JPH08266979A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
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- JPH08266979A JPH08266979A JP7097632A JP9763295A JPH08266979A JP H08266979 A JPH08266979 A JP H08266979A JP 7097632 A JP7097632 A JP 7097632A JP 9763295 A JP9763295 A JP 9763295A JP H08266979 A JPH08266979 A JP H08266979A
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- Japan
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- coating
- width direction
- slot
- chamber
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
- B05C5/0262—Coating heads with slot-shaped outlet adjustable in width, i.e. having lips movable relative to each other in order to modify the slot width, e.g. to close it
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スロットギャップの平行度を加味した上で、
塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できるようにす
ること。 【構成】 スロット部１８の上流側に塗料１２を塗布幅
方向に分配させるチャンバ部１７を形成し、スロット部
からウエブ１１上へ塗料を押し付けるように塗布する塗
布装置１０において、スロット部のスロットギャップＨ
と上記塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨ
とが ΔＨ／Ｈ≦0.05 を満たし、且つチャンバ部内を塗布幅方向に流動する塗
料の圧力損失Ｐｂと、スロット部内を流動する塗料の圧
力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 を満たすよう構成されたものである。
塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できるようにす
ること。 【構成】 スロット部１８の上流側に塗料１２を塗布幅
方向に分配させるチャンバ部１７を形成し、スロット部
からウエブ１１上へ塗料を押し付けるように塗布する塗
布装置１０において、スロット部のスロットギャップＨ
と上記塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨ
とが ΔＨ／Ｈ≦0.05 を満たし、且つチャンバ部内を塗布幅方向に流動する塗
料の圧力損失Ｐｂと、スロット部内を流動する塗料の圧
力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 を満たすよう構成されたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走行する支持体に塗布
液を塗布する塗布装置に関する。本発明でいう支持体と
は、プラスチック、紙、布、金属などのシート又はウエ
ブを指し、塗布液とは磁性分散液、感光液、感熱分散
液、粘着液などを指し、夫々磁性記録媒体、写真フィル
ム、感熱紙、粘着テープを成すものである。
液を塗布する塗布装置に関する。本発明でいう支持体と
は、プラスチック、紙、布、金属などのシート又はウエ
ブを指し、塗布液とは磁性分散液、感光液、感熱分散
液、粘着液などを指し、夫々磁性記録媒体、写真フィル
ム、感熱紙、粘着テープを成すものである。
【０００２】
【従来の技術】上記のような塗布には種々な塗布装置が
用いられているが、その一つとしてエクストルージョン
型ダイ塗布装置（以降“ダイ”と称す）が各分野で用い
られている。このエクストルージョン型ダイ塗布装置
（ダイ）においては、塗布幅方向に均一に塗布液を分配
させることが重要な設計要素の一つである。このような
ダイにはＴダイ、コートハンガー型チャンバダイ、多段
チャンバダイ及びチャンバ塗料循環型ダイがある。
用いられているが、その一つとしてエクストルージョン
型ダイ塗布装置（以降“ダイ”と称す）が各分野で用い
られている。このエクストルージョン型ダイ塗布装置
（ダイ）においては、塗布幅方向に均一に塗布液を分配
させることが重要な設計要素の一つである。このような
ダイにはＴダイ、コートハンガー型チャンバダイ、多段
チャンバダイ及びチャンバ塗料循環型ダイがある。
【０００３】(a) Ｔダイ このＴダイは、通常円柱形状の比較的容積の大きなチャ
ンバ部を有し、塗料が、このチャンバ内を塗布幅方向に
流れる際の流動抵抗を小さくして、塗布膜の塗布幅方向
における膜厚むらを抑制するものである。
ンバ部を有し、塗料が、このチャンバ内を塗布幅方向に
流れる際の流動抵抗を小さくして、塗布膜の塗布幅方向
における膜厚むらを抑制するものである。
【０００４】しかし、このＴダイでは、チャンバ内での
塗料の流れが緩慢であるため、特に磁性分散塗料のよう
なディスパージョン塗料の場合、塗料の凝集が進行し
て、塗布膜の表面性が低下してしまうおそれがある。
塗料の流れが緩慢であるため、特に磁性分散塗料のよう
なディスパージョン塗料の場合、塗料の凝集が進行し
て、塗布膜の表面性が低下してしまうおそれがある。
【０００５】(b) コートハンガー型チャンバダイ このコートハンガー型チャンバダイは、チャンバの形状
がコートハンガー形状に形成され、このチャンバ内を塗
布幅方向に流れる塗料の流速を一定以上に保持して、塗
料を同方向に均一に分配し、塗布膜の塗布幅方向の膜厚
むらを抑制すると同時に、チャンバ内を流れる塗料に剪
断力を与えて、塗料の凝集を抑制し、塗布膜の表面性を
良好にしたものである。
がコートハンガー形状に形成され、このチャンバ内を塗
布幅方向に流れる塗料の流速を一定以上に保持して、塗
料を同方向に均一に分配し、塗布膜の塗布幅方向の膜厚
むらを抑制すると同時に、チャンバ内を流れる塗料に剪
断力を与えて、塗料の凝集を抑制し、塗布膜の表面性を
良好にしたものである。
【０００６】ところが、上述の塗布膜の膜厚むらの抑制
や表面性の向上を達成するためには、塗料の流動物性を
的確に把握した上で、このダイの設計を実施しなければ
ならない。また、一旦設計されたダイは、ごく狭い範囲
の塗布操作条件（例えば塗布速度、塗布膜厚、塗布粘度
等）下でなければ適用できない。
や表面性の向上を達成するためには、塗料の流動物性を
的確に把握した上で、このダイの設計を実施しなければ
ならない。また、一旦設計されたダイは、ごく狭い範囲
