JP5008066B2 - インク塗布方法及びインク塗布装置 - Google Patents
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Description
そして、制御部33は、制御手段6全体を統合して制御するものである。
先ず、カラーフィルタ基板7がステージ8上に載置されて図1に示す矢印A方向に一定の速度で搬送される。このとき、制御手段6の容量センサー29が起動されて、インク吐出ノズル18の先端部18aとステージ8との間に所定周波数の交流電圧が印加される。これにより、インク吐出ノズル18の先端部18aとステージ8との間の静電容量C0が図3に示す電圧計35により電圧値として検出される。この容量センサー29の検出出力は、ギャップ調整手段コントローラ30においてメモリ26から読み出された目標値と比較され、両者が所定の許容範囲内で一致するようにギャップ調整手段コントローラ30によりギャップ調整手段5が駆動制御されて、顕微鏡2が図1に示す矢印D,E方向に変位される。このようにして、上記静電容量C0が一定となるように制御され、インク吐出ノズル18の先端部18aとカラーフィルタ基板7面との間のギャップの大きさが所定値(目標値)に保たれる。
2…顕微鏡
3…インク吐出装置
4…アライメント手段
5…ギャップ調整手段
6…制御手段
7…カラーフィルタ基板
8…ステージ
9…ピクセル(パターン)
9a…ピクセルのエッジ
10…本体部
12…撮像手段
18…インク吐出ノズル
18a…インク吐出ノズルの先端部
19…インクタンク
20…顕微鏡の視野
21…金属膜
22…カラーインク
29…容量センサー
31…直流電源
Claims (7)
- パターンが形成された基板を一定方向に一定速度で搬送しながら、前記基板の表面と、該基板の表面に対して傾斜させて配設された細長状の少なくとも一つのインク吐出ノズルの先端部とを、顕微鏡の視野内に同時にとらえて撮像手段により撮像し、
前記撮像手段により撮像された画像を処理して前記基板に形成されたパターンの前記搬送方向に沿ったエッジと前記インク吐出ノズルの先端部の軸線との間の水平距離を、前記基板の搬送中常時検出し、
前記距離が所定値となるように前記基板又はインク吐出ノズルの位置を自動調整し、
前記インク吐出ノズルの先端部から前記基板に対してインクを吐出して前記パターンに塗布する、
ことを特徴とするインク塗布方法。 - 前記インク吐出ノズルは、その外周面に金属膜を被覆したものであり、インク吐出時に、前記金属膜と前記基板の表面又は裏面との間に直流電圧を印加してインク吐出ノズル内のインクを帯電し、静電吸引力により前記インクを前記基板に向けて吐出させることを特徴とする請求項1記載のインク塗布方法。
- 前記インク吐出時においては、前記インク吐出ノズル内のインクにその後端部から所定の圧力を加えることを特徴とする請求項1又は2記載のインク塗布方法。
- 複数のパターンが所定間隔で並べて形成された基板の表面を撮像する撮像手段を本体部上端に備えた顕微鏡と、
前記基板の表面に対して傾斜させて前記パターンの並びと同方向に略同じ間隔で並べられ、先端部が前記顕微鏡の視野内に位置するように配設された細長状の複数のインク吐出ノズル、及び該インク吐出ノズルに所定のインクを供給するインクタンクを具備し、前記顕微鏡の本体部下端に取り付けられたインク吐出装置と、
前記基板をステージ上に載置して前記複数のインク吐出ノズルの並び方向と交差する方向に一定速度で搬送する搬送手段と、
前記基板又は顕微鏡を前記インク吐出ノズルの並び方向に移動させ、前記基板に形成されたパターンと前記インク吐出ノズルの先端部との位置合わせするアライメント手段と、
前記基板の表面と前記インク吐出ノズルの先端部との間のギャップの大きさを調整するギャップ調整手段と、
前記基板を搬送しながら、前記顕微鏡の撮像手段により前記基板表面及び前記インク吐出ノズルの先端部が撮像された画像を処理して、前記基板に形成されたパターンの前記搬送方向に沿ったエッジと前記インク吐出ノズルの先端部の軸線との間の水平距離を検出し、該距離が所定値となるように前記アライメント手段の制御を前記基板の搬送中常時実行し、前記インク吐出ノズルの先端部からインクを吐出させる制御手段と、
を備えたことを特徴とするインク塗布装置。 - 前記インク吐出ノズルは、その外周面に金属膜を被覆したものであり、前記制御手段は、前記インク吐出ノズルの前記金属膜と前記基板の表面又は裏面との間に所定の直流電圧を印加可能としたことを特徴とする請求項4記載のインク塗布装置。
- 前記制御手段は、前記インク吐出ノズルの金属膜と前記基板の表面又は裏面との間に接続した容量センサーを備えると共に前記ギャップ調整手段に接続し、前記容量センサーの検出出力に基づいて前記ギャップの大きさが所定値となるように前記ギャップ調整手段を制御することを特徴とする請求項5記載のインク塗布装置。
- 前記インクタンクは、その内部に貯留されたインクに対して加圧可能に形成されたことを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載のインク塗布装置。
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