JP2005062150A - 液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成で高精度に吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定することが可能な液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶１１０と、当該水晶１１０の両面に形成された電極１１０ａ、１１０ｂとでＱＣＭセンサ１０６を構成する。電極１１０ａに振動電圧発振部１１１から振動電圧を印加して水晶１１０を振動させる。測定部１１２および演算部１１３は、吐出ヘッド１０３から吐出される液滴が電極１１０ｂに付着する前後での水晶１１０の共振周波数の変化を検出して、当該電極１１０ｂに付着した液滴の重量を測定する。制御部１０１は、液滴の重量の測定結果を表示部１０８に表示する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器に関し、詳細には、吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定可能な液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器に関する。

例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ、配向膜等の成膜に液滴吐出装置が利用されている。また、液滴吐出装置は、これ以外にも工業上の各種の分野で利用されている。液滴吐出装置は、吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この吐出ヘッドには、規則的に複数の吐出ノズルが形成されている。液滴吐出装置では、これらの吐出ノズルから吐出材料の液滴を吐出することにより、何等かの製品の構成要素となる基板上に吐出材料からなるパターンの描画を行う。吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定する装置としては、例えば、以下の微小液滴重量装置が公知である（例えば、特許文献１参照）。

同装置は、振動板と圧電素子を貼り合わせた圧電振動体にヒータを設け、圧電振動体にホットメルトインク（固形材料を溶かして液体にしたインク）が付着しても剥離も蒸発もしない温度に圧電振動体をコントロールした状態で、ホットメルトインクジェットを吹き付ける。ホットメルトインクが付着すると、圧電振動体の電気機械的結合係数が変わり、その付着重量に比例して圧電素子のインピーダンスが変化する。そのインピーダンスの変化量から付着重量を算出する。

特開平７−２４８２５０号公報

しかしながら、同装置では、振動板と圧電素子を貼り合わせた圧電振動体を使用しているため、圧電振動体の構成が複雑で高コストな構成となる。また、圧電振動体を加熱するヒータを設けて、圧電振動体を温度制御する構成であるので構成が複雑になるとともに制御が複雑となるという問題がある。付言すると、液滴の重量の測定は一瞬で済むものであるため、ヒータや温度制御は不要である。逆に、振動板に与えた熱が圧電素子に伝わることで、熱に弱い圧電素子の場合には測定精度に影響を与えてしまうため、高精度な重量測定を行うことができない。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で高精度に吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定することが可能な液滴吐出装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象物に描画する液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドに駆動信号を印加して液滴を吐出させる吐出ヘッド制御手段と、両面に電極が形成された圧電振動子からなる検出手段と、前記電極に振動電圧を印加して前記圧電振動子を振動させる発振手段と、前記吐出ヘッドから吐出される液滴が前記電極に付着する前後での前記圧電振動子の共振周波数の変化を検出し、当該検出した圧電振動子の共振周波数の変化に基づいて、当該電極に付着した液滴の重量を測定する液滴重量測定手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置を提供することができる。

検出手段を圧電振動子と当該圧電振動子の両面に形成された電極とで構成する。圧電振動子に形成された電極に、外部から振動電圧を印加して圧電振動子を振動させる。吐出ヘッドから吐出される液滴が圧電振動子に形成された電極に付着する前後で圧電振動子の共振周波数は変化する。この圧電振動子の共振周波数の変化を検出して、当該電極に付着した液滴の重量を測定する。これにより、検出手段の構成を簡単かつ低コストの構成とすることができる。また、圧電振動子の共振周波数の変化を検出して、当該電極に付着した液滴の重量を測定しているので、高精度に液滴の重量を測定することができる。この結果、簡単な構成で高精度に吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定することが可能な液滴吐出装置を提供することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記発振手段は、前記電極に振動電圧を印加する場合に、周波数掃引し、前記液滴重量測定手段は、前記圧電振動子のインピーダンス変化を検出して当該圧電振動子の共振周波数を検出することが望ましい。これにより、広範な周波数に対応でき、共振周波数が大きく変化した場合でも、高精度に共振周波数を測定することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記共振周波数は、直列共振周波数であることが望ましい。これにより、負荷（例えば電極）が大きい場合でも、高精度に共振周波数を測定することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記液滴重量測定手段で測定された液滴の重量を表示する表示手段を備えたことが望ましい。これにより、操作者に測定した液滴の重量を報知することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッド制御手段は、前記液滴重量測定手段で測定された液滴の重量に基づいて、前記吐出ヘッドに印加する駆動信号の駆動波形を変更することが望ましい。これにより、測定した液滴の重量が目標値より小さい場合には、液滴の吐出量を増やすように駆動波形を変更し、他方、測定した液滴の重量が目標値より大きい場合には、液滴の吐出量を減らすように駆動波形を変更して、吐出ヘッドから吐出させる液滴の量を高精度に制御することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッド制御手段は、異なる複数の算出用駆動電圧を前記吐出ヘッドに印加した場合の前記検出手段および前記重量測定手段による液滴の重量の測定結果に基づいて、前記異なる複数の算出用駆動電圧と液滴の重量の測定結果の関係を算出し、当該関係と予め設定された液滴の重量目標値との比較結果から前記重量目標値の液滴を吐出するための目標駆動電圧を算出することが望ましい。

これにより、吐出ヘッドに対する印加電圧と吐出ヘッドから吐出される液滴量との関係とその関係に基づいて所望の液滴量を得るための目標駆動電圧を自動的に算出するようにしたので最適液滴量を精度良く円滑に導き出すことができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッド制御手段は、前記液滴重量測定手段で測定された液滴の重量に基づいて、前記吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりまたはインクのエンドを検出することが望ましい。測定された液滴の重量が所定値以下の場合には、吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりまたはインクのエンドの可能性が高い。このため、測定した液滴の重量に基づいて、吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりまたはインクのエンドを検出することにより、操作者に吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりまたはインクのエンドを報知することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記検出手段を回動させる回動機構を有し、前記回動機構は、前記検出手段をその一方の電極が前記吐出ヘッドに対向する第１位置と、その他方の電極が前記吐出ヘッドに対向する第２位置とに配置させることが望ましい。これにより、検出手段の両電極で液滴の重量を測定することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出ヘッドおよび前記検出手段を複数設けることが望ましい。これにより、複数の吐出ヘッドの液滴の重量を各検出手段で同時に測定することが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記液滴が付着した前記検出手段を洗浄する洗浄手段を備えたことが望ましい。これにより、自動的に検出手段の電極に付着した液滴を洗浄することができる。この結果、液滴重量の測定後に液滴が付着した検出手段を操作者が清掃する必要がなくなる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記洗浄手段で前記検出手段を洗浄後に、当該検出手段を乾燥させる乾燥手段を備えたことが望ましい。これにより、検出手段を洗浄後に直ちに乾燥させることができる。この結果、次の液滴重量の測定を直ちに行うことが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記液滴吐出装置は、配線、カラーフィルタ、配向膜、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、および生体物質のうちのいずれか１つのパターン形成を用途とすることが望ましい。これにより、本発明の液滴吐出装置を使用して、配線、カラーフィルタ、配向膜、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、および生体物質のうちのいずれか１つのパターン形成を行うことが可能となる。

また、本発明の好ましい態様によれば、電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を使用して製造されることが望ましい。これにより、液滴の吐出量を高精度に制御可能な液滴吐出装置で製造された電気光学装置を提供することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、電子機器は、本発明の電気光学装置を搭載することが望ましい。これにより、液滴の吐出量を高精度に制御可能な液滴吐出装置で製造された電気光学装置を搭載した電子機器を提供することができる。

また、本発明の好ましい態様によれば、前記液滴吐出装置は、インクジェットプリンタであることが望ましい。これにより、本発明の液滴吐出装置をインクジェットプリンタとして使用することが可能となる。

以下に、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるものまたは実質的に同一のものが含まれる。

本発明の実施例１に係る液滴吐出装置を、［液滴吐出装置の全体構成］、［吐出ヘッド］、［ＱＣＭセンサ］、［液滴重量の測定原理］、［液滴重量の測定フロー］の順に説明する。

