JP2005028280A

JP2005028280A - 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、並びに電子機器

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Publication number: JP2005028280A
Application number: JP2003195829A
Authority: JP
Inventors: Takashi Masuda; 貴史増田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-07-11
Filing date: 2003-07-11
Publication date: 2005-02-03
Anticipated expiration: 2023-07-11
Also published as: JP3757960B2

Abstract

【課題】ノズル詰まりが発生する前の段階でノズルの乾燥状態を検出し、ノズル詰まりによる生産性の低下を防止することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１００は、ノズル１１２を介して液体材料を液滴にして吐出する吐出ヘッド１０１を備える。また、液滴吐出装置１００は、表面に付着した物質の質量に応じて周波数が変化する振動子１２４と、液滴の付着前後における振動子１２４の周波数を検出する検出部１２２と、検出部１２２の検出結果に基づいて、振動子に付着した液滴の固形分濃度を算出する演算部１３１と、演算部１３１の算出結果に基づいて、ノズル１１２の乾燥状態を判断する制御装置１０５とを備える。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器などの製造に用いられ、ノズルを介して液体材料を液滴にして吐出する吐出ヘッドを備える液滴吐出装置に関し、特に、ノズル詰まりを抑制する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスプレイや表示光源などとして用いられる電気光学装置や、半導体装置などの電子装置は、その製造過程において、基板上に材料を配置し、その基板上に膜を形成する工程を含む。材料の配置技術や膜形成技術は、品質や機能と密接に係わり、上記各装置の性能の向上を図る上で重要である。
【０００３】
基板上に材料を配置する技術としては、吐出ヘッドに設けられたノズルを介して液体材料を液滴として吐出する方法がある。この液滴吐出法は、スピンコート法などの技術に比べて、液体材料の消費に無駄が少なく、基板上に配置する液体材料の量や位置の制御を行いやすいという利点がある。
【０００４】
一般に、液滴を吐出するノズルの径は非常に小さい。したがって、ノズルにおける液体材料の乾燥が進むと、ノズルから吐出される液滴の量が急激に減少したり、あるいはノズルから液滴が吐出されない状態が生じやすい。こうしたノズル詰まりを検出する技術としては、例えば、ノズルから吐出される液滴の量を、レーザ光を介して光量に変換して検出する技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２１２９７０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、レーザ光を利用してノズル詰まりを検出する技術では、ノズル詰まりが実際に発生してはじめて検出可能となる。ノズル詰まりの発生後、ノズルを正常な状態に回復させるには時間を要することから、生産性の向上を図りにくいという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ノズル詰まりが発生する前の段階でノズルの乾燥状態を検出し、ノズル詰まりによる生産性の低下を防止することが可能な液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、ノズルを介して液体材料を液滴にして吐出する吐出ヘッドを備える液滴吐出装置であって、表面に付着した物質の質量に応じて周波数が変化する振動子と、前記液滴の付着前後における前記振動子の周波数を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、前記振動子に付着した前記液滴の固形分濃度を算出する演算部と、前記演算部の算出結果に基づいて、前記ノズルの乾燥状態を判断する制御装置とを備えることを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置によれば、吐出ヘッドから吐出された液滴の固形分濃度を算出することにより、ノズル詰まりが実際に発生する前の段階で、ノズルの乾燥状態を判断することができる。
