KR20160088690A - 다이 코터용 유량조절부재 및 이를 포함하는 코팅 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다이 코터용 유량조절부재 및 이를 포함하는 코팅 장치에 관한 것으로, 본 발명이 일 측면에 따르면, 슬러리가 외부로 유출되도록 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는 슬롯이 마련된 본체; 및 슬롯의 두께를 결정하도록 본체 내부에 마련되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 마련된 유량 조절부재를 포함하는 코팅장치가 제공된다.

Description

다이 코터용 유량조절부재 및 이를 포함하는 코팅 장치{Flow control member for die coater and Coating apparatus comprising the same}

본 발명은 다이 코터용 유량조절부재 및 이를 포함하는 코팅 장치에 관한 것이다.

슬롯 다이 코터(Slot Die Coater)는 기재(‘피코팅체’라고도 함) 위에 코팅액(‘슬러리’라고도 함)을 도포하기 위한 장치이다. 슬롯 다이 코터를 통한 코팅은 다이 내부에서 유동하는 코팅액이 슬롯을 통해 외부로 유출되고, 코터 롤(roll)에 의해 이송되는 기재 상에 상기 코팅액이 도포되는 과정으로 이루어진다. 예를 들어, 상기 슬롯 다이 코터는 전극 코팅에 사용될 수 있으며, 상기 코팅액은 전극 슬러리일 수 있다.

도 1은 일반적인 다이 코터를 나타내는 분리 사시도이다.

도 1을 참조하면, 슬롯 다이 코터는 전극 슬러리를 다이 코터 내부로 공급하는 공급관(211)과 전극 슬러리를 슬롯의 폭 방향(W)과 나란한 방향을 따라 분배하기 위한 매니폴드(212) 및 매니폴드(212) 내부의 전극 슬러리를 다이 코터 외부로 유도하는 슬롯으로 구성된다.

한편, 슬롯 공간을 형성하기 위해 상부 다이(220)와 하부 다이(210) 사이에 배치되는 얇은 구조물을 심(30)(shim)이라 한다. 상기 심(30)은 슬롯을 향하여 일부 영역이 개방된 “ㄷ”자 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 슬롯을 향하는 부분을 제외한 나머지 영역(31, 32, 33)으로는 코팅액이 진행할 수 없는 구조를 가지고 있다. 이를 위하여 상기 심(30)은 슬롯의 폭 방향(W)을 따라 나란히 연장된 제1 부재(31)와 제1 부재(31)의 양 종단부에서 각각 슬롯을 향하여 연장된 제2 부재(32) 및 제3 부재(33)를 포함할 수 있다. 여기서, 제2 및 제3 부재(32, 33)는 제1 부재(31)를 통하여 일 종단에서만 서로 연결될 뿐, 제2 및 제3 부재(32, 33)의 타 종단에서는 서로 연결되지 않고 개방된 구조를 갖는다.

또한, 일반적인 슬롯 다이 코터에서, 공급관(211)은 매니폴드 (212)의 중앙 부분에 위치하도록 마련된다. 이에 따라 상기 다이 코터 출구(슬롯)의 중앙 부분의 유량이 상대적으로 증가하게 되고, 결과적으로 코팅 시 슬롯의 폭 방향(W)을 따라 코팅액의 유량 편차가 발생한다. 특히, 코팅액의 유변물성에 따라 유량편차가 영향을 받기도 한다.

상기와 같은 유량 편차를 해소하기 위하여, 얇은 두께의 심을 사용하는 방법이 고려될 수 있다. 심의 두께가 얇아지면 유로 단면의 종횡비(aspect ratio)가 커지면서 2차원 유동효과가 감소하게 되고, 이에 따라 폭 방향(W) 유량 편차가 감소하게 된다. 그러나 심이 얇아짐에 따라 다이 코터에 걸리는 압력이 증가하게 되고, 이에 따라 코팅액이 누출되는 문제가 발생한다. 또한, 코팅액의 점도가 높은 경우에는 얇은 두께의 심을 사용하기 어렵다. 한편, 매니폴드의 형상을 변경하는 방법을 고려할 수 있으나, 이러할 경우 다이 코터의 형상 자체를 변경해야 하는 문제가 발생한다.

따라서, 다이 코터 출구(슬롯)에서의 폭 방향(W) 유량 편차를 감소시키기 위한 새로운 구조의 심이 요구된다.