［液滴吐出装置の全体構成］
図１は、本発明の実施例１に係る液滴吐出装置１００の全体の概略構成を示す図である。実施例１の液滴吐出装置１００は、ＱＣＭ（Ｑuartz-Ｃrystal Ｍicrobalance）と呼ばれるセンサを搭載した構成となっている。本実施例の液滴吐出装置１００は、主として、制御部１０１と、ヘッドキャリッジ１０２と、吐出ヘッド１０３Ｒ，１０３Ｇ，１０３Ｂと、インクタンク１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂと、ステージ１０５と、ＱＣＭセンサ１０６と、計測部１０７と、表示部１０８とを備えて構成されている。

制御部１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなり、液滴吐出装置１００全体を制御する。具体的には、制御部１０１は、ステージ１０５上に載置された基板等の対象物Ｗに吐出ヘッド１０３Ｒ、Ｇ、Ｂで描画する動作の制御や、吐出ヘッド１０３Ｒ、Ｇ、Ｂから吐出される液滴の重量を測定する動作の制御を行う。ヘッドキャリッジ１０２は、制御部１０１の制御に従って、吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂを副走査方向（Ｘ軸方向）に搬送する。吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂは、ヘッドキャリッジ１０２に担持されてヘッドキャリッジ１０２とともに移動し、制御部１０１から入力される駆動信号に応じて、その吐出ノズルから液滴を吐出する。

インクタンク１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂは、Ｒ，Ｇ，Ｂのインクが充填されており、吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３ＢにＲ，Ｇ，Ｂのインクをそれぞれ供給する。ステージ１０５は、基板等の描画対象物Ｗが載置され、制御部１０１の制御に従って不図示の駆動機構により主走査方向（Ｙ軸方向）に搬送する。ＱＣＭセンサ１０６は、圧電振動子である水晶振動子からなり、水晶１１０と当該水晶１１０の両面に形成された電極１１０ａ、１１０ｂとで構成されている。このＱＣＭセンサ１０６は、吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂから吐出される液滴の重量を測定する場合に使用される。また、ＱＣＭセンサ１０６は着脱可能に設けられており、ＱＣＭセンサ１０６は取り外して清掃が可能になっている。計測部１０７は、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに液滴の付着前と付着後の水晶１１０の共振周波数の変化を検出して、電極１１０ｂに付着した液滴の重量を測定し、測定結果を制御部１０１に出力する。表示部１０８は、例えば、ＬＣＤモニターからなり、制御部１０１の制御に従って、液滴の重量の測定結果等を表示する。

［吐出ヘッド］
図２は、図１の吐出ヘッド１０３Ｒの詳細な構成を示す図である。吐出ヘッド１０３Ｒは、図２に示す如く、圧力室１２１と、ピエゾ素子１２２と、吐出ノズル１２３とを備えて構成されている。圧力室１２１は、インクタンク１０４Ｒ内と連通し、インクタンク１０３Ｒから供給された赤色インクを一時的に貯える。ピエゾ素子１２２は、周知のように電圧を印加すると、結晶構造が歪んで極めて高速に電気−機械エネルギの変換を行う素子である。ピエゾ素子１２２は、制御部１０１から供給される駆動信号に応じて、圧力室１２１の内面を変形させ、圧力室１２１内の赤色インクを増減圧する。吐出ヘッド１０３Ｒにおいては、このピエゾ素子１２２による赤色インクの増減圧に応じて、吐出ノズル１２３から赤色インクを液滴ＩＰとして吐出する。

吐出ヘッド１０３Ｇは、吐出ヘッド１０３Ｒと同様な構成をしており、制御部１０１から供給される駆動信号に応じて、インクタンク１０４Ｇから供給を受けた緑色インクを液滴として吐出する。同様に吐出ヘッド１０３Ｂも、制御部１０１から供給される駆動信号に応じて、インクタンク１０４Ｂから供給を受けた青色インクを液滴として吐出する。この実施形態においては、説明の便宜上、赤色インク、緑色インクおよび青色インクは、それらの液体としての性質（例えば温度に応じた粘度特性など）が略同一に揃えられており、同一条件下では、同様な流体的挙動を示すものとする。したがって、仮に液滴吐出にかかる条件が全く同一であれば、いずれのインクを用いた場合であっても、同量の液滴にて吐出される。なお、以降の説明においては、吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂの各々を特に区別する必要のない場合には、吐出ヘッド１０３と記載し、同様に、インクタンク１０４Ｒ、１０４Ｇ、１０４Ｂの各々を特に区別する必要のない場合には、インクタンク１０４と記載する。

図３は、ピエゾ素子１２２に印加する駆動信号の駆動波形を制御することで、吐出する液滴ＩＰの大きさを変更する原理を説明するための図である。同図において、横軸は時刻、縦軸は駆動電圧を示している。同図において、時刻「０」から時刻「Ｔ１」までの期間においては、ピエゾ素子１２２に供給される駆動信号は一定値「Ｖ_M」をとり、この際、ピエゾ素子１２２は変形しない。続く、時刻「Ｔ１」から時刻「Ｔ２」まで期間において、駆動信号は、「Ｖ_M」から「Ｖ_H」まで上昇する。これを受けてピエゾ素子１２２は、圧力室１２１内のインクが減圧されるように変形し、インクタンク１０４から圧力室１２１にインクが流入する。

次に、時刻「Ｔ２」から時刻「Ｔ３」までの間に、駆動信号は、一定値「Ｖ_H」をとり、続く、時刻「Ｔ３」から時刻「Ｔ４」まで間において、駆動信号は、「Ｖ_H」から「Ｖ_L」まで下降する。この駆動信号の下降により、ピエゾ素子１２２は、圧力室１２１内のインクが増圧するように変形し、圧力室１２１内の赤色インクが吐出ノズル１２３から連なった状態で吐出する。なお、以降の説明においては、時刻「Ｔ３」から時刻「Ｔ４」まで期間を、電圧下降期間ΔＴと称し、当該電圧下降期間ΔＴにおいて下降する電圧の量「Ｖ_H−Ｖ_L」を、電圧下降量ΔＶと称することとする。

次いで、時刻「Ｔ４」から時刻「Ｔ５」までの間に、駆動信号は、一定値「Ｖ_L」をとり、続く、時刻「Ｔ５」から時刻「Ｔ６」まで間において、駆動信号は、「Ｖ_L」から「Ｖ_M」まで上昇する。この駆動信号の上昇により、ピエゾ素子１２２は、圧力室内のインクの圧力が減少するように変形し、上述した電圧下降期間ΔＴに一旦吐出されたインクが引き戻され、その一部が液滴ＩＰとして吐出する。

ここで、説明の便宜上、駆動波形における電圧下降期間ΔＴあるいは電圧下降量ΔＶを調整して、液滴量を変更する技術について説明する。まず、電圧下降期間ΔＴを短くすると、溶液の増圧にかかる期間が短縮されて、電圧下降時間ΔＴ内に吐出ノズル１２３から吐出するインクの勢いが増し、液滴量を増大することができる。逆に、電圧下降期間ΔＴを長くすると、吐出ノズル１２３から吐出するインクの勢いが低下し、液滴量を減少させることができる。

一方、電圧下降量ΔＶを大きくすると、インクの増圧量が増大されて、電圧下降時間ΔＴ内に吐出ノズル１２３から吐出するインクの量が増し、液滴量を増大させることができる。逆に、電圧下降量ΔＶを小さくすると、吐出ノズル１２３から吐出するインク量が減少し、液滴量を減少させることができる。これらの技術は、例えば吐出ノズル径などの吐出ヘッド１０３の機械的構成を変更することなく、液滴量を任意に変更させることができるため、１つの吐出ノズル１２３から複数の量の液滴を選択的に吐出させる場合などに広く用いられている技術である。

［ＱＣＭセンサ］
図４は、図１のＱＣＭセンサ１０６の構成を示す平面図である。水晶１１０は、略正方形状を呈し、その両面に、一対の電極１１０ａ、１１０ｂが略対向した状態で取り付けられている。一対の電極１１０ａ、１１０ｂは、ＡｕやＰｔの金属で構成することができる。また、絶縁体１３１は、導電性を有する支持体１３３ａ、１３３ｂによって、水晶１１０を振動自在に保持する。支持体１３３ａは、電極１１０ａと導通すると共に、絶縁体１３１に固定された端子１３２ａと導通している。同様に、支持体１３３ｂは、電極１１０ｂと導通すると共に、絶縁体１３１に固定された端子１３２ｂと導通している。また、同図において、ＰＥは電極１１０ｂの略中央位置を示している。