の塗布操作条件（例えば塗布速度、塗布膜厚、塗布粘度
等）下でなければ適用できない。
【０００７】(c) 多段チャンバダイ この多段チャンバダイは、特開昭53-36458号公報や英国
特許番号1,389,074 号に記載されているように、チャン
バを直列に複数段設けたものであり、それぞれのチャン
バ容量、スロット部のスロットギャップ、スロット長を
最適化することにより、塗布幅方向における塗料の分配
性を良好にして、塗布膜の同方向における膜厚むらを抑
え、且つ、塗料に剪断力を付与して塗料の凝集を抑制
し、塗布膜の表面性を向上させることができる。
特許番号1,389,074 号に記載されているように、チャン
バを直列に複数段設けたものであり、それぞれのチャン
バ容量、スロット部のスロットギャップ、スロット長を
最適化することにより、塗布幅方向における塗料の分配
性を良好にして、塗布膜の同方向における膜厚むらを抑
え、且つ、塗料に剪断力を付与して塗料の凝集を抑制
し、塗布膜の表面性を向上させることができる。
【０００８】ところが、塗料に更に剪断力を付与しよう
とすると、チャンバ容量やスロットギャップを更に小さ
くしなければならず、この場合、塗布膜に、塗布幅方向
のむらが生じてしまうおそれがある。
とすると、チャンバ容量やスロットギャップを更に小さ
くしなければならず、この場合、塗布膜に、塗布幅方向
のむらが生じてしまうおそれがある。
【０００９】(d) チャンバ塗料循環型ダイ このチャンバ塗料循環型ダイは、特開昭52-22039号公報
や米国特許番号4,465,707 号に記載のように、塗料の一
部をスロット部以外の部位から外部へ排出させることに
より、塗料を積極的に流動させて、塗料に剪断力を付与
するものである。また、チャンバ塗料循環型ダイとは異
なるが、米国特許番号3,227,136 号記載の如く、チャン
バ内にシリンダを設置し、このシリンダを回転させて、
チャンバ内の塗料に剪断力を付与するダイも提案されて
いる。
や米国特許番号4,465,707 号に記載のように、塗料の一
部をスロット部以外の部位から外部へ排出させることに
より、塗料を積極的に流動させて、塗料に剪断力を付与
するものである。また、チャンバ塗料循環型ダイとは異
なるが、米国特許番号3,227,136 号記載の如く、チャン
バ内にシリンダを設置し、このシリンダを回転させて、
チャンバ内の塗料に剪断力を付与するダイも提案されて
いる。
【００１０】しかしながら、上述のチャンバ塗料循環型
ダイ等では、ポンプや配管の追加が必要となって、装置
構造が煩雑となってしまう。
ダイ等では、ポンプや配管の追加が必要となって、装置
構造が煩雑となってしまう。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、各種ダ
イには一長一短があるが、いずれのダイも、塗布幅方向
における均一膜厚塗布が第１の目的であり、塗布膜の表
面性向上が第２の目的である。
イには一長一短があるが、いずれのダイも、塗布幅方向
における均一膜厚塗布が第１の目的であり、塗布膜の表
面性向上が第２の目的である。
【００１２】また、近年、塗布膜の薄膜化が要請されて
おり、そのために、スロット部のスロットギャップが狭
小化する傾向にある。このスロットギャップが狭小化す
ると、スロットギャップの加工精度、即ち塗布幅方向の
平行度が膜厚むらに与える影響が著しく大きくなってく
る。しかし、従来の各種ダイには、このスロットギャッ
プの平行度を加味した設計がなされていない。
おり、そのために、スロット部のスロットギャップが狭
小化する傾向にある。このスロットギャップが狭小化す
ると、スロットギャップの加工精度、即ち塗布幅方向の
平行度が膜厚むらに与える影響が著しく大きくなってく
る。しかし、従来の各種ダイには、このスロットギャッ
プの平行度を加味した設計がなされていない。
【００１３】本発明は、上述の事情を考慮してなされた
ものであり、スロットギャップの平行度を加味した上
で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる塗布
装置を提供することを目的とする。
ものであり、スロットギャップの平行度を加味した上
で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる塗布
装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、上流側リップと下流側リップに挟まれて塗布幅方向
に均一なスロット部が形成され、このスロット部の上流
側に塗布液を塗布幅方向に分配させるチャンバー部が形
成され、上記上流側リップ及び下流側リップに対向して
走行する支持体上に上記スロット部から上記塗布液を押
し付けるように塗布する塗布装置において、上記スロッ
ト部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向におけるス
ロットギャップの誤差ΔＨとが ΔＨ／Ｈ≦0.05 を満たし、且つ、上記チャンバ部内を上記塗布幅方向に
流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、上記スロット部内を流
動する塗料の圧力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 を満たすよう構成されたものである。
は、上流側リップと下流側リップに挟まれて塗布幅方向
に均一なスロット部が形成され、このスロット部の上流
側に塗布液を塗布幅方向に分配させるチャンバー部が形
成され、上記上流側リップ及び下流側リップに対向して
走行する支持体上に上記スロット部から上記塗布液を押
し付けるように塗布する塗布装置において、上記スロッ
ト部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向におけるス
ロットギャップの誤差ΔＨとが ΔＨ／Ｈ≦0.05 を満たし、且つ、上記チャンバ部内を上記塗布幅方向に
流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、上記スロット部内を流
動する塗料の圧力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 を満たすよう構成されたものである。
【００１５】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、上記塗料がディスパージョン塗料の場
合には、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 を満たすよう構成されたものである。
の発明において、上記塗料がディスパージョン塗料の場
合には、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 を満たすよう構成されたものである。
【００１６】
【作用】請求項１に記載の発明には、次の作用がある。
スロットギャップＨと塗布幅方向におけるスロットギャ
ップの誤差ΔＨとから規定されるスロットギャップの精
度（平行度）ΔＨ／Ｈは、 ΔＨ／Ｈ≦0.05 なる範囲に設定されているので、スロットギャップＨの
