CN102754529A - 发光装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够使用喷嘴印刷法而制作发光不均少的有机EL元件(11)的发光装置(1)的制造方法。该发光装置的制造方法是具有支撑基板、在该支撑基板上沿行方向延伸的多根隔壁(3)以及分别设置在多个凹部(5)上的多个有机EL元件的发光装置的制造方法，包括以下工序：形成一方的电极(12)的工序；向凹部以液柱状供给含有将形成有机层的材料的墨液的同时，在隔壁的行方向的一端到另一端之间将上述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，由此向凹部供给墨液的工序；通过使供给到凹部的墨液固化而形成有机层的工序；以及形成另一方的电极的工序，在上述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
Description
技术领域
本发明涉及发光装置的制造方法及薄膜的制造方法。
背景技术
显示装置有液晶显示装置、等离子体显示装置等多种装置，作为其中之一的、使用了有机电致发光(以下，称作有机EL。)元件(organicelectroluminescent element)作为像素的光源的显示装置目前正付诸实用化。该显示装置具有排列在基板上而配置的多个有机EL元件。另外，在基板上以长条状排列有用于区划有机EL元件的多根隔壁，各有机EL元件分别配置在由多根隔壁和基板所确定的多个凹部上。即多个有机EL元件在各凹部中沿凹部的延伸方向(以下，有时将“凹部的延伸方向”称作行方向，将与该行方向正交的方向称作例如列方向。)隔着规定的间隔进行配置。
各有机EL元件包含一对电极和设置在该一对电极间的1层以上的有机层而构成。另外，有机EL元件具有至少1层发光层作为1层以上的有机层。多个有机EL元件在各凹部中沿行方向隔着规定的间隔进行配置。只要使在行方向相邻的有机EL元件电绝缘即可，无需进行物理隔离。因此，有时以跨越多个有机EL元件且相连接的方式形成有机层。
作为在相邻的隔壁之间的间隙(凹部)中形成跨越多个有机EL元件而设置的有机层的方法之一，对所谓的喷嘴印刷法(nozzle printingmethod)进行了研究。在喷嘴印刷法中，在隔壁之间的一端到多端连续地供给含有形成有机层的材料的墨液，再使供给的墨液固化，从而形成有机层。具体而言，在从被配置在基板上方的喷嘴喷出液柱状的墨液的状态下使喷嘴沿行方向往复移动，并且在喷嘴的往复移动的折回时使基板沿列方向仅移动规定的行，由此向各凹部供给墨液，再使其固化，从而在各凹部形成有机层(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-75640号公报
发明内容
在同一条件下制作各行的有机EL元件的情况下，在同一驱动条件下使各行的有机EL元件发光时，自然期待各自以相同的亮度进行发光，但是，在使使用喷嘴印刷法而形成的有机EL元件发光的情况下，观察到每行亮度不同这一现象。具体而言，在喷嘴印刷法中使喷嘴沿行方向往复而形成各行的有机层，但在喷嘴的去路上形成有机层的行与喷嘴的回路上形成有机层的行上观察到亮度不同这一现象。
因此，本发明的目的在于，提供一种能够使用喷嘴印刷法而制作发光不均少的有机EL元件的发光装置的制造方法。
本发明提供下述的[1]～[14]。
[1]一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有支撑基板、在该支撑基板上沿列方向隔着规定的间隔配置且在与所述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁、以及分别设置在相邻的隔壁之间的间隙即多个凹部的多个有机电致发光元件，所述有机电致发光元件包含一对电极及设置在这一对电极间的1层以上的有机层，
所述制造方法包括以下工序：
形成一对电极中的一方的电极的工序；
向凹部以液柱状供给含有将形成有机层的材料的墨液的同时在隔壁的行方向的一端到另一端之间将所述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，由此向凹部供给墨液的工序；
通过使供给到凹部的墨液固化而形成有机层的工序；以及
形成一对电极中的另一方的电极的工序，
在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
[2]根据[1]所述的发光装置的制造方法，，其中，
在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，由此供给墨液。
[3]根据[1]所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，对在第1工序已经供给了墨液的凹部，分别将墨液的供给位置的移动方向设为与第1工序不同的方向，进一步向所有的凹部供给墨液。
[4]根据[1]所述的发光装置的制造方法，在所述供给墨液的工序中，包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，在第1工序中已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序的方向相反的方式进行移动，进一步向所有的凹部供给墨液。
[5]根据[1]所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第2工序，重复下述工序：按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；以及
第3工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，然后，按照夹持从墨液的种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复。
[6]根据[1]所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；以及
第3工序，重复下述工序：在已经供给了墨液的凹部，对与已经供给的墨液为同一种类的墨液，按照墨液的供给位置的移动方向为与已经供给的墨液方向不同的方式，将墨液的供给位置向行方向的另一方移动，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动。
[7]根据[1]所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向按照与第1工序的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液；以及
第3工序，重复下述工序：重复进行在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动的工序，重复该工序后，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向以与已经供给的墨液的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液。
[8]一种薄膜的制造方法，是在具有支撑基板、在该支撑基板上沿列方向隔着规定的间隔配置且在与所述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁的被涂布体上，形成薄膜的方法，
所述制作方法包括以下工序：
向隔壁之间的间隙即多个凹部供给液柱状的墨液并且在隔壁的行方向的一端到另一端之间将墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，分别向多个凹部供给墨液的工序；以及
通过使供给到凹部的墨液固化而形成薄膜的工序，
在供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
