KR101304418B1

KR101304418B1 - 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의제조방법

Info

Publication number: KR101304418B1
Application number: KR1020060010810A
Authority: KR
Inventors: 김윤수; 김광용
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사; 인하대학교 산학협력단
Priority date: 2006-02-03
Filing date: 2006-02-03
Publication date: 2013-09-05
Also published as: CN100496764C; KR20070079820A; CN101011691A; TW200731179A; JP2007203293A

Abstract

본 발명은 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치 제조용 슬릿 코터는 코팅액 공급부와; 상기 코팅액 공급부로부터의 코팅액이 주입되는 주입부와 상기 코팅액을 처리대상 기판 상에 코팅시키는 세장형의 슬릿부를 포함하며, 상기 주입부와 상기 슬릿부 사이에 상기 슬릿부 길이 1mm 당 0.13cc 내지 0.5cc의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있는 슬릿 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 균일한 품질의 코팅층을 형성할 수 있는 표시장치 제조용 슬릿 코터가 제공된다.

Description

표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의 제조방법{SLIT COATER FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY DEVICE USING THE SAME}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터의 사시도이고,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도이고,

도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이고,

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터를 이용한 슬릿 코팅을 설명하기 위한 도면이고,

도 5는 슬릿 코터의 캐비티 부피와 코팅층의 두께 분포와의 관계를 설명하기 위한 그래프이고,

도 6a 내지 도 6c는 무패턴의 기판에 대해 실시한 본 발명의 실험예 1을 설명하기 위한 그래프이고,

도 7a 및 도 7b는 블랙매트릭스가 형성된 기판에 대해 실시한 본 발명의 실험예 2를 설명하기 위한 그래프이고,

도 8a 및 8b는 코팅 속도를 달리하여 실시한 본 발명의 실험예 3을 설명하기 위한 그래프이고,

도 9a 내지 도 9f는 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터를 사용한 표시장 치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이고,

도 10 및 도 11은 각각 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 슬릿 코터의 단면도이다.

* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *

10 : 슬릿 노즐 11, 12 : 서브 본체

13 : 주입부 14 : 캐비티

15 : 노즐부 20 : 코팅액 공급부

21 : 코팅액탱크 22 : 질량유속제어기

본 발명은 표시장치 제조용 슬릿코터와 이를 이용한 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

최근 종래의 CRT를 대신하여 액정표시장치(LCD), PDP(plasma display panel), OLED(organic light emitting diode) 등의 평판표시장치가 많이 사용되고 있다.

이들 평판표시장치의 제조에는 감광물질 등의 박막을 기판 전면에 코팅하여 코팅층을 형성하는 공정이 많이 사용된다. 코팅층은 필요에 따라 노광, 현상 등을 통해 패터닝된다.

이러한 코팅층을 형성하는 방법으로는 스핀 코팅(spin coating) 및 슬릿 코 팅(slit coating) 등이 있다. 슬릿 코팅은 세장형의 노즐을 가진 슬릿 코터를 기판상에서 이동하면서 노즐을 통해 코팅액을 토출하는 방법이다.

최근 표시장치가 대형화되면서 슬릿 코터의 길이도 같이 증가하고 있다. 그런데 슬릿 코터의 길이가 증가되면서 위치에 따라 토출 정도가 불균일해져 코팅층의 품질, 특히 두께가 일정하지 않은 문제가 있다.

따라서 본 발명의 목적은 균일한 품질의 코팅층을 형성할 수 있는 표시장치 제조용 슬릿 코터를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 균일한 품질의 코팅층을 형성할 수 있는 표시장치 제조용 슬릿 코터를 사용하여 표시장치를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

상기의 목적은 코팅액 공급부와; 상기 코팅액 공급부로부터의 코팅액이 주입되는 주입부와 상기 코팅액을 처리대상 기판 상에 코팅시키는 세장형의 슬릿부를 포함하며, 상기 주입부와 상기 슬릿부 사이에 상기 슬릿부 길이 1mm 당 0.13cc 내지 0.5cc의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있는 슬릿 노즐을 포함하는 표시장치 제조용 슬릿 코터에 의하여 달성된다.

