JP2003225603A - 液体塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 塗布液の温度を一定に保持するために、塗布
ヘッドを加熱もしくは冷却せしめる手段を設置すること
ができるようにして、塗布膜厚の均一性を向上させた液
体塗布装置を提供する。 【解決手段】 スロット27の開口から塗布液を下方に吐
出させながら、塗布ヘッド20を下方の塗布対象物に対し
て相対的に水平方向に移動させて、塗布対象物上に塗膜
を形成するようにしてなる液体塗布装置において、第１
の分割ヘッド21と第２の分割ヘッド22とに、塗布ヘッド
20を加熱もしくは冷却して所定の温度に保持する温調手
段28a 、28b がそれぞれ着脱自在に取り付けられてい
る。塗布ヘッド20には、塗布ヘッド20の温度を検出する
温度検出手段33が設けられ、温度検出手段33が検出する
塗布ヘッド20の温度が所定の温度となるように、温調手
段28a 、28b を制御する制御手段34がさらに設けられて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本願の発明は、半導体基板や液晶
基板等の塗布対象物の表面に均一な膜厚で塗布液を塗布
するためのスロット型の液体塗布装置に関し、特に塗布
直前の塗布液の温度を一定に保持して、塗布膜厚の均一
性を向上させた液体塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体基板や液晶基板等の塗布対象物に
塗布されるレジスト液やクロム塗布液等の塗膜の膜厚の
バラツキ（塗布ムラ）は、配線幅のバラツキに直接結び
つく。従来は、バラツキの少ない均一な膜厚を得るため
に、スピンコータが使用されていたが、このスピンコー
タは、多量の塗布液を消費する問題があった。

【０００３】他方、スロットコータ（カーテンコータ、
ダイコータ等のスロット型液体塗布装置）の使用は、少
量の塗布液ですみ、低コストであるが、膜厚のバラツキ
が大きく、膜厚の均一化の問題が残されていた。特に塗
り始めの膜厚にバラツキが大きく、いわゆる線引きがあ
り、それが塗り始めだけでなく、全体に渡って引きずら
れて、基板全領域の膜厚のバラツキに影響していた。

【０００４】塗り始めの状態を良くしたり、膜厚を均一
にする手段としては、スロットの隙間を塗布ヘッドの幅
方向の全域に渡って均一にすることが第一であり、その
ために加工精度の向上、組立精度の向上等の工夫が成さ
れている。その他、基板の膜厚のバラツキに影響を及ぼ
す要因としては、塗布直前にある塗布液の温度の時間的
変動や、塗布液の温度の塗布ヘッド幅方向における変動
も無視し得ない。塗布液の温度は、室内の温度や塗布液
の供給形態（供給源タンクや供給路における温度条件な
ど）によって時間的に変動する。そして、塗布液の温度
が変動すると、塗布液の粘性が変化し、この結果、塗布
液通路における流通抵抗に時間的、場所的な変動が生じ
て、スロットから吐出される塗布液の量が同様に変動
し、基板の全領域に渡る膜厚のバラツキを生じさせる。

【０００５】スピンコータやスロットコータにおいて、
塗布直前にある塗布液の温度を一定に保持するために、
塗布液の温度保持手段を設けることは従来公知である
（特開昭６１−１２５０１７号公報、特開昭６２−２１
４６２１号公報、特開平１１−３３４５９号公報等参
照）。

