TWI594799B - Applicator, and coating device - Google Patents

Description

塗布器、及塗布裝置

本發明係關於一種為了於基板等塗布塗布液而具有噴出塗布液之噴出狹縫之塗布器、及具備該塗布器之塗布裝置。

作為於玻璃基板或膜等之基板(被塗布構件)塗布塗布液之裝置，已知有一種具備具有噴出塗布液之噴出狹縫之塗布器之塗布裝置。該塗布裝置係除了上述塗布器以外，亦具備載置基板之載物台、儲存塗布液之貯槽、及用於將該貯槽之塗布液向塗布器供給之泵等。

噴出狹縫係於塗布器之寬度方向上形成為較長，藉由一面使該塗布器相對於載物台上之基板水平移動一面自噴出狹縫噴出塗布液，可於基板之表面形成由塗布液形成之薄膜(塗膜)。

於該塗布器，設置有流入塗布液之流入口、與於寬度方向上較長之歧管(腔室)，自流入口向歧管流入之塗布液係成為暫時儲存於該歧管之狀態後，通過噴出狹縫而相對於基板噴出。

近年來，為了提高塗膜厚之精度，有人提出一種塗布器，其係於塗布器設置上下2個歧管，且藉由縮限流道連接該等歧管之間(例如參照專利文獻1、圖1)。根據該塗布器，由於以上側(上游側)之歧管使塗布液於寬度方向分散，進而，以下側(下游側)之歧管使該塗布液於寬度方向分散，故自噴出狹縫噴出之塗布液之噴出狀態(流量)遍及噴出狹縫之寬度方向全長而均一化，而可提高基板之表面之塗膜厚之精度。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2012-239930號公報

然而，使用如上述之塗布器進行塗布作業時，有時於塗布器內之塗布液混入空氣。其原因係到達塗布器之前自塗布液流通之配管之連接構件(接頭)或泵之滑動構件侵入空氣，或溶存於塗布液之空氣於歧管中發泡，或於用於將塗布液向塗布器供給之閥之開閉動作時吸入空氣，或藉由該閥之開閉動作所導致之塗布液之容積變化而溶存之空氣發泡，又，或於清掃噴出狹縫或成為噴出狹縫之出口之噴出口時自該噴出狹縫吸入空氣。

如此，若於塗布器內之塗布液混入空氣，則產生於塗布作業開始時，於塗布壓力之上升產生延遲而使塗布開始部分之膜厚變薄，或因將空氣噴出至基板而產生氣孔或縱條紋等塗布缺陷之不佳狀況。尤其，若於下側之歧管之塗布液混入空氣，則難以排出該空氣，而有上述不佳狀況長期持續之虞。

因此，本發明之目的在於迅速排出歧管內之空氣。

本發明之塗布器之特徵在於：其係包含流入塗布液之流入口、與形成為於一方向上較長且於其正交方向上較窄並噴出塗布液之噴出狹縫者；且進而包含：複數個歧管，其等至少包含與上述流入口連接之上側之歧管、及與上述噴出狹縫連接之下側之歧管，且於上述一方向上形成為較長；縮限流道，其連接該等複數個歧管之間且於上述一方向上較長且藉由於其正交方向上縮限而形成為較窄；及通氣孔，其係於包含上述縮限流道與在其下游側連接於該縮限流道之上述歧管之 邊界之區域開口。

存在於下側之歧管之上部之空氣雖藉由浮力欲通過於其上方(即上游側)連接之縮限流道而移動至上側之歧管，但若縮限流道之流道較窄，則空氣無法通過縮限流道而持續滯留，故難以排出。但，根據本發明，由於通氣孔係於包含該等縮限流道與下側之歧管之邊界之區域開口，故可將存在於該歧管之上部之空氣通過該通氣孔迅速排出。

又，較佳為上述通氣孔於包含上述邊界之位置開口。

或，較佳為上述通氣孔於在其下游側連接於上述縮限流道之上述歧管之上緣部開口。

或，較佳為上述通氣孔於上述縮限流道之下游側端部開口。

藉由該等通氣孔，可獲得容易排出存在於歧管之上部之空氣之構成。

又，通氣孔為於包含上述邊界之區域向上述一方向開口之孔之情形時，於自縮限流道流出之塗布液之流速較大之條件下，由於使存在於歧管之上部之空氣侵入至該通氣孔之功能係藉由通過縮限流道之塗布液之流動而受到阻礙，故有降低之可能性。

