JP2000070816A - 塗布装置及び方法 - Google Patents
塗布装置及び方法Info
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- JP2000070816A JP2000070816A JP26390798A JP26390798A JP2000070816A JP 2000070816 A JP2000070816 A JP 2000070816A JP 26390798 A JP26390798 A JP 26390798A JP 26390798 A JP26390798 A JP 26390798A JP 2000070816 A JP2000070816 A JP 2000070816A
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スロットを流れる塗布液の圧力によるスロッ
トギャップの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発
生を防止すること。 【解決手段】 塗布装置１０において、相隣るリップ１
２、１３のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂに挟持するス
ロットギャップｇを 200μm 以下、各リップ１２、１３
のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂの平坦度を 4μm 以下
とするとき、当該スロット１５について、Ｐｍ／ＥＧＷ
3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損
失(kgf/mm2) 、Ｅ：ダイのヤング密(kgf/mm2) 、Ｇ：ス
ロットギャップ／スロット長、Ｗ：ダイ厚み／スロット
長とするもの。
トギャップの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発
生を防止すること。 【解決手段】 塗布装置１０において、相隣るリップ１
２、１３のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂに挟持するス
ロットギャップｇを 200μm 以下、各リップ１２、１３
のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂの平坦度を 4μm 以下
とするとき、当該スロット１５について、Ｐｍ／ＥＧＷ
3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損
失(kgf/mm2) 、Ｅ：ダイのヤング密(kgf/mm2) 、Ｇ：ス
ロットギャップ／スロット長、Ｗ：ダイ厚み／スロット
長とするもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走行する支持体に
塗布液を塗布する塗布装置及び方法に関する。ここで、
支持体とは、プラスチック、紙、布、不織布、金属など
のシート又はウエブを指し、塗布液とは磁性分散液、感
光液、感熱分散液、延着液などを指し、それぞれ磁性記
録体、写真フィルム、感熱紙、粘着テープをなすもので
ある。
塗布液を塗布する塗布装置及び方法に関する。ここで、
支持体とは、プラスチック、紙、布、不織布、金属など
のシート又はウエブを指し、塗布液とは磁性分散液、感
光液、感熱分散液、延着液などを指し、それぞれ磁性記
録体、写真フィルム、感熱紙、粘着テープをなすもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】押出し型ダイ（エクストルージョン型ダ
イ）を用いた塗布装置では、塗布幅方向に均一に塗布液
を塗布させることが重要な設計要素の１つであり、従来
より数多くの試みがなされている。
イ）を用いた塗布装置では、塗布幅方向に均一に塗布液
を塗布させることが重要な設計要素の１つであり、従来
より数多くの試みがなされている。
【０００３】ダイの先端部の加工精度に関しては、例え
ば、特開平2-207865号公報には、ダイのバックエッジ面
の中心線平均粗さ（Ｒａ）を 5.0μm 以下とすることが
記載されている。
ば、特開平2-207865号公報には、ダイのバックエッジ面
の中心線平均粗さ（Ｒａ）を 5.0μm 以下とすることが
記載されている。
【０００４】また、特開平2-207866号公報には、ダイの