[9]根据[8]所述的薄膜的制造方法，在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，由此供给墨液。
[10]根据[8]所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，对在第1工序已经供给了墨液的凹部，分别将墨液的供给位置的移动方向设为与第1工序不同的方向，进一步向所有的凹部供给墨液。
[11]根据[8]所述的薄膜的制造方法，在所述供给墨液的工序中，包括：
在所述供给墨液的工序中，包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，在第1工序中已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序的方向相反的方式进行移动，进一步向所有的凹部供给墨液。
[12]根据[8]所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第2工序，重复下述工序：按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第3工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，然后，按照夹持从墨液的种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复。
[13]根据[8]所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；以及
第3工序，重复下述工序：在已经供给了墨液的凹部，对与已经供给的墨液为同一种类的墨液，按照墨液的供给位置的移动方向为与已经供给的墨液方向不同的方式，将墨液的供给位置向行方向的另一方移动，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动。
[14]根据[8]所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向按照与第1工序的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液；以及
第3工序，重复下述工序：重复进行在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动的工序，重复该工序后，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向以与已经供给的墨液的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液。
根据本发明，能够使用喷嘴印刷法而制作发光不均少的有机EL元件。
附图说明
图1是示意性表示本实施方式的发光装置的平面图。
图2是示意性表示发光装置的截面图。
图3是示意性表示支撑基板上的喷嘴的轨迹的图。
图4是示意性表示支撑基板上的喷嘴的轨迹的图。
图5是示意性表示支撑基板上的喷嘴的轨迹的图。
图6是示意性表示支撑基板上的喷嘴的轨迹的图。
图7是示意性表示支撑基板上的喷嘴的轨迹的图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的一个实施方式。另外，在以下的说明中，各图只是以能够理解发明的程度概略地表示构成要素的形状、大小及配置，并不是以此对本发明进行特别的限定。此外，各图中，对同样的构成成分标记同一符号来表示，有时省略其重复说明。
本发明的发光装置的制造方法，涉及以下的发光装置的制造方法，所述发光装置具有支撑基板、在该支撑基板上沿列方向隔着规定的间隔配置且在与所述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁、以及分别设置在相邻的隔壁之间的间隙即多个凹部的多个有机电致发光元件，所述有机电致发光元件包含一对电极及设置在这一对电极间的1层以上的有机层，该制造方法包括以下工序：形成一对电极中的一方的电极的工序；向凹部以液柱状供给含有将形成有机层的材料的墨液的同时在隔壁的行方向的一端到另一端之间将所述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，由此向凹部供给墨液的工序；通过使供给到凹部的墨液固化而形成有机层的工序；以及形成一对电极中的另一方的电极的工序，在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
发光装置作为例如显示装置而被利用。显示装置主要有有源矩阵驱动型的装置和无源矩阵驱动型的装置，本发明能够适用于这两种类型的显示装置。本实施方式中对作为一个例子的被适用于有源矩阵驱动型的显示装置的发光装置进行说明。
<发光装置的构成>
首先，对发光装置的构成进行说明。图1是示意性表示本实施方式的发光装置的平面图，图2是示意性表示发光装置的截面图。
如图1及图2所示，发光装置1主要包含支撑基板2、形成在该支撑基板2上的多个有机EL元件11(11R、11G、11B)、用于区划多个有机EL元件11而设置的多根隔壁3、以及使各有机EL元件11电绝缘的绝缘膜4。
本实施方式中，多个有机EL元件11分别在支撑基板2上排列成矩阵状而进行配置。即多个有机EL元件11分别在行方向X上隔着规定的间隔并且在列方向Y上隔着规定的间隔进行配置。另外，本实施方式中，行方向X和列方向Y彼此正交，且行方向X及列方向Y分别与支撑基板2的厚度方向Z正交。
本实施方式中，沿行方向X延伸的多根隔壁3设置在支撑基板2上。从支撑基板2的厚度方向一方看，该隔壁3被设置成(以下，有时称作“俯视”。)所谓的长条状。各隔壁3分别设置于在列方向Y上相邻的有机EL元件11之间。换言之，多个有机EL元件11设置于在列方向Y上相邻的隔壁3之间，并分别在行方向X上在隔壁3之间隔着规定的间隔进行配置。以下，有时将由在列方向Y上相邻的一对隔壁3和支撑基板2所确定的凹部(沟)称作凹部5。在支撑基板2上设定多个凹部5。该各凹部5分别对应规定的行。
本实施方式中，绝缘膜4设置在支撑基板2和隔壁3之间。绝缘膜4预先被形成为格子状，并一体地形成沿行方向X延伸的多个带状的部分和沿列方向Y延伸的多个带状的部分而构成。在格子状的绝缘膜4上以在列方向、行方向分别排列成等间隔的方式设置多个开口6。绝缘膜4的开口6形成于在俯视下与有机EL元件重叠的位置。绝缘膜4的开口6被形成为在俯视下例如大致矩形、椭圆形、大致圆形及大致椭圆形等。上述的隔壁3设置在构成绝缘膜4的一部分的、沿行方向X延伸的部分上。绝缘膜4根据需要进行设置，例如为了确保在行方向X或列方向Y上相邻的有机EL元件间的电绝缘而设置绝缘膜4。
有机EL元件11包含一对电极和设置在该一对电极间的1层以上的有机层。本说明书中将含有有机物的层称作有机层。另外，有机EL元件可以含有包含无机物和有机物的层、无机层等。有机EL元件具有例如空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子输送层和电子注入层等作为设置在一对电极间的层。
一对电极(12、13)由阳极和阴极构成。阳极和阴极中的一方的电极以一对电极中的一方的电极12靠向支撑基板2进行配置，阳极和阴极中的另一方的电极以一对电极中的另一方的电极13比一方的电极12更远离支撑基板2的方式配置。
图2中作为一个例子示出从支撑基板2侧依次层叠相当于一对电极中的一方的电极12的阳极12、相当于有机层的空穴注入层14、相当于有机层的发光层15、相当于一对电极中的另一方的电极13的阴极13而构成的有机EL元件11。
本实施方式的发光装置1由于是有源矩阵型的装置，因此一方的电极12分别与每个有机EL元件11对应地设置。即与有机EL元件11的数量相同的一方的电极12设置在支撑基板2上。例如一方的电极12为板状且被形成为在俯视下大致矩形状。一方的电极12对应于设置有各有机EL元件11的位置并以矩阵状设置在支撑基板2上。多个一方的电极12在行方向X上隔着规定的间隔且在列方向Y上隔着规定的间隔进行排列。即一方的电极12设置于在俯视下在列方向Y上相邻的隔壁3之间，在隔壁3之间分别在行方向X上隔着规定的间隔进行排列。
