KR102099196B1 - 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 부품 제조 방법 - Google Patents
액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 부품 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102099196B1 KR102099196B1 KR1020177036038A KR20177036038A KR102099196B1 KR 102099196 B1 KR102099196 B1 KR 102099196B1 KR 1020177036038 A KR1020177036038 A KR 1020177036038A KR 20177036038 A KR20177036038 A KR 20177036038A KR 102099196 B1 KR102099196 B1 KR 102099196B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- discharge
- array
- liquid
- discharge port
- outlet
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 105
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 17
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 7
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16505—Caps, spittoons or covers for cleaning or preventing drying out
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
- B41J2/16517—Cleaning of print head nozzles
- B41J2/1652—Cleaning of print head nozzles by driving a fluid through the nozzles to the outside thereof, e.g. by applying pressure to the inside or vacuum at the outside of the print head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1039—Recovery of excess liquid or other fluent material; Controlling means therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/027—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/12—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed after the application
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/168—Finishing the coated layer, e.g. drying, baking, soaking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
- B41J2/18—Ink recirculation systems
- B41J2/185—Ink-collectors; Ink-catchers
- B41J2002/1853—Ink-collectors; Ink-catchers ink collectors for continuous Inkjet printers, e.g. gutters, mist suction means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
토출구 어레이가 제공되는 토출구면을 갖는 헤드로서, 토출구 어레이는 액체를 토출하며 제1 방향을 따라 배치되는 복수의 토출구를 포함하는, 헤드; 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 흡입구; 및 흡입구가 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태하에서 흡입구가 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 이동하게 하는 제어 유닛을 포함하는 액체 토출 장치가 제공된다.
Description
본 발명은 액체를 토출하도록 구성되는 액체 토출 헤드를 포함하는 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 부품 제조 방법에 관한 것이다.
액체를 토출하도록 구성되는 토출구(이하, "노즐"이라 칭함)를 갖는 액체 토출 헤드(이하 간단히 "헤드"라 칭함)를 포함하는 액체 토출 장치가 알려져 있다. 최근, 이 액체 토출 장치는 다양한 분야, 예를 들어 잉크젯 기록 장치에 사용된다.
액체 토출 장치의 액체 토출 헤드의 토출 특성을 유지하기 위해서는, 노즐이 형성된 노즐면에 부착된 부착물(액체 또는 잔류물 등의 이물)을 제거(클리닝 동작)할 필요가 있다. 예를 들어, 특허 문헌 1(도 9 참조)에는, 잉크젯 헤드(201)의 노즐(202)이 형성된 노즐면(203)에 부착되는 부착물을 제거하기 위해서 공기 취출 노즐(204)을 사용하는 구성이 개시되어 있다.
구체적으로는, 특허 문헌 1에는, 이동 방향을 따라 이동하는 공기 취출 노즐(204)로부터 노즐면(203)에 공기가 취출됨으로써, 노즐면(203)에 부착된 부착물을 이동(제거)시킨다. 또한, 공기 취출 노즐(204)에 의해 이동된 부착물은 노즐면(203)으로부터 멀리 배치된 공기 흡입 노즐(205)에 의해 수집된다.
노즐은 종종 노즐면에 어레이로 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 10a 내지 도 10c에 도시된 바와 같이, 복수의 노즐이 노즐면(203)의 제1 어레이(202a) 및 제2 어레이(202b)의 제1 방향을 따라 배치된다. 노즐면(203)이 클리닝될 때, 공기 취출 노즐(204)은 제1 방향을 따라 이동하면서 공기를 취출하도록 구성됨으로써, 이물(30(a)) 및 이물(30(b))을 제거한다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
PTL 1: 일본 특허 출원 공개 번호 2004-174845
공기 취출 노즐(204)이 클리닝 동작 동안 제1 방향을 따라 좌측에서 우측으로 이동할 때, 공기 취출 노즐(204)은 두 개 이상의 노즐(202)의 전방부의 영역을 통과한다. 따라서, 이동 방향의 상류측의 노즐(202)에서 발생된 이물(30(a))이 공기 취출 노즐(204)에 의해 하류측을 향해 이동될 때에도, 이물(30(a))은 다시 하류측의 노즐(202)에 인입될 수 있다. 즉, 상류측의 노즐에서 발생된 이물은 역으로 클리닝 동작에 의해 하류측의 노즐을 더럽힐 수 있다.
본 발명의 목적은 토출구면의 부착물을 효율적으로 제거할 수 있는 액체 토출 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 토출구 어레이가 제공되는 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 토출구 어레이는 액체를 토출하며 제1 방향을 따라 배치되는 복수의 토출구를 포함하는, 헤드; 상기 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 흡입구; 및 상기 흡입구가 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태하에서 상기 흡입구가 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하게 하는 제어 유닛을 포함하는 액체 토출 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 토출구 어레이가 제공되는 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 토출구 어레이는 액체를 토출하며 제1 방향을 따라 배치되는 복수의 토출구를 포함하는, 헤드; 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 흡입구; 상기 흡입구가 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태하에서 상기 흡입구가 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하게 하는 제어 유닛; 및 헤드에 의해 액체가 토출된 기판의 하나의 표면과 오목볼록 패턴이 형성된 몰드의 표면을 서로 접촉시킴으로써 몰드의 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴을 기판의 하나의 표면에 형성하는 패터닝 유닛을 포함하는, 임프린트 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 임프린트 장치의 사용을 통해 기판을 포함하는 부품을 제조하는 방법으로서, 상기 임프린트 장치는 토출구 어레이가 제공되는 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 토출구 어레이는 액체를 토출하며 제1 방향을 따라 배치되는 복수의 토출구를 포함하는 헤드; 및 흡입구를 포함하며, 상기 방법은, 상기 흡입구가 상기 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태하에서 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 상기 흡입구를 이동시킴으로써 상기 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 단계; 상기 흡입 동작 후에 상기 헤드에 의해 상기 기판의 표면에 액체를 도포하는 단계; 액체가 도포된 기판의 표면과 오목볼록 패턴이 형성된 몰드의 표면을 서로 접촉시킴으로써 상기 기판의 표면에 몰드의 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 패턴이 형성된 기판을 처리하는 단계를 포함하는, 부품 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 추가적인 특징은 첨부된 도면을 참고한 예시적인 실시예에 대한 이하의 설명으로부터 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 변형예의 개념도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 액체 토출 동작 동안의 상태의 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 토출구면의 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 흡입구의 이동 방향 및 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 토출 장치의 흡입구의 이동 방향과 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액체 토출 장치의 흡입구의 이동 방향과 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 임프린트 장치의 개념도이다.