図５は、水晶１１０の等価回路を示している。水晶１１０は、電気的には、図５に示すように、抵抗Ｒ１と、コンデンサＣ１およびＣoと、コイルＬ１とで構成される電気回路と等価である。ここで、並列容量であるＣoは、水晶１１０の両面に設けられた電極１１０ａ、１１０ｂによって生成される容量成分である等価電極容量である。水晶１１０は電気的な固有周波数を有しており、水晶１１０の両側に設けた電極１１０ａ、１１０ｂを電源に接続すると、回路は固有周波数で発振を開始し、水晶１１０も発振周波数と同じ周波数で振動する。発振する周波数は、主に、結晶の成長軸に対して水晶１１０を切り出した角度と、水晶１１０の厚さとによって定まり、また、水晶１１０の振動形態は薄板を切り出した角度によって決定される。ＱＣＭでは、通常、ＡＴカットと呼ばれる所定の角度で切り出された水晶１１０が用いられており、ＡＴカットされた水晶１１０の振動形態は、厚みすべり振動、すなわち水晶１１０の表面と裏面とが、水晶１１０の厚み方向と直角方向に、互いにずれるように振動する形態となる。

水晶１１０は、自身に作用する外力が一定であれば、一定の共振周波数にて振動するが、電極１１０ｂに液滴が付着して外力が変化すると、その変化量に応じて共振周波数が変化するという特性を有している。換言すると、電極１１０ｂに液滴が付着すると、水晶１１０は、その液滴の重量および粘度に応じた共振周波数にて振動するという特性を有している。また、水晶１１０は、電極１１０ｂに液体が付着すると、付着した液体の粘度に応じて、その共振抵抗値が変化するという特性を有している。後述するように、計測部１０７は、これらの水晶１１０の特性を利用して、液滴の重量および粘度を算出する。

［液滴重量の測定原理］
図６は、図１の計測部１０７の概念図を示している。本実施例の計測部１０７は外部発振方式を使用している。図６において、計測部１０７では、水晶１１０の一方の電極１１０ａに、発振器１５０で（振動電圧発振部１１１に対応）振動電圧Ｖinを印加して水晶１１０を励起する。ＲＦ電圧計１５１（測定部１１２に対応）は、励起された水晶１１０の他方の電極１１０ｂから流れる電流Ｉq＝（Ｖq／ＲＬ）を測定する。これにより、印加した振動電圧と水晶１１０を流れる電流の関係からその周波数に対する水晶１１０の電気的なインピーダンスを求めることができる。インピーダンスは、共振周波数付近で大きく変化する。そこで、計測部１０７では、印加する振動電圧の周波数を掃引しながらインピーダンスを測定し、そのインピーダンスが最小となる周波数を求める。この周波数が直列共振周波数（ｆｓ）であり、このときの抵抗成分が共振抵抗となる。

図７は、水晶１１０の共振周波数を測定する場合に使用される帰還型の自励式発振方式（従来方式）の概念図を示している。本実施例の外部発振方式を、図７に示す帰還型の自励式発振方式と比較して説明する。図７において、帰還型の自励式発振方式では、水晶１１０を含む発振回路を共振状態としておき、電極に液滴が付着したことによって変化する共振周波数を周波数カウンタ１６０で計測する。そして、測定した共振周波数に基づいて、水晶振動子の電極面に付着した物質の重量を測定する。しかしながら、上述したように、水晶１１０の共振周波数は付着した物質の粘弾性によっても変化する。このため、粘弾性的な特性を併せ持った物質が付着した場合、どちらかの影響によって変化したのか判別することができない。他方、共振抵抗は、主に粘弾性に比例することが知られている。本実施例の計測部１０７では、共振周波数と共振抵抗の両者を測定して、その変化が重量に起因するものか、粘弾性に起因するものかを判別している。

図８は、水晶１１０のアドミッタンス線図を示している。上記図５の等価回路で表される水晶振動子のインピーダンスについて、周波数特性を測定し、これをＸ軸にＧ（コンダクタンス）、Ｙ軸にＢ（サセプタンス）成分を取ったインピーダンス平面上にプロットしたものである。同図に示すように、等価電極容量Ｃoの影響によって、曲線は、全体がＢ軸上をωＣo分ずれてしまう。帰還型の自励式発振方式の共振点は、位相ずれが「０」になる点、すなわち、Ｂ成分が「０」になる点であるので、同図でｆｒで示している。Ｃoのために共振点は、本来の水晶振動子の共振点であるｆs（直列共振周波数）からｆｒ（一般的に共振周波数と言う場合はｆｒを言う）にずれてしまう。

ここで、重量と周波数の比例関係はあくまでもｆｓについて成立する。したがって、ｆｒを基準とした帰還型の自励式発振方式では、重量と周波数の関係に誤差が生じる。具体的には、同図の（ａ）に示すように、負荷が小さくＧが大きいうちは（共振抵抗Ｒが小さいうち）は、円の半径が大きいためｆｓとｆｒの値にはあまり差がない。これに対して、同図の（ｂ）に示すように、負荷が増えてＧが極端に小さく（Ｒが大きく）なると、両者はずれで大きくなる。このため、ｆｒを共振周波数として測定する帰還型の自励式発振方式では、負荷が増えるにしたがって直線性が悪化する。これに対して、本実施例のような外部発振方式でｆｓを測定する方式では、このような直線性の劣化は生じない。

さらに、負荷が増えて、同図の（ｃ）のようになると、ｆｒ点が消えてしまうため、従来の帰還型の自励発振方式では発振することができなくなる。これに対して、本実施例の外部発振方式では、ｆｓを測定するため等価電極容量Ｃoの影響がない。したがって、この場合でも共振点を見つけ出すことが可能となる。すなわち、本実施例の外部発振方式では、帰還型の自励発振方式に比して、重負荷での測定が可能となる。また、帰還型の自励発振方式では、発振の安定と精度の両方を得るためには使用する周波数に応じて発振回路をチューニングする必要がある。このため、同じ発振回路で広範な発振周波数に対応することが困難である。これに対して、本実施例の外部発振方式では、水晶１１０を振動させる振動電圧を外部で生成するため、広範な周波数に回路変更なしで対応可能である。

つぎに、図１の計測部１０７を詳細に説明する。振動電圧発振部１１１は、ＱＣＭセンサ１０６の一方の電極１１０ａに振動電圧を印加して、水晶１１０を振動させる。その際、振動電圧の周波数を低周波数から高周波数へと少しずつ変更して周波数の掃引を行う。測定部１１２は、ＱＣＭセンサ１０６の他方の電極１１０ｂから流れる電流Ｉｑ＝（Ｖｑ／ＲＬ）を測定し、印加した振動電圧と水晶１１０を流れる電流の関係からその周波数に対する水晶１１０の電気的なインピーダンスを算出する。そして、測定部１１２は、測定したインピーダンスが最小となる周波数（上述の直列共振周波数ｆｓ）を共振周波数値として算出し、このときのインピーダンスを共振抵抗値として算出する。測定部１１２は、算出した共振周波数値および共振抵抗値を演算部１１３に出力する。この場合、測定部１１２は、電極１１０ｂへの液滴の付着前における共振周波数ｆbeforeと、付着後における共振周波数ｆafterを演算部１１３に出力する。演算部１１３は、以下のようにして、測定部１１２から入力される共振周波数ｆbefore、ｆafterに基づいて、液滴の重量を算出し、また、測定部１１２から入力される共振抵抗に基づいて、液滴の粘度を算出する。

ここで、電極１１０ｂに付着した液滴の重量をＩｍとし、液滴の付着前後における共振周波数の変化量Δｆｒｅｑとすると、液滴の重量Ｉｍと、液滴の付着前後における共振周波数の変化量Δｆｒｅｑの関係は、下式（１）のように表すことができる。

また、共振抵抗値をＲとし、電極１１０ｂに付着した液滴の粘度をηとすると、これらの関係は、下式（２）で表すことができる。

演算部１１３は、測定部１１２から供給される電極１１０ｂへの液滴の付着前における共振周波数ｆbefore、付着後における共振周波数ｆafterからその変化量Δｆｒｅｑ＝ｆbefore−ｆafterを算出した後、変化量Δｆｒｅｑを上記式（１）に代入して、液滴の重量Ｉｍを算出する。また、演算部１１３は、測定部１１２から入力される電極１１０ｂに液滴の付着後の共振抵抗値Ｒを、上記式（２）に代入して、液滴の粘度ηを算出する。演算部１１３は、算出した液滴の粘度ηおよび重量Ｉｍを制御部１０１に出力する。なお、このように、液滴の重量Ｉｍは、共振周波数のみで算出することができるが、共振周波数に加えて共振抵抗の値も利用することでより精度良く算出することができる。