因此，較佳為上述通氣孔係於包含上述邊界之區域向與上述一方向交叉之方向開口之孔。

該情形時，成為如下構成：即便自縮限流道流出之塗布液之流速較大，關於藉由通氣孔進行之空氣之引入，亦不易受到通過縮限流道之塗布液之流動之影響。因此，可使存在於歧管之上部之空氣有效地侵入通氣孔。

又，本發明之塗布裝置之特徵在於包含：載物台，其載置被塗布構件；塗布器，其係對於該被塗布構件噴出塗布液；儲液部，其儲存塗布液；液體輸送機構，其係將該儲液部之塗布液輸送至上述塗布器；及驅動機構，其係使上述載物台上之上述被塗布構件與上述塗布 器之內之一者相對於另一者移動；且上述塗布器係上述塗布器。

根據本發明，可發揮與上述塗布器相同之作用效果。

根據本發明，可將存在於歧管之上部之空氣通過通氣孔迅速排出。

1‧‧‧塗布裝置

2‧‧‧載物台

3‧‧‧塗布器

3a‧‧‧口型板

4‧‧‧驅動裝置(驅動機構)

5‧‧‧控制裝置

8‧‧‧泵(液體輸送機構)

9‧‧‧貯槽(儲液部)

11‧‧‧上側歧管

12‧‧‧下側歧管

13‧‧‧傾斜面

17‧‧‧配管

18‧‧‧流入口

19‧‧‧孔

21‧‧‧噴出狹縫

21a‧‧‧噴出口

22‧‧‧縮限流道

23‧‧‧壁面

24‧‧‧壁面

27‧‧‧上緣部

31‧‧‧第1通氣孔

32‧‧‧第2通氣孔

32a‧‧‧開口部

32a1‧‧‧開口部之上端

32a2‧‧‧開口部之下端

36‧‧‧配管

37‧‧‧閥

39‧‧‧邊界

40‧‧‧邊界

41‧‧‧邊界

45‧‧‧下游側端部

46‧‧‧壁面

47‧‧‧壁面

48‧‧‧壁面

49‧‧‧共通壁面

51‧‧‧側壁面

56‧‧‧配管

57‧‧‧閥

A‧‧‧區域

a‧‧‧空氣

M‧‧‧薄膜(塗膜)

W‧‧‧基板(被塗布構件)