본 발명은 슬롯의 폭 방향에 따른 코팅액의 유량 편차를 감소시킬 수 있는 다이 코터용 유량 조절부재 및 이를 포함하는 코팅장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명이 일 측면에 따르면, 슬러리가 외부로 유출되도록 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는 슬롯이 마련된 본체; 및 슬롯의 두께를 결정하도록 본체 내부에 마련되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 마련된 유량 조절부재를 포함하는 코팅장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 외부로부터 슬러리가 유입되는 슬러리 공급관이 마련된 제1 다이; 상기 제1 다이와 함께 슬러리가 피코팅체 측으로 유출되기 위한 슬롯을 형성하도록 제1 다이와 이격 배치되는 제2 다이; 및 슬롯의 두께를 결정하도록 제1 다이와 제2 다이 사이에 배치되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 결정되도록 마련된 유량 조절부재를 포함하는 코팅 장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 슬러리가 외부로 유출되도록 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는 슬롯이 마련된 본체; 및

슬롯의 두께를 결정하도록 본체 내부에 마련되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부 및 가장자리에서의 유량 편차가 1% 이하가 되도록 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 중앙부 및 가장자리에서 각각 다르게 결정되도록 마련된 유량조절부재를 포함하는 코팅장치가 제공된다.

또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 둘레방향을 따라 폐곡선을 형성하도록 차례로 연결되는 제1 내지 제4 부재를 포함하며, 제2 내지 제4 부재는 제1 두께를 갖도록 마련되고, 제1 부재는 길이방향에 따른 전 영역에서 제1 두께보다 작은 두께를 갖도록 마련되며, 제1 부재는 길이방향의 중앙부에서 양측 가장자리로 갈수록 높이가 감소하도록 마련된 다이 코터용 유량조절부재가 제공된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 적어도 하나의 실시예와 관련된 다이코터용 유량조절부재 및 코팅 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.

심에 유량 조절 기능을 부여하도록 심의 구조를 변경함으로써, 슬롯의 폭 방향 유량 편차를 감소시킬 수 있다. 특히, 다이 코터 형상 자체를 변경하지 않고도 다양한 물성을 가진 코팅액들에 대응할 수 있다.

또한, 전극 코팅 시 슬롯의 폭 방향에 따른 코팅 두께를 일정하게 유지시킴으로써 품질 저하를 예방할 수 있다.

도 1은 일반적인 다이 코터를 나타내는 분리 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치의 일 작동상태를 나타내는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 유량조절부재를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 유량조정부재의 정면도이다.
도 6은 본 발명과 관련된 유량조절부재의 다양한 형상을 나타내는 정면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치에서 발생하는 유량 편차를 확인하기 위한 시뮬레이션 결과들이다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 코터용 유량조정부재 및 이를 포함하는 코팅 장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세히 설명한다.

또한, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응되는 구성요소는 동일 또는 유사한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복 설명은 생략하기로 하며, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치의 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치의 일 작동상태를 나타내는 개념도이다. 또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예와 관련된 유량조절부재를 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 유량조정부재의 정면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치(1)는 슬롯(250)이 마련된 본체(200)를 포함한다. 상기 슬롯(250)은 슬러리(S)가 외부로 유출되도록 소정의 폭(W)과 소정의 두께(t1)를 갖는다.

상기 본체(200)에는 외부로부터 본체(200) 내부로 슬러리(S)가 공급되는 슬러리 공급관(211)이 마련된다. 또한, 상기 본체(200)에는 슬러리 공급관(211)을 통해 본체(200) 내부로 공급된 슬러리(S)를 슬롯(250)의 폭 방향과 나란한 방향(y축 방향)을 따라 분배시키기 위한 매니폴드(212)가 마련된다. 상기 매니폴드(212)는 슬러리 공급관(211)과 연결되도록 마련된다. 특히, 슬러리 공급관(211)은 매니폴드(212)의 중앙영역에 위치하도록 마련될 수 있다. 한편, 상기 매니폴드(212)는 슬롯(250)의 폭 방향(W)을 따라 중앙부에서 가장자리 측으로 갈수록 깊이가 증가하도록 마련될 수 있다.