［液滴重量の測定フロー］
図９は、図１の液滴吐出装置１００の液滴重量の測定フローを示す図である。なお、吐出ヘッド１０３は、ＱＣＭセンサ１０６上になく待機位置にあるものとする。図９において、まず、計測部１０７では、振動電圧発振部１１１は、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ａに振動電圧を周波数掃引しながら印加する（ステップＳ１）。測定部１１２は、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに流れる電流を検出してインピーダンスの変化を検出し、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ａに液滴の付着前の共振周波数ｆbeforeを算出して、演算部１１３に出力する（ステップＳ２）。なお、電極１１０ａに液滴の付着前の共振周波数ｆbeforeは、毎回測定しないで予め演算部１１３に記憶しておくことにしても良い。

つぎに、制御部１０１は、吐出ヘッド１０３から吐出された液滴が、水晶１１０の電極１１０ｂの略中央位置（図４の地点ＰＥ参照）に付着するような位置まで、ヘッドキャリッジ１０２により吐出ヘッド１０３を搬送する（ステップＳ３）。ここで、電極１１０ｂの略中央位置としているのは、電極１１０ｂの略中央位置に液滴を付着させた場合、検出精度が向上するためである。

続いて、制御部１０１は、標準駆動波形に従って、吐出ヘッド１０３に含まれるピエゾ素子１２２に駆動信号を供給して、吐出ヘッド１０３から電極１１０ｂのＰＥに向けて液滴を吐出させる（ステップＳ４）。この後、制御部１０１は、ヘッドキャリッジ１０２により吐出ヘッド１０３を待機位置まで搬送する（ステップＳ５）。ここで、吐出ヘッド１０３を待機位置まで搬送しているのは、吐出ヘッド１０３がＱＣＭセンサ１０６の上方にある場合には、吐出ヘッド１０３の浮遊容量や吐出ヘッド１０３による温度変化等の外乱によりＱＣＭセンサ１０６の出力が不安定になるからである。

この後、計測部１０７では、振動電圧発振部１１１は、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ａに振動電圧を周波数掃引しながら印加する（ステップＳ６）。測定部１１２は、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに流れる電流を検出してインピーダンスの変化を検出し、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに液滴の付着後の共振周波数ｆafterと、そのときの共振抵抗Ｒを算出して、演算部１１３に出力する（ステップＳ７）。

演算部１１３は、共振周波数ｆbefore、ｆafterに基づいて、共振周波数の変化量Δｆｒｅｑ＝ｆbefore−ｆafterを算出し、算出したΔｆｒｅｑを上述した式（１）を用いて液滴の重量Ｉｍを算出する（ステップＳ８）。また、演算部１０７は、共振抵抗Ｒに基づいて、上述した式（２）を用いて液滴の粘度η算出する。演算部１０７は、算出した液滴の重量Ｉｍおよび粘度ηを制御部１０１に出力する。制御部１０１は、算出された液滴の重量Ｉｍおよび液滴の粘度ηを表示部１０８に表示する（ステップＳ９）。また、制御部１０１は、算出した液滴の重量Ｉｍが所定値以下であるか否かを判断する（ステップＳ１０）。この判断の結果、算出した液滴の重量Ｉｍが所定値以下である場合には、制御部１０１は、吐出ヘッド１０３の吐出ノズル詰まりまたはインクのエンドの可能性があると判断して、”吐出ノズル詰まりまたはインクのエンド”の可能性がある旨を表示部１０８に表示する（ステップＳ１１）。制御部１０１は、以上のようにして測定した標準駆動波形の駆動信号で形成された液滴の重量Ｉｍに基づいて、吐出ヘッド１０３で描画対象物Ｗに描画を行う場合に、吐出ヘッド１０３に印加する駆動信号の駆動波形を変更する。測定終了後には、操作者はＱＣＭセンサ１０６を取り外して、電極１１０ｂに付着した液滴を清掃して次の測定に備える。

実施例１の液滴吐出装置１００によれば、水晶１１０と、当該水晶１１０の両面に形成された電極１１０ａ、１１０ｂとでＱＣＭセンサ１０６を構成し、電極１１０ａに振動電圧発振部１１１から振動電圧を印加して水晶１１０を振動させ、測定部１１２および演算部１１３は、吐出ヘッド１０３から吐出される液滴が電極１１０ｂに付着する前後での水晶１１０の共振周波数の変化を検出して、当該電極１１０ｂに付着した液滴の重量を測定する。これにより、検出部を簡単な構成で構成でき、高精度に吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定することが可能となる。付言すると、ヒータ等を設ける必要がなく、温度制御等は不要である。

また振動電圧発振部１１１は、電極１１０ａに振動電圧を印加する場合に、周波数掃引し、測定部１１２は、水晶１１０のインピーダンス変化を検出してその共振周波数を検出することとしたので、広範な周波数に対応でき、共振周波数が大きく変化した場合でも、高精度に共振周波数を測定することが可能となる。また、液滴の重量を測定する場合に使用する共振周波数として、直列共振周波数（ｆｓ）を使用することとしたので、負荷（例えば電極）が大きい場合でも、高精度に共振周波数を測定することが可能となる。また、測定された液滴の重量を表示部１０８に表示することとしたので、操作者に測定した液滴の重量を報知することが可能となる。

また、制御部１０１は、測定された液滴の重量に基づいて、吐出ヘッド１０３に印加する駆動信号の駆動波形を変更する。これにより、測定した液滴の重量が目標値より小さい場合には、液滴の吐出量を増やすように駆動波形を変更し、他方、測定した液滴の重量が目標値より大きい場合には、液滴の吐出量を減らすように駆動波形を変更して、吐出ヘッド１０３から吐出させる液滴の量を高精度に制御することが可能となる。また、制御部１０１は、測定された液滴の重量が所定値以下の場合には、吐出ヘッド１０３の吐出ノズルの詰まりまたはインクタンク１０４のインクエンドである旨を表示部１０８に表示することとしたので、操作者に吐出ヘッド１０３の吐出ノズル１２３の詰まりまたはインクタンク１０４のインクのエンドを報知することが可能となる。

実施例２に係る液滴吐出装置１００を図１０〜図１３を参照して説明する。実施例２に係る液滴吐出装置の本体構成は図１に示す実施例１の液滴吐出装置１００と同様であるのでその説明は省略する。実施例２に係る液滴吐出装置１００では、吐出ヘッドに印加する印加電圧を変更し、その印加電圧と吐出ヘッドから吐出される液滴量との関係に基づいて、所望の液滴量を得るための目標駆動電圧を算出する。

実施例２に係る液滴吐出装置１００では、制御部１０１は、吐出ヘッド１０３から吐出される液滴の材料特性、吐出ヘッド１０３の吐出特性に関する情報、液滴に含まれる液体成分（溶媒成分）の単位時間あたりの揮発量に関する情報等をＲＯＭに記憶している。

次に、実施例２に係る液滴吐出装置１００の駆動方法を図１０〜図１３を参照して説明する。図１０は、実施例２に係る液滴吐出装置１００の駆動方法を説明するためのフローチャート、図１１は、表示部１０８に表示される駆動電圧設定画面の一例を示す図、図１２は、印加電圧と１滴あたりの液滴の重量との関係を示す図、図１３は、駆動電圧を設定するための処理を説明するための図である。

実施例２に係る液滴吐出装置１００の駆動方法は、図１０に示すように、デバイスを製造するための最適液滴量を得るための駆動電圧の設定に関する処理を行う工程と、設定した駆動電圧で吐出ヘッド１０３を駆動してデバイスを製造するデバイス製造工程とを有する。また、駆動電圧の設定に関する処理工程は、制御部１０１より吐出ヘッド１０３に対して互いに異なる少なくとも２値の算出用電圧Ｖ１、Ｖ２を設定して印加する工程と、２値の算出用電圧Ｖ１、Ｖ２に基づき吐出された液滴のそれぞれの重量をＱＣＭセンサ１０６および計測部１０７で測定する測定工程と、計測部１０７の測定結果に基づいて、吐出ヘッド１０３に対して印加する電圧と吐出ヘッド１０３から吐出される液滴の重量との関係を算出する算出工程と、算出工程で求めた関係に基づいて予め設定された液滴の重量の目標値に対応する駆動電圧Ｖ_Hを設定する設定工程とを有している。