フロントエッジ面及び／又はバックエッジ面のうねり成
分の真直度を50μm/m 以下とすることが記載されてい
る。
フロントエッジ面及び／又はバックエッジ面のうねり成
分の真直度を50μm/m 以下とすることが記載されてい
る。
【０００５】また、特開平5-220437号公報には、ダイの
先端部のスリット内面及びフロントエッジ面及びバック
エッジ面にて該各面の支持体幅方向のろ波中心線うねり
（ＷＣＡ）が 0.2μm 以下に構成されることが記載され
ている。
先端部のスリット内面及びフロントエッジ面及びバック
エッジ面にて該各面の支持体幅方向のろ波中心線うねり
（ＷＣＡ）が 0.2μm 以下に構成されることが記載され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年、塗布膜の薄膜化
が要請されており、このために、ダイのスロットギャッ
プが狭小化する傾向にある。このスロットギャップが狭
小化するとスロットを流れる塗布液の圧力が上昇し、そ
れにより、塗布幅方向でのダイ自身の変形によるスロッ
トギャップの変形量が塗布幅方向の膜厚むらに与える影
響が著しく大きくなる。
が要請されており、このために、ダイのスロットギャッ
プが狭小化する傾向にある。このスロットギャップが狭
小化するとスロットを流れる塗布液の圧力が上昇し、そ
れにより、塗布幅方向でのダイ自身の変形によるスロッ
トギャップの変形量が塗布幅方向の膜厚むらに与える影
響が著しく大きくなる。
【０００７】然しながら、従来のダイでは、スロットを
流れる塗布液の圧力によるスロットギャップの変形を加
味した設計がなされておらず、塗布幅方向での膜厚むら
が生じ易かった。
流れる塗布液の圧力によるスロットギャップの変形を加
味した設計がなされておらず、塗布幅方向での膜厚むら
が生じ易かった。
【０００８】本発明の課題は、スロットを流れる塗布液
の圧力によるスロットギャップの変形を抑え、塗布幅方
向での膜厚むらの発生を防止することにある。
の圧力によるスロットギャップの変形を抑え、塗布幅方
向での膜厚むらの発生を防止することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、押出し型ダイの上流側リップと下流側リップの間に
設けられたチャンバーからスロットを経て塗布液を押出
し、それらのリップ面に沿うように走行する支持体に塗
布液を塗布する塗布装置において、相隣るリップのスロ
ット形成面に挟まれるスロットギャップを 200μm 以
下、各リップのスロット形成面の平坦度を 4μm 以下と
するとき、当該スロットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とするようにしたものである。
は、押出し型ダイの上流側リップと下流側リップの間に
設けられたチャンバーからスロットを経て塗布液を押出
し、それらのリップ面に沿うように走行する支持体に塗
布液を塗布する塗布装置において、相隣るリップのスロ
ット形成面に挟まれるスロットギャップを 200μm 以
下、各リップのスロット形成面の平坦度を 4μm 以下と
するとき、当該スロットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とするようにしたものである。
【００１０】請求項２に記載の本発明は、押出し型ダイ
の上流側リップと下流側リップの間に設けられたチャン
バーからスロットを経て塗布液を押出し、それらのリッ
プ面に沿うように走行する支持体に塗布液を塗布する塗
布方法において、相隣るリップのスロット形成面に挟ま
れるスロットギャップを 200μm 以下、各リップのスロ
ット形成面の平坦度を 4μm 以下とするとき、当該スロ
ットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とするように塗布液の供給圧力を設定して塗布するよう
にしたものである。
の上流側リップと下流側リップの間に設けられたチャン
バーからスロットを経て塗布液を押出し、それらのリッ
プ面に沿うように走行する支持体に塗布液を塗布する塗
布方法において、相隣るリップのスロット形成面に挟ま
れるスロットギャップを 200μm 以下、各リップのスロ
ット形成面の平坦度を 4μm 以下とするとき、当該スロ
ットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とするように塗布液の供給圧力を設定して塗布するよう