도 3을 참조하면, 슬러리 공급관(211)을 통해 본체(200) 내부로 공급된 슬러리(S)는 매니폴드(212)에 일시적으로 저장되고, 슬롯(250)의 폭 방향과 나란한 방향(y축 방향)을 따라 분배된 후 심(100) 및 슬롯(250)을 차례로 통과하여 외부로 유출된다.

또한, 코팅장치(1)는 슬롯(250)의 두께(t1)를 결정하도록 본체(200) 내부에 마련되며, 슬롯(250)의 개방된 정면(x축 방향)을 기준으로 슬롯(250)의 폭 방향(W)(y축 방향)을 따라 슬러리(S)를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 마련된 유량 조절부재(100)를 포함한다. 상기 유량 조절부재(100)는 도 1을 통해 설명한 심의 기능을 수행함과 동시에 추가로 심을 통과하는 슬러리(S)의 유량을 조절하는 기능을 수행한다.

구체적으로, 본 발명과 관련된 코팅 장치에서, 매니폴드(212)를 통해 폭 방향(W)에 따른 슬러리(S)의 유량 조절이 1차적으로 이루어지고, 유량조절부재(100)에서 폭 방향(W)에 따른 슬러리(S)의 유량 조절이 2차적으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 코팅 장치(1)는 피코팅체(20)를 이송시키기 위한 코터 롤(10)을 포함할 수 있다.

우선, 본체(200)의 구체적인 구조를 설명한다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 본체(200)는 제1 다이(210, '하부 다이’라고도 함)와 제2 다이(220, ‘상부 다이’라고도 함)를 포함할 수 있다.

제1 다이(210)는 피코팅체(10)의 이송방향의 상류 측에 위치할 수 있다. 또한, 제1 다이(210)에는 외부로부터 슬러리(S)가 공급되는 슬러리 공급관(211)이 마련된다. 또한, 제1 다이(210)에는 슬러리가 전술한 유량조절부재(100)를 통과하기 전 슬롯(250)의 폭 방향(W)을 따라 양 측으로 슬러리를 분배시키기 위한 매니폴드(212)가 마련된다.

제2 다이(220)는 피코팅체의 이송방향의 하류 측에 위치할 수 있다. 또한, 제2 다이(220)는 제1 다이(210)와 함께 슬러리가 피코팅체 측으로 유출되기 위한 슬롯(250)을 형성하도록 제1 다이(210)와 이격 배치된다.

구체적으로, 상기 제1 다이(210)와 상기 제2 다이(220)는 소정 간격(t1)으로 이격 배치될 수 있다. 상기 간격(t1)은 슬롯(250)의 두께를 결정할 수 있다. 또한, 상기 유량조절부재(100)는 슬롯(250)의 두께(t1)를 결정하도록 제1 다이(210)와 제2 다이(220) 사이에 배치된다.

상기 슬롯(250)은 피코팅체(20)를 향하여 슬러리(S)가 외부로 유출되도록, 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는다. 여기서, 상기 슬롯(250)의 두께는 제1 및 제2 다이(210, 220) 사이의 간격(t1)과 동일할 수 있다.

도 1을 참조하면, 본 문서에서 슬롯(250)의 폭 방향(W)이라 함은 y축 방향과 평행한 방향을 의미할 수 있다. 또한, 슬롯(250)의 두께 방향은 z축 방향과 평행한 방향을 의미할 수 있다. 또한, 피코팅체를 향하는 방향 및 슬롯의 개방된 정면에서 바라본 방향이라 함은 x축 방향과 평행한 방향을 의미할 수 있다.

또한, 슬롯(250)의 폭이라 함은 y축 방향에 따른 슬롯(250)의 개방 간격을 의미할 수 있고, 슬롯(250)의 두께라 함은 z축 방향에 따른 슬롯(250)의 개방 간격을 의미할 수 있다.

또한, 상기 제1 다이(210)에는 상기 슬롯(250)을 형성하는 제1 립부(215)가 마련된다. 상기 제1 립부(215)는 상기 제1 다이(210)로부터 상기 코터 롤(100)을 향하여 소정 길이만큼 돌출 형성된다. 또한, 상기 제1 립부(215)는 상기 슬롯(201)의 하부 영역을 형성할 수 있다.

