JP2021023837A - 塗布ノズル及び塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくい塗布ノズル及びそれを備えた塗布装置を提供する。【解決手段】塗布ノズルは、スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、スリット部と、流路と、を備える。スリット部は、ノズル本体内に設けられており、吐出口まで延びている。流路は、ノズル本体内において、スリット部の上流端の少なくも１箇所に直結しており、スリット部に塗布液を供給する。塗布装置は、上記塗布ノズルを備え、当該塗布ノズルから塗布液を吐出して塗布対象の表面に塗布膜を形成する。【選択図】図３

Description

本発明は、塗布ノズル及びそれを備えた塗布装置に関し、特にスリット状の吐出口を持ったスリットノズル及びそれを備えた塗布装置に関する。

スリットノズルは、一般的に、スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、当該ノズル本体内において横方向（吐出口がスリット状に延びている方向）に拡がったマニホールド部と、当該マニホールド部から吐出口まで延びたスリット部と、マニホールド部に塗布液を供給するための流路と、を備えており、当該流路が、マニホールド部の中央付近の１箇所に直結している（例えば、特許文献１参照）。このようなスリットノズルでは、吐出口からの塗布液の吐出量が横方向において均一になるように、マニホールド部の中央付近に流入した塗布液をマニホールド部内で横方向に十分に拡げると共に、塗布液の流れのムラを抑制する必要があり、そのためには、マニホールド部の容積を大きくする必要があった。

特開２０１６−１８２５７６号公報

本発明者は、上記スリットノズルで塗布液を塗布した場合、マニホールド部内の広い範囲で塗布液が滞留していることを、解析によって見出した。また、マニホールド部内では、流路が直結した箇所から離れるほど塗布液の滞留が顕著になることも、本発明者が見出した。

近年、上記スリットノズルを備えた塗布装置を用いて、スラリー（固体粒子が懸濁した液体）の薄膜を形成したいという要望がある。しかし、本発明者は、スラリーを塗布液として用いた場合には、マニホールド内の広い範囲でスラリーが滞留し、それが原因で、滞留したスラリー中で固体粒子が凝集し、当該固体粒子の凝集物がそのまま吐出される虞があると考える。このような凝集物は、塗布膜の平滑性や特性に悪影響を及ぼし得る。尚、溶液（溶質が溶媒に溶解した液体）を塗布液として用いた場合には、マニホールド内で溶液が滞留したとしても凝集物が生じないため、マニホールド内での滞留が問題になることはなかった。

そこで本発明の目的は、塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくい塗布ノズル及びそれを備えた塗布装置を提供することである。

本発明に係る塗布ノズルは、スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、スリット部と、流路と、を備える。スリット部は、ノズル本体内に設けられており、吐出口まで延びている。流路は、ノズル本体内において、スリット部の上流端の少なくも１箇所に直結しており、スリット部に塗布液を供給する。

上記塗布ノズルによれば、隙間幅の狭いスリット部に、塗布液が、流路から直接流れ込むことにより、その塗布液は、滞留することなくスリット部内を横に拡がりながら下流側へ流れる。従って、スリット部内の横方向における全ての箇所で、塗布液が縦方向に流れやすくなる。

本発明にかかる塗布装置は、上記塗布ノズルを備え、当該塗布ノズルから塗布液を吐出して塗布対象の表面に塗布膜を形成する。

本発明によれば、塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくい。

塗布装置を例示した概念図である。 塗布ノズルの分解斜視図である。 塗布ノズルの第１本体構成部を内面側から見て示した平面図である。 第１変形例に係る塗布ノズルの一例を示した概念図である。 第１変形例に係る塗布ノズルの他の例を示した概念図である。 第１変形例に係る塗布ノズルの更なる他の例を示した概念図である。 第２変形例に係る塗布ノズルを示した概念図である。 第３変形例に係る塗布ノズルを示した概念図である。 第４変形例に係る塗布ノズルを示した概念図である。