도 9는 잉크젯 헤드를 위한 관련 기술의 클리닝 장치의 예시도이다.
도 10a, 도 10b 및 도 10c는 관련 기술의 클리닝 동작의 예시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 변형예의 개념도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 액체 토출 동작 동안의 상태의 개념도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 토출 장치의 토출구면의 개념도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 흡입구의 이동 방향 및 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 토출 장치의 흡입구의 이동 방향과 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액체 토출 장치의 흡입구의 이동 방향과 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 임프린트 장치의 개념도이다.
도 9는 잉크젯 헤드를 위한 관련 기술의 클리닝 장치의 예시도이다.
도 10a, 도 10b 및 도 10c는 관련 기술의 클리닝 동작의 예시도이다.
이제 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부의 도면에 따라 상세하게 설명한다.
[제1 실시예]
이제, 본 발명의 제1 실시예를 도 1 내지 도 5를 참고하여 설명한다. 제1 실시예에서, 잉크를 토출하도록 구성되는 잉크젯 기록 장치(이하 "토출 장치"라 칭함)를 본 발명의 액체 토출 장치의 일례로서 설명한다. "제1 실시예의 토출 장치에서 사용되는 "잉크"는 본 발명의 액체 토출 장치에서 사용되는 "액체"의 일례이다.
도 1은 제1 실시예의 토출 장치(액체 토출 장치)의 개념도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 실시예에서, 토출 장치(100)는 주로 잉크(액체)를 토출하도록 구성되는 헤드(1), 잉크를 수용하는 제1 탱크(2), 및 압력 조정 유닛(80)을 포함한다. 토출 장치(100)는 기록 매체(91)를 반송하도록 구성되는 반송 유닛(92) 및 반송 유닛(92)을 지지하도록 구성되는 지지부(93)를 더 포함한다. 기록 매체(91)는 흡입 유닛(도시되지 않음)에 의한 흡입을 통해 반송 유닛(92)에 보유지지된다.
제1 실시예에서, 헤드(1), 반송 유닛(92), 흡입 유닛, 압력 조정 유닛(80), 및 다른 기구는 제어 유닛(84)에 의해 제어된다(도 3 참조). 제어 유닛은 예를 들어 CPU로 구성될 수 있다.
제1 탱크(2)는 실질적 밀봉 상태의 직육면체 케이싱(20)을 포함하며, 헤드(1)는 케이싱(20)의 저부에 장착된다. 제1 탱크(2)는 대기 연통구를 갖지 않는다. 케이싱(20)의 저면에, 헤드(1)는 토출구(101)가 형성된 토출구면(10)을 갖는다.
케이싱(20) 내측에서, 가요성을 갖는 가요성 필름(23)(가요성 부분)이 수직 방향으로 형성됨으로써, 제1 탱크(2)의 내부 공간을 제1 챔버(21) 및 제2 챔버(22)로 구획한다. 제1 챔버(21)는 케이싱(20)의 저부에 장착된 헤드(1)의 내측과 연통하며, 헤드(1)에 공급될 잉크를 수용한다. 제2 챔버(22)는 압력 조정 유닛(80)과 연통하며, 작동 액체를 수용한다.
압력 조정 유닛(80)은 작동 액체 완충부(81), 연통 채널(82) 및 펌프(83)를 포함한다. 작동 액체 완충부(81)는 연통 채널(82)을 통해 제2 챔버(22)와 연통한다.
압력 조정 유닛(80)은 작동 액체 완충부(81)의 압력을 검출하도록 구성되는 압력 센서(도시되지 않음)를 더 포함한다. 채널을 개방 상태와 폐쇄 상태 사이에서 전환할 수 있는 온-오프 밸브가 연통 채널(82)에 제공된다.
제1 실시예에서, 제1 챔버(21)는 잉크로 충전되는 반면, 제2 챔버(22)는 작동 액체로 충전된다. 또한 작동 액체 완충부(81) 및 연통 채널(82)의 각각은 작동 액체로 충전된다. 따라서, 작동 액체 완충부(81) 및 헤드(1)는 그들 사이에서 압력이 전달가능하도록 구성된다. 그러므로, 작동 액체 완충부(81)의 압력이 압력 센서의 사용을 통해 검출됨으로써, 헤드(1)의 압력에 대한 정보가 획득될 수 있다.
펌프(83)는 작동 액체 완충부(81)에 제공된다. 작동 액체 완충부(81)의 압력은 펌프(83)의 작동을 통해 조정될 수 있다. 즉, 압력 조정 유닛(80)(펌프(83))은 가압 또는 감압을 통해 헤드(1)의 압력을 자유롭게 제어할 수 있다. 펌프(83)를 구동하도록 구성되는 구동 기구(도시되지 않음)가 제어 유닛에 의해 제어된다.
압력 조정 유닛(80)은 작동 액체를 제2 챔버(22)에 공급하도록 구성되는 작동 액체 공급부(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 탱크(2)(제1 챔버(21))의 잉크가 기록 동작 동안 헤드(1)로부터의 잉크의 토출을 통해 소비될 때, 제1 챔버(21)의 잉크의 체적은 감소된다. 잉크의 체적의 감소와 함께, 가요성 필름(23)은 제2 챔버(22)의 체적이 증가하도록 변형된다. 작동 액체 공급부에 의한 제2 챔버(22)에의 작동 액체의 공급(보충)을 통해, 시스템의 압력은 더 안정적으로 유지될 수 있다.
제1 실시예에서, 제1 챔버(21)의 잉크의 것과 실질적으로 동일한 밀도를 갖는 액체가 제2 챔버(22)의 작동 액체로서 채용된다. 작동 액체 및 잉크(토출될 액체)는 밀도가 실질적으로 동일하며, 따라서 헤드(1)의 압력은 더 안정적으로 제어될 수 있다. 작동 액체는 비압축성을 갖는 물질이다. 예를 들어, 물 또는 겔 유사 물질 같은 액체가 작동 액체로서 사용될 수 있다.
제1 실시예에서, 클리닝 유닛(7)은 토출 장치(100)의 토출 성능을 유지(회복)하도록 헤드(1)의 토출구면(10)을 클리닝하도록 구성되는 기구이다.
구체적으로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 클리닝 유닛(7)은 흡입 노즐(71)(흡입구), 흡입 팬(72)(압력 제어 유닛), 및 액체 수용부(73)를 포함한다. 클리닝 유닛(7)은 흡입 노즐(71)을 반송하도록 구성되는 반송 유닛(70), 및 반송 유닛(70)을 지지하도록 구성되는 지지부(93A)를 더 포함한다.
