴层可以通过一次喷出液滴D的方式形成，也可以通过多次喷出液滴D的方式形成。
在本实施方式中，如上所述，喷头模块12由第1喷头组12A和第2喷头组12B构成，第1喷头组12A配置在第2喷头组12B的上游一侧。因此，如图4所示，首先，由第1喷头组12A(喷头121、123、125)开始对基板S上的第1区域组RA(R1、R3、R5)喷出液滴D，然后，由第2喷头组12B(喷头122、124、126)开始对基板S上的第2区域组RB(R2、R4、R6)喷出液滴D。
这里，如果由一个喷头以规定的间距对基板上的一个区域喷涂多个液滴组，那么在液滴组的中央侧和液滴组的端部侧之间，液滴的干燥速度容易出现差异。这是由于，由液滴组挥发的溶剂成分的蒸汽密度因液滴组的位置不同而不同，通常位于液滴组外侧的液滴的干燥速度比位于液滴组内侧的液滴的干燥速度快。因此，当位于液滴组外侧的液滴开始干燥时，位于液滴组的内侧还未干燥的液滴在干燥时会发生向外侧的形状变化。由于像这样的干燥不匀会导致液滴层的形状和高度产生偏差，从而难以实现高品质的液滴喷涂处理。
因此，在本实施方式中，控制器15控制移动机构13，以使由第1喷头组12A喷出的液滴落在基板S上之后到由第2喷头组12B喷出的液滴落在基板S上时的时间在规定时间以内。作为上述规定时间，被设定为适当的时间，在该时间内不会产生被喷涂在第1区域组RA上的液滴D的干燥不匀。
在本实施方式中，由于第1区域组RA由每隔一个所被选择出来的多个区域R1、R3、R5构成，因而在这些区域被喷涂上液滴之后，与这些区域相邻的第2区域组RB(R2、R4、R6)在上述规定时间内被喷涂上液滴。从而能够相对性地推迟位于先被喷涂的液滴组的外侧的液滴的干燥，因此能够在不产生干燥不匀的情况下以相同的方式在基板S的整个表面区域上形成液滴层。
上述规定时间根据第1喷头组12A和第2喷头组12B之间的偏移量(离开距离)H、支承台11的移动速度等来作调整。在本实施方式中，控制支承台11的移动，以使上述规定时间在10秒以内，优选在7秒以内。在这种情况下，通过将偏移量H设定为600mm以下，将支承台11的移动速度设定为70mm/sec以上，能够确保上述规定时间。
另外，上述规定时间可以根据构成液滴D的印刷液的种类和喷涂间距等来作适当的选择。由于将上述规定时间设定在10秒以下，因而，即使在将本发明适用于构成有机EL层的印刷液材料的情况下，也能够抑制印刷液层的厚度和形状产生偏差。尤其是，由于有机EL层的辉度因厚度的不同而不同，因而通过采用上述结构能够在基板S的整个表面区域上形成具有相同辉度的有机EL层。
另外，在本实施方式中，由于具有能够将支承台11的支承面11a冷却到规定温度以下的冷却机构14，因而能够通过基板温度来调整被喷涂在基板S上的液滴的干燥速度。从而能够更容易地抑制被喷涂在基板上的液滴的干燥不匀。
还有，在本实施方式中，基板S的整个表明区域被由每隔一个所被选择出来的多个区域构成的第1区域组RA和由剩余的区域构成的第2区域组划分。从而，能够减小对应于各区域组配置的构成喷头组12A、12B的各个喷头121～126的大小的限制，另外，能够提高这些喷头的设置布局的自由度。
<第2实施方式>
图5是表示本发明的第2实施方式所涉及的喷墨式喷涂装置的俯视示意图。下面主要说明与第1实施方式不同的结构，对于与上述的实施方式相同的结构，用相同的附图标记来表示，并省略对其的说明或者对其进行简单说明。
本实施方式的喷墨式喷涂装置2用于将由R(红)、G(绿)、B(蓝)的有机发光材料构成的液滴层喷涂在基板S上，具有第1喷头模块21、第2喷头模块22、第3喷头模块23。
第1喷头模块21以规定间距对基板S的整个表面区域喷涂R发光层，具对应于基板S的整个表面区域上所划分的多个区域(R1～R6，参照图4)的多个喷头。第1喷头模块21具有第1喷头组21A和第2喷头组21B。第1喷头模块21通过支承框架221设置在基台20的正上方位置上。
第1喷头组21A和第2喷头组21B配置在于Y轴方向上偏移规定距离(H)的位置上，详细来说，由于这两者具有与上述第1实施方式中喷头模块12的第1喷头组12A和第2喷头组12B相同的结构，因而，这里省略详细的说明。
第2喷头模块22以规定间距对基板S的整个表面区域喷涂G发光层，具对应于基板S的整个表面区域上所划分的多个区域(R1～R6)的多个喷头。第2喷头模块22具有第2喷头组22A和第2喷头组22B。第1喷头组22A和第2喷头组22B具有与第1喷头模块21的第1喷头组21A和第2喷头组21B相同的结构。第2喷头模块22通过支承框架222设置在基台20的正上方位置上。
第3喷头模块23以规定间距对基板S的整个表面区域喷涂B发光层，具多个对应于基板S的整个表面区域上所划分多个区域(R1～R6)的喷头。第3喷头模块23具有第2喷头组23A和第2喷头组23B。第1喷头组23A和第2喷头组23B具有与第1喷头模块21的第1喷头组21A和第2喷头组21B相同的结构。第3喷头模块23通过支承框架223设置在基台20的正上方位置上。
第1～第3喷头模块21～23沿Y轴方向配置成一列。从而，支承台11上的基板S由图5所示位置向箭头A所示方向移动的同时，被第1喷头模块21、第2喷头模块22、第3喷头模块23依次喷涂R发光层、G发光层、B发光层。
如上所示，根据本实施方式，由于仅使基板S向Y轴方向移动一次，便能够在该基板S的整个表面区域上连续形成R、G、B发光层，因而能够提高有机EL显示器的生产效率。另外，在本实施方式中，也能够在不产生干燥不匀的情况下形成各种颜色的EL层，从而能够稳定地制造出高画质的有机EL显示器。