［１］塗布装置の構成
図１は、塗布装置を例示した概念図である。図１に示されるように、塗布装置は、チャック部１と、塗布液供給部２と、制御部３と、を備える。

＜チャック部１＞
チャック部１は、ステージ１１と、ステージ駆動部１２と、を含む。

ステージ１１は、載置面１１ａを上方へ向けた状態で設置されており、載置面１１ａの所定位置に載せられた塗布対象Ｔ（塗布膜が形成される対象）を吸引することにより、当該塗布対象Ｔを所定位置からずれないように固定する。尚、ステージ１１は、吸引力で塗布対象Ｔを所定位置に固定するものに限らず、静電気力で固定するもの等、塗布対象Ｔを所定位置に固定できる様々なステージに変更できる。

ステージ駆動部１２は、所定方向Ｄ１におけるステージ１１の移動を可能にする機構であり、制御部３からの指令に従ってステージ１１の動作（移動方向や移動速度など）を制御する。

＜塗布液供給部２＞
塗布液供給部２は、塗布ノズルＫと、ノズル駆動部２１と、送液ポンプ２２と、を含む。

塗布ノズルＫは、スリット状の吐出口５０ａを持ったスリットノズルであり、吐出口５０ａをステージ１１の載置面１１ａに向けた状態で設置されている。また、塗布ノズルＫは、吐出口５０ａがスリット状に延びている方向（図１では、紙面に垂直な方向。以下、「横方向Ｄ２」と称す）が、ステージ１１の載置面１１ａに平行であって且つ所定方向Ｄ１（ステージ１１の移動方向）に垂直になるように、配置されている。尚、塗布ノズルＫの詳細については、後述する。

ノズル駆動部２１は、塗布ノズルＫの高さ方向の移動を可能にする機構であり、制御部３からの指令に従って、塗布対象Ｔに対する塗布ノズルＫの高さ位置を調整する。

送液ポンプ２２は、塗布液を塗布ノズルＫに送る。具体的には、送液ポンプ２２は、制御部３からの指令に従って塗布ノズルＫへの塗布液の供給量を調整することにより、塗布ノズルＫからの塗布液の吐出量を調整する。

＜制御部３＞
制御部３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やマイクロコンピュータなどの処理装置で構成されており、塗布装置が備える様々な動作部（チャック部１や塗布液供給部２を含む）を制御する。

［２］塗布ノズルの構成
塗布ノズルＫは、ノズル本体５０と、スリット部５１と、流路５２と、マニホールド部５３と、を備える（図１参照）。

図２は、塗布ノズルＫの分解斜視図である。図２に示されるように、ノズル本体５０は、第１本体構成部５０１と、第２本体構成部５０２と、これらの間に介在するシム部５０３と、から構成されている。

第１本体構成部５０１及び第２本体構成部５０２は、互いに対向する平面５０１ａ及び平面５０２ａをそれぞれ有している。また、シム部５０３は、所定の厚さを持った平板であり、平面５０１ａ及び５０２ａの間に介在することにより、自身の厚さ分だけ平面５０１ａ及び５０２ａを互いに離間させる。これにより、ノズル本体５０内において平面５０１ａ及び５０２ａの間に隙間が設けられ、当該隙間が、吐出口５０ａと、当該吐出口５０ａまで延びたスリット部５１と、になる。また、吐出口５０ａ及びスリット部５１の隙間幅Ｗ（不図示）が、シム部５０３（平板）の厚さで規定される。

具体的には、シム部５０３には、吐出口５０ａ及びスリット部５１となる箇所に、それらの形状に応じた切欠き５０３ｃが設けられている。そして、シム部５０３は、自身の両面をそれぞれ平面５０１ａ及び５０２ａに密着させた状態で、第１本体構成部５０１と第２本体構成部５０２とによって挟まれる。尚、図２では、第１本体構成部５０１の平面５０１ａに、スリット部５１になる領域が一点鎖線で示されている。また、図３は、第１本体構成部５０１を内面（平面５０１ａ）側から見て示した平面図である。図３においても、スリット部５１になる領域が一点鎖線で示されている。

