JP2001000904A - 塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着固定したガラス基板に対して、ダイが移
動して塗布を行う形式のダイコータの場合に、塗布液供
給手段とダイを連結する配管の移動が容易で、さらに配
管の移動による塗布精度の低下をもたらさないようにす
ることが可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれら
の塗布装置および方法を用いたプラズマディスプレイお
よびディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提
供する。 【解決手段】 塗布液を供給する塗布液供給手段と、前
記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に
吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させ
て前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動
手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段
は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に
設置されていることを特徴とする塗布装置、および塗布
方法、並びにそれらを用いたプラズマディスプレイおよ
びディスプレイ用部材の製造装置および製造方法を提供
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えばプラズマ
ディスプレイ、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィル
タ、光学フィルタ、プリント基板、集積回路、半導体等
の製造分野に使用される塗布技術に関するものであり、
詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に非接触で塗
布液を吐出しながら塗膜を形成する塗布装置および塗布
方法、並びにこれら装置および方法を使用したプラズマ
ディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置およ
び製造方法の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ディスプレイはその方式において
次第に多様化してきているが、現在注目されているもの
の一つが、従来のブラウン管よりも大型で薄型軽量化が
可能なプラズマディスプレイである。これは、一定ピッ
チでストライプ状に一方向に延びる溝をもつ隔壁をガラ
ス基板上に構成し、さらにこの隔壁の溝にＲ（赤）、Ｇ
（緑）、Ｂ（青）の蛍光体を充填し、任意の部位を紫外
線により発光させ、所定のカラーパターンを写し出すも
のである。通常隔壁のある方が背面板、紫外線を発生す
る部位のある方が前面板と呼ばれており、両者を貼りあ
わせてプラズマディスプレイとして構成される。

【０００３】ここで重要な背面板上の隔壁のパターンの
形成方法としては、隔壁用ペーストを均一に塗布し、乾
燥して均一膜厚のものを成形してから、所定ピッチのス
トライプ状の溝を、サンドブラスト法やフォトリソグラ
フィー法等の後加工によって彫り込み、焼成するのが主
流である。隔壁の塗膜の厚さは焼成後でも１００〜２０
０μｍと厚く、この膜厚に隔壁用ペーストを均一に塗布
する手段としては、数千〜数万ｃｐｓというペースト粘
度にあわせて、スクリーン印刷法で何度も塗布する方法
が一般的に用いられている。しかしこの方法では塗布回
数が１０〜２０回にも及ぶため、コスト削減や品質向上
を狙って、塗布を１回で完了できるロール法やダイコー
ト法等の導入が、近年盛んに取り組み始められている。

【０００４】この中でも、先端に吐出口のあるダイから
相対的に移動するガラス基板に塗布液を吐出して塗布を
行うダイコート法は、塗布回数を１回で行えることの
他、（ａ）アプリケータであるダイがガラス基板と非接
触であるので、塗布面にスクリーンむらが残らず品質を
向上できる、（ｂ）スクリーンのような消耗品がないの
で、その費用を皆無にできる、等のメリットがある。

【０００５】しかしながら、上記のダイコート法におい
ては、塗布するガラス基板が大型化すると、装置のコン
パクト化のために、ガラス基板を吸着保持する載置台を
固定にして、ダイを移動させる構成をとるのが普通であ
る。この場合、ダイに塗布液を供給するポンプ等の供給
手段からダイにつながる、テフロンチューブ等で構成さ
れる塗布液配管は、変形しながら移動することになる。
特にプラズマディスプレイ背面板の隔壁のように厚い塗
膜を形成する場合には塗布液の吐出量が非常に多くな
り、これに伴って塗布液配管の外径も大きくなる。外径
の大きな塗布液配管は曲がり等の許容変形量が小さく、
融通性が低下するので、ダイのスムーズな移動を妨げた
り、はなはだしい場合には塗布液配管自体が、ダイの移
動に追従できなくて折れ曲がって塗布液を吐出できなく
なり、塗布精度低下をもたらすという問題点があった。