반송 유닛(70)은 제어 유닛에 의해 제어된다. 흡입 노즐(71)(흡입구)의 압력은 흡입 팬(72)에 의해 제어된다. 흡입 노즐(71)의 압력은 예를 들어 -0.05 kPa 내지 -0.5 kPa의 범위 내로 설정될 수 있다.
제1 실시예에서, 흡입 노즐(71)은 수직 방향으로 배치된다. 또한, 흡입 노즐(71)은, 토출구면(10)에 대한 흡입 동작을 실행할 때, 흡입 노즐(71)의 개방면(711)과 헤드(1)의 토출구면(10) 사이에 미리정해진 거리가 고정되도록 배치된다. 미리정해진 거리는 예를 들어 0.1 mm 내지 1.0 mm의 범위 내로 설정될 수 있다.
흡입 노즐(71)은 반송 유닛(70)에 의해 토출구면(10)을 따라 이동가능하다. 따라서, 흡입 노즐(71)은 그 이동에 따라 토출구면(10)의 액체 또는 부착물을 흡입(제거)할 수 있다. 흡입 노즐(71)의 이동 속도는 예를 들어 1 mm/초 내지 10 mm/초의 범위 내로 설정될 수 있다.
도 2는 제1 실시예에 따른 토출 장치의 클리닝 유닛(7)의 변형예의 도시이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 클리닝 유닛(7)은 압축 공기를 취출하도록 구성되는 취출 노즐(74)(취출구) 및 취출 팬(75)(압력 제어 유닛)을 더 포함할 수 있다. 취출 노즐(74)은 흡입 노즐(71) 부근에 배치될 수 있다. 취출 노즐(74)(취출구)의 압력은 취출 팬(75)에 의해 제어될 수 있다.
예를 들어, 취출 노즐(74)은 흡입 동작 동안 그 이동 방향에서 흡입 노즐(71) 뒤에 위치되도록 흡입 노즐(71) 부근에 배치될 수 있다. 또한, 취출 노즐(74)의 개방면(741)이 흡입 노즐(71)을 향해 경사지도록 제공될 수 있다. 따라서, 토출구면(10)과 각각의 잉크 액적 사이의 접촉 각도가 증가될 수 있고, 이에 의해 토출구면(10)의 부착물을 더 용이하게 이동 및 제거할 수 있다.
취출 노즐(74)의 압력은 예를 들어 +0.01 kPa 내지 +0.5 kPa의 범위 내로 설정될 수 있다.
도 3은 제1 실시예에 따른 토출 장치의 기록 동작(잉크 토출 동작) 동안의 상태의 도시이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 압력 조정 유닛(80)은 제어 유닛(84)(CPU)에 의해 제어된다. 따라서, 헤드(1)의 내측은 기록 동작 동안 부압의 상태로 안정적으로 유지된다.
기록 동작은 헤드(1)에 의한 기록 매체(91)에의 잉크(액체)의 토출을 통해 행해진다. 제1 실시예에서, 이상 검출 유닛(85)이 제1 탱크(2)에 제공됨으로써, 토출 장치(100)의 이상을 검출할 수 있다.
이제, 흡입 노즐(71)의 이동 방향과 토출구면의 토출구의 배치 사이의 관계를 도 4 및 도 5를 참고하여 설명한다.
도 4는 제1 실시예에 따른 토출 장치의 토출구면(10)의 개념도이다. 도 4는 도 2에 도시된 화살표 A의 방향에서 본 토출구면(10)의 상태의 도시이다.
도 5는 제1 실시예에 따른 흡입 노즐(71)의 이동 방향과 토출구(101)의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 토출구면(10)은 토출구 어레이(101c, 101a, 101d, 101b)를 포함하며, 각각의 어레이에서 잉크(액체)를 토출하도록 구성된 복수의 토출구(101)가 제1 방향(X)을 따라 배치되어 있다. 즉, 네 개의 토출구 어레이(101c, 101a, 101d, 101b)를 형성하는 복수의 토출구(101)가 스태거형(staggered) 패턴으로 토출구면(10)에 배치된다. 제1 실시예에서, 동일한 어레이의 토출구는 동일한 간격으로 배치되며, 각각의 토출구 어레이 또한 동일한 간격으로 배치된다.
구체적으로는, 각각 복수의 토출구(101)가 제1 방향(X)을 따라 배치되어 있는 토출구 어레이는 또한 제1 방향에 직교하는 방향(Y)을 따라 제1 어레이(101c), 제2 어레이(101a), 제3 어레이(101d) 및 제4 어레이(101b)의 순서로 토출구면(10)에 배열된다. 즉, 복수의 토출구 어레이(101c, 101a, 101d, 101b)가 토출구면(10)에 배치된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 직교 방향(Y)(즉, 제2 방향)에서 볼 때, 제1 내지 제4 어레이의 토출구(101)는 비중첩 위치에 배치된다.
제1 실시예에서, 흡입 노즐(71)은 제1 방향(X)에 직교하는 방향(Y)에 대응하는 제2 방향으로 반송 유닛(70)에 의해 이동된다. 즉, 흡입 노즐(71)은 제1 어레이(101c), 제2 어레이(101a), 제3 어레이(101d), 및 제4 어레이(101b)에 대해 기재된 순서로 흡입 동작을 행하도록 제2 방향을 따라 이동된다.
도 5로부터 이해되는 바와 같이, 제1 어레이(101c)의 토출구(c)의 전방부의 영역(즉, 토출구에 대향하는 위치)을 통과하는 흡입 노즐(71)의 부분, 및 제2 어레이(101a)의 토출구(a)의 전방부의 영역을 통과하는 흡입 노즐(71)의 부분은 서로 상이하다.
즉, 제1 어레이(101c)의 토출구(c)의 전방부의 영역을 통과한 흡입 노즐(71)의 부분은, 제2 어레이(101a)의 토출구(a)가 배치되지 않은 위치(즉, 토출구가 배치되지 않은 위치에 대향하는 위치)의 전방부의 영역을 통과한다.
제1 어레이(101c) 및 제2 어레이(101a)의 토출구(c, a)의 전방부의 영역을 통과한 흡입 노즐(71)의 부분은 또한 제3 어레이(101d)의 토출구(d)가 배치되지 않은 위치의 전방부의 영역을 통과한다.
그리고, 제1 어레이(101c), 제2 어레이(101a) 및 제3 어레이(101d)의 토출구(c, a, d)의 전방부의 영역을 통과한 흡입 노즐(71)의 부분은 제4 어레이(101b)의 토출구(b)가 배치되지 않은 위치의 전방부의 영역을 통과한다.