또한, 제2 다이(220)에는 상기 제1 립부(215)와 함께 상기 슬롯(250)을 형성하기 위한 제2 립부(225)가 마련된다. 상기 제2 립부(225)는 상기 제2 다이(220)로부터 상기 코터 롤(100)을 향하여 소정 길이만큼 돌출 형성된다. 또한, 상기 제2 립부(225)는 상기 유출 슬롯(201)의 상부 영역을 형성할 수 있다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 유량 조절부재(100)는 슬러리 공급관 (211)과 매니폴드(212)를 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 심(230)은 금속 재질로 형성될 수 있다.

상기 유량 조절 부재(100)는 슬롯(250)의 폭 방향(W)을 따라 중앙부(111)의 유출 면적 보다 양 측 가장자리(112, 114)의 유출 면적이 크도록 마련된다. 유출 면적이라 함은 슬러리가 통과할 수 있는 면적을 의미한다. 또한, 유량 조절 부재(100)는 슬롯(250)의 폭 방향(W)을 따라 중앙부(211) 두께가 양 측 가장자리(112, 114)의 두께보다 크게 형성될 수 있다. 또한, 유량 조절부재(100)는 슬롯(250)의 개방된 정면(x축 방향)을 기준으로 두께가 중앙부에서 양측 가장자리로 갈수록 선형적으로 감소하도록 마련된다. 또한, 유량 조절부재(100)는 폭 방향(W)을 따라 상기 중앙부(211)를 기준으로 좌우 대칭된 형상을 가질 수 있다. 즉, 유량 조절부재(100)는 중앙부(211)를 중심으로 양 측 가장자리로 향하여 하방으로 경사진 경사부를 포함한다. 슬러리는 상기 경사부를 따라 유동함으로써 유량 조절부재(100)의 양 측 가장자리 측으로 각각 이동할 수 있다.

유량조절부재(100)는 둘레방향을 따라 폐곡선을 형성하도록 차례로 연결되는 제1 내지 제4 부재(110 내지 140)를 포함한다. 유량조절부재(100)는 제1 부재(100)가 슬롯(250)과 마주보도록 배치된다. 즉, 제1 부재(100)는 슬러리(S)의 유출방향을 기준으로, 슬러리 공급관(211)과 슬롯(250) 사이에 위치한다.

구체적으로, 슬러리 공급관(211)을 통해 본체(200) 내부로 유입된 슬러리(S)는 매니폴드(212) 및 제1 부재(110)를 각각 통과한 후 슬롯(250)을 통해 외부로 공급된다.

여기서 제2 내지 제4 부재(120 내지 140)는 슬롯(250)과 동일한 두께(t1)를 갖도록 마련된다. 이때, 제2 내지 제4 부재(120 내지 140)이 두께는 제1 및 제2 다이 사이의 간격과 동일할 수 있다. 또한, 제1 부재(110)는 길이방향에 따른 전 영역에서 슬롯(250)의 상기 두께(t1)보다 작은 두께를 갖도록 마련된다. 또한, 제1 부재(110)는 길이방향의 중앙부에서 양 측 가장자리로 갈수록 높이가 감소하도록 마련된다.

또한, 본 문서에서 유량 조절부재(100)라 함은 제1 부재(110)만을 지칭하는 것으로 이해될 수도 있다. 구체적으로, 제1 부재(110)는 슬롯(250)의 개방된 정면을 기준으로 두께가 중앙부(111)에서 양측 가장자리(112, 114)로 갈수록 선형적으로 감소하도록 마련될 수 있다. 또한, 제1 부재(110)는 상기 중앙부(112)가 소정 곡률반경을 갖도록 곡면으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 부재(110)는 폭 방향을 따라 상기 중앙부(111)를 기준으로 좌우 대칭된 형상을 가질 수 있다.

도 6은 본 발명과 관련된 유량조절부재의 다양한 형상을 나타내는 정면도이다. 또한, 도 7 및 도 8은 본 발명의 일 실시예와 관련된 코팅 장치에서 발생하는 유량 편차를 확인하기 위한 시뮬레이션 결과들이다.

도 6을 참조하면, 유량 조절부재(100)(또는 제1 부재)는 상기 중앙부(211)가 소정 곡률반경을 갖도록 곡면으로 형성될 수 있다. 즉, 유량 조절부재(100)(또는 제1 부재)의 중앙부(211)는 소정 곡률반경을 갖도록 라운딩 처리될 수 있다.