【０００６】基板を吸着保持する載置台を固定化してダ
イを移動させる形式のものは、特開平６−１５１２９６
号公報等に記載されているが、塗布液供給手段とダイを
連結する塗布液配管の問題については、何も言及されて
いない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の事
情に基づいて行ったもので、その目的とするところは、
吸着固定したガラス基板に対してダイが移動して塗布を
行う形式のダイコータの場合に、塗布液供給手段とダイ
を連結する塗布液配管の移動が容易で、さらに塗布液配
管の移動に伴う変形による塗布精度の低下をもたらさな
いことが可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれら
の塗布方法および装置を用いたプラズマディスプレイお
よびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、以
下に述べる手段によって達成される。本発明に係る塗布
装置は、塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布
液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出す
る吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させて前記
被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動手段と
を備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段は塗布
器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に設置さ
れていることを特徴とするものからなる。

【０００９】ここで、前記塗布器移動手段と塗布液供給
手段移動手段は同一のものであることと、塗布器の吐出
口面を清浄化するための清掃手段を有することが好まし
い。

【００１０】本発明のプラズマディスプレイあるいはデ
ィスプレイ用部材の製造装置は上記のような塗布装置を
使用するものである。

【００１１】本発明に係る塗布方法は、塗布器の一方向
に延びる吐出口から、塗布液供給手段から供給する塗布
液を被塗布部材に吐出しながら、前記塗布器を移動させ
て前記被塗布部材に塗膜を形成する塗布方法であって、
前記塗布液供給手段と塗布器とを同時に移動させながら
塗布を行なうことを特徴とする方法からなる。ここで塗
布器の吐出口面は、塗布前に清掃により必ず清浄化する
ことが望ましい。

【００１２】本発明のプラズマディスプレイあるいはデ
ィスプレイ用部材の製造方法は、上記のような塗布方法
を用いてプラズマディスプレイあるいはディスプレイ用
部材の製造を行うことを特徴とする方法からなる。

【００１３】本発明に係る塗布装置、塗布方法によれ
ば、塗布器と同時に塗布液供給手段を移動させるのであ
るから、両者に連結する塗布液配管も同時に移動し、塗
布液配管の移動が確実に行われ、かつ移動に伴う塗布液
配管の変形が生じないので、塗布精度の低下の発生も防
止できる。

【００１４】本発明のプラズマディスプレイあるいはデ
ィスプレイ用部材の製造装置および製造方法によれば、
上記の優れた塗布装置及び塗布方法を用いてプラズマデ
ィスプレイあるいはディスプレイ用部材を製造するので
あるから、高い品質のプラズマディスプレイあるいはデ
ィスプレイ用部材を高い生産性をもって製造することが
可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好ましい実施の
形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明を適用
したダイコータ２００の側面図、図２はその正面図、図
３はダイの構成を示す概略側面断面図である。

【００１６】このダイコータ２００はベース２０１上に
固定された固定載置台２２０、ダイ４０を昇降機構２１
４を介して保持する門型フレーム２０２、門型フレーム
２０２をベース２０１上の１対のレール２０６に沿って
自在に案内するリニア軸受２０４からなる。ここで固定
載置台２２０には吸着面９０上に図示しない吸着穴とリ
フトピンが備えられており、被塗布部材である基板Ａを
真空吸着によって固定したり、基板Ａを移載するために
昇降させることが可能となっている。

【００１７】さらに、固定載置台２２０の一端には、ダ
イ４０の吐出口面７４の位置を検知するための１対のセ
ンサー２１１がダイ４０の長手方向の一直線上に配置さ
れている。また、門型フレーム２０２はそれに係合して
いるボールネジ２１２を通じて、ベース２０１の一端で
支柱２１８を介してブラケット２２２上に固定されてい
るＡＣサーボモータ２１０からの駆動力を受けて、任意
の位置に移動可能となっている。ボールネジ２１２は、
門型フレーム２０２を安定して駆動するために、１対の
レール２０６の中央で、固定載置台２２０の真上に配置
されている。このボールネジ２１２の下にはゴミを落下
させないための図示しない防塵カバーも備えられてい
る。

