JP2008205207A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の移動機構を連結する連結ブラケット45に振動抑制ユニット46を設ける。スリットノズル42は昇降機構により昇降するが、連結ブラケット45は昇降させない。塗布処理において、塗布位置に移動したスリットノズル42を振動抑制ユニット46から進出した固定パッドにより押圧して、スリットノズル42と連結ブラケット45とを固定する。一方、スリットノズル42が昇降する際には、振動抑制ユニット46が固定パッドを退出させ、スリットノズル42を開放する。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明に係る基板処理装置1を示す外観図である。
第1の実施の形態における1つの振動抑制ユニット46はX軸方向の片側からスリットノズル42を押圧する構造であり、X軸方向の振動を効果的に抑制するためには、一対の振動抑制ユニット46を対向して配置していた。しかし、本発明における振動抑制手段はこのような構造に限定されるものではない。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
4 架橋構造
40 ノズル機構
41 ノズル支持部
42 スリットノズル
42a 連結孔
42b 開口薄肉部
43,44 昇降機構
45 連結ブラケット
45a 設置孔
46,46a 振動抑制ユニット
460,460a アクチュエータ
461 駆動軸
462,462a,462b 固定パッド
463 溝
47,48 筐体
50,51 移動機構
7 制御部
90 基板
Claims (5)
- 基板に処理液を塗布する基板処理装置であって、
スリットノズルから処理液を吐出するノズル機構と、
前記ノズル機構を塗布方向に移動させる一対の移動手段と、
前記一対の移動手段を連結する連結部材と、
待機位置と塗布位置との間で前記ノズル機構を進退させる一対の駆動手段と、
少なくとも塗布位置に配置された前記ノズル機構を、前記連結部材に対して固定する振動抑制手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記振動抑制手段は、前記一対の駆動手段が前記ノズル機構を進退させるときにおいて、前記ノズル機構と前記連結部材との固定を解除することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記振動抑制手段は、弾性体の固定パッドを備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記振動抑制手段は、前記ノズル機構を前記塗布方向の前後から押圧して固定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記振動抑制手段は、前記ノズル機構の長手方向の中間位置において固定することを特徴とする基板処理装置。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07220996A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Nec Corp | 半導体製造装置 |
JP2001000904A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Toray Ind Inc | 塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法 |
JP2003236435A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-26 | Hirata Corp | 液体塗布装置 |
JP2003282394A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Advanced Color Tec Kk | 枚葉基板の製造装置 |
JP2005161167A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 平行度調整機構を備えた塗布装置および平行度調整方法 |
JP2006167639A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2006175314A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006261326A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズル,基板処理装置,および基板処理方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07220996A (ja) * | 1994-01-31 | 1995-08-18 | Nec Corp | 半導体製造装置 |
JP2001000904A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-01-09 | Toray Ind Inc | 塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法 |
JP2003236435A (ja) * | 2002-02-18 | 2003-08-26 | Hirata Corp | 液体塗布装置 |
JP2003282394A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Advanced Color Tec Kk | 枚葉基板の製造装置 |
JP2005161167A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 平行度調整機構を備えた塗布装置および平行度調整方法 |
JP2006167639A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
JP2006175314A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006261326A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | スリットノズル,基板処理装置,および基板処理方法 |
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