상기 주입부는 상기 슬릿 노즐의 중앙부에 위치하며, 상기 캐비티는 상기 주입부를 중심으로 좌우 대칭으로 마련되어 있는 것이 바람직하다.

상기 캐비티는 상기 주입부에서 멀어질수록 하향경사되어 있는 것이 바람직하다.

상기 캐비티의 횡단면은 상기 주입부에서 멀어질수록 넓어지는 것이 바람직하다.

상기 노즐의 갭(gap)은 60㎛ 내지 140㎛인 것이 바람직하다.

상기 본 발명의 목적은 코팅액 공급부와; 상기 코팅액 공급부로부터 코팅액을 공급받으며, 공급된 코팅액이 주입된 코팅액이 토출 폭 1mm당 0.13cc 내지 0.5cc의 부피를 가지는 세장형 캐비티를 거친 후 토출되는 슬릿노즐을 포함하는 표시장치 제조용 슬릿코터에 의해서도 달성된다.

상기 본 발명의 다른 목적은 코팅액이 주입되는 주입부와 상기 코팅액을 처리대상 기판 상에 코팅시키는 세장형의 슬릿부를 포함하며, 상기 코팅액 공급부와 상기 슬릿부 사이에 상기 슬릿부 길이 1mm 당 1.3cc 내지 5cc의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있는 슬릿 노즐을 포함하는 슬릿 코터를 이용하여 절연기판 상에 코팅층을 코팅하는 단계와; 상기 코팅층을 패터닝하는 단계를 포함하는 표시장치용 기판의 제조방법에 의하여 달성된다.

상기 절연기판 상에 격자상의 블랙매트릭스를 형성하는 단계를 더 포함하고 상기 코팅층은 상기 블랙매트릭스 상에 형성되며, 상기 코팅층은 컬러필터 물질을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 코팅액의 점도는 2cP 내지 6cP인 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본발명을 더욱 상세히 설명하겠다.

이하의 실시예에서 동일한 구성요소를 가리키는 참조번호는 동일한 번호를 사용하였다. 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명되고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.

도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치를 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터의 사시도, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면도, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도이다.

본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터(1)는 슬릿 노즐(10) 및 코팅액 공급부(20)를 포함한다.

슬릿 노즐(10)은 길게 연장되어 있으며 코팅액 공급부(20)로부터 코팅액을 공급받아 기판 상에 코팅액을 형성한다. 슬릿 노즐(10)의 길이(W)는 약 800mm내지 2000mm일 수 있다.

슬릿 노즐(10)은 서로 결합되어 있는 제1 서브 본체(11) 및 제2서브본체(12)를 포함한다. 제1서브 본체(11)는 제2서브 본체(12)에 비해 복잡한 형상을 가지면서 주입부(13), 캐비티(14) 및 노즐부(15)를 형성한다.

주입부(13)는 코팅액 공급부(20)에 연결되어 있으며 코팅액을 공급받는다. 주입부(13)는 슬릿 노즐(10)의 길이방향에서 대략 중심 부분에 위치하고 있다.

캐비티(14)는 주입부(13)에 연결되어 있으며 주입부(13)를 중심으로 양 쪽으로 연장되어 있다. 캐비티(14)는 주입부(13)를 중심으로 양 편이 대칭으로 형성되어 있다.

주입부(13)를 통해 공급된 코팅액은 캐비티(14)를 거친 후 노즐부(15)로 진행한다. 캐비티(14)는 노즐부(15)에 비하여 큰 부피를 가지고 있는데, 노즐부(15) 길이 1mm 당 약 0.13cc 내지 0.5cc의 부피를 가진다. 예를 들어 슬릿 노즐(10)의 길이(W)가 약 1200mm이면 캐비티(14)는 약 156cc 내지 600cc의 부피를 가지는 것이다. 캐비티(14)의 부피가 이러한 값을 가지는 이유는 후술한다.