【００１８】また、昇降機構２１４は上下方向にガイド
２２７に沿って昇降可能な昇降部２２６、昇降部２２６
に対して図２の矢印方向に回転自在な支持軸２２８と、
これを介して取り付けられているダイホルダー２３２、
ダイホルダー２３２の支持軸２２８を中心とした回転に
よる傾きを調整するリニアアクチュエータ２３８、より
構成されている。昇降部２２６にはさらに図示しないボ
ールネジが連結されており、図示しないサーボモータか
らの駆動力を昇降部２２６に伝えることができる。ま
た、門型フレーム２０２の一端のフレーム２５２上には
塗布液供給ユニット２４０が備えられており、ダイ４０
と同時に移動可能になっている。

【００１９】塗布液供給ユニット２４０はタンク２５
０、定容量ポンプ２４２、吐出バルブ２４４、吸引バル
ブ２４３、フィルター２４６より構成される。またタン
ク２５０〜フィルター２４６までの各装置間は配管２４
８、フィルター２４６の出口とダイ４０間はダイ用配管
２４９で連結されており、これによってタンク２５０内
の塗布液をダイ４０まで供給することが可能となる。こ
こで、配管２４８、ダイ用配管２４９は、塗布液に対す
る耐薬品性があるのなら、ステンレス等の金属の他、テ
フロン等の樹脂等、いかなるものを使用してもかまわな
い。また定容量ポンプとしては、ギアポンプ、シリンジ
ポンプ、ダイヤフラムポンプ、モーノポンプ等、定量性
のあるものならいかなるものでもよい。なお、タンク２
５０は密閉容器で一定圧力のエアーや、Ｎ₂ 等の不活性
ガスで加圧されていることが好ましい。加圧力は好まし
くは０．０２〜１ＭＰａ、より好ましくは０．１〜０．
５ＭＰａである。この場合、塗布液供給ユニット２４０
で定容量ポンプ２４２、吸引バルブ２４３を省略して、
気体の圧力によって塗布液を定量供給するようにしても
よい。

【００２０】さらに、本実施例では塗布液供給ユニット
２４０は、ダイ４０を移動させる門型フレーム２０２に
積載したが、門型フレーム２０２とは別の移動装置に積
載して、門型フレーム２０２と同調して移動するよう制
御してもよいし、駆動せずに門型フレーム２０２に追従
して自在に移動できるようにしてもよい。

【００２１】さてダイ４０は図３に概略的に示されてい
るように、長尺なブロック形状のリアリップ６０、フロ
ントリップ６６を、ダイ４０の往復動方向に図示しない
複数の連結ボルトにより相互に一体的に結合して構成さ
れている。リアリップ６０、フロントリップ６６の最下
面は塗布膜Ｃを保持する吐出口面７４となっており、吐
出口面７４〜基板Ａの隙間であるクリアランスは塗布性
から最適な値に設定される。

【００２２】またダイ４０の内部ではリアリップ６０、
およびフロントリップ６６との間には塗布膜Ｃを形成す
る塗布液の流路となるスリット６４が形成され、ダイ４
０の下面で塗布液の出口である吐出口７２となる。この
スリット６４の間隙はリアリップ６０、フロントリップ
６６の平行部との間に挟み込まれた図示しないシムによ
って確保されており、任意の大きさに設定できる。吐出
量のダイ４０長手方向（図３の紙面に垂直な方向）の分
布は、リップ間隙のダイ４０長手方向の分布によって定
まる。すなわち、リップ間隙が広いと吐出量は多くな
り、リップ間隙が狭いと吐出量は少なくなる。さらにス
リット６４の上流側には、これに連通してダイ４０の長
手方向（基板幅方向）に水平に延びているマニホールド
６２が形成されている。さらにこのマニホールド６２は
ダイ４０の内部通路を介して塗布液供給ユニット供給２
４０に接続しており、塗布液の供給を受けることができ
る。