上述格子状的绝缘膜4，主要形成于在俯视下一方的电极12之外的区域，其一部分覆盖一方的电极12的周围而形成。换言之，绝缘膜4在一方的电极12上形成有开口6。一方的电极12的表面通过该开口6而从绝缘膜4露出。此外，上述的多根隔壁3设置在构成绝缘膜4的一部分的、沿行方向X延伸的多个带状的部分上。
有机层(本实施方式中为空穴注入层14及发光层15)在被隔壁3夹持的区域沿行方向X延伸而进行配置。即有机层以带状形成于由在列方向Y上相邻的隔壁3所确定的凹部5。
本实施方式中将相当于有机层的一层的空穴注入层14作为在所有的有机EL元件11中共用的层而设置于所有的有机EL元件11。支撑基板2上有时设置发光色不同的多种有机EL元件11，例如在彩色显示装置的情况下，放出红色、绿色和蓝色的任意1种光的3种有机EL元件11设置在支撑基板2上。在如此地形成发光色不同的多种有机EL元件11的情况下，根据有机EL元件11种类的不同而设置发光色不同的发光层15。另外，本实施方式中，将即便是发光层15的发光色也不会受到影响的空穴注入层14等作为全部种类的有机EL元件11中共用的层而设置于全部种类的有机EL元件11。作为其他的实施方式，即使是与发光层15不同的层(例如空穴注入层、电子注入层)，也可以根据有机EL元件11的种类的不同而形成不同种类的层。
本实施方式中设置3种发光层15R、15G、15B。彩色显示装置例如可以通过将以下的(I)、(II)、(III)的行以该顺序在列方向Y上重复排列而实现。
(I)隔着规定的间隔排列放出红色的光的多个有机EL元件11R的行
(II)隔着规定的间隔排列放出绿色的光的多个有机EL元件11G的行
(III)隔着规定的间隔排列放出蓝色的光的有机EL元件11B的行
本实施方式中，通过改变发光层15的种类，从而构成放出红色、绿色和蓝色的任意1种光的3种有机EL元件11。因此，依次将(i)设置有放出红色的光的发光层15R的行、(ii)设置有放出绿色的光的发光层15G的行、(iii)设置有放出蓝色的光的发光层15B的行这3种行在列方向Y上重复排列。即将沿行方向X延伸的带状的发光层15R、发光层15G、发光层15B分别在列方向Y上隔着2行的间隔依次层叠在空穴注入层上。
一对电极中的另一方的电极13设置在发光层15上。另外，本实施方式中，另一方的电极13，跨越多个有机EL元件11而连续地形成，以共用的电极的形式设置于多个有机EL元件11。即另一方的电极13不仅形成在发光层15上，而且也形成在隔壁3上，发光层15上的电极和隔壁3上的电极以相连续的方式整面地形成。
<发光装置的制造方法>
下面，对显示装置的制造方法进行说明。
首先，准备支撑基板2。在有源矩阵型的显示装置的情况下，作为该支撑基板2，可以使用预先形成有用于分别驱动多个有机EL元件11的电路的基板。例如可以使用TFT(ThinFilmTransistor)基板作为支撑基板2。
(形成一方的电极的工序)
接着，在所准备的支撑基板2上以矩阵状形成多个一方的电极12。例如，在支撑基板2上整面地形成导电性薄膜，将其通过光刻法(以下的说明中，“光刻法”包括继掩膜图案的形成工序后进行的蚀刻工序等图案化工序。)形成矩阵状的图案，从而形成一方的电极12。此外，例如将在规定的部位形成有开口的掩膜配置在支撑基板2上，隔着该掩膜在支撑基板2上的规定部位选择性地堆积导电性材料，从而也可以将一方的电极12图案化。一方的电极12的材料如后所述。另外，本工序中可以准备预先形成有一方的电极12的基板作为支撑基板2。
接着，本实施方式中，在支撑基板2上以格子状形成绝缘膜4。绝缘膜4由有机物或无机物构成。作为构成绝缘膜4的有机物，可列举出丙烯酸树脂、酚醛树脂、及聚酰亚胺树脂等树脂。此外，作为构成绝缘膜4的无机物，可列举出SiO2、SiN等。
在形成由有机物构成的绝缘膜4的情况下，首先，例如整面地涂布正型或负型的感光性树脂，对规定的部位进行曝光、显影。再使其固化，从而形成在规定部位形成有开口6的绝缘膜4。另外，作为感光性树脂，可以使用光刻胶。此外，在形成由无机物构成的绝缘膜4的情况下，通过等离子体CVD法、溅射法等整面地形成由无机物构成的薄膜。接着，通过在规定部位形成开口6从而形成绝缘膜4。开口6例如通过光刻法而形成。通过形成该开口6，从而使一方的电极12的表面露出。
接着，在本实施方式中，在绝缘膜4上形成多个长条状的隔壁3。例如可以使用作为绝缘膜4的材料而例示的材料，与形成绝缘膜4的方法同样地形成长条状的隔壁3。
隔壁3及绝缘膜4的形状、以及其配置，可以根据像素数和分辨率等显示装置的规格、制造的容易度等而进行适当设定。例如隔壁3的列方向Y的厚度L1为5μm～50μm左右，隔壁3的高度L2为0.5μm～5μm左右，在列方向Y上相邻的隔壁3之间的间隔L3、即凹部5的列方向Y上的宽度L3为20μm～200μm左右。此外，形成在绝缘膜4上的开口的行方向X和列方向Y上的宽度分别为10μm～400μm左右。
(形成有机层的工序)
接着，在本实施方式中，在一方的电极12上形成作为有机层之一的空穴注入层14。本工序包括：向相邻的隔壁3之间的间隙即凹部5以液柱状供给含有形成有机层(空穴注入层14)的材料的墨液并且在隔壁3的行方向的一端到另一端之间将上述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动向，由此向凹部5供给墨液的工序；通过使供给到凹部5的墨液固化而形成有机层的工序。本实施方式中，通过所谓的喷嘴印刷法形成空穴注入层14。
在喷嘴印刷法中不间断地向各行(凹部5)供给墨液。即在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，使喷嘴16沿行方向X往复移动，并且在喷嘴16的往复移动的折回时使支撑基板2沿列方向Y仅移动1行，由此向各行供给墨液。另外，本实施方式中，喷嘴16沿行方向往复移动，支撑基板2沿列方向移动，相反地，也可以使喷嘴16沿列方向移动，支撑基板2沿行方向往复移动，再通过仅使喷嘴16和支撑基板2中的一方向规定的方向移动来供给墨液。
另外，本实施方式中，在多个凹部5中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。即，在多个凹部5的每个中，分别以喷嘴16的往复移动为一组，将这一组的往复移动进行1次以上。
在各凹部5上的喷嘴16的往复移动的轨迹有多条，只要在每道隔壁3之间进行1次以上喷嘴16的往复移动，则怎样设定喷嘴16的轨迹均可。例如(a)可以在隔壁3之间连续进行喷嘴16的往复移动，此外(b)也可以分多次供给墨液而使喷嘴16进行往复移动。
首先，参照图3说明(a)在每道隔壁3之间连续地进行喷嘴16的往复移动这样的墨液的供给方法。图3中以实线表示喷嘴16的轨迹，并且使用箭头表示喷嘴16的行进方向。另外，在图3和以下的图中，喷嘴16的轨迹以在去路和回路不重叠的方式来表示。喷嘴16也可以以轨迹在去路和回路重叠的方式进行往复移动。
该方法为以下方法：在多个凹部5的每个中分别将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再向同一凹部5的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部5中往复，从而供给墨液。
该方法具体如下：在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，(1)在规定的行上，从行方向X的一端向另一端移动喷嘴16，接着从行方向X的另一端向一端移动喷嘴16，将这样的喷嘴16的往复移动进行1次以上(图3中为1次)，(2)使支撑基板2沿列方向Y仅移动1行，交替地重复这些(1)、(2)的操作，从而向各行供给墨液。
接着，参照图4说明(b)分多次供给墨液而使喷嘴在规定的行上往复移动的方法。