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

圖1係顯示本發明之塗布裝置之實施之一形態之概略構成圖。

圖2係說明塗布器之概略說明圖(橫剖面圖)。

圖3係說明塗布器之概略說明圖(縱剖面圖)。

圖4(A)係顯示第2通氣孔及其周圍之放大剖面圖，(B)係顯示變化例之放大剖面圖，(C)係顯示進而另一變化例之放大剖面圖。

圖5(A)係顯示第2通氣孔及其周圍之放大剖面圖，(B)係顯示變化例之放大剖面圖，(C)係顯示進而另一變化例之放大剖面圖。

圖6(A)係顯示第2通氣孔及其周圍之放大剖面圖，(B)係顯示變化例之放大剖面圖。

圖7(A)-(E)係說明於塗布器初始填充塗布液時之排出空氣之功能之說明圖。

圖8(A)-(C)係說明在於塗布器填充有塗布液之狀態下空氣混入塗布液，而排出該空氣之功能之說明圖。

以下，基於圖式說明本發明之實施形態。

〔關於塗布裝置之構成〕

圖1係顯示本發明之塗布裝置1之實施之一形態之概略構成圖。該塗布裝置1具備：載物台2，其載置玻璃等基板(被塗布構件)W；塗布器3，其係對該載物台2上之基板W噴出塗布液；貯槽(儲液部)9，其儲存塗布液；泵(液體輸送機構)8，其係將該貯槽9之塗布液輸送至塗 布器3；及驅動裝置4，其係使載物台2上之基板W與塗布器3之內之一者相對於另一者移動。於本實施形態中，驅動裝置4包含致動器，該致動器使塗布器3相對於處於固定狀態之載物台2於水平方向及垂直方向移動。又，塗布裝置1具備控制各部之動作之控制裝置5。泵8與塗布器3係藉由構成塗布液之流道之配管(管子)17連接。另，於本實施形態中，將塗布器3之水平移動方向定義為X方向，將與該X方向正交之水平方向且塗布器3之寬度方向定義為Y方向。Z方向成為與X方向及Y方向正交之垂直方向(高度方向)。且，塗布器3係於Y方向構成為較長，又，以基板W之寬度方向於該Y方向一致之方式，將基板W載置於載物台2上。

根據該塗布裝置1，藉由泵8將貯槽9內之塗布液向塗布器3供給，藉此可自形成於塗布器3之下部之噴出狹縫21之下端(前端)即噴出口21a噴出塗布液，且，以於該噴出口21a與基板W之間形成平行之間隙之狀態，配合塗布液之噴出動作藉由驅動裝置4使塗布器3水平移動，藉此可於基板W上形成由塗布液形成之薄膜(塗膜)M。此種塗布器3之移動等、用以將塗布液噴出至基板W之動作控制係藉由控制裝置5進行。

圖2與圖3係說明塗布器3之概略說明圖，圖2係橫剖面圖，圖3係縱剖面圖。塗布器3具有：流入口18，其連接配管17且流入塗布液；及噴出狹縫21，其噴出塗布液。流入口18係於塗布器3之Y方向之中央位置設置有一個(參照圖3)。流入口18係藉由形成於塗布器3之孔19，與後述之上側歧管11連接。噴出狹縫21係於Y方向(一方向)上直線性地形成為較長，且藉由於X方向(一方向之正交方向)上縮限而形成為較窄。另，噴出狹縫21之X方向之尺寸係形成為較後述之下側歧管12之X方向最大尺寸更窄，噴出狹縫21成為將自該下側歧管12延續之流道縮限之流道。

再者，於塗布器3設置有複數個歧管(亦稱為腔室)。即，塗布器3具有：上側之歧管(以下稱為上側歧管)11，其係經由流入口18與孔19直接連接；下側之歧管(以下稱為下側歧管)12，其係與噴出狹縫21直接連接；及縮限流道22，其係連接該等歧管11、12之間且使上側歧管11之塗布液向下側歧管12流動。歧管11、12各者係直線性地形成為與X方向相比Y方向上更長。縮限流道22係直線性地形成為於Y方向(一方向)上較長，且藉由於X方向(一方向之正交方向)上縮限而形成為較窄。另，縮限流道22之X方向之尺寸係形成為較後述之上側歧管11(及下側歧管12各者)之X方向最大尺寸更窄，縮限流道22成為將自該上側歧管11延續之流道縮限之流道。

自流入口18供給之塗布液係依序流通上側歧管11、縮限流道22、下側歧管12、及噴出狹縫21，而自噴出狹縫21之下端(前端)即噴出口21a噴出。又，於本實施形態中，將該等於Z方向上直線性地並排設置。且，塗布器3構成為包含將該等歧管11、12及縮限流道22等設置於內部之口型板3a、連接於該口型板3a之後述之配管36、56(參照圖2)、以及後述之閥37、57(參照圖2)等。

於本實施形態中，如圖2所示，上側歧管11及下側歧管12各者之橫剖面形狀係大致半圓形狀，縮限流道22之橫剖面形狀係直線形狀(矩形)，塗布液之流道剖面係於縮限流道22縮限。另，所謂上述流道剖面係塗布液之流道之剖面，於本實施形態中，定義為X-Y平面之投影面。縮限流道22之流道剖面係遍及塗布液之流動方向(上下方向)全長為一定，又，噴出狹縫21之流道剖面亦遍及流動方向(上下方向)全長為一定。於本實施形態中，縮限流道22與噴出狹縫21係X方向及Y方向之尺寸為相同，且流道剖面為相同。由於縮限流道22亦為與噴出狹縫21相同之狹縫，故可以說本實施形態之塗布器3為二段歧管及二段歧管構造。

