JP2020110802A - インプリント装置および液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 吐出口面上の付着物をより容易に除去できる液体吐出装置を提供する。【解決手段】 液体を吐出する複数の吐出口が第１方向に沿って配された吐出口列が、第１方向と交差する第２方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、吐出口面を吸引するための吸引口と、液体を収容しヘッドと連通する第１室と作動液を収容する第２室とに可撓部材によって仕切られたタンクと、ヘッドの圧力を調整する圧力調整部と、吸引口を吐出口面から離間した状態で第２方向に搬送する搬送手段と、を備えるインプリント装置であって、吸引口は、第２方向に設けられた複数の吐出口列の中の吐出口列を通過するときに、当該吐出口列よりも上流の吐出口列に含まれる複数の吐出口が通過した部位と異なる部位で当該吐出口列に含まれる複数の吐出口を吸引するように搬送手段で搬送されることを特徴とする。【選択図】 図１

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えたインプリント装置および液体吐出装置に関する。

液体を吐出する吐出口（以下、「ノズル」と称す）を有する液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称す）を備えた液体吐出装置が知られている。このような液体吐出装置は、近年、多様な分野で利用されており、例えば、インクジェット記録装置などに利用されている。

一方、液体吐出装置の液体吐出ヘッドの吐出特性を維持するために、ノズルが形成されたノズル面に付着した付着物（液体または残留物などの異物）を除去（クリーニング）する必要がある。例えば、特許文献１（図９を参照する）には、空気吹出ノズル２０４を用いて、インクジェットヘッド２０１のノズル２０２が形成されたノズル面２０３に付着した付着物を除去する構成が開示されている。

具体的には、特許文献１では、移動方向に沿って移動する空気吹出ノズル２０４からノズル面２０３に空気を吹き当てることによって、ノズル面２０３に付着された付着物が移動（除去）される。なお、空気吹出ノズル２０４によって移動された付着物が、さらにノズル面２０３から離れて設けられた空気吸引ノズル２０５により回収される。

なお、ノズルはノズル面において列状に並べて配置される場合が多い。例えば、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、ノズル面２０３において、複数のノズルが第１列２０２ａ、第２列２０２ｂのように第１方向に沿って並べて配置される。ノズル面２０３をクリーニングする際、空気吹きノズル２０４が第１方向に沿って移動しながら空気を吹き出して異物３０（ａ、ｂ）を除去する。

特開２００４−１７４８４５号公報

上記のようなクリーニング動作を行う際、空気吹きノズル２０４が第１方向に沿って左から右へ移動すると、空気吹きノズル２０４が二つ以上のノズル２０２を通過することになる。従って、移動方向の上流側のノズル２０２において発生した異物３０ａが空気吹きノズル２０４によって下流側へ移動されても、再び下流側のノズル２０２に進入してしまうことがある。即ち、上流側のノズルにおいて発生した異物が、クリーニング動作によって下流側のノズルを汚染させてしまう可能性がある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、効率的に吐出口面上の付着物を除去できる液体吐出装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のインプリント装置は、液体を吐出する複数の吐出口が第１方向に沿って配された吐出口列が、前記第１方向と交差する第２方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、前記吐出口面を吸引するための吸引口と、前記ヘッドを下部に配置し、液体を収容し前記ヘッドと連通する第１室と作動液を収容する第２室とに可撓部材によって仕切られたタンクと、前記タンクの前記第２室と連通して作動液によって前記ヘッドの圧力を調整する圧力調整部と、前記吸引口を、前記吐出口面から離間した状態で前記第２方向に搬送する搬送手段と、前記圧力調整部によって圧力を調整された前記ヘッドから液体が吐出された基板にモールドを当接させて当該モールドの凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、前記吸引口は、前記第２方向に設けられた複数の吐出口列の中の吐出口列を通過するときに、当該吐出口列よりも上流の吐出口列に含まれる複数の吐出口が通過した部位と異なる部位で当該吐出口列に含まれる複数の吐出口を吸引するように前記搬送手段で搬送されることを特徴とする。