加工精度ΔＨ／Ｈに基づく塗布幅方向の塗布膜厚のむら
を極力抑えることができる。また、チャンバ部内を塗布
幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂとスロット部内を
流動する塗料の圧力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 なる範囲に設定されたので、更に、塗布幅方向における
塗布膜の膜厚むらを、更に抑えることができる。これら
の結果、スロットギャップの精度（平行度）を加味した
上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
スロットギャップＨと塗布幅方向におけるスロットギャ
ップの誤差ΔＨとから規定されるスロットギャップの精
度（平行度）ΔＨ／Ｈは、 ΔＨ／Ｈ≦0.05 なる範囲に設定されているので、スロットギャップＨの
加工精度ΔＨ／Ｈに基づく塗布幅方向の塗布膜厚のむら
を極力抑えることができる。また、チャンバ部内を塗布
幅方向に流動する塗料の圧力損失Ｐｂとスロット部内を
流動する塗料の圧力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 なる範囲に設定されたので、更に、塗布幅方向における
塗布膜の膜厚むらを、更に抑えることができる。これら
の結果、スロットギャップの精度（平行度）を加味した
上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００１７】一般に、Ｐｂ／Ｐｓを小さくすればするほ
ど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを
小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれ
ば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくす
る事によって達成できるが機械装置としての大きさの制
限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一
方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くする
か、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しなが
ら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット
長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同
様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップ
Ｈを小さくすることが望ましいが、式の制限によりス
ロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。
このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さ
くすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャ
ンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大
きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式
によって与えられる。
ど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを
小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれ
ば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくす
る事によって達成できるが機械装置としての大きさの制
限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一
方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くする
か、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しなが
ら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット
長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同
様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップ
Ｈを小さくすることが望ましいが、式の制限によりス
ロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。
このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さ
くすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャ
ンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大
きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式
によって与えられる。
【００１８】請求項２に記載の発明には、次の作用があ
る。ディスパージョン塗料はチャンバ内で凝集し易く、
更に、塗布膜の塗布幅方向に膜厚むらが生じ易いので、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 に設定することによって、スロットギャップの精度（平
行度）を加味した上で、塗布膜の表面性を良好に維持し
つつ、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
る。ディスパージョン塗料はチャンバ内で凝集し易く、
更に、塗布膜の塗布幅方向に膜厚むらが生じ易いので、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 に設定することによって、スロットギャップの精度（平
行度）を加味した上で、塗布膜の表面性を良好に維持し
つつ、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【００１９】ディスパージョン系塗料は通常チキソ性を
有し、且つ凝集性も合わせ持つ。そのため、チャンバ部
においても流動状態にあることが望まれるが、それには
Ｐｂを大きくする必要がある。然しながら、ディスパー
ジョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に比
べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、膜
厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝0.