にしたものである。
【００１１】
【作用】請求項１、２の本発明によれば下記の作用が
ある。 単層塗布装置を構成するように単一のスロットを備え
るダイの当該スロットにおいて、或いは多層塗布装置を
構成するように複数のスロットを備えるダイの各スロッ
トにおいて、Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を0.001 より小さく設定
することにより、スロットを流れる塗布液の圧力に対す
るダイの剛性を必要十分な値とすることができる。これ
により、ダイのスロットを流れる塗布液の圧力によるス
ロットギャップの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むら
の発生を防止できる。
ある。 単層塗布装置を構成するように単一のスロットを備え
るダイの当該スロットにおいて、或いは多層塗布装置を
構成するように複数のスロットを備えるダイの各スロッ
トにおいて、Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を0.001 より小さく設定
することにより、スロットを流れる塗布液の圧力に対す
るダイの剛性を必要十分な値とすることができる。これ
により、ダイのスロットを流れる塗布液の圧力によるス
ロットギャップの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むら
の発生を防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は第１実施形態の塗布装置を
示す模式図、図２は第１実施形態のダイを示す模式図、
図３は第２実施形態のダイを示す模式図である。
示す模式図、図２は第１実施形態のダイを示す模式図、
図３は第２実施形態のダイを示す模式図である。
【００１３】（第１実施形態）（図１、図２） 塗布装置１０は、図１、図２に示す如く、押出し型ダイ
１１の上流側リップ１２と下流側リップ１３の間に設け
られたチャンバー１４からスロット１５を経て塗布液を
押出し、両リップ面１２Ａ、１３Ａに沿うように走行す
る支持体１に塗布液を単層塗布する。
１１の上流側リップ１２と下流側リップ１３の間に設け
られたチャンバー１４からスロット１５を経て塗布液を
押出し、両リップ面１２Ａ、１３Ａに沿うように走行す
る支持体１に塗布液を単層塗布する。
【００１４】ここで、塗布装置１０は、支持体１の背面
をバックアップローラ等で支持せず、ダイ１１の入側と
出側のそれぞれに設けられるガイドローラ１６、１７に
より支持された支持体１に、ダイ１１を押付ける状態で
該支持体１に塗布液を塗布する。尚、塗布液は、塗布液
供給系１８からダイ１１のチャンバー１４に圧送され
る。
をバックアップローラ等で支持せず、ダイ１１の入側と
出側のそれぞれに設けられるガイドローラ１６、１７に
より支持された支持体１に、ダイ１１を押付ける状態で
該支持体１に塗布液を塗布する。尚、塗布液は、塗布液
供給系１８からダイ１１のチャンバー１４に圧送され
る。
【００１５】然るに、ダイ１１にあっては、両リップ１
２、１３に挟まれるスロット１５のスロットギャップｇ
を 200μm 以下、両リップ１２、１３が形成するスロッ
ト１５のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂの平坦度（スロ
ット形成面１５Ａ、１５Ｂの粗さにおける山のピークと
谷のピークの高さの差）を 4μm 以下としている。
２、１３に挟まれるスロット１５のスロットギャップｇ
を 200μm 以下、両リップ１２、１３が形成するスロッ
ト１５のスロット形成面１５Ａ、１５Ｂの平坦度（スロ
ット形成面１５Ａ、１５Ｂの粗さにおける山のピークと
谷のピークの高さの差）を 4μm 以下としている。
【００１６】そして、ダイ１１にあっては、スロット１
５内での塗布液の圧力損失（kgf/mm2 ）をＰｍ、ダイ１
１のヤング率（kgf/mm2 ）をＥ、ダイ１１におけるスロ
ット１５の長さをスロット長Ｌとするときのｇ／ＬをＧ
（スロットギャップ／スロット長）、ダイ１１における
スロット１５の基部（チャンバー１４への接続部）にお
ける各リップ１２、１３の厚みｈ1 、ｈ2 の最小値をダ
イ厚みｈとするときのｈ／ＬをＷ（ダイ厚み／スロット
長）とするとき、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 となるように、塗布液の供給圧力を設定して塗布するも