且，自縮限流道22與下側歧管12之邊界40向下游側，流道剖面擴大(急遽擴大)。即，邊界40係指流道剖面擴大(急遽擴大)之位置。因此，邊界40不僅為縮限流道22之平面狀之壁面23與下側歧管12之圓弧狀之壁面24之於Y方向上延伸之邊界線，包含該邊界線之流道剖面之區域亦包含於邊界40。

又，若自塗布液之流動方向之反向觀察，則自縮限流道22與上側歧管11之邊界39向上游側，流道剖面擴大(急遽擴大)，自噴出狹縫21與下側歧管12之邊界41向上游側，流道剖面擴大(急遽擴大)。

又，該塗布器3係於每個歧管具有通氣孔，於本實施形態中，具有上側歧管11用之第1通氣孔31、與下側歧管12用之第2通氣孔32。

如圖2所示，第1通氣孔31包含形成於塗布器3之貫通孔，與上側歧管11之上部連接。第1通氣孔31係與配管36連接，於該配管36設置有閥37。藉由打開該閥37，可將存在於上側歧管11之上部之空氣通過第1通氣孔31自塗布器3排出。另，該空氣係與上側歧管11內之塗布液之一部分一併排出。如圖3所示，第1通氣孔31係分別設置於上側歧管11之Y方向兩側部。使第1通氣孔31之開口部之上端與上側歧管11之上端一致，且第1通氣孔31係於上側歧管11開口，而容易沿著上側歧管11之上表面排出所儲存之空氣。

如圖2所示，第2通氣孔32包含形成於塗布器3之貫通孔，與下側歧管12之上部(或縮限流道22之下部)連接。第2通氣孔32係與配管56連接，於該配管56設置有閥57。藉由打開該閥57，可將存在於下側歧管12之上部之空氣通過第2通氣孔32自塗布器3排出。另，該空氣係與下側歧管12內之塗布液之一部分一併排出。如圖3所示，第2通氣孔32係於下側歧管12之Y方向中央部設置有一個。

第1通氣孔31及第2通氣孔32各者之孔中心線雖可為水平，但於自各個通氣孔31、32排出空氣時，為了活用空氣之浮力而可排出空 氣，亦可具有以朝向塗布器3之外部側且向上之方式傾斜之成分。

又，如圖3所示，下側歧管12係於其上表面側，具有高度隨著朝向Y方向而產生變化之傾斜面13。於本實施形態中，於Y方向之兩側具有隨著朝向中央而變高之傾斜面13。且，第2通氣孔32係於該傾斜面13之上端開口。

圖4(A)係顯示第2通氣孔32及其周圍之放大剖面圖。如該圖4(A)所示，於本實施形態中，構成縮限流道22之平面狀之壁面47、及構成下側歧管12之平面狀之壁面48各者係包含形成於塗布器3內之一個平面狀之共通壁面49之一部分。又，構成上側歧管11之平面狀之壁面46亦包含上述共通壁面49之一部分。

又，如圖3所示，上側歧管11、下側歧管12及縮限流道22係Y方向尺寸為相同，且該等側壁面51亦共通。另，側壁面51係位於Y方向兩側之塗布器3內之端面。

〔第2通氣孔32(其一)〕

縮限流道22之流道剖面雖沿著塗布液之流動方向(上下方向)為一定，但自其與下側歧管12之邊界40，於下側歧管12中流道剖面急遽擴大(參照圖4(A))。且，第2通氣孔32係於包含該邊界40之位置開口。即，第2通氣孔32係以包含邊界40之方式開口。尤其於圖4(A)所示之形態中，通氣孔32之開口部32a之上端32a1與邊界40一致。因此，第2通氣孔32之開口部32a之上端32a1與下側歧管12之上端一致。該第2通氣孔32係於構成下側歧管12之圓弧狀之壁面24開口之孔。如此，第2通氣孔32係於下側歧管12內開口，而容易沿著下側歧管12之上表面排出所儲存之空氣。