캐비티(14)는 또한 주입부(13)를 중심으로 주입부(13)에서 멀어질수록 하향되어 있다. 기울어진 경사각, 즉 행거 앵글(hanger angle, θ)은 1도 내외일 수 있다.

제1서브 본체(11)와 제2서브 본체(12)는 작은 갭(g)을 사이에 두고 마주보며 노즐부(15)를 형성한다. 노즐부(15)는 캐비티(14)와 연결되어 있으며, 노즐부(15)의 갭(g)은 60㎛ 내지 140㎛일 수 있다.

노즐부(15)의 오리피스 길이(orifice length, L)는 캐비티(14)의 위치에 따라 달라진다. 즉, 노즐부(15)의 오리피스 길이 (L)는 캐비티(14)가 가장 상부에 위치하는 슬릿 노즐(10)의 중심부에서 가장 길고, 캐비티(14)가 가장 하부에 위치하는 슬릿 노즐(10)의 양 말단에서 가장 짧게 된다. 가장 짧은 슬릿 노즐(10)의 양 말단에서의 오리피스 길이 (L)는 10mm 내지 60mm일 수 있다.

코팅액 공급부(20)는 코팅액 탱크(21)와 질량유속제어기(mass flow controller)를 포함한다.

이상과 같은 슬릿 코터(1)는 공급받은 코팅액을 위치에 상관없이 균일한 두께로 기판 상에 코팅한다. 즉 주입부(13)에서 가까운 부분이나 주입부(13)에서 멀리 떨어진 부분 모두에서 균일한 두께의 코팅층을 형성하는 것이다.

이는 큰 부피를 가지는 캐비티(14)에 의해 코팅액의 흐름이 균일해지기 때문 이다. 또한 주입구(13)에서 멀어질수록 노즐부(15)의 오리피스 길이 (L)가 작아져 토출저항이 작아지기 때문이다.

이하 도 4a 내지 도 5를 참조하여 슬릿 코터의 캐비티 부피에 대하여 설명한다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터를 이용한 슬릿 코팅을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 슬릿 코터의 캐비티 부피와 코팅층의 두께 분포와의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.

도 4a와 같이 슬릿 노즐(10)은 연장방향의 수직방향으로 기판(100)을 지나가면서 코팅층(110)을 형성한다. 슬릿 노즐(10)의 연장방향을 TD라 하고, 슬릿 노즐(10)의 진행방향을 MD라고 한다.

코팅층(110)은 두께가 불균일하게 형성될 수 있는데, 이 중 MD방향으로의 두께 불균일은 코팅액 공급부(20)의 성능이나, 코팅액의 조성에 의해 결정된다. 반면TD방향으로의 두께 불균일은 슬릿 노즐(10)의 성능에 따라 결정되는데, 특히 슬릿 노즐(10)의 중앙부(A)와 가장자리부(B) 간의 두께 차이가 문제가 된다.

도 4b와 같이 코팅층(110)에 굴곡이 발생한 경우, 굴곡의 폭(dx)과 굴곡의 높이(dy)에 따라 얼룩이 인지되는 문제가 있다. 얼룩은 dy/dx가 일정수준이상이 되면 관찰되는 것으로, 동일한 굴곡의 높이(dy)에 대하여 굴곡의 폭(dx)이 작으면 얼룩으로 인지되고 굴곡의 폭(dx)이 크면 얼룩으로 인지되지 않는다.

한편 굴곡의 높이 변화(dy)는 코팅층(110)이 청색 컬러필터 물질인 경우 NTSC 색좌표 상에서의 위치 변화를 나타내는 dBy로 표현할 수 있다. 이는 코팅층 (110)의 두께를 직접 측정하는 것보다 코팅층(110)의 색상 특성을 측정하는 것이 용이하게 때문이다. 0.0012의 dBy는 약 365Å의 dy를 의미하며, dBy가 크면 dy도 큰 것을 의미한다.

