TW559594B - Ejecting method and ejecting apparatus - Google Patents

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559594 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 A7 _B7_五、發明説明（1) 一、 發明所屬之技術領域 本發明相關於用來射出流體液體材料的射出方法且相 關於其設備。並且，本發明相關於電光設備，例如液晶設 備，電發光設備（下文稱爲EL設備），電泳設備，及電 漿顯示面板設備（下文稱爲PDP設備）。並且，本發明 相關於用來製造電光設備的電子發射設備的製造方法且相 關於其製造設備。並且，本發明相關於用於電光設備的濾 色器，以及濾色器的製造方法及其製造設備。另外，本發 明相關於電光構件，半導體設備，光學構件，具有底座構 件例如試劑檢驗構件的裝置，以及具有底座構件的裝置的 製造方法及其製造設備。 二、 先前技術 近來，爲例如液晶設備及EL設備的電光設備的顯示 設備被普遍地用於例如行動電話，行動電腦等電子裝置的 顯示部份。並且，近來，由顯示設備所實施者較普遍地爲 全彩色顯示操作。例如，藉著液晶設備的全彩色顯示操作 是藉著使由液晶層調變的光通過濾色器而實施。濾色器是 藉著將點形式的濾色器元件例如R (紅），G (綠），及 B (藍）濾色器元件以預定的設置方法例如條紋設置，三 角設置，及嵌鑲設置設置在由玻璃構件或塑膠構件製成的 底座板的表面上而形成。 並且，在藉著EL設備的全彩色顯示操作中，點形式 的EL發光層例如R (紅），G (綠），及B (藍）發光層 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 泉 -5- 559594 A7 B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以預定設置例如條紋設置，三角設置，及嵌鑲設置被設置 在由玻璃構件或塑膠構件製成的底座板的表面上。因此， 這些EL發光層被一對電極夾在中間，因而形成圖像元件 像素。藉著對每一圖像元件像素控制施加於這些電極的電 壓，這些圖像元件像素以計畫的顏色被照明，因而實現全 彩色顯示操作。 傳統上，已知光石印技術方法可被用來在濾色器的濾 色器元件例如R (紅），G (綠），及B (藍）濾色器元 件上實施定圖型操作，以及用來對EL設備的顏色圖像元 件像素例如R (紅），G (綠），及B (藍）圖像元件像 素實施定圖型操作。但是，其問題在於光石印技術方法的 製造過程複雜，且消耗大量的著色材料及光抗蝕劑，因而 製造成本增加。 爲解決此問題，曾提出藉著以噴墨方法來射出點形式 的濾器元件構件及EL發光構件而形成以點陣列形式被設 置的線絲（f i 1 a m e n t )及E L發光層的方法。 經濟部智慧財產苟8工消費合作社印製 此處，說明藉著噴墨方法來形成點形式的線絲及EL 發光層的方法。此處，如圖50B所示的以點形式被設置 的多個濾器元件303藉著噴墨方法而形成在多個面板區域 3 02的內部區域中，其中面板區域.302係被設置在由玻璃 構件或塑膠構件製成的大底座板例如圖50A所示的母板 3 01的表面上。在此情況中，如圖5 0 C所示，例如，多次 主掃描操作（圖50C中爲兩次）如由圖50B中的箭頭A1 及A2所示的由具有含有成陣列的多個噴嘴304的噴嘴陣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -6- 559594 經濟部智慧財產笱8工消費合作社印製 A7 B7__五、發明説明（3) 列305的成爲液滴射出頭的噴墨頭306在面板區域302之 一上實施。在主掃描操作期間，藉著從多個噴嘴選擇性地 射出濾器材料例如墨，可在計畫的位置形成瀘器元件303 〇 濾器元件303是如上所說明的藉著以較佳設置例如條 紋設置，三角設置，及嵌鑲設置來設置例如R，G，及B 的顏色而形成。藉此，在藉著如圖50B所示的噴墨頭306 的墨射出過程中，預先對例如R，G，及B的三種顏色提 供用來射出顏色的噴墨頭306。因此，藉著一個一個地使 用這些噴墨頭3 06，可在一母板301上實施R，G，及B 的二色設置。 但是，一般而言，由噴墨頭306的噴嘴陣列305中所 含有的多個噴嘴304射出的墨量在多個噴嘴之間有變化。 這是由圖5 1 A所示的墨射出特性所造成，其中墨射出量 在相應於噴嘴陣列305的兩端部的位置最大，而墨射出量 於噴嘴陣列305的兩端部的中間位置較少。墨射出量在噴 嘴陣列305的兩端部與其中間位置之間的位置最少。 因此，如圖50B所示，當濾器元件303由噴墨頭306 形成時，稠密條痕如圖5 1 B所示形成在相應於噴墨頭306 的兩端部的位置P 1及/或P 2上。如此，有濾色器的平面 半透明性變成不均勻的問題。 另一方面，多個面板區域302形成在母板301上，並 且提出當藉著使用一縱向噴墨頭來將噴墨頭設置於橫過噴 墨頭的主掃描方向的母板301的寬度尺寸的整個區域中時 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 參| 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559594 A7 B7 五、發明説明（4) ’可有效率地形成濾器元件303。但是，當根據面板區域 302使用不同尺寸的母板301時，對每一種情況必須有具 有不同尺寸的噴墨頭，因而成本增加。 三、發明內容 本發明係考慮上述的問題而形成。本發明的目的爲提 供藉著使用液滴射出頭例如噴墨來以較普遍的方式在低製 造成本下有效率地形成濾器元件的射出方法及其設備，電 光設備及其製造方法及製造設備，濾色器及其製造方法及 製造設備，以及具有底座構件的裝置及其控制方法及製造 設備。 (1 )射出設備的特徵在於包含： 一液滴射出頭，具有被排列成行用來將一流體液體材 料射出在一接收射出物質上的多個噴嘴； 一固持構件，用來將上面直列地設置有用來射出液體 材料的液滴射出頭的多個噴嘴的一表面固持成爲面對接收 射出物質的一表面，而有一空間在具有噴嘴的表面與接收 射出物質的表面之間；及 一移動構件，其相對地移動固持構件及接收射出物質 的至少之一，使得液滴射出頭沿著接收射出物質的表面； 其中設置在每一液滴射出頭上的一噴嘴陣列被設置於 對相對於接收射出物質的相對移動方向對角線地橫過接收 射出物質的一方向。 在本發明中，具有排列成行用來射出流體液體材料的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 經濟部智慧財產笱S工消費合作社印製 - 8 - 559594 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（5) 多個噴嘴的液滴射出頭沿著接收射出物質的一表面相對移 動，使得上面設置有這些液滴射出頭的表面面對接收射出 物質的表面，而在二者之間有一空間。相同的液體材料從 多個液滴射出頭的每一噴嘴被射出至接收射出物質。設置 在每一液滴射出頭上的噴嘴陣列被設置於對角線地橫過噴 嘴陣列相對於接收射出物質移動的方向的第一方向。藉此 ，相同的液體材料從直列地設置的多個液滴射出頭的噴嘴 被射出。因此，可藉著使用傳統的一般規格的液滴射出頭 來取代特殊設計的液滴射出頭來降低成本。另外’藉著調 整要被直列地設置的液滴射出頭的數目，可根據液體材料 要被射出的位置來設定液滴射出頭。如此，液滴射出頭可 被較普遍地使用。 並且，在本發明中，多個液滴射出頭較佳地被設置於 對相對於接收射出物質的相對移動方向對角線地橫過接收 射出物質的一第二方向。藉此，多個液滴射出頭被設置成 爲相對於液滴射出頭沿著接收射出物質的表面移動的主掃 描方向於對角線方向。例如，當噴嘴被設置在一線上時， 例如爲液體材料被射出的間隔的節距成爲比噴嘴之間的節 距窄。例如，成爲液體材料被射出的標的的接收射出物質 被用於顯示設備，並且顯示情況變得較細緻。另外，可防 止相鄰的液滴射出頭之間所造成的干擾，因而可使設備較 小0 並且，在本發明中，多個液滴射出頭的形狀較佳地互 相相同。藉此，可使液滴射出頭相應於液體材料被射出的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 -觀- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 - 559594 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（6) 區域。如此，設備的結構變得較簡單，並且生產率增加， 且可降低成本。 在本發明中，多個液滴射出頭的每一個較佳地具有相 同的噴嘴數目。藉此，多個液滴射出頭的每一個具有相同 的噴嘴數目，因此易於對多個液滴射出頭的設置圖型描劃 例如條紋，嵌鑲，及三角等預定圖型。 在本發明中，多個液滴射出頭的每一個較佳地具有位 在相同的相應位置處的噴嘴。藉此，多個液滴射出頭的噴 嘴位置較佳地在液滴射出頭之間均形成於相同的位置。藉 此，易於對多個液滴射出頭的設置圖型描劃例如條紋，嵌 鑲，及三角等預定圖型。 另外，多個液滴射出頭的每一個較佳地具有以幾近相 等的間隔在一陣列中排列成行的噴嘴。藉此，多個液滴射 出頭的噴嘴以幾近相等的間隔在一陣列中排列成行。因此 ，易於對多個液滴射出頭的設置圖型描劃例如條紋，嵌鑲 ，及三角等預定圖型。 並且，液滴射出頭較佳地沿著噴嘴的設置方向以幾近 矩形的形狀形成。藉此，液滴射出頭沿著噴嘴的設置方向 以幾近矩形的形狀形成，因此可實現較小的液滴射出頭， 並且減小液滴射出頭被其他結構的干擾。因此，可更容易 地實現較小的液滴射出頭。 並且，在本發明中，多個液滴射出頭較佳地被設置於 對角線地橫過接收射出物質相對移動的方向的第二方向， 使得噴嘴被幾近互相平行地設置。藉此，多個液滴射出頭 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公楚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、?τ 泉 -10- 559594 A7 B7 五、發明説明（7) 沿著液滴射出頭沿著接收射出物質的一表面相對移動，以 沿著沿著接收射出物質的表面相對移動的液滴射出頭對角 線地橫過噴嘴被幾近線性地設置的方向的方向移動。因此 ，噴嘴相對於多個液滴射出頭沿著接收射出物質的表面移 動的主掃描方向對角線地設置。如此，在此種液體材料被 射出的間隔下的節距成爲比噴嘴之間的節距窄。例如，成 爲液體材料被射出的標的的接收射出物質被用於顯示設備 ，並且顯示情況變得較細緻。另外，可防止相鄰的液滴射 出頭之間所造成的干擾，因而可將設備的尺寸減至最小。 並且，在本發明中，多個液滴射出頭的噴嘴陣列較佳 地被設置於對角線地橫過噴嘴相對於接收射出物質移動的 方向的方向，並且多個液滴射出頭的噴嘴陣列被設置成爲 互相平行。藉此，多個液滴射出頭及噴嘴被設置於對角線 地橫過液滴射出頭沿著接收射出物質的表面相對移動的方 向的方向。如此，於此種液體材料被射出的間隔處的節距 成爲比噴嘴之間的節距窄。例如，成爲液體材料被射出的 標的的接收射出物質被用於顯示設備，並且顯示情況變得 較細緻。另外，可防止相鄰的液滴射出頭之間所造成的干 擾，因而可將設備的尺寸減至最小。並且，液體材料被射 出的多個射出區域容易地形成在一區域中，因此增進液體 材料射出效率。並且，可從液滴射出頭以多重方式將液體 材料射出至一區域，因而射出量可容易地在射出區域中均 等化。 並且，在本發明中，互相相鄰的多個液滴射出頭較佳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --tv 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 -11 - 559594 A7 B7 五、發明説明（8) 地被設置於對接收射出物質的相對移動的方向，使得液滴 射出頭的一部份互相重疊。藉此，相鄰的液滴射出頭被設 置成使得液滴射出頭的一部份相對於液滴射出頭沿著接收 射出物質的表面移動的主掃描方向互相重疊。因此，可以 可靠地防止相鄰液滴射出頭之間造成的干擾，因而可將設 備的尺寸減至最小。 並且，在本發明中，多個液滴射出頭較佳地在多個陣 列中以交錯方式被設置。藉此，互相相鄰的液滴射出頭不 會互相干擾，因而在液滴射出頭之間不會有任何液體材料 未被射出的區域。如此，可獲得想要的以連續方式射出的 液體材料。 並且，在本發明中，射出設備較佳地具有用來偵測從 噴嘴射出的液體材料的一射出偵測裝置。藉此，藉著用射 出偵測裝置來偵測液體材料從噴嘴的射出，可防止液體材 料不均勻地射出，而獲得想要的穩定射出的液體材料。 並且，在本發明中，射出偵測裝置較佳地在包括一將 液體材料從噴嘴射出至接收射出物質的步驟，一先前步驟 ，及一接續步驟的步驟的至少之一中偵測液體材料的射出 。藉此，藉著在包括將液體材料從噴嘴射出至接收射出物 質的步驟，先前步驟，及接續步驟的步驟的至少之一中偵 測液體材料的射出，可在包括將液體材料從噴嘴射出至接 收射出物質的步驟，先前步驟，及接續步驟的步驟的至少 之一中偵測液體材料的射出情況。因此，可就在射出之前 或緊接著射出之後偵測液體材料的射出。因此，可得知液 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 -12- 559594 A 7 B7 五、發明説明（9) 體材料的射出情況。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (2)本發明較佳地被用來藉著使用含有EL發光構 件的 '液體材料成爲要被射出的液體材料且將液體材料射出 至接收射出物質例如底座板以形成EL發光層而製造電光 裝置。 (3 )本發明較佳地被用來藉著使用例如濾色器構件 的液體材料成爲要被射出的液體材料且將液體材料射出至 成爲接收射出物質的用來夾住液晶的一對底座板之一而製 造電光設備。 (4 )本發明較佳地被用來藉著射出成爲接收射出物 質的流體液體材料而製造具有底座構件的裝置。 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 根據本發明，具有排列成行用來射出液體材料的多個 噴嘴的多個液滴射出頭沿著接收射出物質的表面相對移動 ’使得上面設置有這些噴嘴的表面面對接收射出物質的表 面，而在二者之間有一空間。相同的液體材料從多個液滴 射出頭的每一噴嘴被射出至接收射出物質。因此，可藉著 使用普通及相同規格的液滴射出頭來以寬廣範圍射出液體 材料。因此，可藉著使用傳統的普遍規格的液滴射出頭來 取代特殊設計的液滴射出頭而降低成本。另外，藉著調整 直列設置的液滴射出頭的數目，可根據液體材料要被射出 的位置來設定液滴射出頭。如此，液滴射出頭可較普遍地 被使用。 四、實施方式 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 559594 A7 B7 五、發明説明（〇 (濾色器的製造方法及其設備的說明1 ) 以下說明本發明的濾色器的基本製造方法及其製造設 備。首先，在說明製造方法及使用其的製造設備之前，先 說明藉著使用上述的製造方法而製造的濾色器。圖5Α爲 顯示濾色器的實施例的平面圖。並且，圖6D爲沿圖5Α 上的線IV-IV所見的剖面圖。 在根據本發明的濾色器1中，多個濾器元件3在此實 施例中以點圖型例如點矩陣情況形成在由玻璃構件或塑膠 構件製成的正方形底座板2(在本發明中可被稱爲「底座 構件」）的一表面上。另外，如圖6D所示，濾色器1是 藉著將保護層4層疊在濾器元件3上而形成。此處，圖 5 Α爲保護層4被移除的濾色器1的平面圖。 濾器元件3由具有柵格圖型的隔板6分開，其中隔板 6是由非半透明樹脂構件形成，以埋設藉著顏色構件以點 矩陣方式設置的多個正方形區域。這些濾器元件3爲顏色 構件例如R (紅），G (綠），或B (藍）顏色構件之一 ，並且具有各顏色的濾器構件3以預定陣列配置被設置。 對於此種設置，已知例如條紋設置（顯示在圖7A中）， 嵌鑲設置（顯示在圖7B中），及三角設置（顯示在圖7C 中）。此處，用語「隔板（bulkhead )」被使用成爲「觸 排（bank )」的意思。觸排表示從底座板的表面以幾近正 交的方式凸出的側表面。側表面以大於90度或小於90度 設置均可接受。 條紋設置被定義成爲顏色於矩陣的直立陣列相同的設 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、11 經濟部智1財產笱員工消費合作社印製 -14- 559594 A7 B7 五、發明説明（11) 置。嵌鑲設置被定義成爲被設置在水平及直立線上的三個 濾器元件爲三種顏色例如R，G，及B顏色的設置。另外 。三角設置被定義成爲濾器元件3以交錯方式被設置且任 何隨機選擇的三個濾器元件的組合成爲R ’ G ’及B的三 色組合的設置。 濾色器1的尺寸爲例如4.57cm (公分）（1·8英吋） 。並且，一個濾器元件3的尺寸爲例如30 // m (微米）X 1 00 // m。並且，元件節距例如濾器元件3之間的間隔爲 例如7 5 // m。 當根據本發明的濾色器1被用於用來實施全彩色顯示 操作時，含有例如R，G，及B顏色的顏色的三個濾器元 件形成一單元成爲一顏色像素。藉著使光束選擇性地通過 一顏色像素中所含有的例如R，G，及B濾器元件的濾器 元件之一或通過組合的濾器元件，可實施全彩色顯示操作 。此時，由非半透明樹脂構件製成的隔板6作用成爲黑矩 陣。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 上述的濾色器1是藉著將圖；5B所示的大面積母板12 切割成爲小片件而獲得。更明確地說，相應於濾色器1的 一片件的圖型形成在設置於母板1 2的多個濾色器形成區 域1 1的每一表面上。因此，切割凹槽環繞濾色器形成區 域1 1形成。藉著沿著切割凹槽切割母板1 2，濾色器1被 切成片件。 以下說明圖5A所示的濾色器的製造方法及其製造設 備0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡） -15- 559594 A7 B7 五、發明説明（θ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖6Α至6D爲顯示根據濾色器1的製造方法的製造 步驟的剖面圖。首先，由非半透明樹脂構件製成的隔板6 以從圖中的箭頭Β所見的柵格圖型形成在母板1 2的表面 上。栅格圖型中的孔區域7爲形成濾器元件3的濾器元件 形成區域。於箭頭Β的方向所見的由隔板6形成的濾器 元件形成區域7的每一個的平面尺寸爲例如30/zm至100 // m。 隔板6作用來防止供應至濾器元件形成區域7的例如 濾器元件構件1 3的液體材料流動，並且作用來實施成爲 黑矩陣。並且，隔板6是藉著任何類型的定圖型方法例如 光石印技術方法而形成。如果必要，隔板6是藉著實施加 熱製程來將其燒結而形成。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 在隔板6形成之後，如圖6B所示，每一濾器元件形 成區域是藉著供應濾器元件構件1 3的液滴8至每一濾器 元件形成區域7而被濾器元件構件1 3掩埋。在圖6B中， 參考數字1 3R標示具有R (紅）顏色的濾器元件構件。參 考數字1 3 G標示具有G (綠）顏色的濾器元件構件。參考 數字1 3B標示具有B (藍）顏色的濾器元件構件。此處， 在本發明中，液滴也可被稱爲「墨」。 當預定量的濾器元件構件1 3被充塡在每一濾器元件 形成區域7中時，濾器元件構件1 3中所含有的溶劑藉著 用加熱器將母板12加熱至幾近70 °C而蒸發。藉此蒸發， 如圖6C所示，濾器元件構件1 3的體積減小，並且濾器 元件構件1 3成平坦狀。如果濾器元件構件1 3的體積顯著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 559594 A7 ——______B7______ 五、發明説明（1含 地減小’則重複濾器元件構件〗3的液滴8的供應以及液 滴8的加熱，直到獲得用於濾色器1的充分厚度。藉著實 施以上說明的操作，濾器元件構件1 3的固體部分存留且 最終形成基板。藉此，形成具有每一種想要的顏色的濾器 元件3。 在濾器元件3藉著以上說明的操作形成之後，於預定 的溫度實施預定週期的加熱操作，以使濾器元件3完全乾 燥。然後’藉著較佳的方法例如旋轉塗覆法，滾動塗覆法 ’或噴墨法來形成保護層4。保護層4被形成用來保護濾 器元件3及使濾色器1的表面平坦。此處，在根據本發明 的實施例中’用於隔板6的非半透明樹脂構件被使用成爲 黑矩陣。但是，具有在半透明樹脂下方的比半透明樹脂大 的由金屬例如鉻（Cr* )製成的遮光層的用於隔板6的半透 明樹脂構件也可被接受。 圖8顯示用來供應如圖6B所示的濾器元件構件1 3的 液滴射出設備的實施例。液滴射出設備1 6將成爲墨的液 滴8的R，G，及B中的一顏色構件例如R射出至在圖5B 所示的母板1 2的每一濾色器形成區域1 1中的一預定位置 上且容許其被固定在上面。用於G (綠）的濾器元件構件 1 3的液滴射出設備及用於B (藍）的濾器元件構件1 3的 液滴射出設備被分別製備。因爲這些結構的技術特徵與圖 8所示者相同，所以省略對這些結構的說明。 在圖8中，液滴射出設備16包含設置有被用在液滴 射出頭例如列印機中的噴墨頭22的頭單元26，用來控制 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閱 讀 背 务 % 事 項 再 頁 經濟部智1財產苟8工消費合作社印製 -17- 559594 A7 B7 五、發明説明（ 噴墨頭22的位置的頭位置控制設備1 7，用來控制母板1 2 的位置的底座板位置控制設備1 8，用來實施噴墨頭22相 對於母板12的主掃描移動的主掃描驅動設備19,用來實 施噴墨頭22相對於母板1 2的副掃描移動的副掃描驅動設 備21，用來供應母板12至液滴射出設備16中的預定位 置的底座板供應設備23，及用來控制整個液滴射出設備 16的控制設備24。 用來實施頭位置控制設備1 7，底座板位置控制設備 1 8，及噴墨頭22相對於母板1 2的主掃描操作的主掃描驅 動設備19及副掃描驅動設備21被設置在底座9上。並且 ，這些設備根據需要由護蓋14覆蓋。 例如，如圖1 〇所示，噴墨頭22具有含有成爲陣列方 式的多個噴嘴27的噴嘴陣列28。噴嘴27的數目爲例如 180。噴嘴27的孔的直徑爲28 // m。噴嘴27之間的噴嘴 節距爲例如Ml // m。在圖5A及5B中，相對於濾色器1 及母板12的主掃描方向X及正交地橫過主掃描方向X的 副掃描方向Y被設定成爲如圖1 〇所示。 噴墨頭22的位置被設定成使得噴嘴陣列28於橫過主 掃描方向X的方向延伸。濾器元件構件1 3在噴墨頭22 平行於主掃描方向X移動的期間藉著從多個噴嘴27選擇 性地射出成爲濾器元件構件1 3的墨而被施加及固定在母 板12的預定位置上（見圖5B)。並且，藉著噴墨頭22 的主掃描操作的位置可藉著使噴墨頭22於副掃描方向Y 平行移動一預定間隔而以預定間隔偏移。