이와는 다르게, 유량 조절부재(100)(또는 제1 부재)의 중앙부(111-1)는 뾰족하게 형성될 수 있다. 이와는 다르게, 유량 조절부재(100)(또는 제1 부재)의 중앙부(111-2)는 평면부(111-2)를 포함할 수 있다. 즉, 중앙부(111-2)에는 언더 컷 가공이 이루어질 수 있다.

도 7을 참조하면, 가로 축은 슬롯의 폭 방향 위치를 나타내고, 세로 축은 유량 분포를 나타낸다. L1은 유량조절부재(100)의 형상이 도 6의 (a)인 경우의 그래프이고, L2는 유량조절부재(100)의 형상이 도 6의 (b)인 경우의 그래프이며, L3는 유량조절부재(100)의 형상이 도 6의 (c)인 경우의 그래프이다. 도 7에 나타난 바와 같이, 유량조절부재(100)의 중앙부(111)를 곡면부로 형성한 경우, 유량 편차가 더욱 개선됨을 확인할 수 있다.

구체적으로, 유량 조절부재(100)에는 중앙부(111)를 기준으로 양 측 가장자리로 연결되는 경사부가 각각 마련된다. 여기서, 중앙부(111)의 유로를 양측 가장자리의 유로에 비해 좁게 만들면, 슬러리(S)가 유량 조절부재(100)를 통과하는 과정에서 중앙부(111)의 압력이 증가하게 된다. 이때, 경사부를 따라 슬러리가 양 측 가장자리로 이동하게 된다. 한편, 경사부의 경사도(크기)는 코팅액의 물성 및 공정 조건에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 한편, 경우에 따라서는 중앙부의 유량이 오히려 감소할 수도 있으나, 중앙부를 라운드 처리할 경우 폭 방향에 따른 균일한 유량 분포를 얻을 수 있다.

또한, 유량조절부재(100)는 슬롯(250)의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부(211) 및 가장자리(112, 114)에서의 유량 편차가 1% 이하가 되도록 마련될 수 있다.

도 8을 참조하면, S10은 기준값(Ref)에 비해 중앙에서 10㎛ 좁고, 양측 가장자리에서 10㎛ 넓은 경우의 유량 분배부재에서의 유량 분포를 나타내는 그래프이고, 같은 방식으로 S20, 30, 40은 기준값(Ref)에 비해 각각 중앙에서 20㎛, 30㎛, 40㎛ 좁고, 양측 가장자리에서 20㎛, 30㎛, 40㎛ 넓은 경우의 유량 분배부재에서의 유량 분포를 나타내는 그래프이며, S40R은 S40인 경우에서, 유량 분배부재의 중앙부가 라운드 처리된 상태의 그래프를 나타낸다. 이와 같이, 중앙부와 양 측 가장자리의 두께 차이, 즉 경사도가 클수록 유량 편차가 줄어드는 것을 확인할 수 있으며, 특히, 중앙부가 라운드 처리된 경우 유량 편차가 더욱 개선되는 것을 확인할 수 있다.

한편, 상기 코터 롤(10)은 회전에 의하여 피코팅체(20)를 이송시키는 기능을 수행한다. 코터 롤(10)에는 회전축(11)이 마련된다. 본 문서에서, 상기 피코팅체(20)는 전극이 형성되기 위한 기재(substrate)일 수 있고, 상기 슬러리(S)는 전극 슬러리일 수 있다. 또한, 상기 코터 롤(10)은 상기 슬롯(250)으로부터 소정 간격(d1)으로 이격 배치된다. 이러한 간격(d1)은 코팅 캡(gap)을 형성할 수 있다.

위에서 설명된 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

1: 코팅 장치 10: 코터 롤
20: 피코팅체 30: 심
100: 유량 조절부재 110: 제1 부재
200: 본체 210: 제1 다이
220: 제2 다이 250: 슬롯
S: 슬러리

Claims (19)