【００２３】次に、このダイコータ２００を用いた塗布
方法について説明する。まず塗布装置における各作動部
の原点復帰が行われるとダイ４０はスタンバイの位置
（原点位置、図１のＡＣサーボモータ２１０側の端部）
に移動する。この時、タンク２５０〜ダイ４０まで塗布
液はすでに充満されており、ダイ４０を上向きにして塗
布液を吐出してダイ内部の残留エアーを排出するとい
う、いわゆるエアー抜き作業も既に終了している。

【００２４】次に、ダイ４０をその吐出口面７４が、固
定載置台２２０の先端にあるセンサー２１１の真上にく
るまで移動させる。そして、ダイ４０をゆっくり下降さ
せて所定位置で停止した後に、固定載置台２２０の吸着
面９０を基準にしたダイ４０の吐出口面７４の幅方向の
高さ分布をセンサー２１１によって測定し、吐出口面７
４が固定載置台２２０の吸着面９０と平行になるよう
に、リニアアクチュエータ２３８の伸縮量を調整する。
この時、固定載置台２２０の吸着面９０を基準点とした
吐出口面７４と昇降機構２６の上下方向座標軸（Ｚ軸）
値との関連づけ、いわゆる吐出口面７４の原点出しも同
時に実行、完了される。これによって、上下方向座標軸
値を制御すれば、吐出口面７４を吸着面９０から任意の
高さ位置に移動させることができる。これらの作業が完
了すれば、ダイ４０を原点復帰させる。

【００２５】この準備動作が完了した後、固定載置台２
２０の表面に図示していないリフトピンを上昇させ、そ
の上部に図示しない移載機から基板Ａを載置したら、リ
フトピンを下降させて固定載置台２２０の吸着面９０に
基板Ａを載置して吸着する。

【００２６】次にダイ４０を所定速度で図１の矢印方向
に移動させ、基板Ａの塗布開始部がダイ４０の吐出口の
真下にきたら停止させる。この停止状態の時に図示して
いない厚みセンサで基板Ａの基板厚みを測定し、その厚
さとあらかじめ条件として与えておいたクリアランスか
ら、ダイ４０の下降すべき値を演算し、次のその位置に
ダイ４０が下降する。

【００２７】一方、定容量ポンプ２４２とバルブはこの
間すでにスタンバイの状態で、吸引バルブ２４３は閉、
吐出バルブ２４４は開となっており、クリアランスの設
定確認後、塗布液をダイ４０に送り込む。定容量ポンプ
２４２の塗布液送り込み動作開始から一定時間後に、ダ
イ４０が所定の塗布速度で移動を開始し、塗布が開始さ
れる。

【００２８】基板Ａの塗布終了部がダイ４０の吐出口真
下の位置にきたら、定容量ポンプ２４２の停止、吐出バ
ルブ２４４の閉動作とダイ４０の上昇を行い、塗布液を
基板Ａから完全にたちきる。

【００２９】一方ダイ４０はさらに動きつづけ、終点位
置で停止したら、基板Ａの吸着を解除してリフトピンを
上昇させて基板Ａを持ち上げる。

【００３０】この時図示されないアンローダによって基
板Ａの下面を保持して、次の乾燥工程に基板Ａを搬送す
る。アンローダへの受け渡しが完了したら、リフトピン
を下降させ、ダイ４０を原点位置に復帰する。

【００３１】この間に吸引バルブ２４３を開、吐出バル
ブ２４４を閉としてから、定容量ポンプ２４２は吸引動
作を行ってタンク２５０から新たに塗布液を充満させ
る。ついで次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくり
かえす。

【００３２】ここでは、塗布液供給ユニット２４０がダ
イ４０と同時に移動することになるので、配管２４８と
ダイ用配管２４９が門型フレーム２０２が移動する時の
妨げとならず、移動中の配管変形による塗布液吐出精度
の低下をおこさないですむ。