のである。
５内での塗布液の圧力損失（kgf/mm2 ）をＰｍ、ダイ１
１のヤング率（kgf/mm2 ）をＥ、ダイ１１におけるスロ
ット１５の長さをスロット長Ｌとするときのｇ／ＬをＧ
（スロットギャップ／スロット長）、ダイ１１における
スロット１５の基部（チャンバー１４への接続部）にお
ける各リップ１２、１３の厚みｈ1 、ｈ2 の最小値をダ
イ厚みｈとするときのｈ／ＬをＷ（ダイ厚み／スロット
長）とするとき、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 となるように、塗布液の供給圧力を設定して塗布するも
のである。
【００１７】尚、ダイ１１のダイ厚みｈは、前述した如
く、スロット１５の基部における各リップ１２、１３の
厚みｈ1 、ｈ2 の最小値であり、図２（Ａ）のダイ１１
ではｈ＝ｈ1 ＝ｈ2 、図２（Ｂ）のダイ１１ではｈ＝ｈ
1 （＜ｈ2 ）である。
く、スロット１５の基部における各リップ１２、１３の
厚みｈ1 、ｈ2 の最小値であり、図２（Ａ）のダイ１１
ではｈ＝ｈ1 ＝ｈ2 、図２（Ｂ）のダイ１１ではｈ＝ｈ
1 （＜ｈ2 ）である。
【００１８】塗布装置１０において、ダイ１１の形状
（ダイ厚みｈ、スロット長Ｌ、スロット幅ｗ、スロット
ギャップｇ、スロット平坦度ａ）、運転条件（ダイ圧力
損失Ｐｍ）を本発明の範囲に定めた実施例１、２と、本
発明の範囲外とした比較例１、２について、膜厚むらの
有無を調査し、表１の結果を得た。尚、ダイ１１のヤン
グ率は 2×104 kgf/mm2 である。
（ダイ厚みｈ、スロット長Ｌ、スロット幅ｗ、スロット
ギャップｇ、スロット平坦度ａ）、運転条件（ダイ圧力
損失Ｐｍ）を本発明の範囲に定めた実施例１、２と、本
発明の範囲外とした比較例１、２について、膜厚むらの
有無を調査し、表１の結果を得た。尚、ダイ１１のヤン
グ率は 2×104 kgf/mm2 である。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１によれば、Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を本発明
の範囲外である0.001 以上とする場合には、スロット１
５における塗布液の圧力に対するダイ１１の剛性が不十
分になり、スロット１５における塗布液の圧力によるス
ロットギャップｇの変形が大きく、塗布幅方向での膜厚
むらを生ずる（比較例１、２）。これに対し、Ｐｍ／Ｅ
ＧＷ3 値を本発明の範囲内の0.001 未満とする場合に
は、スロット１５における塗布液の圧力に対するダイ１
１の剛性が必要十分となり、スロット１５における塗布
液の圧力によるスロットギャップｇの変形を抑え、塗布
幅方向での膜厚むらの発生を防止できる（実施例１、
２）。
の範囲外である0.001 以上とする場合には、スロット１
５における塗布液の圧力に対するダイ１１の剛性が不十
分になり、スロット１５における塗布液の圧力によるス
ロットギャップｇの変形が大きく、塗布幅方向での膜厚
むらを生ずる（比較例１、２）。これに対し、Ｐｍ／Ｅ
ＧＷ3 値を本発明の範囲内の0.001 未満とする場合に
は、スロット１５における塗布液の圧力に対するダイ１
１の剛性が必要十分となり、スロット１５における塗布
液の圧力によるスロットギャップｇの変形を抑え、塗布
幅方向での膜厚むらの発生を防止できる（実施例１、
２）。
【００２１】（第２実施形態）（図３） 塗布装置２０は、図３に示す如く、押出し型ダイ２１の
最上流側リップ２２と中間リップ２３の間に設けられた
チャンバー２５からスロット２６を経て塗布液を押出す
ともに、中間リップ２３と最下流側リップ２４の間に設
けられたチャンバー２７からスロット２８を経て塗布液
を押出し、全リップ面２２Ａ、２３Ａ、２４Ａに沿うよ
うに走行する支持体１に塗布液を２層塗布する。
最上流側リップ２２と中間リップ２３の間に設けられた
チャンバー２５からスロット２６を経て塗布液を押出す
ともに、中間リップ２３と最下流側リップ２４の間に設
けられたチャンバー２７からスロット２８を経て塗布液
を押出し、全リップ面２２Ａ、２３Ａ、２４Ａに沿うよ
うに走行する支持体１に塗布液を２層塗布する。
【００２２】ここで、塗布装置２０は、第１実施形態の
塗布装置１０と同様に、支持体１の背面をバックアップ
ローラ等で支持せず、ダイ２１の入側と出側のそれぞれ