本発明によれば、効率的に吐出口面上の付着物を除去することができる。

本発明の第１実施例に係る液体吐出装置の概念図 第１実施例の液体吐出装置の変形例を示す概念図 第１実施例の液体吐出装置の液体吐出動作時の状態を示す概念図 第１実施例の液体吐出口装置の吐出口面の概念図 第１実施例の吐出口の配置と吸引口の移動方向の関係を示す概念図 本発明の第２実施例に係る液体吐出装置の吐出口の配置と吸引口の移動方向の関係を示す概念図 本発明の第３実施例に係る液体吐出装置の吐出口の配置と吸引口の移動方向の関係を示す概念図 本発明の第４実施例に係るインプリント装置の概念図 従来技術のインクジェットヘッドのクリーニング装置の説明図 （ａ）〜（ｃ）従来技術のクリーニング動作の説明図

［第１実施例］
以下、図１〜図５を参照して本発明の第１実施例について説明する。なお、本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を本発明の液体吐出装置の一例として説明する。また、本実施例の吐出装置に使用される「インク」は、本発明の液体吐出装置に使用される「液体」を構成する一例である。

図１は、本実施例の吐出装置（液体吐出装置）の概念図である。

図１に示すように、本実施例では、吐出装置１００は主に、インク（液体）を吐出するヘッド１と、インクを収容する第１タンク２と、圧力調整部８０とを備えている。また、吐出装置１００は、記録媒体９１を搬送する搬送手段９２や、搬送手段９２を支持する支持部９３などを備えている。なお、記録媒体９１は、吸着手段（図示しない）によって搬送手段９２に吸着して保持される。

なお、本実施例では、ヘッド１、搬送手段９２、吸着手段および圧力調整部８０などの機構が制御手段８４（図３を参照）によって制御されている。制御手段は、例えばＣＰＵなどで構成することができる。

第１タンク２は、ほぼ密閉した状態の直方体状の筐体２０を備え、筐体２０の底部にはヘッド１が取り付けられている。第１タンク２には大気連通口が設けられていない。なお、ヘッド１は、筐体２０の底面において、吐出口１０１が形成された吐出口面１０を備えている。

筐体２０の内部には、可撓性を有する可撓性膜２３（可撓部）が鉛直方向に設けられており、第１タンク２の内部空間が可撓性膜２３によって第１室２１と第２室２２に仕切られる。第１室２１は、筐体２０の底部に設けられたヘッド１の内部と連通しており、ヘッド１へ供給されるインクを収容している。一方、第２室２２は、圧力調整部８０と連通しており、作動液を収容している。

圧力調整部８０は、作動液バッファ部８１と、連通流路８２と、ポンプ８３とを備えている。作動液バッファ部８１は、連通流路８２を通じて第２室２２に連通されている。

また、圧力調整部８０は、作動液バッファ部８１内の圧力を検知する圧力センサ（図示しない）を備えている。連通流路８２には、流路を開状態と閉状態とに切り替え可能な開閉弁が設けられている。

なお、本実施例では、第１室２１はインクで満たされており、第２室２２は作動液で満たされている。また、作動液バッファ部８１および連通流路８２にも、作動液で満たされている。従って、作動液バッファ部８１とヘッド１は互いに圧力伝達可能なように構成されている。このため、圧力センサを用いて作動液バッファ部８１内の圧力を検知することによってヘッド１内の圧力情報を得ることができる。

ポンプ８３は、作動液バッファ部８１に設けられており、ポンプ８３を作動させることにより、作動液バッファ部８１内の圧力を調整することができる。即ち、圧力調整部８０（ポンプ８３）は加圧または減圧することにより、ヘッド１内の圧力を自由に制御することができる。なお、ポンプ８３を駆動する駆動機構（図示しない）は制御手段によって制御される。

また、圧力調整部８０は、第２室２２へ作動液を供給する作動液供給部（図示しない）を備えてもよい。即ち、記録動作を行う際、ヘッド１からインクの吐出によって第１タンク２（第１室２１）内のインクが消費されると、第１室２１のインクの体積が減少する。これに伴い可撓性膜２３が変形し、第２室２２の容積が増加する。作動液供給部によって、第２室２２へ作動液が供給（補充）することによって、系統内の圧力をより安定的に維持することができる。