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慈財產局8工消費合作社印製 -18- 559594 A7 B7 五、發明説明（ia 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 本 頁 噴墨頭22的內部結構顯示在例如圖12A及12B中。 更明確地說，噴墨頭22包含由不銹鋼構件製成的噴嘴板 29，面對噴嘴板29的振動板3 1，及連接二者的多個分開 構件3 2。在噴嘴板2 9與振動板3 1之間，多個墨容室3 3 及液體池34由分開構件32形成。多個墨容室33與液體 池3 4經由路徑3 8連接。 墨供應孔3 6形成於振動板3 1的適當位置。墨供應設 備37連接於墨供應孔36。墨供應設備37供應一顏色的 濾器元件構件Μ例如R，G，及B中的R至墨供應孔3 6 。被供應至該處的濾器元件構件Μ充塡液體池34，然後 藉著通過路徑38而充塡墨容室33。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 以噴射方式從墨容室3 3射出濾器元件構件Μ的噴嘴 27被設置於噴嘴板29。墨壓縮構件39被設置在振動板 3 1的表面上。墨容室3 3形成在振動板3 1的相反表面上 。墨壓縮構件3 9形成爲相應於墨容室3 3。如圖1 2Β所示 ，墨壓縮構件39具有壓電元件41及用來夾住壓電元件 41的一對電極42a及4 2b。壓電元件41藉著電極42a與 電極42b之間的電連接而進行偏轉變換成爲由圖中的箭頭 C所示地凸出至外部。藉此，墨容室3 3的立方容量增加 。因此，相應於墨容室3 3的增加的體積的濾器元件構件 Μ從液體池3 4通過路徑3 8而流入墨容室3 3。 其次，當對壓電元件4 1的電連接被斷接時，壓電元 件4 1及振動板3 1的形狀恢復至初始形狀。藉此，墨容室 3 3的立方容量被重新設定於初始容量。如此，墨容室3 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -19- 559594 A7 ___B7_ 五、發明説明（1冷 內部的濾器元件構件Μ的壓力增加，並且濾器元件構件 Μ從噴嘴27以液滴情況被射出至母板1 2 (見圖5Β )。 此處，墨推斥層43例如鎳-四氟乙烯（ tetrafluoroethylene)共析鍍層環繞噴嘴27形成，用來防 止液滴8的飛滴及防止噴嘴27的孔阻塞。 在圖9中，頭位置控制設備17包含用來旋轉噴墨頭 22的α馬達44，用來繞與副掃描方向Y平行的軸線搖動 及旋轉噴墨頭22的yS馬達46，用來繞與主掃描方向X平 行的軸線搖動及旋轉噴墨頭22的r馬達47，及用來實施 噴墨頭22相對於直立向的平行移動的Z馬達48。 如圖8及9所示，底座板位置控制設備1 8包含上面 有母板12的機台49及用來實施由箭頭0標示的機台49 的平面中旋轉的Θ馬達5 1。並且，如圖8及9所示，主 掃描驅動設備19包含於主掃描方向X延伸的X導軌52, 及含有以脈衝方式被驅動的線性馬達的X滑塊53。X滑 塊53在內建的線性馬達被操作時沿著X導軌52實施於 主掃描方向X的平行移動。 經濟部智慧財產笱8工消費合作社印製 並且，如圖8及9所示，副掃描驅動設備2 1包含於 副掃描方向Y延伸的Y導軌54，及含有以脈衝方式被驅 動的線性馬達的Y滑塊56。Y滑塊56在內建的線性馬達 被驅動時沿著Y導軌54實施於副掃描方向Y的平行移動 〇 X滑塊53及Y滑塊56中的以脈衝方式被驅動的線性 馬達可藉著供應至馬達的脈衝訊號而精確地控制輸出軸的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 559594 A7 B7 五、發明説明（ 旋轉角度。因此，可非常精確地控制由X滑塊53支撐的 噴墨頭22於主掃描方向X的位置以及機台49於副掃描 方向Y的位置。此處，噴墨頭22及機台49的位置不只 是可藉著使用脈衝馬達的控制方法被控制，並且也可藉著 使用伺服馬達的反饋控制方法或任何類型的控制方法被控 制。 圖8所示的底座板供應設備23包含用來容納母板1 2 的底座板容納區段5 7，及用來運輸母板1 2的自動機5 8。 自動機5 8包含被放置在底座表面例如地板及地面上的基 座59,基座59在上面被升高及降低的升降軸61，繞升降 軸61旋轉的第一臂62，在第一臂62上旋轉的第二臂63 ，及被設置在第二臂63的尖端下方的黏著墊64。黏著墊 64可藉著例如空氣抽吸方法或類似者的吸附方法來黏著 母板1 2。 在圖8中，加蓋設備76及淸潔設備77被設置在由主 掃描驅動設備19驅動以產生主掃描移動的噴墨頭22的移 動軌道的下方。此位置是在副掃描驅動設備的任一側。另 一方面，一電子平衡件78被設置。淸潔設備77淸潔噴墨 頭22。電子平衡件根據每一噴嘴測量從噴墨頭22中的噴 嘴27 (見圖1 0 )射出的墨的液滴的重量。另外，加蓋設 備76防止噴嘴27 (見圖10 )在噴墨頭22處於等候情況 之下乾燥。 頭照相機81靠近噴墨頭22設置成爲與噴墨頭22 — 致地移動。並且由設置在底座9上的支撐裝置（圖中未顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ 經濟部智慧財產局®工消費合作社印製 -21 - 559594 B7 五、發明説明（切 示）支撐的基座照相機82被設置在可對母板1 2拍照的位 置。 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 馬 本 頁 圖8所示的控制設備24包含含有處理器的電腦單元 66，成爲輸入界面的鍵盤67，及成爲顯示設備的CRT ( 陰極射線管）顯示器68。上述的處理器如圖1 4所示包含 用來實施計算操作的CPU (中央處理單元）69，及用來 儲存各種不同的資訊的資訊儲存媒體7 1，例如記憶體。 圖8所示的噴墨頭22中的頭位置控制設備1 7，底座 板位置控制設備1 8，主掃描驅動設備1 9，副掃描驅動設 備21，及用來驅動壓電元件41 (見圖12B)的頭驅動電 路72如圖14所示經由輸入/輸出界面73及匯流排74而 連接於CPU69。並且，底座板供應設備23，輸入設備67 ，CRT顯示器68，電子平衡件78，淸潔設備77，及加蓋 設備76經由輸入/輸出界面73及匯流排74而連接於 CPU69。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 例如資訊儲存媒體7 1的記憶體包含例如RAM (隨機 存取記憶體）及ROM (僅讀記憶體）的半導體記憶體， 及例如硬碟驅動器，CD-ROM (光碟僅讀記憶體）讀取設 備，及磁碟儲存媒體的外部儲存設備。在這些記憶體中， 從功能觀點’設置用來儲存含有液滴射出設備1 6的移動 的控制程序的程式的記憶區域，用來儲存用於R，G，及 B中的一顏色元件至母板1 2 (見圖5)的射出位置以實現 圖7A至7C所示的R-G-B設置的座標資料的記憶區域， 用來儲存母板1 2於圖9中的副掃描方向γ的副掃描移動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -22- 559594 A7 _B7_ 五、發明説明（1台 量的記憶區域，作用成爲CPU69或暫時檔的工作區域的 區域，以及各種不同的儲存區域。 CPU09根據儲存在成爲資訊儲存媒體71的記憶體中 的程式軟體來控制濾器元件構件1 3例如墨的射出至母板 12的表面的預定位置上。更明確地說，CPU69具有用來 實施實現淸潔處理的計算的淸潔計算區段，用來實現加蓋 處理的加蓋計算區段，用來實施實現藉著使用電子平衡件 78 (見圖8 )的重量測量的計算的重量測量計算區段，及 用來實施藉著射出液滴而描劃濾器元件構件1 3的計算的 描劃計算區段，以實現CPU69的供能。 經濟部智慈財產苟0(工消費合作社印製 詳細而言，描劃計算區段具有各種不同的功能計算區 段，例如用來將噴墨頭22設定於描劃初始位置的描劃開 始位置計算區段，用來實施計算以控制成使得噴墨頭22 以預定速率進行於主掃描方向X的掃描移動的主掃描控 制計算區段，用來實施計算以控制母板1 2於副掃描方向 Y偏移一預定副掃描量的副掃描控制計算區段，及用來實 施計算以藉著決定噴墨頭22的多個噴嘴中哪一噴嘴要操 作而控制濾器元件構件例如墨的射出的噴嘴射出控制計算 區段。 此處，在本發明的實施例中，上述功能是藉著使用 CPU09中所含有的軟體程式而實現。如果此種功會g可藉著 不使用CPU69的單一電路來實現，則可使用此種電路。 以下根據圖1 5所示的流程圖來說明具有上述結構的 液滴射出設備1 6的操作。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 559594 A7 B7 五、發明説明（的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當操作員打開電力來起動液滴射出設備1 6時，初始 設定在步驟S 1中被執行。更明確地說，諸如頭單元26， 底座板供應設備23，及控制設備24等裝置被設定成爲於 預定的初始設定情況。 其次，當重量測量定時到來時（步驟S2中的是（ YES)) ’圖9中的頭單兀26藉著主掃描驅動設備19而 移動（步驟S3)至圖8所示的電子平衡件78。從噴嘴27 射出的墨量由電子平衡件78測量（步驟S4 )。因此，相 應於每一噴嘴27的被充電給壓電元件4 1的電壓根據噴嘴 27的墨射出性能被調整（步驟S5 )。 然後，當淸潔定時到來時（步驟S6中的是（YES) )，頭單元26藉著主掃描驅動設備19而移動至淸潔設備 77(步驟S7)。噴墨頭22被淸潔設備77淸潔（步驟S8 )。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 如果未到重量測量定時及淸潔定時（步驟S2及S6中 的否（NO))，或是當這些處理完成時，則底座板供應 設備23操作，以供應母板12至機台49。更明確地說， 在底座板容納區段5 7內部的母板1 2由黏著墊64固持以 被扣持。其次，升降軸61，第一臂62，及第二臂63移動 ，以將母板12運輸至機台49。另外，機台49被推至預 先被設置於機台49上的適當位置的定位銷50 (見圖9 ) 。此處，爲了防止設置在機台49上的母板1 2的位置偏移 ，母板1 2較佳地藉著使用例如空氣抽吸裝置的裝置而固 定在機台49上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 559594 A7 B7 五、發明説明（2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 其次’藉著圖8所示的底座板照相機8 2來觀察母板 1 2，並且圖9所示的0馬達5 1的輸出軸旋轉一非常精細 的角度單位。藉此，機台49的平面中旋轉以非常精細的 角度單位實施以定位母板1 2 (步驟S 1 0 )。然後，在藉 著圖8所示的頭照相機81觀察母板12之下，藉著計算來 決定藉著噴墨頭22的描劃的開始位置（步驟s 1 1 )。因 此，主掃描驅動設備1 9及副掃描驅動設備2 1被適當地操 作’以將噴墨頭2 2移動至描劃開始位置（步驟s 1 2 )。 此時，噴墨頭22的噴嘴陣列28被設置成爲以角度0 相對於噴墨頭22的副掃描方向Y成對角線。在使用普通 的液滴射出設備1 6的情況中，成爲相鄰噴嘴27之間的間 隔的噴嘴之間的節距與爲濾器元件形成區域7例如相鄰的 濾器元件3之間的間隔的元件節距一般而言不同。此設置 係形成來在噴墨頭22於主掃描方向X移動時在幾何上使 噴嘴間節距與元件節距之間的副掃描方向Y的尺寸分量 均等化。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 在圖15所示的步驟S12中，當噴墨頭22被定位於描 劃開始位置時，噴墨頭22被設置於圖1所示的位置（a ) 。然後，在圖15所示的步驟S13中，於主掃描方向X的 主掃描操作開始，並且墨的射出同時開始。更明確地說， 圖9所示的主掃描驅動設備19被操作，且噴墨頭22的掃 描移動以線性方式以均勻的速率於圖1所示的主掃描方向 X實施。在掃描移動期間，當相應於墨應被供應的濾器元 件形成區域7的噴嘴2 7到來時，濾器元件構件例如墨從 本紙張尺度適用中國國家標準( CNS)A4規格（210X297公釐）~" -25- 559594 A7 B7 五、發明説明（2$ 噴嘴27被射出。 此處，此時的墨射出量並非滿足濾器元件形成區域7 的整個立方體積的量。此時的墨射出量爲滿足立方體積的 一分數的量。在此實施例中，墨量爲整個立方體積的四分 之一。濾器元件形成區域7的每一個如稍後會說明的並非 由墨從噴嘴27的一次射出來掩埋。這是因爲整個立方體 積是藉著多次的射出而被掩埋。在此實施例中，整個立方 體積是藉著四次射出而被掩埋。 當對於母板1 2的一線的主掃描結束時（步驟S 1 4中 的是（YES))，噴墨頭22進行反向移動回至初始位置 (a)(步驟S15)。另外，噴墨頭22由副掃描驅動設備 21驅動，以於副掃描方向Y移動一預定副掃描量5 (步 驟 S 1 6 )。 經濟部智慧財產^7g (工消費合作社印製 在根據本發明的實施例中，CPU69將圖1中形成噴墨 頭22的噴嘴陣列28的多個噴嘴27在槪念上分成η群。 此實施例是在η = 4的情況下，亦即具有長度L的噴嘴陣 列28含有被視爲被分成四群的180個噴嘴27。藉此，一 噴嘴群被決定成爲含有45 (=180/4 )個噴嘴27，並且其 長度被決定成爲L/n，例如此實施例中的L/4。上述的副 掃描量5爲具有L/4的噴嘴群於副掃描方向的長度，其可 由公式例如（L/4 ) cos 0來代表。 因此，在結束對於一線的主掃描且回至初始位置（a )之後’噴墨頭22於圖1所示的副掃描方向平行移動一 距離5而移動至位置（b)。在圖1中，位置（a)與位置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -26- 559594 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 A7 _ B7___五、發明説明（2含 (b)被描述成爲於主掃描方向X稍微偏移。這是爲了對 說明有較佳的暸解。實際上，位置（a )與位置（b )相同 地於主掃描方向X。 進行副掃描移動至位置（b)的噴墨頭22在步驟S13 中重複地實施主掃描移動及墨射出。在此主掃描移動中， 於母板1 2上的濾色器形成區域1 1中的第二列的一線接收 由頂部噴嘴群射出的墨。第一線接收藉由第二噴嘴群的第 二墨射出。 然後，在噴墨頭22重複從位置（c )至位置（k )的 副掃描移動之下，噴墨頭22重複主掃描移動及墨的射出 (步驟S 1 3至S 1 6 )。藉此，完成對母板1 2的濾色器形 成區域1 1的一陣列的墨固定過程。在根據本發明的實施 例中，副掃描量5是藉著將噴嘴陣列28分成四群而決定 。因此，當對於上述的濾色器形成區域1 1的一陣列的主 掃瞄及副掃描完成時，每一濾器元件形成區域7接收藉著 一噴嘴群的一次墨射出。總共而言，每一濾器元件形成區 域7接收四次的墨射出。濾器元件構件例如墨的預定量被 供應來滿足濾器元件形成區域的整個立方體積。 藉此，完成對於濾色器形成區域1 1的一陣列的墨射 出，噴墨頭2 2由副掃描驅動設備2 1驅動，以被運輸至濾 色器形成區域1 1的下一陣列中的初始位置（步驟S 1 9 ) 。因此，主掃描操作，副掃描操作，及墨射出對設置在此 陣列中的濾色器形成區域1 1重複地實施，以在濾器元件 形成區域7中形成濾器元件（步驟S 1 3至S 1 6 )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-一 tv _^- -27- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559594 A7 B7 _ 五、發明説明（24 然後，當具有一顏色例如三種顏色或R，G，及B中 的R顏色的濾器元件3形成於母板1 2的所有濾色器形成 區域1 1時（步驟S18中的是（YES ))，被處理的母板 12在步驟S20中由底座板供應設備23或其他運輸設備抽 取至外部。因此，除非操作員給予結束處理的命令（步驟 S21中的否（NO ))，否則程序回至步驟S2，且對母板 1 2重複對於一顏色例如R顏色的墨吸收操作。 當操作員給予結束處理的命令時（步驟S21中的是（ YES ) ) ，CPU69將噴墨頭22運輸至圖8所示的加蓋設 備76。加蓋設備76對噴墨頭22實施加蓋處理（步驟S22 )° 藉此，完成對於一顏色例如濾色器1中所含有的三種 顏色例如R，G，及B顏色中的R顏色的定圖型過程。然 後，母板1 2被運輸至使用濾器元件構件例如G成爲二顏 色例如G及B中的第二顏色的液滴射出設備1 6，以實施 對於G顏色的定圖型過程。另外，母板1 2最後被運輸至 使用濾器元件構件例如B成爲三種顏色例如R，G，及B 顏色中的第三顏色的液滴射出設備1 6，以實施對於B顏 色的定圖型過程。藉此。產生具有有想要的R，G，及B 的點設置例如圖5A所示的條紋設置的多個濾色器1的母 板1 2。藉著根據濾色器形成區域1 1來切割母板1 2，可產 生多個濾色器1。 此處，如果濾色器1被用於在液晶設備中實施彩色顯 示操作的目的，則較多的結構例如電極及定向膜被層疊在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' ' -28- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

559594 A7 B7 五、發明説明（2冷 濾色器1的表面上。在此情況中，如果母板1 2在形成電 極及定向膜之前被切成多個濾色器1，則難以形成電極及 類似者。因此，母板1 2不應在形成電極及定向膜之前被 切割，母板1 2應在結束必要的製程例如形成電極及定向 膜之後被切割。 如上所述，根據本發明的實施例中的濾色器的製造方 法及製造設備，圖5 A所示的濾色器中的濾器元件3的每 一個並非藉著實施噴墨頭22的主掃描X而一次形成。圖 5 A所示的濾色器中的濾器元件3的每一個是藉著用屬於 不同的噴嘴群的多個噴嘴27來實施η次的墨射出而以預 定厚度形成。在此實施例中，墨射出被實施四次。藉此， 如果墨射出量在多個噴嘴27之間不同，則可防止墨射出 量在多個濾器元件3之間不同。因此，可將濾色器1的平 面上的半透明性均等化。 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 在根據本發明的製造方法的此實施例中，濾器元件3 是藉著使用噴墨頭22來射出墨而形成。因此，當然不須 安排複雜的製程，例如光石印技術方法。因此，可減少製 造濾器元件的構件及材料。 在圖36Α的說明中，已經說明來自形成噴墨頭22的 噴嘴陣列28的多個噴嘴27的墨射出量的分佈不均勻。並 且，已經說明從噴嘴陣列28中的數個噴嘴27射出的墨射 出量很大。例如，分別設置在噴嘴陣列的兩端部上的1 〇 個噴嘴27與其他噴嘴相比射出較多的墨。如上所述，從 獲得均勻厚度的濾器元件3例如射出的墨的觀點，使用比 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -29- 559594 A7 _B7____ 五、發明説明（2合 其他噴嘴27射出較多的墨的噴嘴27並不可取。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，如圖1 3所示，用來形成噴嘴陣列28的被設置 在噴嘴陣列28的兩端部區段上的數個噴嘴27較佳地被設 定成爲不預先射出墨，並且存在在噴嘴陣列28的其餘部 分上的多個噴嘴27被分成多個群，例如四群，以根據噴 嘴群單元來實施副掃描移動。 在此實施例中，使用非半透明樹脂構件於隔板6 °當 然，半透明樹脂構件可被使用於半透明隔板6。在此情況 中，額外構件例如半透明金屬膜或樹脂構件例如在隔板6 上或在隔板6下方被設置於相應於濾器元件3的位置。並 且，隔板6由半透明樹脂構件形成以不使其成爲黑掩模可 被接受。 並且，在此實施例中，R，G，及B被用於濾器元件 3。當然，濾器元件3不受限於R，G，及B。例如，可使 用C (青藍），Μ (紫紅），Υ (黃）。在此情況中，可 使用含有C，Μ，及Υ的濾器元件構件來取代含有R，G ，及Β的濾器元件構件。 經濟部智慧財產局，'貝工消費合作社印製 另外，在此實施例中，隔板6是由光石印技術方法形 成。隔板6可由與濾色器1相同的噴墨方法形成。 (濾色器的製造方法及其設備的說明2 ) 圖2爲用來說明根據本發明的以上所說明的濾色器的 製造方法及其製造設備的修正形式的視圖。在圖2中，顯 示濾器元件構件1 3例如墨藉著使用噴墨頭22而被射出以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -30- 559594 A7 B7 五、發明説明（2分 被供應至母板1 2的濾色器形成區域1 1中的濾器元件形成 區域7的每一個。 此實施例中實施的程序與圖6所示的程序大致相同。 並且，用來射出墨的液滴射出設備從結構觀點而言與圖8 所示的設備相同。並且，將用來形成噴嘴陣列28的多個 噴嘴27分成η個槪念群例如四群且使其相應於噴嘴群的 每一個的長度L/n或L/4以決定副掃描量5的CPU69與 圖1所示的情況相同。 此實施例與圖1所示的先前實施例的不同在於儲存在 圖丨4中的成爲資訊儲存媒體7 1的記憶體中的程式軟體被 修改。更明確地說，由CPU69實施的主掃描控制計算及 副掃描控制計算被修改。 經濟部智慧財產^7¾工消費合作社印製 更明確地說，在圖2中，噴墨頭22被控制成使得噴 墨頭22在結束於主掃描方向X的掃描移動之後不回至初 始位置，並且噴墨頭22在結束於一方向的主掃描移動之 後立即於副掃描方向移動相等於一噴嘴群的移動量5至位 置（b)，然後噴墨頭22實施於與上述的主掃描方向X 的一方向相反的方向的掃描移動，且回至從初始位置（a )於副掃描方向以距離5偏移的位置（b’）。當然，墨在 位置C a )與位置（b )之間的主掃描週期期間及位置（b )與位置（b’）之間的主掃描週期期間從多個噴嘴27被 選擇性地射出。 亦即，在此實施例中，噴墨頭22的主掃描操作及副 掃描操作在沒有轉回操作下交替且連續地實施。藉此，可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） -31 - 559594 A7 B7 五、發明説明（2$ 節省轉回操作所需的時間而縮短操作時間 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再… 填 寫 本 頁 (濾色器的製造方法及其設備的說明3 ) 圖3爲用來說明根據本發明的以上所說明的濾色器的 製造方法及其製造設備的修正形式的視圖。在圖3中，顯 示濾器元件構件1 3例如墨藉著使用噴墨頭22而被射出以 被供應至母板1 2的濾色器形成區域1 1中的濾器元件形成 區域7的每一個。 此實施例中實施的程序與圖6所示的程序大致相同。 並且，用來射出墨的液滴射出設備從結構觀點而言與圖8 所示的設備相同。並且’將用來形成噴嘴陣列28的多個 噴嘴27分成η個槪念群例如四群且使其相應於噴嘴群的 每一個的長度L/n或L/4以決定副掃描量5的CPU69與 圖1所示的情況相同。