WO2019132104A1

WO2019132104A1 - 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법

Info

Publication number: WO2019132104A1
Application number: PCT/KR2018/001304
Authority: WO
Inventors: 박종운
Original assignee: 한국기술교육대학교 산학협력단
Priority date: 2017-12-29
Filing date: 2018-01-31
Publication date: 2019-07-04

Abstract

본 발명은 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 관한 것으로, 직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와, 하부에 복수개의 마이크로 팁이 돌출된 백 플레이트를 구비하며, 상기 심플레이트에 인접하여 상기 복수개의 마이크로 팁에 대응하는 복수개의 단차 패턴이 하부에 형성된 심 플레이트를 구비하고, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 듀얼 플레이트를 포함함으로써, 마이크로 팁 간의 크로스 토크 현상을 방지하고 스트라이프 코팅막간 간격 및 선폭을 감소시킬 수 있다.

Description

고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법

본 발명은 슬롯 다이 헤드에 관한 것으로서, 특히 슬롯 다이의 마이 크로 팁 간의 간격을 소정 거리 유지하면서 하나의 듀얼 플레이트가 장착된 다이 헤드를 복수개로 배치하거나, 헤드 설치의 변경 또는 헤드 구조 자체를 수정하여 하나의 헤드로 스트라이프 코팅막 수를 증가시킴으로써, 마이크로 팁 간의 크로스 토크 현상을 방지하고 스트라이프 코팅막간 간격 및 선폭을 감소시킬 수 있는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 관한 것이다.

잘 알려진 바와 같이, 일반적으로 슬롯 코팅(Slot-die coating) 기술은 대면적 고균일 다층 유기박막 제작이 가능하며 R2R(roll to roll) 확장성이 우수하여 향후 저가의 유기발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode, 이하 OLED) 디스플레이 및 면광원 제작에 널리 활용될 것으로 기대된다.

여기에서, OLED는 형광 또는 인광 유기물 박막에 전류를 흘리면 전자와 정공이 유기물층에서 결합하면서 빛이 발생하는 원리를 이용한 자체 발광형 소자를 말한다.

이때, 발광층을 구성하는 유기물질에 따라 빛의 색깔이 달라진다.

유기발광 다이오드는 수동형 유기발광 다이오드(Passive Matrix Organic Light-Emitting Diode, PMOLED)와 능동형 유기발광 다이오드(Active Matrix Organic Light-Emitting Diode, AMOLED)로 나뉜다.

PMOLED는 하나의 라인 전체가 한꺼번에 발광하여 구동하는 라인 구동방식인 데 비하여, AMOLED는 발광소자가 각각 구동하는 개별 구동방식이다.

그 중에서 AMOLED는 동영상 응답 속도가 100만분의 1초인 마이크로 세컨드(s) 단위이다.

이는 1000분의 1초인 밀리세컨드(ms) 단위의 TFT LCD에 비하여 1000 배 이상 빠른 것으로, TFT LCD의 문제점으로 지적되던 동영상 잔상을 해결한다.

또한, 자체 발광형이어서 TFT LCD처럼 후면에서 빛을 쏘아주는 백라이트 유닛이 필요 없으므로 두께와 무게를 TFT LCD의 3분의 1 수준으로 줄일 수 있다.

이를 통하여 확보된 공간을 배터리 용량을 늘리는데 할당할 수도 있다.

또한, TFT LCD와 달리 고온과 저온에서 색재현성이 동일하고, 자체 발광형이기 때문에 휘도(밝기)나 보는 각도에 따라 명암비가 달라지지 않는다.

따라서, TFT LCD처럼 밝은 조명 아래서 잘 보이지 않는 경우가 없이 선명하게 잘 보이므로, 시야각 문제도 해결된다.

고선명ㆍ고화질의 화면 구성이 가능한 데다 전력 소모도 적다는 특징을 지니고 있어, 스마트폰과 같이 크기는 작고 고화질을 필요로 하는 제품에 주로 쓰인다.

TFT LCD보다 제조 단가가 비싸 가격 경쟁력이 떨어진다는 단점을 극복하면 와이브로나 DMB 등에서 태블릿 PC와 TV용 패널 등으로 수요가 확대될 모바일 디스플레이 시장에서 확실한 우위를 점할 수 있을 것으로 전망된다.

현재 쓰이는 OLED 디스플레이는 대부분 AMOLED 발광 방식을 이용한다는 점에선 거의 같지만, 소자의 배열 구조에 따라 몇 가지 형식으로 구별되기도 한다.

가장 많이 쓰이는 방식은 3원색(적색, 녹색, 청색)의 OLED 소자를 일정한 간격으로 패널에 수평 배치한 RGB 방식 OLED(이하 RGB-OLED 방식)이다.

이는 3원색의 OLED 소자가 각기 다른 색을 내면서 하나의 픽셀(점, 화소)을 구성한다.

또 하나는 백색으로 발광하는 OLED 소자(내부적으로는 3원색의 소자를 수직으로 쌓아 올려 구성)를 이용해 하나의 픽셀을 구성한 뒤, 여기에 3원색을 투과하는 컬러 필터를 씌워 다양한 색상을 구현하는 화이트 OLED(이하-W OLED) 방식이다.

RGB-OLED는 컬러 필터를 투과하지 않고 화면을 구성하므로 색재현성과 휘도면에서 좀더 유리하다.

반면, W-OLED는 좀더 안정적으로 대량 생산이 가능하다는 점(생산 수율)에서 이점을 가진다.

이 때문에 RGB-OLED는 주로 스마트폰과 같은 작은 화면의 제품에, W-OLED는 TV와 같이 큰 화면의 제품에 주로 쓰인다.

RGB-OLED 방식은 생산 수율을 높이기 위해 하나의 픽셀이 인접 픽셀과 일부 색상의 OLED 소자를 공유해 컬러를 구현하는 펜타일(PenTile) 기술이 적용되기도 한다.

W-OLED 경우, 3원색 외에 백색의 픽셀을 추가해 화질을 개선하는 WRGB 방식을 도입하기도 하는 등, 각자의 단점을 보완하기 위한 시도도 이루어지고 있다.

OLED는 향후 LCD를 대체해 차세대 디스플레이 시장의 주류가 될 것으로 예측되고 있다.

현재 이러한 OLED 제품은 모두 고가의 진공 증착(Vacuum evaporation) 장비에 의해 제작되고 있다.

한 보고에 따르면, 진공 증착 방식 대비 용액 공정(Solution process)으로 AMOLED 디스플레이 패널을 제작할 경우 약 40 %정도의 제조 단가를 낮출 수 있다고 보고된 바 있다.

또한, 유비 산업 리서치는 용액 공정 AMOLED 적용 패널이 오는 2020년까지 1400 만개로, 약 50억 달러 시장 규모가 될 것으로 예상했고, 2018년부터 2020년까지 패널 매출액 기준으로 연평균 141 % 큰 폭으로 성장할 것으로 전망하였다.

주요 애플리케이션으로는 태블릿 PC와 TV용 패널이 될 것으로 예측하였으며, 용액 공정에 적용될 발광 재료 시장은 2020년까지 약 2억 6000만 달러 시장이 형성될 전망이다.

용액 공정 기술은 프린팅 기술(잉크젯, 그라이버, 오프셋, 노즐 등)과 코팅 기술(슬롯 다이, 블레이드, 스프레이, 스핀 등)로 나뉘며, 프린팅 기술 중 잉크젯 프린팅은 공정이 단순하고, 패턴의 정밀도가 우수하여 해상도가 높은 OLED 디스플레이 제조에 적용하기 위한 연구가 진행되고 있다.

하지만, OLED 디스플레이의 경우 픽셀 별 인쇄 균일도를 맞추어야 하는 어려움뿐 아니라 연속 패턴 형성의 어려움 및 느린 코팅 속도로 인하여 패널 생산에 적용되는 시점이 늦어지고 있다.

한편, 코팅 기술은 주로 디스플레이 공통층 형성에 적용된다.

그 중, 슬롯 다이 코팅 기술은 수십 나노 미터 박막 코팅이 가능하며 R2R 확장에 따른 연속 코팅, 저점도에서 고점도 잉크까지 코팅이 가능하다.

슬롯 코팅 기술을 OLED 디스플레이 발광층 및 컬러 필터(CF, color filter) 제작에 활용하기 위해서는 패터닝 기술이 요구된다.

코팅 방향으로의 패터닝은 헤드 립 부분에 음압을 가함으로써 가능하다.

코팅 방향의 수직인 측면으로의 패터닝은 다이 심(shim)을 가공함으로써 스트라이프(stripe) 코팅이 가능하다.

하지만, 이 방법은 픽셀 또는 컬러 필터 폭만큼의 미세 패턴으로 가공이 어려워 적용이 어렵다.

한편, 하나의 물질층 위에 다른 물질층을 적층하기 위하여 물질층 형성 조성물을 도포하는 경우가 많은데, 코팅액은 물질층 형성 조성물을 용매나 분산매에 녹여 용액이나 슬러리와 같은 유동성이 있는 형태로 만들어 사용된다.

코팅액을 넓은 면적에 비교적 얇게 도포하는 장비로는 다이 코터(die coater)가 대표적이고, 이 중 슬롯 다이(slot die)는 기재에 일정 폭으로 코팅액을 도포하여 물질층을 형성하기 위한 장치이다.

슬롯 다이는 만년필에서 잉크가 펜촉 끝단으로 나오듯이 슬롯 다이의 두 쪽으로 나뉜 끝단의 틈으로 코팅액이 배출되도록 하는 구조로 되어 있다.

슬롯 다이를 이용하여 기재 상에 코팅액을 도포하기 위해서 슬롯 다이 자체가 움직이거나 기재가 움직이게 된다.

슬롯 다이를 사용한 도포 방법은 생산성이나 재현성 측면에서 여타의 코팅 방법에 비하여 우수하여 현재까지 평판 디스플레이 분야 및 이차 전지 분야에 널리 사용되어 왔으며 특히 디스플레이 분야의 기능성 표면처리 필름의 코팅에 많이 사용되고 있다.

도 1은 종래의 일반적인 슬롯 다이의 사시도이고, 도 2는 종래의 슬롯 다이 장치의 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 슬롯 다이는 슬롯 다이 본체(1, 2, 3)와 코팅액이 헤드 내에 기포 없이 차는 영역으로서, 슬롯 다이 본체 내부의 어느 한쪽 또는 양쪽에 길이 방향으로 형성되어, 코팅액을 폭 방향으로 분배시키는 캐비티(12)와 캐비티에 코팅액을 주입하기 위한 코팅액 공급 라인(15)과 캐비티(12)에 연결되어 코팅액을 기재에 도포하는 슬롯부(13)를 포함하여 이루어 진다.

한편, 슬롯 다이 본체(1, 2, 3)는 제1 측 본체(1), 제2 측 본체(2) 그리고 슬릿갭을 유지시켜 주는 다이 심(shim, 3)으로 구성되는 다이 심 타입과 제1 측 본체(1)나 제2 측 본체(2) 어느 한쪽에 다이 심(3)이 합체되어 있는 다이 심 리스(shimless) 타입으로 나뉜다.

통상 슬립 갭의 크기는 50~150 μm인데, 다이 심 타입의 경우, 제1 측 본체(1)와 제2 측 본체(2) 사이의 다이 심(3)을 바꿔 끼워줌으로써 슬릿 갭의 두께와 토출구(14)의 크기를 조절할 수 있도록 구성된다.

코팅액 공급라인(15)은 캐비티(12)의 중앙부에 연결되어 코팅액을 공급하기 위한 통로로 사용된다.

그리고, 코팅액 주입구(11)에 주입된 코팅액은 코팅액 공급라인(15)을 통해 캐비티(12) 내로 주입된다.

캐비티(12)는 코팅액 공급라인(15)과 연결되고, 코팅액 공급라인(15)으로부터 주입된 코팅액으로 채워진다.

이와 같이 채워진 코팅액은 얇은 슬롯부(13)를 통하여 토출구(14)로 토출되고, 토출된 코팅액은 기재 상에 도포된다.