なお、本実施例では、第２室２２内の作動液として、第１室２１内のインクとほぼ同じ密度の液体を採用している。作動液とインク（吐出される液体）はほぼ同じ密度であるため、ヘッド１内の圧力をより安定的に制御することができる。また、作動液は、非圧縮性を有する物質であり、例えば、水等の液体や、ゲル状物質を作動液として用いることができる。

本実施例では、クリーニング手段７は、吐出装置１００の吐出性能を維持（回復）するために、ヘッド１の吐出口面１０をクリーニングする機構である。

具体的には、図１に示すように、クリーニング手段７は、吸引ノズル７１（吸引口）、吸引ファン７２（圧力制御手段）および液体受け部７３を備えている。また、クリーニング手段７は、さらに、吸引ノズル７１を搬送する搬送手段７０と、搬送手段７０を支持する支持部９３Ａとを備えている。

なお、搬送手段７０は、制御手段によって制御されている。また、吸引ノズル７１内（吸引口内）の圧力は、吸引ファン７２によって制御されている。吸引ノズル７１内における圧力は、例えば、−０．０５ｋＰａから−０．５ｋＰａの範囲内に設定してもよい。

本実施例では、吸引ノズル７１は鉛直方向に配置されている。また、吸引ノズル７１は、吐出口面１０を吸引する吸引動作を行う際、吸引ノズル７１の開口面７１１とヘッド１の吐出口面１０の間に所定の間隔を有するように配置されている。なお、この所定の間隔は、例えば０．１〜１．０ｍｍの範囲内にすることができる。

搬送手段７０によって吸引ノズル７１が吐出口面１０に沿って移動することができる。従って、吸引ノズル７１は、移動しつつ吐出口面１０上の液体や付着物などを吸引（除去）することができる。なお、吸引ノズル７１の移動速度は、例えば１ｍｍ／秒から１０ｍｍ／秒の範囲内に設定してもよい。

なお、図２は、本実施例の吐出装置のクリーニング手段７の変形例を示す。

図２に示すように、クリーニング手段７は、さらに圧縮空気を吹き出す吹出ノズル７４（吹出口）および吹出ファン７５（圧力制御手段）を備えてもよい。なお、吹出ノズル７４は、吸引ノズル７１の近傍に配置することが好ましい。吹出ファン７５によって、吹出ノズル７４内（吹出口内）の圧力が制御される。

例えば、吸引動作時の吸引ノズル７１の移動方向の後方となるように、吸引ノズル７１の近傍に吹出ノズル７４を配置してもよい。また、吹出ノズル７４の開口面７４１を、吸引ノズル７１側に向けて傾斜するように設けてもよい。これにより、吐出口面１０とインクの液滴の接触角を高めることができ、より容易に吐出口面１０上の付着物を移動させて除去することができる。

また、吹出ノズル７４内における圧力は、例えば、＋０．０１ｋＰａから＋０．５ｋＰａの範囲内に設定してもよい。

図３は、本実施例の吐出装置の記録動作（インク吐出動作）時の状態を示す。図３に示すように、制御手段８４（ＣＰＵ）によって圧力調整部８０が制御されている。これより、記録動作時にヘッド１内に安定した負圧状態が維持される。

また、ヘッド１によって記録媒体９１にインク（液体）が吐出されて記録動作が行われる。なお、本実施例では、第１タンク２に異常検知手段８３が設けられており、吐出装置１００の異常を検知することができる。

以下、図４および図５を用いて、吐出口面における吐出口の配置と、吸引ノズル７１の移動方向との関係について説明する。

まず、図４は、本実施例の吐出装置の吐出口面１０を示す概念図である。なお、図４には、図３に示す矢印方向Ａから見た吐出口面１０の状態が示されている。

そして、図５は、本実施例の吐出口１０１の配置と吸引ノズル７１の移動方向の関係を示す概念図である。

図５に示すように、吐出口面１０には、インク（液体）を吐出する複数の吐出口１０１が第１方向（Ｘ）に沿って配されてなる吐出口列（１０１ｃ、１０１ａ，１０１ｄ、１０１ｂ）が設けられている。即ち、吐出口面１０において、４つの吐出口列（１０１ｃ、１０１ａ，１０１ｄ、１０１ｂを構成する複数の吐出口１０１が千鳥状に配置されている。なお、本実施例では、同じ列にある吐出口が同間隔で配置されており、各吐出口列の間も同間隔である。