例えば、吐出ヘッドから吐出された液滴の固形分濃度と、液体材料の初期の固形分濃度とを比較することにより、ノズル内の液体材料がどの程度乾燥しているかを判断することができる。
ノズル詰まりが発生する前の段階でノズルの乾燥状態を検出することにより、ノズル詰まりを事前に防ぎ、ノズル詰まりに伴う生産性の低下を防止することが可能となる。
【００１０】
上記の液滴吐出装置において、前記制御装置が、前記演算部の算出結果に基づいて、前記吐出ヘッドの駆動条件を制御することにより、ノズル詰まりを事前に防ぐことが可能となる。
例えば、ノズル詰まりが実際に発生する前の段階で、吐出ヘッドの駆動条件の制御を介して、ノズル内の液体材料を攪拌させたり、予備的にノズルから液滴吐出を行なったりすることにより、ノズル詰まりを事前に防ぐことができる。
【００１１】
また、上記の液滴吐出装置は、例えば、配線、カラーフィルタ、フォトレジスト、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、生体物質、のうちのいずれか一のパターン形成を用途とする。
【００１２】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記記載の液滴吐出装置を使用することを特徴とする。
また、本発明の電気光学装置は、上記記載の製造方法を使用して製造されたことを特徴とする。
また、本発明の電子機器は、上記記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
これらの発明によれば、製造時におけるノズル詰まり、及びそれに伴う生産性の低下が確実に抑制されることにより、低コスト化並びに品質の向上が図られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態例について図面を参照して説明する。
図１は、液滴吐出装置の構成の一例を模式的に示す図である。
図１において、液滴吐出装置１００は、液滴吐出法により、液体材料を液滴状に吐出する吐出ヘッド１０１、ステージ１０２、液滴情報測定装置１５０、及びこれらを統括的に制御する制御装置１０５等を備えて構成されている。
【００１４】
液滴吐出法における吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式（ピエゾ方式）、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられ、本例では、電気機械変換方式（ピエゾ方式）を用いる。ピエゾ方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出してノズルから吐出させる。ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００１５】
吐出ヘッド１０１は、圧力室１１０と、ピエゾ素子１１１と、ノズル１１２とを有している。このうち、圧力室１１０は、液体材料を貯溜する不図示のタンクと連通し、タンクから供給された液体材料を一時的に貯溜する。また、ピエゾ素子１１１は、制御装置１０５から供給される駆動信号に応じて、圧力室１１０の内面を変形させ、圧力室１１０内の液体材料を増減圧する。吐出ヘッド１０１では、このピエゾ素子１１１による液体材料の増減圧に応じて、ノズル１１２から液体材料を液滴として吐出する。ピエゾ素子１１１に対する印加電圧の値の変化により、ピエゾ素子１１１の歪み量が制御される。また、その印加電圧の周波数の変化により、ピエゾ素子１１１の歪み速度が制御される。吐出ヘッド１０１では、ピエゾ素子１１１に対する駆動条件（駆動信号の波形）を制御することにより、液滴の一滴あたりの重量（質量）、液滴の飛行速度、液滴の飛行直進性など、液滴の吐出状態を制御することができる。また、吐出ヘッド１０１は、ヘッドキャリッジ１０８を介して所定の方向に移動自在に支持されている。このヘッドキャリッジ１０８は、不図示の駆動装置を有し、制御装置１０５からの指示に基づいて、吐出ヘッド１０１を所定の位置に位置決めする。
【００１６】
ステージ１０２は、液体材料が配置される対象物体としてのパターニング用基板Ｐを支持するものであり、不図示の駆動装置を有し、制御装置１０５からの指示に基づいて、基板Ｐを所定の方向に移動させる。吐出ヘッド１０１と基板Ｐとを相対的に移動させながら、基板Ｐ上に液滴を繰り返し配置することにより、基板Ｐ上に液体材料をパターン配置することができる。また、上記相対移動の際に、複数の液滴を基板Ｐ上に連続的に並べて配置することにより、基板Ｐ上に線状のパターンを形成することができる。