【００３３】以上の本発明の説明でダイの吐出口面を清
浄化する装置は示されていないが、拭取りや、洗浄液に
よる洗浄、等の吐出口面を清浄化するための清掃手段を
ダイコータに付加してもよい。これによって、ダイの吐
出口面が常に清浄化した状態で塗布を開始できるので、
塗布開始部の膜厚プロファイルを所望のものに容易に制
御できるようになる。

【００３４】なお本発明が適用できる塗布液としては粘
度が１ｃｐｓ〜１０００００ｃｐｓ、望ましくは１０ｃ
ｐｓ〜５００００ｃｐｓであり、ニュートニアンが塗布
性から好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用で
きる。基板Ａとしてはガラスの他にアルミ等の金属板、
セラミック板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さ
らに使用する塗布条件としては、クリアランス（必要な
ものに対して）が４０〜５００μｍ、より好ましくは８
０〜３００μｍ、塗布速度が０．１ｍ／分〜１０ｍ／
分、より好ましくは０．５ｍ／分〜６ｍ／分、ダイのリ
ップ間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは１００
〜６００μｍ、塗布厚さが５〜４００μｍ、より好まし
くは２０〜２５０μｍである。

【００３５】

【実施例】幅３４０ｍｍ×４４０ｍｍ×厚さ２．８ｍｍ
のソーダガラス基板上の全面に感光性銀ペーストを５μ
ｍの厚みにスクリーン印刷した後で、フォトマスクを用
いて露光し、現像および焼成の各工程を経て、ピッチ２
２０μｍでストライプ状の１９２０本の銀電極を形成し
た。その電極上にガラスとバインダーからなるガラスペ
ーストをスクリーン印刷した後に、焼成して誘電体層を
形成した。次に図１のダイコータに吐出幅４３０ｍｍ、
リップ間隙（シム厚さ）５００μｍのダイを取付け、タ
ンク〜ダイまでの塗布液供給ラインに、ガラス粉末と感
光性有機成分からなる粘度２００００ｃｐｓの感光性ガ
ラスペーストを充満させた。ダイ４０〜誘電体層の間の
クリアランスが３５０μｍになるようにダイを下降させ
た後に、塗布厚さ３００μｍ、塗布速度１ｍ／分で上記
の感光性ガラスペーストを塗布した。この基板を移載機
で取り出して、輻射ヒータを用いた乾燥炉に投入し、１
００℃で２０分間乾燥した。乾燥後の塗布厚み分布を基
板全面にわたって測定したところ、１９０μｍ±５μｍ
の範囲に収まった。次いで隣あった電極間に隔壁が形成
されるように設計されたフォトマスクを用いて露光し、
現像と焼成を行って隔壁を形成した。隔壁の形状はピッ
チ２２０μｍ、線幅３０μｍ、高さ１３０μｍであり、
各領域での隔壁本数は１９２１本であった。この後、
Ｒ、Ｇ、Ｂの蛍光体ペーストを順次スクリーン印刷によ
って塗布して、８０℃１５分で乾燥後、最後に４６０℃
１５分の焼成を行って、プラズマディスプレイの背面板
を作製した。得られたプラズマディスプレイ背面板の表
面品位は申し分ないものであった。次にこのプラズマデ
ィスプレイ背面板と前面板を合わせ、封着後、Ｘｅ５
％、Ｎｅ９５％の混合ガスを封入し、駆動回路を接続し
てプラズマディスプレイを得た。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、塗布器と同時に塗布液
供給手段を移動できるように構成したので、両者に連結
する配管も同時に移動し、配管の移動が抵抗なく確実に
行われるようになり、この結果として配管の変形による
塗布精度の低下の発生も防止できるようになった。

【００３７】このような優れた効果を有する塗布装置並
びに塗布方法を用いたプラズマディスプレイおよびディ
プレイ用部材の製造装置並びに製造方法でプラズマディ
スプレイおよびディスプレイ用部材を製造するのである
から、高い品質のプラズマディスプレイおよびディスプ
レイ用部材を高い生産性をもって得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係るダイコータを示す概
略側面図である。