具体的には、吐出口面１０において、第１方向（Ｘ）に沿って複数個の吐出口１０１が並べてなる吐出口列が、さらに第１方向の直交方向（Ｙ）に沿って、第１列１０１ｃ、第２列１０１ａ、第３列１０１ｄ、第４列１０１ｂの順に配列される。即ち、吐出口面１０において、吐出口列（１０１ｃ、１０１ａ、１０１ｄ、１０１ｂ）が複数配置されている。

なお、図５に示すように、直交方向（Ｙ）（即ち後述する第２方向）に見たときに、第１〜第４列に含まれる吐出口１０１は重複しない位置に設けられている。

本実施例では、搬送手段７０によって、吸引ノズル７１は、第１方向（Ｘ）と直交する方向（Ｙ）である第２方向に移動する。即ち、吸引ノズル７１は、第２方向に沿って移動し、第１列１０１ｃ、第２列１０１ａ、第３列１０１ｄおよび第４列１０１ｂを順に吸引動作を行う。

また、図５から理解できるように、吸引ノズル７１における第１列１０１ｃに含まれる吐出口（ｃ）を通過する部位と、第２列１０１ａに含まれる吐出口（ａ）を通過する部位とは異なる。

即ち、吸引ノズル７１における第１列１０１ｃに含まれる吐出口（ｃ）を通過した部位は、第２列１０１ａに含まれる吐出口（ａ）が配置されていない位置を通過する。

また、吸引ノズル７１における第１列１０１ｃおよび第２列１０１ａに含まれる吐出口（ｃ、ａ）を通過した部位は、さらに第３列１０１ｄに含まれる吐出口（ｄ）が配置されていない位置を通過する。

そして、吸引ノズル７１における第１列１０１ｃ、第２列１０１ａおよび第３列１０１ｄに含まれる吐出口（ｃ、ａ、ｄ）を通過した部位は、第４列１０１ｂに含まれる吐出口（ｂ）が配置されていない位置を通過する。

このように、第２方向に見たときに、第１〜第４列に含まれる吐出口１０１は重複しない位置に設けられているため、吸引ノズル７１の同じ部位は、２つ以上の吐出口を通過することはない。従って、上流側吐出口において発生する付着物が下流側吐出口を汚染することもない。よって、効率的に吐出口面をクリーニングすることができる。

なお、本実施例では、吸引ノズル７１の移動方向である第２方向を、第１方向と直交する方向に設定したが、必ずしも直交方向である必要はない。即ち、第１列１０１ｃの任意の吐出口１０１を通過した吸引ノズル７１の所定の部位が第２列１０１ａ〜第４列１０１ｂの任意の吐出口１０１を通過しない限り、第２方向は第１方向（Ｘ）の直交方向（Ｙ）に対して所定の角度を持って設定してもよい。なお、この所定の角度は、同じ吐出口列内に隣接する吐出口どうし間の距離や隣接する吐出口列どうし間の距離などに基づき算出することができる。

また、本実施例では、吸引ノズル７１の長さ（開口幅）は、吐出口列の長さ以上に設定されている。これにより、搬送手段７０の一回の移動動作によって、吸引ノズル７１が吐出口面１０をクリーニングすることができる。なお、吸引ノズル７１の長さが吐出口列の長さ未満の場合、複数回の移動動作によって、吐出口面１０をクリーニングすることもできる。

このように、制御手段８４は、吸引ノズル７１を吐出口面１０から離間した状態で、第１方向と交差する第２方向に移動させることによって、吐出口面１０上のインクなどの付着物を除去することができる。