上面，说明了本发明的实施方式，但是，本发明并不仅局限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨和精神的范围内可以添加各种变化。
例如，在上面的实施方式中，喷头模块如下构成：对应于基板S的表面区域上所划分的多个区域，分别各配置1个喷头，但是，代替于此，可以对应于基板上的各区域，分别配置多个喷头。
另外，在上面的实施方式中，基板S的表面区域被划分为6个区域(R1～R6)，但是区域的数量当然并不局限于此，可以根据基板的大小或喷头的形状来进行适当的变更。
还有，在本实施方式中，由2个喷头组构成1个喷头模块，但是，也可以由3个喷头组构成1个喷头模块。例如，可以将基板S的整个表面区域划分为多个区域，由该多个区域中每隔2个所被选择出来的区域构成第1区域组，由每隔其他2个所被选择出来的区域构成第2区域组，由剩余的区域构成第3区域组，对应于各区域组，配置3个喷头组。在这种情况下，通过将各区域组沿Y轴方向的偏移量设定在上述H以内，从而能够在不产生干燥不匀的情况下在基板上形成规定的液滴层。
【附图标记说明】
1、2：喷墨式喷涂装置；11：支承台；12：喷头模块；12A：第1喷头组；12B：第2喷头组；13：移动机构；14：冷却机构；15：控制器；21：第1喷头模块；22：第2喷头模块；23：第3喷头模块；121、122、123、124、125、126：喷头；D：液滴；M：转动机构部；N：液滴喷出用喷嘴；RA：第1区域组；RB：第2区域组；S：基板。
Claims (9)
1.一种喷墨式喷涂装置，具有支承台、第1喷头模块、移动机构、控制器，其中，
所述支承台具有分别与第1轴方向和垂直于所述第1轴方向的第2轴方向平行的支承面，能够将基板支承在所述支承面上，
所述第1喷头模块具有第1喷头组和第2喷头组，
在将所述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿所述第1轴方向划分成的多个区域构成时，所述第1喷头组对所述多个区域中规定的第1区域组喷涂印刷液的液滴，
所述第2喷头组配置在相对于所述第1喷头组在所述第2轴方向上偏移规定距离的位置上，对所述多个区域中剩余的第2喷头组喷涂印刷液的液滴，
所述移动机构能够使所述支承台在所述第2轴方向上移动，
所述控制器控制所述移动机构，以使由所述第1喷头组喷出的所述液滴落在所述基板上之后到由所述第2喷头组喷出的所述液滴落在所述基板上时的时间在规定时间以内。
2.根据权利要求1所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述规定时间在10秒以内。
3.根据权利要求1或2所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述支承台还具有冷却机构，所述冷却机构用于将所述支承面上的基板冷却到规定温度以下。
4.根据权利要求3所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述规定温度在20℃以下。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述第1区域组由所述多个区域中每隔一个所被选择出来的多个区域构成。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述第1喷头组和所述第2喷头组分别具有多个喷头、调整机构，
所述多个喷头具有多个液滴喷出用喷嘴，
所述调整机构能够调整所述多个喷头相对于基板的位置，以使由所述多个液滴喷出用喷嘴所喷出的液滴沿所述第1轴方向以规定间距落在所述基板上。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
所述印刷液包括用于形成有机EL(Electro-Luminescence)元件的有机EL材料。
8.根据权利要求7所述的喷墨式喷涂装置，其特征在于，
还具有第2喷头模块和第3喷头模块，
所述第2喷头模块在所述第2轴方向上与所述第1喷头模块排列成一列，具有与所述第1喷头模块相同的结构，
所述第3喷头模块在所述第2轴方向上与所述第1和第2喷头模块排列成一列，具有与所述第1喷头模块相同的结构，
所述第2喷头模块用于喷出含有第2有机EL材料的印刷液的液滴，所述第2有机EL材料的颜色与由所述第1喷头模块所喷出的第1有机EL材料的颜色不同，
所述第3喷头模块用于喷出含有第3有机EL材料的印刷液的液滴，所述第3有机EL材料的颜色与由所述第1和第2喷头模块分别喷出的第1和第2有机EL材料的颜色不同。
9.一种喷墨式喷涂方法，包括：
将基板配置在分别与第1轴方向和垂直于第1轴方向的第2轴方向平行的支承面上，
调整所述多个喷头部的各个喷嘴间距，以使得，在将所述支承面上的基板的整个表面区域看做由沿所述第1轴方向划分成的多个区域构成时，对应于所述多个区域的由多个喷头部所喷出的印刷液的液滴在所述第1轴方向上以规定间距落在所述基板上，
使所述支承面相对于所述多个喷头部在所述第2轴方向上移动，
对所述多个区域中每隔一个所被选择出来的第1区域组喷出所述液滴，
在对所述第1区域组喷出印刷液的液滴后的规定时间以内，对所述多个区域中剩余的第2区域组喷出所述液滴。
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