【０００６】これらの中で、スロットコータに塗布液の
加熱手段（ヒーター）を設ける例を開示する特開平１１
−３３４５９号公報に記載のものは、塗布ヘッドを構成
する単一ブロック内に塗布ヘッドの幅方向に延びる塗布
液槽を有し、さらに、該塗布液槽の近傍に該塗布液槽に
沿って恒温水供給通路を設けるなど、塗布液の貯蔵・加
熱手段が加工を要するものとなっている。しかも、この
ものは、基板を立設して、塗布ヘッドを昇降させなが
ら、該塗布ヘッドに備えられるスリットから毛細管現象
で汲み上げられた塗布液を基板表面に塗布するようにし
たものであり、塗布ヘッドが２つのブロック（分割ヘッ
ド）とシムとの組合せからなり、基板を臥設して、該塗
布ヘッドを水平方向に移動させながら、該塗布ヘッドに
備えられるスリット状のスロットから吐出される塗布液
を基板表面に塗布するようにしたものとはタイプが異な
っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本願の発明は、塗布ヘ
ッドが２つの分割ヘッドとシムとの組合せからなり、該
塗布ヘッドを水平方向に移動させながら、該塗布ヘッド
に備えられるスリット状のスロットから吐出される塗布
液を基板表面に塗布して塗膜を形成するようにしてなる
スロット型の液体塗布装置において、塗布直前にある塗
布液の温度を一定に保持するために、塗布ヘッドを加熱
もしくは冷却せしめる手段（温調手段）を、加工を要す
ることなく、簡易に設置することができるようにして、
塗布膜厚の均一性を向上させた液体塗布装置を提供する
ことを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段および効果】本願の発明
は、前記のような課題を解決した液体塗布装置に係り、
その請求項１に記載された発明は、液注入口から注入さ
れた塗布液が滞留する幅方向に延びるリザーバを有する
第１の分割ヘッドと、第２の分割ヘッドと、これら両分
割ヘッドの間に挟まれて、これら両分割ヘッドの間に前
記リザーバに連通する幅方向に細長いスリット状のスロ
ットを形成するシムとからなる塗布ヘッドを備え、前記
スロットの開口から塗布液を下方に吐出させながら、前
記塗布ヘッドを下方の塗布対象物に対して相対的に水平
方向に移動させて、前記塗布対象物上に塗膜を形成する
ようにしてなる液体塗布装置において、前記第１の分割
ヘッドと前記第２の分割ヘッドとに、前記塗布ヘッドを
加熱もしくは冷却して所定の温度に保持する温調手段が
それぞれ着脱自在に取り付けられたことを特徴とする液
体塗布装置である。

【０００９】請求項１に記載された発明は、前記のよう
に構成されているので、次のような効果を奏することが
できる。塗布ヘッドが、リザーバを有する第１の分割ヘ
ッドと、第２の分割ヘッドと、これら両分割ヘッドの間
に挟まれて、これら両分割ヘッドの間に細長いスリット
状のスロットを形成するシムとからなるので、塗布液の
滞留・拡散機能を果たすリザーバや塗布液の吐出通路を
なすスロット等の通路の加工形成が容易になる。しか
も、塗布ヘッドの温調手段は、第１の分割ヘッドと第２
の分割ヘッドとに着脱自在に取り付けられるので、その
設置がきわめて簡易になるとともに、塗布ヘッドの迅
速、均一な加熱もしくは冷却が可能になり、塗布直前に
ある塗布液の温度を一定に保持して、塗布膜厚の均一性
の向上を図ることができる。

【００１０】また、請求項２に記載のように請求項１に
記載の発明を構成することにより、塗布ヘッドには、塗
布ヘッドの温度を検出する温度検出手段が設けられ、該
温度検出手段が検出する塗布ヘッドの温度が所定の温度
となるように、温調手段を制御する制御手段がさらに設
けられる。

【００１１】この結果、塗布ヘッドの温度が、制御手段
により実行される温調手段のフィードバック制御によ
り、確実に所定の温度に保持される。

【００１２】また、請求項３に記載のように請求項１ま
たは請求項２に記載の発明を構成することにより、温調
手段は、ウオータージャケットからなり、該ウオーター
ジャケットが、第１の分割ヘッドの外側面と第２の分割
ヘッドの外側面とにそれぞれ着脱自在に熱伝導可能に取
り付けられる。

【００１３】この結果、温調手段の構成が簡易となり、
しかも、その温調手段を加工を要することなく、簡易に
塗布ヘッドに設置することができ、既存の塗布ヘッドに
設置することも、きわめて容易に行なえる。

【００１４】さらに、請求項４に記載のように請求項３
に記載の発明を構成することにより、ウオータージャケ
ットは、熱伝導性の良好なアルミ系材料からなり、その
温水通路の内壁面には、テフロン・コーティングが施さ
れる。

【００１５】この結果、ウオータージャケットによる塗
布ヘッドの温調効果が促進されるとともに、ウオーター
ジャケットの温水通路の内壁面の電解腐食が防止され
て、ウオータージャケットの耐久性を向上させることが
できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、図１ないし図７に図示され
る本願の請求項１ないし請求項４に記載された発明の一
実施形態について説明する。図１は、本実施形態におけ
る液体塗布装置の概略斜視図、図２は、同液体塗布装置
に使用される塗布ヘッドの分解斜視図、図３は、同塗布
ヘッドにウオータージャケットが付設された状態を示す
側面図、図４は、同塗布ヘッドの温度制御装置の全体構
成図、図５は、同ウオータージャケットの正面図、図６
は、同ウオータージャケットの平面図、図７は、同ウオ
ータージャケットの左側面図である。