제2 방향에서 볼 때, 제1 내지 제4 어레이의 토출구(101)는 비중첩 위치에 배치된다. 그러므로, 흡입 노즐(71)의 동일한 부분은 두 개 이상의 토출구의 전방부의 영역을 통과하지 않는다. 따라서, 상류측의 토출구에서 발생한 부착물은 하류측의 토출구를 더럽히지 않는다. 따라서, 토출구면은 효율적으로 클리닝될 수 있다.
제1 실시예에서, 흡입 노즐(71)의 이동 방향에 대응하는 제2 방향은 제1 방향에 직교하는 방향으로 설정되지만, 제2 방향은 직교 방향일 필요는 없다. 즉, 제2 방향은, 제1 어레이(101c)의 임의의 토출구(101)의 전방부의 영역을 통과한 흡입 노즐(71)의 미리정해진 부분이 제2 어레이(101a) 내지 제4 어레이(101b)의 각각의 임의의 토출구(101)의 전방부의 영역을 통과하지 않는 한, 제1 방향(X)에 직교하는 방향(Y)에 관해 미리정해진 각도로 설정될 수 있다. 미리정해진 각도는 동일한 토출구 어레이의 인접하는 토출구 사이의 거리 및 인접하는 토출구 어레이 사이의 거리에 기초하여 계산될 수 있다.
제1 실시예에서, 흡입 노즐(71)의 길이(개방 폭)는 토출구 어레이의 길이 이상으로 설정된다. 따라서, 토출구면(10)은 반송 유닛(70)의 한 번의 이동 동작을 통해 흡입 노즐(71)에 의해 클리닝될 수 있다. 흡입 노즐(71)의 길이가 토출구 어레이의 길이보다 작은 경우, 토출구면(10)은 복수의 회의 이동 동작을 통해 클리닝될 수 있다.
제어 유닛(84)은, 흡입 노즐(71)이 토출구면(10)으로부터 멀리 이격되어 있는 상태하에서 흡입 노즐(71)이 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동하게 하도록 구성되며, 이에 의해 토출구면(10)의 잉크 같은 부착물을 제거할 수 있다.
제1 실시예에서, 클리닝 동작(흡입 동작)이 행해지기 전에, 헤드의 압력은 토출 동작 동안 설정되어 있는 압력(부압)에 관해 정압 방향으로 변경될 수 있다. 따라서, 토출구면(10)의 잉크의 메니스커스의 상태는 "오목"에서 "볼록"으로 변경될 수 있다. 따라서, 클리닝 동작(흡입 동작)이 행해질 때, 토출구(101) 안으로의 부착물의 인입은 더 억제되고, 따라서 부착물을 더 효과적으로 제거할 수 있다.
제1 실시예에서, 제1 탱크(2)(제1 챔버(21) 및 제2 챔버(22))는 서로 근접한 밀도를 갖는 잉크 및 작동 액체로 충전된다. 그러므로, 케이싱(20)에서 어떠한 충격이 발생하더라도, 진동은 효과적으로 억제된다. 결과적으로 헤드(1)의 내측은 부압의 상태에서 안정적으로 유지된다.
제1 실시예에서, 가요성 필름(23)은 케이싱의 상면, 하면, 및 측면에 연결되고, 따라서 케이싱을 제1 챔버(21) 및 제2 챔버(22)를 형성하도록 구획한다. 그러나, 가요성 필름(23)은 다른 방식으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 가요성 필름(23)은 잉크를 수용하는 제1 챔버(21)가 작동 액체를 수용하는 제2 챔버(22)에 의해 실질적으로 둘러싸이도록 케이싱(20)에 배치될 수 있다. 즉, 가요성 필름(23)은 잉크를 수용하는 제1 챔버(21)(공간)가 가요성 필름(23)에 의해 둘러싸이도록 케이싱(20)에 배치될 수 있다.
액체 접촉 특성 및 다른 인자의 관점에서, 잉크(제1 챔버에 수용되는 액체)의 특성에 적합한 부재가 제1 실시예에서 사용될 가요성 필름(23)을 위해 선택되는 것이 바람직하다.
제1 실시예에서, 헤드(1)가 제1 탱크(2)의 케이싱(20)의 하부에 일체적으로 장착되는 구성이 설명된다. 그러나, 헤드(1) 및 제1 탱크(2)는 개별적으로 구성될 수 있으며, 헤드(1) 및 제1 탱크(2)(제1 챔버(21))는 연결 튜브의 사용을 통해 서로 연결될 수 있다.
제1 실시예에서, 제1 탱크(2) 및 압력 조정 유닛(80)이 서로 분리가능(제거가능)하도록 제1 탱크(제2 챔버(22))와 압력 조정 유닛(80) 사이의 채널(연통 채널(82))에 접합부가 제공될 수 있다.
제1 실시예에서, 액체 토출 장치는 잉크를 토출하도록 구성되는 잉크젯 기록 장치를 일례로 하여 설명된다. 그러나, 본 발명은 예를 들어 도전성 액체 또는 UV 경화성 액체 같은 액체를 토출하도록 구성되는 액체 토출 장치에 대해 적절하게 변형 및 적용될 수 있다.
[제2 실시예]
이제, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 대해서 설명한다.
제2 실시예에서는, 제1 실시예와 마찬가지로, 잉크젯 기록 장치(이하, "토출 장치"라 칭함)가 액체 토출 장치의 일례로서 설명된다.
도 6은 제2 실시예에 따른 액체 토출 장치에서의 흡입 노즐의 이동 방향과 토출구(101)의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
제2 실시예에서는, 두 개의 토출구 어레이로서 스태거형 패턴으로 토출구면(10)에 배치된 토출구(101)에 대해 흡입 노즐(71)에 의해 흡입이 실행될 때의 흡입 노즐(71)의 이동 방향에 대응하는 제2 방향의 범위를 설정하는 방법에 대해서 설명한다.
제2 실시예에서, 토출구면(10)의 토출구 어레이는 제1 어레이(101b) 및 제2 어레이(101a)로서 규정된다. 흡입 노즐(71)은 흡입 동작을 행하도록 제1 어레이(101b) 및 제2 어레이(101a)의 순서로 이동된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 직교 방향(Y)에서 볼 때, 상류측의 토출구(b2)는 하류측의 두 개의 인접하는 토출구(a1 및 a2) 사이에 위치된다. 제2 방향은 토출구(a1)와 토출구(b2)를 연결하는 선과 토출구(a2)와 토출구(b2)를 연결하는 선 사이에 규정된 각도(α)의 범위 내로 설정될 수 있다. 토출구(101)의 크기를 무시할 수 없을 경우, 각도(α)는 토출구(101)의 크기에 따라 적절하게 조정될 수 있다.