図２及び図３に示されるように、ノズル本体５０には、塗布液が供給される供給口５０ｂと、当該供給口５０ｂからスリット部５１まで塗布液を導く流路５２と、が設けられている。そして、流路５２は、ノズル本体５０内において複数に分岐しており、分岐後の流路５２の先端部５２ｃがそれぞれスリット部５１の上流端５１ａの複数箇所に直結している（図３参照）。

具体的には、第１本体構成部５０１に、その外面から平面５０１ａまで貫通した貫通孔５０１ｂが設けられており、当該貫通孔５０１ｂの入口が供給口５０ｂになっている。また、第１本体構成部５０１の平面５０１ａには、貫通孔５０１ｂの出口から延びた溝５０１ｃが凹設されており、当該溝５０１ｃは、複数に分岐すると共に、分岐後の先端部５０１ｄ（分岐後の流路５２の先端部５２ｃになる部分）の位置が、平面５０１ａのうちのスリット部５１の上流端５１ａになる箇所に配置されている。そして、当該溝５０１ｃが先端部５０１ｄを除いてシム部５０３で塞がれることにより、溝５０１ｃ内を通ってスリット部５１の上流端５１ａに直結する通路がノズル本体５０内に形成され、当該通路と貫通孔５０１ｂとによって流路５２が構成される。

ここで、流路５２内の塗布液の流れは、流路５２の内壁面との摩擦により、当該内壁面の近傍で遅くなり、特に内壁面に角がある場合には当該角の近傍で塗布液が停滞しやすくなる。よって、流路５２の内壁面は、角が少ない又は角がない滑らかな面であることが好ましい。このため、溝５０１ｃは、その内壁面がＵ字状になるように形成される。尚、この形状は一例に過ぎず、流路５２の内壁面の形状（即ち、流路５２の断面形状）は、塗布液の種類などに応じて適宜変更されてもよい。

図３では、流路５２は、供給口５０ｂから延びた１つの流路が４つに分岐したものであり、分岐後の４つの流路５２の先端部５２ｃがそれぞれ、スリット部５１の上流端５１ａの４箇所に直結している。具体的には、分岐後の４つの流路５２は、横方向Ｄ２における４箇所でスリット部５１に直結している。このような構成によれば、スリット部５１に対して、横方向Ｄ２における複数箇所から塗布液を供給することが可能になる。また図３では、スリット部５１への流路５２の直結箇所が、横方向Ｄ２において等間隔且つ均等に配置されている。このような構成によれば、塗布液が、流路５２の分岐により横方向Ｄ２に均等に分配されてスリット部５１に供給されることになる。

そして、流路５２よりも隙間幅Ｗの狭いスリット部５１に、塗布液が、流路５２から直接流れ込むことにより、その塗布液は、滞留することなくスリット部５１内を横に拡がりながら下流側へ流れ、その後、隣の流路５２からスリット部５１に流れ込んだ塗布液と重なり合う。これにより、スリット部５１において、塗布液の流れのムラが抑制される。

図３では更に、スリット部５１の上流端５１ａが、分岐後の流路５２が直結した各箇所（直結箇所）から吐出口５０ａ側へ斜めに傾斜した形状を呈している。具体的には、上流端５１ａは、各直結箇所から左右へ逆Ｖ字状に傾斜している。ここで、塗布液内に気泡が混入又は発生した場合、その気泡は、スリット部５１内において自身に生じた浮力によって上流側へ移動する。そして、上記上流端５１ａの形状によれば、気泡は、スリット部５１内を上流側へ移動する際に上流端５１ａの傾斜に沿って上昇することで、流路５２の直結箇所まで効率良く導かれる。