다음 표 1은 굴곡의 폭(dx)과 굴곡의 높이(dBy)에 따른 dBy/dx*1000값(이하 ‘얼룩 지수’라 한다)을 나타낸 것이다.

표 1

표 1에서 얼룩지수가 약 0.25이하이면 얼룩이 인지되지 않으며 얼룩지수가 약 0.7이상이면 얼룩이 인지된다. 이하에서는 얼룩지수 0.7 을 불량이 발생되는 기준으로 하여 설명한다.

도 5는 슬릿 노즐의 캐비티 부피와 코팅층의 두께 분포와의 관계를 설명하기 위한 그래프이다.

실험에서는 슬릿 노즐(10)의 길이(W)가 1100mm인 경우에, 슬릿 노즐(10)의 캐비티(14) 부피를 변화시키면서 중심부와 가장자리부의 코팅액 유량을 측정하였다.

도 5를 보면 캐비티(14)의 부피가 작을수록 중심부에서의 유량(Qcenter)이 가장자리부의 유량(Qedge)에 비해 큰 것을 알 수 있다. 이 경우 코팅층은 중심부와 가장자리부의 두께가 다르고 또한 굴곡이 심하게 되어 얼룩을 유발하게 된다.

캐비티(14)의 부피가 증가할수록 중심부에서의 유량(Qcenter)과 가장자리부의 유량(Qedge) 간의 차이가 감소하며, 캐비티(14)의 부피가 약 150cc이상이 되면 거의 차이가 없어지는 것을 알 수 있다.

이는 캐비티(14)의 부피가 약 150cc이상이 되면 캐비티(14)가 버퍼 역할을 효율적으로 수행하여 위치에 관계없이 노즐부(15) 말단의 압력을 일정하게 만들기 때문으로 생각된다.

위치에 관계없이 유량이 일정해지는 캐비티(14)의 부피는 슬릿 노즐(10)의 길이(W)에 대한 비로 나타낼 수 있는데, 실험을 통해 이 값은 150cc/1100mm로서 약 0.13cc/mm이다.

캐비티(14)의 부피가 150cc이상으로 늘어나도 위치에 관계없이 유량이 일정해지는 효과는 유지된다. 그러나 캐비티(14)의 부피가 약 0.5cc/mm보다 커지면 코팅액의 정체에 의한 문제가 발생할 수 있으므로 캐비티(14)의 부피는 약 0.5cc/mm보다 작은 것이 바람직하다.

이하 본 발명에 따른 슬릿 코터(1)의 성능을 실험을 통해 설명한다.

<실험예 1>

실험은 패턴이 형성되어 있지 않은 유리기판에 대하여 청색 컬러필터를 코팅하는 방법으로 수행되었다. 청색 컬러필터의 점도는 약 4.2cP였으며 슬릿 노즐의 길이는 1100mm였다.

표 2는 실험에 사용된 슬릿 노즐의 조건을 정리한 것이다.

표 2

표 2와 같이 본 발명에 따른 실시예의 노즐 코터는 약 202cc, 즉 0.183cc/mm의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있으며, 비교예의 노즐 코터는 약 26cc, 즉 0.023cc/mm의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있다.

도 6a 내지 6c는 실험예 1의 결과를 도시한 것으로 TD방향에 따른 By값을 나타내었다. 도 6a 및 6b는 비교예에 대한 것으로 1매 코팅한 경우와 480매 코팅한 경우의 두께분포를 나타낸다. 도 6b는 도 6a의‘C’부분을 확대한 것이다. 도 6c는 실시예에 대한 것으로 1매 코팅한 경우와 120매 코팅한 경우의 두께분포를 나타낸다.

비교예에 대한 도 6a 및 도 6b를 보면 얼룩 지수(dBy/dx*1000)가 0.7을 넘는 부분이 관찰된다. 특히 가장자리부분에서는 1매 경우에는 얼룩지수가 0.6으로 기준 내이지만, 580매의 경우에는 1.0으로 기준 밖으로 증가했음을 알 수 있다.