なお、本実施例では、クリーニング動作（吸引動作）を行う前に、ヘッド内の圧力を吐出動作時の圧力（負圧）よりも正圧の方向へ変更してもよい。これにより、吐出口面１０におけるインクのメニスカスの状態を「凹状」から「凸状」へ変更することができる。こ従って、クリーニング動作（吸引動作）を行う際に、吐出口１０１の内部に付着物の進入がさらに軽減され、より効果的に付着物を除去することができる。

また、本実施例では、第１タンク２内（第１室２１および第２室２２）が密度の近いインクと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制され、ヘッド１内が安定した負圧状態に維持される。

また、本実施例では、可撓性膜２３は、筐体の上面、下面および側面と接続することにより筐体を第１室２１、第２室２２に仕切って形成する例を説明したが、他の配置形態も可能である。例えば、インクを収容する第１室２１が作動液を収容する第２室２２にほぼ包囲されるように可撓性膜２３を筐体２０内に取り付けてもよい。即ち、インクを収容する第１室２１（空間）が可撓性膜２３で包まれるように可撓性膜２３を筐体２０に取り付けても良い。

また、本実施例に使用される可撓性膜２３は、接液性等の観点から、インク（第１室に収容される液体）の特性に適した部材を選定することが好ましい。

また、本実施例では、第１タンク２の筐体２０の下部にヘッド１を取り付けて一体化した構成を説明したが、ヘッド１と第１タンク２を別々に構成し、接続チューブを用いてヘッド１と第１タンク２（第１室２１）を接続してもよい。

また、本実施例において、第１タンク（第２室２２）と圧力調整部８０との間の流路（連通流路８２）にジョイント部を設けて、第１タンク２と圧力調整部８０を分離（着脱）可能なように構成してもよい。

また、本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置を例として、液体吐出装置を説明したが、例えば、導電性液体またはＵＶ硬化性液体などの液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適宜に変更して適用することができる。

［第２実施例］
以下、図６を用いて本発明の第２実施例について説明する。

なお、本実施例では、第１実施例と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。

図６は、本実施例に係る液体吐出装置の吐出口１０１の配置と吸引ノズルの移動方向の関係を示す概念図である。

本実施例において、吐出口面１０において２つの吐出口列として千鳥状に配置された吐出口１０１を吸引ノズル７１によって吸引する際、吸引ノズル７１の移動方向である第２方向の範囲を設定する方法について説明する。

本実施例では、吐出口面１０上の吐出口列を第１列１０１ｂと第２列１０１ａとする。吸引ノズル７１は、第１列１０１ｂ、第２列１０１ａの順に移動して吸引動作を行う。

図６に示すように、直交方向Ｙに見たとき、上流側にある吐出口ｂ２は、下流側にあり且つ隣り合う二つの吐出口ａ１とａ２の間に存在する。吐出口ａ１と吐出口ｂ２の連結線と、吐出口ａ２と吐出口ｂ２の連結線によって区画された角度αの範囲内に第２方向を設定することができる。なお、吐出口１０１の大きさが無視できない場合、吐出口１０１のサイズに応じて角度αを適宜に調整してもよい。

このように、複数の吐出口列に含まれる吐出口は第１方向において重複しない位置に設けられた場合、第２方向は第１方向と直交する方向であってもよく、直交する方向を含む角度αの範囲内であってもよい。

第２方向を角度αの範囲内に設定することにより、吸引ノズル７１の移動方向において、２以上の吐出口が存在せず、上流側の吐出口において発生する付着物が下流側の吐出口へ影響することもない。

［第３実施例］
以下、図７を用いて本発明の第３実施例について説明する。

なお、本実施例では、第１実施例と同様に、インクジェット記録装置（以下、「吐出装置」を称する）を液体吐出装置の一例として説明する。

図７は、本実施例に係る液体吐出装置の吐出口の配置と吸引ノズルの移動方向の関係を示す概念図である。

本実施例において、吐出口面１０において２つの吐出口列として格子状に配置された吐出口１０１を吸引ノズル７１によって吸引する際、吸引ノズル７１の移動方向である第２方向の範囲を設定する方法について説明する。