また、流路５２に導かれた気泡は、流路５２内を上流側へ移動し、流路５２の上流側に設けられたベントポート（不図示）を通って塗布ノズルＫ外へ排出される。このとき、気泡が流路５２内を上流側へ移動しやくなるように、図３では、流路５２のうちの分岐点から左右へ拡がる部分に、吐出口５０ａ側へ斜めに向かう傾斜が設けられている。

マニホールド部５３は、ノズル本体５０内においてスリット部５１の途中に設けられた空洞部分であり、断面積（横方向Ｄ２に平行であって且つ平面５０１ａに垂直な面での断面積）がスリット部５１より大きい。具体的には、第１本体構成部５０１の平面５０１ａのうちのスリット部５１となる領域（シム部５０３と重ならずに切欠き５０３ｃ内に露出する領域）に、マニホールド部５３となる溝５０１ｅが凹設されている。そして、マニホールド部５３は、横方向Ｄ２においてスリット部５１の端から端まで吐出口５０ａと平行に延びている。

換言すれば、スリット部５１は、流路５２が直結した上流側の第１スリット部５１Ａと、吐出口５０ａまで延びた下流側の第２スリット部５１Ｂと、を含み、マニホールド部５３は、第１スリット部５１Ａと第２スリット部５１Ｂとの間に設けられている。そして、上流側の第１スリット部５１Ａからマニホールド部５３への入口５３ａが、横方向Ｄ２においてマニホールド部５３の端から端まで拡がっており、また、下流側の第２スリット部５１Ｂへのマニホールド部５３からの出口５３ｂも、横方向Ｄ２においてマニホールド部５３の端から端まで拡がっている。更に、当該マニホールド部５３の出口５３ｂが、吐出口５０ａと平行に延びている。

従って、マニホールド部５３には、横方向Ｄ２において端から端まで拡がった入口５３ａから、第１スリット部５１Ａで流れのムラが抑制された塗布液が流れ込む。即ち、マニホールド部５３には、横方向Ｄ２における何れの箇所からも、第１スリット部５１Ａからの塗布液が流れ込む。また、塗布液は、流路５２の分岐により横方向Ｄ２に均等に分配されてスリット部５１に供給されたものであるため、マニホールド部５３の入口５３ａには、横方向Ｄ２における全域に亘って塗布液が均一に流れ込みやすい。

そして、マニホールド部５３に流れ込んだ塗布液は、マニホールド部５３内に一旦貯留されることで流れのムラが更に抑制される。その後、マニホールド部５３内の塗布液は、横方向Ｄ２において端から端まで拡がった出口５３ｂから第２スリット部５１Ｂへ流れ出る。また、マニホールド部５３の出口５３ｂが吐出口５０ａと平行に延びているため、第２スリット部５１Ｂへの流出後の塗布液の流れが、横方向Ｄ２における全域に亘って均一になりやすく、その結果として、吐出口５０ａからは、横方向Ｄ２における全域に亘って塗布液が均一に吐出されやすくなる。よって、塗布ノズルＫを用いて塗布対象Ｔの表面に塗布膜を形成した場合、当該塗布膜の厚さが均一になりやすい。

マニホールド部５３には、横方向Ｄ２における全域に第１スリット部５１Ａからの塗布液が流れ込み、また、その塗布液は、第１スリット部５１Ａにおいて流れのムラが抑制されたものである。従って、マニホールド部５３は、流れ込んでくる塗布液に対して、必要な分だけ付加的に流れのムラを抑制できればよい。よって、上述した塗布ノズルＫによれば、マニホールド部５３の断面積を、従来のスリットノズル（マニホールド部の中央付近の１箇所に流路が直結した従来のスリットノズル）に設けられるマニホールド部の断面積より小さくすることができる。そして、マニホールド部５３の断面積を小さくすることにより、準備段階で塗布ノズルＫ内を満たすための塗布液の量を少なくすることができる。