【００１７】本実施形態における液体塗布装置は、半導
体基板や液晶基板等の塗布対象物の表面に均一な膜厚で
レジスト液やクロム塗布液等の液体もしくは液状体（以
下、これらを総称して「塗布液」もしくは「液体」とい
う。）を塗布するために使用される。その全体構成は、
概略、図１に図示されるように、液体塗布装置１の基台
２上の中央部寄りにテーブル３が設置されており、該テ
ーブル３の上面に塗布対象物となる基板４が載置されて
いる。基台２の両側縁には、直角に起立した側壁２a 、
２b がそれぞれ形成されており、これらの側壁２a 、２
b の上面にレール５a 、５b が敷設されていて、これら
のレール５a 、５b にガイドされながら、塗布機構部10
が走行して、該塗布機構部10に昇降自在に備えられてい
る塗布ヘッド20の下端ノズル部から吐出される塗布液
が、塗布機構部10および塗布ヘッド20の走行とともに、
基板４上に、その塗布始端部から終端部に至るまで満遍
なく、一様な膜厚で塗布されるようになっている。

【００１８】塗布ヘッド20の下端ノズル部は、基板４の
幅（塗布ヘッド20の走行方向と直交する方向における基
板４の長さ）に略等しい長さを有する細長いノズル部か
らなり、この細長ノズル部から塗布液が一様に吐出され
る。塗布ヘッド20の構造については、後で詳細に説明さ
れる。

【００１９】塗布機構部10は、左右一対の移動台11a 、
11b を備えており、これらの移動台11a 、11b 間にヘッ
ド保持フレーム12が昇降自在に渡架されており、このヘ
ッド保持フレーム12に塗布ヘッド20が取り付けられてい
る。その取り付け状態が、図３に図示されている。塗布
ヘッド20の頂面には、その長さ方向の２個所にブラケッ
ト29が固着されており、このブラケット29がボルト30に
よりヘッド保持フレーム12にネジ止めされることによ
り、塗布ヘッド20がヘッド保持フレーム12に取り付けら
れる。

【００２０】したがって、塗布ヘッド20は、ヘッド保持
フレーム12が昇降することにより、該ヘッド保持フレー
ム12と一体になって昇降する。ヘッド保持フレーム12
は、移動台11a 、11b に固設された昇降シリンダ13a 、
13b に連結されていて、これらの昇降シリンダ13a 、13
b が昇降することにより昇降する。

【００２１】移動台11a 、11b の下部には、リニア駆動
部14a 、14b が取り付けられている（リニア駆動部14a
は図示されず）。これらのリニア駆動部14a 、14b に
は、可動ケーブル15を介して電力が供給される。そこ
で、今、これらのリニア駆動部14a 、14b に可動ケーブ
ル15を介して電力が供給されると、詳細には図示されな
いが、リニア駆動部14a 、14b に設けられている電磁コ
イルにより励磁される電磁石と基台２の両側壁２a 、２
b の上面にレール５a 、５b と平行に敷設された永久磁
石16a 、16b との間で吸引、反発作用が生じて、移動台
11a 、11b の推進力が形成され、移動台11a 、11b は、
レール５a 、５b にガイドされながら、励磁電流の向き
に応じて前後いずれかの方向に走行を開始する。移動台
11a 、11b の下面には、リニアブッシュ17a 、17b が固
着されており、これらのリニアブッシュ17a 、17b がレ
ール５a 、５b に嵌合してスライドすることにより、移
動台11a 、11b は、レール５a 、５b にガイドされなが
ら走行する。

【００２２】基台２上のテーブル３より前方（図１にお
いて左下方）部分には、塗布ヘッド20をヘッド保持フレ
ーム12に取り付けたままの状態で、塗布ヘッド20の下端
ノズル部の清掃や液切り等のメンテナンス作業を行なう
際に使用されるセルフクリーニング装置18が設置されて
いる。

【００２３】次に、塗布ヘッド20の構造について詳細に
説明する。塗布ヘッド20は、図２に図示されるように、
２つの分割ヘッド21、22とシム23とからなる。そして、
これら２つの分割ヘッド21、22の間にシム23が挟み付け
られることにより形成される。２つの分割ヘッド21、22
は、それぞれ細長い直方体形状の金属（ステンレス）製
ブロックからなり、互いに対向する側面寄りの下方部に
は、鋭角状に突出する歯先部21a 、22a が形成されてい
る。