즉, 슬롯부(13)는 캐비티로 공급된 코팅액이 토출구(14)를 통하여 기재에 도포될 때 통로 역할을 한다.

슬롯 다이 장치에 의한 도공은 슬롯 다이 장치가 고정되고 기재가 움직이는 형태이거나 슬롯 다이 장치가 움직이고 기재가 고정되는 형태로 나뉜다.

그런데, 슬롯 다이 코팅 기술은 근본적으로 픽셀 코팅의 어려움, 크로스-웹(Cross-web) 방향, 즉 코팅 방향의 수직 방향(헤드와 평행한 방향) 패터닝 한계로 인한 낮은 해상도 등의 문제로 현재까지 OLED 디스플레이 발광 화소 형성에 적용하려는 시도가 전무하였다.

기존 슬롯 다이 코팅이 갖는 픽셀화, 패터닝 어려움을 극복하여 잉크젯 프린팅에 필적하는 슬롯 코팅 공정 기술을 개발하기 위해서는 픽셀 코팅 전용 슬롯 다이 헤드가 필요하다.

도 3은 종래 기술에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도로서, 제1 측 본체(100), 제2 측 본체(200), 듀얼 플레이트, 즉 백 플레이트(300) 및 심 플레이트(400)를 구비한다.

도 4는 도 3에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 심 플레이트(a) 및 백 플레이트(b)의 정면도이다.

도 5는 일반적인 대형 평판 TV 제작시 사용하는 RGB 스트라이프 배열에 대한 도면이다.

도 6은 도 3에 도시된 듀얼 플레이트가 장착된 헤드를 이용하여 폴리에스테르 필름에 슬롯 코팅을 실제로 수행한 반도체 고농도 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 스트라이프에 대한 사진이다.

도 3 및 도 4를 참조하여 종래 기술에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구성요소 및 각 기능을 설명하면 다음과 같다.

도 3에서 보는 바와 같이, 종래 기술에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 제1 측 본체(100) 및 제2 측 본체(200)는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트이며, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접한다.

제1 측 본체(100) 또는 제2 측 본체(200)의 내부면에는 픽셀 폭 너비의 마이크로 팁(-Tip)이 형성되어 있는 백 플레이트(back plate, 300)와 도수로 역할을 위한 빗살무늬 형태로 가공되어 있는 심 플레이트(shim plate, 400)를 구비한다.

즉, 듀얼 플레이트(Dual plate)를 갖는 헤드가 필요하며, 이때 슬롯 다이 헤드 립(lip)에서 방출되는 코팅액이 만들어내는 곡선인 메니스커스(meniscus)는 마이크로 팁에서 형성한다.

도 3과 같이 듀얼 플레이트가 장착된 헤드로 픽셀 코팅을 하면 도 5와 같이 대형 TV에서 주로 사용하는 RGB 스트라이프 배열을 갖는 패널 제작이 가능하다.

듀얼 플레이트가 장착된 헤드는 RGB 코팅액 중 하나만 헤드 내로 주입하기 때문에 RGB 스트라이프 중 하나(R, G 또는 B)의 스트라이프를 크로스-웹 (Cross-web) 방향, 즉 코팅 방향의 수직 방향(다이 헤드의 길이 방향과 평행한 방 향)으로 동시에 여러 줄 코팅이 가능하다.

이와 같이 듀얼 플레이트가 장착된 헤드에서 팁 폭이 250m, 팁 간 간격이 6 mm, 유효 코팅폭이 150mm인 헤드에 25 개의 마이크로 팁을 이용하여 폴리에스테르(PET:polyethyleneterephthalate) 필름에 픽셀 코팅을 하면 도 6에서 보는 바와 같이, 반도체 고농도 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 스트라이프를 제작할 수 있다.

그런데, 고해상도 픽셀 코팅을 위해서는 마이크로 팁 간의 간격을 줄여야 한다.

예를 들어, 적색 스트라이프 코팅용 듀얼 플레이트가 장착된 헤드의 경우 적색-적색 스트라이프 간 간격이 좁기 때문에 (실제 대형 TV의 경우 1mm 이하) 백 플레이트의 마이크로 팁 간의 간격을 줄여야 한다.

하지만, 마이크로 팁간 간격이 좁아지면 서로 코팅액이 분리되지 않고 맞닿아 버리는 현상인 크로스 토크(crosstalk)가 발생하여 균일한 스트라이프 코팅이 불가능해진다.

즉, 마이크로 팁 간의 코팅액이 서로 뭉치면서 다수의 마이크로 팁에서 하나의 스트라이프 코팅막이 형성되거나 각각의 마이크로 팁에서 불안정한 스트라이프 코팅이 되는 문제점들이 나타난다.

또한, 종래의 다이 헤드는 듀얼 플레이트 중 코팅액이 저장되는 캐비티는 좌측 다이 헤드 또는 우측 다이 헤드, 즉 심 플레이트와 맞닿는 다이 헤드에 가공하여 하나만 존재해야 한다.

이러한 문제점들을 극복하기 위하여 마이크로 팁 간의 간격을 어느 정도 유지하면서 하나의 듀얼 플레이트가 장착된 다이 헤드를 2열 이상 복수개로 배치할 필요가 있다.

아니면, 좌측과 우측 헤드에 각각 하나의 캐비티를 가지며, 헤드를 2열 이상 복수개로 배치하지 않고도 헤드 설치의 변경 또는 헤드 자체를 수정하여 하나의 헤드로 고해상도 스트라이프 코팅이 가능한 새로운 고해상도 픽셀 코팅 전용 헤드가 필요하다.

한편, 종래 기술에서는 두 개의 플레이트가 요구되면서 슬롯 다이 헤 드의 조립시 정렬에 따른 오차가 발생할 수 있고, 클리닝 및 여러 번거로운 작업이 필요한 한계가 있다.

이에, 본 발명자들은 심 플레이트 없이 복수개의 마이크로 팁을 갖 는 백 플레이트에 도수로를 형성하여, 캐비티 내에 압력 분포가 미세하게 불 균일 하더라도 유체 유동의 저항을 증가시켜 균일한 측면 압력 분포를 얻을 수 있고, 복 수개의 마이크로 팁에 안정적으로 코팅액을 공급할 수 있는 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드와 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 마이크로 팁 간의 크로스 토크 현상을 방지할 수 있는 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드를 착안하기에 이르렀다.

또 다른 한편, 도 7은 일반적인 대형 평판 TV 제작시 사용하는 다양한 방식의 RGB 화소 배열 방식에 대한 도면이다.

도 7에서 보는 바와 같이, OLED 디스플레이 발광 화소 배열을 스트라이프(stripe) 배열, 모자이크(Mosaic) 배열 및 델타(Delta) 배열 등 다양한 방식의 배열을 해야 한다.

이를 위해서는 슬롯 다이 장치가 크로스-웹(Cross-web) 방향(횡 방향, 코팅방향의 수직방향, 헤드의 길이 방향과 평행한 방향)뿐 아니라, 웹(web) 방향(종 방향, 코팅 방향, 헤드의 길이 방향과 수직인 방향)으로도 패터닝이 가능한 기술이 필요하다.

크로스-웹 방향의 패터닝은 화소폭에 상응하는 너비를 갖는 마이크로 팁이 배열된 백 플레이트(back plate)와 이에 상응하는 도수로 역할을 하는 빗살무늬심 플레이트가 장착된 다음과 같은 슬롯 다이 헤드로 가능하다.

그런데, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같은 종래의 상기 슬롯 다이 헤드로 픽셀 코팅을 할 경우, 측면 패터닝(lateral patterning)이 가능하나 이 헤드로는 도 3의 스트라이프 배열을 갖는 화소만 코팅이 가능한 한계가 있다.

또한, 종래의 웹 방향 즉, 코팅 방향으로의 패터닝은 OLED 면 광원이나 유기 태양 전지 등의 대면적 면 코팅에서 사용하는 도 1 및 도 2에 도시된 기존의 다이 헤드를 업 앤드 다운(up and down)하는 방식의 간헐적인(intermittent) 방식이 이용되어 왔다.

하지만, 기존 대면적 면 코팅에 이 방식을 적용하면 복수개로 구비된 뱅크를 만날 때마다 헤드가 들어 올려져야 하고, 이 때 넓은 다이 립 부분에 있는 코팅 용액이 가운데로 몰리는 현상이 나타난다.

또한, 뱅크 영역을 지나 발광 영역이 다시 시작되는 경우, 헤드를 다시 내려져야 하는데, 이 때 횡방향의 넓은 다이 립 부분에 코팅 용액이 골고루 분포되는 소요 시간이 많이 걸려 디스플레이 화소 코팅에는 적합하지 않은 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 마이크로 팁 간의 간격을 어느 정도 유지하면서 하나의 듀얼 플레이트가 장착된 다이 헤드를 복수개로 배치하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬 롯 다이의 헤드를 복수개로 배치하지 않고도 헤드 설치의 변경 또는 헤드 구조 자 체를 수정하여 하나의 헤드로 스트라이프 코팅막 수를 증가시킴으로써 고해상도 스 트라이프 코팅이 가능한 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

한편, 본 발명의 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다 이의 듀얼 플레이트 구조로 인해 슬롯 다이 헤드 조립시 발생 가능한 정렬에 따른 오차를 방지하고, 클리닝 등의 번거로움을 줄이기 위해 스크린 프린팅 기법을 이용 하여 심 플레이트 없이 백 플레이트에 도수로를 형성하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

그리고, 본 발명의 다른 목적은 상기 목적을 달성하기 위해 진공 증착 기법 을 이용하여 심 플레이트 없이 백 플레이트에 도수로를 형성하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 듀얼 플레이트 구조에서 코팅액의 유체 유동 저항을 증가시키기 위해 압정 형상의 빗살 무늬 도수로를 갖는 심 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

그리고, 본 발명의 또 다른 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 듀얼 플레이트 구조에서 코팅액의 유체 유동 저항을 증가시키기 위해 끝이 점점 좁아지는 태이퍼드 형의 도수로를 갖는 심 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이 내 백 플레이트의 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 마이 크로 팁 간의 크로스 토크 현상을 방지하여 균일한 스트라이프 코팅을 할 수 있는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

한편, 본 발명의 목적은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다 이가 코팅 방향의 수직방향뿐 아니라, 코팅 방향으로도 패터닝이 가능하여 다양한 방식의 픽셀 배열의 다이 코팅을 할 수 있는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

그리고, 본 발명의 다른 목적은 발광 영역에 대한 정상 코팅 중 비 발광 영 역인 뱅크 영역이 시작되는 경우, 다이 헤드 자체의 상하 또는 좌우 이동 없이 기 계적 또는 전기적 구동을 통해 복수개의 코팅액 토출구 전체를 개폐하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드, 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법 및 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 제공하고자 한다.

본 발명의 실시예들의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 제 1 측면에 따르면, 직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와, 하부에 복수개의 마이크로 팁이 돌출된 백 플레이트를 구비하며, 상기 심플레이트에 인접하여 상기 복수개의 마이크로 팁에 대응하는 복수개의 단차 패턴이 하부에 형성된 심 플레이트를 구비하고, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 듀얼 플레이트를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드가 제공될 수 있다.

한편, 본 발명의 제 2 측면에 따르면, 직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와, 하부에 복수개의 단차 패턴을 구비하여 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되며, 상기 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 싱글 플레이트를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드가 제공될 수 있다.

한편, 본 발명의 제 3 측면에 따르면, 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 스크린 프린팅 마스크를 생성하는 단계와, 상기 생성된 스크린 프린팅 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와, 상기 스크린 프린팅 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작을 기판 상부면에 도수로용 금속 패턴막으로 스크린 프린팅하는 단계와, 상기 스크린 프린팅 마스크를 제거하고 상기 금속 패턴막을 소결시키는 단계와, 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 소결된 금속 패턴막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법이 제공될 수 있다.