반면 실시예에 대한 도 6c를 보면 비록 가장자리에서 두께변화는 다소 크지만 이는 넓은 범위를 거쳐 변화되었기 때문에 얼룩지수는 0.1 또는 0.35와 같이 기준 내의 값을 가지고 있다. 또한 1매의 경우나 120매 경우 모두 거의 같은 두께 분포를 나타내고 있다.

<실험예 2>

실험은 블랙매트릭스가 형성되어 있는 유리기판에 대하여 청색 컬러필터를 코팅하는 방법으로 수행되었다. 청색 컬러필터의 점도는 약 4.2cP였으며 슬릿 노즐 의 길이는 1100mm였다. 사용된 노즐 코터는 실험예 1과 동일하다.

도 7a 및 도 7b는 실험예의 결과를 도시한 것으로 TD방향에 따른 By값을 나타내었다. 도 7a는 비교예에 대한 것으로 1매 코팅한 경우와 400매 코팅한 경우의 두께분포를 나타낸다. 도 7b는 실시예에 대한 것으로 1매 코팅한 경우, 400매 코팅한 경우, 600매 코팅한 경우 및 800매 코팅한 경우의 두께분포를 나타낸다.

비교예에 대한 도 7a를 보면 400매 코팅한 경우에0.5 내지 0.55수준의 얼룩지수가 관찰된다. 특히 400매 코팅한 경우가 첫번째 코팅한 경우에 비해 두께 변화가 심한 것을 알 수 있다.

반면 실시예에 대한 도 7b를 보면 비록 가장자리에서 두께변화는 다소 크지만 이는 넓은 범위를 거쳐 변화되었기 때문에 얼룩지수는 0.33수준을 나타낸다. 특히 코팅 매수와 관계없이 두께 프로파일은 거의 일정하게 나타났다.

표 3은 이상의 실시예 1과 실시예 2의 결과를 정리한 것이다.

표 3.

표 3을 보면 실시예에 따른 노즐 코터는 얼룩 발생이 가능한 변곡점의 개수가 적으며 얼룩 지수도 코팅매수와 무관하게 0.35이하인 것을 알 수 있다. 또한 노즐 코터는 무패턴의 기판 또는 블랙매트릭스가 형성된 기판에 관계없이 우수한 성능을 나타낸다.

<실험예 3>

본 실험에서는 실시예에 따른 노즐 코터를 대상으로 코팅 속도를 120mm/초 및 150mm/초로 변경하였다. 또한 150m/초로 일정시간 코팅 후 2시간 코팅 정지 후 다시 150mm/초로 코팅하는 실험도 수행하였다.

도 8a는 실험예 3의 결과를 도시한 것으로 TD방향에 따른 By값을 나타내었다. 도 8a를 보면 3가지 경우에 크기는 다소 상이 하지만 전체적인 두께 프로파일은 유사함을 알 수 있다.

도 8b는 도 8a에 사각형으로 표시한 굴곡이 발생한 6개 지점에 대하여 얼룩지수를 나타낸 것이다. 얼룩지수는 모두 0.3이하로 나와 기준 내임을 알 수 있다. 따라서 실시예에 따른 노즐 코터는 150cc/초로 사용해도 무방함을 알 수 있는데, 이는 종래 노즐 코터의 운전속도에 해당한다.

한편 종래의 노즐 코터는 코팅 대기시에 노즐부 내부 벽면과 코팅액 간 계면에 오염이 발생하는 문제가 있었다. 그러나 실험예 3에 따르면 실시예에 따른 노즐 코터는 이러한 오염 문제가 발생하지 않는다.

도 9a 내지 도 9f는 본 발명의 제1실시예에 따른 슬릿 코터를 사용한 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 9a 내지 도 9f는 액정표시장치에 사용되는 컬러필터 기판의 제조방법을 나타낸 것이다.