【００２４】シム23は、コの字形状に打ち抜きされた薄
板からなり、そのコの字の凹部23aは、２つの分割ヘッ
ド21、22の間にシム23が挟み付けられたとき、これら２
つの分割ヘッド21、22の間にスリット状のスロット27
（図３参照）を形成する。シム23の厚さは、このスロッ
ト27の隙間の大きさを決定する。また、凹部23a の長さ
は、このスロット27の長さを決定し、スロット27の長さ
は、基板４上における塗布液の塗布幅（基板４の幅方向
における塗布長さ）を決定する。

【００２５】一方の分割ヘッド21の上部には、その長さ
方向（塗布ヘッド20の幅方向）の中央部に、塗布液を注
入するための液注入口24が形成され、その長さ方向の両
端部寄りに、空気抜き口31がそれぞれ形成されている。
また、同じく一方の分割ヘッド21の中間部には、液注入
口24から注入された液体を滞留させて幅方向に拡散させ
るためのリザーバ26が形成されている。このリザーバ26
は、一方の分割ヘッド21の他方の分割ヘッド22に対向す
る側の側面において開口している。そして、これら液注
入口24、空気抜き口31と空洞部26とを連通させるための
３個の通孔25が形成されている。リザーバ26は、スロッ
ト27に連通しており、リザーバ26内の液体は、スロット
27により一定の厚みにされて、スロット27の下方の先端
開口部から吐出される。このスロット27の先端開口部
は、塗布ヘッド20の下端ノズル部のノズル口を形成す
る。

【００２６】また、塗布ヘッド20を構成する一方の分割
ヘッド21および他方の分割ヘッド22の各外側面には、図
３に図示されるように、塗布ヘッド20の温調手段をなす
ウオータージャケット28a 、28b が、複数本のボルト36
により、着脱自在に熱伝導可能に取り付けられている。
このウオータージャケット28a 、28b は、熱伝導性の良
好なアルミ系材料からなり、図５ないし図７に図示され
るように、細長い板状の外形形状をなし、一方の分割ヘ
ッド21および他方の分割ヘッド22の各外側面を略覆う伝
熱面積を有している。そして、その内部には、熱源温水
が循環する通路37が形成されていて、該通路37内を循環
する熱源温水が、ウオータージャケット28a 、28b の壁
面を介した熱伝導により、塗布ヘッド20（両分割ヘッド
21、22）を加熱もしくは冷却して、該塗布ヘッド20を所
定の温度に保ち、これにより、該塗布ヘッド20内に収容
された塗布直前にある塗布液の温度を所定の温度に保持
するようになっている。ウオータージャケット28a 、28
b は、外気温度および塗布ヘッド20の温度に応じて、塗
布ヘッド20を加熱することも、冷却することもあり得
る。

【００２７】ここで、一方の分割ヘッド21、他方の分割
ヘッド22の各外側面とウオータージャケット28a 、28b
との間には、熱伝導性の良好な非耐蝕性の金属製もしく
は樹脂製の放熱シート35が介設されている。これによ
り、ウオータージャケット28a、28b の壁面を介した両
分割ヘッド21、22への熱伝導が顕著に向上される。ま
た、温水通路の内壁面には、テフロン（登録商標）・コ
ーティングが施されていて、該内壁面の電解腐食の防止
が図られている。

【００２８】ウオータージャケット28a 、28b 内の温水
通路は、図４に図示されるように、１本の温水配管系統
32により連結されていて、温水配管系統32の入口32inか
ら供給される温水は、先ず、塗布ヘッド20の一端側のウ
オータージャケット28a 入口から該ウオータージャケッ
ト28a 内に流入し、該ウオータージャケット28a の反対
側の出口を出て、塗布ヘッド20の他端側のウオータージ
ャケット28b 入口から該ウオータージャケット28b 内に
流入し、該ウオータージャケット28b の反対側の出口を
出て、温水配管系統32の出口32out から流出する。そし
て、この間に、塗布ヘッド20（両分割ヘッド21、22）を
加熱もしくは冷却する。