液滴の重量の測定方法は、実施例１と同様であるのでその詳細な説明は省略する。以下に説明する駆動電圧の設定に関する処理は制御部１０１の制御のもとで自動的に行われ、この処理に関する情報は図１１に示すように表示部１０８に出力される。なお、以下の説明における「液滴量」とは「１滴あたりの液滴の重量」である。

まず、作業者が表示部１０８を参照し、不図示の入力手段を介して表示部１０８の入力位置Ａに目標液滴量を入力する。位置Ａには目標液滴量が表示される。そして、制御部１０１のもとで処理の自動実行が開始される（ステップＳ３０）。

まず、制御部１０１は、Ｍ＝１を設定した後（ステップＳ３１）、吐出ヘッド１０３に対する算出用駆動電圧Ｖ１を設定し（ステップＳ３２）、吐出ヘッド１０３に駆動電圧を印加する（ステップＳ３３）。このときの吐出ヘッド１０３の吐出周波数および吐出回数は制御部１０１により自動設定される。そして、制御部１０１はこの算出用電圧Ｖ１に基づき吐出された液滴の重量をＱＣＭセンサ１０６および計測部１０７で測定する（ステップＳ３４）。制御部１０１はＭ＝Ｍ＋１とし（ステップＳ３５）、Ｍ＝２であるか否かを判別する（ステップＳ３６）。

制御部１０１は、Ｍ＝２であると判断した場合には、前記算出用電圧Ｖ１とは異なる値の算出用電圧Ｖ２を設定し（ステップＳ３７）、吐出ヘッド１０３に対して印加し（ステップＳ３３）、このとき吐出された液滴の重量をＱＣＭセンサ１０６および計測部１０７で測定する（ステップＳ３４）。ここで、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２のそれぞれに基づく吐出動作の際の吐出周波数および吐出回数は同じ値である。具体的には、制御部１０１は、ＲＯＭに記憶されている液滴の材料特性および吐出ヘッド１０３の吐出特性に関する情報に基づいて、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２の値を設定する。

すなわち、吐出ヘッドに対する印加電圧と吐出される液滴量とはほぼ比例関係にあるが、図１２の模式図に示すように、印加する電圧値が低すぎたり高すぎたりする電圧の範囲（不適正範囲）では比例関係にならない。例えば低すぎる場合は液滴が所望量吐出されず、高すぎる場合は液滴量が飽和するとともに吐出ヘッド１０３の破損を招く。一方、この不適正範囲以外の適正範囲ではほぼ比例関係となる。そして、この適正範囲は、液滴の材料特性（用いられる材料や液滴の粘度など）や、吐出ヘッドの吐出特性（圧電体素子の特性やキャビティの容量など）に応じて変化する。上述したように、制御部１０１のＲＯＭには、この液滴の材料特性および吐出ヘッドの吐出特性に応じた電圧の適正範囲に関する情報が予め記憶されている。この情報は予め実験を行うことにより求めることができる。制御部１０１は、ＲＯＭに記憶されている前記情報に基づいて、印加する算出用電圧Ｖ１、Ｖ２が前記適正範囲内となるように設定する。これにより、算出工程における算出処理を正確且つ効率良く行うことができる。

なお、ここでは、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２の設定は制御部１０１により自動的に設定する構成であるが、作業者が設定してもよい。ここで、作業者は表示部１０８の表示上、例えば入力位置Ｂ、Ｃに入力できる。表示部１０８（制御部１０１）は外部からの入力手段９０による入力を位置Ｂ、Ｃを介して受け付ける。そして、表示部１０８にはこの算出用電圧Ｖ１、Ｖ２が表示される。同様に、吐出ヘッド１０３で吐出する際の吐出周波数および吐出回数も、作業者は表示部１０８の表示上、例えば入力位置Ｄ、Ｅに入力できる。

ここで、吐出ヘッド１０３は液滴を吐出する吐出ノズル１２３を複数備えている。制御部１０１は、複数の吐出ノズル１２３のうちパターンを形成するために使用する吐出ノズルを指定し、この指定した吐出ノズル１２３に対して選択的に処理を実行することができる。例えば、本実施例では、制御部１０１は、吐出ノズル１２３を全て使用するか、あるいは、印字パターンで使用する吐出ノズル１２３のみを使用するかを指定し、吐出動作を行う。なお、使用する吐出ノズル１２３の指定は、作業者により行われてもよい。作業者は表示部１０８の表示上、例えば入力位置Ｆで液滴の重量測定を行う際に使用する吐出ノズルの数および組み合わせを選択入力することができる。

制御部１０１は、計測部１０７の測定結果および吐出回数に基づいて、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２に対応する液滴量（１滴あたりの液滴の重量）の平均値を算出する。制御部１０１は、表示部１０８に、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２、およびこれに対応する液滴量をプロットする（図１１中、符号Ｇ、Ｈ参照）。また、表示部１０８の位置Ｑ、Ｒには、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２に対応する液滴量が数値として表示される。そして、制御部１０１は、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２に基づき吐出された液滴量の測定結果に基づいて、吐出ヘッド１０３に対する印加電圧と吐出ヘッド１０３から吐出される液滴量との関係を算出する。具体的には、制御部１０１は、２つの測定値に基づいて比例計算し、印加電圧と液滴量との関係を求め、図１１に示すように表示部１０８にラインＬとして表示する。

次いで、制御部１０１は、予め設定された液滴の重量の目標値（目標液滴量）と、求めた前記関係とに基づいて、目標液滴量に対応する駆動電圧Ｖ_Hを求める（ステップ３Ｓ８）。表示部１０８には、この設定した駆動電圧Ｖ_Hに関する情報が、例えば位置Ｊおよび位置Ｓに表示される。

なお、ここでは、算出工程や設定工程は制御部１０１のもとで自動的に行われる構成であるが、例えば、表示部１０８の表示上、「実行」ポインタ（符号Ｋ参照）を介して作業者が算出工程および設定工程の実行指令を入力する構成でもよい。また、表示部１０８の表示上、「中断」ポインタ（符号Ｍ参照）を介して処理の中断指令を作業者が入力することもできる。

制御部１０１は、駆動電圧Ｖ_Hを設定し（ステップＳ３９）、設定した駆動電圧Ｖ_Hを吐出ヘッド１０３に印加し（ステップＳ４０）、液滴を吐出する。そして、制御部１０１はこのときの液滴量をＱＣＭセンサ１０６および計測部１０７で測定する（ステップＳ４１）。表示部１０８には、駆動電圧Ｖ_Hに基づき吐出された液滴量の測定値が位置Ｔに表示されるとともに、駆動電圧Ｖ_Hに基づく液滴量がプロットされる（符号Ｎ参照）。

制御部１０１は、ステップＳ４１での液滴量の測定値と目標値（目標液滴量）とを比較し、測定値と目標値との差を求める。そして、制御部１０１は、求めた差が予め設定されている許容範囲内であるか否かを判別する（ステップＳ４２）。なお、このときの測定値と目標値との差の情報は、表示部１０８上にメッセージボックス（符号Ｚ参照）として表示される。ステップＳ４２において、測定値と目標値との差が許容範囲内であると判断した場合、すなわち、駆動電圧Ｖ_Hのもとで吐出した液滴量が目標液滴量と一致（もしくはほぼ一致）したと判断した場合には、制御部１０１は、前記求めた駆動電圧Ｖ_Hのもとでデバイスを製造するための吐出動作を行い（ステップＳ４３）、処理を終了する（ステップＳ４４）。