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 此實施例與圖1所示的先前實施例的不同在於當噴墨 頭22在圖15所示的步驟S12中被設定在母板12上的描 劃開始位置處時，噴墨頭22的噴嘴陣列28的擴張方向如 於圖3的位置（a )所示的與副掃描方向Y平行。此種噴 嘴設置在噴墨頭22的噴嘴之間的節距與母板1 2的元件之 間的節距相等的情況中很有利。 在此實施例中，在噴墨頭22從初始位置（a )至結束 位置（k )重複於主掃描方向X的掃描移動，至初始位置 的轉回移動，及於副掃描方向Y的移動量爲5的副掃描 移動之下，噴墨頭22也在主掃描移動的週期期間從多個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -32- 559594 A7 B7 五、發明説明（2会 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 馬 本 頁 噴嘴2 7選擇性地射出濾器元件構件例如墨。藉此，濾器 元件構件被固定於母板1 2的濾色器形成區域1 1中的濾器 元件形成區域7。 此處，在本發明的實施例中，噴嘴陣列28平行於副 掃描方向Y設置。藉此，副掃描移動量5被設定爲相等 於分成的噴嘴群的長度，例如L/n，亦即L/4。 (濾色器的製造方法及其設備的說明4 ) 圖4爲用來說明根據本發明的以上所說明的濾色器的 製造方法及其製造設備的修正形式的視圖。在圖4中，顯 示濾器元件構件1 3例如墨藉著使用噴墨頭22而被射出以 被供應至母板1 2的濾色器形成區域1 1中的濾器元件形成 區域7的每一個。 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 此實施例中實施的程序與圖6所示的程序大致相同。 並且，用來射出墨的液滴射出設備從結構觀點而言與圖8 所示的設備相同。並且，將用來形成噴嘴陣列28的多個 噴嘴27分成η個槪念群例如四群且使其相應於噴嘴群的 每一個的長度L/n或L/4以決定副掃描量5的CPU69與 圖1所示的情況相同。 此實施例與圖1所示的先前實施例的不同在於當噴墨 頭22在圖15所示的步驟S12中被設定在母板12上的描 劃開始位置處時，噴墨頭22的噴嘴陣列28的擴張方向如 於圖4的位置（a )所示的與副掃描方向Y平行，並且噴 墨頭22的主掃描操作與副掃描操作與圖2所示的實施例 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -33- 559594 A 7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 相同地在沒有轉回移動之下連續及交替地實施。 此處，在圖4所示的此實施例及圖3所示的先前實施 例中，主掃描方向X正交於噴嘴陣列2 8。因此，藉著如 圖11所示沿著主掃描方向X設置二噴嘴陣列28，可藉著 被設置在相同的主掃描線上的二噴嘴27來將濾器元件構 件1 3供應至一濾器元件形成區域7。 (濾色器的製造方法及其設備的說明5 ) 圖1 6爲用來說明根據本發明的以上所說明的濾色器 的製造方法及其製造設備的修正形式的視圖。圖1 6顯示 噴墨頭22A。噴墨頭22A與圖10所示的噴墨頭22的不同 在於含有三個噴嘴陣列例如用來射出R顏色墨的噴嘴陣 列2 8R，用來射出G顏色墨的噴嘴陣列28G，及用來射出 B顏色墨的噴嘴陣列28B的噴嘴陣列形成在一單元例如噴 墨頭22A中。圖12A及12B所示的墨射出系統被設置於 三個噴嘴陣列的每一個。R墨供應設備3 7R連接於相應於 R顏色噴嘴陣列28R的墨射出系統。G墨供應設備37G連 接於相應於G顏色噴嘴陣列28G的墨射出系統。B墨供 應設備37B連接於相應於B顏色噴嘴陣列28B的墨射出 系統。 此實施例中實施的程序與圖6所示的程序大致相同。 並且，用來射出墨的液滴射出設備從結構觀點而言與圖8 所示的設備相同。並且，將用來形成噴嘴陣列28的多個 噴嘴2 7分成η個槪念群例如四群且使其相應於噴嘴群的 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -34- 559594 A7 B7 五、發明説明（3令 每一個的長度L/n或LM以決定副掃描量5的CPU69與 圖1所示的情況相同。 在圖1所示的實施例中，只有一種噴嘴陣列2 8設置 於噴墨頭2 2。因此，當濾色器1由三種顏色例如r，G， 及B顏色形成時，必須對於例如R，G，及B顏色的三種 顏色的每一個準備圖8所示的噴墨頭22。相較之下，當 使用圖16所示的噴墨頭22A時，例如R，G，及B顏色 的三種顏色可只是藉著噴墨頭22 A於主掃描方向X的一 次主掃描操作而同時被固定在母板12上。因此，準備一 噴墨頭22即夠充分。並且，藉著使每一顏色的噴嘴陣列 28之間的間隔與母板1 2的濾器元件形成區域7的節距同 步，可同時射出例如R，G，及B顏色的三種顏色。 (使用濾色器的電光設備的製造方法及其製造設備的說明 ) 經濟部智慧財產局a(工消費合作社印製 圖1 7顯示成爲根據本發明的電光設備的例子的液晶 設備的製造方法的實施例。並且，圖1 8顯示由上述的製 造方法製造的液晶設備的實施例。並且，圖1 9爲沿線 IV-IV所見的圖18所示的液晶設備的剖面圖。在說明液 晶設備的製造方法及其製造設備之前，說明由此製造方法 製造的液晶設備的例子。此處，根據此實施例的液晶設備 爲半半透明反射液晶設備，其中全彩色顯示操作是藉著簡 單矩陣法來實施。 在圖1 8中，液晶設備1 0 1在液晶面板1 〇2上安裝有 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 559594 A7 _B7___ 五、發明説明（3$ 成爲半導體晶片的液晶驅動1C (積體電路）103a及液晶 驅動IC 103b，且將成爲接線連接元件的FPC (撓性印刷 板）1 04連接於液晶面板1 02。另外，液晶設備1 0 1是藉 著在液晶面板102的背面上設置成爲背光的照明設備106 而形成。 液晶面板102是藉著用密封構件108來附著第一底座 板l〇7a與第二底座板107b而形成。密封構件108是藉著 例如用篩網印刷方法以圓形方式將環氧樹脂固定在第一底 座板l〇7a或第二底座板10 7b的內表面上而形成。並且， 由形成爲球形或圓柱形的導電性構件製成的導電構件1 09 如圖1 9所示以分散方式含在密封構件1 08中。 經濟部智慧財產¾¾工消費合作社印製 在圖19中，第一底座板107a具有由半透明玻璃或半 透明塑膠構件製成的平面狀底座構件1 1 1 a。一反射層形 成於底座構件1 1 1 a的內表面（圖1 9中的頂部表面）。一 絕緣層113層疊在其上，並且第一電極114a以於箭頭方 向D所見的條紋方式（見圖1 8 )形成在其上。另外，一 定向膜1 16a形成在其上。並且，一偏振板1 17a藉著黏著 方法或類似者而附著在底座構件1 1 1 a的外表面（圖1 9中 的底部表面）上。 在圖1 8中，爲較佳地瞭解第一電極1 1 4a的陣列配置 ，條紋之間的間隔被顯示成爲比實際上大。因此，與第一 電極1 14a的實際數目相比，顯示較少的第一電極！ 14a。 但是’有比圖中所顯示者更多數目的第一電極ll4a被設 置在底座構件1 1 1 a上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) "' -36- 559594 A7 ____B7__ 五、發明説明（3含 在圖19中，第二底座板17b具有由半透明玻璃或半 透明塑膠構件製成的平面狀底座構件u lb。一濾色器1 1 8 形成於底座構件11 1 b的內表面（圖1 9中的底部表面）。 第二電極1 1 4b以於箭頭方向D所見的條紋方式（見圖1 8 )形成於與第一電極114a正交的方向。另外，一定向膜 1 16b形成在其上。並且，一偏振板117b藉著黏著方法或 類似者而附著在底座構件1 1 1 b的外表面（圖1 9中的頂部 表面）上。 在圖18中，爲較佳地瞭解第二電極11 4b以及第一電 極1 1 4a的陣列配置，條紋之間的間隔被顯示成爲比實際 上大。因此，與第二電極1 1 4b的實際數目相比，顯示較 少的第二電極1 1 4b。但是，有比圖中所顯示者更多的第 二電極114b被設置在底座構件111b上。 在圖19中，液晶L例如STN (超扭轉向列）液晶被 密封在由第一底座板l〇7a，第二底座板l〇7b，與密封構 件108所環繞的空間例如單元間隙（cell gap )中。在第 一底座板l〇7a或第二底座板107b的內表面上，分散有極 多的細微球形間隔件1 1 9。藉著在單元間隙中設置間隔件 1 1 9，單元間隙的厚度可被保持於均勻的厚度。 第一電極114a與第二電極114b以正交方式被設置。 上述電極的交叉點以於圖1 9所示的箭頭方向d所見自勺點 矩陣方式被設置。點矩陣方式中的交叉點的每一個爲 像元件像素。濾色器11 8是藉著將顏色元件例如R (，紅） ，G(綠），及B(藍）顏色兀件的每一個以從箭頭方向 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 ί 事 項 再

頁 經濟部智慧財產^7@(工消費合作社印製 37 559594 A7 ____ B7 ______ 五、發明説明（3$ 請 先 閱 讀 背 面 ί 事 項 再 填 寫 本 頁 D所見的預定圖型例如條紋設置，三角設置，及嵌鑲設置 來設置而形成。一圖像元件像素相應於例如R，G，及B 顏色的每一顏色。含有三種顏色例如R，G，及B顏色的 圖像元件像素爲一單元而形成一像素。 藉著選擇性地照明以點矩陣方式設置的多個圖像元件 像素例如像素，例如字母及數字的影像顯示在液晶面板 102的第二底座板l〇7b的外側上。有影像顯示的此種區 域爲有效像素區域。由圖1 8及1 9中的箭頭V所標示的 平面狀矩形區域爲有效顯示區域。 在圖1 9中，反射膜1 1 2是由光學反射構件例如APC 合金（銀-§Ε -銅合金）或A1 (銘）形成。開口區段121形 成於相應於爲第一電極114a與第二電極114b的交叉點的 每一圖像元件像素的位置。結果，當於圖1 9所示的箭頭 方向D觀看時，開口區段1 2 1以及圖像元件像素均以點 矩陣方式被設置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第一電極11 4a及第二電極11 4b是由例如半透明導電 構件例如ITO (銦錫氧化物）形成。並且，定向膜116a 及Π 6b是藉著施加聚亞胺基樹脂成爲一均勻厚度膜而形 成。藉著摩擦定向膜116a及116b，可決定液晶分子在第 一底座板l〇7a及第二底座板10 7b的表面上的設置。 在圖18中，第一底座板107a形成爲比第二底座板 l〇7b大。當這些底座板藉著密封構件108而附著時，第 一底座板l〇7a·具有延伸至第二底座板107b的外部的底座 板擴張區段1 〇7c。因此，各種不同的接線構件以適當的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -38- 559594 A7 ___B7 五、發明説明（3冷 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 圖型形成在底座板擴張區段107c上，例如從第一電極 1 1 4 a延伸的延伸接線1 1 4 c，經由存在於密封構件1 〇 8的 內部的導電構件109 (見圖19 )而與第二底座板l〇7b上 的第二電極1 14b導通的延伸接線1 14d，連接於輸入隆起 部（input bump )例如液晶驅動IC 103a的輸入端子的金 屬接線114e，及連接於液晶驅動IC 103b的輸入隆起部的 金屬接線1 14f。 在根據本發明的實施例中，從第一電極1 1 4a延伸的 延伸接線114c及引至第二電極114b的延伸接線114d是 由以與電極相同的構件例如導電氧化物製成的ITO形成 。並且，爲用於液晶驅動IC 103a及103b的輸入端的接線 的金屬接線114e及114f是由低電阻金屬構件例如APC 合金製成。APC合金在含有Pd (鈀）及Cii (銅）的合金 之外主要含有Ag (銀），例如含有98%的Ag，1%的Pd ，及1 %的C u。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 液晶驅動IC 103a及103b藉著ACF (各向異性導電膜 )122而黏著在底座板擴張區段107c的表面上以被安裝 在上面。亦即，在此實施例中，液晶面板形成爲COG ( 玻璃上晶片）液晶顯示器，其中半導體晶片被直接安裝在 底座板上。在COG方法的安裝結構中，液晶驅動1C 103 a 及l〇3b的輸入隆起部與金屬接線114e及114f藉著 ACF 122內部所含有的導電顆粒而被導電性地連接。並且 ，液晶驅動IC 103a及103b的輸出隆起部與延伸接線 1 1 4 c及1 1 4 d導電性地連接。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -39- 559594 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3令 在圖I8中，FPC1 04包含撓性樹脂膜123，含有晶片 構件124的電路126，及金屬接線端子127。電路126藉 著導電連接方法例如軟焊方法或類似者而直接安裝在樹脂 膜123的表面上。並且’金屬接線}/而子127是由導電構件 例如APC合金，Cr，Cu，或類似者形成。FPC104的形成 有金屬接線端子127的部份連接於第一底座板l〇7a的藉 著ACF122而形成有金屬接線114e及114f的部份。 在相反於FPC 104的周邊區域中，形成有外部連接端 子1 3 1。外部連接端子1 3 1連接於圖中未顯示的外部電路 。液晶驅動IC 103a及103b藉著從外部電路傳輸的訊號而 被驅動。掃描訊號被供應至第一電極114a或第二電極 11 4b的任何之一，並且資料訊號被供應至上述電極的另 一者。藉此，被設置在有效顯示區域V內部的點矩陣方 式中的圖像元件像素的每一個的電壓被控制。結果，液晶 L的方向根據每一圖像元件像素被控制。 在圖1 8中，作用成爲背光的照明設備1 06如圖1 9所 示包含由丙烯酸樹脂製成的引光構件132，設置在引光構 件132的光發射表面132b上的分散薄片133，設置在引 光構件132的光發射表面132b的相反表面上的反射薄片 134，及成爲照明源的LED (發光二極體）136。 LED 136由LED底座板1 3 7支撐。LED底座板1 3 7被 安裝在與例如引光構件132成整體地形成的支撐構件（圖 中未顯示）上。藉著將LED底座板137設置於支撐構件 的預定位置，LED 136被設置於面對爲引光構件132的一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-40- 559594 A7 B7 五、發明説明（3》 直立表面的光收集表面132a的位置。此處，參考數字 1 3 8標示用來緩衝給予液晶面板1 〇2的衝擊的緩衝構件。 當LED1 36照明時，光由光收集表面i32a收集而被 引至引光構件132的內部。因此，光在其由反射薄片134 的壁表面及引光構件132反射之下經由分散薄片133而從 光發射表面132b發射至外部。 根據此實施例的液晶設備1 〇 1如上所說明地形成。當 外部光例如陽光或房間光線充分地亮時，在圖1 9中，外 部光經由第二底座板l〇7b而被收集在液晶面板102的內 部。在光通過液晶L之後，光由反射膜1 1 2反射而被再次 供應至液晶L。液晶L的方向根據圖像元件像素例如R， G，及B圖像元件像素由夾住液晶L的電極1 14a與1 14b 控制。因此，被供應至液晶L的光根據圖像元件像素的 每一個被調變，因而藉著調變，例如字母及數字的影像藉 著透射通過偏振板1 17b的光與不透射通過偏振板1 17b的 光的組合而顯示在液晶面板1 0 2的外部表面上。 另一方面，當外部光未被充分地收集時，LED 136照 明以從引光構件132的光發射表面132b發射一平面光。 光經由形成在反射膜1 1 2上的開口區段1 2 1而供應至液晶 L。此時，類似於根據反射方法的顯示操作的情況’供應 的光藉著液晶L而被調變’其中方向是根據圖像元件像 素被控制。藉此，影像朝向外部被顯示’因而實施根據透 射方法的顯示操作。 具有上述結構的液晶設備1 0 1是根據例如圖1 7所示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 -41 - 559594 A7 _ B7 五、發明説明（3a (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 的製造方法被製造。在製造方法中，第一底座板l〇7a是 藉著一系列的製程P1至P6而被製造。第二底座板107b 是藉著一系列的製程P11至P14被製造。一般使第一底座 板的製程與第二底座板的製程互相獨立地實施。 以下說明製造第一底座板的製程。相應於多個液晶面 板1 02的反射膜根據光石印技術方法或類似者而形成在由 半透明玻璃構件或半透明塑膠構件製成的大面積母板材料 的表面上。另外，絕緣層1 1 3藉著使用一般的膜形成方法 而形成在其上（製程P1)。其次，第一電極114a，延伸 接線114c及114d，金屬接線114e及114f藉著使用光石 印技術方法或類似者而形成（製程P2)。 經濟部智慈財4局員工消費合作社印製 然後，定向膜1 1 6a藉著施加方法或印刷方法而形成 在第一電極1 1 4a上（製程P3 )。另外，液晶的初始方向 藉著在定向膜11 6a上實施摩擦操作而被決定（製程P4) 。其次，密封構件1 08藉著篩網印刷方法或類似者而以圓 形方式形成（製程P5 )。另外，球形間隔件1 1 9被分散 在其上（製程P6)。藉此，形成具有液晶面板102的第 一底座板107a的多個面板圖型的大面積第一母板。 與以上說明的第一底座板的製程分開地，實施製造第 二底座板的製程（圖17中的製程P11至P14)。首先， 製備由半透明玻璃構件或半透明塑膠構件製成的大面積母 板材料構件。相等於多個液晶面板1 02的濾色器1 1 8形成 在母板材料構件的表面上（製程P 1 1 )。用來形成濾色器 1 1 8的過程顯不在圖6所示的製造方法中。製造方法中的 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（210X297公釐) 一 -42- 559594 A7 B7 五、發明説明（3合 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填感 本 頁 每一濾色器元件例如R，G，及B濾色器元件是根據如圖 1至4所示的噴墨頭22的控制方法而使用圖8所示的液 滴射出設備1 6來形成。濾色器的製造方法及噴墨頭22的 控制方法的技術特徵與說明書中先前所述者相同，因此省 略其說明。 訂 如圖6D所示，當例如爲濾色器1 1 8的濾色器i形成 在例如爲母板材料構件的母板1 2上時，第二電極1 1 4b因 而藉著光石印技術方法而隨後形成在其上（製程P 1 2 )。 另外，定向膜1 1 6b藉著施加方法或印刷方法而形成（製 程P13)。其次，在定向膜11 6b上實施摩擦處理，因而 決定液晶的初始方向（製程P 1 4 )。藉此，形成在第二底 座板107b上的具有液晶面板102的多個面板圖型的大面 積第二母板。 如上所述，在大面積第一母板及大面積第二母板形成 之後，這些母板被夾在密封構件1 08之間。另外，在這些 母板的位置對準之後，這些母板被附著（製程P2 1 )。藉 此，形成含有面板構件的空面板，其中含有相等於多個液 晶的液晶且沒有任何液晶被澆入。 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 其次，成爲切割凹槽的劃線凹槽形成於完工的空面板 結構構件上的預定位置。另外，面板結構構件藉著以劃線 凹槽成爲切割的參考而被切割（製程P22 )。藉此，形成 具有狹縫的空面板結構構件，其中每一液晶面板上的密封 構件1 〇 8的液晶澆入口 1 1 〇 (見圖1 8 )在狹縫中暴露於外 部。 本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) a4規格（2 ι〇χ297公釐） -43- 559594 A7 B7 五、發明説明（奶 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 然後，液晶L經由暴露的液晶澆入口 1 1 0而被澆入液 晶面板的每一個的內部。另外，每一液晶澆入口 11 〇由樹 脂或類似者密封（製程P23 )。在例如普通的液晶澆入過 程中，液晶是儲存在一儲存容器中。儲存有液晶的儲存容 器與具有狹縫情況的空面板被容納在一容室或類似者中。 空氣從容室被抽空，並且具有狹縫的空面板在容室中被浸 入液晶內。然後，液晶在容室被打開至大氣壓力時被澆入 。此時，空面板的內部是在真空情況下。因此，液晶被大 氣壓力壓縮，並且液晶經由液晶澆入口而被引入面板內。 在澆入液晶之後’液晶黏附在液晶結構構件的周圍。因此 ，在液晶澆入處理之後，具有狹縫的面板在製程P24中被 淸潔。 泉 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 在液晶澆入處理及淸潔處理之後，劃線凹槽形成於具 有狹縫的母面板的預定位置。另外，具有狹縫的面板藉著 以劃線凹槽成爲切割參考點而被切割。藉此，多個獨立的 液晶面板1〇2被切成多個片件（製程P25 )。如圖18所 示，液晶驅動ic 103a及l〇3b被安裝於在上述製程中製造 的獨立液晶面板1 02的每一個，並且成爲背光的照明設備 106被安裝於液晶面板102。另外，藉著將FPC 104連接 於液晶面板1 〇2，完成成爲最終製品的液晶設備1 0 1 (製 程 P 2 6 )。 以上說明的液晶設備的製造方法及其製造設備具有以 下的特徵，特別是在濾色器1的製造步驟中。亦即，圖 5 A所示的濾色器1例如圖1 9所示的濾色器1 1 8中的獨立 適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -44 - 559594 A7 B7 五、發明説明（4今 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 濾器元件3並非於噴墨頭22 (見圖1 )的主掃描X時一 次形成。墨係藉著屬於不同群的多個噴嘴27被射出至獨 立濾器元件3的每一個η次，例如四次。藉此，濾器元件 3以預定厚度形成。因此，如果墨射出量在多個噴嘴27 之間不同，則可防止多個濾器元件3有不同厚度。因此， 可保持濾色器1有均勻的平面半透明性。此表示圖1 9所 示的液晶設備1 〇 1中可有在沒有不均勻顏色偏移下的淸楚 彩色顯示操作。 並且，在以上說明的根據此實施例的液晶設備的製造 方法及其製造設備中，濾器元件3是藉著使用圖8所示的 液滴射出設備1 6來用噴墨頭22射出墨而形成。因此，不 須有例如光石印技術的複雜製造過程，並且不浪費用來製 造濾器元件的材料構件。 (使用EL元件的電光設備的製造方法及其製造設備的說 明） 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 圖20顯示根據本發明的成爲電光設備的例子的EL 設備的製造方法的實施例。並且圖2 1 Α至2 1 D顯示EL設 備的製造過程的重要部份及成爲最終製品的EL設備的截 面的主要部份。如圖2 1 D所示，EL設備20 1在透明底座 板2 04上形成像素電極202。並且，EL設備201以於圖 中的箭頭方向G所見的柵格方式在像素電極202之間形 成觸排（bank) 205。 正電洞射出層220形成於柵格凹入區段。R顏色照明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -45- 559594 A7 B7 五、發明説明（β 層203R，G顏色照明層203G’及Β顏色照明層203Β以 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 預定的陣列設置例如於圖中的箭頭方向G所見的條紋設 置形成於柵格凹入區段的每一個。另外，藉著在其上形成 面對電極213而形成EL設備201。 當像素電極202被具有二端子的主動元件例如TFD ( 薄膜二極體）驅動時，上述的面對電極213以於箭頭方向 G所見的條紋方式形成。並且，當像素電極202被具有三 個端子的主動元件例如TFT (薄膜電晶體）驅動時，上述 的面對電極2 1 3以簡單的表面形式形成。 被夾在像素電極202與面對電極213之間的區域成爲 一圖像元件像素。三種顏色的圖像元件像素形成一單元而 形成一像素。藉著控制圖像像素中流動的電流，多個圖像 元件像素中所想要的一個被選擇性地照明。藉此，可顯示 於箭頭方向Η所見的想要的全彩色影像。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 上述的EL設備201是由例如圖20所示的製造方法 來製造。亦即，主動元件例如TFD元件或TFT元件如製 程P51及圖21 A所示地形成在透明底座板204的表面上 。另外’像素電極202形成在其上。此處，可使用例如光 石印技術方法，真空蒸發方法，濺射方法，或高溫溶液（ Pyroso1)方法成爲形成方法。可使用ITO (銦錫氧化物） ’錫氧化物，銦氧化物的複合氧化物，及鋅氧化物成爲像 素電極202的原料。 其次’如製程P52及圖21A所示，例如觸排2〇5的 隔板藉著使用一般的定圖型方法例如光石印技術方法而形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ 297公釐） -46 - 559594 A7 B7 五、發明説明（4 成。透明像素電極202之間的空間由觸排205掩埋。藉此 ，對比增進，可防止顏色照明構件的混合，並且可防止光 從像素之間滲漏。對於用於觸排2 0 5的原料，只要原料可 耐用來溶解EL照明構件的溶劑，就不會有問題。較佳的 是一碳氟化合物聚合物塗覆層藉著實施碳氟化合物電漿處 理而形成在觸排205的原料的表面上。對於此材料，可有 有機組份例如丙儲酸樹脂，環氧樹脂，及光敏聚亞胺。 其次，就在施加成爲功能液體材料的正電洞澆入墨之 則，對透明底座板2 04實施氧氣及碳氟化合物電漿的連續 電漿處理（製程P53 )。藉此，聚亞胺的表面成爲斥水性 。IT 0的表面成爲親水性。如此，用來實施液滴的定圖型 的底座板的可濕性可被精細地控制。對於電漿產生設備， 可類似地使用可在真空情況下產生電漿的設備以及在大氣 壓力下產生電漿的設備。 其次’如製程P 5 4及圖2 1 A所示，正電洞繞入墨從 圖8所示的液滴射出設備1 6的噴墨頭2 2射出，以在像素 電極202的表面上進行定圖型。明確地說，爲控制噴墨頭 22，可使用圖1，2，3，及4所示的控制方法中的任何之 一。在進行定圖型之後，溶劑在真空（1 torr (托））的 情況下於室溫進行20分鐘的移除（製程P55 )。然後， 藉著在大氣壓力，20°C (在一熱板上），及10分鐘的情 況下實施加熱處理，形成不與照明層墨一起溶解的正電洞 澆入層220 (製程P56)。在上述的情況下，該層的厚度 爲40nm (毫微米）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 閲 讀 背 面 意 事 項 香· 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -47- 559594 A7 B7 五、發明説明（4 請 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 其次，如製程P57及圖21B所示，成爲功能液體材 料的成爲EL照明構件的R照明層墨及成爲功能液體材料 的成爲EL照明構件的G照明層墨藉著使用液滴射出方法 而被施加在濾器元件形成區域7的每一個的正電洞澆入層 220上。此處，照明層墨的每一個是從圖8所示的液滴射 出設備1 6的噴墨頭22射出。使用圖1至4所示的方法的 任何之一成爲噴墨頭22的控制方法。藉著使用噴墨方法 ’可容易地且快速地實施精細的定圖型操作。並且，藉著 改變墨中的成分的固體部份的密度及射出量，可改變厚度 在施加照明層墨之後，溶劑在例如真空（ltorr )的 情況下於室溫進行20分鐘的移除（製程P58 )。因此， 藉著實施藉由在例如氮氣氛的情況下於1 5 0 °C的加熱處理 四小時的共軛操作，形成R顏色照明層203R及G顏色照 明層203 G (製程P59 )。在上述的情況下，該層的厚度 爲5 Onm。藉著加熱處理被共軛的照明層不溶解在溶劑中 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 此處，在形成照明層之前，可以對正電洞澆入層220 實施氧氣及碳氟化合物氣體電漿的連續電漿處理。藉此， 碳氟化合物聚合物塗覆層可形成在正電洞澆入層220上。 因此，離子化電位增加。因此，正電洞澆入效率增加。如 此，可提供具有高照明效率的有機EL設備。 其次，如製程P60及圖21C所示，成爲功能液體材 料的成爲EL照明構件的B顏色照明層203B於每一圖像 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -48- 559594 A7 B7 五、發明説明（4$ 元件像素形成在R顏色照明層203R上，G顏色照明層 203G，及正電洞澆入層220上。藉此，不只是可形成三 種主顏色例如R，G，及B顏色，並且也可掩埋R顏色照 明層203R，G顏色照明層203 G，與觸排205之間的間隙 而將其平坦化。藉此，可防止被直立設置的電極之間的短 路。藉著調整B顏色照明層203B的厚度，B顏色照明層 203B作用成爲R顏色照明層203R及G顏色照明層203 G 的層疊結構中的電子澆入運輸層，因而B顏色照明層 203B不以藍色照明。 對於如上所述的B顏色照明層203B的形成方法，可 使用例如一般的旋轉塗覆方法成爲潮濕方法。否則，可使 用等同於R顏色照明層203R及G顏色照明層203 G的噴 墨方法。 然後，如製程P61及圖21D所示，想要的EL設備 201藉著形成面對電極213而被製造。如果面對電極213 爲表面電極的形式，則面對電極2 1 3可藉著膜形成方法例 如真空蒸發方法或使用材料構件例如Mg (鎂），Ag，A1 ’及Li (鋰）或類似者的濺射方法而形成。並且，如果 面對電極2 1 3爲條紋電極的形式，則塗覆電極層可藉著定 圖型方法例如光石印技術方法，真空蒸發方法，或使用材 料構件例如Mg，Ag，A1，及Li或類似者的濺射方法而 形成。 在如上所述的EL設備201的製造方法及其製造設備 中’使用圖1至4所示的控制方法的任何之一成爲噴墨頭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -49- 559594 A7 _ _B7_____ 五、發明説明（4令 的控制方法。因此，在圖2 1 A至2 1 D中於每一圖像元件 像素的正電洞澆入層220，R顏色照明層203R，G顏色照 明層203 G，及B顏色照明層203B並非藉著噴墨頭（見 圖1)的主掃描操作X —次形成，而是藉著由一圖像元件 像素中的正電洞澆入層及/或屬於不同噴嘴群的多個噴嘴 27的每一顏色照明層接收墨射出多次（η次，例如4次） 而形成爲預定厚度。藉此，墨射出量在多個噴嘴27之間 不同，並且可避免顏色照明層的厚度在多個圖像元件像素 之間不同。因此，可使EL設備20 1的照明表面的平面照 明分佈特性均等化。此表示圖2 1 D所示的EL設備可實現 在沒有不均勻顏色對比下的淸楚彩色顯示操作。 並且，在根據此實施例的EL設備的製造方法及製造 設備中，藉著使用圖8所示的液滴射出設備1 6，顏色圖 像元件像素例如R，G，及Β顏色圖像元件像素的每一個 是藉著用噴墨頭22射出墨而形成。因此，不須複雜的製 造方法例如光石印技術方法。並且，不浪費用來製造濾器 元件的材料構件。 (濾色器的製造方法及其製造設備的實施例） 其次，以下參考圖式說明根據本發明的濾色器的製造 設備的實施例。首先，在說明濾色器的製造設備之前，先 說明要被製造的濾色器。圖33 Α及33Β爲瀘色器的放大 視圖。圖3 3 A爲平面圖。圖3 3 B爲沿圖3 3 A所示的線X-X所見的剖面圖。此處，在圖33 A及33B所示的濾色器 —本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-^- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -50- 559594 A7 B7 五、發明説明（4》 中，與圖5所示的濾色器1相同的結構構件以相同的參考 數字來說明。 (濾色器的結構） 在圖33A中，濾色器1設置有以矩陣方式設置的多 個像素1 A。這些像素1 A由成爲邊界的隔板6分開。對像 素1 A的每一個，成爲液體材料的爲例如R (紅），G ( 綠），及B (藍）墨的墨的任何之一的濾色器構件例如濾 器元件構件13被引入。顏色例如R，G，及B顏色的設置 已經被說明爲例如嵌鑲設置。並且，如上所述，可應用任 何設置例如條紋設置或三角設置。濾色器33顯示在圖 33A 及 33B 中。 濾色器1如圖33B所示設置有半透明底座板12及半 透明隔板6。未形成隔板6的區域（亦即移除區域）爲上 述的像素1 A。被引至像素1 A的每一顏色的濾器元件3成 爲要成爲著色層的濾器元件3。在隔板6及濾器元件3的 表面上，保護塗覆層4及電極層5形成爲保護層。 經濟部智慧財產¾¾工消費合作社印製 (濾色器的製造設備的結構） 其次，以下參考圖式說明上述濾色器的製造設備的結 構。圖22爲顯示根據本發明的濾色器製造設備中的液滴 射出設備的立體圖。 濾色器製造設備製造被容納在成爲電光設備的彩色液 晶面板中的濾色器。濾色器製造設備設置有圖中未顯示的 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -51 - 559594 Α7 Β7 五、發明説明（4身 液滴射出設備。 (液滴射出設備的結構） 類似於實施例在以上被說明的液滴射出設備的情況， 液滴射出設備如圖22所示具有三組液滴射出處理設備 405R，405G，及405B。這些液滴射出處理設備405R， 405G，及405B相應於成爲濾器元件構件被射出至母板12 的例如R，G，及B顏色的三種顏色，例如成爲液體墨的 成爲濾色器構件的R，G，及B濾器元件構件。此處’液 滴射出處理設備405R，405G，及405B被幾近串聯地設置 而形成液滴射出設備。並且，用來控制每一結構構件的移 動的控制設備成整體地設置於液滴射出處理設備405R ’ 405G ，及 405B 。 此處，圖中未顯示的用來將一件母板1 2帶入及帶出 至液滴射出處理設備405R，405G，及405B的運輸自動機 分別連接於液滴射出處理設備405R，405G，及405B。並 且，對於液滴射出處理設備405R，405G，及405B ’可含 有例如六件母板1 2。並且，圖中未顯示的多階段烘焙爐 連接於液滴射出處理設備405R，405G，及405B ’用來在 母板1 2在例如1 2(TC的情況下被加熱5分鐘之後乾燥被 射出的濾器元件構件1 3。 另外，液滴射出處理設備405R，405G，及405B的每 一個如圖22所示具有成爲中空罩殼的熱淸潔室422 °熱 淸潔室422內部的溫度被調整於例如20± 0.5 °C，以在噴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 頁 經濟部智慧財產笱®工消費合作社印製 -52- 559594 A7 B7 五、發明説明（劝 墨方法中實現較佳且穩定的點形成，以及防止灰塵從外部 進入。一液滴射出處理設備423被設置在熱淸潔室422中 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇 液滴射出處理設備423如圖22所示具有X軸空氣滑 動機台424。具有圖中未顯示的線性馬達的主掃描驅動單 元425設置在X軸空氣滑動機台424上。主掃描驅動單元 425具有用來藉著例如吸附方法而固定母板12的圖中未 顯示的底座架區段，並且相對於被設置於X軸方向的母 板12於主掃描方向移動底座架區段。 如圖22所示，位在成爲Y軸機台的X軸空氣滑動機 台24上方的副掃描驅動設備427設置在液滴射出處理設 備423中。副掃描驅動設備427相對於被設置於Y軸方向 的母板1 2於副掃描方向移動用來於例如直立方向射出濾 器元件構件13的頭單元420。此處，在圖22中，頭單元 420由連續線描繪成爲好像其在內部浮動，以對頭單元 420與母板12之間的位置關係有較佳的瞭解。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，成爲用來得知噴墨頭42 1及母板1 2的位置以 控制二者的位置得知構件的圖中未顯示的各種不同照相機 被設置在液滴射出處理設備423中。此處，頭單元420及 底座架區段的位置不只是可藉著使用脈衝馬達的位置控制 方法來控制，並且也可藉著使用伺服馬達的反饋控制方法 及任何想要的控制方法來控制。 並且，如圖22所示，用來擦拭頭單元420中的濾器 元件構件1 3被射出的表面的擦拭單元48 1被設置在液滴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -53- 559594 A7 B7 五、發明説明（5() 射出處理設備423中。擦拭單元481是藉著適當地捲繞圖 中未顯示的藉著成整體地層疊布與橡膠薄片而製成的擦拭 構件的端部而形成。擦拭單元48 1永遠藉著新的擦拭表面 來擦拭濾器元件構件1 3被射出的表面。藉此，黏附於射 出表面的濾器元件構件13被移除，以防止噴嘴466阻塞 〇 另外，如圖2 2所示，墨系統4 8 2設置在液滴射出處 理設備423中。墨系統482設置有用來儲存濾器元件構件 13的墨槽483，濾器元件構件13可通過的供應管478， 及用來從墨槽483供應濾器元件構件13通過供應管478 至頭單元420的泵。此處，在圖22中，供應管478的設 置顯示成使得供應管478從墨槽483連接至副掃描驅動設 備427，以不影響頭單元420的移動。並且，濾器元件構 件1 3是從用來驅動頭單元420的掃描操作的副掃描驅動 設備427的上方供應至頭單元420。 並且，用來測量從頭單元420射出的濾器元件構件 1 3的射出量的重量測量單元485被設置在液滴射出處理 設備423中。 另外，用來監視從頭單元420射出的濾器元件構件 1 3的射出情況的具有圖中未顯示的例如光感測器的一對 遺漏點偵測單元487被設置在液滴射出處理設備423中。 在遺漏點偵測單元487中，圖中未顯示的光感測器的光源 及光接收區段被設置成具有空間地互相面對，而從頭單元 420射出的射出液滴8於對角線地橫過液體材料從頭單元 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -54- 559594 A7 B7 五、發明説明（5》 420射出的方向的X軸方向通過該空間。並且，遺漏點偵 測單元487於頭單元420被運輸的方向被設置於γ軸方向 。遺漏點偵測單元487藉著在每次頭單元420實施副掃描 移動以射出濾器元件構件1 3時監視射出情況來偵測遺漏 點。 雖然稍後會進行詳細的說明，但是在頭單元420中， 用來射出濾器元件構件13的頭設備433被設置成二陣列 。藉此，一對遺漏點偵測單元487被設置來監視每一陣列 中的每一頭設備的射出情況。 (頭單元的結構） 其次說明頭單元420的結構。圖23爲顯示設置在液 滴射出處理設備中的頭單元的平面圖。圖24爲頭單元的 側視圖。圖2 5爲頭單元的前視圖。圖2 6爲頭單元的剖面 圖。 頭單元420如圖23至26所示具有頭單元區段430及 墨供應區段431。並且，頭單元區段430具有平面滑架 4 26，及附著在滑架426上的具有互相相同的形狀的多個 頭設備433。 (頭設備的結構） 圖2 7爲分解形式的設置在頭單元上的頭設備的立體 圖。 頭設備433如圖27所示具有印刷底座板435。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閱 讀 背 δ ί 事 項 再 η 本 頁 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 -55- 559594 A7 B7_ 五、發明説明（5$ 在印刷底座板435上，安裝有各種不同的電部件436 ，並且形成有電接線。並且，一窗口區段437開口通過印 刷底座板435的於縱向的一端部（圖27中的右手側）。 另外，在印刷底座板435上，瀘器元件構件1 3可成爲墨 通過的流動路徑43 8被設置在窗口區段437的兩側。 另外，在靠近印刷底座板435的一表面（圖27中的 底側）的於縱向的一端部處（圖27中的右手側），噴墨 頭421藉著附著構件440而成整體地附著。噴墨頭421形 成爲矩形形狀，並且其縱向部份相應於印刷底座板435的 縱向部份。此處，在每一頭設備433上的每一噴墨頭的形 狀互相幾近相同。亦即，噴墨頭的每一個爲根據規定的工 業標準普遍可獲得的製品，只要其爲根據規定標準合格的 製品。更明確地說，當噴墨頭具有在噴墨頭之間的相同位 置的相同數目的噴嘴時，噴墨頭在滑架上的組裝操作變得 有效率，因而由於組裝準確度增加而較佳。另外，如果使 用根據相同的製造及組裝過程製成的製品，則不須有特殊 製造的製品，因而可降低製造成本。 經濟部智慧財產%員工消費合作社印製 並且，在靠近印刷底座板435的一表面（圖27中的 上側）的於縱向的另一端部處（圖27中的左手側），電 連接於噴墨頭421的連接器441藉著附著構件440而成整 體地附著。如圖22所示，連接於副掃描驅動設備427以 不影響頭單元420的移動的電接線442 (包括電源接線及 訊號接線）連接於這些連接器44 1。電接線442連接圖中 未顯示的控制設備與頭單元420。亦即，如圖23及26中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -56· 559594 A7 B7 五、發明説明（5含 由兩點鏈線箭頭所示，這些電接線442從副掃描驅動設備 427被設置在頭單元420的外周邊上，例如頭單元420上 的頭設備433的二陣列的設置方向的兩側，以連接於連接 器441，因而不發生電雜訊。 另外，在靠近印刷底座板435的另一表面（圖27中 的上側）的於縱向的一端部上（圖27中的右手側），引 墨區段443相應於噴墨頭421被附著。引墨區段443具有 設置在附著構件440上的具有幾近圓柱形形狀以配合通過 印刷底座板435的定位銷區段444的定位圓筒區段445， 及配合印刷底座板435的裝配釘區段446。 並且，具有有變窄尖端的幾近圓柱形形狀的一對連接 區段448被設置在引墨區段443上。這些連接區段448具 有圖中未顯示的開口，其以水密方式將印刷底座板435的 流動路徑43 8連接在靠近印刷底座板435的底座端部區段 上。在連接區段44 8的尖端上，設置有濾器元件構件13 可通過的一孔。 經濟部智慈財產局Μ工消費合作社印製 另外，如圖24至27所示，對於這些連接區段448， 密封連接區段450分別附著於尖端位置。這些密封連接區 段450以幾近圓柱形的形狀形成，以用其內圓周以水密方 式配合連接區段448。並且，密封構件449被設置在連接 區段448的尖端上。 (噴墨頭的結構）