更に、上述した塗布ノズルＫによれば、第１スリット部５１Ａ、マニホールド部５３、及び第２スリット部５１Ｂの何れの部分においても、横方向Ｄ２における全ての箇所で、塗布液が縦方向Ｄ３（平面５０１ａに平行であって且つ横方向Ｄ２に垂直な方向）に流れやすくなる。よって、塗布ノズルＫ内において塗布液は滞留しにくくなり、従って、塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくくなる。

また、塗布液が、第１スリット部５１Ａ、マニホールド部５３、及び第２スリット部５１Ｂを順に流れることにより、隙間幅Ｗが小さい箇所、大きい箇所、小さい箇所を順に通過することになる。よって、塗布液は、吐出口５０ａに至るまでに収縮と膨張とを繰り返して流れることになる。そして、このような収縮と膨張との繰返しによれば、塗布液としてスラリーを用いた場合において当該スラリー中に凝集物がたとえ生じたとしても、その凝集物が解砕されやくなる。

［３］変形例
［３−１］第１変形例
上述した塗布ノズルＫによれば、吐出口５０ａから塗布液が均一に吐出されるが故に、塗布膜の厚さが均一になりやすい。一方、塗布膜を乾燥した場合、塗布液の種類や乾燥の条件などによっては乾燥後の厚さが均一にならないことがある。一例として、塗布膜の中央部よりも縁部（所定方向Ｄ１に平行な縁に近い部分）で収縮率が大きく、それが原因で、中央部よりも縁部で乾燥後の厚さが小さくなることがある。そこで、塗布ノズルＫは、乾燥後の厚さが均一になるように塗布液を吐出できるものに変形されてもよい。以下、３つの例について具体的に説明する。

（１）流路を変形した例
図４は、第１変形例に係る塗布ノズルＫの一例を示した概念図である。図４に示されるように、流路５２は、スリット部５１への直結箇所が横方向Ｄ２において等間隔且つ均等に配置されたもの（図３参照）に限らず、当該直結箇所が、収縮率が大きい部分に対応させて密に配置されたものであってもよい。即ち、流路５２は、スリット部５１への直結箇所が横方向Ｄ２において部分的に密になるように配置されたものであってもよい。図４では、収縮率が塗布膜の中央部よりも縁部で大きくなる場合において、スリット部５１への流路５２の直結箇所を、横方向Ｄ２における両端部において密になるように配置した構成が示されている。

このような構成によれば、収縮率が大きい部分に対応した箇所において、直結箇所が密になっている分、流路５２からスリット部５１に供給される塗布液の量が多くなり、その結果として、収縮率が大きい部分への塗布液の吐出量が増えて、その部分での塗布膜の厚さが大きくなる。よって、塗布膜の乾燥後における全体の厚さが均一になるように、収縮率を考慮して塗布膜の厚さを部分的に変化させることが可能になる。

（２）スリット部を変形した例
図５は、第１変形例に係る塗布ノズルＫの他の例を示した概念図である。図５に示されるように、スリット部５１は、流路５２の直結箇所の全ての高さ（縦方向Ｄ３におけるマニホールド部５３又は吐出口５０ａからの高さ）が同じになるように構成されたもの（図３参照）に限らず、収縮率が大きい部分に対応した直結箇所の高さが低くなるように構成されてもよい。即ち、スリット部５１は、流路５２の直結箇所についてのマニホールド部５３又は吐出口５０ａからの高さが部分的に低くなるように構成されてもよい。図５では、収縮率が塗布膜の中央部よりも縁部で大きくなる場合において、流路５２の直結箇所の高さを横方向Ｄ２における両端部において低くした構成が示されている。