06が上限となる。
有し、且つ凝集性も合わせ持つ。そのため、チャンバ部
においても流動状態にあることが望まれるが、それには
Ｐｂを大きくする必要がある。然しながら、ディスパー
ジョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に比
べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、膜
厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝0.
06が上限となる。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。図１は、本発明に係る塗布装置の一実施例にお
けるダイヘッドを示す斜視図である。図２は、図１のダ
イヘッドの縦断面図である。図３は、図２の一部拡大図
である。
明する。図１は、本発明に係る塗布装置の一実施例にお
けるダイヘッドを示す斜視図である。図２は、図１のダ
イヘッドの縦断面図である。図３は、図２の一部拡大図
である。
【００２１】図１及び図２に示す塗布装置１０はＴダイ
であり、連続的に走行する支持体としてのウエブ１１に
塗料１２を塗布するものである。ここで、支持体として
は、ウエブ１１の他にプラスチック、紙、布或いは金属
等の可撓性シート等がある。また、塗料１２は、磁性分
散液、感光液、感熱分散液或いは粘着液等である。
であり、連続的に走行する支持体としてのウエブ１１に
塗料１２を塗布するものである。ここで、支持体として
は、ウエブ１１の他にプラスチック、紙、布或いは金属
等の可撓性シート等がある。また、塗料１２は、磁性分
散液、感光液、感熱分散液或いは粘着液等である。
【００２２】塗布装置１０は、上流側ブロック１３と下
流側ブロック１４とを接合して構成されたダイヘッド１
５を有し、上記接合部分に液インレット１６、チャンバ
部１７及びスロット部１８が形成される。上流側ブロッ
ク１３と下流側ブロック１４との先端部に、上流側リッ
プ１９と下流側リップ２０とがそれぞれ設けられる。ス
ロット部１８は、これらの上流側リップ１９及び下流側
リップ２０間に形成され、チャンバ部１７に連通され
る。このチャンバ部１７は液インレット１６に連通され
る。この液インレット１６に、液供給系２１から塗料１
２が供給される。従って、塗料１２は、液供給系２１か
ら液インレット１６を経てチャンバ部１７内に流入し、
スロット部１８を通って、上流側リップ１９及び下流側
リップ２０に対向して走行するウエブ１１に連続的に塗
布される。
流側ブロック１４とを接合して構成されたダイヘッド１
５を有し、上記接合部分に液インレット１６、チャンバ
部１７及びスロット部１８が形成される。上流側ブロッ
ク１３と下流側ブロック１４との先端部に、上流側リッ
プ１９と下流側リップ２０とがそれぞれ設けられる。ス
ロット部１８は、これらの上流側リップ１９及び下流側
リップ２０間に形成され、チャンバ部１７に連通され
る。このチャンバ部１７は液インレット１６に連通され
る。この液インレット１６に、液供給系２１から塗料１
２が供給される。従って、塗料１２は、液供給系２１か
ら液インレット１６を経てチャンバ部１７内に流入し、
スロット部１８を通って、上流側リップ１９及び下流側
リップ２０に対向して走行するウエブ１１に連続的に塗
布される。
【００２３】上記上流側リップ１９及び下流側リップ２
０、チャンバ部１７並びにスロット部１８は、ウエブ１
１の幅とほぼ同一幅に設定される。また、チャンバ部１
７は、円柱形状に形成され、液インレット１６からの塗
料１２を、塗布幅方向において塗布量が均一になるよう
に分配させ、スロット部１８へ供給する。
０、チャンバ部１７並びにスロット部１８は、ウエブ１
１の幅とほぼ同一幅に設定される。また、チャンバ部１
７は、円柱形状に形成され、液インレット１６からの塗
料１２を、塗布幅方向において塗布量が均一になるよう
に分配させ、スロット部１８へ供給する。
【００２４】スロット部１８は、平行平板形状の狭路と
して構成され、チャンバ部１７と組み合わされて、塗料
１２を塗布幅方向に均一に塗布できるように機能する。
して構成され、チャンバ部１７と組み合わされて、塗料
１２を塗布幅方向に均一に塗布できるように機能する。
【００２５】このスロット部１８のスロットギャップＨ
は、塗布対象によっても異なるが、通常数十μm から数
mmに設定される。このスロットギャップＨは、図３に示
すように、スロット部１８の塗布幅方向における最大値
をＨmax とし、最小値をＨmin とすると、
は、塗布対象によっても異なるが、通常数十μm から数
mmに設定される。このスロットギャップＨは、図３に示
すように、スロット部１８の塗布幅方向における最大値
をＨmax とし、最小値をＨmin とすると、
【数１】 として規定される。尚、塗布幅方向におけるスロットギ
ャップの誤差ΔＨは、 ΔＨ＝Ｈmax −Ｈmin として規定される。
ャップの誤差ΔＨは、 ΔＨ＝Ｈmax −Ｈmin として規定される。
【００２６】ところで、塗布幅方向における塗布膜の膜
厚むらや塗布膜の表面性状は、スロットギャップＨの塗
布幅方向の平行度つまりスロットギャップＨの精度（Δ
Ｈ／Ｈ）、及び塗料１２がチャンバ部１７内を塗布幅方
向に流動する際の圧力損失Ｐｂと塗料１２がスロット部
１８から流出する方向にこのスロット部１８内を流動す
る際の圧力損失Ｐｓとの比（Ｐｂ／Ｐｓ）の影響を受け
る。
厚むらや塗布膜の表面性状は、スロットギャップＨの塗
布幅方向の平行度つまりスロットギャップＨの精度（Δ
Ｈ／Ｈ）、及び塗料１２がチャンバ部１７内を塗布幅方
向に流動する際の圧力損失Ｐｂと塗料１２がスロット部
１８から流出する方向にこのスロット部１８内を流動す
る際の圧力損失Ｐｓとの比（Ｐｂ／Ｐｓ）の影響を受け
る。
【００２７】上記スロットギャップＨの精度ΔＨ／Ｈは ΔＨ／Ｈ≦0.05 … の範囲に設定され、また圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓは、 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 … に設定される。
【００２８】一般に、Ｐｂ／Ｐｓを小さくすればするほ
ど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを
小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれ
ば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくす
る事によって達成できるが機械装置としての大きさの制
限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一
方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くする
か、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しなが