【００２９】塗布ヘッド20には、該塗布ヘッド20の温度
を検出するための温度検出手段（測温抵抗体）33が埋設
されている。また、温水配管系統32の入口32in側の所定
の個所には、熱源温水の温度を制御する制御手段をなす
制御装置34が設けられている。そこで、温度検出手段33
により検出された塗布ヘッド20の温度は、制御装置34に
フィーバックされ、制御手段34は、このフィーバックさ
れた温度検出信号に基づいて入口熱源温水温度を制御し
て、温度検出手段33が検出する温度、すなわち、塗布ヘ
ッド20の温度が所定の温度となるようにする。そして、
このようにして、塗布ヘッド20の温度が所定の温度に保
持されることにより、塗布ヘッド20内の塗布直前にある
塗布液の温度が所定の温度に保持されて、基板４上に形
成される塗膜の膜厚のバラツキが軽減される。入口熱源
温水温度の制御は、すなわち、塗布ヘッド20の温調手段
（ウオータージャケット28a 、28b ）の制御を意味して
いる。

【００３０】次に、本実施形態における液体塗布装置１
の動作について説明する。基板４への液体塗布の開始時
には、塗布ヘッド20は、基板４の前端（図１においては
左下端）上方の所定高さ位置にセットされている。この
状態において、図示されない液体供給源から液体（塗布
液）が塗布ヘッド20に供給されると、この液体は、液注
入口24から通孔25を通ってリザーバ26に導かれ、次い
で、スロット27により一定の厚みにされ、この間に温調
手段（ウオータージャケット28a 、28b ）により塗布ヘ
ッド20内において温度調節されて所定の温度の液体とな
って、スロット27の下方の先端開口部から吐出される。
同時に、リニア駆動部14a 、14b が作動して、塗布機構
部10が走行を開始する。これにより、塗布ヘッド20が、
基板４に対して相対的に水平方向に移動して、その下方
の先端開口部から吐出される塗布液を基板４上に、その
塗布始端部から終端部に至るまで、満遍なく塗布しなが
ら、基板４の後端（図１においては右上端）に向かって
走行する。このようにして、基板４上に一様な膜厚の塗
膜が形成される。

【００３１】このようにして、１枚の基板４に対する塗
布液の塗布工程が終了すると、塗布ヘッド20は、セルフ
クリーニング装置18上に搬送され、そこにおいて、下端
ノズル部の清掃や液切り等のメンテナンス作業が実施さ
れる。このようにして、次の基板４に対する塗布液の塗
布工程の準備がなされる。

【００３２】本実施形態における液体塗布装置１は、前
記のように構成されているので、次のような効果を奏す
ることができる。塗布ヘッド20が、第１の分割ヘッド21
と、第２の分割ヘッド22と、これら両分割ヘッド21、22
の間に挟まれて、これら両分割ヘッド21、22の間に細長
いスリット状のスロット27を形成するシム23とからなる
ので、塗布ヘッド20が単一ブロックからなる場合に比べ
て、塗布液の滞留・拡散機能を果たすリザーバ27や塗布
液の吐出通路をなすスロット27等の通路の加工形成が容
易になる。しかも、塗布ヘッド20の温度を一定に保持す
るための温調手段（ウオータージャケット28a 、28b ）
は、第１の分割ヘッド21と第２の分割ヘッド22とに着脱
自在に取り付けられるので、その設置がきわめて簡易に
なるとともに、塗布ヘッド20の迅速、均一な加熱もしく
は冷却が可能になり、塗布直前にある塗布液の温度を一
定に保持して、塗布膜厚の均一性の向上を図ることがで
きる。

【００３３】また、塗布ヘッド20には、該塗布ヘッド20
の温度を検出する温度検出手段33が設けられ、該温度検
出手段33が検出する塗布ヘッド20の温度が所定の温度と
なるように、熱源温水の温度を制御する制御装置（制御
手段）34がさらに設けられているので、塗布ヘッド20の
温度が、制御装置34により実行される熱源温水温度のフ
ィードバック制御により、確実に所定の温度に保持され
る。

【００３４】また、温調手段は、ウオータージャケット
28a 、28b からなり、これらウオータージャケット28a
、28b が、第１の分割ヘッド21の外側面と第２の分割
ヘッド22の外側面とにそれぞれ着脱自在に熱伝導可能に
取り付けられているので、温調手段の構成が簡易とな
り、しかも、その温調手段を加工を要することなく、簡
易に塗布ヘッド20に設置することができ、既存の塗布ヘ
ッド20に設置することも、きわめて容易に行なえる。

【００３５】さらに、ウオータージャケット28a 、28b
は、熱伝導性の良好なアルミ系材料からなり、その温水
通路37の内壁面には、テフロン・コーティングが施され
ているので、ウオータージャケット28a 、28b による塗
布ヘッド20の温調効果が促進されるとともに、ウオータ
ージャケット28a 、28b の温水通路37の内壁面の電解腐
食が防止されて、ウオータージャケット28a 、28b の耐
久性を向上させることができる。