【００１７】
測定装置１５０は、圧電素子（本例では水晶振動子１２４）の特性を利用して、吐出ヘッド１０１から吐出された液滴の質量などの液滴情報を測定する装置であり、パルス発生部１２０、センサーチップ１２１、検出部としての周波数カウンタ１２２、インピーダンス演算部１３０、及び演算部１３１等を備えて構成されている。パルス発生部１２０は、センサーチップ１２１にパルス信号を供給し、水晶振動子１２４を振動させるものである。液滴情報の測定は、例えば、液滴が所望の状態で吐出されることを確認するために行われ、例えば、吐出ヘッド１０１から基板Ｐ上への液体材料の配置に先立って、あるいは液体材料の配置の途中に行われる。
【００１８】
図２は、センサーチップ１２１の構成を示す図である。
図２において、水晶振動子１２４は、例えばＡＴカット水晶振動子などの圧電素子であり、その両面に、一対の電極１２５ａ，１２５ｂが略対向した状態で取り付けられている。また、絶縁体１２６は、導電性を有する支持体１２７ａ，１２７ｂを介して、水晶振動子１２４を振動自在に保持する。支持体１２７ａは、電極１２５ａと導通するとともに、絶縁体１２６に固定された端子１２８ａと導通している。一方、支持体１２７ｂは、電極１２５ｂと導通するとともに、絶縁体１２６に固定された端子１２８ｂと導通している。上記構成により、パルス発生部１２０（図１参照）から出力されたパルス信号が、端子１２８ａ，１２８ｂを介してセンサーチップ１２１に入力すると、水晶振動子１２４が共振周波数にて振動する。
【００１９】
図１に戻り、センサーチップ１２１は、その一方の電極１２５ａが、吐出ヘッド１０１のうち液滴吐出面と対向するように設けられている。測定装置１５０では、吐出ヘッド１０１から吐出された液滴が電極１２５ａに付着すると、電極１２５ａに付着した液滴の質量を算出する。なお、この測定に際して、ヘッドキャリッジ１０８は、液滴が電極１２５ａの表面に付着するように、吐出ヘッド１０１を移動させる。
【００２０】
水晶振動子１２４は、自身に作用する外力が一定であれば、一定の共振周波数にて振動するが、電極１２５ａの表面に物質が付着して外力が変化すると、その変化量に応じて共振周波数が変化するという特性を有している。すなわち、電極１２５ａに物質が付着すると、水晶振動子１２４は、その物質の質量に応じた共振周波数にて振動するという特性を有している。また、付着した物質が粘弾性を有する場合、水晶振動子１２４は、その物質の粘度に応じて共振周波数が変化する。本例の測定装置１５０は、測定物質の粘弾性の影響による誤差を補正する機能を有する、いわゆる外部スキャン式の装置であり、液滴の質量および粘度を求めるものである。なお、水晶振動子１２４に加えた電圧と電流の関係から、周波数に対する水晶振動子１２４の電気的なインピーダンスを求めることができる。このインピーダンスは共振周波数付近で大きく変化する。インピーダンスの抵抗成分が最小となるときの周波数が共振周波数となり、その抵抗成分が共振抵抗値となる。
【００２１】
インピーダンス演算部１３０は、水晶振動子１２４の共振抵抗値を演算により求め、共振抵抗値を示す信号を演算部１３１に供給する。また、周波数カウンタ１２２は、水晶振動子１２４の共振周波数を検出し、検出結果を示す信号を演算部１３１に供給する。演算部１３１は、インピーダンス演算部１３０から出力された共振抵抗値を示す信号と、周波数カウンタ１２２から出力された共振周波数を示す信号とを受け取ると、それらを用いて、以下のように液滴の粘度及び質量を算出する。
【００２２】
共振抵抗値をＲとし、電極１２５ａに付着した液滴の粘度をηとすると、それらの関係は次式で表現できる。
【００２３】
【数１】

【００２４】
ここで、Ｋは、圧電材料や磁歪材料について電気系と機械系との結合の程度を示す電気機械結合定数であり、Ａは、水晶振動子１２４の表面積であり、Ｆは、水晶振動子１２４の基本周波数であり、ρ_Ｌは、液滴（インク）の密度である。
また、液滴の付着前後における共振周波数の変化量をΔｆｒｅｑとした場合、変化量Δｆｒｅｑと、粘度ηとの関係は次式で表される。
【００２５】
【数２】

【００２６】
ここで、ρ_Ｑは、水晶振動子１２４の密度であり、μは、水晶振動子１２４の弾性率である。
一方、電極１２５ａに付着した液滴の質量をＩｍとすると、質量Ｉｍと、共振周波数の変化量Δｆｒｅｑとの関係は次式のようになる。