圖28爲分解形式的噴墨頭的立體圖。圖29A至29C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -57- 559594 A7 B7 五、發明説明（54 爲用來顯示藉由噴墨頭的濾器元件構件射出操作的剖面圖 。圖29A顯示在濾器元件構件被射出之前的情況下的噴 墨頭。圖29B顯示在濾器元件構件藉著藉由壓電振動元 件的收縮移動被射出的情況下的噴墨頭。圖29C顯示在 就在濾器元件構件被射出之後的情況下的噴墨頭。圖30 爲用來說明藉由噴墨頭射出的濾器元件構件的射出量的視 圖。圖3 1爲用來說明噴墨頭的近似設置情況的視圖。圖 32爲用來說明圖3 1所示的噴墨頭的近似設置情況的放大 視圖。 噴墨頭421如圖28所示具有有大致矩形形狀的固持 件451。在固持件451中，多個（例如180個）壓電振動 元件452例如壓件（piezo element)沿著縱向被設置成二 陣列。連通至印刷底座板435的流動路徑438且供成爲墨 的濾器元件構件1 3流動的通孔453分別設置於固持件 45 1的兩縱向側的大致中間部份。 經濟部智慧財產笱Μ工消費合作社印製 並且，如圖28所示，由合成樹脂形成爲薄片情況的 撓性板45 5成整體地設置在上面設置有固持件451的壓電 振動元件452的表面上。分別接續至通孔453的連通孔 456設置在撓性板455上。配合被設置成在固持件451的 四個角落部份上凸出的定位釘457的裝配孔458被設置在 撓性板455上。裝配孔458被定位在固持件451的頂部表 面上成爲成整體地附著於該處。 另外，一平面狀流動路徑形成板460被設置在撓性板 455上。相應於被設置於固持件451的縱向的180個壓電 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -58- 559594 A7 ΒΊ_____ 五、發明説明（5今 振動元件被串聯地設置成二陣列的噴嘴凹槽46 1，形成於 固持件451的縱向及一側的開口區段462，及接續至撓性 板455上的裝配孔456的連通孔463被設置在流動路徑形 成板460上。配合被設置在固持件451的四個角落部份上 成爲在該處凸出的定位釘區段457的裝配孔458被設置在 撓性板455上。裝配孔458與撓性板455 —起被定位在固 持件45 1的頂部表面上以成整體地附著於該處。 並且，具有大致平面形狀的噴嘴板465被設置在流動 路徑形成板460的頂部表面上。在噴嘴板465上，於固持 件451的縱向在254mm (毫米）的縱向範圍上具有大致圓 形形狀的1 80個噴嘴466被串聯地設置成二陣列，以相應 於形成在流動路徑形成板460上的噴嘴凹槽。配合被設置 成在固持件451的四個角落部份上凸出的定位釘457的裝 配孔458被設置在撓性板455上。裝配孔458與撓性板 455及流動路徑形成板460 —起被定位在固持件451的頂 部表面上以成整體地附著於該處。 另外，如圖29A至29D所示，藉著層疊的撓性板455 ，流動路徑形成板460，與噴嘴板465，一液體貯器467 分開地形成於形成在流動路徑形成板460上的開口區段 462。並且，液體貯器467經由液體供應路徑468而連通 至每一噴嘴凹槽461。藉此，當噴嘴凹槽461中的壓力藉 著藉由壓電振動元件452的振動移動而增加時，噴墨頭 421在7± 2m/s (公尺/秒）的泵的壓頭下以2pl與13pl之 間例如1 〇pl的射出液滴量從噴嘴射出濾器元件構件1 3 ° 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A1今 訂 經濟部智总財產局員工消費合作社印製 -59 - 559594 A7 B7 五、發明説明（5$ 亦即，如圖29A至29D連續地顯示，藉著以脈衝方式施 加預定電壓Vh於壓電振動元件452，壓電振動元件452 於箭頭方向Q適當地伸縮。藉此，成爲墨的濾器元件構 件1 3被抑制而使預定量的液滴8從噴嘴466被射出。 並且，在噴墨頭421中，觀察到射出量在設置方向的 兩端部處比在設置方向的其餘部份大，如參考圖30在上 述的實施例中所說明的。因此，射出被控制成使得濾器元 件構件1 3不從射出量差異在5 %內的噴嘴466射出，例如 在兩端部處的1 0個噴嘴的每一個。 另外，如圖22至26所示，於頭單元420所含有的頭 單元區段430，具有噴墨頭421的多個頭設備433以陣列 方式被設置。如圖31所示，滑架426上的頭設備433的 設置是在頭設備433以偏移方式被設置於在正交地橫過Y 軸方向的爲主掃描方向的X軸方向傾斜得比在爲副掃描 方向的Y軸方向多的方向的情況下。亦即，多個（例如 六個）頭單元區段以陣列方式被設置於與成爲副掃描方向 的Y軸方向相比稍微傾斜的方向。此處，多個陣列例如 二陣列被設置。在噴墨頭421的普通設置中，頭設備433 於其緯度方向的寬度比噴墨頭大，因而不可能使相鄰噴墨 頭421的設置間隔窄。但是，噴嘴466的陣列必須與Y軸 方向直列，因此提供以上說明的頭設備433的設置。 另外，如圖23及31所示，於頭單元區段430，頭設 備433沿著從Y軸方向向成爲主掃描方向的X軸方向稍 微偏移的一線被設置。並且’連接器44 1以大致上點對稱 用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 -60- 559594 A7 B7 五、發明説明（ 的方式被設置在被設置成以二陣列互相面對的頭設備433 的陣列的外部。此處，頭設備433被設置成使得設置於噴 墨頭421的縱向的噴嘴466被設置成以例如57.1度傾斜 靠近X軸方向。 並且，頭設備43 3以交錯方式被設置，以相對於設置 方向不成列設置。亦即，如圖23，26，及31所示，噴墨 頭421以二陣列被設置成使得十二個噴墨頭421中的噴嘴 4 66連續地且以噴墨頭421在面對陣列之間一個一個地交 替地被設置的交錯方式被設置於Y軸方向。 更明確地說，以下參考圖3 1及32進行詳細說明。此 處，設置於噴墨頭421的縱向的噴嘴466的設置方向傾斜 成較靠近X軸方向。藉此，在噴墨頭421上以二陣列設 置的噴嘴466的第一陣列中，在第十一個噴嘴466被設置 用來射出濾器元件構件1 3的於X軸方向的一線上，有設 置在第二陣列中的十個噴嘴466不射出濾器元件構件13 的區域A (圖32中的A )。亦即，在一噴墨頭421中， 有二噴嘴466不在於X軸方向的一線中的區域A。 因此，如圖31及32所示，在一噴墨頭421中的兩個 噴嘴466被設置於X軸方向的區域B (圖32所示的B ) 中，以陣列方式設置的頭設備433於X軸方向並非設置 於一列。另外，只有在形成一陣列的頭設備4 3 3上的一噴 嘴被設置在X軸方向上的區域A及只有在形成另一陣列 的頭設備433上的一噴嘴被設置在X軸方向上的區域a 被互相成列地設置於X軸方向。在一陣列中的噴墨頭4 2 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 -61 - 559594 A7 B7 五、發明説明（5合 與另一陣列中的噴墨頭421之間，總共二噴嘴466被設置 在於X軸方向的一線上。亦即，在噴墨頭42 1被設置的 區域中，總共二噴嘴466以交錯方式被設置成使得兩個噴 嘴466被設置在於X軸方向的一線上。此處，在噴嘴466 的區域X中的不射出濾器元件構件1 3的噴嘴不被視爲在 於X軸方向的一線上的二噴嘴466。藉此’於實施主掃描 操作的X軸方向射出墨的二噴嘴466被設置在一線上。 如稍後說明的，墨從二噴嘴466被射出至一點。如果一元 件只由一噴嘴466形成’則噴嘴466之間的不同射出量造 成元件之間的不同射出特性及減小的產率。因此’如果一 元件由不同噴嘴466形成，則可克服噴嘴466的射出量的 差異及使元件之間的射出特性均等化，並且增進製造產率 (墨供應區段的結構） 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 如圖23至26所示，墨供應區段431包含相應於頭單 元區段430的二陣列設置的一對附著板471，及附著於附 著板47 1的多個供應單元區段472。供應單元區段472具 有有幾近圓柱形形狀的可移動構件474。可移動構件474 藉著附著固定件473而附著’以於軸向可移動地穿過附著 板471。供應單元區段472的可移動構件474是藉著例如 螺旋彈簧475或類似者而附著，以從附著板471被推於朝 向頭設備433的方向。此處’在圖23中’墨供應區段 43 1只對頭設備433的二陣列中的一陣列顯示’且爲說明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -62- 559594 Α7 Β7 五、發明説明（5卓 的方便省略另一陣列。 凸緣區段476被設置在面對頭設備433的可移動構件 474的一端部區段上。凸緣區段476環繞可移動構件474 的外周邊凸出如同劍的護手。凸緣區段476的端部以大致 上水密的方式接觸頭設備433中的引墨區段443的密封構 件449，以抵抗螺旋彈簧475的推力。並且，一接合區段 477設置在相反於凸緣區段476的可移動構件的一端部上 。如圖2 2所示，濾器元件構件1 3流動通過的供應管4 7 8 的端部連接於接合區段477。 如以上所說明及如圖22所示，供應管478連接於副 掃描驅動設備427成爲不影響頭單元420的移動。並且’ 如由一點鏈線箭頭在圖23及25中所示，供應管478從頭 單元420的上方從副掃描驅動設備427連接至以二陣列設 置的墨供應區段之間的大致中間部份。另外，供應管478 被徑向設置，並且供應管478的端部連接於墨供應區段 431的接合區段477。 另外，墨供應區段43 1將流動通過供應管的濾器元件 構件13供應至頭設備433中的引墨區段443。並且，被 供應至引墨區段443的濾器元件構件13被供應至噴墨頭 421，且以液滴8的形式從被適當地電控制的噴墨頭421 的噴嘴466射出。 (濾色器的製造操作） (準備製程） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閲 讀 背 5 ί 事 項 再 填

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •63- 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 559594 A7 B7 五、發明説明（6() 其次，以下參考圖式說明藉著使用根據以上說明的實 施例的濾色器製造設備的濾色器1的形成製程。圖34以 截面形式顯示藉著使用濾色器製造設備的濾色器1的製造 步驟S1至S7。 首先，由具有0.7mm的厚度，38cm (公分）的長度 ，及30cm的寬度的非鹼性玻璃製成的成爲透明底座板的 母板12的表面由加入有以質量計1 %的過氧化氫溶液的濃 縮硫酸製成的淸潔液體淸潔。在淸潔操作之後，母板12 以純水淸洗且由空氣乾燥以獲得淸潔表面。具有0.2 // m 的平均厚度的鉻塗覆層藉著塗覆方法例如濺射方法而形成 在母板12的表面上以獲得金屬層6a (圖34中的步驟S1 )0 在母板1 2在8CTC情況下的熱板上被乾燥五分鐘之後 ，圖中未顯示的光抗蝕劑層藉著例如旋轉塗覆方法而形成 在金屬層6a的表面上。圖中未顯示的上面形成有例如一 預定矩陣圖型形狀的掩模膜接觸在母板1 2的表面上而暴 露於此紫外光。其次，曝光的母板1 2被浸入含有以質量 計8%的氫氧化鉀的鹼性顯影液體內，且光抗鈾劑的未曝 光部份被移除，並且在抗蝕劑層上實施定圖型操作。因此 ，蝕刻移除操作藉著含有例如氫氯酸成爲主成分的蝕刻液 體而在暴露的金屬層6a上被實施。藉此，獲得具有預定 矩陣圖型的成爲黑矩陣的屏蔽層6b (圖34中的步驟S2 ) 。此處，屏蔽層6b的厚度爲大約0.2//m，並且屏蔽層6b 的寬度爲大約22// m。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-64- 559594 A7 B7__ 五、發明説明（6) 另外，負透明丙烯酸光敏樹脂形成物6c藉著例如旋 轉塗覆方法而施加在上面形成有屏蔽層6b的母板1 2上（ 圖34中的步驟S3)。預烘焙操作在100°C的情況下對上 面形成有光敏樹脂形成物6c的母板12實施20分鐘，然 後母板12藉著使用上面形成有預定矩陣圖型形狀的圖中 未顯示的掩模膜而暴露於紫外光。因此，未暴露區域上的 樹脂藉著例如上述的鹼性顯影液體而顯影，並且藉著純水 淸洗，然後實施旋轉乾燥操作。成爲最後的乾燥操作，後 烘焙操作在例如200°C的情況下實施30分鐘，以充分地 硬化樹脂部份，因而形成觸排層6d。觸排層6d的平均厚 度爲幾近2.7//m，且寬度幾近14//m。隔板6是由觸排 層6d及屏蔽層6b形成（圖34中的步驟S4)。 經濟部智慈財產局8工消費合作社印製 乾蝕刻操作及電漿處理被實施以增進由以上獲得的屏 蔽層6b與觸排層6d分開的成爲顏色層形成區域的濾器元 件形成區域7 (特別是母板1 2的暴露表面）的墨可濕性 。更明確地說，高電壓電流對氦與20%的氧的混合氣體充 電，並且鈾刻點藉著實施電漿處理而形成。母板12在以 上形成的蝕刻點下方被運輸以被蝕刻，因而實施母板1 2 的預處理。 C濾器元件構件的射出） 其次，濾器元件構件的每一個例如紅（R )，綠（G )，及藍（B)濾器元件構件藉著噴墨方法被引至（亦即 射出至）由被實施上述的預處理的母板1 2的隔板6分開 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇x297公釐） -65- 559594 A7 B7 五、發明説明（63 的濾器元件形成區域7的內部（圖34中的步驟S5 )。 當濾器元件構件藉著噴墨方法被射出時，頭單元420 預先被組裝。另外，在液滴射出設備中的液滴射出處理設 備405R，405G，及405B的每一個中，從每一噴墨頭421 的噴嘴466射出的濾器元件構件1 3的射出量被調整爲一 預定量，例如10pl。另一方面，在母板12的一表面上， 隔板6以柵格圖型預先形成。 另外，首先，如上所述地被實施預處理的母板1 2由 圖中未顯示的運輸自動機運輸至R顏色的液滴射出處理 設備405R內，以將母板12放置在液滴射出處理設備 405R中的底座架區段上。被放置在底座架區段上的母板 1 2藉著放置方法例如吸附方法被定位成爲被固定在其上 。母板1 2的位置由各種不同的照相機監視，並且支撐上 面的母板1 2的底座架區段的移動藉著控制主掃描驅動單 元425而被控制成處於預定的適當位置。並且，頭單元 4 20由副掃描驅動設備427適當地移動以得知其位置。然 後，頭單元420於副掃描方向移動，並且噴嘴466的射出 情況由遺漏點偵測單元487監視，以證實未發生任何有缺 陷的射出，因而頭單元420被運輸至初始位置。 然後，被支撐在可由主掃描驅動單元425移動的底座 架區段上的母板1 2於X軸方向被掃描。在頭單元420相 對於母板12移動之下，濾器元件構件13從噴墨頭421的 預定噴嘴466被適當地射出。濾器元件構件13充塡在由 母板1 2上的隔板6分開的凹入區段中。其係由圖中未顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 -66 - 559594 A7 B7_ 五、發明説明（6含 示的控制設備控制成使得濾器元件構件13不從預定區域 X被射出，例如圖32所示的位在於噴嘴466的設置方向 的兩端部上的十個噴嘴。濾器元件構件13從在噴嘴陣列 的中間位置的射出量相當均勻的160個噴嘴466射出。 並且，因爲二噴嘴466位在掃描線上，例如在於掃描 方向的一線上，二點在移動期間從一噴嘴466射出至一凹 入區段。更明確地說，二液滴8從一噴嘴466射出成爲一 點。因此，總共八個液滴8從噴嘴466射出。射出情況在 每一掃描移動中由遺漏點偵測單元487監視是否有遺漏點 〇 當判定不存在有遺漏點時，頭單元420於副掃描方向 移動一預定距離。在支撐母板12的底座架區段於主掃描 方向再次移動時，濾器元件構件1 3的射出重複。如此， 濾器元件3形成於預定濾色器形成區域11中的預定濾器 元件形成區域7。 (乾燥及硬化） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，有被射出的R顏色濾器元件構件1 3的母板1 2 藉著圖中未顯示的運輸自動機由液滴射出處理設備405R 取出。濾器元件構件1 3由多階段烘焙爐在例如1 2(TC的 情況下乾燥五分鐘。在乾燥操作之後，母板1 2由運輸自 動機從多階段烘焙爐取出，然後母板1 2在運輸期間被冷 卻。然後，母板1 2被連續地運輸至液滴射出處理設備 405R，G顏色的液滴射出處理設備405G，及B顏色的液 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -67- 559594 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（θ 滴射出處理設備405Β內。G'顏色及Β顏色的濾器元件構 件1 3被連續地射出至預定的濾器元件形成區域7 °另外 ，射出的三種顏色的濾器元件構件1 3被乾燥的母板1 2被 收集。另外，濾器元件構件1 3藉著實施加熱處理而被固 定及設定在母板12上（圖34中的步驟S6)。 (濾色器的形成） 保護塗覆層4形成在上面形成濾器元件3的母板12 的幾近整個表面上。另外，由例如ΙΤΟ (銦錫氧化物）製 成的電極層5藉著所需的圖型而形成在保護塗覆層4的表 面上。然後，藉著根據濾色器形成區域Π來切割母板1 2 而獲得多個濾色器1 (圖34中的步驟S7 )。上面形成濾 色器1的母板1 2被使用成爲圖1 8所示的液晶設備中的一 對底座板之一，如先前實施例中所說明的。 (濾色器的製造設備的功效） 根據圖22至34所示的實施例，除了在先前所說明的 每一實施例中的操作功效之外，還有以下的功效。 亦即，在多個噴墨頭42 1中，用來將成爲例如墨的流 體液體材料的濾器元件構件1 3成爲液滴8射出的多個噴 嘴466以陣列被設置在噴墨頭421的表面上，並且在噴墨 頭421的上面有噴嘴466的表面面對成爲接收射出構件的 母板1 2的表面而在二者之間有一預定空間的情況下，沿 著母板1 2的表面相對移動。一濾器元件構件1 3從多個噴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 一~一 — -68- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1Τ •f 559594 A7 B7 五、發明説明（6今 射頭421的每一噴嘴466射出在母板12的表面上。因此 ，可藉著使用根據相同的工業標準的一般噴墨頭421來在 母板1 2的寬廣範圍上射出濾器元件構件1 3。並且，可在 不使用一長範圍噴墨頭之下使用多個傳統的標準部件，因 而可降低製造成本。長範圍噴墨頭的製品產率相當低，因 而變得昂貴。但是，短範圍噴墨頭42 1的製品產率高，因 此本發明中設置多個短範圍噴墨頭，以獲得與使用長範圍 噴墨頭的情況相同的功效，因而可降低製造成本。 另外，藉著適當地設定噴墨頭421的設置方向及數目 以及被用於射出操作的噴嘴466的間隔（噴嘴466可以每 一件或以每數件被使用，以相應於像素的節距），可使濾 器元件構件1 3被射出的區域相應於具有不同尺寸，像素 節距，及設置的濾色器1。因此，可增加一般用途。 另外，因爲多個噴墨頭421的形狀大致相同，所以可 藉著適當地設定陣列來使一種噴墨頭42 1相應於液體材料 射出的區域。因此，結構變得簡單，製造產率增進，並且 製造成本降低。 並且，因爲噴嘴466使用以幾近相等的間隔以陣列排 列成行的多個噴墨頭42 1，可容易地依循預定的規則來形 成點圖型，例如條紋圖型，嵌鑲圖型，或三角圖型。 另外，多個噴墨頭42 1沿著母板1 2的表面相對移動 ，使得多個噴墨頭42 1沿著橫過沿著母板1 2的表面相對 於主掃描方向以大致線性形式被設置的噴嘴466的設置方 向的相對傾斜方向。因此，多個噴墨頭421的噴嘴466的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -69- 559594 A7 B7__ 五、發明説明（6含 設置方向成爲相對於成爲沿著母板12的表面的移動方向 的主掃描方向傾斜。藉此，爲濾器元件構件1 3的射出間 隔的節距成爲比噴嘴之間的節距窄。當例如濾器元件構件 1 3被射出的母板1 2被用於顯示設備例如諸如液晶面板的 電光設備時，可獲得較淸楚的顯示。如此，可獲得想要的 顯示設備。另外，可防止相鄰的噴墨頭42 1的干擾，因而 可實現小尺寸設備。另外，藉著適當地設定傾斜角度，點 節距被適當地設定，因而可增進一般用途。 另外，在噴嘴466以幾近相等的間隔以幾近線性形式 被設置的噴墨頭421中，噴嘴466於矩形噴墨頭421的縱 向以幾近相等的間隔被設置在幾近線性形式上。因此，可 使噴墨頭42 1較小。如此，可防止相鄰噴墨頭42 1之間或 噴墨頭42 1與其他結構構件之間的干擾，因而可容易地實 現小設備。 並且，頭單元420被設置成使得多個噴墨頭421在噴 嘴466的設置方向幾近平行的情況下被設置在滑架426上 。因此，可在不使用長範圍噴墨頭之下在一區域中形成一 液體材料的多個射出區域。另外，可從在一位置成雙的噴 墨頭42 1以成雙的情況射出濾器元件構件1 3。因此，可 容易地使射出區域中的射出量均等化，因而可獲得穩定及 想要的點形成。 另外，多個噴墨頭42 1傾斜於橫過主掃描方向的方向 ，且噴嘴466被設置於與噴墨頭421的縱向不同的方向， 使得所有噴嘴466的設置方向平行。因此，可在不製造特 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇X；297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 -70- 559594 A7 B7 五、發明説明（ 殊的長範圍噴墨頭之下容易地加大射出用的區域。另外， 噴嘴466的設置方向如以上所說明的相對於橫過掃描方向 的方向傾斜，因此相鄰的噴墨頭不干擾’且爲濾器元件構 件1 3的射出間隔的節距變得比噴嘴466之間的節距窄。 例如，當濾器元件構件1 3被射出的母板1 2被用於顯示設 備或類似者時，可獲得較淸楚的顯示情況。並且，藉著適 當地設定傾斜角度，點描繪的點節距被適當地設定’因而 增進一般用途。 並且，多個噴墨頭421以交錯方式被設置成多個陣列 ，例如二陣列，因此不須使用特殊的長範圍噴射頭42 1。 即使是使用一般可獲得的噴墨頭42 1，相鄰噴墨頭不會干 擾。並且，不發生噴墨頭421之間有濾器元件構件13未 被射出的區域。因此，可如所想要的（換句話說，連續地 )射出濾器元件構件1 3。 另外，表面上設置有射出成爲流體液體材料例如墨的 濾器元件構件13的噴嘴466的多個噴射頭421沿著母板 1 2的表面相對移動，使得上面設置有噴嘴466的噴墨頭 42 1的表面面對成爲接收射出物質的母板1 2的表面，而 在二者之間有一預定空間。濾器元件構件丨3從位在沿著 相對移動方向的一線上的多個（例如二個）噴嘴466射出 。藉此，獲得濾器元件構件13以雙重方式從二不同噴嘴 466射出的特徵。因此，即使是射出量在多個噴嘴466之 間不同，濾器元件構件1 3的射出量被均等化，因而可防 止不相等的射出量。並且，可在一平面上獲得均勻的射出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -71 - 559594 A7 B7 五、發明説明（6含 ，且可提供於平面品質具有想要的特性的電光設備。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 並且，表面上設置有射出濾器元件構件1 3的噴嘴 466的多個噴墨頭421沿著母板12的表面相對移動，使 得上面設置有噴嘴466的噴墨頭421的表面面對成爲接收 射出物質的母板1 2的表面，而在二者之間有一預定空間 。在噴墨頭421的噴嘴466之間，濾器元件構件13不從 在噴嘴466的線性設置線的兩端部上的預定區域X中的 多個（例如十個）噴嘴466射出。濾器元件構件13從並 非設置在預定區域X中但是設置在區域的其餘部份的中 心的噴嘴466射出。藉此，濾器元件構件1 3不從噴射量 較大的被設置在噴嘴466的線性設置線的兩端部上的預定 區域中的十個噴嘴466射出。濾器元件構件13從噴射量 相當均勻的在噴嘴466的線性設置線的中間部份的噴嘴 466射出。因此，可將濾器元件構件1 3在平面中均勻地 射出在母板1 2上。如此，可獲得具有均勻的平面品質的 濾色器1。並且，在使用濾色器1的電光設備中，可實現 想要的顯示特性。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，濾器元件構件1 3不從射出量比平均射出量大 10%的噴嘴466射出。因此，特別是，即使是使用濾色器 1的濾器元件構件Π，EL照明構件，及用於電光設備的 含有充電顆粒的功能液體材料成爲液體材料，射出量特性 也不會有任何差異。因此，可以可靠地獲得用於電光設備 例如液晶設備及EL設備的想要的射出量特性。 並且，濾器元件構件13是從噴嘴466的每一個在平 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -72- 559594 A7 B7 五、發明説明（6会 均射出量的± 10%的公差內被射出。因此，射出量變得相 當均勻，因而濾器元件構件1 3以平面狀方式被均勻地射 出在母板1 2的表面上。因此，可提供具有想要的特性的 電光設備。 另外，遺漏點偵測單元487被設置來監視從噴嘴466 射出的濾器元件構件1 3的射出情況。因此，可防止濾器 元件構件1 3的不均勻射出，因而可實現用於想要得及穩 定的點形成的液體材料射出。 另外，光學感測器被設置在遺漏點偵測單元487上， 以偵測濾器元件構件1 3是否於正交地橫過濾器元件構件 1 3的射出方向的方向通過。因此，甚至是在濾器元件構 件1 3的射出過程期間，可藉著容易的結構可靠地得知濾 器元件構件1 3的射出情況。