JP6188525B2 - 塗布装置 - Google Patents
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前記タンクから供給された前記塗布液を昇温させる昇温工程と、この昇温させた塗布液を前記スリットから吐出する前に、当該塗布液を濾過する濾過工程と、前記濾過工程において濾過された前記塗布液を再加熱する再加熱工程と、を有することを特徴としている。
〔塗布装置の構成について〕
図1は、本発明の塗布装置1の実施の一形態を示す概略図である。この塗布装置1は、ガラス等の基板Wを載置可能なステージ2と、スリット21が内部に形成されている口金3と、ステージ2上の基板Wに対する口金3の水平移動(X方向移動)と垂直移動(Z方向移動)とを独立して自在に行わせる駆動装置4とを備えている。また、この塗布装置1は、液供給部として、塗布液を溜めるタンク9と、タンク9内の塗布液を口金3へ供給するためのポンプ8等からなる送液手段とを更に備えている。ポンプ8と口金3との間には、塗布液の流路を構成する配管17が設置されている。
Claims (4)
- 塗布液を溜めるタンクと、このタンクから供給された塗布液を吐出するスリットが形成されている口金と、を備え、当該スリットから塗布液を吐出することにより基板に対して塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記タンクから供給された前記塗布液を昇温させる昇温部と、
前記口金と前記昇温部との間に設けられ、当該塗布液を濾過する濾過部と、
を備え、
前記口金は、前記濾過部において濾過された前記塗布液を再加熱する再加熱部を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記濾過部は、塗布液を濾過する濾過部材と、当該濾過部材を保持する濾過部本体とを有し、前記濾過部材は前記濾過部本体から着脱自在に装着されていることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記濾過部は、その鉛直方向の上面に脱気機構が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布装置。
- タンクから供給された塗布液を吐出するスリットが形成されている口金を備えた塗布装置によって行われ、当該スリットから塗布液を吐出することにより基板に対して塗布液を塗布する塗布方法であって、
前記タンクから供給された前記塗布液を昇温させる昇温工程と、この昇温させた塗布液を前記スリットから吐出する前に、当該塗布液を濾過する濾過工程と、前記濾過工程において濾過された前記塗布液を再加熱する再加熱工程と、を有することを特徴とする塗布方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3437446B2 (ja) * | 1997-09-16 | 2003-08-18 | 東京応化工業株式会社 | 薬液処理装置 |
JP2002192056A (ja) * | 2001-10-01 | 2002-07-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法及び装置 |
JP2003225603A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Hirata Corp | 液体塗布装置 |
JP4092358B2 (ja) * | 2006-04-24 | 2008-05-28 | 株式会社ワールドケミカル | 自吸式濾過装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2015073925A (ja) | 2015-04-20 |
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