【００２７】
【数３】

【００２８】
ここで、μ_Ｑは、ＡＴカット水晶振動子定数である。
共振抵抗値は、液滴の粘度ηに応じて変化し（式（１）参照）、一方の共振周波数の変化量Δｆｒｅｑは、液滴の粘度ηと質量Ｉｍとの両方に応じて変化する（式（２）、式（３）参照）。したがって、演算部１３１においては、まず、インピーダンス演算部１３０から供給された共振抵抗値を式（１）に代入して、液滴の粘度ηを求める。
次に、演算部１３１は、周波数カウンタ１２２から供給される共振周波数を用いて、液滴の付着前後における水晶振動子１２４の共振周波数の変化量Δｆｒｅｑを算出し、変化量Δｆｒｅｑ及び粘度ηを用いて、式（２）及び式（３）を演算し、液滴の質量Ｉｍを得る。
なお、演算部１３１は、液滴の粘度η及び質量Ｉｍを求めると、それらを示す液滴情報を制御装置１０５に供給する。
【００２９】
図３は、本例の測定装置１５０における水晶振動子１２４の共振周波数変化の一例を示す図である。図３に示す共振周波数は、液滴の粘弾性による影響が考慮されたものである。
図３において、時刻「Ｔ１１」は吐出ヘッド１０１から液滴を吐出した時刻、「Ｔ１２」は液滴がセンサーチップ１２１（電極１２５ａ）に付着した時刻、「Ｔ１３」は液滴が乾燥し終えた時刻、である。このうち、液滴の吐出時刻「Ｔ１１」は、吐出ヘッド１０１に供給する駆動信号から求められる。また、液滴の吐出後に最初に周波数が所定の量を超えて変化した時点を検出することより、付着時刻「Ｔ１２」を求めることができる。付着の判定基準となる周波数の変化量は、目標とする液滴の吐出量や、使用する液体材料の物性などに応じて適宜定められる。
【００３０】
また、液滴の乾燥中は、液滴の液体分（溶媒、分散媒など）の蒸発による質量変化に応じて周波数が変化する。さらに、液滴の乾燥後は、液体分がすべて蒸発して質量変化がなくなることから、周波数が時間経過に対して略一定状態となる。したがって、液滴の吐出後に、所定時間以上続く周波数の略一定状態の開始時点を検出することにより、その液滴の乾燥終了時刻「Ｔ１３」を求めることができる。検出基準となる略一定状態の継続時間は、測定装置１５０の特性や、要求される測定精度に応じて適宜定められる。
【００３１】
ここで、吐出時刻「Ｔ１１」と付着時刻「Ｔ１２」との時間差「Ｔ１１−Ｔ１２」は、液滴が吐出ヘッド１０１から吐出されてセンサーチップ１２１に着弾するまでの液滴の飛行時間である。したがって、上記時間差と、吐出ヘッド１０１からセンサーチップ１２１（電極１２５ａ）に至るまでの距離とから、液滴の飛行速度（吐出速度）を算出することができる。すなわち、上記距離をＬｊ、液滴の飛行速度をＶｊとすると、Ｖｊ＝Ｌｊ／｜Ｔ１１−Ｔ１２｜である。この演算は演算部１３１（図１参照）において行われる。
【００３２】
また、乾燥後の周波数「ｆｂ」は液滴の乾燥膜に対応するものであることから、液滴の付着前の周波数「ｆａ」と乾燥後の周波数「ｆｂ」との差「ｆａ−ｆｂ」から、液滴の固形分の質量（固形分量）を算出することができる。
【００３３】
また、上記周波数の検出結果のうち、液滴の付着前の周波数「ｆａ」と、液滴の付着時の周波数「ｆｃ」との差「ｆａ−ｆｃ」から、液滴の質量（吐出量）を算出することができる。すなわち、上記周波数の差「ｆａ−ｆｃ」を周波数変化量Δｆｒｅｑとして、前記式に代入することにより、液滴の質量を求めることができる。また同様に、液滴の付着前の周波数「ｆａ」と、所定の時点（例えば、時刻「Ｔａ」）での周波数「ｆｄ」との差「ｆａ−ｆｄ」から、乾燥中における所定の時点での液滴の質量を算出することができる。
【００３４】
そして、演算部１３１では、上述した固形分量の算出結果と、液滴の質量の算出結果とから、センサーチップ１２１に付着した液滴の固形分濃度を算出する。すなわち、測定装置１５０で測定された液滴の質量をＩｍ、測定装置１５０で測定された固形分量をｍｓ、液滴の固形分濃度をｃとするとき、ｃ＝Ｉｍ／ｍｓである。
【００３５】
さて、吐出ヘッド１０１における液滴吐出用のノズル１１２（図１参照）の径は非常に小さく、ノズル１１２内で液体材料の乾燥が進むと、目詰まりが発生しやすい。つまり、ノズル１１２内の液体材料の固形分濃度が上昇することにより、液体材料に含まれる固形分がノズル１１２内で析出あるいは凝集し、ノズル１１２を塞ぐ可能性がある。
【００３６】
本例の液滴吐出装置１００では、測定装置１５０から得られる液滴情報に基づいて、ノズル１１２の乾燥状態を判断し、ノズル１１２の目詰まりを事前に防ぐ。以下、ノズル１１２の目詰まりを事前に防止する処理の一例について、図４のフローチャート図を参照して説明する。