ら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット
長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同
様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップ
Ｈを小さくすることが望ましいが、式の制限によりス
ロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。
このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さ
くすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャ
ンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大
きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式
によって与えられる。
ど塗布幅方向の膜厚分布を均一化できる。Ｐｂ／Ｐｓを
小さくするにはＰｂを小さくするか、Ｐｓを大きくすれ
ば良い。Ｐｂを小さくするのはチャンバ容量を大きくす
る事によって達成できるが機械装置としての大きさの制
限からＰｂには設計上達成可能な下限が存在する。一
方、Ｐｓを大きくするためにはスロット長を長くする
か、スロットギャップＨを小さくすれば良い。然しなが
ら、Ｐｓはスロット長に対する依存度が低く、スロット
長を長くすることはチャンバ容量を大きくすることと同
様設備上の制限が存在する。従って、スロットギャップ
Ｈを小さくすることが望ましいが、式の制限によりス
ロットギャップＨを単純に小さくすることは出来ない。
このような条件のもとでＰｂ／Ｐｓをどの程度まで小さ
くすれば満足な塗布が行なえるのか、換言すれば、チャ
ンバの大きさ、スロット長、スロットギャップなどの大
きさや長さはどの程度までなら許されるのかの限度が式
によって与えられる。
【００２９】また、特に、塗料１２が磁性分散液や熱転
写型インクリボン用塗料等のようなディスパージョン塗
料である場合には、この塗料が凝集しやすく、然も塗布
膜の膜厚むらが生じやすいので、スロットギャップＨの
精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓは、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 … Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 … に設定される。ディスパージョン系塗料は通常チキソ性
を有し、且つ凝集性も持ち合わせる。そのため、チャン
バ部においても流動状態にあることが望まれるが、それ
にはＰｂを大きくする必要がある。然しながら、ディス
パージョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に
比べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、
膜厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝
0.06が上限となる。
写型インクリボン用塗料等のようなディスパージョン塗
料である場合には、この塗料が凝集しやすく、然も塗布
膜の膜厚むらが生じやすいので、スロットギャップＨの
精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓは、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 … Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 … に設定される。ディスパージョン系塗料は通常チキソ性
を有し、且つ凝集性も持ち合わせる。そのため、チャン
バ部においても流動状態にあることが望まれるが、それ
にはＰｂを大きくする必要がある。然しながら、ディス
パージョン系塗料の場合、ニュートニアンに近い塗料に
比べ、膜厚が塗布巾方向に不均一化の傾向にあるので、
膜厚分布の均一化を第１目的とした場合、Ｐｂ／Ｐｓ＝
0.06が上限となる。
【００３０】上記実施例によれば、スロットギャップＨ
と塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとか
ら規定されるスロット部１８の精度（塗布幅方向の平行
度）ΔＨ／Ｈは式なる範囲に設定され、更に、チャン
バ部１７内を塗布幅方向に流動する塗料１２の圧力損失
Ｐｂと、スロット部１８内を流動する塗料１２の圧力損
失Ｐｓとが式なる範囲に設定されているので、塗布幅
方向における塗布膜の膜厚むらを抑えることができる。
これらの結果、スロットギャップの精度（平行度）を加
味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現で
きる。
と塗布幅方向におけるスロットギャップの誤差ΔＨとか
ら規定されるスロット部１８の精度（塗布幅方向の平行
度）ΔＨ／Ｈは式なる範囲に設定され、更に、チャン
バ部１７内を塗布幅方向に流動する塗料１２の圧力損失
Ｐｂと、スロット部１８内を流動する塗料１２の圧力損
失Ｐｓとが式なる範囲に設定されているので、塗布幅
方向における塗布膜の膜厚むらを抑えることができる。
これらの結果、スロットギャップの精度（平行度）を加
味した上で、塗布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現で
きる。
【００３１】また、塗料１２が磁性分散液等のようなデ
ィスパージョン塗料の場合には、このディスパージョン
塗料がチャンバ部１７内で凝集しやすく、然も塗布膜の
塗布幅方向における膜厚むらが生じやすいので、スロッ
トギャップＨの精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓ
をそれぞれ式、式と設定したことから、この場合に
も、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布膜
表面性を良好に維持しつつ、塗布幅方向に均一な膜厚の
塗布膜を実現できる。
ィスパージョン塗料の場合には、このディスパージョン
塗料がチャンバ部１７内で凝集しやすく、然も塗布膜の
塗布幅方向における膜厚むらが生じやすいので、スロッ
トギャップＨの精度ΔＨ／Ｈと圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓ
をそれぞれ式、式と設定したことから、この場合に
も、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗布膜
表面性を良好に維持しつつ、塗布幅方向に均一な膜厚の
塗布膜を実現できる。
【００３２】ここで、実験結果を用いて、上記実施例の
効果を明確化する。図４は、実験装置として採用したダ
イを示す斜視図である。図５は、図４のダイの正面図で
ある。図６は、図５のVI-VI 線に沿う断面図である。図