복수의 토출구 어레이의 토출구가 제1 위치에서 비중첩 위치에 배치되는 경우, 제2 방향은 제1 방향에 직교하도록 설정될 수 있거나 직교 방향을 포함하는 각도(α)의 범위 내로 설정될 수 있다.
각도(α)의 범위 내의 제2 방향의 설정을 통해, 두 개 이상의 토출구가 흡입 노즐(71)의 이동 방향으로 배치되지 않으며, 상류측의 토출구에서 발생하는 부착물이 하류측의 토출구에 영향을 주지 않는다.
[제3 실시예]
이제, 본 발명의 제3 실시예에 대해서 도 7을 참조하여 설명한다.
제3 실시예에서는, 제1 실시예와 마찬가지로, 잉크젯 기록 장치(이하, "토출 장치"라 칭함)가 액체 토출 동작의 일례로서 설명된다.
도 7은 제3 실시예에 따른 액체 토출 장치에서의 흡입 노즐의 이동 방향과 토출구의 배치 사이의 관계의 개념도이다.
제3 실시예에서는, 두 개의 토출구 어레이로서 스태거형 패턴으로 토출구면(10)에 배치된 토출구(101)에 대해 흡입 노즐(71)에 의해 흡입이 실행될 때의 흡입 노즐(71)의 이동 방향에 대응하는 제2 방향의 범위를 설정하는 방법에 대해서 설명한다.
제3 실시예에서, 토출구면(10)의 토출구 어레이는 제1 어레이(101b) 및 제2 어레이(101a)로서 규정된다. 흡입 노즐(71)은 흡입 동작을 행하도록 제1 어레이(101b) 및 제2 어레이(101a)의 순서로 이동된다.
도 7에 도시된 바와 같이, 직교 방향(Y)에서 볼 때, 상류측의 토출구(b2)는 하류측의 토출구(a2)와 중첩하며 토출구(a1 및 a3) 사이에 위치된다.
제2 방향은 토출구(a1)와 토출구(b2)를 연결하는 선과 토출구(a2)와 토출구(b2)를 연결하는 선 사이에 규정된 각도(β1)의 범위 내로 설정될 수 있다. 대안적으로, 제2 방향은 토출구(a2)와 토출구(b2)를 연결하는 선과 토출구(a3)와 토출구(b2)를 연결하는 선 사이에 규정된 각도(β2)의 범위 내로 설정될 수 있다. 토출구의 크기를 무시할 수 없을 경우, 각도(β1 및 β2) 각각은 토출구(101)의 크기에 따라 적절하게 조정될 수 있다.
복수의 토출구 어레이의 토출구가 제1 방향에서 중첩 위치에 배치될 때, 제2 방향은 제1 방향에 직교하는 방향에 관해 경사지도록 설정될 수 있다.
각도(β1 또는 β2)의 범위 내의 제2 방향의 설정을 통해, 두 개 이상의 토출구가 흡입 노즐(71)의 이동 방향으로 배치되지 않으며, 상류측의 토출구에서 발생하는 부착물이 하류측의 토출구에 영향을 주지 않는다.
[제4 실시예]
이제, 도 8을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 대해서 설명한다. 도 8은 제4 실시예에 따른 임프린트 장치의 개념도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 임프린트 장치(200)는 주로 액체 토출 장치(100A) 및 패터닝 부분(패터닝 유닛)(900)을 포함한다.
액체 토출 장치(100A)는 기본적으로 제1 실시예의 토출 장치(100)의 구성과 동일한 구성을 갖는다(도 1 참조). 제4 실시예에서, 제1 탱크(2)의 제1 챔버(21)는 제1 챔버(21)와 연통하는 헤드(1)로부터 웨이퍼 기판(91A)(기판)에 토출되는 광경화성 레지스트를 수용한다. 제2 챔버(22)는 레지스트의 밀도에 근접하는 밀도를 갖는 작동 액체로 충전된다.
제4 실시예에서, 레지스트는 광경화성을 갖는 수지로 이루어지지만, 광경화성을 갖는 다른 물질(액체)로 이루어질 수 있다. 또한, 제4 실시예에서, 10㎛ 내지 200㎛의 두께를 갖는 단층 또는 다층 필름이 가요성 필름(23)으로서 사용된다. 가요성 필름(23)은 레지스트에 대해 화학적인 저항을 가질 수 있다. 예를 들어, 플루오르 수지로 이루어진 PFA 필름이 사용될 수 있다. 가요성 필름(23)은 또한 액체 또는 기체의 투과를 방지하는 기능층을 가질 수 있다. 따라서, 제1 챔버(21)의 레지스트 또는 제2 챔버(22)의 작동 액체의 열화가 억제될 수 있다. 레지스트에 대해 화학적인 저항(안정성)을 가지며 또한 액체 또는 기체가 투과되기 어려운 특성을 갖는 필름이 가요성 부분으로서 적합할 수 있다.
패터닝 부분(900)은 주로 몰드(94) 및 노광 유닛(광 조사 유닛)(95)을 포함한다. 패터닝 부분(900)은 몰드(94)를 수직으로 이동시키도록 구성되는 이동 유닛(96)을 더 포함한다.
몰드(94)는 이동 유닛(96)의 개입을 통해 제1 보유지지부(97)에 의해 보유지지된다. 노광 유닛(95)은 제2 보유지지부(도시되지 않음)에 의해 보유지지된다.
몰드(94)는 광 투과 특성을 갖는 석영 재료로 이루어지며, 홈 유사 패턴(오목볼록 패턴)이 그 하나의 표면(하면) 측에 형성된다. 노광 유닛(95)은 몰드(94) 위에 배치되며 레지스트(R)를 경화시키기 위해서 몰드(94)를 통해 웨이퍼 기판(91A)의 레지스트(R)(패턴)을 조사할 수 있다.
이제, 제4 실시예의 임프린트 장치(200)의 사용을 통해 웨이퍼 기판(91A)의 표면에 레지스트(R)의 패턴을 형성하는 형성 단계에 대해서 설명한다. 웨이퍼 기판(91A)의 표면에 패턴을 형성하기 전에, 헤드(1)의 토출구면(10)은 상술한 각각의 실시예에서와 같이 미리 클리닝될 수 있다. 따라서, 토출구면에 부착된 부착물에 의한 패터닝 정밀도의 열화 및 부착물의 낙하로 인한 부품의 품질의 열화(결함 품의 발생) 같은 문제를 억제할 수 있다.