又，作為變化例，如圖4(B)所示，亦可以使第2通氣孔32之開口部32a跨過邊界40之方式，形成第2通氣孔32。該第2通氣孔32係於上述圓弧狀之壁面24、及構成縮限流道22之平面狀之壁面23開口之孔。 再者，作為另一變化例，如圖4(C)所示，亦可以使通氣孔32之開口部32a之下端32a2與邊界40一致之方式，形成第2通氣孔32。該第2通氣孔32係於上述平面狀之壁面23開口之孔。如此，於圖4(B)及圖4(C)所示之形態中，亦使第2通氣孔32於包含邊界40之位置開口。即，第2通氣孔32係以包含邊界40之方式開口。又，圖4(A)~(C)各者所示之第2通氣孔32係朝向X方向於包含邊界40之區域A開口之孔。

〔第2通氣孔32(其二)〕

圖5(A)顯示圖4(A)所示之第2通氣孔32之變化例。圖5(A)所示之第2通氣孔32係於下側歧管12之上緣部27開口。具體而言，第2通氣孔32係於構成下側歧管12之圓弧狀之壁面24之上部開口。另，所謂上述上緣部27係較上述邊界40更靠向下游側之部分，且係形成有第2通氣孔32之Y方向位置之下側歧管12之Z方向之尺寸(總高度)之10%以內之範圍。因此，只要於該範圍以內存在第2通氣孔32之開口部32a之至少一部分即可，於本實施形態中，第2通氣孔32之開口部32a之下端32a2位於該範圍以內。

圖5(B)係下側歧管12之形狀與上述各形態不同之情形時之放大剖面圖。圖5(B)所示之下側歧管12係於其上緣部27具有傾斜面25。該傾斜面25包含與圓弧狀之壁面24連接之平面。因此，邊界40成為包含該傾斜面25與縮限流道22之平面狀之壁面23之邊界線之部分。且，第2通氣孔32係於該傾斜面25開口。

由以上可知，圖5(A)(B)所示之第2通氣孔32係於下側歧管12之上緣部27中不包含邊界40之位置開口。

〔第2通氣孔32(其三)〕

圖5(C)係顯示第2通氣孔32及其周圍之放大剖面圖，且顯示圖4所示之第2通氣孔32之變化例。圖5(C)所示之第2通氣孔32係於縮限流道22之下游側端部45開口。另，所謂該下游側端部45係較邊界40更靠向 上游側之部分，且係形成有第2通氣孔32之Y方向位置之縮限流道22之Z方向之尺寸(總高度)之10%以內之範圍。因此，只要於該範圍內存在第2通氣孔32之開口部32a之至少一部分即可，於本實施形態中，第2通氣孔32之開口部32a之上端32a1位於該範圍以內。該第2通氣孔32係於平面狀之壁面23之一部分中不包含邊界40之位置開口。

〔第2通氣孔32(其四)〕

圖6(A)顯示圖4所示之第2通氣孔32之變化例。圖6(A)所示之第2通氣孔32係於上述共通壁面49中包含邊界40之位置開口。又，作為進而另一變化例，如圖6(B)所示，第2通氣孔32亦可於上述側壁面51中包含邊界40之位置開口。

又，雖未圖示，但作為圖5(A)(B)各者所示之形態之變化例，第2通氣孔32亦可於共通壁面49或側壁面51且為下側歧管12之上緣部27開口。再者，作為圖5(C)所示之形態之變化例，第2通氣孔32亦可於共通壁面49或側壁面51且為縮限流道22之下游側端部45開口。

〔關於各實施形態之塗布器3〕

以上之上述各實施形態之塗布器3由於具有複數個(二個)歧管11、12、及連接其等之縮限流道22，故以歧管11、12各者使塗布液於Y方向上均一分散，因此使塗布液之噴出狀態(噴出流量)遍及噴出狹縫21之Y方向全長而均一化，而可提高基板W之表面之塗膜厚之精度。