７は、図４〜図６の液セパレータを示す斜視図である。
図８は、バインダー希釈溶液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ
／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。図９は、
磁性分散液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性と
の関係を示すグラフである。
効果を明確化する。図４は、実験装置として採用したダ
イを示す斜視図である。図５は、図４のダイの正面図で
ある。図６は、図５のVI-VI 線に沿う断面図である。図
７は、図４〜図６の液セパレータを示す斜視図である。
図８は、バインダー希釈溶液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ
／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。図９は、
磁性分散液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性と
の関係を示すグラフである。
【００３３】実験装置として採用されたダイ３０は、図
４〜図６に示すように、上流側ブロック３１に下流側固
定ブロック３２及び下流側可動ブロック３３が接合され
て構成され、接合面にチャンバ部３４及びスロット部３
５が形成される。
４〜図６に示すように、上流側ブロック３１に下流側固
定ブロック３２及び下流側可動ブロック３３が接合され
て構成され、接合面にチャンバ部３４及びスロット部３
５が形成される。
【００３４】ダイ３０の幅は約300mm であり、チャンバ
部３４は、ダイ３０の幅方向に同一断面形状の円柱形状
に形成されて、スロット部３５に連通する。このチャン
バ部３４は、ダイ３０の幅方向の両端に設置されたダイ
側面部３６及び３７により画成され、一方のダイ側面部
３６に液供給系３９が接続される。この液供給系３９か
らの塗布液４０は、一方のダイ側面部３６に形成された
液インレット３８を経てチャンバ部３４へ導かれ、スロ
ット部３５へ供給される。
部３４は、ダイ３０の幅方向に同一断面形状の円柱形状
に形成されて、スロット部３５に連通する。このチャン
バ部３４は、ダイ３０の幅方向の両端に設置されたダイ
側面部３６及び３７により画成され、一方のダイ側面部
３６に液供給系３９が接続される。この液供給系３９か
らの塗布液４０は、一方のダイ側面部３６に形成された
液インレット３８を経てチャンバ部３４へ導かれ、スロ
ット部３５へ供給される。
【００３５】スロット部３５は、上流側ブロック３１と
下流側可動ブロック３３との両先端部にそれぞれ形成さ
れた上流側リップ４１と下流側リップ４２との間に形成
される。そして、このスロット部３５は、下流側可動ブ
ロック３３を上流側ブロック３１に対し接近或いは離反
させ、固定ボルト２９で固定することによりスロットギ
ャップＨが規定される。このスロットギャップＨは、本
実験では100 〜1000μm の範囲に設定されている。
下流側可動ブロック３３との両先端部にそれぞれ形成さ
れた上流側リップ４１と下流側リップ４２との間に形成
される。そして、このスロット部３５は、下流側可動ブ
ロック３３を上流側ブロック３１に対し接近或いは離反
させ、固定ボルト２９で固定することによりスロットギ
ャップＨが規定される。このスロットギャップＨは、本
実験では100 〜1000μm の範囲に設定されている。
【００３６】スロットギャップＨは、スロット部３５の
ダイ幅方向両端部にシム４３及び４４を介在することに
より所望の値に設定される。本実験では、シム４３とシ
ム４４との肉厚を異ならせることによって、塗布幅方向
におけるスロットギャップＨの誤差ΔＨを設定してい
る。尚、本実験では、スロット部３５のスロットギャッ
プＨの値によっても異なるが、スロット部３５からの塗
料４０の吐出量は10〜1000cc／min に設定されている。
ダイ幅方向両端部にシム４３及び４４を介在することに
より所望の値に設定される。本実験では、シム４３とシ
ム４４との肉厚を異ならせることによって、塗布幅方向
におけるスロットギャップＨの誤差ΔＨを設定してい
る。尚、本実験では、スロット部３５のスロットギャッ
プＨの値によっても異なるが、スロット部３５からの塗
料４０の吐出量は10〜1000cc／min に設定されている。
【００３７】また、チャンバ部３４には、液インレット
３８側の一端部と他端部とに第１圧力計４５と第２圧力
計４６がそれぞれ設置され、チャンバ部３４の両端部の
圧力がそれぞれ測定される。この第１圧力計４５の測定
値Ｐ1 と第２圧力計４６の測定値Ｐ2 との差の絶対値を
計算して、塗料４０がチャンバ部３４を塗布幅方向に流
動する際に生ずる圧力損失Ｐｂを求める。また、上記測
定値Ｐ1 とＰ2 との平均値を計算して、塗料４０がスロ
ット部３５から流出する方向にスロット部３５内を流れ
る際の圧力損失Ｐｓを求める。
３８側の一端部と他端部とに第１圧力計４５と第２圧力
計４６がそれぞれ設置され、チャンバ部３４の両端部の
圧力がそれぞれ測定される。この第１圧力計４５の測定
値Ｐ1 と第２圧力計４６の測定値Ｐ2 との差の絶対値を
計算して、塗料４０がチャンバ部３４を塗布幅方向に流
動する際に生ずる圧力損失Ｐｂを求める。また、上記測
定値Ｐ1 とＰ2 との平均値を計算して、塗料４０がスロ
ット部３５から流出する方向にスロット部３５内を流れ
る際の圧力損失Ｐｓを求める。
【００３８】ここで、塗料４０としては、ニュートニア
ンを示すバインダー希釈溶液と、擬塑性を示す磁性分散
塗料を用いた。バインダー希釈溶液は、ＶＡＧＨ（ユニ
オンカーバイト社製）をメチルエチルケトン、トルエン
及びシクロヘキサノンの混合溶剤で希釈し、粘度10〜50
Cp に調整したものである。また、磁性分散塗料は、表
１に示す配合を有するものである。
ンを示すバインダー希釈溶液と、擬塑性を示す磁性分散
塗料を用いた。バインダー希釈溶液は、ＶＡＧＨ（ユニ
オンカーバイト社製）をメチルエチルケトン、トルエン
及びシクロヘキサノンの混合溶剤で希釈し、粘度10〜50
Cp に調整したものである。また、磁性分散塗料は、表
１に示す配合を有するものである。
【表１】
【００３９】また、ダイ３０のスロット部３５近傍の上
流側リップ４１に、図４〜図６に示すように液セパレー
タ４７を設置し、スロット部３５から吐出される塗料４
０の流量を直接重量測定する。この液セパレータ４７
は、図７に示すように、平面形状の基板４８に、三角形
状の流路４９を約30mmのピッチで形成し、スロット部３
５を塗布幅方向に例えば10分割して、このスロット部３
５から吐出される塗料４０を分離するものである。この
分離された塗料４０が、複数の計量カップ５０のそれぞ
れにて集められる。この塗布膜方向に配置された複数の
計量カップ５０のそれぞれにて集められた塗料の重量流
量の相違（流量むら）は、塗布膜の塗布幅方向の膜厚む
らに対応する。
流側リップ４１に、図４〜図６に示すように液セパレー
タ４７を設置し、スロット部３５から吐出される塗料４