图4中，以实线表示喷嘴16的轨迹，并且使用箭头表示喷嘴16的行进方向。以下，将从设置在列方向Y的一端的行开始向列方向Y的另一方计数为第n个(符号“n”为自然数)的行定义为第n行。
该方法中，供给墨液的工序包括：第1工序，在相邻的凹部5中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部5供给墨液；第2工序，对在第1工序已经供给了墨液的凹部5的每个中，分别将墨液的供给位置的移动方向设为与第1工序不同的方向，进一步向所有的凹部5供给墨液。
该方法中，例如将重复进行以下(1)～(4)的工序的墨液的供给进行偶数次。在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，(1)在规定的行上，从行方向X的一端向另一端移动喷嘴16，(2)使支撑基板2向列方向Y的一方仅移动1行，(3)从行方向X的另一端向一端移动喷嘴16，(4)使支撑基板向列方向Y的一方仅移动1行。
在将重复进行(1)～(4)的工序的墨液的供给进行偶数次时，例如第奇数次的墨液的供给是从第1行的行方向X的一端开始墨液的供给，第偶数次的墨液的供给是从第1行的行方向X的另一端开始墨液的供给。
由此，喷嘴16在规定的行上往复移动。进而，如图5所示，通过重复进行上述(1)～(4)的工序，在从第一行到列方向Y上的另一端的行进行墨液的供给后，使喷嘴16的轨迹逆转，从列方向Y的另一端的行到第一行进行墨液的供给，由此可以使喷嘴16在规定的行上往复移动。换言之，该方法的供给墨液的工序中，包括：第1工序，在相邻的凹部5中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部5供给墨液；第2工序，在第1工序中已经供给了墨液的凹部5，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序的方向相反的方式进行移动，再向所有的凹部5供给墨液。
有机层(本实施方式中为空穴注入层14)通过使供给到隔壁3之间的墨液固化而形成。墨液的固化例如可以通过除去溶剂来进行。溶剂的除去可以通过自然干燥、加热干燥及真空干燥等来进行。
此外，在所使用的墨液包含会因施加光、热等能量而发生聚合的材料的情况下，可以在供给墨液后通过施加光、热等能量而使有机层固化。
(形成发光层的工序)
接着，形成发光层15。如上所述，在制作彩色显示装置的情况下，为了制作3种有机EL元件11，需要分涂例如发光层15的材料。例如，在每行形成3种发光层15的情况下，需要分别在列方向Y上隔着2列的间隔涂布包含放出红色的光的材料的红墨液、包含放出绿色的光的材料的绿墨液以及包含放出蓝色的光的材料的蓝墨液。而且，通过在规定的行上依次涂布红墨液、绿墨液、蓝墨液，从而可以涂布成膜为各发光层。作为在规定的行上依次涂布红墨液、绿墨液、蓝墨液的方法，可列举出印刷法、喷墨液法、喷嘴印刷法等规定的涂布法。例如在喷嘴印刷法中可以与形成上述空穴注入层14的方法同样地涂布墨液。
首先，对于利用喷嘴印刷法在规定的行上供给红墨液、再使其固化从而形成放出红色的光的发光层15R的方法进行说明。
本工序包括：向相邻的隔壁3之间的间隙即凹部5以液柱状供给包含形成有机层(本实施方式中为发光层15R)的材料的墨液，并且在从隔壁的行方向的一端到另一端之间，将上述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，由此向凹部5供给墨液的工序；以及通过使供给到凹部5的墨液固化而形成有机层(本实施方式中为空穴注入层14)的工序。
放出红色的光的发光层15R由于每隔2行进行设置，因此也需要每隔2行供给红墨液。例如在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，使喷嘴16沿行方向X往复移动，在喷嘴16的往复移动的折回时，使支撑基板2沿列方向Y仅移动3行，从而每隔2行供给红墨液。
本实施方式中，分别在多个凹部5中使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。即分别在多个凹部5中，以喷嘴16的往复移动为一组，将该一组的往复移动进行1次以上。另外，在各凹部5上的喷嘴16的往复移动的轨迹有多条，只要在每道隔壁3之间进行1次以上喷嘴16的往复移动，则怎样设定喷嘴16的轨迹均可。例如(a)可以在隔壁3之间连续进行喷嘴16的往复移动，此外(b)也可以分多次供给墨液而使喷嘴16进行往复移动。
首先，参照图6说明(a)在每道隔壁间连续地进行喷嘴16的往复移动这样的墨液的供给方法。
该方法中，供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部5不重复的方式被供给的工序，包括：第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再向同一凹部5的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部5中往复；第2工序，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部5移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再向同一凹部5的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部5中往复，重复该工序；第3工序，在与已经供给了墨液的凹部5不同的凹部5，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再向同一凹部5的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部5中往复，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部5移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再向同一凹部5的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部5往复，重复该工序。
该方法中，在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，(1)在规定的行上，从行方向X的一端向另一端移动喷嘴16，接着从行方向X的另一端向一端移动喷嘴16，将这样的喷嘴16的往复移动进行1次以上(图6中为1次)，(2)使支撑基板沿列方向Y仅移动3行，交替地重复这些(1)、(2)的操作，从而每隔2行供给红墨液。
接着，说明(b)分多次供给墨液而使喷嘴16在规定的行上往复移动的方法。
该方法中，供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部5不重复的方式被供给的工序，包括：第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，重复该工序；第2工序，在与已经供给了墨液的凹部5不同的凹部5，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，重复该工序；第3工序，在已经供给了墨液的凹部5，对与已经供给的墨液为同一种类的墨液，按照墨液的供给位置以移动方向与已经供给的墨液的方向不同的方式，将墨液的供给位置向行方向的另一方移动，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，重复该工序。
该方法中，例如将重复进行以下(1)～(4)的工序的墨液的供给进行偶数次。在从配置在支撑基板2上方的喷嘴16喷出液柱状的墨液的状态下，(1)在规定的行上，从行方向X的一端向另一端移动喷嘴16，(2)使支撑基板向列方向Y的一方仅移动3行，(3)从行方向X的另一端向一端移动喷嘴16，(4)使支撑基板向列方向Y的一方仅移动3行。在将重复进行(1)～(4)的工序的墨液的供给进行偶数次时，例如第奇数次的墨液的供给从行方向X的一端开始墨液的供给，第偶数次的墨液的供给从行方向X的另一端开始墨液的供给。由此使喷嘴16在规定的行上往复移动。