一方、ステップＳ４２において、測定値と目標値との差が許容範囲外であると判断した場合、すなわち、駆動電圧Ｖ_Hのもとで吐出した液適量が目標液滴量と大きく異なっていると判断した場合には、制御部１０１は駆動電圧と液滴量との関係の補正のため、直前の駆動電圧とその液滴量との情報に基づいて、目標液滴量に対応する駆動電圧Ｖ_Hを再度算出する（ステップＳ３８）。具体的には、制御部１０１は、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２および駆動電圧Ｖ_Hとこれに対応する液滴量とに基づいて前記関係Ｌを補正する。すなわち、図１３に示すように、駆動電圧Ｖ_Hに基づき吐出した液滴量の測定値Ｎの目標値Ｎｒに対する誤差が大きい場合、制御部１０１は、電圧Ｖ１、Ｖ２、およびＶ_Hとこれに対応する液滴量の測定値とに基づいて、すなわち、３つの測定点Ｇ、Ｎ、Ｈに基づいて、これら３つの測定点Ｇ、Ｎ、Ｈを近似的に通るライン（印加電圧と液滴量との関係）Ｌ’を算出する。このように、制御部１０１は、算出用電圧Ｖ１、Ｖ２および駆動電圧Ｖ_Hとこれに対応する液適量の測定値とに基づいて、ラインＬを補正してラインＬ’を求める。そして、制御部１０１は、補正されたライン（関係）Ｌ’に基づいて、目標液滴量を得るための駆動電圧Ｖ_Hの再度求める。そして、制御部１０１は、駆動電圧Ｖ_H’を再設定した後（ステップＳ３９）、吐出ヘッド１０３に駆動電圧Ｖ_H’を印加する（ステップＳ４０）。そして、この駆動電圧Ｖ_H’に基づき吐出動作を行い、このときの液滴量を測定する（ステップＳ４１）。そして、このときの測定値Ｎ２と目標値Ｎｒとの差が許容範囲内となるまで制御部１０１は処理を繰り返す。なお、再設定した駆動電圧Ｖ_H’および液滴量に基づいて、表示部１０８は位置Ｔ、Ｓの表示を更新する。

ところで、制御部１０１は、図１０を用いて説明した一連の処理（ステップＳ３０〜Ｓ４４）を定期的に自動的に実行することができる。これにより、液体材料の特性（例えば粘度など）が経時変化するような場合でも、最適液適量を得るための駆動電圧の設定に関する処理を定期的に自動的に行うことで、常に最適液適量で液滴を吐出することができる。同様に、制御部１０１は、吐出する液滴の材料変更時に前記処理を実行することによっても常に最適液適量で液滴を吐出することができる。更に、制御部１０１は、デバイスを製造するためのパターンが変更される毎に処理を実行することができる。すなわち、形成するパターンが変更されると使用する吐出ノズルの数および組み合わせも変更されるが、この場合、吐出ノズルのそれぞれに対応して設けられている複数の圧電体素子の振動の相互作用により、吐出ノズルから吐出される液滴量がパターンが変更する毎に僅かに変化する場合がある。したがって、基板Ｐ上に形成するパターンを変更する毎に、最適液滴量を得るための駆動電圧の設定に関する処理を自動的に行うことにより、パターンが変更しても常に最適液適量で液滴を吐出することができる。また、制御部１０１は、温度や湿度などの環境条件が変化する毎においても一連の処理を自動的に実行する。すなわち、制御部１０１は、上述したような、印加電圧と液適量との関係が変化する条件となったら処理を実行する。

ところで、液体材料は機能材料（固体成分）と溶媒成分（液体成分）とを含んで構成されているのが一般であり、そのため、液体材料からは溶媒成分が揮発する。ここで、計測部１０７での測定処理が時間を要する場合、揮発した溶媒成分により測定値に誤差が生じる場合がある。そこで、制御部１０１は、吐出ヘッド１０３から吐出された液滴に含まれる溶媒成分の単位時間当たりの揮発量に関する情報をＲＯＭに予め記憶させておき、制御部１０１は、揮発量に関する情報に基づいて測定値を補正することにより、測定値の誤差をキャンセルできる。なお、インクタンク１０４の重量を測定し、インクタンク１０４の減量分を吐出した液滴の重量としてもよい。

なお、上記実施形態では算出用電圧はＶ１およびＶ２の２値であるが３値以上の複数であっても構わない。３値以上の複数の算出用電圧をもとに算出動作を行う構成は、印加電圧と液滴量とが比例関係にならない特性を有する吐出ヘッドの印加電圧と液滴量との関係を求める場合、あるいは図１２に示した適正範囲と不適正範囲との境界部といった変曲点近傍における前記関係を求める際に有効である。このように、液滴の材料特性や吐出ヘッドの特性に応じて、印加する算出用電圧の値の数（測定点数）を変更することができる。

以上説明したように、実施例２に係る液滴吐出装置によれば、制御部１０１は、吐出ヘッド１０３に対する印加電圧と吐出ヘッド１０３から吐出される液滴量との関係を算出し、この関係に基づいて所望の液滴量を得るための目標駆動電圧を算出するようにしたので最適液滴量を精度良く円滑に導き出すことができる。

また、実施例２に係る液滴吐出装置１００によれば、制御部１０１は、算出した目標駆動電圧を設定して吐出ヘッド１０３から吐出した液滴の液滴量の測定値が目標値に対して大きく異なる場合、算出動作を再実行することにより関係を求めなおし、最適液滴量を得るための駆動電圧値を再度算出することとしたので、より高精度に液滴吐出量を決定することができる。

図１４は、本発明の実施例３に係る液滴吐出装置３００の全体の概略構成を示す図である。図１４において、図１と同等機能を有する部位には同一符号を付してある。実施例１の液滴吐出装置１００では、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂを吐出ヘッド１０３のノズル面に対向させて配置し、電極１１０ｂに液滴を滴下して、その重量を測定する構成である。これに対して、実施例３に係る液滴吐出装置３００は、ＱＣＭセンサ１０６を回動させる回動機構３０１を設け、この回動機構３０１でＱＣＭセンサ１０６を回動させて、ＱＣＭセンサ１０６の両電極１１０ａ、１１０ｂにそれぞれ液滴を滴下して液滴の重量の測定を可能とした構成である。図１５は、ＱＣＭセンサ１０６と吐出ヘッド１０３の位置関係を示す模式図である。

図１４において、回動機構３０１は、ＱＣＭセンサ１０６を支持しており、ＱＣＭセンサ１０６とともに回動する。回動機構３０１は、制御部１０１から入力される制御信号に応じて回動する。回動機構３０１は、制御部１０１の制御に従って、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂが吐出ヘッド１０３の吐出ノズル面に対向する第１位置（図１５−１参照）と、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ａが吐出ヘッド１０３のノズル面に対向する第２位置（図１５−２参照）とを切り替える。液滴の重量を測定する場合には、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ａと、電極１１０ｂとを使用して液滴の重量の測定を行う。これにより、実施例１においては、ＱＣＭセンサ１０６を液滴重量の測定を一回行うごとに清掃しなければならないが、実施例３の液滴吐出装置によれば、両面の電極１１０ａ、１１０ｂを使用して、２回分液滴重量の測定を行うことが可能となる。

図１６は、本発明の実施例４に係る液滴吐出装置４００の全体の概略構成を示す図である。図１６において、図１と同等機能を有する部位には同一符号を付してある。実施例１の液滴吐出装置１００では、ＱＣＭセンサを１つ設けた構成であるが、実施例４では、ＱＣＭセンサを複数設けた構成である。

図１６において、実施例４の液滴吐出装置４００は、複数のＱＣＭセンサ１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂを有している。ＱＣＭセンサ１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂは、それぞれ、吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂの液滴の重量を測定するために使用される。

実施例４に係る液滴吐出装置４００によれば、複数の吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂに対応させて複数のＱＣＭセンサ１０６Ｒ，１０６Ｇ，１０６Ｂを有しているので、複数の吐出ヘッド１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂから吐出される液滴の重量を一度にパラレルに測定することが可能となる。

（変形例）
図１７は、本発明の実施例３、４の変形例に係る液滴吐出装置を説明するための模式図である。変形例に係る液滴吐出装置は、回動機構４０１に４つのＱＣＭセンサ１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄを取り付けた構成である。回動機構４０１は、制御部１０６の制御信号に応じて、ＱＣＭセンサ１０６ａ，ｂ，ｃ，ｄの電極１１０ｂの位置が、それぞれ吐出ヘッド１０３のノズル面に対向する位置に切り替える。これにより、４回分の液滴重量の測定が可能となる。

図１８は、本発明の実施例５に係る液滴吐出装置５００の全体の概略構成を示す図である。図１８において、図１と同等機能を有する部位には同一符号を付してある。実施例１の液滴吐出装置１００では、液滴重量の測定後に液滴が付着したＱＣＭセンサ１０６を操作者が清掃しなければならない。これに対して、実施例５の液滴吐出装置５００は、液滴が付着したＱＣＭセンサ１０６を洗浄する洗浄機構と、洗浄後にＱＣＭセンサ１０６を乾燥させる乾燥機構とを搭載してＱＣＭセンサ１０６を自動で洗浄および乾燥させる構成である。