且，存在於上側歧管11之空氣雖藉由浮力聚集於其上部，但由於第1通氣孔31係於上側歧管11之上部開口，故可將該空氣通過第1通氣孔31向外部排出。

又，存在於下側歧管12之空氣亦藉由浮力聚集於其上部。此種空氣雖藉由浮力欲進而通過於其上方(即上游側)連接之縮限流道22移動至上側歧管11，但若縮限流道22之流道較窄，則空氣無法通過縮限 流道22而持續滯留，故難以藉由設置於上側歧管11之第1通氣孔31排出。但，於上述各實施形態之塗布器3中，第2通氣孔32(參照例如圖4(A))係於包含縮限流道22與在其下游側連接於該縮限流道22之下側歧管12之邊界40之區域A開口。即，於形成有第2通氣孔32之Y方向位置，以邊界40為中心，自下側歧管12之Z方向之尺寸(總高度)之10%以內之範圍至縮限流道22之Z方向之尺寸(總高度)之10%以內之範圍之區域係包含邊界40之區域A，第2通氣孔32於該區域A開口。即，只要於該區域A(上述上下10%之範圍)以內存在第2通氣孔32之開口部32a之至少一部分即可。

由於如此般第2通氣孔32於上述區域A開口，故可將存在於下側歧管12之上部之空氣通過第2通氣孔32迅速排出。如此，藉由於所有歧管各者設置通氣孔，可自所有歧管向塗布器3之外部迅速排出空氣。

另，所謂於包含邊界40之「區域A」開口之第2通氣孔32係於上述上下之10%之範圍內之區域，開口部32a之至少一部分開口之通氣孔32。另，於第2通氣孔32於包含該邊界40之「區域A」開口之形態中，包含第2通氣孔32之開口部32a包含邊界40之情形(圖4(A)~(C)之情形、及圖6(A)(B)之情形)、與不包含邊界40之情形(圖5(A)~(C)之情形)。

又，所謂第2通氣孔32於包含邊界40之「位置」開口之形態係第2通氣孔32之開口部32a包含邊界40之情形(圖4(A)~(C)之情形、及圖6(A)(B)之情形)。

此處，比較圖4(A)(B)及圖5(A)(B)所示之第2通氣孔32與圖6(B)所示之第2通氣孔32。

圖6(B)所示之第2通氣孔32係向側壁面51且Y方向開口之孔。該情形時，於自縮限流道22流出之塗布液之流速較大之條件下，使存在 於下側歧管12之上部之空氣侵入至該第2通氣孔32之功能係藉由通過縮限流道22之塗布液之流動受到阻礙，而有降低之可能性。其理由在於，在圖6(B)所示之第2通氣孔32之開口部之正面，由於來自縮限流道22之塗布液通過，故可認為空氣不易聚集於該正面之部分。即，可認為聚集於下側歧管12之空氣主要聚集於下側歧管12之壁面24中之上緣部27。另，於圖6(A)所示之形態中，亦同樣地，於塗布液之流速較大之條件下，有使空氣侵入至第2通氣孔32之功能下降之可能性。

相對於此，圖4(A)(B)及圖5(A)(B)所示之各第2通氣孔32之情形時，該第2通氣孔32係於下側歧管12之壁面24中之上緣部27於X方向開口。因此，成為如下構成：即便自縮限流道22流出之塗布液之流速較大，關於藉由該第2通氣孔32進行之空氣之引入，亦不易受到通過縮限流道22之塗布液之流動之影響。因此，可使存在於下側歧管12之上部之空氣有效地向通氣孔32侵入。

另，關於圖6(A)(B)、圖4(C)、及圖5(C)所示之各形態，來自縮限流道22之塗布液之流速較慢之情形時，可使存在於下側歧管12之上部之空氣向通氣孔32有效地侵入。

由以上可知，由於根據具備此種各實施形態之塗布器3之塗布裝置1，可迅速排出歧管11、12內之空氣，故可防止產生如先前之於塗布作業開始時，因殘存於歧管之空氣而於塗布壓力之上升產生延遲，使塗布開始部分之膜厚變薄之不佳狀況，又，可防止產生殘存之空氣自噴出狹縫之下端(前端)即噴出口噴出至基板所引起之氣孔或縱條紋等塗布缺陷。

〔關於各實施形態之塗布器3之空氣排出功能〕

圖7係說明於塗布器3初始填充塗布液時之排出空氣之功能之說明圖。此處雖以具有圖4(A)所示之第2通氣孔32之塗布器3之情形為代表進行說明，但其排出方法於其他形態之塗布器3中亦為相同。