또한, 본 발명의 제 4 측면에 따르면, 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 증착용 마스크를 생성하는 단계와, 상기 생성된 증착용 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와, 상기 증착용 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 상부면에 코팅액 특성에 맞는 금속막을 진공 증착하는 단계와, 상기 백 플레이트 제작용 기판을 도수로 형태로 습식 에칭하여 상기 복수개의 직선형 빗살 및 상기 복수개의 홈을 형성하는 단계와, 상기 증착용 마스크를 제거하는 단계와, 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 증착된 금속막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법이 제공될 수 있다.

또 다른 한편, 본 발명의 제 5 측면에 따르면, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 상승시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 다이 헤드를 하강시켜 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며, 상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법이 제공될 수 있다.

또한, 본 발명의 제 6 측면에 따르면, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 이동된 다이 헤드의 위치가 고정된 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며, 상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법이 제공될 수 있다.

또한, 본 발명의 제 7 측면에 따르면, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드의 헤드 립 부분을 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직여 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 움직인 다이 헤드의 헤드 립 부분을 원위치 시킨 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며, 상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법이 제공될 수 있다.

본 발명은 고해상도 픽셀 코팅을 위해서 마이크로 팁 간 의 간격이 감소하더라도 코팅액이 서로 잘 분리되게 하여 크로스 토크 현상을 방지할 수 있다.

특히, 본 발명은 마이크로 팁 간 간격을 줄이지 않고 다이 헤드 설치 각도의 변경을 통하여 스트라이프 코팅막간 간격이 줄어들게 되어 밀도가 높아지고, 스트라이프 코팅막의 선폭까지 감소함으로써 고해상도 스트라이프 코팅이 수행할 수 있다.

또한, 본 발명은 복수개의 다이 헤드가 불필요하게 되어 초기 비용 및 유지 관리의 번거로움이 절감되어 제품의 생산성 및 편리성을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명은 제1 실시예는 인쇄 잉크량이나 메탈 페이스트의 두께를 자유롭게 조절할 수 있고, 목적이나 디자인에 따라서 손쉬운 수동 커팅 제판 및 수동 인쇄가 가능하여 제조 공정 및 단가를 절감시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 용액이 토출되는 마이크로 팁의 수가 증가해도 심 플레이트가 필요 없게 되어 제품의 제조 비용을 절감시킬 수 있다.

그리고, 본 발명은 압정 형상 또는 태이퍼드 형의 빗살 무늬 도수로가 용액 저장용의 제2 캐비티 역할을 함으로써 각 마이크로 팁에 더 안정 적으로 코팅액을 공급할 수 있다.

또한, 본 발명은 백 플레이트의 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 백 플레이트는 친수성 표면 처리되어 캐비티로부터 분배되는 코팅액을 전달받아 유체 유동을 통하여 원활하게 마이크로 팁 방향으로 토출시킬 수 있고, 헤드 립이 소수성 표면 처리되어 코팅액이 서로 잘 분리되게 하여 크로스 토크 현상을 방지할 수 있다.

한편, 본 발명은 OLED 디스플레이 발광 화소 배열 방식 중 스트라이프 배열뿐 아니라, 모자이크 배열 및 델타 배열 등 다양한 배열 방식의 화소 배열에 대해서도 다양한 형태의 디스플레이 화소 코팅을 수행할 수 있다.

특히, 본 발명은 OLED 면 광원과 같은 대면적 코팅시 나타나는 다이 헤드 자체의 상하 이동으로 넓은 다이 립 부분 에 있는 코팅 용액이 가운데로 몰리는 현상과 코팅 용액이 골고루 분포되는 소요 시간이 많이 걸리는 문제를 해결할 수 있다.

도 1은 종래의 일반적인 슬롯 다이의 사시도이다.

도 2는 종래의 슬롯 다이 장치의 평면도이다.

도 3은 종래 기술에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도이다.

도 7은 일반적인 대형 평판 TV 제작시 사용하는 다양한 방식의 RGB 화소 배열 방식에 대한 도면이다.

도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 상향 방향(a) 및 하향 방향(b)으로 본 사시도이다.

도 9는 도8 에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 헤드의 백 플레이트 및 심 플 레이트(a), 제2 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(b) 및 제3 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(c)의 정면도이다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 상향 방향(a) 및 하향 방향(b)으로 본 사시도이다.

도 11은 도 10에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 헤드의 백 플레이트 및 심 플 레이트(a), 제2 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(b) 및 제3 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(c)의 정면도이다.

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따라 비스듬히 기울여 장착된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드가 스트라이프 코팅을 수행하는 상태의 사시도이다.

도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도이다.

도 14는 도 13에 도시된 슬롯 다이 헤드가 조립된 상태의 사시도이다.

도 15는 도 13에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 좌측의 백 플레이트 및 심 플레 이트(a)와 우측의 백 플레이트 및 심 플레이트(b)의 정면도이다.

도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도이다.

도 17은 도 16에 도시된 슬롯 다이 헤드가 조립된 상태의 사시도이다.

도 18은 도 16에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 백 플레이트 및 제1 심 플레 이트(a), 제2 백 플레이트 및 제2 심 플레이트(b), 제3 백 플레이트 및 제3 심 플 레이트(c), 제4 백 플레이트 및 제4 심 플레이트(d)의 정면도이다.

도 19는 도 16에 도시된 슬롯 다이 헤드를 나사로 조립되는 상태의 사시도이다.

도 20은 본 발명의 제6 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도(a) 및 슬롯 다이 헤드 내 심 플레이트의 정면도(b)이다.

도 21은 본 발명의 제7 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도(a) 및 슬롯 다이 헤드 내 심 플레이트의 정면도(b)이다.

도 22는 본 발명의 제8 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도이다.

도 23은 본 발명의 제9 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에서 좌우 이동 개폐부가 열린 상태의 사시도(a) 및 개폐 장치가 닫힌 상태의 사시도(b)이다.

도 24는 본 발명의 제9 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 코팅 작업에 대한 시간의 경과에 따른 상태도이다.

도 25는 본 발명의 제10 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에서 전후 이동 개폐부가 열린 상태의 사시도(a) 및 개폐 장치가 닫힌 상태의 사시도(b)이다.

도 26은 본 발명의 제11 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 동작의 원리를 설명하기 위한 구성도로서, 전원이 오프(off)된 상태의 블로킹 기판의 단면도(a) 및 전원이 온(on)된 상태의 블로킹 기판의 단면도(b)이다.

도 27은 본 발명의 제11 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에서 코팅액 토출구가 개방된 상태의 사시도(a) 및 코팅액 토 출구가 닫힌 상태의 사시도(b)이다.

도 28은 본 발명의 제12 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도이다.

도 29는 도 28에 도시된 슬롯 다이 헤드가 조립된 상태의 사시도이다.

도 30은 도 28에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 분리벽을 좌측에서 바라본 분리 벽의 사시도(a) 및 우측에서 바라본 분리벽의 사시도(b)이다.

도 31은 본 발명의 제13 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법에 대한 시간의 경과에 따른 공정도이다.

도 32는 본 발명의 제13 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.

도 33은 본 발명의 제14 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법에 대한 시간의 경과에 따른 공정도이다.

도 34는 본 발명의 제14 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.

도 35는 본 발명의 제15 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대한 시간의 경과에 따른 상태도이다.

도 36은 본 발명의 제15 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 나타내는 순서도이다.

도 37은 본 발명의 제16 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대한 시간의 경과에 따른 상태도이다.

도 38 본 발명의 제16 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 나타내는 순서도이다.

도 39는 본 발명의 제17 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대한 시간의 경과에 따른 상태도이다.

도 40은 본 발명의 제17 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 나타내는 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있고, 더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다.

즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니며, 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다.

또한, 본 명세서에 있어서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있으며, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.

본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.

더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있고, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있으며, 이 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.

반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다.

마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다.

또한, 본 명세서에 있어서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 사용된다면, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용되며, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다.

또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 하며, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니된다.

더욱이, 본 발명의 명세서에서는, "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는, 사용된다면, 하나 이상의 기능이나 동작을 처리할 수 있는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어, 또는 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있음을 알아야 한다.

또한, 본 명세서에서는 각 도면의 각 구성 요소에 대해서 그 도면 부호를 명기함에 있어서, 동일한 구성 요소에 대해서는 이 구성 요소가 비록 다른 도면에 표시되더라도 동일한 도면 부호를 가지고 있도록, 즉 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지시하고 있다.

본 명세서에 첨부된 도면에서 본 발명을 구성하는 각 구성 요소의 크기, 위치, 결합 관계 등은 본 발명의 사상을 충분히 명확하게 전달할 수 있도록 하기 위해서 또는 설명의 편의를 위해서 일부 과장 또는 축소되거나 생략되어 기술되어 있을 수 있고, 따라서 그 비례나 축척은 엄밀하지 않을 수 있다.

또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략될 수도 있다.

먼저, 본 발명의 제 1 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와, 하부에 복수개의 마이크로 팁이 돌출된 백 플레이트를 구비하며, 상기 심플레이트에 인접하여 상기 복수개의 마이크로 팁에 대응하는 복수개의 단차 패턴이 하부에 형성된 심 플레이트를 구비하고, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 듀얼 플레이트를 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 복수개가 구비되어 헤드 고정부를 통해 복수의 세트로 결합될 수 있고, 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 포함하는 각 세트가 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)될 수 있다.

또한, 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 복수개가 구비되되, 적어도 하나가 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 생성되는 스트라이프 코팅이 중복되지 않도록 코팅 방향과 예각을 이루도록 장착될 수 있다.

그리고, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체는, 각각 내부면에 상기 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성될 수 있다.여

여기에서, 상기 듀얼 플레이트는, 복수개가 구비되되, 각 사이에 분리판이 삽입되어 분리될 수 있다.

그리고, 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 상기 듀얼 플레이트가 복수개의 세트로 구비되며, 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 포함하는 각 세트가 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)될 수 있다.

또한, 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 양측면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 상기 듀얼 플레이트의 세트 중앙에 삽입되어 상기 코팅액을 인접한 상기 듀얼 플레이트로 분배시키는 중간 헤드를 더 포함할 수 있는데, 이러한 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 볼트 결합 방식으로 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체와 상기 듀얼 플레이트를 관통하여 상기 중간 헤드에 결합될 수 있다.

그리고, 상기 복수개의 단차 패턴은, 직선 형상, 압정 형상 및 테이퍼드 형상 중 어느 하나로 각각 형성될 수 있고, 하단폭이 상기 마이크로 팁의 폭과 동일하게 형성될 수 있다.

한편, 상기 헤드 립은, 소수성 불소 수지 및 PMMA(Polymethly Methacrylate) 수지를 이용하여 소수성 표면 처리를 할 수 있으며, 상기 복수의 마이크로 팁은, 각각 프라이머(primer)를 이용하여 친수성 표면 처리를 할 수 있다.

상술한 바와 같은 상기 고 해상도 슬롯 다이 헤드는, 상기 토출액이 토출되는 코팅액 토출구를 개폐하는 개폐부재를 더 포함할 수 있는데, 상기 개폐부재는, 상기 듀얼 플레이트를 감싸는 형태로 구비되어 좌우 이동하거나, 혹은 전후 이동하는 방식으로 상기 코팅액 토출구를 개폐시킬 수 있다.

여기에서, 상기 개폐부재는, 압전재료를 이용하여 압전 굽힘 액추에이터(piezo bending actuator)로 제조되며, 전압이 인가될 경우 토출구 폐쇄판이 구부러져 상기 코팅액 토출구를 폐쇄시킬 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 듀얼 플레이트 기반으로 제공되는 본 발명의 제 1 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제1 및 제2 실시예]

도 9는 도 8에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(a), 제2 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(b) 및 제3 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(c)의 정면도이다.

도 11은 도 10에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(a), 제2 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(b) 및 제3 헤드의 백 플레이트 및 심 플레이트(c)의 정면도이다.