进而，通过重复进行上述(1)～(4)的工序，在从列方向的一方的行到列方向Y的另一方的行依次进行墨液的供给，然后，使喷嘴16的轨迹逆转，在从列方向Y的另一方的行到列方向Y的一方的行反序进行墨液的供给，由此可以使喷嘴16在规定的行上往复移动。
换言之，该方法中，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部5不重复的方式被供给的工序，包括：第1工序，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，重复该工序；第2工序，在已经供给了墨液的凹部5，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序方向相反的方式进行往复，进一步供给已经供给的墨液为同一种类的墨液；第3工序，重复进行在与已经供给了墨液的凹部5不同的凹部5，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部5的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部5移动的工序，重复该工序后，在已经供给了墨液的凹部5，使墨液的供给位置以移动方向与已经供给的墨液方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液，重复该工序。
有机层(发光层15)通过使供给到隔壁3之间的墨液固化而形成。墨液的固化例如可以通过除去溶剂来进行。
溶剂的除去可以通过自然干燥、加热干燥及真空干燥等来进行。此外，在所使用的墨液包含会因施加光、热等能量而发生聚合的材料的情况下，可以在供给墨液后通过施加光、热等能量而使有机层固化。
另外，绿墨液和蓝墨液也与红墨液同样地在供给墨液的隔壁3之间隔着2行进行供给，从而可以分别形成发出绿色的光的发光层15G、发出蓝色的光的发光层15B。
形成发光层15后，根据需要通过规定的方法形成规定的有机层、无机层等。它们可以使用印刷法、喷墨液法、喷嘴印刷法等规定的涂布法、以及规定的干式法而形成。
(形成另一方的电极的工序)
接着，形成另一方的电极。如上所述，本实施方式中在支撑基板2上的整面形成另一方的电极13。由此能够在基板上形成多个有机EL元件11。
在以上说明的发光装置1的制造方法中，在利用喷嘴印刷法形成有机层(空穴注入层14和发光层15)时，使喷嘴16往复移动，从而涂布成膜为有机层。如上述所述，在以往的喷嘴印刷法中，由于不使喷嘴16在每行往复移动，因此，存在在喷嘴16的去路形成的有机层和在喷嘴16的回路形成的有机层。而且，存在在喷嘴16的去路上形成了有机层的行和喷嘴16的回路上形成了有机层的行上所制作的有机EL元件11的亮度不同等问题。
据推测，体现该问题的原因在于，例如即使按照俯视下使喷嘴16通过凹部5的中心的方式设定装置，喷嘴16在去路和回路上的轨迹也会有微小的差别，从而形成在去路和回路性状不同的膜。
如图7所示，例如即使对支撑基板2按照使喷嘴16沿行方向X(左右方向)移动的方式进行设定，在向右方向行进的去路中，有时也会采取喷嘴16从左右方向略微向右斜下倾斜的轨迹，在向左方向行进的回路中，有时也会采取喷嘴16从左右方向略微向左斜下倾斜的轨迹。该情况下，图7中，在将去路的轨迹向列方向Y的另一方平行移动一行从而与回路的轨迹重叠时，去路的轨迹和回路的轨迹不一致。因此，推测其原因在于形成了在去路和回路上性状略微不同的膜。
与此相对，在本实施方式中，由于使喷嘴16在每行进行往复移动，因此即使在去路和回路上的轨迹不同，在去路和回路的总轨迹中在所有的行中都采取了相同的轨迹，结果能够在各行形成性状相同的膜。由此，在行之间进行比较的情况下，可以制作发光不均少的有机EL元件11。
以上的说明中，每隔1行形成在全部有机EL元件11中共用而被设置的空穴注入层14，在其他的实施方式中，与发光层15同样地隔着2行的间隔涂布成膜为空穴注入层14，并且可以分3次形成。
此外，以上的说明中，对利用喷嘴印刷法形成有机EL元件11的有机层的方法进行了说明，本发明不只适用于有机EL元件11的有机层，也适用于形成规定薄膜的薄膜的制造方法。即，可以适用于下述薄膜的制造方法，所述方法为在具有支撑基板2、以及在该支撑基板2上沿列方向隔着规定的间隔进行配置且在与上述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁3的被涂布体上形成薄膜的方法，该薄膜的制造方法包括以下工序：向隔壁3之间供给墨液的工序，向隔壁3之间供给液柱状的墨液并且在隔壁3的行方向的一端到另一端之间将墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动；通过使被供给到隔壁3之间的墨液固化而形成薄膜的工序，在供给墨液的工序中，分别在隔壁3之间使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。作为这样的规定的薄膜，可列举出滤色器等。
<有机EL元件的构成>
如上所述，有机EL元件11可以采用各种层构成，以下，对有机EL元件11的层结构、各层的构成以及各层的形成方法进行更详细地说明。
如上所述，有机EL元件11包含一对电极(12、13)和设置在该一对电极间的1层以上的有机层，作为1层以上的有机层，具有至少1层的发光层15。另外，有机EL元件11可以含有包含无机物和有机物的层以及无机层等。作为构成有机层的有机物，可以是低分子化合物，也可以是高分子化合物，此外，还可以是低分子化合物和高分子化合物的混合物。有机层优选含有高分子化合物，优选含有聚苯乙烯换算的数均分子量为103～108的高分子化合物。
在利用涂布法形成有机层的情况下，一般而言，与低分子化合物相比，高分子化合物在溶剂中的溶解性良好，因此优选使用在溶剂中的溶解性良好的高分子化合物。
作为设置在阴极和发光层之间的层，可列举出电子注入层、电子输送层、空穴阻挡层等。在阴极和发光层之间设有电子注入层和电子输送层这两个层的情况下，将接近阴极的层称作电子注入层，将接近发光层的层称作电子输送层。
作为设置在阳极和发光层之间的层，可列举出空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层等。在设有空穴注入层和空穴输送层这两个层的情况下，将接近阳极的层称作空穴注入层，将接近发光层的层称作空穴输送层。
这些被设置在阴极和发光层15之间的层、以及被设置在阳极和发光层15之间的层可以作为共用层而共用并设置在全部的有机EL元件11中。另外，有机层中能够利用涂布法形成的有机层优选通过在上述实施方式中作为形成空穴注入层14和发光层15的方法而进行了说明的本发明的方法来形成。
以下，示出有机EL元件的元件构成的一个例子。
a)阳极/发光层/阴极
b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极
c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极
d)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/阴极
e)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
f)阳极/空穴输送层/发光层/阴极
g)阳极/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极
h)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极
i)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