【００３７】
前述したように、測定装置１５０は、吐出ヘッド１０１から吐出された液滴の液滴情報を測定する（ステップ１０１）。制御装置１０５は、測定装置１５０の測定結果のうちの液滴の固形分濃度と、吐出ヘッド１０１に供給される液体材料の初期の固形分濃度とを比較する（ステップ１０２）。そして、ノズル１１２内の液体材料がどの程度乾燥しているかを判断する（ステップ１０３）。
【００３８】
具体的には、液体材料の初期の固形分濃度が事前に制御装置１０５に入力されており、制御装置１０５は、この初期の固形分濃度に対して液滴の固形分濃度の割合が規定値を超えているか否かを判別する。例えば、上記割合が規定値（例えば１２０％）を超えている場合はノズル１１２の乾燥状態が進んでいると判断し、規定値以下の場合はノズル１１２の乾燥状態が進んでいないと判断する。そして、ノズル１１２の乾燥状態が進んでいると判断すると、制御装置１０５は、吐出ヘッド１０１の駆動条件を制御し、ノズル１１２の目詰まりの事前防止を図る（ステップ１０４）。
【００３９】
目詰まり事前防止は、例えば、ノズル１１２内の液体材料を攪拌させたり（メニスカス揺動）、センサーチップ１２１とは異なる場所にノズル１１２から予備的に液滴吐出を行なったり（予備吐出、フラッシング）することにより行う。あるいは、上記メニスカス揺動や上記予備吐出を実施する条件を変化させることにより行う。
【００４０】
ここで、図５は、ピエゾ素子に与える駆動信号の例を示している。
図５において、駆動波形［Ａ］は、駆動信号発生回路が生成する基本波形である。このうち波形「Ｐａｒｔ１」は、メニスカス（ノズル内の液体の凹凸表面）を揺動させてノズル開口近傍の増粘した液体を拡散し、微小な液滴の吐出不良を未然に防止するために用いられる。「Ｂ１」はメニスカスが静定している状態であり、「Ｂ２」はピエゾ素子に緩やかに充電することで圧力室（液体室）の体積を拡張しメニスカスを僅かノズル内に引き込む動作を示している。
【００４１】
図４のステップ１０４において、制御装置１０５は、例えば、上述したメニスカス揺動用の駆動波形を吐出ヘッド１０１に供給する。また、すでにメニスカス揺動用の駆動波形を吐出ヘッド１０１に供給している場合には、その駆動波形の振幅を大きくしたり、その周期を短くしたりする。これにより、ノズル１１２内の液体材料の攪拌を促進させ、ノズル１１２の目詰まりを事前に防ぐことができる。
【００４２】
また、図４のステップ１０３において、ノズル１１２の乾燥が進んでいないと判断した場合、制御装置１０５は、測定装置１５０で測定された液滴の固形分濃度と、前回の液滴吐出時からの経過時間とを関連付けて内部メモリー等に記憶する（ステップ１０５）。このデータの蓄積により、時間経過に対するノズル１１２内での液体材料の濃度変化の様子を把握し、例えば、液滴吐出してからノズル１１２が乾燥するまでの時間を求めることが可能となる。その結果、ノズル１１２（吐出ヘッド１０１）を放置可能な時間（許容待機時間）や、ノズル詰まり事前防止処理（メニスカス揺動や予備吐出など）を施す最適なタイミングを求めることが可能となる。
【００４３】
このように、本例の液滴吐出装置１００では、ノズル１１２の目詰まりが発生する前の段階でノズル１１２の乾燥状態を検出し、その検出結果に基づいて、ノズル１１２の目詰まりを事前に防ぐことから、ノズル１１２の目詰まりに伴う生産性の低下を防止することができる。なお、ノズル１１２内での液体材料の濃度上昇は、液滴の吐出量や液滴の飛行速度の誤差要因となるため、測定装置１５０で測定される液滴の固形分濃度が常に略一定になるように吐出ヘッド１０１の駆動条件を制御してもよい。これにより、目詰まりの事前防止に加え、高い精度で安定した液滴吐出を行うことが可能となる。
【００４４】
図６は、本発明に係る液滴吐出装置を用いて製造されたカラーフィルタを搭載した液晶表示装置の構成を例示する斜視図である。
本実施形態に係る液晶表示装置４００は、液晶駆動用ＩＣ（図示略）、配線類（図示略）、光源４７０、支持体（図示略）などの付帯要素が装着されている。
液晶表示装置４００の構成を簡単に説明する。液晶表示装置４００は、互いに対向するように配置された、カラーフィルタ４６０、及びガラス基板４１４と、これらの間に挟持された図示略の液晶層と、カラーフィルタ４６０の上面側（観察者側）に付設された偏光板４１６と、ガラス基板４１４の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。カラーフィルタ４６０は透明なガラスからなる基板４６１を具備し、観察者側に設けられた基板であり、ガラス基板４１４はその反対側に設けられる透明な基板である。