도 8 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제1 및 제2 실시예는 복수개의 다이 헤드 및 상기 복수개의 다이 헤드의 측면 둘레 또는 상부면에 접촉되어 복수개의 다이 헤드를 복수열로 정렬하여 결합시키는 헤드 고정부를 구비한다.

복수개의 다이 헤드 각각은 제1 측 및 제2 측 본체와 듀얼 플레이트를 포함한다.

제1 측 및 제2 측 본체는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성한다.

듀얼 플레이트는 하부 측면에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 마이크로 팁 배치가 중복되지 않게 위치를 상이하게 하여 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입된다.

도 8 및 도 9에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예는 헤드가 서로 일자로 정렬(align)되도록 3열 배치하고 마이크로 팁의 배치가 중복되지 않도록 마이크로 팁의 위치를 서로 다르게 제조한 각 헤드의 듀얼 플레이트들을 장착함으로써 스트라이프 코팅막 수를 증가시킬 수 있다.

또한, 도 10 및 도 11에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예는 동일한 마이크로 팁 배치를 갖는 듀얼 플레이트를 갖는 헤드의 배치를 다르게 정렬 (misalign)함으로써 제1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

하지만, 본 발명의 제1 및 제2 실시예는 다수의 헤드가 불가피하게 필요하므로 초기 비용이 상승되고, 클리닝 작업 등 유지 관리의 번거로움이 있었다.

한편, 본 발명은 상술한 제1 및 제2 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제1 및 제2 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제1 및 제2 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

프로그램 코드를 공급하기 위한 기록 매체로서는 예를 들면 플로피 디스크, 하드 디스크, 광디스크, 광학 자기 디스크, CD-ROM, CD-R, 자기테이프, 비휘발성 메모리 카드, ROM을 이용할 수 있다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제1 및 제2 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제1 및 제2 실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제1 및 제2 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 복수개의 다이 헤드 각각이 제1 측 및 제2 측 본체와 듀얼 플레이트를 포함하고, 제1 측 및 제2 측 본체는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 듀얼 플레이트가 하부 측면에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 마이크로 팁 배치가 중복되지 않게 위치를 상이하게 하여 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입하는 기능이 기록된다.

[제3 실시예]

도 12를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

듀얼 플레이트는 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시킨다.

복수개의 다이 헤드는 복수개의 마이크로 팁을 통해 생성되는 스트라이프 코팅이 중복되지 않도록 코팅 방향과 예각의 각도로 기울여 장착된다.

다시 말해, 본 발명의 제3 실시예는 도 12에서 보는 바와 같이, 다이 헤드의 길이 방향 평행 축으로부터 소정의 각도만큼 비스듬히 장착된 회전 장착 헤드로서, 다이 헤드의 길이 방향 평행 축과 평행하게 장착된 정상 장착 헤드와 비교된다.

즉, 웹 방향(web direction), 즉 코팅 방향과 수직으로 배치하지 않고 도 12에서 보는 바와 같이, 90 도보다 작은 예각의 각도로 배치한다.

이를 통하여 마이크로 팁 간 간격을 줄이지 않고 스트라이프 코팅막간 간격이 줄어들게 되어 밀도가 높아진다.

또한, 마이크로 팁이 비스듬히 위치하기 때문에 스트라이프 코팅막의 선폭이 감소하는 또 다른 이점을 갖는다.

따라서, 본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예처럼 상이한 듀얼 플레이트를 갖는 헤드가 서로 일자로 정렬(align)되도록 3열 배치하거나 제2 실시예처럼 동일한 듀얼 플레이트를 갖는 헤드의 배치를 다르게 정렬(misalign)하지 않고도 헤드 설치 각도의 변경을 통하여 고해상도 스트라이프 코팅이 가능해 진다.

한편, 본 발명은 상술한 제3 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제3 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제3 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제3 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제3 실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 복수개의 다이 헤드 및 상기 복수개의 다이 헤드의 상부면에 접촉되어 복수개의 다이 헤드를 복수열로 정렬하여 결합시키는 헤드 고정부를 구비하고, 복수개의 다이 헤드 각각은 제1 측 및 제2 측 본체와 듀얼 플레이트를 포함하는 기능; 제1 측 및 제2 측 본체는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능이 기록된다.

또한, 듀얼 플레이트가 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 기능이 기록된다.

복수개의 다이 헤드가 복수개의 마이크로 팁을 통해 생성되는 스트라이프 코팅이 중복되지 않도록 코팅 방향과 예각의 각도로 기울여 장착되는 기능이 기록된다.

[제4 실시예]

도 15는 도 13에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 좌측의 백 플레이트 및 심 플레이트(a)와 우측의 백 플레이트 및 심 플레이트(b)의 정면도이다.

도 13 내지 도 15를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제4 실시예는 제1 측 및 제2 측 본체, 복수개의 듀얼 플레이트 및 분리판을 구비한다.

분리판은 복수개의 듀얼 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 듀얼 플레이트를 분리시킨다.

제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성된다.

종래의 다이 헤드는 듀얼 플레이트 중 코팅액이 저장되는 캐비티는 제1 측 본체 또는 제2 측 본체, 즉 심 플레이트와 맞닿는 본체에 가공하여 하나만 존재해야 한다.

하지만, 본 발명의 제4 실시예는 도 13에서 보는 바와 같이, 제1 및 제2 측 본체에 각각 하나의 캐비티를 가지며, 2개의 듀얼 플레이트가 분리판 (separator)에 의해 분리되어 설치된다.

즉, 좌측 심 플레이트가 먼저 캐비티를 갖는 좌측 헤드에 맞닿고 다음으로 마이크로 팁을 갖는 백 플레이트가 장착된다.

우측 헤드도 같은 방법으로 장착되며 2개의 듀얼 플레이트는 분리판 (separator)에 의해 분리된다.

또한, 도 15에서 보는 바와 같이, 좌/우 백 플레이트의 마이크로 팁은 서로 엇갈려 배치됨으로써 코팅 스트라이프의 해상도를 높일 수 있다.

예를 들어, 2개의 듀얼 플레이트에 의해 하나의 헤드에서 적색 스트라이프(Red stripe) 수가 2배 증가한다.

하나의 조립된 헤드의 용액 주입구는 2개이며, 하나의 펌프(미도시)로 코팅액을 공급하거나 2개의 펌프로 각각 좌, 우 캐비티로 같은 용액을 공급할 수 있다.

따라서, 본 발명의 제4 실시예는 도 8 및 도 10에 도시된 종래 기술처럼 헤드를 2열 이상 복수개로 배치하지 않고도 하나의 헤드로 고해상도 스트라이프 코팅이 가능해진다.

한편, 본 발명은 상술한 제4 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제4 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제4 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제4 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제4 실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제4 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체, 복수개의 듀얼 플레이트 및 분리판을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 듀얼 플레이트는 하부 측면에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 마이크로 팁 배치가 중복되지 않게 위치를 상이하게 하여 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되는 기능이 기록된다.

또한, 분리판이 복수개의 듀얼 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 듀얼 플레이트를 분리시키는 기능; 제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 제1 측 및 제2 측 본체, 복수개의 듀얼 플레이트 및 분리판은 나사 결합될 수도 있는 기능;이 기록된다.

[제5 실시예]

도 18은 도 16에 도시된 슬롯 다이 헤드 내 제1 백 플레이트 및 제1 심 플레이트(a), 제2 백 플레이트 및 제2 심 플레이트(b), 제3 백 플레이트 및 제3 심 플레이트(c), 제4 백 플레이트 및 제4 심 플레이트(d)의 정면도이다.

도 16 내지 도 19를 참조하여 본 발명의 제6 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제5 실시예는 제1 측 및 제2 측 본체, 복수 쌍의 듀얼 플레이트, 분리판 및 중간 헤드를 구비하고, 복수 쌍의 듀얼 플레이트의 각 쌍은 복수개의 심 플레이트를 구비한다.

복수 쌍의 듀얼 플레이트는 하부 측면에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 마이크로 팁 배치가 중복되지 않게 위치를 상이하게 하여 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입된다.

분리판은 복수 쌍의 듀얼 플레이트 각 쌍 내 복수개의 듀얼 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 듀얼 플레이트를 분리시킨다.

중간 헤드는 측면 각각에 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 복수 쌍의 듀얼 플레이트 중앙에 삽입되어 코팅액을 복수개의 듀얼 플레이트 중 근접한 듀얼 플레이트로 분배시킨다.

제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이방향으로 형성된다.

도 16 및 도 17에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제5 실시예는 하나의 헤드로 초 고해상도 패널을 코팅하기 위하여 4개의 듀얼 플레이트를 구비한다.

스테인레스(stainless, sus) 재질의 두꺼운 중간 헤드의 양면에 캐비티를 가공하고 용액 주입구를 연결함으로써 4개의 듀얼 플레이트를 배치할 수 있다.

도 18에서 보는 바와 같이, 마이크로 팁을 갖는 4개의 백 플레이트는 마이크로 팁이 서로 중첩되지 않도록 배치함으로써 코팅 스트라이프 개수, 즉 해상도를 2배 증대시킬 수 있다.

따라서, 본 발명의 제5 실시예 역시 종래 기술처럼 헤드를 2열 이상 복수개로 배치하지 않고도 하나의 헤드로 고해상도 스트라이프 코팅이 가능해진다.

한편, 도 19에서 보는 바와 같이, 중간 헤드는 좌측면 및 우측면에 복수개의 나사홀이 형성되어 제1 측 본체(100), 제2 측 본체(200), 복수 쌍의 듀얼 플레이트 및 분리판과 나사 결합될 수 있다.

이를 위해서는, 제1 측 본체(100), 제2 측 본체(200), 복수 쌍의 듀얼 플레이트 및 분리판 역시 중간 헤드에 형성된 복수개의 나사홀 위치에 상응하는 위치에 복수개의 나사홀이 구비되어야 한다.

한편, 본 발명은 상술한 제5 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성 되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제5 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제5 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제5 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제6 실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제5 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 복수 쌍의 듀얼 플레이트가 하부 측면에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 마이크로 팁 배치가 중복되지 않게 위치를 상이하게 하여 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되는 기능이 기록된다.

또한, 분리판이 복수 쌍의 듀얼 플레이트 각 쌍 내 복수개의 듀얼 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 듀얼 플레이트를 분리시키고, 중간 헤드가 측면 각각에 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 복수 쌍의 듀얼 플레이트 중앙에 삽입되어 코팅액을 복수개의 듀얼 플레이트 중 근접한 듀얼 플레이트로 분배시키는 기능이 기록된다.

제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되는 기능이 기록된다.

제1 실시예 내지 제5 실시예에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 마이크로 팁 간의 간격을 어느 정도 유지하면서 하나의 듀얼 플레이트가 장착된 다이 헤드를 복수개로 배치하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

또한, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 헤드를 복수개로 배치하지 않고도 헤드 설치의 변경 또는 헤드 구조 자체를 수정하여 하나의 헤드로 스트라이프 코팅막 수를 증가시킴으로써 고해상도 스트라이프 코팅이 가능한 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

이를 통하여, 고해상도 픽셀 코팅을 위해서 크로스 토크 현상이 발생하지 않도록 팁 간 간격을 충분히 유지하면서 스트라이프 코팅막 수(해상도)를 증가시킬 수 있다.

특히, 제3 실시예는 마이크로 팁 간 간격을 줄이지 않고 스트라이프 코팅막간 간격이 줄어들게 되어 밀도가 높아지고, 스트라이프 코팅막의 선폭까지 감소함으로써, 헤드 설치 각도의 변경을 통하여 고해상도 스트라이프 코팅이 가능해진다.

또한, 제4 실시예는 복수개의 다이 헤드가 불필요하게 되어 초기 비용 및 유지 관리의 번거로움이 절감되어 제품의 생산성 및 편리성이 향상된다.

[제6 및 제7 실시예]

도 20 및 도 21을 참조하여 본 발명의 제6 및 제7 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 심 플레이트의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

도 20 및 도 21에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제6 및 제7 실시예에 따른 심 플레이트는 종래 기술에 따른 직선형의 빗살 무늬가 아닌 압정 형상 또는 끝이 점점 좁아지는 태이퍼드(tapered) 형의 빗살 무늬 도수로를 갖는다.