本実施例では、吐出口面１０上の吐出口列を第１列１０１ｂと第２列１０１ａとする。吸引ノズル７１は、第１列１０１ｂ、第２列１０１ａの順に移動して吸引動作を行う。

図７に示すように、直交方向Ｙに見たとき、上流側にある吐出口ｂ２は、下流側にある吐出口ａ２と重複し、さらに吐出口ｂ２が吐出口ａ１とａ３の間に位置する。

吐出口ａ１と吐出口ｂ２の連結線と、吐出口ａ２と吐出口ｂ２の連結線によって区画された角度β１の範囲内に第２方向を設定してもよい。また、吐出口ａ２と吐出口ｂ２の連結線と、吐出口ａ３と吐出口ｂ２の連結線によって区画された角度β２の範囲内に第２方向を設定してもよい。なお、吐出口の大きさが無視できない場合、吐出口１０１のサイズに応じて角度β１、β２をそれぞれ適宜に調整してもよい。

このように、複数の吐出口列に含まれる吐出口は第１方向において重複する位置に設けられた場合、第２方向は第１方向と直交する方向に対して傾いた方向であってもよい。

第２方向を角度β１、またはβ２の範囲内に設定することにより、吸引ノズル７１の移動方向において、２以上の吐出口が存在せず、上流側の吐出口において発生する付着物が下流側の吐出口へ影響することもない。

［第４実施例］
以下、図８を用いて本発明の第４実施例について説明する。なお、図８は、本実施例に係るインプリント装置の概念図である。

図８に示すように、本発明のインプリント装置２００は、主に液体吐出装置１００Ａと、パターン形成部（パターン形成手段）９００とを備えている。

なお、液体吐出装置１００Ａは、基本的に第１実施例の吐出装置１００（図１を参照）と同じ構成である。なお、本実施例では、第１タンク２の第１室２１には、光硬化性のレジストが収容されており、第１室２１に連通されるヘッド１から、後述するウェハー基板９１Ａ（基板）へレジストが吐出される。一方、第２室２２には、レジストと密度の近い作動液が充填されている。

なお、本実施例では、レジストは、光硬化性を有する樹脂で構成されているが、他の光硬化性を有する物質（液体）で構成されてもよい。また、本実施例では、可撓性膜２３として厚みが１０μｍ〜２００μｍの単層または多層フィルムが使用される。なお、可撓性膜２３は、耐レジスト薬品性を有することが望ましく、例えば、フッ素樹脂製のＰＦＡフィルムを使用することができる。また、可撓性膜２３には、液体または気体の透過を防ぐための機能層を更に有しても良い。これにより、第１室２１内のレジストまたは第２室２２内の作動液の変質を軽減することができる。このように、レジストに対して耐薬品性（安定性）を有し、かつ液体および気体が透過しにくい特性を有するフィルムは、可撓部として好適である。

パターン形成部９００は、主にモールド９４と露光ユニット（光照射手段）９５を備えている。また、パターン形成部９００には、モールド９４を上下に移動させる移動手段９６が備えられている。

なお、モールド９４は、移動手段９６を介して第１保持部９７に保持されている。また、露光ユニット９５は、第２保持部（図示しない）に保持されている。

モールド９４は、光透過性を有する石英材質で構成されており、一方の表面（下面）側に溝状の微細パターン（凹凸パターン）が形成されている。露光ユニット９５は、モールド９４の上方に配置されており、モールド９４を隔てて、後述するウェハー基板９１Ａ上のレジストＲ（パターン）を照射して硬化させることができる。

以下、本実施例のインプリント装置２００を用いてウェハー基板９１Ａの表面にパターンＲを形成する形成工程について説明する。なお、ウェハー基板９１Ａの表面にパターンを形成する前に、前述した各実施例のように、ヘッド１の吐出口面１０を予めクリーニングしておくことが好ましい。これにより、吐出口面上に付着する付着物によるパターン形成時の形成精度の低下や付着物の落下による部品品質の低下（不良品の発生）などの問題を軽減することができる。