圖7(A)顯示塗布器3之內部為空之狀態。當自中央之流入口18(孔19)向上側歧管11供給塗布液時，如圖7(B)所示，塗布液於該上側歧管11內主要流向Y方向兩側，空氣a聚集於Y方向兩側之上部。另，於圖7中，藉由網狀線表示塗布液之區域。

如圖7(C)所示，自上側歧管11之全幅通過縮限流道22向下側歧管12供給塗布液，於下側歧管12中，自其底部儲存塗布液，空氣a聚集於中央上部。

又，如圖7(D)所示，自噴出狹縫21之全幅噴出塗布液。

然後，一面自流入口18(孔19)向上側歧管11供給塗布液，一面打開圖2所示之閥37、57，藉此，如圖7(E)所示，上側歧管11及下側歧管12之空氣a係通過第1通氣孔31及第2通氣孔32而與塗布液之一部分一併向外部排出。另，雖亦可同時打開閥37、57，而同時排出上側歧管11與下側歧管12之空氣a，但自流入口18(孔19)向上側歧管11供給之塗布液之液體輸送量及液體輸送速度為一定之情形時，由於有時因自各通氣孔31、32排出之塗布液之流速下降而難以排出上側歧管11與下側歧管12之空氣a，故較佳為當僅將一者之閥設為開狀態，將另一者之閥設為閉狀態，而自該一者之歧管排出空氣時，將另一者之閥自閉狀態設為開狀態，將一者之閥自開狀態設為閉狀態，而自另一者之歧管排出空氣。

圖8係說明在於塗布器3填充有塗布液之狀態下空氣混入至塗布液，而排出該空氣之功能之說明圖。如圖8(A)所示，處於在塗布器3內填充有塗布液之狀態，於該塗布液中殘存有空氣。另，於圖8中，藉由網狀線表示塗布液之區域。例如，於上側歧管11，自流入口18(孔19)侵入空氣，於下側歧管12，自噴出狹縫21侵入空氣。

如圖8(B)所示，一面自流入口18(孔19)向上側歧管11供給塗布液，一面打開圖2所示之閥37，藉此自第1通氣孔31將上側歧管11之空 氣與塗布液之一部分一併排出。然後，關閉閥37，打開閥57，藉此自第2通氣孔32將下側歧管12之空氣與塗布液之一部分一併排出。

另，與塗布液之初始填充時相同，雖亦可同時打開閥37、57，而同時排出上側歧管11與下側歧管12之空氣a，但自流入口18(孔19)向上側歧管11供給之塗布液之液體輸送量及液體輸送速度為一定之情形時，由於有時因自各通氣孔31、32排出之塗布液之流速下降而難以排出上側歧管11與下側歧管12之空氣a，故較佳為個別排出上側歧管11與下側歧管12之空氣a。

又，於圖8中雖已說明於上側歧管11與下側歧管12同時混入有空氣之情形時之排出空氣之功能，但於上側歧管11或下側歧管12之任一者混入有空氣之情形時，只要僅進行混入有空氣之任一者之歧管之空氣排出動作即可，藉此，可實現空氣排出時間之縮短或空氣排出所需之塗布液之省液。

又，如圖7及圖8所示，於上側歧管11，第1通氣孔31設置於Y方向兩側。因此，成為如下構成：空氣a順應自Y方向之中央之孔19流入之塗布液之流動，而容易將該空氣a自Y方向兩側之第1通氣孔31排出。

且，如上述般，下側歧管12具有隨著朝向中央而變高之傾斜面13，第2通氣孔32係於該傾斜面13之上端開口。藉此，成為如下構成：由於下側歧管12之塗布液中之空氣沿著傾斜面13向上方位置之一部位自動聚集，故容易將該聚集之空氣自第2通氣孔32排出。

另，第2通氣孔32之Y方向位置並非限定者。即，由於下側歧管12係自縮限流道22之全幅供給塗布液，故第2通氣孔32之Y方向位置係尤其變更自由，又，其數量亦變更自由。但，為了減少構成用於排出空氣之流道之配管56或閥57(參照圖2)，即為了簡化塗布器3之構成，第2通氣孔32較佳為一個，且較佳為設置於中央。