제4 실시예에서, 액체 토출 장치(100A)에 의해 레지스트(R)가 토출(도포)된 웨이퍼 기판(91A)의 상면 및 오목볼록 패턴이 형성된 몰드(94)의 하면은 서로 접촉하게 된다. 따라서, 몰드의 하면에 형성된 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴이 웨이퍼 기판(91A)의 상면에 형성된다.
구체적으로는, 레지스트가 미리정해진 패턴으로 액체 토출 장치(100A)의 헤드(1)로부터 웨이퍼 기판(91A)의 상면에 토출(도포)된다(도포 단계).
그 후, 레지스트(패턴)가 도포된 웨이퍼 기판(91A)이 반송 유닛(92)에 의해 몰드(94) 아래의 위치로 반송된다.
몰드(94)는, 몰드(94)의 하면이 웨이퍼 기판(91A)의 상면에 형성된 레지스트(R)(패턴)에 대해 가압되도록 이동 유닛(96)에 의해 하방으로 이동된다. 따라서, 레지스트는 몰드(94)의 하면의 오목볼록 패턴을 형성하는 홈 유사 미세 패턴 안으로 채워지고 충전된다(패터닝 단계).
레지스트가 미세 패턴 안으로 충전된 상태하에서, 레지스트(R)는 광 투과 몰드(94)를 통해 노광 유닛(95)으로부터의 자외선에 의해 조사된다. 따라서, 레지스트의 패턴이 웨이퍼 기판(91A)의 표면에 형성된다(처리 단계).
패턴이 형성된 후, 몰드(94)는 이동 유닛(96)에 의해 상승되므로, 몰드(94)는 웨이퍼 기판(91A)에 형성된 패턴으로부터 분리된다. 웨이퍼 기판(91A)에 대한 패터닝 단계가 종료된다.
제1 실시예와 마찬가지로, 제4 실시예에서는, 제2 탱크(3)의 액체 레벨은 토출구면(10) 아래로 설정되고, 액체 레벨 조정 유닛(도시되지 않음)이 미리정해진 범위(H) 내로 제2 탱크의 액체 레벨을 조정할 수 있다. 따라서, 헤드(1)의 압력은 미리정해진 범위(부압) 내에서 안정적으로 제어될 수 있다. 또한, 헤드(1)로부터의 레지스트(액체)의 누설이 효과적으로 억제될 수 있으며, 또한 레지스트는 헤드(1)로부터 안정적으로 토출될 수 있다.
클리닝 동작이 행해질 때, 헤드(1)의 압력은 압력 조정 유닛(80)(압력 변경 유닛)에 의해 정압으로 변경되며, 따라서 토출구면에 부착된 부착물을 더 효과적으로 제거할 수 있다. 따라서, 부품 제조 시에 비결함품의 비율이 증가될 수 있다.
제4 실시예에서, 제1 탱크(2)의 내부 공간은 서로 근접하는 밀도를 갖는 레지스트 및 작동 액체로 충전된다. 그러므로, 케이싱(20)에서 어떠한 충격이 발생하더라도, 진동은 효과적으로 억제된다. 결과적으로, 헤드(1)의 압력에 대한 진동의 영향이 감소되고, 따라서 부압의 상태에서 헤드(1)의 내측을 안정적으로 유지할 수 있다.
제4 실시예에서, 제2 챔버(22)에 충전된 작동 액체는 기체에 비해 주위 온도 및 압력의 변동에 의해 쉽게 영향을 받지 않는다. 따라서, 임프린트 장치(200) 주위의 주위 온도 및 압력이 변경되어도, 작동 액체의 체적은 거의 변동하지 않는다. 그러므로, 제1 챔버(21)와 연통하는 헤드(1)의 레지스트의 압력의 변동이 안전하게 억제된다.
임프린트 장치는 예를 들어 반도체 제조 장치, 및 반도체 집적 회로 디바이스, 액체 디스플레이 디바이스, MEMS 디바이스, 및 기타 디바이스를 제조하도록 구성되는 나노임프린트 장치에 적용가능하다. 기판으로서, 웨이퍼 기판(91A) 이외에 유리 플레이트 및 필름 유사 기판이 가용하다.
부품은 임프린트 장치의 사용을 통해 제조될 수 있다.
부품을 제조하는 방법은 임프린트 장치(헤드)의 사용을 통해 기판(예를 들어, 웨이퍼, 유리 플레이트, 또는 필름 유사 기판)에 레지스트를 토출하는 단계(도포 단계)를 포함할 수 있다.
부품을 제조하는 방법은 레지스트가 토출(도포)된 기판의 표면과 오목볼록 패턴이 형성된 몰드의 표면을 서로 접촉시킴으로써 기판의 표면에 몰드의 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴을 형성하는 패터닝 단계를 더 포함할 수 있다.
부품을 제조하는 방법은 패턴이 형성된 기판을 처리하는 처리 단계를 더 포함할 수 있다. 기판을 처리하는 처리 단계로서, 부품을 제조하는 방법은 기판을 에칭하는 에칭 단계를 포함할 수 있다.
패터닝된 매체(기록 매체), 광학 소자, 또는 기타 디바이스(부품)를 제조할 때, 에칭 이외의 처리가 행해질 수 있다.
본 발명의 부품을 제조하는 방법에 따르면, 종래 기술의 부품을 제조하는 방법에 비해, 부품의 성능, 품질, 또는 생산성이 향상될 수 있으며, 생산 비용 또한 감소될 수 있다.
제4 실시예의 임프린트 장치는 또한 반도체 제조 장치, 액정 제조 장치, 및 기타 산업 장치에도 적용될 수 있다. 제4 실시예에서, 예를 들어, i-선 또는 g-선을 포함하는 자외선을 방출하도록 구성되는 할로겐 램프 같은 광원이 노광 유닛(95)으로서 사용될 수 있지만, 다른 에너지(예를 들어, 열)를 발생시키도록 구성되는 발생 장치가 대신에 사용될 수 있다.
본 발명에 따르면, 토출구면의 부착물은 효율적으로 제거될 수 있다.
본 발명을 예시적인 실시예를 참고하여 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예로 한정되지 않음을 이해해야 한다. 이하의 청구항의 범위는 이러한 모든 변형과 동등한 구조 및 기능을 포함하도록 최광의로 해석되어야 한다.
본 출원은 그 전체가 본원에 참조로 통합되는 2015년 5월 22일에 출원된 일본 특허 출원 번호 2015-104762의 이점을 청구한다.