０の流量を直接重量測定する。この液セパレータ４７
は、図７に示すように、平面形状の基板４８に、三角形
状の流路４９を約30mmのピッチで形成し、スロット部３
５を塗布幅方向に例えば10分割して、このスロット部３
５から吐出される塗料４０を分離するものである。この
分離された塗料４０が、複数の計量カップ５０のそれぞ
れにて集められる。この塗布膜方向に配置された複数の
計量カップ５０のそれぞれにて集められた塗料の重量流
量の相違（流量むら）は、塗布膜の塗布幅方向の膜厚む
らに対応する。
【００４０】上述のように、スロット部３５から吐出さ
れた塗料４０の流量を液セパレータ４７及び計量カップ
５０を用いて直接重量測定することにより、チャンバ部
３４、スロット部３５及び塗布操作条件が塗布膜の膜厚
に及ぼす影響を明確化できる。
れた塗料４０の流量を液セパレータ４７及び計量カップ
５０を用いて直接重量測定することにより、チャンバ部
３４、スロット部３５及び塗布操作条件が塗布膜の膜厚
に及ぼす影響を明確化できる。
【００４１】つまり、塗料４０としてバインダー希釈溶
液を用いた実験例１では、図８に示すように、スロット
ギャップＨの精度（平行度）ΔＨ／Ｈが式を満たし、
且つ、圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓが式を満たす場合に、
記号〇で示すように、塗布幅方向の塗料４０の流量むら
（つまり塗布膜の同方向における膜厚むら）が30％以下
となっている。尚、図８中においては、塗布幅方向の塗
料４０の流量むらが30〜50％の場合を記号△で示し、同
流量むらが50％以上の場合を記号Ｘで示している。
液を用いた実験例１では、図８に示すように、スロット
ギャップＨの精度（平行度）ΔＨ／Ｈが式を満たし、
且つ、圧力損失の比Ｐｂ／Ｐｓが式を満たす場合に、
記号〇で示すように、塗布幅方向の塗料４０の流量むら
（つまり塗布膜の同方向における膜厚むら）が30％以下
となっている。尚、図８中においては、塗布幅方向の塗
料４０の流量むらが30〜50％の場合を記号△で示し、同
流量むらが50％以上の場合を記号Ｘで示している。
【００４２】塗料４０として磁性分散塗料を用いた実験
例２では、図９に示すように、スロットギャップＨの精
度（平行度）ΔＨ／Ｈが式を満たし、且つ圧力損失の
比Ｐｂ／Ｐｓが式を満たす場合に、記号〇で示すよう
に、塗布幅方向の塗料４０の流量むら（つまり塗布膜の
同方向における膜厚むら）が30％以下となっている。
尚、図９中においても、塗布幅方向の塗料４０の流量む
らが30〜50％の場合を記号△で示し、同流量むらが50％
以上の場合を記号Ｘで示している。
例２では、図９に示すように、スロットギャップＨの精
度（平行度）ΔＨ／Ｈが式を満たし、且つ圧力損失の
比Ｐｂ／Ｐｓが式を満たす場合に、記号〇で示すよう
に、塗布幅方向の塗料４０の流量むら（つまり塗布膜の
同方向における膜厚むら）が30％以下となっている。
尚、図９中においても、塗布幅方向の塗料４０の流量む
らが30〜50％の場合を記号△で示し、同流量むらが50％
以上の場合を記号Ｘで示している。
【００４３】尚、上記実施例では、塗布装置１０がＴダ
イの場合を述べたが、図１０に示すコートハンガー型チ
ャンバダイ５１や図１１に示す片ハンガー型チャンバダ
イ５２に本発明を適用しても良い。この両変形例では、
前記実施例と同様な部分に、同一の符号を付すことによ
り説明を省略する。
イの場合を述べたが、図１０に示すコートハンガー型チ
ャンバダイ５１や図１１に示す片ハンガー型チャンバダ
イ５２に本発明を適用しても良い。この両変形例では、
前記実施例と同様な部分に、同一の符号を付すことによ
り説明を省略する。
【００４４】コートハンガー型チャンバダイ５１は、液
インレット５３が、ダイ５１の幅方向中央部に設けられ
たものであり、この液インレット５３に連通したチャン
バ５４は、液インレット５３から両方向へ遠ざかる程断
面積が減少するように形成されている。また、片ハンガ
ー型チャンバダイ５２は、液インレット５５がダイ５２
の一側面部に形成されたものであり、この液インレット
５５に連通したチャンバ部５６は、液インレット５５か
ら一方向に遠ざかる程断面積が減少して形成される。こ
れらのコートハンガー型チャンバダイ５１及び片ハンガ
ー型チャンバダイ５２を用いることにより、塗布幅方向
における塗布膜の膜厚をより一層均一にすることができ
る。
インレット５３が、ダイ５１の幅方向中央部に設けられ
たものであり、この液インレット５３に連通したチャン
バ５４は、液インレット５３から両方向へ遠ざかる程断
面積が減少するように形成されている。また、片ハンガ
ー型チャンバダイ５２は、液インレット５５がダイ５２
の一側面部に形成されたものであり、この液インレット
５５に連通したチャンバ部５６は、液インレット５５か
ら一方向に遠ざかる程断面積が減少して形成される。こ
れらのコートハンガー型チャンバダイ５１及び片ハンガ
ー型チャンバダイ５２を用いることにより、塗布幅方向
における塗布膜の膜厚をより一層均一にすることができ
る。
【００４５】更に本発明を多段チャンバダイやチャンバ
塗料循環型ダイに適用しても良い。
塗料循環型ダイに適用しても良い。
【００４６】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る塗布装置に
よれば、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗
布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
よれば、スロットギャップの平行度を加味した上で、塗
布幅方向に均一な膜厚の塗布膜を実現できる。
【図１】図１は、本発明に係る塗布装置の一実施例にお
けるダイヘッドを示す斜視図である。
けるダイヘッドを示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のダイヘッドの縦断面図である。
【図３】図３は、図２の一部拡大図である。
【図４】図４は、実験装置として採用したダイを示す斜
視図である。
視図である。
【図５】図５は、図４のダイの正面図である。
【図６】図６は、図５のVI-VI 線に沿う断面図である。
【図７】図７は、図４〜図６の液セパレータを示す斜視
図である。
図である。
【図８】図８は、バインダー希釈溶液についてのΔＨ／
Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
Ｈ、Ｐｂ／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
【図９】図９は、磁性分散液についてのΔＨ／Ｈ、Ｐｂ
／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
／Ｐｓと塗布性との関係を示すグラフである。
【図１０】図１０は、本発明に係る塗布装置が適用され
たコートハンガー型チャンバダイを示し、図１０（Ａ）
が図１０（Ｂ）のXA-XA 線に沿う断面図であり、図１０
（Ｂ）が図１０（Ａ）のXB-XB 線に沿う断面図である。
たコートハンガー型チャンバダイを示し、図１０（Ａ）