다만, 빗살 무늬 도수로의 끝부분 폭은 마이크로 팁의 폭과 같게 설계되어야 한다.

이러한 구조의 압정 형상 또는 태이퍼드 형의 도수로는 캐비티 내에 압력 분포가 미세하게 불 균일하더라도 유체 유동의 저항을 증가시키기 때문에 캐비티 압력 상승도 균일한 측면 압력 분포를 얻을 수 있다.

이러한 압정 형상 또는 태이퍼드 형의 용액 저장용 제2 캐비티(secondary cavity) 역할을 함으로써 각 마이크로 팁에 더 안정적으로 코팅액을 공급할 수 있다.

특히, 압정 형상의 경우 도 20 및 도 21에서 마이크로 팁과의 거리(d)를 작게 하여 마이크로 팁 근처까지 2차 용액 저장 효과가 나타남으로써 단순 직선형 빗살 무늬보다 더 안정적인 용액 공급이 가능해진다.

한편, 본 발명은 상술한 제6 실시예의 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제6 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제6 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

즉, 본 발명의 제6 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 심 플레이트가 하부 측면에 압정 형상의 도수로를 갖는 복수개의 패턴을 구비하고, 상기 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 패턴을 통해 상기 헤드 립 방향으로 토출시키는 기능이 기록된다.

또한, 제1 측 본체 또는 상기 제2 측 본체의 내부면에는 상기 코팅액이 충진되는 캐비티가 상기 복수개의 패턴과 연결되어 길이 방향으로 형성되고, 상기 코팅액을 폭 방향으로 분배시키는 기능이 기록된다.

또한, 본 발명은 상술한 제7 실시예의 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제7 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제7 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

즉, 본 발명의 제7 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 심 플레이트가 하부 측면 방향으로 끝이 점점 좁아지는 태이퍼드 형의 도수로를 갖는 복수개의 패턴을 구비하고, 상기 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 패턴을 통해 상기 헤드 립 방향으로 토출시키는 기능이 기록된다.

[제8 실시예]

도 22는 본 발명의 제8 실시예에 따라 제조된 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 분해 사시도로서, 제1 측 본체(100), 제2 측 본체(200) 및 백 플레이트 (300')를 구비한다.

도 22를 참조하여 본 발명의 제8 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 심 플레이트의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

일반적으로 하나의 헤드에서 가능한 한 여러 마이크로 팁을 제작함으로써 실제 AMOLED 픽셀 코팅을 위해 요구되는 헤드 수를 줄일 수 있다.

하지만, 실제 헤드를 2열 또는 3열로 배치를 해야 하고, 마이크로 팁간 간격이 좁아지면 서로 코팅액이 분리되지 않고 맞닿아 버리는 현상인 크로스 토크(crosstalk)가 발생하여 균일한 스트라이프(stripe) 코팅이 불가능해진다.

이를 해결하기 위하여 도 22에서 보듯이 백 플레이트(300')의 마이크로 팁 부분은 친수성 프라이머(primer)를 코팅한다.

또한, 헤드 립 부분은 소수성 불소 수지 및 PMMA 코팅을 하여 표면 처리를 하거나 스퍼터 또는 열 증착을 이용하여 물리적 증착을 수행한다.

이로써 백 플레이트(300')의 복수개의 마이크로 팁 간에 크로스 토크 없이 밀접하게 배치할 수 있게 되어 균일한 스트라이프 코팅이 가능해진다.

즉, 도 22에서 보는 바와 같이, 제1 측 본체(100) 및 제2 측 본체(200)는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트이며, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접한다.

제1 측 본체(100)와 제2 측 본체(200)의 사이에는 후술하는 처리 방법에 따라 처리된 백 플레이트(300')가 삽입된다.

백 플레이트(300')는 친수성 표면 처리되어 캐비티로부터 분배되는 코팅액을 전달받아 유체 유동을 통하여 원활하게 마이크로 팁 방향으로 토출시킨다.

반면, 도 22에서 보는 바와 같이, 제1 측 본체(100)와 제2 측 본체(200)의 헤드 립(lip)은 소수성 표면 처리되어 백 플레이트(300')의 마이크로 팁간 간격이 좁아지더라도 코팅액이 서로 잘 분리되게 하여 크로스 토크 현상을 방지한다.

한편, 본 발명은 상술한 제8 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제8 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제8 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제5 실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제8 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 백 플레이트가 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 상기 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 상기 헤드 립 방향으로 토출시키는 기능이 기록된다.

또한, 상기 헤드 립 표면은 소수성 표면 처리를 하고, 상기 백 플레이트 표면은 친수성 표면 처리를 하는 기능이 기록된다.

제1 측 본체 또는 상기 제2 측 본체의 내부면에는 상기 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 상기 코팅액을 폭 방향으로 분배시키는 기능이 기록된다.

제6 실시예 내지 제8 실시예에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 듀얼 플레이트 구조에서 코팅액의 유체 유동 저항을 증가시키기 위해 압정 형상의 빗살 무늬 도수로를 갖는 심 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

또한, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 듀얼 플레이트 구조에서 코팅액의 유체 유동 저항을 증가시키기 위해 끝이 점점 좁아지는 태이퍼드 형의 도수로를 갖는 심 플레이트를 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

또한, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이 내 백 플레이트의 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 마이크로 팁간의 크로스 토크 현상을 방지하여 균일한 스트라이프 코팅을 할 수 있는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

또한, 제8 실시예는 백 플레이트의 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 백 플레이트는 친수성 표면 처리되어 캐비티로부터 분배되는 코팅액을 전달받아 유체 유동을 통하여 원활하게 마이크로 팁 방향으로 토출시킬 수 있고, 헤드 립이 소수성 표면 처리되어 코팅액이 서로 잘 분리되게 하여 크로스 토크 현상을 방지할 수 있게 된다.

또한, 제6 및 제7 실시예는 압정 형상 또는 태이퍼드 형의 빗살 무늬 도수로가 용액 저장용의 제2 캐비티 역할을 함으로써 각 마이크로 팁에 더 안정적으로 코팅액을 공급할 수 있게 된다.

[제9 및 제10 실시예]

도 23 내지 도 25를 참조하여 본 발명의 제9 실시예 및 제10 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같 다.

듀얼 플레이트는 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 복수개의 마이크로 팁을 통해 코팅액 토출구로 토출시킨다.

좌우 이동 개폐부는 듀얼 플레이트를 둘러싸면서 하부에 블로킹 팁을 구비하고 듀얼 플레이트의 길이 방향으로 좌우 이동을 하여 코팅액 토출구를 개폐한다.

전후 이동 개폐부는 하부에 블로킹 바를 구비하고 듀얼 플레이트의 폭 방향으로 전후 이동을 하여 코팅액 토출구를 개폐한다.

코팅액 토출구는 듀얼 플레이트의 하부 측면에 복수개의 마이크로 팁과 인접하여 형성된다.

즉, 발광 영역에 대한 정상 코팅 중 비 발광 영역인 뱅크 영역이 시작되는 경우, 다이 헤드 자체의 상하 이동 또는 좌우 이동 없이 다양한 배열의 픽셀을 제작할 수 있는 다른 방안으로서 마이크로 팁이 있는 여러 코팅액 토출구를 순간적으로 동시에 막는 좌우 이동 개폐부를 구비한다.

좌우 이동 개폐부는 마이크로 팁보다 조금 넓게 패턴되어 있는 블로킹 팁(blocking tip)을 가지며, 정상 코팅 시에는 도 23(a)와 같이 마이크로 팁에 인접하여 형성된 코팅액 토출구 옆 립 끝부분에 접촉되어 있어 코팅액 토출구를 열어 둔다.

그러다가, 비 발광 영역인 뱅크 영역을 만나면 다른 픽셀 코팅을 위하여 다이 헤드를 좌측 또는 우측 방향으로 이동시 도 23(b)와 같이 블로킹 팁을 마이크로 팁에 인접한 코팅액 토출구 측으로 이동시켜 코팅액 토출구를 닫는다.

즉, 본 발명의 제9 실시예는 마이크로 팁의 끝자락에서 메니스커스를 차단하는 대신, 헤드 립의 코팅액 토출구에서 코팅 용액의 흐름을 차단하기 때문에 소정의 시간 지연이 발생한다.

따라서, 공정 조건에 따라 픽셀 코팅 도중에 개폐부를 미리 가동하여 코팅액 토출구를 막음으로써 화소 끝가지 코팅이 되고 나서 헤드 이동 시에야 비로소 메니스커스가 끊어진다(도 24(b)).

그리고, 도 24(c)와 같이 이송 도중에 미리 개폐부를 블로킹 오프(off)하여 화소 영역에 도달시 바로 메니스커스가 형성되어 픽셀 영역이 시작되는 부분부터 정상 코팅이 재개된다.

본 발명의 제10 실시예는, 본 발명의 제9 실시예의 좌우 이동 개폐부 대신 전후 이동 개폐부를 구비하여 마이크로 팁이 있는 여러 코팅액 토출구를 순간적으로 동시에 개폐한다.

다만, 좌우 이동 개폐부와의 차이점은 블로킹 팁 대신 블로킹 바(blocking bar)을 구비하고 다이 헤드의 길이 방향으로 좌우 이동하는 대신 다이 헤드의 폭 방향으로 전후 이동하여, 복수개의 코팅액 토출구 전체를 개폐한다는 점이다.

한편, 본 발명은 상술한 제9 및 제10실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제9 및 제10실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제9 및 제10실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제9 및 제10실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

또한, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드가 컴퓨터에 삽입된 기능 확장 보드나 컴퓨터에 접속된 기능 확장 유닛에 구비되는 메모리에 기록된 후, 다음 프로그램 코드의 지시에 기초해 그 확장 기능을 확장 보드나 확장 유닛에 구비되는 CPU 등이 처리를 해 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 상술한 제9 및 제10실시예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제9 및 제10 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체가 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 듀얼 플레이트가 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 상기 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 코팅액 토출구로 토출시키는 기능이 기록된다.

또한, 개폐부가 듀얼 플레이트를 둘러싸면서 하부에 블로킹 팁을 구비하고 상기 듀얼 플레이트의 길이 방향으로 좌우 이동을 하거나, 하부에 블로킹 바를 구비하고 상기 듀얼 플레이트의 폭 방향으로 전후 이동을 하여 상기 코팅액 토출구를 개폐하는 기능; 코팅액 토출구가 상기 듀얼 플레이트의 하부 측면에 상기 복수개의 마이크로 팁과 인접하여 형성되는 기능이 기록된다.

[제11 실시예]

블로킹 기판은 전도성 기판(510) 및 압전(piezo) 세라믹(520)을 포함한다.

도 26 및 도 27을 참조하여 본 발명의 제11 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

블로킹 기판은 듀얼 플레이트 중 심 플레이트와 접촉하는 제1 측 또는 제2 측 본체를 둘러싸면서 하부에 복수개의 블로킹 팁을 구비하고 전원의 인가 여부에 따라 압전 굽힘 작동기로 동작하여 복수개의 블로킹 팁으로 코팅액 토출구를 개폐한다.

즉, 발광 영역에 대한 정상 코팅 중 비 발광 영역인 뱅크 영역이 시작되는 경우, 좀 더 정확한 코팅액 토출구 개폐를 위하여 제9 내지 제10 실시예에서의 소정의 모터 구동 방식이 아닌 전기에 의해 제어되는 압전 굽힘 작동기(piezo bending actuator)로 동작되는 블로킹 팁을 구비한다.

이와 같이, 본 발명의 제11 실시예는 전기적으로 제어되므로 기계적으로 제어되는 제9 내지 제10 실시예보다는 좀 더 정교한 제어가 가능하다.

도 27(a)에서 보는 바와 같이, 압전 굽힘 작동기 턴 오프시에는 블로킹 기판에 전기를 가하지 않음으로써 블로킹 팁이 코팅액 토출구와 일정 간격을 유지하면서 떨어져 있어 코팅액 토출구가 개방되어 있다.