【００３６】さらに、一方の分割ヘッド21および他方の
分割ヘッド22の各外側面とウオータージャケット28a 、
28b との間には、熱伝導性の良好な非耐蝕性の放熱シー
ト35が介設されているので、ウオータージャケット28a
、28b の壁面を介した両分割ヘッド21、22への熱伝導
が顕著に向上される。

【００３７】本実施形態において、熱源温水の流れは、
両ウオータージャケット28a 、28bを一方向に貫通して
流れ、しかも、塗布ヘッド20の一端側のウオータージャ
ケット28a 入口から流入して同じ一端側のウオータージ
ャケット28b 出口から流出するようにされたが、これに
限定されず、塗布ヘッド20を均一に、かつ、迅速に加熱
もしくは冷却することができるのであれば、どのような
流れパターンが採用されてもよい。例えば、ウオーター
ジャケット28a の中央部から流入して、ウオータージャ
ケット28b の中央部から流出するように構成されてもよ
い。その他、本願の発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て、種々に変更が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の請求項１ないし請求項４に記載された発
明の一実施形態における液体塗布装置の概略斜視図であ
る。

【図２】同液体塗布装置に使用される塗布ヘッドの分解
斜視図である。

【図３】同塗布ヘッドにウオータージャケットが付設さ
れた状態を示す側面図である。

【図４】同塗布ヘッドの温度制御装置の全体構成図であ
る。

【図５】同ウオータージャケットの正面図である。

【図６】同ウオータージャケットの平面図である。

【図７】同ウオータージャケットの左側面図である。

【符号の説明】

１…液体塗布装置、２…基台、２a 、２b …基台側壁、
３…テーブル、４…基板、５a 、５b …レール、10…塗
布機構部、11a 、11b …移動台、12…ヘッド保持フレー
ム、13a 、13b …昇降シリンダ、14a 、14b …リニア駆
動部、15…可動ケーブル、16a 、16b …永久磁石、17a
、17b …リニアブッシュ、18…セルフクリーニング装
置、20…塗布ヘッド、21…分割ヘッド、21a …歯先部、
22…分割ヘッド、22a …歯先部、23…シム、23a …凹
部、24…液注入口、25…通孔、26…リザーバ、27…スロ
ット、28a 、28b …ウオータージャケット（温調手
段）、29…ブラケット、30…ボルト、31…空気抜き口、
32…温水配管系統、32in…温水入口、32out …温水出
口、33…温度検出手段（測温抵抗体）、34…制御装置
（制御手段）、35…放熱シート、36…ボルト、37…温水
通路。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液注入口から注入された塗布液が滞留す
   る幅方向に延びるリザーバを有する第１の分割ヘッド
   と、第２の分割ヘッドと、これら両分割ヘッドの間に挟
   まれて、これら両分割ヘッドの間に前記リザーバに連通
   する幅方向に細長いスリット状のスロットを形成するシ
   ムとからなる塗布ヘッドを備え、前記スロットの開口か
   ら塗布液を下方に吐出させながら、前記塗布ヘッドを下
   方の塗布対象物に対して相対的に水平方向に移動させ
   て、前記塗布対象物上に塗膜を形成するようにしてなる
   液体塗布装置において、 前記第１の分割ヘッドと前記第２の分割ヘッドとに、前
   記塗布ヘッドを加熱もしくは冷却して所定の温度に保持
   する温調手段がそれぞれ着脱自在に取り付けられたこと
   を特徴とする液体塗布装置。
2. 【請求項２】 前記塗布ヘッドには、前記塗布ヘッドの
   温度を検出する温度検出手段が設けられ、 前記温度検出手段が検出する前記塗布ヘッドの温度が所
   定の温度となるように、前記温調手段を制御する制御手
   段がさらに設けられたことを特徴とする請求項１に記載
   の液体塗布装置。
3. 【請求項３】 前記温調手段は、ウオータージャケット
   からなり、 前記ウオータージャケットが、前記第１の分割ヘッドの
   外側面と前記第２の分割ヘッドの外側面とにそれぞれ着
   脱自在に熱伝導可能に取り付けられたことを特徴とする
   請求項１または請求項２に記載の液体塗布装置。
4. 【請求項４】 前記ウオータージャケットは、熱伝導性
   の良好なアルミ系材料からなり、その熱源温水の通路の
   内壁面には、テフロン（登録商標）・コーティングが施
   されたことを特徴とする請求項３に記載の液体塗布装
   置。