図１８において、センサキャリッジ５０１は、制御部１０１の制御に従って、ＱＣＭセンサ１０６を主走査方向に搬送する。洗浄部５０２は、制御部１０１の制御に従って、ＱＣＭセンサ１０６に洗浄液を噴射してＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂの洗浄を行う。ここで、洗浄液としては、エタノール、イソプロピルアルコール、水等の溶媒を使用することができる。乾燥部５０３は、送風器等からなり、制御部１０１の制御に従って、洗浄部５０２で洗浄されたＱＣＭセンサ１０６に送風して、ＱＣＭセンサ１０６を乾燥させる。

図１９は、図１８の液滴吐出装置２００の液滴重量の測定フローを示す図である。図１８において、図９と同一の処理を行うステップは、同一のステップ番号を付し、その説明は省略する。図１９において、ステップＳ２１では、制御部１０１は、洗浄部５０２の下方位置まで、センサキャリッジ５０１によりＱＣＭセンサ１０６を搬送する。続いて、制御部１０１は、洗浄部２０２に、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに向けて洗浄液を噴射させる（ステップＳ２２）。そして、制御部１０１は、乾燥部５０３の下方位置まで、センサキャリッジ５０１によりＱＣＭセンサ１０６を搬送する（ステップＳ２３）。制御部１０１は、乾燥部５０３に、ＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに向けて送風させる（ステップＳ２４）。この後、制御部１０１は、センサキャリッジ５０１によりＱＣＭセンサ１０６を待機位置まで搬送する（ステップＳ２５）。

以上説明したように、実施例５に係る液滴吐出装置５００によれば、洗浄部５０２は、ＱＣＭセンサ１０６に洗浄液を噴射してＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに付着した液滴を洗浄する構成であるので、自動的にＱＣＭセンサ１０６の電極１１０ｂに付着した液滴を洗浄すること可能となる。この結果、液滴重量の測定後に液滴が付着したＱＣＭセンサ１０６を操作者が清掃する必要がなくなる。また、乾燥部５０３は、洗浄部２０２で洗浄されたＱＣＭセンサ１０６に送風してＱＣＭセンサ１０６を乾燥させる構成であるので、ＱＣＭセンサ１０６を洗浄後に直ちに乾燥させることが可能となる。この結果、次の液滴重量の測定を直ちに行うことができる。

実施例１〜実施例５の液滴吐出装置は、工業用のインクジェット装置として使用することができ、例えば、配線、カラーフィルタ、液晶材料、配向膜、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、および生体物質等のパターン形成に使用することができる。

［電気光学装置への適用例］
上記の液滴吐出装置を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。図２０は、液晶表示装置１１００の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置１１００は、ガラス基板を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）１１０３および配向膜１１０４を形成した上基板１１０１および下基板１１０２と、この上下両基板１１０１、１１０２間に介設した多数のスペーサ１１０５と、上下両基板１１０１、１１０２間を封止するシール材１１０６と、上下両基板１１０１、１１０２間に充填した液晶１１０７とで構成されると共に、上基板１１０１の背面に位相基板１１０８および偏光板１１０９を積層し、且つ下基板１１０２の背面に偏光板１１０９およびバックライト１１１０を積層して構成されている。

通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜１１０３のパターニングおよび配向膜１１０４の塗布を行って上基板１１０１および下基板１１０２を別々に作製した後、下基板１１０２にスペーサ１１０５およびシール材１１０６を作り込み、この状態で上基板１１０１を貼り合わせる。次いで、シール材１１０６の注入口から液晶１１０７を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板１１０８、両偏光板１１０９およびバックライト１１１０を積層する。

上記実施例の液滴吐出装置は、例えば、スペーサ１１０５の形成や、液晶１１０７の注入に利用することができる。具体的には、塗布液１１として、セルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材１１０６を環状に印刷した下基板１１０２を基板ステージ１６にセットし、この下基板１１０２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板１１０２のシール材１１０６の内側に、液晶１１０７を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板１１０１と、液晶を所定量塗布した下基板１１０２を真空中に導入して貼り合わせる。

このように、上基板１１０１と下基板１１０２とを貼り合わせる前に、液晶１１０７をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶１１０７がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。

なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材１１０６の印刷をこの液滴吐出装置で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜１１０４を液滴吐出装置で作成することも可能である。

以上のように、本発明の液滴吐出装置を用いて液晶表示装置１１００を製造する場合、上記した液滴吐出装置では、塗布液１１を一定の温度に加熱して、その粘度を一定の低粘度とすることにより、塗布量を一定に制御できるので、高精度に液晶表示装置１１００を製造することができる。

ところで、このように構成された液滴吐出装置は、上記の液晶表示装置１１００の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。

有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置を応用した例を簡単に説明する。図２１は、有機ＥＬ装置１２００の断面構造を表している。有機ＥＬ装置１２００は、図２１に示すように、基板１２０２、回路素子部１２０３、画素電極１２０４、バンク部１２０５、発光素子１２０６、陰極１２０７（対向電極）、および封止用基板１２０８から構成された有機ＥＬ素子１２０１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部１２０３は基板１２０２上に形成され、複数の画素電極１２０４が回路素子部１２０３上に整列している。そして、各画素電極１２０４間にはバンク部１２０５が格子状に形成されており、バンク部１２０５により生じた凹部開口１２０９に、発光素子１２０６が形成されている。陰極１２０７は、バンク部１２０５および発光素子１２０６の上部全面に形成され、陰極１２０７の上には、封止用基板１２０８が積層されている。

有機ＥＬ装置１２００の製造工程では、予め回路素子部１２０３上および画素電極１２０４が形成されている基板１２０２上の所定の位置にバンク部１２０５が形成された後、発光素子１２０６を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子１２０６および陰極１２０７（対向電極）を形成される。そして、封止用基板１２０８を陰極１２０７上に積層して封止して、有機ＥＬ素子１２０１を得た後、この有機ＥＬ素子１２０１の陰極１２０７をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部１２０３の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置１２００が製造される。

液滴吐出装置１は、発光素子１２０４の形成に用いられる。具体的には、吐出ヘッド１０３に発光素子材料（塗布液１１）を導入し、バンク部１２０５が形成された基板１２０２の画素電極１２０４の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子１２０６を形成する。なお、上記した画素電極１２０４や陰極１２０７の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置を利用して作成することも可能である。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられ、上記液晶表示装置や有機ＥＬエレクトロルミネッセンス装置の他、有機ＴＦＴ装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電子放出表示装置（Field Emission DisplayおよびSurface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置、エレクトロミック調光ガラス装置、電子ペーパー装置等に広く適用することができる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、液滴の塗布量の一定制御等ができるので、製造コストの削減と高精度の成膜を行うことが可能となる。

［電子機器への適用例］
次に、本発明に係る電気光学装置を適用可能な電子機器の具体例について図２２を参照して説明する。図２２−１は、本発明に係る電気光学装置を可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）１３００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ１３００は、キーボード１３０１を備えた本体部１３０２と、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部１３０３とを備えている。図２２−２は、本発明に係る電気光学装置を携帯電話機１４００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機１４００は、複数の操作ボタン１４０１のほか、受話口１４０２、送話口１４０３とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部１４０４を備えている。

本発明に係る電気光学装置は、上述した携帯電話機やノートパソコン以外にも、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く適用することができる。

図２３は、本発明の実施例６に係る液滴吐出装置６００の概略構成を示す図である。実施例６に係る液滴吐出装置６００は、インクジェットプリンタとしたものである。実施例３に係る液滴吐出装置６００は、用紙搬送路６０４の一部にＱＣＭセンサ６０１が設けられており、また、キャリッジ６０２に吐出ヘッドが搭載されている。この吐出ヘッドから吐出される液滴（インク滴）の重量の測定原理は、実施例１と同様であるのでその説明は省略する。実施例６に係る液滴吐出装置６００は、印刷用紙上でキャリッジ６０２を往復動させながら微細なインク滴を吐出することによって、印刷用紙上にインクドットを形成して画像を印刷するインクジェットプリンタである。