1. 슬러리가 외부로 유출되도록 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는 슬롯이 마련된 본체; 및
   슬롯의 두께를 결정하도록 본체 내부에 마련되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 마련된 유량 조절부재를 포함하는 코팅장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   유량 조절부재는 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부의 유출 면적 보다 양 측 가장자리의 유출 면적이 크도록 마련된 코팅장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   유량 조절부재는 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부 두께가 양 측 가장자리의 두께보다 크게 형성된 코팅장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   유량 조절부재는 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 두께가 중앙부에서 양측 가장자리로 갈수록 선형적으로 감소하도록 마련된 코팅장치.
5. 제 3 항에 있어서,
   유량 조절부재는 상기 중앙부가 소정 곡률반경을 갖도록 곡면으로 형성된 코팅장치.
6. 제 3 항에 있어서,
   유량 조절부재는 폭 방향을 따라 상기 중앙부를 기준으로 좌우 대칭된 형상을 갖는 코팅 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   본체에는 슬러리가 유량조절부재를 통과하기 전 슬롯의 폭 방향을 따라 양 측으로 슬러리를 분배시키기 위한 매니폴드가 마련된 코팅 장치.
8. 외부로부터 슬러리가 유입되는 슬러리 공급관이 마련된 제1 다이;
   상기 제1 다이와 함께 슬러리가 피코팅체 측으로 유출되기 위한 슬롯을 형성하도록 제1 다이와 이격 배치되는 제2 다이; 및
   슬롯의 두께를 결정하도록 제1 다이와 제2 다이 사이에 배치되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 다르게 결정되도록 마련된 유량 조절부재를 포함하는 코팅 장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   유량 조절부재는 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부의 유출 면적 보다 양 측 가장자리의 유출 면적이 크도록 마련된 코팅장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    유량조절부재는 둘레방향을 따라 폐곡선을 형성하도록 차례로 연결되는 제1 내지 제4 부재를 포함하며,
    제2 내지 제4 부재는 슬롯과 동일한 두께를 갖도록 마련되고, 제1 부재는 길이방향에 따른 전 영역에서 슬롯의 상기 두께보다 작은 두께를 갖도록 마련되며, 제1 부재는 길이방향의 중앙부에서 양 측 가장자리로 갈수록 높이가 감소하도록 마련된 코팅 장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    제1 부재는 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 두께가 중앙부에서 양측 가장자리로 갈수록 선형적으로 감소하도록 마련된 코팅장치.
12. 제 10 항에 있어서,
    제1 부재는 상기 중앙부가 소정 곡률반경을 갖도록 곡면으로 형성된 코팅장치.
13. 제 10 항에 있어서,
    제1 부재는 폭 방향을 따라 상기 중앙부를 기준으로 좌우 대칭된 형상을 갖는 코팅 장치.
14. 제 8 항에 있어서,
    제1 다이에는 슬롯의 폭 방향을 따라 슬러리를 분배시키도록 슬러리 공급관과 연결된 매니폴드가 마련되며,
    매니폴드는 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부에서 가장자리 측으로 갈수록 깊이가 증가하도록 마련된 코팅 장치.
15. 슬러리가 외부로 유출되도록 소정의 폭과 소정의 두께를 갖는 슬롯이 마련된 본체; 및
    슬롯의 두께를 결정하도록 본체 내부에 마련되며, 슬롯의 개방된 정면을 기준으로 슬롯의 폭 방향을 따라 중앙부 및 가장자리에서의 유량 편차가 1% 이하가 되도록 슬러리를 통과시키기 위한 유출 면적이 중앙부 및 가장자리에서 각각 다르게 결정되도록 마련된 유량조절부재를 포함하는 코팅장치.
16. 둘레방향을 따라 폐곡선을 형성하도록 차례로 연결되는 제1 내지 제4 부재를 포함하며,
    제2 내지 제4 부재는 제1 두께를 갖도록 마련되고, 제1 부재는 길이방향에 따른 전 영역에서 제1 두께보다 작은 두께를 갖도록 마련되며, 제1 부재는 길이방향의 중앙부에서 양 측 가장자리로 갈수록 높이가 감소하도록 마련된 다이 코터용 유량조절부재.
17. 제 16 항에 있어서,
    제1 부재는 중앙부가 라운딩 처리된 다이 코터용 유량조절부재.
18. 제 16 항에 있어서,
    제1 부재는 길이방향의 중앙부에서 양 측 가장자리로 갈수록 높이가 선형적으로 감소하도록 마련된 다이 코터용 유량조절부재.
19. 제 16 항에 있어서,
    제1 부재는 길이방향을 따라 중앙부를 기준으로 대칭된 형상을 갖는 다이 코터용 유량조절부재.

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