Claims (13)
- 액체 토출 장치이며,
제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제1 토출구 어레이 및 상기 제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제2 토출구 어레이가 제공된 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 제1 토출구 어레이와 상기 제2 토출구 어레이가 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하는, 헤드;
상기 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 흡입구; 및
상기 흡입구가 상기 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태에서 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 토출구 어레이 측으로부터 상기 제2 토출구 어레이 측으로 상기 흡입구를 이동시키는 이동 유닛을 포함하고,
복수의 토출구 어레이가 상기 제1 토출구 어레이 및 상기 제2 토출구 어레이를 포함하고, 상기 제2 방향으로 볼 때, 상기 복수의 토출구 어레이의 토출구들은, 각 토출구 어레이 간의 인접 여부에 관계 없이 서로 중첩하지 않는 위치에 있는 것을 특징으로 하는 액체 토출 장치. - 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 흡입구의 길이는 상기 복수의 토출구 어레이의 각각의 길이보다 긴, 액체 토출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 토출구 어레이의 복수의 토출구 각각에 대향하는 위치를 통과하는 상기 흡입구의 부분 및 상기 제2 토출구 어레이의 복수의 토출구 각각에 대향하는 위치를 통과하는 상기 흡입구의 부분은 서로 다른, 액체 토출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향에 직교하는, 액체 토출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향에 직교하는 방향에 대하여 경사져 있는, 액체 토출 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 토출구면을 향하여 경사지도록 상기 제2 방향으로 상기 흡입구 뒤에 배치되고, 상기 토출구면으로 기체를 취출하는 취출구를 더 포함하는, 액체 토출 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 흡입구와 상기 취출구 중 하나의 압력을 제어하는 압력 제어 유닛을 더 포함하는, 액체 토출 장치.
- 임프린트 장치이며,
제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제1 토출구 어레이 및 상기 제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제2 토출구 어레이가 제공된 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 제1 토출구 어레이와 상기 제2 토출구 어레이가 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하고, 복수의 토출구 어레이가 상기 제1 토출구 어레이 및 상기 제2 토출구 어레이를 포함하고, 상기 제2 방향으로 볼 때, 상기 복수의 토출구 어레이의 토출구들은, 각 토출구 어레이 간의 인접 여부에 관계 없이 서로 중첩하지 않는 위치에 있는, 헤드;
상기 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 흡입구;
상기 흡입구가 상기 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태에서 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 토출구 어레이 측으로부터 상기 제2 토출구 어레이 측으로 상기 흡입구를 이동시키는 이동 유닛; 및
상기 헤드에 의해 상기 액체가 토출된 기판의 하나의 표면과 오목볼록 패턴이 형성된 몰드의 표면을 서로 접촉시킴으로써 상기 기판의 하나의 표면에 상기 몰드의 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴을 형성하는 패터닝 유닛을 포함하는, 임프린트 장치. - 제9항에 있어서, 상기 액체는 광경화성을 갖고,
상기 패터닝 유닛은, 상기 패턴을 경화시키도록 상기 기판에 형성된 패턴을 광으로 조사하는 광 조사 유닛을 갖는, 임프린트 장치. - 임프린트 장치의 사용을 통해 기판을 포함하는 부품을 제조하는 방법이며,
상기 임프린트 장치는,
제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제1 토출구 어레이 및 상기 제1 방향을 따라 배열되어 액체를 토출하도록 구성된 복수의 토출구를 갖는 제2 토출구 어레이가 제공된 토출구면을 갖는 헤드로서, 상기 제1 토출구 어레이와 상기 제2 토출구 어레이가 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하고, 복수의 토출구 어레이가 상기 제1 토출구 어레이 및 상기 제2 토출구 어레이를 포함하고, 상기 제2 방향으로 볼 때, 상기 복수의 토출구 어레이의 토출구들은, 각 토출구 어레이 간의 인접 여부에 관계 없이 서로 중첩하지 않는 위치에 있는, 헤드; 및
흡입구를 포함하고,
상기 방법은,
상기 흡입구가 상기 토출구면으로부터 멀리 이격된 상태에서 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 토출구 어레이 측으로부터 상기 제2 토출구 어레이 측으로 상기 흡입구를 이동시킴으로써 상기 토출구면에 대해 흡입 동작을 행하는 단계;
상기 흡입 동작 후에 상기 헤드에 의해 상기 기판의 표면에 액체를 도포하는 단계;
상기 액체가 도포된 상기 기판의 표면과 오목볼록 패턴이 형성된 몰드의 표면을 서로 접촉시킴으로써 상기 기판의 표면에 상기 몰드의 오목볼록 패턴에 대응하는 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 패턴이 형성된 상기 기판을 처리하는 단계를 포함하는, 부품 제조 방법. - 삭제
- 삭제
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015104762A JP6682198B2 (ja) | 2015-05-22 | 2015-05-22 | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 |
JPJP-P-2015-104762 | 2015-05-22 | ||
PCT/JP2016/064406 WO2016190143A1 (en) | 2015-05-22 | 2016-05-09 | Liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing a component |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180008643A KR20180008643A (ko) | 2018-01-24 |
KR102099196B1 true KR102099196B1 (ko) | 2020-04-09 |
Family
ID=56137485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020177036038A KR102099196B1 (ko) | 2015-05-22 | 2016-05-09 | 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 부품 제조 방법 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10384451B2 (ko) |
JP (1) | JP6682198B2 (ko) |
KR (1) | KR102099196B1 (ko) |
CN (1) | CN107683209B (ko) |
SG (1) | SG11201708843WA (ko) |
TW (1) | TWI610822B (ko) |
WO (1) | WO2016190143A1 (ko) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109709766B (zh) | 2017-10-25 | 2023-06-16 | 东芝机械株式会社 | 转印装置 |
WO2019177572A1 (en) | 2018-03-12 | 2019-09-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nozzle arrangements and feed holes |
JP7015926B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-02-03 | ヒューレット-パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | ノズル配列 |
JP6970304B2 (ja) | 2018-03-12 | 2021-11-24 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | ノズル構成および供給チャネル |
CN108394183B (zh) * | 2018-04-24 | 2023-09-01 | 广东阿诺捷喷墨科技有限公司 | 一种喷墨打印机喷头吸墨维护装置 |
JP7195906B2 (ja) * | 2018-12-10 | 2022-12-26 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置およびインプリント装置 |
JP7263036B2 (ja) * | 2019-02-14 | 2023-04-24 | キヤノン株式会社 | 成形装置、成形方法および、物品製造方法 |
JP7374680B2 (ja) * | 2019-09-11 | 2023-11-07 | キヤノン株式会社 | 吐出材吐出装置、インプリント装置、及び検出方法 |
JP7379118B2 (ja) * | 2019-11-28 | 2023-11-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
CN114103472A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-01 | 苏州希盟科技股份有限公司 | 一种供墨系统 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008188930A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Fujifilm Corp | インクジェットヘッドのメンテナンス装置、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドのメンテナンス方法 |
JP2011192917A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fujifilm Corp | レジスト組成物配置装置及びパターン形成体の製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE759036A (fr) * | 1969-11-17 | 1971-04-30 | Mead Corp | Procede d'assemblage d'une tete d'enduisage |
US5250962A (en) * | 1991-10-16 | 1993-10-05 | Xerox Corporation | Movable ink jet priming station |