並且，可防止濾器元件構件 1 3的不均勻射出，因而可實現用於想要的及可靠的點描 劃的濾器元件構件的射出。 濾器元件構件1 3的射出情況是在濾器元件構件1 3從 噴嘴466射出在母板12上的射出過程之前及之後由遺漏 點偵測單元487監視。因此，可就在濾器元件構件1 3的 射出之前及緊接著其之射出之後監視濾器元件構件1 3的 射出情況。並且，可以可靠地證實濾器元件構件1 3的射 出情況，因而可藉著可靠地防止點的遺漏而獲得想要的點 形成操作。此處，在射出過程之前或之後實施是否有點遺 漏的偵測操作是可接受的。 並且，遺漏點偵測單元487被設置在頭單元420的主 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 一~ -73- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) «衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 559594 Α7 Β7 五、發明説明（70 掃描方向所指向的區域中。因此，頭單元420的移動距離 短以監視濾器元件構件1 3的射出情況可被接受。並且， 可藉著簡單的結構來實現於主掃描方向的用於射出的移動 。如此，可藉著簡單的結構來偵測遺漏點。 另外，噴墨頭421以點對稱方式被設置成二陣列。因 此，用來供應濾器元件構件1 3的供應管478可靠近頭單 元420地組裝。因此，可容易地組裝及維護設備。另外， 被用來控制噴墨頭421的電接線442從頭單元420的兩側 連接。因此，可防止由電接線所造成的電雜訊的影響，因 而可實現所想要的較優的點形成操作。 另外，多個噴墨頭42 1被設置在爲狹縫形式的印刷底 座板435的一端部上，且連接器441被設置在另一端部上 。因此，即使是連接器44 1被設置於多線，連接器44 1也 不會互相干擾，因而可減小設備尺寸。並且，不形成於主 掃描方向的噴嘴466不存在的區域。因此，可將噴嘴466 設置成連續陣列，因而不須使用特殊的長範圍噴墨頭。 經濟部智慧財產^g(工消費合作社印製 另外，連接器44 1以點對稱方式被設置成爲互相相對 ，因此可防止在連接器44 1中所造成的電雜訊的影響。因 此，可提供想要的及穩定的點形成操作。 此處，可暸解在以上所說明的實施例中，相同的功效 可藉由相同的結構獲得。 (使用EL元件的電光設備的製造方法的實施例） 其次’參考圖式說明根據本發明的電光設備的製造方 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -74- 559594 A7 B7 五、發明説明（7令 法。此處，使用EL元件的主動矩陣顯示設備被說明成爲 電光設備。在說明顯示設備的製造方法之前，先說明要被 製造的顯示設備的結構。 (顯示設備的結構） 圖35爲顯示被用在根據本發明的電光設備的製造設 備中的有機EL設備中的電路的一部份的視圖。圖36爲 顯示顯示設備的像素區域的放大平面圖。 亦即，在圖35中，參考數字501標示成爲EL設備的 使用EL顯示元件的主動矩陣顯示設備。在顯示設備501 的顯示底座板502上，多個掃描線503，於橫過這些掃描 線5 03的方向延伸的多個訊號線504，與多個共用電供應 線5 05互相連接。另外，像素區域501A被設置於掃描線 5〇3與訊號線504的每一交叉點。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 移位暫存器，位準偏移器，視頻線，及具有類比開關 的資料側驅動電路507連接於訊號線504。並且，具有移 位暫存器的掃描側驅動電路508及位準偏移器連接於掃描 線503。另外，至掃描訊號經由掃描線503被供應的閘極 電極的切換薄膜電晶體509，用來儲存及保持從訊號線 5 04經由切換薄膜電晶體509被供應的影像訊號的聚積電 容蓋，至儲存在聚積電容蓋中的影像訊號被供應的閘極電 極的電流薄膜電晶體5 1 0，在經由電流薄膜電晶體5 1 0而 電連接於共用電供應線505時驅動電流從共用電供應線 5 05所流入的像素電極5 11，以及由像素電極5 11與反射 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -75- 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 559594 A7 _ B7 五、發明説明（7$ 電極5 1 2夾住的照明元件5 1 3被設置於像素區域50 1 A的 每一個。 藉此’當掃描線503被驅動且切換薄膜電晶體509被 打開時，於該時的訊號線504的電位被保持在聚積電容蓋 中。電流薄膜電晶體510的開關（on/off)情況是根據聚 積電容蓋的情況被決定。另外，經由電流薄膜電晶體510 的通道，電流從共用電供應線505流至像素電極511。另 外，電流經由照明元件5 1 3而流至反射電極5 1 2。藉此， 照明元件5 1 3根據流過的電流量照明。 此處，在像素區域501 A中，如爲在沒有反射電極 5 1 2及照明元件5 1 3之下的像素區域的放大圖的圖36所 示，在平面情況下爲矩形形狀的像素電極5 11的四個構件 由訊號線504，共用電供應線505，掃描線503，及圖中 未顯示的用於掃描線503及另一像素電極5 11的掃描線 5 03圍繞。 (顯示設備的製造過程） 其次，說明用來製造使用以上所說明的EL顯示元件 的主動矩陣顯示設備的製造過程。圖37A至39D爲顯示 使用EL顯示元件的主動矩陣顯示設備的製造過程的視圖 〇 (準備處理） 首先，如圖37A所示，在透明顯示底座板5〇2上，圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " -76 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

559594 A7 B7 五、發明説明（7含 中未顯示的具有大約2000至500埃的厚度的例如矽氧化 物層的底座保護層根據需要藉著使用四乙氧基矽烷（ TEOS )及氧氣成爲材料氣體的電漿CVD (化學汽相沈積 )方法而形成。其次，顯示底座板502的溫度被設定於幾 近350°C，並且具有大約300至700埃的厚度的例如非晶 矽層的半導體層520a藉著電漿CVD方法而形成在底座保 護層上。然後，在半導體層5 20a上實施例如雷射退火方 法或固體生長方法的晶化製程，因而使半導體層520a被 晶化成爲多晶砂層。此處，在雷射退火方法中，使用具有 準分子雷射波長例如大約400nm的線射束，並且其輸出 強度爲幾近200mJ/cm2 (毫焦耳/平方公分）。線射束掃描 成使得於緯度方向相應於雷射強度的峰値的9 0 %的線射束 的部份在每一區域中重疊。 另外，如圖37B所示，在半導體層520a上實施定圖 型操作，以形成隔離島方式的半導體層520b。在上面形 成有半導體層520b的顯示底座板502的表面上，藉著使 用TEOS或氧氣成爲材料氣體的電漿CVD方法來形成具 有大約600至1 500埃的厚度的矽氧化物層或閘極絕緣層 52 1 a ’例如氮化層。此處，半導體層520b成爲電流薄膜 電晶體5 1 0的通道區域或源極汲極區域。並且，於一不同 的截面位置，形成圖中未顯示的成爲切換薄膜電晶體509 的通道區域及源極汲極區域的半導體層。亦即，在圖37A 至39D所示的製造過程中，同時形成兩類型的切換薄膜 電晶體509及電流薄膜電晶體5 1 0。這些電晶體的製造過 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產笱昼(工消費合作社印製 -77- 559594 A7 B7__ 五、發明説明（74 程相同，因此在以下的說明中，只說明電流薄膜電晶體 510，並且省略對切換薄膜電晶體509的說明。 然後，如圖37C所示，成爲例如鋁，鉅，鉬，鈦， 及鎢的金屬膜的導電層藉著濺射方法而形成，並且對其實 施定圖型操作，因而如圖36所示形成閘極電極510A。在 此情況下，高溫磷離子被射入，以用自我自動方式在半導 體層520b上的閘極電極510A上形成源極汲極區域510a 及510b。此處，未引入雜質的部份成爲通道區域510c。 其次，如圖37D所示，在形成中間層絕緣層522之後 ，形成接觸孔523及524。另外，繼電電極526及527被 埋在接觸孔523及524中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，如圖37E所示，訊號線504，共用電供應線 5 05，及掃描線503 (圖37A至37E中未顯示）形成在中 間層絕緣層5 22上。此時，不論接線所需的厚度如何，例 如訊號線504，共用電供應線505，及掃描線503的接線 使以充分的厚度形成。更明確地說，每一接線應較佳地以 例如1至2 // m的厚度形成。此處，繼電電極527與每一 接線由相同的製造過程形成可以被接受。此時，繼電電極 5 26如稍後所說明的由ITO層形成。 另外，中間層絕緣層530形成來覆蓋每一接線的頂部 表面’並且接觸孔532形成於相應於繼電電極526的位置 。ITO層形成來埋置接觸孔532。藉著在ITO層上實施定 圖型操作，形成由訊號線504，共用電供應線505，與掃 描線503環繞的在預定位置處電連接於源極汲極區域 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -78· 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 559594 A7 B7 五、發明説明（7$ 510a的像素電極511。 此處，在圖37E中，被夾在訊號線504與共用電供應 線5 05之間的區域相等於光學構件被選擇性地設置的預定 位置。另外，在預定位置與其周邊區域之間，間隙535由 訊號線504與共用電供應線505形成。更明確地說，預定 位置比周邊區域低，因而形成具有凹入區段的間隙535。 (EL照明構件的射出） 其次，成爲功能液體材料的EL照明構件藉著噴墨方 法而被射出至已被實施準備處理的顯示底座板502。亦即 ，如圖38A所示，成爲用來形成相等於照明元件140的下 方層的正電洞射出層5 1 3 A的功能液體材料的光學構件 540A例如由溶劑溶解的溶劑狀先質藉著使用根據每一實 施例的設備藉由噴墨方法在上面被實施準備處理的顯示底 座板502的頂部表面面向上的情況下被射出，因而光學構 件5 40A選擇性地施加於由間隙5 3 5環繞的預定位置中的 一區域。 可使用聚苯撐乙烯撐（其聚合物先質爲聚四氫化苯硫 基苯撐），1，1-雙（4-N，N-二甲苯基胺基苯基）環己烷， 三（8-羥基喹啉醇）鋁成爲用來形成正電洞射出層513A 的光學構件540A。 此處，於射出時，因爲流體光學構件540A的流體性 高，所以光學構件540A類似於濾器元件構件1 3根據每一 實施例被射出至隔板的情況於平面方向擴張。但是，間隙 本紙張尺度適^中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-79- 559594 A7 B7 五、發明説明（7心 5 3 5形成爲環繞上面施加光學構件540A的區域，因此除 非光學構件540A —次的射出量極大，否則可防止光學構 件540A擴張至間隙535上而至預定位置的外部。 另外，如圖38B所示，用於液體光學構件540A的溶 劑藉著加熱方法或光發射方法而蒸發，以在像素電極5 11 上形成薄的固體正電洞射出層513A。圖38A及38B所示 的製程重複必要的次數。並且如圖38C所示，形成具有 充分厚度的正電洞射出層513A。 其次，如圖39A所示，成爲用來在照明元件513的表 面上形成有機半導體層51 3B的功能液體材料的在溶解於 溶劑中的溶劑狀有機照明構件的情況下的光學構件540B 藉著使用每一實施例中的設備藉由噴墨方法而被射出成使 得顯示底座板502的頂部表面面向上。光學構件540B被 施加於相等於由間隙5 3 5環繞的預定位置的區域。此處， 如以上所說明，類似於光學構件540A的射出情況，可防 止光學構件540B擴張至間隙535上而至預定位置的外部 〇 可使用氰基取代聚苯撐乙烯撐，聚苯撐乙烯撐，聚烷 基苯撐，2,3,6,7-四氫-11-合氧基-1H，5H，11H-[1]苯並吡喃 [6,7,8-ij]-喹嗪-10-羧酸，1，1-雙（4-Ν，Ν·二甲苯基胺基苯 基）環己烷，2-(3,4、二羥基苯基）-3,5,7-三羥基-1-苯並 噁英鏺高氯酸鹽，三（8-羥基二甲苯酚）鋁，2,3，6,7-四 氫-9-甲基合氧基-1Η，5Η，11Η-[1]苯並吡喃[6,7,8-ij]-^ 嗪，芳族雙胺衍生物（TDP )，噁二唑二聚物（OXD )， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -80- 559594 A7 B7 五、發明説明（7》 噁二唑衍生物（PBD )，二苯乙烯基伸芳基衍生物（DSA )，喹啉醇金屬絡合物，鈹-苯並喹啉醇絡合物（Bebq ) ，三苯胺衍生物（MTDATA )，二苯乙烯基衍生物，吡唑 啉二聚物，紅螢烯，喹吖酮，三唑衍生物，聚苯撐，聚院 基芴，聚烷基噻吩，甲亞胺鋅絡合物，樸啉鋅絡合物，苯 並噁唑鋅絡合物，菲繞啉銪絡合物，及類似者成爲用來形 成有機半導體層513B的光學構件540B。 其次，如圖39B所示，用於液體光學構件540B的溶 劑藉著加熱方法或光發射方法而蒸發，以在正電洞射出層 513A上形成薄的固體有機半導體層513B。圖39A及39B 所示的製程被重複必要的次數，並且如圖39C所示，形 成具有充分厚度的正電洞射出層51 3B。照明元件513由 正電洞射出層513A及有機半導體層513B形成。最後， 如圖39D所示，反射電極512形成在顯示底座板502的整 個表面上或以條紋方式形成，因而製成顯示底座板5 0 1。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 在圖35至39D所示的實施例的每一個中，藉著實施 與上述實施例的每一個中相同的噴墨方法，可提供類似的 操作功效。另外，當功能液體材料被選擇性地施加時，可 防止功能液體材料在周圍流動，因而可以用高準確度來實 施定圖型操作。 此處，在圖3 5至3 9 D所示的實施例中，說明使用e L 顯示元件於彩色顯示操作的主動矩陣顯示設備。另外，如 圖40A至40D所示，圖35至39D所示的結構可應用於單 色的顯不設備。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -81 - 559594 A7 _ B7 五、發明説明（7台 亦即，有機半導體層513B均勻地形成在顯示底座板 5 02的整個表面上可被接收。但是，在此情況中，正電洞 射出層5 1 3 A必須根據預定位置的每一個被選擇性地設置 ，以防止串音（cross-talk)。因此，使用間隙1 1 1的應用 相當有效。以下，在圖40中，相同的參考數字應用於與 圖35至39D所示者相應的構件而省略其重複的說明。 並且，使用EL照明元件的顯示設備不只是可以用主 動矩陣顯示設備的形式來設置，並且也可以用如圖4 1 A 及41B所示的被動矩陣顯示設備的形式被設置。圖41A 及41B顯示根據本發明的電光設備的製造設備中的EL設 備。圖41A爲顯示多個第一匯流排接線550及被設置成爲 正交於第一匯流排接線550的多個第二匯流排接線560的 接線設置的平面圖。圖4 1 B爲沿圖4 1 A中的線B- B所見 的剖面圖。以下，在圖41A及41B中，相同的參考數字 被應用於與圖35至39D中所示者相應的構件而省略其重 複的說明。並且，製造過程的細節與圖35至39D所示的 實施例中相同，因此省略參考圖式的說明。 在根據圖4 1 A及4 1 B所示的實施例的顯示設備中， 由例如SiCh製成的絕緣層570被設置成環繞照明元件513 被定位的預定位置。藉此，間隙5 3 5形成在預定位置與周 邊區域之間。藉此，可防止功能液體材料在其被選擇性地 施加時流至周邊區域。並且，可以用高準確度來實施定圖 型操作。 另外，主動矩陣顯示設備不受限於圖35至39D所示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 請 先 閲 讀 背 意 事 項 再 頁 經濟部智慧財產^7g(工消費合作社印製 -82- 559594 A7 B7 五、發明説明（7§ 的實施例。亦即，主動矩陣顯示設備可根據例如圖42， 43，44，45，46，或47所示的實施例的任何之一被設置 〇 在圖42所示的顯示設備中，可藉著藉由使用像素電 極511來形成間隙535而以高準確度來實施定圖型操作。 圖42爲顯示用於顯示設備的製造過程的中間製程的剖面 圖。先前及隨後製程與圖39A至39D所示的實施例大致 相同，因此省略參考圖式的說明。 在圖42所示的顯示設備中，像素電極5 1 1以比普通 像素電極大的厚度形成。藉此，間隙5 3 5形成在像素電極 5 11與周邊區域之間。亦即，在圖42所示的顯示設備中 ’稍候被施加光學構件的像素電極5 11以凸出形狀成爲比 周圍的周邊區域高。另外，成爲用來形成被設置在照明元 件513下方的正電洞射出層513A的先質的光學構件540A 類似於圖35至39D所示的實施例藉著噴墨方法而施加在 像素電極5 1 1的表面上。 經濟部智慧財產^員工消費合作杜印製 但是，與圖35至39D所示的實施例不同的情況在於 光學構件540A是藉著在直立向顛倒設置的顯示底座板而 射出，亦即在被施加光學構件5 4 0 A的像素電極5 1 1的頂 部表面指向下的情況下。藉此，光學構件540A藉著重力 及表面張力而維持在像素電極511的頂部表面上（在圖 42中的向下表面上），因此光學構件540A不擴張至周邊 區域。藉此，光學構件540A藉著加熱處理或光發射方法 而固化，並且可形成類似於圖3 8 B所示的實施例的薄正 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -83- 559594 A7 __ B7 五、發明説明（80 電涧射出層5 1 3 Α。藉著重複以上說明的製程，可形成正 電涧射出層513A。有機半導體層513B可藉著類似的方法 形成。藉此，可藉著使用凸出間隙以高準確度來實施定圖 型操作。此處，光學構件540A及540B的射出量不只是 藉著重力及表面張力被調整並且也可藉著慣性力例如離心 力被調整是可接受的。 圖43所示的顯示設備也是一主動矩陣顯示設備。圖 43顯示用來製造顯示設備的中間製程的剖面圖。先前及 隨後的製程與圖35至39D所示的實施例大致相同，因此 省略參考圖式的說明。 在圖43所示的顯示設備中，首先，反射電極512形 成在顯示底座板502上。然後，絕緣層570形成在反射電 極5 1 2上成爲環繞照明元件5 1 3稍候會被設置在上面的預 定位置。藉此，比周圍的周邊區域低的間隙535以凹入形 狀形成。 另外，類似於圖3 5至3 9 D所示的實施例的情況，照 明元件5 1 3藉著用噴墨方法在由間隙5 3 5環繞的區域中射 出及施加成爲功能液體材料的光學構件540A及540B而 形成。 另一方面，在移除底座板580上，掃描線503，訊號 線504，像素電極5 11，切換薄膜電晶體509，電流薄膜 電晶體510，及中間層絕緣層5 30經由移除層581而形成 。最後，從移除底座板580上的移除層581移除的結構被 印刷在顯不底座板502上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閱 讀 背 3

頁 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 -84- 559594 A7 B7 五、發明説明（8令 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在圖43所示的實施例中，可減小由光學構件540A及 540B的施加所造成的對掃描線503，訊號線504，像素電 極511，切換薄膜電晶體509，電流薄膜電晶體510，及 中間層絕緣層530的損害。此處，此實施例可被應用於被 動矩陣顯示元件。 圖44所示的顯示設備也爲主動矩陣顯示設備。圖44 顯示用來製造顯示設備的中間製程的剖面圖。先前及隨後 的製程與圖35至39D所示的實施例大致相同，因此省略 參考圖式的說明。 經濟部智慧財產苟8工消費合作社印製 在圖44所示的顯示設備中，凹入間隙535藉著使用 中間層絕緣層530而形成。藉此，可在不造成新的製造過 程下使用中間層絕緣層530，因而可防止製造過程極度複 雜。此處，中間層絕緣層530由Si〇2形成且省略紫外光 或〇2，CF3，或Ar電漿是可接受的。另外，像素電極511 的表面暴露且液體光學構件540A及540B被選擇性地射 出及施加是可接受的。藉此，沿著中間層絕緣層530的表 面形成揮發性高的分佈。如此，光學構件540A及540B 藉著藉由間隙5 3 5及中間層絕緣層530的揮發性的效果而 傾向於被收集在預定位置中。