このような構成によれば、収縮率が大きい部分に対応した箇所において、直結箇所の高さが低くなっている分、流路５２からスリット部５１を介してマニホールド部５３及び吐出口５０ａに供給される塗布液の量が多くなり、その結果として、収縮率が大きい部分への塗布液の吐出量が増えて、その部分での塗布膜の厚さが大きくなる。よって、塗布膜の乾燥後における全体の厚さが均一になるように、収縮率を考慮して塗布膜の厚さを部分的に変化させることが可能になる。

（３）マニホールド部を変形した例
図６は、第１変形例に係る塗布ノズルＫの更なる他の例を示した概念図である。図６に示されるように、マニホールド部５３は、出口５３ｂが吐出口５０ａと平行に延びていているもの（図３参照）に限らず、出口５３ｂが、収縮率が大きい部分に対応した箇所に塗布液が集まるように部分的に傾斜したものであってもよい。即ち、マニホールド部５３は、塗布液が集まりやすい箇所が形成されるように出口５３ｂが部分的に傾斜したものであってもよい。図６では、収縮率が塗布膜の中央部よりも縁部で大きくなる場合において、マニホールド部５３の出口５３ｂを、横方向Ｄ２における両端部において外側へ向けて斜め下方へ傾斜させた構成が示されている。

このような構成によれば、収縮率が大きい部分に対応した箇所において、マニホールド部５３の出口５３ｂが傾斜していて塗布液が集まりやすい分、当該出口５３ｂから第２スリット部５１Ｂへ流れ出る塗布液の量が多くなり、その結果として、収縮率が大きい部分への塗布液の吐出量が増えて、その部分での塗布膜の厚さが大きくなる。よって、塗布膜の乾燥後における全体の厚さが均一になるように、収縮率を考慮して塗布膜の厚さを部分的に変化させることが可能になる。

［３−２］第２変形例
図７は、第２変形例に係る塗布ノズルＫを示した概念図である。図７に示されるように、塗布ノズルＫは、マニホールド部５３がない構成を有していてもよい。この構成においても、スリット部５１内の横方向Ｄ２における全ての箇所で、塗布液が縦方向Ｄ３に流れやすくなる。よって、塗布ノズルＫ内において塗布液は滞留しにくくなり、従って、塗布液としてスラリーを用いた場合でも凝集物が生じにくくなる。

［３−３］第３変形例
図８は、第３変形例に係る塗布ノズルＫを示した概念図である。図８に示されるように、塗布ノズルＫにおいて、ノズル本体５０に複数の供給口５０ｂが設けられ、当該複数の供給口５０ｂから延びた流路５２が、分岐せずに、スリット部５１の上流端５１ａの複数箇所にそれぞれ直結していてもよい。この場合、複数の供給口５０ｂには、塗布ノズルＫに塗布液を供給するための外部配管が次のように接続される。即ち、外部配管は複数に分岐され、分岐後の配管の先端部がそれぞれ供給口５０ｂに接続される。

このような構成においても、塗布液が、外部配管の分岐により横方向Ｄ２に分配されてスリット部５１に供給されることになる。そして、塗布液は、流路５２よりも隙間幅Ｗの狭いスリット部５１に流れ込むことにより、スリット部５１内を横に拡がりながら下流側へ流れ、その後、隣の流路５２からスリット部５１に流れ込んだ塗布液と重なり合う。これにより、スリット部５１において、塗布液の流れのムラが抑制される。

［３−４］第４変形例
図９は、第４変形例に係る塗布ノズルＫを示した概念図である。図９に示されるように、塗布ノズルＫは、分岐後の各流路５２の断面積が分岐前の流路５２の断面積よりも小さくなるように構成されていてもよい。例えば、供給口５０ｂに近い１つ目の分岐点において、断面積を１／２に変化させ、２つ目の分岐点において断面積が更に１／２に変化させることができる。即ち、分岐後の流路５２の断面積の総和が、分岐前の流路５２の断面積と等しくなるように、流路５２の断面積を変化させることができる。これにより、流路５２内における塗布液の流速を、上流側から下流側まで一定にすることができる。よって、下流側に行くほど流れが遅くなって塗布液の停滞領域が拡がることを防止できる。また、流路５２全体の容積が小さくなるため、準備段階で塗布ノズルＫ内を満たすための塗布液の量をより少なくすることができる。