が図１０（Ｂ）のXA-XA 線に沿う断面図であり、図１０
（Ｂ）が図１０（Ａ）のXB-XB 線に沿う断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の塗布装置が適用された片
ハンガー型チャンバダイを示し、図１１（Ａ）が図１１
（Ｂ）のXIA-XIA 線に沿う断面図であり、図１１（Ｂ）
が図１１（Ａ）のXIB-XIB 線に沿う断面図である。
ハンガー型チャンバダイを示し、図１１（Ａ）が図１１
（Ｂ）のXIA-XIA 線に沿う断面図であり、図１１（Ｂ）
が図１１（Ａ）のXIB-XIB 線に沿う断面図である。
１０ 塗布装置 １１ ウエブ １２ 塗料 １７ チャンバ部 １８ スロット部 １９ 上流側リップ ２０ 下流側リップ ３０ ダイ ３４ チャンバ部 ３５ スロット部 ４０ 塗料 ４１ 上流側リップ ４２ 下流側リップ Ｈ スロットギャップ ΔＨ スロットギャップの誤差 Ｐｂ 圧力損失 Ｐｓ 圧力損失
Claims (2)
- 【請求項１】 上流側リップと下流側リップに挟まれて
塗布幅方向に均一なスロット部が形成され、このスロッ
ト部の上流側に塗料を塗布幅方向に分配させるチャンバ
ー部が形成され、上記上流側リップ及び下流側リップに
対向して走行する支持体上に上記スロット部から上記塗
料を押し付けるように塗布する塗布装置において、 上記スロット部のスロットギャップＨと上記塗布幅方向
におけるスロットギャップの誤差ΔＨとが ΔＨ／Ｈ≦0.05 を満たし、且つ、上記チャンバ部内を上記塗布幅方向に
流動する塗料の圧力損失Ｐｂと、上記スロット部内を流
動する塗料の圧力損失Ｐｓとが Ｐｂ／Ｐｓ≦0.15 を満たすよう構成されたことを特徴とする塗布装置。 - 【請求項２】 上記塗料がディスパージョン塗料の場合
には、 ΔＨ／Ｈ≦0.03 Ｐｂ／Ｐｓ≦0.06 を満たすよう構成された請求項１に記載の塗布装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09763295A JP3393566B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 塗布方法 |
| US08/623,010 US5759627A (en) | 1995-03-31 | 1996-03-28 | Coating Apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09763295A JP3393566B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08266979A true JPH08266979A (ja) | 1996-10-15 |
| JP3393566B2 JP3393566B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=14197543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09763295A Expired - Fee Related JP3393566B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 塗布方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5759627A (ja) |
| JP (1) | JP3393566B2 (ja) |
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| JP2005262011A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Sunstar Eng Inc | 高粘度材料の塗布装置 |
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| JP2003010762A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-14 | Konica Corp | 塗布装置及び塗布方法 |
| DE20308257U1 (de) * | 2003-05-23 | 2004-09-30 | Nordson Corp., Westlake | Schlitzdüse |
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| DE7525191U (de) * | 1975-08-08 | 1975-12-04 | Basf Ag | Giesser zum beschichten von bandfoermigen traegermaterialien mit beschichtungsmasse |
| JPS5336458A (en) * | 1976-09-16 | 1978-04-04 | Fujitsu Ltd | Self-shift type gas discharge panel |
| JPS6053674B2 (ja) * | 1980-07-08 | 1985-11-27 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布方法 |
| US5209954A (en) * | 1989-12-29 | 1993-05-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for applying a coating liquid to a web |
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| JP2942938B2 (ja) * | 1992-10-20 | 1999-08-30 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布方法 |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP09763295A patent/JP3393566B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1996
- 1996-03-28 US US08/623,010 patent/US5759627A/en not_active Expired - Lifetime
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| CN109311047A (zh) * | 2016-06-22 | 2019-02-05 | 东丽工程株式会社 | 涂布器和涂布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5759627A (en) | 1998-06-02 |
| JP3393566B2 (ja) | 2003-04-07 |
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