在圖45所示的顯示設備中，設計係爲藉著將施加液 體光學構件540A及540B的預定位置中的親水性強化成 爲比周邊區域中的親水性大而使所施加的光學構件5 4 0 A 及540B不擴張至周邊區域。圖45顯示用來製造顯示設備 的中間製程的剖面圖。先前及隨後的製程與圖35至39D 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -85- 559594 A7 B7 五、發明説明（82) 所示的實施例大致相同，因此省略參考圖式的說明。 在圖45所示的顯示設備中，形成中間層絕緣層530 ’然後非晶矽層590形成在其表面上。非晶矽層590的揮 發性比像素電極5 11中所含有ITO的揮發性相對較高。此 處’在像素電極5 11的表面上，可形成所具有的親水性質 及揮發性與周邊區域中的親水性及揮發性相比相對較高的 分佈。另外，類似於圖35至39D所示的實施例，藉著用 噴墨方法朝向像素電極5 11的上方選擇性地射出及施加液 體光學構件540A及540B，可形成照明元件513，且最後 形成反射電極5 1 2。 此處，圖45所示的實施例可被應用於被動矩陣顯示 設備。另外，類似於圖43所示的實施例，製造過程含有 經由移除層5 8 1而形成在移除底座板5 80上的結構被傳輸 在顯示底座板502上的過程是可接受的。 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 並且，揮發性及親水性的分佈由金屬或絕緣層例如陽 極氧化物層，聚亞胺，或矽氧化物或其他材料構件形成是 可接受的。此處，被動矩陣顯示元件可由第一匯流排接線 5 50形成。主動矩陣顯示元件可由掃描線503，訊號線 504，像素電極511，絕緣層530，或屏蔽層6b形成。 在圖46所示的顯示設備中，定圖型操作的準確度並 非藉著使用揮發性及親水性的分佈的間隙535而是藉著使 用由於電位及推斥力的重力來增進。圖46顯示用來製造 顯示設備的中間製程的剖面圖。先前及隨後的製程與圖 35至39D所示的實施例大致相同，因此省略參考圖式的 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -86- 559594 A7 B7 五、發明説明（w 說明。 在圖46所示的顯示設備中，藉著驅動訊號線504及 共用電供應線505以及適當地打開/關閉圖中未顯示的電 晶體，形成像素電極5 11的電位成爲負値且中間層絕緣層 5 30的電位成爲正値的電位分佈。另外，被以正電位電化 的液體光學構件540 A藉著噴墨方法而射出及施加於預定 位置。藉此，因爲光學構件540A被電化，所以不只是可 使用自發性偏振並且也可使用電化電荷，因而可增進定圖 型操作的準確度。 此處，圖46所示的實施例可應用於被動矩陣顯示設 備。另外，類似於圖43所示的實施例，製造過程含有經 由移除層581而形成在移除底座板580上的結構被傳輸在 顯示底座板502上的過程是可接受的。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 並且，在圖46所示的實施例中，對像素電極5 11及 環繞其設置的中間層絕緣層530二者均給予電位。但是， 本發明不受限於圖46所示實施例。例如，如圖47所示， 不給予像素電極5 11電位而只給予中間層絕緣層530電位 是可接受的，另外液體光學構件540A以正電位被電化而 被施加。根據圖47所示的實施例，因爲液體光學構件 540A可在施加操作之後可靠地保持正電化情況，所以可 藉著液體光學構件540A與被設置在周邊區域中的中間層 絕緣層530之間的推斥力來可靠地防止液體光學構件 540A流至周邊區域。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -87- 559594 A7 B7 五、發明説明（ (其他實施例） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以上說明本發明的較佳實施例。但是，本發明不受限 於以上說明的實施例。本發明包含以下的修正實施例。此 處所揭示的本發明可作各種不同的修正且具有另外可選用 的形式，只要其落在由申請專利範圍所界定的本發明的範 圍內即可。 亦即，例如，在圖8及9所示的濾色器的製造設備中 ，藉著藉由於主掃描方向X移動噴墨頭12來實施母板12 的主掃描以及藉著用副掃描驅動設備21來移動母板12， 母板1 2的副掃描操作由噴墨頭22實施。相對之下，主掃 描操作藉由母板12的移動而被實施且副掃描操作藉由噴 墨頭22的移動而被實施是可接受的。另外，母板12在不 移動噴墨頭22之下被移動，或二者的至少之一相對移動 成使得噴墨頭22沿著母板1 2的表面相對移動，亦即二者 於相反方向相對移動，均是可接受的。 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 並且，在上述的實施例中，使用藉著使用壓電元件的 偏折轉變來射出墨的噴墨頭42 1。可使用具有任何結構的 噴墨頭，例如藉著使用藉由加熱操作而產生的氣泡來射出 墨的噴墨頭。 另外，在圖22至32所示的實施例中，說明噴嘴466 在噴墨頭421中以二陣列被設置在幾近一線上的相等間隔 處。但是，噴嘴不只是以二陣列並且也以多個陣列（例如 三個以上的陣列）被設置是可接受的。並且，噴嘴466的 設置不是於相等間隔或不是在陣列方式中的一線上是可接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -88- 559594 A7 B7

五、發明説明（W 受的。 另外，液滴射出設備16及401不限於被用在濾色器 1，液晶設備101，及EL設備210中。液滴射出設備16 及401可被用於具有底座板（底座構件）的各種不同的電 光設備及用來在其上形成預定層的製程，例如FED (場發 射顯示器），PDP (電漿顯示面板），電泳設備，薄布勞 恩（Braun )管，及CRT (陰極射線管）顯示器，其中電 泳設備將含有帶電粒子的成爲功能液體材料的墨射出至每 一像素的隔板之間的凹入區段，並且在被設置成直立地夾 住像素的每一個的電極之間充電一電壓，且將帶電粒子帶 至電極的任一者以在像素的每一個中實施顯示操作。 經濟部智慧財產苟員工消费合作社印製 根據本發明的設備及方法可被用於具有用來將液滴8 射出至裝置例如具有底座板（底座構件）的電光設備的底 座板（底座構件）的製程的用於各種不同的裝置的製造過 程。根據本發明的設備及方法可被用於例如液體金屬，導 電構件，及含有金屬的塗漆構件藉著噴墨方法被射出以形 成金屬接線的結構，光學構件例如精細微透鏡藉著噴墨方 法而形成在底座構件上的結構，只有必要的抗鈾劑量藉著 噴墨方法而施加在底座板上的結構，用來分散光的凹入區 段或細白圖型藉著噴墨方法而形成在透明底座板例如塑膠 構件上以形成光散板的結構，以及樣本，抗體，及DNA (去氧核糖核酸）藉著噴墨方法被射出至以點方式在底座 構件上分開的位置以形成生物尖（bio-tip)的結構，亦即 RNA (核糖核酸）藉著噴墨方法被射出至以矩陣方式設置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -89- 559594 A7 __B7 五、發明説明（8冷 在DNA晶片上的穗點（spike spot )以形成螢光探針，使 得DNA晶片可被雜化。 根據本發明的設備及方法可被用於液晶設備101，例 如主動矩陣液晶面板，其設置有例如諸如TFT的電晶體 或諸如TFD的主動元件的像素。亦即，根據本發明的設 備及方法可被用於用來形成液晶設備1 〇 1的電光系統的結 構，例如墨藉著噴墨方法被射出至形成爲環繞像素電極的 隔板6以形成濾色器1的結構，含有顏色構件及導電構件 的混合物的墨藉著噴墨方法被射出至像素電極以形成成爲 導電濾色器的濾色器1的結構，以及用於用來保持底座板 之間的間隙的間隔件的顆粒藉著噴墨方法被射出的結構。 經濟部智慧財產笱B(工消費合作社印製 另外’根據本發明的設備及方法不只是可被用於濾色 器1，並且也可被用於任何種類的電光設備，例如EL設 備201。並且，EL設備201可以用各種不同的方式實現， 例如相應於三顏色例如R，G，及B顏色的EL以條紋方 式形成的條紋顯示設備，設置有用來控制相對於每一像素 在照明層中流動的電流的電晶體的主動矩陣顯示設備，及 被動矩陣顯示設備。 此處’組裝有根據以上說明的實施例的電光設備的電 子裝置不受限於圖48所示的個人電腦490。組裝有根據 以上說明的實施例的電光設備的電子裝置可被應用於各種 不同的電子裝置，例如行動電話裝置例如圖49所示的行 動電話491或PHS (個人靈巧電話系統）電話，電子袖珍 筆記本裝置，呼叫器，P0S (銷售點）終端機，1C卡，迷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "^ -90- 559594 A7 B7 五、發明説明（8为 你碟片播放機，液晶投影機，EWS (工程工作站），字處 理器，電視，具有視界尋找器或觀看監視器的錄影機’電 子桌上型計算機，車輛導航裝置，具有碰觸面板的設備， 遊戲裝置，或類似者。 另外，用來實施本發明的特定結構及製程可由其他結 構及製程取代，只要可達成本發明的目的。例如，在圖 23，31，及32所示的實施例中，所有的噴墨頭421被設 置爲指向於一傾斜方向。但是，二陣列中的一陣列被設置 於從另一陣列的傾斜角度旋轉90度的方向是可接受的。 噴墨頭的二陣列被設置成在不互相交叉下相對於彼此具有 90度是可接受的。相鄰噴墨頭在噴墨頭陣列的每一個中 被設置成爲在不互相交叉下在90度處是可接受的。如以 上所說明，只要這些修正不與本發明的目的矛盾，可暸解 任何修正可在本發明的範圍內。 五、圖式簡單說明 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 圖1爲顯示根據本發明的濾色器的製造方法的實施例 中的重要製程的平面圖。 圖2爲頌不根據本發明的濾色器的製造方法的另一實 施例中的重要製程的平面圖。 圖3爲顯示根據本發明的濾色器的製造方法的另一實 施例中的重要製程的平面圖。 圖4爲顯示根據本發明的濾色器的製造方法的另一實 施例中的重要製程的平面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -91 - 559594 A7 B7 五、發明説明（8冷 圖5A及5B爲顯示根據本發明的濾色器的實施例及 成爲濾色器的底座的母板的實施例的平面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖6A至6D爲顯示沿圖5A中的線VI-VI所見的濾色 器的製造過程的剖面圖。 圖7A至7C爲顯示濾色器中的三種顏色的圖像元件 像素例如R，G，及B圖像元件像素的設置例子的視圖。 圖8爲顯示液滴射出設備的實施例的立體圖，其爲根 據本發明的濾色器的製造設備，根據本發明的液晶設備的 製造設備，及根據本發明的EL設備的製造設備的重要部 份。 圖9爲顯示圖8所示的設備的重要部份的放大立體圖 〇 圖1 0爲顯示爲圖9所示的設備的重要部份的噴墨頭 的放大立體圖。 圖11爲顯不噴墨頭的修正例子的放大立體圖。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 圖12A及12B顯示噴墨頭的內部結構，其中圖12A 爲所顯示的內部部份的立體圖，而圖1 2B爲沿圖1 2A中 的線所見的截面。 圖1 3爲噴墨頭的其他修正例子的平面圖。 圖14爲顯示被用於圖8所示的噴墨頭的電控制系統 的方塊圖。 圖1 5爲顯示由圖14所示的控制系統執行的控制過程 的流程圖。 圖1 6爲顯示噴墨頭的另一修正例子的立體圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -92- 559594 A7 B7 五、發明説明（㈣ ® 17爲顯示根據本發明的液晶設備的製造方法的實 施例的製程圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 8爲以分解方式顯示由根據本發明的液晶設備的 製造方法製造的液晶設備的例子的立體圖。 圖19爲顯示沿圖18中的線IX-IX所見的液晶設備的 截面結構的剖面圖。 圖20爲顯示根據本發明的EL設備的製造方法的實 施例的製程圖。 圖21 A至21D爲相應於圖20所示的製程圖的EL設 備的剖面圖。 圖22爲顯示被設置在根據本發明的濾色器的製造設 備中的液滴射出設備的液滴射出處理設備的立體圖。 圖23爲顯示液滴射出處理設備的頭單元的平面圖。 圖24爲顯示液滴射出處理設備的頭單元的側視圖。 圖25爲顯示液滴射出處理設備的頭單元的前視圖。 圖26爲顯示液滴射出處理設備的頭單元的剖面圖。 圖27爲顯示分解狀態中的頭設備的立體圖。 經濟部智慈財產^7M工消費合作社印製 圖28爲顯示分解狀態中的噴墨頭的立體圖。 圖29A至29C顯示藉著噴墨頭的濾器元件構件的射 出移動。 圖30爲用來說明藉著噴墨頭的濾器元件構件的射出 量的視圖。 圖3 1爲用來說明噴墨頭的設置情況的一般視圖。 圖32爲用來說明噴墨頭的設置情況的放大一般視圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -93- 559594 A7 ____B7__ 五、發明説明（9() 〇 圖33A及33B爲顯示由濾色器的製造設備製造的濾 色器的視圖，其中圖33A爲平面圖，而圖33B爲沿圖33A 中的線X-X所見的剖面圖。 圖34S1至34S7爲用來說明製造濾色器的製造過程的 剖面圖。 圖35爲顯示被用在根據本發明的電光設備中的使用 EL顯示元件的顯示設備的一部份的電路圖。 圖3 6爲顯示顯示設備的像素區域的平面結構的放大 平面圖。 圖37A至37E爲顯示在本發明的製造過程之前實施 準備過程的剖面圖。 圖38A至38C爲顯示顯示設備的製造過程中的EL照 明構件的射出過程的剖面圖。 圖39A至39D爲顯示顯示設備的製造過程中的EL照 明構件的射出過程的剖面圖。 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 圖40爲顯示用於根據本發明的電光設備的使用EL 顯示元件的顯示設備中的像素區域的平面結構的放大剖面 圖。 圖41A及41B爲顯示用於根據本發明的電光設備的 使用EL顯示元件的顯示設備中的像素區域的平面結構的 放大剖面圖，其中圖41A爲平面圖，而圖41B爲沿圖41A 中所示的線B - B所見的剖面圖。 圖42爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -94- 559594 A7 B7 五 '發明説明（9》 EL顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 圖43爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 EL顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 ® 44爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 EL顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 圖45爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 EL顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 圖46爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 E L顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 圖47爲顯示製造用於根據本發明的電光設備的使用 EL顯示元件的顯示設備的製造過程的剖面圖。 圖48爲顯示成爲設置有電光設備的電裝置的個人電 腦的立體圖。 圖49爲顯示成爲設置有電光設備的電裝置的行動電 話的立體圖。 圖50A至50C爲顯示傳統濾色器的製造方法的例子 的視圖。 經濟部智慧財產^7g(工消費合作社印製 圖5 1 A及5 1 B爲用來說明傳統濾色器的特性的視圖 〇 元件對照表 301 母板 302 面板區域 303 濾器元件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） -95- 559594 A7 B7 五、發明説明（鉍 304 噴嘴 305 噴嘴陣列 306 噴墨頭 A1 箭頭 A2 箭頭 P1 位置 P2 位置 1 濾色器 1A 像素 2 底座板 3 濾器元件 4 保護層 6 隔板 6a 金屬層 6 b 屏蔽層 6c 負透明丙烯酸光敏樹脂形成物 6d 觸排層 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 7 孔區域，濾器元件形成區域 8 液滴 9 底座 11 濾色器形成區域 12 大面積母板 13 濾器元件構件 13B 具有B (藍）顏色的濾器元件構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -96- 559594 A7 B7 --*--------- 五、發明説明（9含 經濟部智慈財產苟B(工消費合作社印製 13G 具 有 G ( 綠 ) 顏 色 的 濾 器 元 件 構 件 13R 具 有 R ( 紅 ) 顏 色 的 濾 器 元 件 構 件 14 護 蓋 16 液 滴 射出 設 備 17 頭 位 置控 制 設 備 18 底 座 板位 置 控 制 設 備 19 主 掃 描驅 動 設 備 21 副 掃 描驅 動 設 備 22 噴 trm 墨 頭 22A 噴 里 頭 23 底 座 板供 應 設 備 24 控 制 設備 26 頭 單 元 27 噴 嘴 28 噴 嘴 陣列 28B 噴 嘴 陣列 28G 噴 嘴 陣列 28R 噴 嘴 陣列 29 噴 嘴 板 31 振 動 板 32 分 開 構件 33 墨 容 室 33 濾 色 器 34 液 體 池 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -97- 559594 A7 B7 五、發明説明（94 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 36 墨供應孔 37 墨供應設備 37B B墨供應設備 37G G墨供應設備 37R R墨供應設備 38 路徑 39 墨壓縮構件 41 壓電元件 42a 電極 42b 電極 43 墨推斥層 44 α馬達 46 石馬達 47 T馬達 48 Z馬達 49 機台 50 定位銷 51 0馬達 52 X導軌 53 X滑塊 54 Y導軌 56 Y滑塊 57 底座板容納區 58 自動機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -98- 559594 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9冷 59 底座架 61 升降軸 62 第一臂 63 第二臂 64 黏著墊 66 電腦單元 67 輸入界面（鍵盤），輸入設備 68 CRT (陰極射線管）顯示器 69 CPU (中央處理單元） 71 資訊儲存媒體 72 頭驅動電路 73 輸入/輸出界面 7 4 匯流排 7 6 加蓋設備 77 淸潔設備 78 電子平衡件 81 頭照相機 82 底座架照相機 101 液晶設備 102 液晶面板 l〇3a 液晶驅動1C (積體電路） 103b 液晶驅動1C 104 FPC (撓性印刷電路） 106 照明設備 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T •f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -99- 559594 A7 B7 五、發明説明（Μ 經濟部智慧財產局®工消費合作社印製 107a 第 —* 底 座 板 107b 第 二 底 座 板 107c 底 座 板 擴 張 區 段 108 密 封 構 件 109 導 電 構 件 110 液 晶 澆 入 □ 111 間 隙 111a 平 面 狀 底 座 構 件 111b 平 面 狀 底 座 構 件 112 反 射 膜 113 絕 緣 層 114a 第 一 電 極 114b 第 二 電 極 114c 延 伸 接 線 1 14d 延 伸 接 線 1 14e 金 屬 接 線 1 14f 金 屬 接 線 116a 定 向 膜 116b 定 向 膜 117a 偏 振 板 117b 偏 振 板 118 濾 色 器 119 間 隔 件 121 開 □ 區 段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -100- 559594 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9分 122 ACF (各向異性導電膜） 123 撓性樹脂膜 124 晶片構件 126 電路 127 金屬接線端子 131 外部連接端子 132 引光構件 132a 光收集表面 13 2b 光發射表面 133 分散薄片 134 反射薄片 136 LED 137 LED底座板 138 緩衝構件 140 照明元件 201 EL設備 202 像素電極 203 B B顏色照明層 203G G顏色照明層 203R R顏色照明層 204 透明底座板 205 觸排 213 面對電極 220 正電洞射出層，正電洞澆入層 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 泉 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -101 - 559594 A7 B7

五、發明説明（W 經濟部智慧財產笱"'貝工消費合作社印製 405B 液 滴 射 出 處 理 設 備 405G 液 滴 射 出 處 理 設 備 405R 液 滴 射 出 處 理 設 備 420 頭 單 元 421 噴 墨 頭 422 熱 淸 潔 室 423 液 滴 射 出 處 理 設 備 424 X 軸 空 氣 滑 動 機 台 425 主 掃 描 驅 動 單 元 426 平 面 狀 滑 架 427 副 掃 描 驅 動 設 備 430 頭 單 元 區 段 431 墨 供 m 區 段 433 頭 設 備 435 印 刷 底 座 板 436 電 部 件 437 窗 P 區 段 438 流 動 路 徑 440 附 著 構 件 441 連 接 器 442 電 接 線 443 引 里 區 段 444 定 位 銷 區 段 445 定 位 圓 筒 區 段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -102- 559594 A7 B7 五、發明説明（9点 446 裝配釘區段 448 連接區段 449 密封構件 450 密封連接區段 451 固持件 452 壓電振動元件 453 通孔 45 5 撓性板 456 連通孔 457 定位釘 45 8 裝配孔 460 平面狀流動路徑形成板 461 噴嘴凹槽 462 開口區段 463 連通孔 465 噴嘴板 466 噴嘴 467 液體貯器 468 液體供應路徑 471 附著板 472 供應單元區段 473 附著固定件 474 可移動構件 475 螺旋彈簧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 泉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -103- 559594 A7 B7 五、發明説明（100 經濟部智慧財產局g (工消費合作社印製 476 凸 緣 區 段 477 接 合 區 段 478 供 應 管 481 擦 拭 單 元 482 tip 系 統 483 墨 槽 485 重 量 測 量 單 元 487 遺 漏 點 偵 測 單 元 490 個 人 電 腦 491 行 動 電 話 501 主 動 矩 陣 顯 示 設備 501 A 像 素 丨品‘ 域 502 顯 示 底 座 板 503 掃 描 線 504 訊 號 線 505 共 用 電 供 應 線 507 資 料 側 驅 動 電 路 508 掃 描 側 驅 動 電 路 509 切 換 薄 膜 電 晶 體 510 電 流 薄 膜 電 晶 體 510A 閘 極 電 極 510a 源 極 汲 極 區 域 510b 源 極 汲 極 區 域 510c 通 道 區 域 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -104- 559594 Α7 Β7 五、發明説明（101 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 511 像 素 電 極 512 反 射 電 極 513 照 明 元 件 513Α 正 電 洞 射 出 層 513Β 有 機 半 導 體 層 520a 半 導 體 層 520b 半 導 體 Π-ΙΐΖ. 層 521a 聞 極 絕 緣 層 522 中 間 層 絕 緣 層 526 繼 電 電 極 527 繼 電 電 極 530 中 間 層 絕 緣 層 532 接 觸 孔 535 間 隙 540A 光 學 構 件 540B 光 學 構 件 550 第 一 匯 流 排 接 線 560 第 二 匯 流 排 接 線 5 70 絕 緣 層 580 移 除 底 座 板 581 移 除 層 590 非 晶 矽 層 A 區 域 B Λ-4Τ 冃U 頭 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） -105- 559594 A7 B7 五、發明説明（1()2 經濟部智慧財產局自(工消費合作社印製 頭度 箭角 B 區 域 C 則 頭 D m 頭 方 向 G 箭 頭 方 向 Η m 頭 方 向 L 長 度 L 液 晶 Μ 濾 器 元 件 構 件 Q m 頭 方 向 V 箭 頭 V 有 效 顯 示 區 域 Vh 預 定 電 壓 X 主 掃 描 方 向 Y 副 掃 描 方 向 δ 預 定 副 掃 描 量 δ 距 離 δ 移 動 量 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -106-