도 27(b)에서 보는 바와 같이, 압전 굽힘 작동기 턴 온 시에는 블로킹 기판에 전기가 가해짐으로써 기판이 휘어지게 되고 기판의 끝 자락이 마이크로 팁의 코팅액 토출구로 향하면서 코팅액 토출구가 닫히게 된다.

한편, 본 발명은 상술한 제11 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제11 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제11 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제11 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제11 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

또한, 블로킹 기판이 듀얼 플레이트 중 심 플레이트와 접촉하는 제1 측 또는 제2 측 본체를 둘러싸면서 하부에 복수개의 블로킹 팁을 구비하고 전원의 인가 여부에 따라 압전 굽힘 작동기로 동작하여 상기 복수개의 블로킹 팁으로 코팅액 토출구를 개폐하는 기능이 기록된다.

또한, 코팅액 토출구는 상기 듀얼 플레이트의 하부 측면에 상기 복수개의 마이크로 팁과 인접하여 형성되는 기능이 기록된다.

제9 실시예 내지 제11 실시예에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 발광 영역에 대한 정상 코팅 중 비 발광 영역인 뱅크 영역이 시작되는 경우, 다이 헤드 자체의 상하 또는 좌우 이동 없이 기계적 또는 전기적 구동을 통해 복수개의 코팅액 토출구 전체를 개폐하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

이를 통하여, OLED 디스플레이 발광 화소 배열 방식 중 스트라이프 배열뿐 아니라, 모자이크 배열 및 델타 배열 등 다양한 배열 방식의 화소 배열에 대해서도 다양한 형태의 디스플레이 화소 코팅이 가능하게 된다.

또한, 본 발명은 OLED 면광원과 같은 대면적 코팅시 나타나는 다이 헤드 자체의 상하 이동으로 넓은 다이 립 부분에 있는 코팅 용액이 가운데로 몰리는 현상과 코팅 용액이 골고루 분포되는 소요 시간이 많이 걸리는 문제가 해결된다.

다음에, 본 발명의 제 2 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와, 하부에 복수개의 단차 패턴을 구비하여 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되며, 상기 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 싱글 플레이트를 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체는, 각각 내부면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되어 상기 코팅액을 폭 방향으로 분배시킬 수 있다.

그리고, 상기 싱글 플레이트는, 심 플레이트가 복수개로 구비되며, 하부에 상기 복수개의 단차 패턴의 위치에 대응되어 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 상기 싱글 플레이트 사이에 삽입되는 분리벽을 포함할 수 있는데, 상기 분리벽은, 상기 싱글 플레이트와 인접하는 하부 양선단부에 상기 복수개의 마이크로 팁을 구비할 수 있다.

이러한 상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 상기 싱글 플레이트 및 분리벽이 복수의 세트로 구비되며, 양측면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 상기 싱글 플레이트 및 분리벽의 세트 중앙에 삽입되어 상기 코팅액을 인접한 상기 싱글 플레이트로 분배시키는 중간 헤드를 더 포함할 수 있다.

그리고, 상기 복수개의 마이크로 팁은, 각 선단부에서 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)될 수 있다.

한편, 상기 싱글 플레이트는, 하부에 상기 복수개의 단차 패턴의 위치에 인접하여 도수로를 형성하면서 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 가지는 백플레이트로 구비될 수 있다.

그리고, 상기 복수개의 마이크로 팁은, 은(Ag)을 이용하여 스크린 프린팅 및 소결한 후 레이저 가공 또는 식각하여 제조되거나, 혹은 알루미늄(Al)을 이용하여 금속 증착한 후 레이저 가공 또는 식각하여 제조될 수 있다.

이러한 상기 개폐부재는, 압전재료를 이용하여 압전 굽힘 액추에이터(piezo bending actuator)로 제조되며, 전압이 인가될 경우 토출구 폐쇄판이 구부러져 상기 코팅액 토출구를 폐쇄시킬 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 싱글 플레이트 기반으로 제공되는 본 발명의 제 2 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제12 실시예]

도 28 내지 도 30을 참조하여 본 발명의 제12 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드의 구조 및 기능을 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 제4 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내에 장착되는 플레이트는 도 13에서 보는 바와 같이, 5 개로서 각각 정렬 키(align key)에 의해 조립되기 때문에 설령 조립 과정에서 오차가 없다고 할지라도, 본 발명의 제12 실시예에서는 좀 더 용이한 사용 및 관리를 위해 플레이트 수를 줄이는 방안이 적용된다.

즉, 도 28 및 도 29에서 보는 바와 같이, 본 발명의 제12 실시예는 본 발명의 제4 실시예의 좌측 및 우측 백 플레이트에 해당하는 부분을 두꺼운 분리벽에 의해 대체한다.

도 30에서 보는 바와 같이, 두꺼운 분리벽에는 가공 장비를 이용하여 좌측/우측 마이크로 팁을 서로 엇갈리게 제작할 수도 있다.

본 발명의 제12 실시예는 제1 측 및 제2 측 본체, 복수개의 심 플레이트 및 분리벽을 구비한다.

따라서, 본 발명의 제12 실시예 역시 도 8 및 도 10에 도시된 종래 기술처럼 헤드를 2열 이상 복수개로 배치하지 않고도 하나의 헤드로 고해상도 스트라이프 코팅이 가능해진다.

복수개의 심 플레이트는 하부 측면에 서로 엇갈리게 형성된 직사각형 형상의 복수개의 단차 패턴을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 복수개의 단차 패턴을 통해 헤드 립 방향으로 토출시킨다.

분리벽은 하부 측면에 복수개의 단차 패턴의 위치와 상응되는 위치에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 심 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 심 플레이트를 분리시킨다.

제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 코팅액을 폭 방향으로 분배시킨다.

분리벽의 두께는 좌측/우측 마이크로 팁 간의 코팅액이 맞닿아 뭉치는 크로스 토크 현상이 발생하지 않도록 2 mm 이상 충분히 두꺼워야 한다.

한편, 본 발명의 제12 실시예의 고 해상도용 슬롯 다이 헤드로 한정되지 않고 복수의 기기로 구성되는 시스템에 적용해도, 하나의 기기로 구성되는 장치로 적용해도 무관하다.

상술한 제12 실시예의 기능을 실현하는 소프트웨어의 프로그램 코드를 기억한 기록 매체를 시스템 혹은 장치에 공급하고 그 시스템 혹은 장치의 컴퓨터(또는 CPU나 MPU)가 기록 매체에 격납된 프로 그램 코드를 읽어내 실행함으로써 완성될 수 있다.

이 경우, 기록 매체에서 읽어내진 프로그램 코드 자체가 상술한 제12 실시예의 기능을 실현하게 되어, 그 프로그램 코드를 기억한 기록 매체는 본 발명을 구성하게 된다.

또한, 컴퓨터가 읽어낸 프로그램 코드를 실행함으로써, 상술한 제12 실시예의 기능이 실현되는 것 만이 아니고, 그 프로그램 코드의 지시에 기초해 컴퓨터상에서 가동하고 있는 운영 체제(operating system, OS) 등이 실제의 처리 일부 또는 전부를 하고, 그 처리에 의해 전술한 실시 예의 기능이 실현될 경우도 포함될 수 있다.

즉, 본 발명의 제12 실시예에 따른 기록매체는 컴퓨터에서 실행 가능한 프로그램이 탑재되어 있다.

이러한 기록매체에는 제1 측 및 제2 측 본체는 단면이 직각 사다리꼴 형상인 플레이트로서, 직각 사다리꼴 형상의 직각 부분은 상부에서 접하고, 빗변 부분의 일측은 하부에서 접하여 헤드 립을 형성하는 기능; 복수개의 심 플레이트가 하부 측면에 서로 엇갈리게 형성된 직사각형 형상의 복수개의 단차 패턴을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 복수개의 단차 패턴을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 기능이 기록된다.

또한, 분리벽은 하부 측면에 복수개의 단차 패턴의 위치와 상응되는 위치에 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 복수개의 심 플레이트 사이에 삽입되어 복수개의 심 플레이트를 분리시키는 기능; 제1 및 제2 측 본체의 내부면 각각에는 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 코팅액을 폭 방향으로 분배 시키는 기능;이 기록된다.

한편, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 2 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에는 본 발명의 제 1 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드에 적용된 구성이 적용될 수 있는데, 도 23 내지 도 27을 참조하여 설명한 제9 실시예 내지 제11 실시예의 구성이 적용될 수 있음은 물론이다.

다음에, 본 발명의 제 3 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법은, 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 스크린 프린팅 마스크를 생성하는 단계와, 상기 생성된 스크린 프린팅 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와, 상기 스크린 프린팅 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작을 기판 상부면에 도수로용 금속 패턴막으로 스크린 프린팅하는 단계와, 상기 스크린 프린팅 마스크를 제거하고 상기 금속 패턴막을 소결시키는 단계와, 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 소결된 금속 패턴막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계를 포함할 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 3 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제13 실시예]

도 31은 본 발명의 제13 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법에 대한 시간의 경과에 따른 공정도로서, 스크린 프린팅 마스크(305), 백 플레이트 제작용 기판(300), 백 플레이트(300') 및 금속 패턴 막(500)을 포함하고, 금속 패턴막(500)은 복수개의 직선형 빗살(510) 및 복수개의 홈(520)을 포함한다.

도 31 및 도 32를 참조하여 본 발명의 제13 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 31(a)와 같이 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 스크린 프린팅 마스크(305)를 생성한다(S110).

생성된 스크린 프린팅 마스크(305) 하부면에 백 플레이트 제작용 기판(300)을 장착한다(S120).

이때, 백 플레이트 제작용 기판(300)의 재질로는 플라스틱 기판 또는 스테인레스(stainless, sus) 재질이 바람직하다.

스크린 프린팅 마스크(305) 및 이에 장착된 백 플레이트 제작용 기판(300) 상부면에 50~200 ㎛ 정도의 두께를 갖는 금속 패턴막(500)으로 스크린 프린팅을 수행한다(S130).

이때, 금속 패턴막(500)은 도수로 역할의 메탈 페이스트(metal paste)로 스크린 프린팅을 수행한다.

여기에서, 메탈 페이스트(Metal Paste)란 소정의 금속 가루를 휘발성 있는 용매에 녹여서 끈적끈적한 액체가 되게 만든 것으로서, 소정의 시간이 지나면 용매가 휘발되면서 금속 입자만 남게 되어 결국 금속을 코팅한 결과와 동일하게 되는 물질이다.

또한, 스크린 프린팅이란 소정의 형상으로 패터닝된 스크린 마스크 위에 수공적 또는 광화학적 방법으로 판막을 만들어 필요한 화상 이외의 부분을 막고 그 안에 인쇄 잉크나 메탈 페이스트 등을 부어 스퀴지(Squeegee) 등으로 스크린 내면을 가압하면서 움직이면, 인쇄 잉크나 메탈 페이스트가 판막이 없는 패터닝된 부분을 통과하여 판 밑에 놓여 있는 피 인쇄체에 인쇄되는 기법이다.

이 프린팅 기법은 식각 공정이 필요하지 않은 인쇄 기법으로서, 그라비어, 잉크젯, 오프셋 등 다른 프린팅 기법에 비해 내광성이 있다.

또한, 인쇄 잉크나 메탈 페이스트의 두께를 조절할 수 있고, 목적이나 디자인에 따라서 손쉬운 수동 커팅 제판 및 수동 인쇄가 가능하여 공정 및 단가 측면에서 유리하다.

보통 메탈 페이스트 금속으로 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 금(Au) 또는 은(Ag)을 사용하는데, 본 발명의 제13 실시예에서는 은(Ag)을 사용한다.

스크린 프린팅이 수행된 스크린 프린팅 마스크(305)를 제거하고(S140) 은(Ag)을 소결시킨다(S150).