図２３を参照して、液滴吐出装置６００が用紙に画像を印刷する動作を簡単に説明する。キャリッジ６０２には、インク滴を吐出するための吐出ヘッドが内蔵されている。キャリッジ６０２の上面側に装着されたインクカートリッジ６０８は吐出ヘッドにインクを供給する。印刷用紙は紙送りローラ６０３によってキャリッジ６０２の下側の所定位置に搬送される。印刷用紙が所定位置にセットされると、キャリッジ６０２は印刷用紙上を往復動しながら吐出ヘッドからインク滴を吐出させる。キャリッジ６０２は、図示するように２本のガイドレール６０５に導かれ、駆動ベルト６０６を介してキャリッジモータ６０７によって駆動される。このように、キャリッジ６０２を往復動させる動作は主走査と呼ばれる。

キャリッジ６０２の主走査に同期させて紙送りローラ６０３を駆動し、印刷用紙を主走査方向と直角方向に少しずつ移動させる。このように、主走査方向と交差する方向に、吐出ヘッドと印刷用紙とを相対的に移動させる動作は副走査と呼ばれる。こうして、キャリッジ６０２を主走査させながら印刷用紙を副走査させ、これにあわせてインク滴を適切なタイミングで吐出することで印刷用紙上にインクドットを形成し、これによって画像を印刷している。

このように、本発明の液滴吐出装置は、インクジェットプリンタにも好適に使用することが可能である。なお、インク滴の代わりに試料液体の重量を測定する場合には、インクカートリッジ６０８を取り外して、インクの代わりに試料液体が収納された容器をキャリッジ６０２に装着することにすれば良い。本発明は、上記した実施例１〜実施例７に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施可能である。

本発明に係る液滴吐出装置は、工業用のインクジェット装置やインクジェットプリンタに利用することができ、また、工業上の各種分野の成膜に広く利用することができる。また、本発明に係る電気光学装置は、有機ＥＬエレクトロルミネッセンス、液晶表示装置、有機ＴＦＴ装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電子放出表示装置（Field Emission DisplayおよびSurface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置、エレクトロミック調光ガラス装置、および電子ペーパー装置の電気光学装置に広く利用可能である。また、本発明に係る電子機器は、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く利用することができる。

本発明の実施例１に係る液滴吐出装置の全体の概略構成を示す図。 吐出ヘッドの詳細な構成を示す図。 吐出ヘッドから吐出する液滴の大きさを変更する原理を説明するための図。 ＱＣＭセンサの構成を示す平面図。 水晶振動子の等価回路を示す図。 計測部の概念図。 帰還型の自励発振方式の概念図。 水晶振動子のアドミッタンス線図。 本発明の実施例１に係る液滴吐出装置の液滴重量の測定フローを示す図。 本発明の実施例２に係る液滴吐出装置の駆動方法を説明するためのフローチャート。 表示部に表示される駆動電圧設定画面の一例を示す図。 印加電圧と１滴あたりの液滴の重量との関係を示す図。 駆動電圧を設定するための処理を説明するための図。 本発明の実施例３に係る液滴吐出装置の全体の概略構成を示す図。 ＱＣＭセンサと吐出ヘッドの位置関係を示す模式図。 ＱＣＭセンサと吐出ヘッドの位置関係を示す模式図。 本発明の実施例４に係る液滴吐出装置の全体の概略構成を示す図。 本発明の実施例３、４の変形例に係る液滴吐出装置を説明するための模式図。 本発明の実施例５に係る液滴吐出装置の全体の概略構成を示す図。 本発明の実施例５に係る液滴吐出装置の液滴重量の測定フローを示す図。 実施例に係る液晶表示装置の断面構造を示す図。 実施例に係る有機ＥＬ表示装置の断面構造を示す図。 実施例に係る電気光学装置を備えたパソコンの斜視図。 実施例に係る電気光学装置を備えた携帯電話機の斜視図。 本発明の実施例６に係る液滴吐出装置の全体の概略構成を示す図。

符号の説明

１００ 液滴吐出装置、１０１ 制御部、１０２ ヘッドキャリッジ、１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂ 吐出ヘッド、１０４Ｒ、１０４Ｇ，１０４Ｂ インクタンク、１０５ ステージ、１０６ ＱＣＭセンサ、１０７ 計測部、１０８ 表示部、 １１０ 水晶、１１０ａ、１１０ｂ 電極、１１１ 振動電圧発振部、１１２ 測定部、１１３ 演算部、１２１ 圧力室、１２２、ピエゾ素子、１２３ 吐出ノズル、１３１ 絶縁体、１３２ａ、１３２ｂ 支持体、１３３ａ、１３３ｂ 端子、３００ 液滴吐出装置、３０１ 回動機構、４００ 液滴吐出装置、４０１ 回動機構、５００ 液滴吐出装置、５０１ センサキャリッジ、５０２ 洗浄部、５０３ 乾燥部、６００ 液滴吐出装置、６０１ ＱＣＭセンサ、６０２ キャリッジ、６０３ 紙送りローラ、６０４ 用紙搬送路、６０５ ガイドレール、６０６ 駆動ベルト、６０７ キャリッジモータ、６０８ インクカートリッジ、１１００ 液晶表示装置、１１０１ 上基板、１１０２ 下基板、１１０３ 透明導電膜（ＩＴＯ膜）、１１０４ 配向膜、１１０５ スペーサ、１１０６ シール材、１１０７ 液晶、１１０８ 位相基板、１１０９ 偏光板、１１１０ バックライト、１２００ 有機ＥＬ装置、１２０１ 有機ＥＬ素子、１２０２ 基板、１２０３ 回路素子部、１２０４ 画素電極、１２０５ バンク部、１２０６ 発光素子、１２０７ 陰極（対向電極）、１２０８ 封止用基板、１２０９ 凹部開口、１３００ パーソナルコンピュータ、１３０１ キーボード、１３０２ 本体部、１３０３ 表示部、１４００ 携帯電話機、１４０１ 操作ボタン、１４０２ 受話口、１４０３ 送話口、１４０４ 表示部

Claims (15)

1. 吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象物に描画する液滴吐出装置において、
   前記吐出ヘッドに駆動信号を印加して液滴を吐出させる吐出ヘッド制御手段と、
   両面に電極が形成された圧電振動子からなる検出手段と、
   前記電極に振動電圧を印加して前記圧電振動子を振動させる発振手段と、
   前記吐出ヘッドから吐出される液滴が前記電極に付着する前後での前記圧電振動子の共振周波数の変化を検出し、当該検出した圧電振動子の共振周波数の変化に基づいて、当該電極に付着した液滴の重量を測定する液滴重量測定手段と、
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記発振手段は、前記電極に振動電圧を印加する場合に、周波数掃引し、
   前記液滴重量測定手段は、前記圧電振動子のインピーダンスの変化を検出して当該圧電振動子の共振周波数を検出することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記共振周波数は、直列共振周波数であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記重量測定手段で測定された液滴の重量を表示する表示手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
5. 前記吐出ヘッド制御手段は、前記液滴重量測定手段で測定された液滴の重量に基づいて、前記吐出ヘッドに印加する駆動信号の駆動波形を変更することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
6. 前記吐出ヘッド制御手段は、異なる複数の算出用駆動電圧を前記吐出ヘッドに印加した場合の前記検出手段および前記液滴重量測定手段による液滴の重量の測定結果に基づいて、前記異なる複数の算出用駆動電圧と液滴の重量の測定結果の関係を算出し、当該関係と予め設定された液滴の重量目標値との比較結果から前記重量目標値の液滴を吐出するための目標駆動電圧を算出することを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
7. 前記吐出ヘッド制御手段は、前記液滴重量測定手段で測定された液滴の重量に基づいて、前記吐出ヘッドの吐出ノズルの詰まりまたはインクのエンドを検出することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
8. 前記検出手段を回動させる回動機構を有し、
   前記回動機構は、前記検出手段をその一方の電極が前記吐出ヘッドに対向する第１位置と、その他方の電極が前記吐出ヘッドに対向する第２位置とに配置することを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
9. 前記吐出ヘッドおよび前記検出手段を複数設けたことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
10. 前記液滴が付着した前記検出手段を洗浄する洗浄手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
11. 前記洗浄手段で前記検出手段を洗浄後に、当該検出手段を乾燥させる乾燥手段を備えたことを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
12. 前記液滴吐出装置は、配線、カラーフィルタ、液晶材料、配向膜、マイクロレンズアレイ、エレクトロルミネセンス材料、および生体物質のうちのいずれか１つのパターン形成を用途とすることを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
13. 請求項１〜請求項１２のいずれか１つに記載の液滴吐出装置を使用して製造されたことを特徴とする電気光学装置。
14. 請求項１３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
15. 前記液滴吐出装置は、インクジェットプリンタであることを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。

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