j)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/阴极
k)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极
l)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极
m)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
n)阳极/发光层/电子注入层/阴极
o)阳极/发光层/电子输送层/阴极
p)阳极/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极
此处，记号“/”表示夹持记号“/”的各层彼此相邻层叠。在以下的记载中也相同。
进而，有机EL元件11可以具有2层以上的发光层15，此外，可以构成具有2层以上的发光层15且使产生电荷的电荷产生层介于发光层15之间的所谓多光子型的有机EL元件。
有机EL元件11可以进一步被用于密封的密封膜或密封板等密封部件覆盖。
为了进一步提高与电极的密接性、改善来自电极的电荷注入性，本实施方式的有机EL元件11可以进一步设置与电极相邻且膜厚为2nm以下的绝缘层。此外，为了提高界面上的密接性、防止混合等，可以在上述各层间插入较薄的缓冲层。
所层叠的层的顺序、层数及各层的厚度可以考虑发光效率、元件寿命而进行适当设定。此外，有机EL元件11可以将阳极和阴极中的阳极配置在靠近支撑基板2的位置，将阴极配置在与支撑基板2隔离的位置，此外，相反地，也可以将阴极配置在靠近支撑基板2的位置，将阳极配置在与支撑基板2远离的位置。例如在上述a)～p)的构成中，可以在支撑基板2上从左侧的层起依次层叠各层，相反地，也可以在支撑基板2上从右侧的层起依次层叠各层。
接着，对构成有机EL元件11的各层的材料及形成方法进行更具体地说明。
<阳极>
在从发光层15发出的光通过阳极而出射的构成的有机EL元件11的情况下，阳极可以使用显示透光性的电极。作为显示透光性的电极，可以使用电导率高的金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，可以优选使用透光率高的物质。具体而言，可以使用由氧化铟、氧化锌、氧化锡、铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)、金、铂、银及铜等形成的薄膜，其中，可以优选使用由ITO、IZO或氧化锡形成的薄膜。作为阳极的制作方法，可以列举出真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、电镀法等。此外，作为。此外，作为该阳极，也可以使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有机的透明导电膜。
另外，在从发光层15发出的光通过阴极出射的构成的有机EL元件11的情况下，阳极可以使用反射光的材料，作为这样的材料，优选功函数为3.0eV以上的金属、金属氧化物、金属硫化物。
阳极的膜厚考虑光的透射性和电阻等而进行适当设定，例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。
<空穴注入层>
作为构成空穴注入层14的空穴注入材料的例子，可列举出化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物，苯胺化合物，星状爆炸型胺化合物，酞菁化合物，无定形碳，聚苯胺及聚噻吩衍生物等。
作为空穴注入层的成膜方法，可列举出例如由包含空穴注入材料的溶液进行的成膜。作为使用在由溶液进行的成膜中的溶液的溶剂，只要是使空穴注入材料溶解的溶剂，则没有特别的限制。作为溶剂，例如可列举出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯溶剂；四氢呋喃等醚系溶剂；甲苯、二甲苯等芳香族烃溶剂；丙酮、甲乙酮等酮溶剂；醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙基溶纤剂醋酸酯等酯溶剂；以及水。
作为由溶液进行的成膜方法，可列举出旋涂法、浇铸法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、辊涂法、钢丝棒涂布法、浸涂法、喷涂法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶版印刷法、喷墨液印刷法、喷嘴印刷法等涂布法。空穴注入层14优选通过上述本发明的喷嘴印刷法来形成。
空穴注入层14的膜厚考虑电特性、成膜的容易性等而进行适当设定。空穴注入层14的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。
<空穴输送层>
作为构成空穴输送层的空穴输送材料的例子，可列举出聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、茋衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯)或其衍生物、以及聚(2，5-亚噻吩基亚乙烯)或其衍生物等。
其中，作为空穴输送材料，优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺化合物基的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚(对亚苯基亚乙烯)或其衍生物、或者聚(2，5-亚噻吩基亚乙烯)或其衍生物等高分子空穴输送材料，进一步优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物。在低分子的空穴输送材料的情况下，优选分散在高分子粘合剂中使用。
作为空穴输送层的成膜方法，没有特别的限制。在使用低分子的空穴输送材料的情况下，可列举出由包含高分子粘合剂和空穴输送材料的混合液进行的成膜，在使用高分子的空穴输送材料的情况下，可列举出由包含空穴输送材料的溶液进行的成膜。
作为使用在由溶液进行的成膜中的溶液的溶剂，只要是使空穴注入材料溶解的溶剂，则无特别的限制。作为空穴输送材料，可以使用例如作为由溶液成膜空穴注入层14时所使用的溶液的溶剂而例示出的溶剂。
作为由溶液进行的成膜方法，可以列举出与上述空穴注入层14的成膜法同样的涂布法。空穴输送层优选利用上述本发明的喷嘴印刷法来形成。
作为混合的高分子粘合剂，优选不极度阻碍电荷输送的粘合剂，此外，可以优选使用对可见光的吸收弱的粘合剂。作为高分子粘合剂，可列举出例如聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚硅氧烷等。
空穴输送层的膜厚考虑电特性、成膜的容易性等而进行适当设定。空穴输送层的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。
<发光层>
发光层通常由主要发出荧光及/或磷光的有机物或由该有机物和辅助该有机物的掺杂剂形成。例如为了提高发光效率或改变发光波长而加入掺杂剂。另外，有机物可以为低分子化合物，也可以为高分子化合物。发光层优选含有聚苯乙烯换算的数均分子量为103～108的高分子化合物。作为构成发光层的发光材料，可列举出例如以下的色素材料、金属络合物材料、高分子材料、掺杂剂材料。
(色素材料)
作为色素系材料，例如可以列举出环戊丙甲胺(cyclopentadrine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、联苯乙烯衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、苝酮衍生物、苝衍生物、低聚噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖啶酮衍生物、香豆素衍生物等。
(金属络合物材料)