은(Ag)이 소결된 도수로 패턴과 정렬되어 마이크로 팁 형성을 위하여 소결된 금속 패턴막(500) 영역과 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공 또는 에칭한다(S160).

이때, 마이크로 팁은 소결된 금속 패턴막(500) 영역 중 복수개의 직선형 빗살(510) 사이에 형성된 복수개의 홈(520)의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출되어 형성된다.

한편, 상술한 본 발명의 제13 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.

상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다.

상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나, 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다.

컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광 기록 매체(optical media)가 포함된다.

또한, 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체 (magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리, HDD(Hard Disk Drive), Micro SD Card, USB Memory 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도 록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다.

프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐 만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.

상기된 하드웨어 장치는 본 발명의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.

즉, 본 발명에 따른 프로그램은 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법에 관한 컴퓨터 프로그램으로서, 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 스크린 프린팅 마스크를 생성하는 단계; 상기 생성된 스크린 프린팅 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계; 상기 스크린 프린팅 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 상부면에 도수로용 금속 패턴막으로 스크린 프린팅하는 단계; 상기 스크린 프린팅 마스크를 제거하고 상기 금속 패턴막을 소결시키는 단계; 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 소결된 금속 패턴막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

본 발명의 컴퓨터 프로그램은 다양한 프로그램 코드가 실행 가능한 범용 컴퓨터 시스템에 대해서 컴퓨터 판독 가능의 형식으로 제공하는 기억 매체, 통신 매체, 예를 들면 CD나 FD, MO 등의 기록 매체, 혹은 네트워크 등의 통신 매체에 의해 제공 가능한 컴퓨터 프로그램이다.

이러한 프로그램을 컴퓨터 판독 가능의 형식으로 제공함으로써, 컴퓨터 시스템상에서 프로그램에 따른 처리가 실현된다.

다음에, 본 발명의 제 4 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법은, 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 증착용 마스크를 생성하는 단계와, 상기 생성된 증착용 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와, 상기 증착용 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 상부면에 코팅액 특성에 맞는 금속막을 진공 증착하는 단계와, 상기 백 플레이트 제작용 기판을 도수로 형태로 습식 에칭하여 상기 복수개의 직선형 빗살 및 상기 복수개의 홈을 형성하는 단계와, 상기 증착용 마스크를 제거하는 단계와, 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 증착된 금속막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계를 포함할 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 4 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제14 실시예]

본 발명의 제14 실시예에서는 은(Ag)을 사용한 스크린 프린팅 기법의 제13 실시예와 달리 알루미늄(Al)을 사용하여 메탈 증착 기법을 적용한다.

도 33은 본 발명의 제14 실시예에 따라 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플 레이트의 제조 방법에 대한 시간의 경과에 따른 공정도로서, 증착용 마스크(307), 백 플레이트 제작용 기판(300), 백 플레이트(300') 및 금속막(500')을 포 함하고, 금속막은 복수개의 직선형 빗살(510') 및 복수개의 홈(520')을 포함한다.

도 33 및 도 34를 참조하여 본 발명의 제14 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 33(a)와 같이 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 증착용 마스크를 생성한다(S210).

생성된 증착용 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판(300)을 장착한다(S220).

이때, 백 플레이트 제작용 기판(300)의 재질로는 플라스틱 기판 또는 sus 재질이 바람직하다.

장착된 백 플레이트 제작용 기판(300) 상부면에 코팅액 특성에 맞도록 50~200 ㎛ 정도의 두께를 갖는 금속막을 진공 증착한 후(S230), 백 플레이트 제작용 기판(300)을 도수로 형태로 습식 에칭(wet etching)하여(S240) 복수개의 직선형 빗살(510') 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈(520')을 패터닝한다.

이때, 금속막은 크롬(Cr), 알루미늄(Al), 금(Au) 또는 은(Ag)을 사용하는데, 본 발명의 제2 실시예에서는 알루미늄(Al)을 사용한다.

금속막 증착이 수행된 증착용 마스크를 제거시킨다(S250).

습식 에칭된 도수로 패턴과 정렬되어 마이크로 팁 형성을 위하여 증착된 금속막 영역과 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공 또는 에칭한다(S260).

이때, 마이크로 팁은 증착된 금속막 영역 중 복수개의 직선형 빗살(510') 사이에 형성된 복수개의 홈(520')의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출되어 형성된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 제13 및 제14 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법은 마이크로 팁 가공 영역을 제외한 백 플레이트(300') 위에 스크린 프린팅 기법에 의한 은(Ag) 금속 코팅 또는 메탈 증착 기법에 의한 알루미늄(Al) 증착 후 패터닝을 통하여 심 플레이트와 대응되게 도수로를 제작한다.

도수로 형성 후에 마이크로 팁 가공 영역을 레이저 가공이나 에칭을 통하여 제거하고 마이크로 팁을 형성한다.

이때, 용액이 토출되는 마이크로 팁의 수가 증가하면 각 마이크로 팁으로 균일한 용액이 토출되기 위해서는 캐비티(cavity) 내의 압력이 균일해야 한다.

한편, 상술한 본 발명의 제14 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.

즉, 본 발명의 제14 실시예에 따른 프로그램은 픽셀 코팅용 슬롯 다이 헤드 내 백 플레이트의 제조 방법에 관한 컴퓨터 프로그램으로서, (a) 사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 증착용 마스크를 생성하는 단계; (b) 상기 생성된 증착용 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계; (c) 상기 증착용 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 상부면에 코팅액 특성에 맞는 금속막을 진공 증착하는 단계; (d)상기 백 플레이트 제작용 기판을 도수로 형태로 습식 에칭하여 상기 복수개의 직선형 빗살 및 상기 복수개의 홈을 형성하는 단계; (e) 상기 증착용 마스크를 제거하는 단계; 및 (f) 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 증착된 금속막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

제13 실시예 및 제14 실시에에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 슬롯 다이의 듀얼 플레이트 구조로 인해 슬롯 다이 헤드 조립시 발생 가능한 정렬에 따른 오차를 방지하고, 클리닝 등의 번거로움을 줄이기 위해 스크린 프린팅 기법을 이용하여 심 플레이트 없이 백 플레이트에 도수로를 형성하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 백 플레이트 제조 방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 진공 증착 기법을 이용하여 심 플레이트 없이 백 플레이트에 도수로를 형성하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 백 플레이트 제조 방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 AMOLED 디스플레이 패널 제작시 사용되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 백 플레이트의 복수개의 마이크로 팁이 밀접하게 배치되더라도 마이크로 팁간의 크로스 토크 현상을 방지하여 균일한 스트라이프 코팅을 할 수 있는 픽셀 코 팅용 슬롯 다이 헤드를 제공한다.

이를 통하여, 제13 실시예 및 제14 실시예에서는 인쇄 잉크량이나 메탈 페이스트의 두께를 자유롭게 조절할 수 있고, 목적이나 디자인에 따라서 손쉬운 수동 커팅 제판 및 수동 인쇄가 가능하여 제조 공정 및 단가가 절감된다.

한편, 본 발명의 제 5 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 상승시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 다이 헤드를 하강시켜 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비할 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 5 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제15 실시예]

도 35 및 도 36을 참조하여 본 발명의 제15 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 35(a)와 같이 일정한 코팅 속도로 이송중인 기판 상에서 발광 영역인 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S110).

그러다가, 화소 영역 구분하기 위한 비 발광 영역인 뱅크(bank) 영역을 만나면(S120) 도 35(b)와 같이 다이 헤드를 상승시켜(S130) 메니스커스를 끊어 다이 코팅을 일시 정지한다(S140).

그 후에 발광 영역인 화소 영역을 다시 만나면(S150) 도 35(c)와 같이 다이 헤드를 하강시켜(S160) 메니스커스를 안정화하여 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S170).

도 35(b) 단계에서 헤드 상승시 소정의 좌측 및 우측 이동(left and right shift) 장치(미도시)를 이용하여 다이 헤드를 좌측 및 우측 이동시킬 수 있다면 델타(Delta) 배열 방식 및 모자이크(Mosaic) 배열 방식의 화소 배열에 대한 코팅도 가능해진다.

이와 같이, 측면 패터닝(lateral patterning)이 가능한 도 3 및 도 4에 도시된 듀얼 플레이트를 갖는 헤드를 이용하면 듀얼 플레이트에 구비되어 패터닝된 마이크로 팁에서 메니스커스가 발생한다.

이 때문에 다이 헤드를 상승 및 하강시켜도 안정적 메니스커스를 얻는데 걸리는 시간이 매우 짧아 스트라이프(stripe) 배열뿐 아니라, 모자이크(Mosaic) 배열 및 델타(Delta) 배열 등 다양한 배열 방식의 화소 배열에 대해서도 다양한 형태의 디스플레이 화소 코팅이 가능하게 된다.

한편, 상술한 본 발명의 제15 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로 그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.

즉, 본 발명에 따른 프로그램은 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 관한 컴퓨터 프로그램으로서, (a) 이송중인 기판 상에서 화소 영 역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계; (b) 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 상승시켜 다이 코팅을 일시 정지하는 단계; 및 (c) 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 다이 헤드를 하강시켜 정상적인 다이 코팅을 재수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

또한, 본 발명에 따른 프로그램은 다이 헤드가 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1 측 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트의 특징을 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

이러한 프로그램을 컴퓨터 판독 가능의 형식으로 제공함으로써, 컴 퓨터 시스템상에서 프로그램에 따른 처리가 실현된다.

한편, 본 발명의 제 6 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 이동된 다이 헤드의 위치가 고정된 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함할 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 6 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제16 실시예]

도 37 및 도 38을 참조하여 본 발명의 제16 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 37(a)와 같이 일정한 코팅 속도로 이송중인 기판 상에서 발광 영역인 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S210).

그러다가, 비 발광 영역인 뱅크 영역을 만나면(S220) 도 35(b)에 도시된 제15 실시예서처럼 다이 헤드를 상승시킬 필요 없이 도 37(b)와 같이 다이 헤드를 신속하게 좌측 또는 우측 이동시켜(S230) 메니스커스를 순간적으로 끊어 다이 코팅을 일시 정지한다(S240).

이를 위하여, 본 발명의 제16 실시예는 제15 실시예와 마찬가지로 다이 헤드를 이동시키는 소정의 좌측 및 우측 이동 장치(미도시)를 구비한다.

그 후에 발광 영역인 화소 영역을 다시 만나도(S250) 도 35(c)에 도시된 제15 실시예서처럼 다이 헤드를 하강시킬 필요 없이 도 37(c)와 같이 도 37(b) 단계에서 이동된 다이 헤드의 위치를 고정시킨 상태에서(S260) 메니스커스를 안정화하여 다시 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S270).

이는 측면 패터닝(lateral patterning)이 가능한 듀얼 플레이트를 갖는 헤드의 장점을 이용한 것으로서, 듀얼 플레이트에 패터닝된 마이크로 팁에서 메니스커스가 발생하여 다이 헤드를 순간적으로 좌측 또는 우측 이동시켜도 안정적 메니스커스를 얻는데 걸리는 시간이 매우 짧기 때문에 도 37(c)와 같이 종 방향(web direction) 패터닝도 가능하게 된다.

따라서, 제16 실시예는 제15 실시예와 마찬가지로 스트라이프(stripe) 배열뿐 아니라, 모자이크(Mosaic) 배열 및 델타(Delta) 배열 등 다양한 배열 방식의 화소 배열에 대해서도 다양한 형태의 디스플레이 화소 코팅이 가능하게 된다.

한편, 상술한 본 발명의 제16 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로 그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.

즉, 본 발명의 제16 실시예에 따른 프로그램은 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 관한 컴퓨터 프로그램으로서, (a) 이송중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계; (b) 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시켜 다이 코팅을 일시 정지하는 단계; 및 (c) 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 이동된 다이 헤드의 위치가 고 정된 상태에서 정상적인 다이 코팅을 재수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

한편, 본 발명의 제 7 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은, 이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와, 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드의 헤드 립 부분을 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직여 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와, 상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 움직인 다이 헤드의 헤드 립 부분을 원위치 시킨 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함할 수 있다.