【図２】図１の装置の正面図である。

【図３】ダイの構成を示す概略側面断面図である。

【符号の説明】

４０ ダイ ６０ リアリップ ６２ マニホールド ６４ スリット ６６ フロントリップ ７２ 吐出口 ７４ 吐出口面 ９０ 吸着面 ２００ ダイコータ ２０１ ベース ２０２ 門型フレーム ２０４ リニア軸受 ２１０ ＡＣサーボモータ ２１２ ボールネジ ２１４ 昇降機構 ２２０ 固定載置台 ２２６ 昇降部 ２３８ リニアアクチュエータ ２４０ 塗布液供給ユニット ２４２ 定容量ポンプ ２４３ 吸引バルブ ２４４ 吐出バルブ ２４６ フィルター ２４８ 配管 ２４９ ダイ用配管 ２５０ タンク Ａ 基板（被塗布部材） Ｃ 塗布膜

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年６月６日（２０００．６．６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】ここでは、塗布液供給ユニット２４０がダ
イ４０と同時に移動することになるので、配管２４８と
ダイ用配管２４９が門型フレーム２０２が移動する時の
妨げとならず、移動中の配管変形による塗布液吐出精度
の低下をおこさないですむ。また上記の態様例では、門
型フレーム２０２は、上部にあるボールネジによって駆
動されているが、ボールネジの代わりに、リニアモータ
を用いてもよい。また、ボールネジあるいはリニアモー
タは、一対のレール２０６の側面に沿って一対（２ユニ
ット）配置して、門型フレーム２０２を駆動するように
してもよい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ ５Ｃ０４０ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６４Ｚ ５Ｆ０４６ (72)発明者 佐久間 勇 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB17 EA04 2H048 AA09 4D075 AC02 AC84 AC86 BB65Z CA47 DA06 DB14 DC22 EA05 4F041 AA06 AB01 BA05 BA31 BA60 5C027 AA09 5C040 GF19 JA02 JA23 JA31 KA16 MA24 MA25 MA26 5F046 JA01 JA02

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塗布液を供給する塗布液供給手段と、前
   記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に
   吐出する吐出口を有する塗布器と、該塗布器を移動させ
   て前記被塗布部材上に塗膜を形成するための塗布器移動
   手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布液供給手段
   は塗布器と同時に移動する塗布液供給手段移動手段上に
   設置されていることを特徴とする塗布装置。
2. 【請求項２】 前記塗布器移動手段と塗布液供給手段移
   動手段は同一のものであることを特徴とする請求項１に
   記載の塗布装置。
3. 【請求項３】 さらに前記塗布器の吐出口面を清掃する
   清掃手段を有することを特徴とする請求項１または２に
   記載の塗布装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の塗布装
   置を使用してプラズマディスプレイを製造することを特
   徴とするプラズマディスプレイの製造装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜３のいずれかに記載の塗布装
   置を使用してディスプレイ用部材を製造することを特徴
   とするディスプレイ用部材の製造装置。
6. 【請求項６】 塗布器の一方向に延びる吐出口から、塗
   布液供給手段から供給する塗布液を被塗布部材に吐出し
   ながら、前記塗布器を移動させて前記被塗布部材に塗膜
   を形成する塗布方法であって、前記塗布液供給手段と塗
   布器とを同時に移動させながら塗布を行なうことを特徴
   とする塗布方法。
7. 【請求項７】 前記塗布器の吐出口面を、塗布前に清掃
   することを特徴とする請求項６に記載の塗布方法。
8. 【請求項８】 請求項５または６に記載の塗布方法を用
   いてプラズマディスプレイの製造を行うことを特徴とす
   るプラズマディスプレイの製造方法。
9. 【請求項９】 請求項５または６に記載の塗布方法を用
   いてディスプレイ用部材の製造を行うことを特徴とする
   ディスプレイ用部材の製造方法。