JP2000062197A (ja) * | 1998-08-18 | 2000-02-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 描画ヘッド装置及びその清掃装置 |
US6412905B1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-07-02 | Acer Communications And Multimedia | Ink jet cap with vent |
US20030016264A1 (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-23 | Eastman Kodak Company | Continuous ink-jet printing apparatus with integral cleaning |
JP2004174845A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドのクリーニング装置 |
JP5021915B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2012-09-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 印刷装置およびヘッドユニット組立方法 |
US7891762B2 (en) | 2005-06-08 | 2011-02-22 | Kabushiki Kaisha Ishiihyoki | Device for feeding liquid to inkjet heads and device for wiping inkjet heads |
JP2008188932A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Fujifilm Corp | インクジェットヘッドのメンテナンス装置、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドのメンテナンス方法 |
US8240808B2 (en) * | 2007-02-07 | 2012-08-14 | Fujifilm Corporation | Ink-jet head maintenance device, ink-jet recording device and ink-jet head maintenance method |
JP2009023118A (ja) * | 2007-07-17 | 2009-02-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドのワイピング方法 |
EP2127881B1 (en) * | 2008-05-29 | 2011-11-23 | Eastman Kodak Company | Multicolor printhead maintenance station |
FR2937584B1 (fr) * | 2008-10-28 | 2010-12-24 | Imaje Sa | Imprimante a tete d'impresssion a jet continu et dispositif de nettoyage de la tete |
JP5327446B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2013-10-30 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
JP5178577B2 (ja) * | 2009-02-23 | 2013-04-10 | 富士フイルム株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録方法 |
JP2010240526A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Dainippon Printing Co Ltd | ノズル孔拭浄装置 |
TWI394664B (zh) | 2009-07-01 | 2013-05-01 | Ind Tech Res Inst | 噴墨頭清洗裝置及方法 |
US20120098886A1 (en) * | 2010-10-25 | 2012-04-26 | Silverbrook Research Pty Ltd. | Print head maintenance system |
JP2012192642A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置及びヘッドタンク |
JP5832369B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2015-12-16 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット記録装置 |
JP5822854B2 (ja) | 2013-01-31 | 2015-11-25 | キヤノンファインテック株式会社 | インクジェット記録装置、記録ヘッドの回復処理装置、および記録ヘッドの回復処理方法 |
JP6283911B2 (ja) * | 2013-06-25 | 2018-02-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ワイプ装置、インクジェット装置、および、ワイプ方法 |
JP6362109B2 (ja) * | 2013-10-04 | 2018-07-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および部品の製造方法 |
JP6537243B2 (ja) | 2013-11-22 | 2019-07-03 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、インプリント装置および部品の製造方法 |
KR102117545B1 (ko) | 2014-01-08 | 2020-06-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 앵글 센서 및 이를 포함하는 토크 앵글 센서 |
-
2015
- 2015-05-22 JP JP2015104762A patent/JP6682198B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-05-03 TW TW105113729A patent/TWI610822B/zh not_active IP Right Cessation
- 2016-05-09 SG SG11201708843WA patent/SG11201708843WA/en unknown
- 2016-05-09 WO PCT/JP2016/064406 patent/WO2016190143A1/en active Application Filing
- 2016-05-09 US US15/562,143 patent/US10384451B2/en active Active
- 2016-05-09 KR KR1020177036038A patent/KR102099196B1/ko active IP Right Grant
- 2016-05-09 CN CN201680029775.9A patent/CN107683209B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008188930A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Fujifilm Corp | インクジェットヘッドのメンテナンス装置、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドのメンテナンス方法 |
JP2011192917A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Fujifilm Corp | レジスト組成物配置装置及びパターン形成体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016190143A8 (en) | 2017-11-30 |
TW201641307A (zh) | 2016-12-01 |
JP6682198B2 (ja) | 2020-04-15 |
SG11201708843WA (en) | 2017-11-29 |
US20180079215A1 (en) | 2018-03-22 |
WO2016190143A1 (en) | 2016-12-01 |
KR20180008643A (ko) | 2018-01-24 |
TWI610822B (zh) | 2018-01-11 |
CN107683209B (zh) | 2019-06-11 |
CN107683209A (zh) | 2018-02-09 |
JP2016215544A (ja) | 2016-12-22 |
US10384451B2 (en) | 2019-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102099196B1 (ko) | 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 부품 제조 방법 | |
JP6537243B2 (ja) | 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、インプリント装置および部品の製造方法 | |
TWI600058B (zh) | 用於製造物件之壓印設備及方法 | |
JP6700757B2 (ja) | 塗布装置、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
US10245835B2 (en) | Liquid discharging apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing a component | |
KR20170102805A (ko) | 잉크젯 헤드의 클리닝 장치, 클리닝 방법, 및, 인자 장치 | |
JP2017143228A (ja) | インプリント装置、及び物品の製造方法 | |
CN106502047B (zh) | 压印装置、物品的制造方法及供给装置 | |
JP6905118B2 (ja) | インプリント装置および液体吐出装置 | |
KR102023803B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 | |
US10406731B2 (en) | Application device, imprinting apparatus, and method for manufacturing object | |
JP6976154B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置および方法 | |
KR102030888B1 (ko) | 액체 토출 장치, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP7379118B2 (ja) | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
US20160288374A1 (en) | Cleaning method for liquid discharge apparatus, liquid discharge apparatus, imprint apparatus, and method of manufacturing article | |
JP7433967B2 (ja) | クリーニング装置 | |
JP7374680B2 (ja) | 吐出材吐出装置、インプリント装置、及び検出方法 | |
JP2018006469A (ja) | インプリント材吐出装置 | |
JP2022080673A (ja) | インプリント装置、インプリント方法及び凹凸構造体の製造方法 | |
CN114509913A (zh) | 通过施加抽吸力和振动弯月面来清洁流体分配器的方法 | |
JP2020136347A (ja) | 成形装置、成形方法および、物品製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
X091 | Application refused [patent] | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) |