JP6682198B2 - 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図1〜図5を参照して本発明の第1実施例について説明する。なお、本実施例では、インクを吐出するインクジェット記録装置(以下、「吐出装置」を称する)を本発明の液体吐出装置の一例として説明する。また、本実施例の吐出装置に使用される「インク」は、本発明の液体吐出装置に使用される「液体」を構成する一例である。
以下、図6を用いて本発明の第2実施例について説明する。
以下、図7を用いて本発明の第3実施例について説明する。
以下、図8を用いて本発明の第4実施例について説明する。なお、図8は、本実施例に係るインプリント装置の概念図である。
10 吐出口面
71 吸引ノズル(吸引口)
84 制御手段
101 吐出口
101a、101b、101c、101d 吐出口列
Claims (7)
- 液体を吐出する複数の吐出口が第1方向に沿って配された吐出口列が、前記第1方向と交差する第2方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、
前記吐出口面を吸引するための吸引口と、を備え、
前記吸引口を、前記吐出口面から離間した状態で前記第2方向に移動する液体吐出装置であって、
前記第2方向は前記第1方向と直交する方向に対して傾いた方向であり、
前記複数の吐出口列に含まれる吐出口列の複数の吐出口は、前記吸引口が当該吐出口列を通過するときに、前記吸引口が前記第2方向において当該吐出口列よりも上流の吐出口列に含まれる複数の吐出口を通過した部位と異なる部位で前記吸引口により吸引される位置に設けられていることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記吸引口の前記第1方向における長さは、前記吐出口列の長さ以上であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
- 前記ヘッドの圧力を調整する圧力調整部を備え、
前記圧力調整部によって前記ヘッドの内部を負圧状態から正圧状態に変更した後に、前記吸引口によって前記吐出口面を吸引することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出装置。 - 前記吸引口の近傍に設けられ、前記吐出口面へ気体を吹き出す吹出口を有することを特徴とする請求項1ないし3の何れか1項に記載の液体吐出装置。
- 前記吸引口または前記吹出口内の圧力を制御する圧力制御手段を有することを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。
- 液体を吐出する複数の吐出口が第1方向に沿って配された吐出口列が、前記第1方向と交差する第2方向に複数設けられた複数の吐出口列を有する吐出口面を備えるヘッドと、
前記ヘッドによって液体が吐出された基板と、凹凸パターンが形成されたモールドとを当接させることによって前記基板にパターンを形成する形成手段と、
前記吐出口面を吸引するための吸引口と、を備え、
前記吸引口を、前記吐出口面から離間した状態で前記第2方向に移動するインプリント装置であって、
前記第2方向は前記第1方向と直交する方向に対して傾いた方向であり、
前記複数の吐出口列に含まれる吐出口列の複数の吐出口は、前記吸引口が当該吐出口列を通過するときに、前記吸引口が前記第2方向において当該吐出口列よりも上流の吐出口列に含まれる複数の吐出口を通過した部位と異なる部位で前記吸引口により吸引される位置に設けられていることを特徴とするインプリント装置。 - 前記液体は光硬化性を有する液体であって、
前記形成手段は、前記基板に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させることを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
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