作为金属络合物材料，可以列举出例如在中心金属中具有Tb、Eu、Dy等稀土金属或Al、Zn、Be、Ir、Pt等，在配体中具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等的金属络合物。作为这样的金属络合物，可列举出例如具有来自铱络合物、铂络合物等三重激态的发光的金属络合物、羟基喹啉铝络合物、苯并羟基喹啉铍络合物、苯并噁唑啉锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、菲罗啉铕络合物等。
(高分子材料)
作为高分子系材料，可以列举出聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑衍生物、将上述色素系材料或金属络合物系发光材料高分子化的物质等。
在上述发光性材料中，作为发光成蓝色的材料，可列举出联苯乙烯衍生物及其聚合物、噁二唑衍生物及其聚合物、聚乙烯咔唑衍生物、聚对亚苯基衍生物、聚芴衍生物等。其中，优选高分子材料的聚乙烯咔唑衍生物、聚对亚苯基衍生物或聚芴衍生物等。
此外，作为发光成绿色的材料的例子，可列举出喹吖啶酮衍生物及其聚合物、香豆素衍生物及其聚合物、聚对亚苯基亚乙烯衍生物、以及聚芴衍生物等。其中，优选高分子材料的聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚芴衍生物等。
此外，作为发光成红色的材料的例子，可列举出香豆素衍生物及其聚合物、噻吩环化合物及其聚合物、聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、以及聚芴衍生物等。其中，优选高分子材料的聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。其中，优选高分子材料的聚对亚苯基亚乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。
(掺杂剂材料)
作为掺杂剂材料，可以列举出例如苝衍生物、香豆素衍生物、红荧烯衍生物、喹吖啶酮衍生物、方酸内鎓盐(squarylium)衍生物、卟啉衍生物、苯乙烯色素、并四苯衍生物、吡唑啉酮衍生物、十环烯、吩噁嗪酮等。另外，这样的发光层的厚度通常为约2nm～200nm。
作为发光材料的成膜方法的例子，可列举出印刷法、喷墨液印刷法、喷嘴印刷法等。例如如上所述那样能够利用本发明的喷嘴印刷法分涂多种墨液。
<电子输送层>
作为构成电子输送层的电子输送材料，可以使用公知的物质。作为电子输送材料的例子，可列举出噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯或其衍生物、联苯醌衍生物、或者8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。
其中，作为电子输送材料，优选噁二唑衍生物、苯醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、或者8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物，进一步优选2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1，3，4-噁二唑、苯醌、蒽醌、三(8-羟基喹啉)铝、聚喹啉。
作为电子输送层的成膜法，没有特别的限制。在使用低分子的电子输送材料的情况下，可列举出由粉末进行的真空蒸镀法、或者由溶液或熔融状态进行的成膜，在使用高分子的电子输送材料的情况下，可列举出由溶液或熔融状态进行的成膜。另外，在由溶液或熔融状态进行成膜的情况下，可以并用高分子粘合剂。作为由溶液进行的成膜方法，可以列举出与上述空穴注入层14的成膜法同样的涂布法。
电子输送层的膜厚考虑电特性、成膜的容易性等而进行适当设定。电子输送层的膜厚例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。
<电子注入层>
作为构成电子注入层14的材料，可以根据发光层15的种类而适当选择最优材料。作为构成电子注入层的材料的例子，可列举出碱金属；碱土金属；包含碱金属及碱土金属中的一种以上的合金；碱金属或碱土金属的氧化物、卤化物、碳酸盐；或者这些物质的混合物等。作为碱金属、碱金属的氧化物、卤化物及碳酸盐的例子，可列举出锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等。此外，作为碱土金属、碱土金属的氧化物、卤化物、碳氧化物的例子，可列举出镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等。电子注入层也可以由层叠有两层以上的层叠体构成，可列举出例如LiF膜及Ca膜的层叠体等。电子注入层可通过例如蒸镀法、溅射法、印刷法等来形成。作为电子注入层的膜厚，优选1nm～1μm左右。
<阴极>
作为阴极的材料，优选功函数小、对发光层的电子注入容易且电导率高的材料。此外，在从阳极侧取出光的结构的有机EL元件中，将由发光层放射的光用阴极反射至阳极侧，因此，作为阴极的材料，优选可见光反射率高的材料。
阴极的材料可以使用例如碱金属、碱土金属、过渡金属及元素周期表的第13族金属等。作为阴极的材料，可列举出例如锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属；上述金属中的两种以上的合金；上述金属中的一种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中的一种以上的合金；或者石墨液或石墨液层间化合物等。作为合金的例子，可列举出镁-银合金、镁-铟合金、镁-铝合金、铟-银合金、锂-铝合金、锂-镁合金、锂-铟合金、钙-铝合金等。此外，作为阴极，可以使用由导电性金属氧化物及导电性有机物等构成的透明导电性电极等。具体而言，作为导电性金属氧化物，可列举出氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO及IZO，作为导电性有机物，可以列举出聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。另外，阴极也可以由层叠有两层以上的层叠体构成。另外，有时电子注入层也可以用作阴极。
阴极的膜厚考虑电导率、耐久性而进行适当设定。阴极的膜厚例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。
作为阴极的制作方法，可列举出真空蒸镀法、溅射法、对金属薄膜进行热压接的层压法等。
<绝缘层>
作为绝缘层的材料的例子，可列举出金属氟化物、金属氧化物、有机绝缘材料等。作为设有膜厚为2nm以下的绝缘层的有机EL元件，可列举出设有与阴极相邻且膜厚为2nm以下的绝缘层的有机EL元件、设有与阳极相邻且膜厚为2nm以下的绝缘层的有机EL元件。
符号说明
1发光装置
2支撑基板
3隔壁
4绝缘膜
5凹部
6开口
11有机EL元件
12一方的电极
13另一方的电极
14空穴注入层
15发光层
16喷嘴
Claims (14)
1.一种发光装置的制造方法，所述发光装置具有支撑基板、在该支撑基板上沿列方向隔着规定的间隔配置且在与所述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁、以及分别设置在相邻的隔壁之间的间隙即多个凹部的多个有机电致发光元件，所述有机电致发光元件包含一对电极及设置在这一对电极间的1层以上的有机层，
所述制造方法包括以下工序：
形成一对电极中的一方的电极的工序；
向凹部以液柱状供给含有将形成有机层的材料的墨液的同时在隔壁的行方向的一端到另一端之间将所述墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，由此向凹部供给墨液的工序；
通过使供给到凹部的墨液固化而形成有机层的工序；以及
形成一对电极中的另一方的电极的工序，