本実施例では、液体吐出装置１００Ａよって、レジストＲが吐出（付与）されたウェハー基板９１Ａの上面と、凹凸パターンが形成されたモールド９４の下面とを当接させる。これにより、ウェハー基板９１Ａの上面において、モールドの下面にある凹凸パターンに対応するパターンが形成される。

具体的には、液体吐出装置１００Ａのヘッド１から、ウェハー基板９１Ａの上面に所定のパターンとなるようにレジストが吐出（付与）される（付与工程）。

その後、レジスト（パターン）が付与（形成）されたウェハー基板９１Ａが、搬送手段９２によってモールド９４の下方に搬送される。

移動手段９６によって、モールド９４を下方へ下降させ、ウェハー基板９１Ａの上面に形成されたレジストＲ（パターン）にモールド９４の下面を押し当てる。これにより、モールド９４の下面にある凹凸パターンを構成する溝状の微細パターンにレジストが押し込まれて充填される（パターン形成工程）。

レジストが微細パターンに充填された状態で、光透過性のモールド９４を隔てて露光ユニット９５から紫外線をレジストＲへ照射することにより、ウェハー基板９１Ａの表面にレジストからなるパターンが形成される（処理工程）。

パターンが形成された後、移動手段９６によってモールド９４を上昇させ、ウェハー基板９１Ａに形成されたパターンとモールド９４が分離される。ウェハー基板９１Ａ上のパターン形成工程が終了する。

第１実施例と同様に、本実施例では、第２タンク３内の液面を吐出口面１０よりも下方に配置させ、さらに液面調整手段（図示しない）によって第２タンク内の液面を所定の範囲（Ｈ）内に調整することができる。これにより、安定的にヘッド１内の圧力を所定の範囲（負圧）に制御することができる。また、ヘッド１からレジスト（液体）の漏れを有効に抑制することができ、ヘッド１からレジストを安定的に吐出することもできる。

一方、クリーニング動作を行う際に、圧力調整部８０（圧力変更手段）によって、ヘッド１内の圧力を正圧へ変更することにより、より有効に吐出口面上に付着された付着物を除去することができる。これにより、部品製造時の良品率を向上させることができる。

本実施例では、第１タンク２内の空間が密度の近いレジストと作動液で満たされているため、筐体２０に衝撃があっても振動が有効に抑制される。従って、振動によるヘッド１内の圧力への影響が小さく、ヘッド１内を安定した負圧状態に維持することができる。

また、本実施例では、第２室２２に充填される作動液は、気体に比べて、環境温度および圧力の変化からの影響を受けにくい。したがって、インプリント装置２００の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液の体積はほとんど変動しないため、第１室２１に連通するヘッド１内のレジストの圧力の変動が確実に抑制されている。

本発明のインプリント装置を、例えば、半導体集積回路素子や液晶表示素子、ＭＥＭＳなどのデバイスを製造する半導体製造装置やナノインプリント装置などに適用することができる。また、ウェハー基板９１Ａ以外では、ガラスプレート、フィルム状基板なども基板として使用可能である。

本発明のインプリント装置を用いて部品を製造することができる。

部品の製造方法としては、インプリント装置（ヘッド）を用いて、基板（ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板など）にレジストを吐出（付与）する工程（付与工程）を有してもよい。

また、基板のレジストが吐出（付与）された表面と、凹凸パターンが形成されたモールドの表面とを当接させ、基板の表面にモールドの凹凸パターンに対応するパターンを形成するパターン形成工程を有してもよい。

また、パターンが形成された基板を処理する処理工程を有してもよい。なお、基板を処理する処理工程として、基板をエッチングするエッチング処理工程を有してもよい。

なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子などのデバイス（部品）を製造する場合は、エッチング処理以外の加工処理が好ましい。

本発明の部品の製造方法によれば、従来の部品製造方法に比べ、部品の性能、品質または生産性が向上し、生産コストを削減することもできる。

また、本実施例のインプリント装置は、半導体製造装置、液晶製造装置などの産業機器にも適用できる。また、本実施例では、露光ユニット９５には、例えば、ｉ線、ｇ線を含む紫外線を発するハロゲンランプ等の光源を使用できるが、他のエネルギー（例えば、熱）を発する発生装置を使用してもよい。

