JP2015188877A - インクジェット式塗布ヘッドの清掃装置及び塗布液塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布ヘッド7の吐出口形成面7aに付着した塗布液を清掃する清掃部材11を有するインクジェット式塗布ヘッド7の清掃装置10において、前記清掃部材11は、吸引口12aが形成され、前記塗布ヘッド7の前記吐出口形成面7aに非接触状態で対向する吸引面12と、この吸引面12に連続し、当該吸引面12から離れるにしたがって前記吐出口形成面7aから遠ざかるように延びる傾斜面13とを備え、前記清掃部材11の少なくとも前記傾斜面13に洗浄液を供給する洗浄液供給手段40と、前記清掃部材11と前記塗布ヘッド7とを前記吐出口形成面7aに沿う方向を移動方向として相対移動させる移動装置20と、を有してなるもの。
【選択図】 図4
Description
このような塗布液塗布装置1においては、基板Wに対する塗布液の塗布を行なうにあたり、まず、制御装置8の制御によって搬送テーブル4がガイドレール3上における基板Wの搬入/搬出作業位置(図1において破線で示す左端側の位置)に位置付けられる。そして、この位置において、搬送テーブル4上には、不図示の搬送ロボットによって基板Wが供給される。
(1)吐出口形成面7aを清掃するに際しては、まず、搬送テーブル4を基板Wの搬入/搬出作業位置(図1において破線で示す左端側の位置)に位置付ける。この状態で、搬送テーブル4に一体的に支持された清掃装置10が、各塗布ヘッド7との対向位置(真下)に位置付けられるようになっている。記憶部8aには清掃動作を行なう条件が設定されており、制御装置8は、記憶部8aに設定された条件に該当したときに、吸引装置10に清掃を行なわせるべく、搬送テーブル4を搬入/搬出作業位置に位置付ける。ここで、清掃動作を行なう条件としては、塗布ヘッド7において、「基板Wに対する塗布液の塗布を実行した後」、「気泡等による吐出口7bの詰まり等を回復させるための塗布液の強制排出を実行した後」、或いは、「塗布液の吐出を休止させる待機時間が所定の時間以上継続したときに吐出口7bの塗布液の乾燥を防止するためのダミー吐出を実行した後」等が挙げられる。
7 塗布ヘッド
7a 吐出口形成面
7b 吐出口
10 清掃装置
11 吸引清掃ノズル(吸引清掃部材)
12 吸引面
12a 吸引口
13 傾斜面
13a 中央傾斜部
14 貯液部
20 X軸方向移動装置(移動装置)
30 負圧供給手段
40 洗浄液供給手段
43 洗浄液供給口
L 洗浄液
W 基板(塗布対象物)
Claims (6)
- 塗布ヘッドの吐出口形成面に付着した塗布液を清掃する清掃部材を有するインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置において、
前記清掃部材は、吸引口が形成され、前記塗布ヘッドの前記吐出口形成面に非接触状態で対向する吸引面と、この吸引面に連続し、当該吸引面から離れるにしたがって前記吐出口形成面から遠ざかるように延びる傾斜面とを備え、
前記清掃部材の少なくとも前記傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記清掃部材と前記塗布ヘッドとを前記吐出口形成面に沿う方向を移動方向として相対移動させる移動装置と、を有してなることを特徴とするインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。 - 前記塗布ヘッドが、前記吐出口形成面に複数の吐出口を一方向に配列して形成してなり、
前記清掃部材は、前記塗布ヘッドに形成した前記複数の吐出口の配列方向に沿って移動しつつ清掃動作し、前記傾斜面が、前記清掃部材の移動方向における前記吸引面の前方側に設けられてなる請求項1に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。 - 前記清掃部材が、前記傾斜面を含む、前記洗浄液の前記貯液部を備える請求項1又は2に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
- 前記貯液部が、前記清掃部材によって前記塗布ヘッドの前記吐出口形成面を清掃動作する1回分に必要とされる前記洗浄液を貯留可能にする容積を備える請求項3に記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
- 前記清掃部材の前記傾斜面が、前記移動方向に交差する方向における前記傾斜面の両端部分に挟まれる中央部分を、前記両端部分の傾斜面よりも緩やかな、前記吸引面に連続する傾斜面としてなる請求項1〜4のいずれかに記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置。
- インクジェット式塗布ヘッドを用いて塗布対象物の塗布面に塗布液を塗布する塗布液塗布装置であって、
請求項1〜5のいずれかに記載のインクジェット式塗布ヘッドの清掃装置を備えた塗布液塗布装置。
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