此次揭示之實施形態係以所有點為例示而並非限制性者。本發明之權利範圍並不限定於上述實施形態，包含與申請專利範圍所記載之構成均等之範圍內之所有變更。

例如，歧管只要為複數個即可，亦可為3個以上。即，只要具有至少包含與流入口18連接之上側歧管11、及與噴出狹縫21連接之下側歧管12之複數個歧管即可，塗布器3只要為多段歧管構造即可。即便為該情形，亦採用下游側之歧管位於較其上游側之歧管更下方之構成。且，於各段歧管設置通氣孔，尤其只要將於自上而下第2段以下之歧管開口之第2通氣孔32設為上述各構成即可。另，歧管為N個之情形時，縮限流道為N-1個。

又，於上述實施形態中，如圖2所示，雖已對沿著鉛直方向配置上下之歧管11、12之情形進行說明，但亦可使塗布器3傾斜。另，即便為該情形，自流入口18至噴出狹縫21之塗布液之流動方向亦成為自較高之位置朝向較低之位置之方向，噴出狹縫21之下端(前端)位於較基板W上之塗布液之著地位置更上方。又，如此般使塗布器3傾斜之情形時，於上述Z方向上，亦以相同角度傾斜。

又，雖以玻璃板等之基板W說明塗布塗布液之對象(被塗布構件)，但被塗布構件亦可為其以外。

再者，於上述實施形態中，雖已對藉由使塗布器3相對於處於固定狀態之載物台2(參照圖1)移動而進行塗布動作之情形進行說明，但亦可與此相反，為以藉由使載置有基板W之載物台2相對於處於固定狀態之塗布器3移動而進行塗布動作之方式構成之塗布裝置。

又，歧管之橫剖面形狀除了半圓形以外，亦可為圓形、多邊形、組合有1/4圓與直角三角形者等任意形狀。

2‧‧‧載物台

3‧‧‧塗布器

3a‧‧‧口型板

11‧‧‧上側歧管

12‧‧‧下側歧管

17‧‧‧配管

18‧‧‧流入口

19‧‧‧孔

21‧‧‧噴出狹縫

21a‧‧‧噴出口

22‧‧‧縮限流道

23‧‧‧壁面

24‧‧‧壁面

31‧‧‧第1通氣孔

32‧‧‧第2通氣孔

36‧‧‧配管

37‧‧‧閥

39‧‧‧邊界

40‧‧‧邊界

41‧‧‧邊界

56‧‧‧配管

57‧‧‧閥

A‧‧‧區域

M‧‧‧薄膜(塗膜)

W‧‧‧基板(被塗布構件)

X‧‧‧方向

Claims (6)

1. 一種塗布器，其特徵在於：其係包含流入塗布液之流入口、與形成為於一方向上較長且於其正交方向上較窄並噴出塗布液之噴出狹縫者，且進而包含：複數個歧管，其等至少包含與上述流入口連接之上側之歧管、及與上述噴出狹縫連接之下側之歧管，且於上述一方向上形成為較長；縮限流道，其連接該等複數個歧管之間且於上述一方向上較長，且藉由於其正交方向上縮限而形成為較窄；及通氣孔，其係於包含上述縮限流道與在其下游側連接於該縮限流道之上述歧管之邊界之區域開口。
2. 如請求項1之塗布器，其中上述通氣孔係於包含上述邊界之位置開口。
3. 如請求項1之塗布器，其中上述通氣孔係於在其下游側連接於上述縮限流道之上述歧管之上緣部開口。
4. 如請求項1之塗布器，其中上述通氣孔係於上述縮限流道之下游側端部開口。
5. 如請求項1至4中任一項之塗布器，其中上述通氣孔係於包含上述邊界之區域向與上述一方向交叉之方向開口之孔。
6. 一種塗布裝置，其特徵在於包含：載物台，其載置被塗布構件；塗布器，其係對該被塗布構件噴出塗布液；儲液部，其儲存塗布液；液體輸送機構，其係將該儲液部之塗布液輸送至上述塗布器；及驅動機構，其係使上述載物台上之上述被塗布構件與上述塗布器之內之一者相對於另一者移動；且上述塗布器係如請求項1至5中任一項之塗布器。