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。更に、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

本発明には、塗布ノズルＫの構成として、例えば、スリット部５１の上流端５１ａの１箇所にだけ流路５２が直結した構成や、スリット部５１の上流端５１ａや流路５２に傾斜がない構成なども含まれる。また、本発明には、上述した実施形態及び第１〜第４変形例の幾つかを適宜組み合わせた構成も含まれる。

１ チャック部
２ 塗布液供給部
３ 制御部
Ｋ 塗布ノズル
Ｔ 塗布対象
Ｗ 隙間幅
１１ ステージ
１１ａ 載置面
１２ ステージ駆動部
２１ ノズル駆動部
２２ 送液ポンプ
５０ ノズル本体
５０ａ 吐出口
５０ｂ 供給口
５１ スリット部
５１Ａ 第１スリット部
５１Ｂ 第２スリット部
５１ａ 上流端
５２ 流路
５２ｃ 先端部
５３ マニホールド部
５３ａ 入口
５３ｂ 出口
Ｄ１ 所定方向
Ｄ２ 横方向
Ｄ３ 縦方向
５０１ 第１本体構成部
５０１ａ 平面
５０１ｂ 貫通孔
５０１ｃ 溝
５０１ｄ 先端部
５０１ｅ 溝
５０２ 第２本体構成部
５０２ａ 平面
５０３ シム部
５０３ｃ 切欠き

Claims (11)

1. スリット状の吐出口を持ったノズル本体と、
   前記ノズル本体内に設けられており、前記吐出口まで延びたスリット部と、
   前記ノズル本体内において、前記スリット部の上流端の少なくも１箇所に直結しており、前記スリット部に塗布液を供給する流路と、
   を備える、塗布ノズル。
2. 前記スリット部の前記上流端の複数箇所に前記流路が直結している、請求項１に記載の塗布ノズル。
3. 前記流路は、前記ノズル本体内において複数に分岐しており、分岐後の流路がそれぞれ前記スリット部の前記複数箇所に直結している、請求項２に記載の塗布ノズル。
4. 前記分岐後の各流路は、分岐前の流路よりも断面積が小さい、請求項３に記載の塗布ノズル。
5. 前記流路は、前記スリット部への直結箇所が、前記吐出口がスリット状に延びている横方向において部分的に密になるように配置されたものである、請求項２〜４の何れかに記載の塗布ノズル。
6. 前記スリット部は、前記流路の直結箇所についての前記吐出口からの高さが部分的に低くなるように構成されている、請求項２〜５の何れかに記載の塗布ノズル。
7. 前記スリット部よりも断面積が大きいマニホールド部を更に備え、
   前記スリット部は、前記流路が直結した上流側の第１スリット部と、前記吐出口まで延びた下流側の第２スリット部と、を含み、
   前記マニホールド部は、前記第１スリット部と前記第２スリット部との間に設けられている、請求項１〜６の何れかに記載の塗布ノズル。
8. 前記マニホールド部は、塗布液が集まりやすい箇所が形成されるように前記第２スリット部への出口が部分的に傾斜したものである、請求項７に記載の塗布ノズル。
9. 前記スリット部の前記上流端は、前記流路が直結した箇所から前記吐出口側へ斜めに傾斜した形状を呈している、請求項１〜８の何れかに記載の塗布ノズル。
10. スラリーの塗布に用いられる、請求項１〜９の何れかに記載の塗布ノズル。
11. 請求項１〜１０の何れかに記載の塗布ノズルを備え、当該塗布ノズルから塗布液を吐出して塗布対象の表面に塗布膜を形成する、塗布装置。

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