【００４５】
基板４６１の下側には、黒色感光性樹脂膜からなる隔壁４６２と、着色部４６３、及びオーバーコート層４６４が順次形成され、さらにオーバーコート層４６４の下側に駆動用の電極４１８が形成されている。なお、実際の液晶装置においては、電極４１８を覆って液晶層側と、ガラス基板４１４側の後述する電極４３２上に、配向膜が設けられるが、図示、及び説明を省略する。
カラーフィルタ４６０の液晶層側に形成された液晶駆動用の電極４１８は、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）などの透明導電材料を、オーバーコート層４６４の全面に形成させたものである。
【００４６】
ガラス基板４１４上には、絶縁層４２５が形成され、この絶縁層４２５の上には、スイッチング素子としてのＴＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）と、画素電極４３２とが形成されている。
ガラス基板４１４上に形成された絶縁層４２５上には、マトリクス状に走査線４５１と、信号線４５２とが形成され、走査線４５１と信号線４５２とに囲まれた領域毎に画素電極４３２が設けられている。各画素電極４３２のコーナー部分と走査線４５１と信号線４５２との間部分にはＴＦＴが組み込まれており、走査線４５１と信号線４５２に対する信号の印加によってＴＦＴはオン、又はオフの状態となって画素電極４３２への通電が制御される。
【００４７】
図７は、上記液晶表示装置を用いた電子機器の一例たる携帯電話機の構成を例示する斜視図である。同図において、携帯電話機９２は複数の操作ボタン９２１のほか、受話口９２２、送話口９２３とともに、上述した液晶表示装置４００を備えるものである。
【００４８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】液滴吐出装置の構成の一例を模式的に示す図。
【図２】センサーチップの構成を示す図。
【図３】水晶振動子の共振周波数変化の一例を示す図。
【図４】ノズル詰まりを事前に防止する処理の一例を示すフローチャート図。
【図５】ピエゾ素子に与える駆動信号（駆動波形）の例を示す図。
【図６】液晶表示装置の構成例を示す図。
【図７】携帯電話機の構成例を示す図。
【符号の説明】
Ｐ…基板、１００…液滴吐出装置、１０１…吐出ヘッド、１０２…ステージ、１０５…制御装置、１１２…ノズル、１２１…センサーチップ、１２２…周波数カウンタ（検出部）、１２４…水晶振動子、１３０…インピーダンス演算部、１３１…演算部、１５０…液滴情報測定装置。

Claims

ノズルを介して液体材料を液滴にして吐出する吐出ヘッドを備える液滴吐出装置であって、
表面に付着した物質の質量に応じて周波数が変化する振動子と、
前記液滴の付着前後における前記振動子の周波数を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて、前記振動子に付着した前記液滴の固形分濃度を算出する演算部と、
前記演算部の算出結果に基づいて、前記ノズルの乾燥状態を判断する制御装置とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
前記制御装置は、前記液体材料の初期の固形分濃度と、前記演算部で算出された前記液滴の固形分濃度とを比較することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
前記制御装置は、前記演算部の算出結果に基づいて、前記吐出ヘッドの駆動条件を制御することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
前記液滴吐出装置は、配線、カラーフィルタ、フォトレジスト、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、生体物質、のうちのいずれか一のパターン形成を用途とすることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかに記載の液滴吐出装置。
請求項１から請求項３のうちのいずれかに記載の液滴吐出装置を使用することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項５に記載の製造方法を使用して製造されたことを特徴とする電気光学装置。
請求項６に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。