Claims (1)

1. 559594 A8 B8 C8 _ D8 ‘、申請專利範圍 1 1.一種射出設備，包含： 一液滴射出頭，具有被排列成行用來將一流體液體材 料射出至一接收射出物質的多個噴嘴； 一固持構件，用來將上面直列地設置有用來射出該液 體材料的該液滴射出頭的多個噴嘴的一表面固持成爲面對 該接收射出物質的一表面，而有一空間在具有該噴嘴的該 表面與該接收射出物質的該表面之間；及 該接收射出 收射出物質

   一移動構件，其相對地移動該固持構件及 物質的至少之一，使得該液滴射出頭沿著該接 的該表面； 其中設置在每一液滴射出頭上的一噴嘴陣列被設置於 對相對於該接收射出物質的相對移動方向對角線地橫過該 接收射出物質的一方向。 ，其中多個 的相對移動 向。 ，其中多個 ，其中多個 ，其中多個 上的噴嘴。 ，其中多個 一陣列中排 2. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備 液滴射出頭被設置於對相對於該接收射出物質 方向對角線地橫過該接收射出物質的一第二方 3. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備 液滴射出頭的形狀相同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備 液滴射出頭的每一個具有相同的噴嘴數目。 5. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備 液滴射出頭的每一個具有位在互相相同的位置 6. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備 液滴射出頭的每一個具有以幾近相等的間隔在 107- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559594 A5 B8 C8 D8 2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 列成行的噴嘴。 7. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備’其中該液 滴射出頭沿著該噴嘴的設置方向以幾近矩形的形狀形成。 8. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備，其中多個 液滴射出頭被設置於對角線地橫過該接收射出物質相對移 動的方向的第二方向，使得該噴嘴被幾近互相平行地設置 〇 9. 如申請專利範圍第1項所述的射出設備，其中： 多個液滴射出頭的該噴嘴陣列被設置於對角線地橫過 該噴嘴相對於該接收射出物質移動的方向的方向；且 多個液滴射出頭的該噴嘴陣列被設置成爲互相平行。 1 〇.如申請專利範圍第1項所述的射出設備，其中互 相相鄰的多個液滴射出頭被設置於對該接收射出物質的相 對移動的方向，使得該液滴射出頭的一部份互相重疊。 11.如申請專利範圍第1項所述的射出設備，其中多 個液滴射出頭在多個陣列中以交錯方式被設置。 12·如申請專利範圍第1項所述的射出設備，其中該 射出設備具有用來偵測從噴嘴射出的該液體材料的一射出 偵測裝置。 13·如申請專利範圍第12項所述的射出設備，其中該 射出偵測裝置在包括一將該液體材料從該噴嘴射出至該接 收射出物質的步驟，一先前步驟，及一隨後步驟的步驟的 至少之一中偵測該液體材料的射出。 14·一種電光設備的製造設備，具有如申請專利範圔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（210X297公釐） 108- 請 先 閲 讀 背 面 之 注 項 fl 訂 %; 559594 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 桌1項至第13項中的任一項所述的射出設備，其中： 該接收射出物質爲一底座板，而一電發光（EL)層 形成在該底座板上； 多個液滴射出頭相對於該底座板移動；且 含有EL構件的液體材料從多個液滴射出頭的一預定 噴嘴射出至該底座板，以在該底座板上形成該EL層。 15. —種電光設備的製造設備，具有如申請專利範圍 第1項至第1 3項中的任一項所述的射出設備，其中·· 該接收射出物質爲用來夾住液晶的一對底座板之一； 多個液滴射出頭相對於該底座板移動；且 含有濾色器構件的液體材料從多個液滴射出頭的一預 定噴嘴射出至該底座板，以在該底座板上形成濾色器。 16. —種濾色器的製造設備，具有如申請專利範圍第1 項至第1 3項中的任一項所述的射出設備，其中： 該接收射出物質爲底座板，而具有不同顏色的濾色器 形成在該底座板上； 多個液滴射出頭相對於該底座板移動；且 含有濾色器構件的液體材料從多個液滴射出頭的一預 定噴嘴射出至該底座板，以在該底座板上形成濾色器。 17. —種電光設備，包含： 一底座板，而多個電極被設置在該底座板上；及 多個EL層，相應於該電極被設置在該底座板上；其 中·· 該EL層具有用來射出含有EL構件的液體材料的多 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項\^寫本頁) :裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -109- 559594 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 個噴嘴； 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 面，而在二者之間有一空間；且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 Ο 18·—種電光設備，包含： 一底座板；及 濾色器，形成在該底座板上，且具有不同的顏色；其 中·· 該濾色器具有用來射出含有具有一預定顏色的一濾器 構件的液體材料的多個噴嘴； 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 面，而在二者之間有一空間，·且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19.一種濾色器，用來在一底座板上施加不同的顏色 ，其 Φ ·· 該濾色器具有用來射出含有具有一預定顏色的一濾器 構件的液體材料的多個噴嘴； 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 -110- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） 559594 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 面，而在二者之間有一空間；且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 0 20. —種射出方法，具有用來射出一流體液體材料的 多個噴嘴，其中： 被設置於對角線地橫過多個噴嘴相對於接收射出物質 移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著上面施加接.收射 出物質的一表面相對移動，使得上面設置該液滴射出頭的 噴嘴的一表面面對上面施加接收射出物質的表面，而在二 者之間有一空間；且 該液體材料從該液滴射出頭的噴嘴的每一個被射出至 該接收射出物質。 21. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 多個液滴射出頭被設置於對角線地橫過多個液滴射出 頭相對於接收射出物質移動的方向的方向；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 22. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 多個液滴射出頭以一種形狀形成；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 23. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 P 本 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -111 - 559594 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 6 多個液滴射出頭具有相同的噴嘴數目；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 24. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中·· 噴嘴在多個液滴射出頭中形成於相同位置；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 25. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 多個液滴射出頭的噴嘴以幾近相等的間隔被設置在一 陣列中；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 26·如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中·· 多個液滴射出頭沿著噴嘴被設置的方向以矩形形成； 且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 27·如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 多個液滴射出頭的多個噴嘴被平行地設置；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 28·如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中·· 多個液滴射出頭被設置於對角線地橫過噴嘴相對於接 收射出物質移動的方向的方向； -112- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559594 A8 B8 C8 _ D8 •、申請專利範圍 7 多個液滴射出頭的噴嘴的陣列被平行地設置；且 液體材料係藉著沿著該接收射出物質的一表面移動該 液滴射出頭而從該噴嘴被射出至該接收射出物質。 29·如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中·· 一對相鄰的液滴射出頭在液滴射出頭的一部份互相重 疊之下被設置於液滴射出頭相對於接收射出物質移動的方 向；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 30. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 多個液滴射出頭以交錯方式被設置在多個陣列中；且 液體材料從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該接收射出 物質。 31. 如申請專利範圍第20項所述的射出方法，其中： 對於液體材料的射出的偵測操作是在液體材料從噴嘴 射出至接收射出物質之前或之後的至少一步驟中實施。 32. —種電光設備的製造方法，該電光設備具有一底 座板及形成在該底座板上的用於不同顏色的濾色器，其中 該濾色器具有用來射出含有具有一預定顏色的一濾器 構件的液體材料的多個噴嘴； 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 P 本 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -113 559594 A8 B8 C8 _ D8 々、申請專利範圍 8 面，而在二者之間有一空間；且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 〇 33. —種電光設備的製造方法，包含： 一底座板；及 濾色器，形成在該底座板上，且具有不同的顏色；其 中： 一濾色器被製造成使得該濾色器具有用來射出含有具 有一預定顏色的一濾器構件的液體材料的多個噴嘴； 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 面，而在二者之間有一空間；且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 〇 34. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 多個液滴射出頭以陣列設置於對角線地橫過液滴射出 頭相對於該底座板移動的方向的方向：且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板的一預定位置 〇 3 5.如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中·· 多個液滴射出頭的形狀互相相同；且 -114- 本紙張尺度適用中國國家#準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559594 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 9 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座板以製造該電光 設備。 36. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有相同的噴嘴數目；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 37. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有位在互相相同的位置上 的噴嘴；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 38. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有以幾近相等的間隔在一 陣列中排列成行的噴嘴；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 39. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 該液滴射出頭沿著該噴嘴的設置方向以幾近矩形的形 狀形成；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 40. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭的噴嘴以陣列設置成爲幾近平行；且 (請先閱讀背面之注意事項 寫 本頁) -裝. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -115- 559594 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 1〇 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 41. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭的噴嘴陣列被設置於對角線地橫過該 噴嘴相對於接收射出物質移動的方向的方向； 多個液滴射出頭的噴嘴陣列被設置成爲互相平行；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 42. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 多個液滴射出頭在多個陣列中以交錯方式被設置；且 該液體材料從液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座板。 43. 如申請專利範圍第32項所述的電光設備的製造方 法，其中： 該液體材料的射出是在包括一將該液體材料從該噴嘴 射出至接收射出物質的步驟，一先前步驟，及一隨後步驟 的步驟的至少之一中被偵測。 44. 一種濾色器的製造方法，該濾色器係用來在一底 座板上形成不同的顏色，其中： 該濾色器具有用來射出含有具有一預定顏色的一濾器 構件的液體材料的多個噴嘴； 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 板移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座板的一 表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座板的表 面，而在二者之間有一空間；且 (請先閲讀背面之注 意事項寫 本貢) 裝· 、11 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -116- 559594 A8 B8 C8 D8_ 々、申請專利範圍 11 該液體材料從該液滴射出頭的噴嘴的每一個被射出至 該底座板。 45. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭以陣列設置於對角線地橫過液滴射出 頭相對於該底座板移動的方向的方向：且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 46. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的形狀互相相同；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 47. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有相同的噴嘴數目；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 48·如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有位在互相相同的位置上 的噴嘴；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） -117· 559594 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 々、申請專利範圍 12 49. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的每一個具有以幾近相等的間隔在一 陣列中排列成行的噴嘴；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 50. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 該液滴射出頭沿著該噴嘴的設置方向以幾近矩形的形 狀形成；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 5 1.如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的噴嘴以陣列設置成爲幾近平行；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 52·如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭的噴嘴陣列被設置於對角線地橫過該 噴嘴相對於接收射出物質移動的方向的方向； 多個液滴射出頭的噴嘴陣列被設置成爲互相平行；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板0 請先閲讀背面之注意事項寫 本瓦) 裝· 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -118- 559594 A8 B8 C8 ___D8 六、申請專利範圍 13 53·如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 多個液滴射出頭在多個陣列中以交錯方式被設置；且 一濾色器構件從該液滴射出頭的噴嘴被射出至該底座 板。 54. 如申請專利範圍第44項所述的濾色器的製造方法 ，其中： 該液體材料的射出是在包括一將該液體材料從該噴嘴 射出至接收射出物質的步驟，一先前步驟，及一隨後步驟 的步驟的至少之一中被偵測。 55. —種具有底座構件的裝置，該裝置具有另一底座 構件，而一流體液體材料被射出在該底座構件上，其中： 濾色器具有用來射出含有具有一預定顏色的一濾器構 件的液體材料的多個噴嘴； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 被設置於對角線地橫過多個噴嘴的陣列相對於該底座 構件移動的方向的方向的多個液滴射出頭沿著該底座構件 的一表面相對移動，使得具有噴嘴的一表面面對該底座構 件的表面，而在二者之間有一空間；且 該液體材料從該噴嘴被射出至該底座構件的一預定位 置。 56. —種用來製造底座構件的製造設備，具有如申請 專利範圍第1項所述的射出設備，其中： 接收射出物質爲裝置的底座構件；且 液體材料在用來在底座構件上形成一預定層的步驟中 -119- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 559594 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製