다음에, 상술한 바와 같은 본 발명의 제 7 측면에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 대해 도면을 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.

[제17 실시예]

도 39 및 도 40을 참조하여 본 발명의 제17 실시예에 따른 복수 방식 배열의 픽셀 코팅용 슬롯 다이 코팅 방법을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 39(a)와 같이 일정한 코팅 속도로 이송중인 기판 상에서 발광 영역인 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S310).

그러다가, 비 발광 영역인 뱅크 영역을 만나면(S320) 도 35(b)에 도시된 제15 실시예서처럼 다이 헤드를 상승시키거나 도 37(b)에 도시된 제16 실시예서 처럼 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시킬 필요 없이 도 39(b)와 같이 다이 헤드의 헤드 립 부분을 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직여(S330) 메니스커스를 순간적으로 끊어 다이 코팅을 일시 정지한다(S340).

이를 위하여, 본 발명의 제17 실시예는 다이 헤드의 헤드 립 부분을 다이 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직일 수 있는 장치(미도시)를 구비한다.

그 후에 발광 영역인 화소 영역을 다시 만나도(S350) 도 35(c)에 도시된 제15 실시예서처럼 다이 헤드를 하강시킬 필요 없이 도 39(c)와 같이 다이 헤드의 헤드 립 부분을 원위치 시킨 상태에서(S360) 메니스커스를 안정화하여 다시 정상적인 다이 코팅 작업을 수행한다(S370).

이는 측면 패터닝(lateral patterning)이 가능한 듀얼 플레이트를 갖는 헤드의 장점을 이용한 것으로서, 듀얼 플레이트에 패터닝된 마이크로 팁에서 메니스커스가 발생하여 다이 헤드의 헤드 립 부분을 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직여도 안정적 메니스커스를 얻는데 걸리는 시간이 매우 짧기 때문에 도 39(c)와 같이 종 방향(web direction) 패터닝도 가능하게 된다.

따라서, 제17 실시예는 제15 및 제16 실시예와 마찬가지로 스트라이프 (stripe) 배열뿐 아니라, 모자이크(Mosaic) 배열 및 델타(Delta) 배열 등 다양한 배열 방식의 화소 배열에 대해서도 다양한 형태의 디스플레이 화소 코팅이 가능하 게 된다.

또한, 상술한 본 발명의 제17 실시예에 따른 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로 그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.

즉, 본 발명의 제17 실시예에 따른 프로그램은 고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법에 관한 컴퓨터 프로그램으로서, (a) 이송중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계; (b) 뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시켜 다이 코팅을 일시 정지하는 단계; 및 (c) 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 이동된 다이 헤드의 위치가 고 정된 상태에서 정상적인 다이 코팅을 재수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램이다.

이상, 일부 예를 들어서 본 발명의 바람직한 여러 가지 실시예에 대해서 설명하였지만, 본 "발명을 실시하기 위한 구체적인 내용" 항목에 기재된 여러가지 다양한 실시예에 관한 설명은 예시적인 것에 불과한 것이며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이상의 설명으로부터 본 발명을 다양하게 변형하여 실시하거나 본 발명과 균등한 실시를 행할 수 있다는 점을 잘 이해 하고 있을 것이다.

또한, 본 발명은 다른 다양한 형태로 구현될 수 있기 때문에 본 발명은 상술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니며, 이상의 설명은 본 발명의 개시내용이 완전해지도록 하기 위한 것으로 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것일 뿐이며, 본 발명은 청구범위의 각 청구항에 의해서 정의될 뿐임을 알아야 한다.

<부호의 설명>

100: 제1 측 본체

200: 제2 측 본체

300: 백 플레이트

400: 심 플레이트

Claims

직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와,

하부에 복수개의 마이크로 팁이 돌출된 백 플레이트를 구비하며, 상기 심플레이트에 인접하여 상기 복수개의 마이크로 팁에 대응하는 복수개의 단차 패턴이 하부에 형성된 심 플레이트를 구비하고, 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 듀얼 플레이트

를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 1 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 복수개가 구비되어 헤드 고정부를 통해 복수의 세트로 결합되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 2 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는,

상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 포함하는 각 세트가 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 1 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는, 복수개가 구비되되, 적어도 하나가 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 생성되는 스트라이프 코팅이 중복되지 않도록 코팅 방향과 예각을 이루도록 장착되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체는, 각각 내부면에 상기 코팅액이 충진되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 5 항에 있어서,

상기 듀얼 플레이트는, 복수개가 구비되되, 각 사이에 분리판이 삽입되어 분리되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 6 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는,

상기 듀얼 플레이트가 복수개의 세트로 구비되며,

상기 복수개의 마이크로 팁 및 복수개의 단차 패턴을 포함하는 각 세트가 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 6 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는,

양측면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 상기 듀얼 플레이트의 세트 중앙에 삽입되어 상기 코팅액을 인접한 상기 듀얼 플레이트로 분배시키는 중간 헤드

를 더 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 8 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는,

볼트 결합 방식으로 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체와 상기 듀얼 플레이트를 관통하여 상기 중간 헤드에 결합되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 5 항에 있어서,

상기 복수개의 단차 패턴은, 직선 형상, 압정 형상 및 테이퍼드 형상 중 어느 하나로 각각 형성되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 10 항에 있어서,

상기 복수개의 단차 패턴은, 하단폭이 상기 마이크로 팁의 폭과 동일하게 형성되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 5 항에 있어서,

상기 헤드 립은, 소수성 불소 수지 및 PMMA(Polymethly Methacrylate) 수지를 이용하여 소수성 표면 처리를 하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 12 항에 있어서,

상기 복수의 마이크로 팁은, 각각 프라이머(primer)를 이용하여 친수성 표면 처리를 하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 5 항에 있어서,

상기 고 해상도 슬롯 다이 헤드는,

상기 토출액이 토출되는 코팅액 토출구를 개폐하는 개폐부재

를 더 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 14 항에 있어서,

상기 개폐부재는, 상기 듀얼 플레이트를 감싸는 형태로 구비되어 좌우 이동하거나, 혹은 전후 이동하는 방식으로 상기 코팅액 토출구를 개폐시키는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 14 항에 있어서,

상기 개폐부재는, 압전재료를 이용하여 압전 굽힘 액추에이터(piezo bending actuator)로 제조되며, 전압이 인가될 경우 토출구 폐쇄판이 구부러져 상기 코팅액 토출구를 폐쇄시키는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
직각 사다리꼴 형상 단면을 가지며, 상호 대향되게 배치되어 하부에 헤드 립을 형성하는 제1 측 본체 및 제2 측 본체와,

하부에 복수개의 단차 패턴을 구비하여 상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되며, 상기 복수개의 단차 패턴을 통해 코팅액을 하부로 토출시키는 싱글 플레이트

를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 17 항에 있어서,

상기 제1 측 본체 및 제2 측 본체는, 각각 내부면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되어 상기 코팅액을 폭 방향으로 분배시키는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 18 항에 있어서,

상기 싱글 플레이트는, 심 플레이트가 복수개로 구비되며,

하부에 상기 복수개의 단차 패턴의 위치에 대응되어 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 상기 싱글 플레이트 사이에 삽입되는 분리벽

을 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 19 항에 있어서,

상기 분리벽은, 상기 싱글 플레이트와 인접하는 하부 양선단부에 상기 복수개의 마이크로 팁을 구비하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 20 항에 있어서,

상기 고 해상도용 슬롯 다이 헤드는,

상기 싱글 플레이트 및 분리벽이 복수의 세트로 구비되며,

양측면에 상기 코팅액이 충전되는 캐비티가 길이 방향으로 형성되고, 상기 싱글 플레이트 및 분리벽의 세트 중앙에 삽입되어 상기 코팅액을 인접한 상기 싱글 플레이트로 분배시키는 중간 헤드

를 더 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 20 항에 있어서,

상기 복수개의 마이크로 팁은, 각 선단부에서 서로 중복되지 않는 팁 위치를 갖도록 미스얼라인(misalign)되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 18 항에 있어서,

상기 싱글 플레이트는, 하부에 상기 복수개의 단차 패턴의 위치에 인접하여 도수로를 형성하면서 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 가지는 백플레이트로 구비되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 23 항에 있어서,

상기 복수개의 마이크로 팁은, 은(Ag)을 이용하여 스크린 프린팅 및 소결한 후 레이저 가공 또는 식각하여 제조되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 23 항에 있어서,

상기 복수개의 마이크로 팁은, 알루미늄(Al)을 이용하여 금속 증착한 후 레이저 가공 또는 식각하여 제조되는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 17 항에 있어서,

상기 고 해상도 슬롯 다이 헤드는,

상기 토출액이 토출되는 코팅액 토출구를 개폐하는 개폐부재

를 더 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 26 항에 있어서,

상기 개폐부재는, 상기 듀얼 플레이트를 감싸는 형태로 구비되어 좌우 이동하거나, 혹은 전후 이동하는 방식으로 상기 코팅액 토출구를 개폐시키는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
제 26 항에 있어서,

상기 개폐부재는, 압전재료를 이용하여 압전 굽힘 액추에이터(piezo bending actuator)로 제조되며, 전압이 인가될 경우 토출구 폐쇄판이 구부러져 상기 코팅액 토출구를 폐쇄시키는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드.
사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 스크린 프린팅 마스크를 생성하는 단계와,

상기 생성된 스크린 프린팅 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와,

상기 스크린 프린팅 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작을 기판 상부면에 도수로용 금속 패턴막으로 스크린 프린팅하는 단계와,

상기 스크린 프린팅 마스크를 제거하고 상기 금속 패턴막을 소결시키는 단계와,

상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 소결된 금속 패턴막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계

를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법.
사각변 중 한 변이 복수개의 직선형 빗살 및 그 사이에 형성된 복수개의 홈으로 패터닝된 증착용 마스크를 생성하는 단계와,

상기 생성된 증착용 마스크 하부면에 백 플레이트 제작용 기판을 장착하는 단계와,

상기 증착용 마스크 및 상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 상부면에 코팅액 특성에 맞는 금속막을 진공 증착하는 단계와,

상기 백 플레이트 제작용 기판을 도수로 형태로 습식 에칭하여 상기 복수개의 직선형 빗살 및 상기 복수개의 홈을 형성하는 단계와,

상기 증착용 마스크를 제거하는 단계와,

상기 장착된 백 플레이트 제작용 기판 영역 중 상기 증착된 금속막 영역과 상기 복수개의 홈의 길이 방향으로 소정 길이만큼 돌출된 마이크로 팁 영역을 제외한 백 플레이트 영역을 레이저 가공하는 단계

를 포함하는 고 해상도용 슬롯 다이 헤드용 싱글 플레이트 제조 방법.
이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와,

뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 상승시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와,

상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 다이 헤드를 하강시켜 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며,

상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는

고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법.
이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와,

뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드를 좌측 또는 우측 이동시켜 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와,

상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 이동된 다이 헤드의 위치가 고정된 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며,

상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는

고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법.
이송 중인 기판 상에서 화소 영역에 대하여 정상적인 다이 코팅을 수행하는 단계와,

뱅크 영역이 시작되는 경우 다이 헤드의 헤드 립 부분을 코팅 방향의 전방 또는 후방으로 움직여 상기 다이 코팅을 일시 정지하는 단계와,

상기 화소 영역이 다시 시작되는 경우 상기 움직인 다이 헤드의 헤드 립 부분을 원위치 시킨 상태에서 상기 다이 코팅을 재수행하는 단계를 포함하며,

상기 다이 헤드는, 하부 측면에 소정의 간격으로 이격되어 소정 길이만큼 돌출된 복수개의 마이크로 팁을 구비하고, 제1측 본체 및 제2 측 본체 사이에 삽입되어 코팅액을 상기 복수개의 마이크로 팁을 통해 헤드 립 방향으로 토출시키는 듀얼 플레이트를 구비하는

고 해상도용 슬롯 다이 헤드를 이용한 슬롯 다이 코팅 방법.