１ ヘッド
１０ 吐出口面
７１ 吸引ノズル（吸引口）
８４ 制御手段
１０１ 吐出口
１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄ 吐出口列

Claims (11)

1. 液体を吐出する複数の吐出口が第１方向に沿って配された吐出口列が、前記第１方向と交差する第２方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、
   前記吐出口面を吸引するための吸引口と、
   前記ヘッドを下部に配置し、液体を収容し前記ヘッドと連通する第１室と作動液を収容する第２室とに可撓部材によって仕切られたタンクと、
   前記タンクの前記第２室と連通して作動液によって前記ヘッドの圧力を調整する圧力調整部と、
   前記吸引口を、前記吐出口面から離間した状態で前記第２方向に搬送する搬送手段と、を備え、
   前記圧力調整部によって圧力を調整された前記ヘッドから液体が吐出された基板にモールドを当接させて当該モールドの凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記吸引口は、前記第２方向に設けられた複数の吐出口列の中の吐出口列を通過するときに、当該吐出口列よりも上流の吐出口列に含まれる複数の吐出口が通過した部位と異なる部位で当該吐出口列に含まれる複数の吐出口を吸引するように前記搬送手段で搬送されることを特徴とするインプリント装置。
2. 前記複数の吐出口列に含まれる複数の吐出口は、前記第２方向に見たときに互いに重複しないことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記複数の吐出口列は、前記第２方向において第１の吐出口列と隣接する一方の側の第２の吐出口列と他方の側の第３の吐出口列とを含み、
   前記第１の吐出口列の第１の吐出口の格子点と前記第１の方向において隣接する前記第２の吐出口列の第２の吐出口の格子点とを結ぶ直線上に、前記第１方向において隣接する前記第３の吐出口列の第３の吐出口の格子点がないことを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
4. 前記第２方向は前記第１方向と直交する方向であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
5. 前記第２方向は前記第１方向と直交する方向に対して傾いた方向であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
6. 前記吸引口の前記第１方向における長さは、前記吐出口列の長さ以上であることを特徴とする請求項１ないし５の何れか１項に記載のインプリント装置。
7. 前記圧力調整部は、基板に液体を吐出する際に前記ヘッドを負圧状態に調整し、
   前記圧力調整部によって前記ヘッドの内部を前記負圧状態から正圧状態に変更した後に前記吐出口面を前記吸引口で吸引することを特徴とする請求項１ないし６の何れか１項に記載のインプリント装置。
8. 基板に前記ヘッドから液体を吐出する前に、前記吐出口面を前記吸引口で吸引することを特徴とする請求項１ないし７の何れか１項に記載のインプリント装置。
9. 前記吸引口の側に傾斜し、前記吐出口面へ気体を吹き出す吹出口を備えることを特徴とする請求項１ないし８の何れか１項に記載のインプリント装置。
10. 液体を吐出する複数の吐出口が第１方向に沿って配された吐出口列が、前記第１方向と交差する第２方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、
    前記吐出口面を吸引するための吸引口と、を備え、
    前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で前記第２方向に移動する液体吐出装置であって、
    前記複数の吐出口列は、前記第２方向において第１の吐出口列と隣接する一方の側の第２の吐出口列と他方の側の第３の吐出口列とを含み、
    前記第１の吐出口列の第１の吐出口の格子点と前記第１の方向において隣接する前記第２の吐出口列の第２の吐出口の格子点とを結ぶ直線上に、前記第１方向において隣接する前記第３の吐出口列の第３の吐出口の格子点がないことを特徴とする液体吐出装置。
11. 前記ヘッドを下部に配置し、液体を収容し前記ヘッドと連通する第１室と作動液を収容する第２室とに可撓部材によって仕切られたタンクと、
    前記タンクの前記第２室と連通して作動液によって前記ヘッドの圧力を調整し、基板に液体を吐出する際に前記ヘッドを負圧状態に調整する圧力調整部と、を備えることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
    

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