먼저 도 9a및 도 9b와 같이 절연기판(120) 상에 격자상의 블랙매트릭스(121)를 형성한다.

다음 도 9c와 같이 블랙매트릭스(121)가 형성된 절연기판(120) 상에 본 발명에 따른 슬릿 코터(1)를 이용하여 청색 컬러필터(122a)를 형성하고, 도 9d와 같이 코팅된 청색 컬러필터(122a)를 패터닝한다.

다음으로 도 9e와 같이 패터닝된 청색 컬러필터(122a) 상에 슬릿 코터(1)를 이용하여 적색 컬러필터(122b)를 코팅한다.

이후 적색 컬러필터(122b)의 패터닝을 거치고 녹색 컬러필터(122c)도 같은 과정을 거치면 도 9f와 같은 컬러필터 기판이 완성된다. 완성된 컬러필터 기판의 컬러필터(122)는 위치에 관계없이 일정한 두께를 가지고 있어, 얼룩 발생이 감소된다.

이상에서는 본 발명의 슬릿 코터(1)를 컬러필터의 형성에 사용되는 것으로 한정하였으나, 슬릿 코터(1)는 표시장치에 사용되는 각종 유기층, 보호막 등의 형성에 사용될 수 있다. 본 발명에서의 표시장치는 액정표시장치, 유기전계발광장치, PDP 등을 포함한다.

도 10에 도시한 제2실시예에서는 캐비티(14)의 직경이 가장자리로 갈수록 커진다. 즉 중심부의 직경(R1)보다 가장자리부의 직경(R2)이 더 큰 것이다.이에 따라 캐비티(14)의 단위 길이당 부피도 가장자리로 갈수록 증가하여, 가장자리부에서의 토출압력을 일정하게 한다.

도 11에 도시한 제3실시예에서는 캐비티(14)에 행거 앵글이 형성되어 있지 않으며, 이에 따라 노즐부(15)의 오리피스 길이(L)는 위치에 관계없이 일정하게 된다.

비록 본발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 본발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 균일한 품질의 코팅층을 형성할 수 있는 표시장치 제조용 슬릿 코터가 제공된다.

또한 균일한 품질의 코팅층을 형성할 수 있는 표시장치 제조용 슬릿 코터를 사용하여 표시장치를 제조하는 방법이 제공된다.

Claims

코팅액 공급부와;

상기 코팅액 공급부로부터의 코팅액이 주입되는 주입부와 상기 코팅액을 처리대상 기판 상에 코팅시키는 세장형의 슬릿부를 포함하며, 상기 주입부와 상기 슬릿부 사이에 상기 슬릿부 길이 1mm 당 0.13cc 내지 0.5cc의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있고,

상기 주입부는 상기 슬릿 노즐의 중앙부에 위치하며,

상기 캐비티는 상기 주입부를 중심으로 좌우 대칭으로 마련되어 있고, 상기 주입부에서 멀어질수록 하향경사되어 있고, 상기 캐비티의 횡단면은 상기 주입부에서 멀어질수록 넓어지는,

표시장치 제조용 슬릿 코터.
삭제
삭제
삭제
제1항에 있어서,

상기 노즐의 갭(gap)은 60㎛ 내지 140㎛인 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 슬릿 코터.
삭제
코팅액이 주입되는 주입부와 상기 코팅액을 처리대상 기판 상에 코팅시키는 세장형의 슬릿부를 포함하며, 상기 주입부와 상기 슬릿부 사이에 상기 슬릿부 길이 1mm 당 1.3cc 내지 5cc의 부피를 가지는 캐비티가 형성되어 있는 슬릿 노즐을 포함하는 슬릿 코터를 이용하여 절연기판 상에 컬러필터 물질을 포함하는 코팅층을 코팅하는 단계와;

상기 코팅층을 패터닝하는 단계와,

상기 절연기판 상에 격자상의 블랙매트릭스를 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법.
삭제
제7항에 있어서,

상기 코팅액의 점도는 2cP 내지 6cP인 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.