在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
2.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，由此供给墨液。
3.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述供给墨液的工序包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，对在第1工序已经供给了墨液的凹部，分别将墨液的供给位置的移动方向设为与第1工序不同的方向，进一步向所有的凹部供给墨液。
4.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
在所述供给墨液的工序中，包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，在第1工序中已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序的方向相反的方式进行移动，进一步向所有的凹部供给墨液。
5.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第2工序，重复下述工序：按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；以及
第3工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，然后，按照夹持从墨液的种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复。
6.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，其中，
所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；以及
第3工序，重复下述工序：在已经供给了墨液的凹部，对与已经供给的墨液为同一种类的墨液，按照墨液的供给位置的移动方向为与已经供给的墨液方向不同的方式，将墨液的供给位置向行方向的另一方移动，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动。
7.根据权利要求1所述的发光装置的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向按照与第1工序的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液；以及
第3工序，重复下述工序：重复进行在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动的工序，重复该工序后，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向以与已经供给的墨液的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液。
8.一种薄膜的制造方法，是在具有支撑基板、在该支撑基板上沿列方向隔着规定的间隔配置且在与所述列方向不同方向的行方向上延伸的多根隔壁的被涂布体上，形成薄膜的方法，
所述制作方法包括以下工序：
向隔壁之间的间隙即多个凹部供给液柱状的墨液并且在隔壁的行方向的一端到另一端之间将墨液的供给位置向行方向的一方或另一方移动，分别向多个凹部供给墨液的工序；以及
通过使供给到凹部的墨液固化而形成薄膜的工序，
在供给墨液的工序中，在多个凹部中分别使将墨液的供给位置向行方向的一方移动的次数与向另一方移动的次数相同。
9.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，其中，
在所述供给墨液的工序中，在多个凹部中分别将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，由此供给墨液。
10.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，对在第1工序已经供给了墨液的凹部，分别将墨液的供给位置的移动方向设为与第1工序不同的方向，进一步向所有的凹部供给墨液。
11.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，其中，
在所述供给墨液的工序中，包括：
第1工序，在相邻的凹部中，墨液的供给位置按照成为互不相同的方向的方式移动，向所有的凹部供给墨液；以及
第2工序，在第1工序中已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置以移动方向与第1工序的方向相反的方式进行移动，进一步向所有的凹部供给墨液。
12.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第2工序，重复下述工序：按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复；
第3工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复，然后，按照夹持从墨液的种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已经供给了墨液的凹部开始移动，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，再针对同一凹部向行方向的另一方移动，使墨液的供给位置在每个凹部中往复。
13.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，其中，
所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，重复下述工序：在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，将墨液的供给位置向行方向的一方移动后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；以及
第3工序，重复下述工序：在已经供给了墨液的凹部，对与已经供给的墨液为同一种类的墨液，按照墨液的供给位置的移动方向为与已经供给的墨液方向不同的方式，将墨液的供给位置向行方向的另一方移动，然后，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动。
14.根据权利要求8所述的薄膜的制造方法，所述供给墨液的工序是多种墨液以在各个凹部不重复的方式被供给的工序，包括：
第1工序，重复下述工序：使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动；
第2工序，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向按照与第1工序的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液；以及
第3工序，重复下述工序：重复进行在与已经供给了墨液的凹部不同的凹部，使用与已经供给的墨液不同种类的墨液，使墨液的供给位置向行方向的一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动，使墨液的供给位置向行方向的另一方移动，按照夹持从墨液种类数减1的数量的凹部的方式，使墨液的供给位置从已供给了墨液的凹部开始移动的工序，重复该工序后，在已经供给了墨液的凹部，使墨液的供给位置的移动方向以与已经供给的墨液的方向相反的方式进行往复，进一步供给与已经供给的墨液为同一种类的墨液。
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