に設けられるガイドローラにより支持された支持体１
に、ダイ２１を押付ける状態で該支持体１に塗布液を塗
布する。尚、塗布液は、塗布液供給系からダイ２１のチ
ャンバー２５、２７に圧送される。
塗布装置１０と同様に、支持体１の背面をバックアップ
ローラ等で支持せず、ダイ２１の入側と出側のそれぞれ
に設けられるガイドローラにより支持された支持体１
に、ダイ２１を押付ける状態で該支持体１に塗布液を塗
布する。尚、塗布液は、塗布液供給系からダイ２１のチ
ャンバー２５、２７に圧送される。
【００２３】然るに、ダイ２１にあっては、両リップ２
２、２３に挟まれるスロット２６のスロットギャップｇ
と、両リップ２３、２４に挟まれるスロット２８のスロ
ットギャップｇのそれぞれを 200μm 以下、 両リップ２
２、２３が形成するスロット２６のスロット形成面２６
Ａ、２６Ｂの平坦度（スロット形成面２６Ａ、２６Ｂの
粗さ分布における山のピークと谷のピークの高さの差）
と、両リップ２３、２４が形成するスロット２８のスロ
ット形成面２８Ａ、２８Ｂの平坦度（スロット形成面２
８Ａ、２８Ｂの粗さ分布における山のピークと谷のピー
クの高さの差）のそれぞれを 4μm 以下としている。
２、２３に挟まれるスロット２６のスロットギャップｇ
と、両リップ２３、２４に挟まれるスロット２８のスロ
ットギャップｇのそれぞれを 200μm 以下、 両リップ２
２、２３が形成するスロット２６のスロット形成面２６
Ａ、２６Ｂの平坦度（スロット形成面２６Ａ、２６Ｂの
粗さ分布における山のピークと谷のピークの高さの差）
と、両リップ２３、２４が形成するスロット２８のスロ
ット形成面２８Ａ、２８Ｂの平坦度（スロット形成面２
８Ａ、２８Ｂの粗さ分布における山のピークと谷のピー
クの高さの差）のそれぞれを 4μm 以下としている。
【００２４】そして、ダイ２１にあっては、各スロット
２６、２８について、スロット２６、２８内での塗布液
の圧力損失（kgf/mm2 ）をＰｍ、ダイ２１のヤング率
（kgf/mm2 ）をＥ、ダイ２１におけるスロット２６、２
８の長さをスロット長Ｌとするときのｇ／ＬをＧ（スロ
ットギャップ／スロット長）、ダイ２１におけるスロッ
ト２６、２８の基部（チャンバー２５、２７への接続
部）における各リップ２２、２４の厚みｈ1 、ｈ2 の最
小値をダイ厚みｈとするときのｈ／ＬをＷ（ダイ厚み／
スロット長）とするとき、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 となるように、塗布液の供給圧力を設定して塗布するも
のである。
２６、２８について、スロット２６、２８内での塗布液
の圧力損失（kgf/mm2 ）をＰｍ、ダイ２１のヤング率
（kgf/mm2 ）をＥ、ダイ２１におけるスロット２６、２
８の長さをスロット長Ｌとするときのｇ／ＬをＧ（スロ
ットギャップ／スロット長）、ダイ２１におけるスロッ
ト２６、２８の基部（チャンバー２５、２７への接続
部）における各リップ２２、２４の厚みｈ1 、ｈ2 の最
小値をダイ厚みｈとするときのｈ／ＬをＷ（ダイ厚み／
スロット長）とするとき、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 となるように、塗布液の供給圧力を設定して塗布するも
のである。
【００２５】尚、ダイ２１のダイ厚みｈは、前述した如
く、スロット２６、２８の基部における各リップ２２、
２４の厚みｈ1 、ｈ2 のそれぞれであり、図３のダイ２
１ではｈ＝ｈ1 ＝ｈ2 である。
く、スロット２６、２８の基部における各リップ２２、
２４の厚みｈ1 、ｈ2 のそれぞれであり、図３のダイ２
１ではｈ＝ｈ1 ＝ｈ2 である。
【００２６】塗布装置２０において、ダイ２１の形状
（ダイ厚みｈ、スロット長Ｌ、スロット幅ｗ、スロット
ギャップｇ、スロット平坦度ａ）、運転条件（ダイ圧力
損失Ｐｍ）を本発明の範囲に定めた実施例３、４、５
と、本発明の範囲外とした比較例３について、膜厚むら
の有無を調査し、表２の結果を得た。尚、ダイ２１のヤ
ング率は 2×104 kgf/mm2 である。
（ダイ厚みｈ、スロット長Ｌ、スロット幅ｗ、スロット
ギャップｇ、スロット平坦度ａ）、運転条件（ダイ圧力
損失Ｐｍ）を本発明の範囲に定めた実施例３、４、５
と、本発明の範囲外とした比較例３について、膜厚むら
の有無を調査し、表２の結果を得た。尚、ダイ２１のヤ
ング率は 2×104 kgf/mm2 である。
【００２７】
【表２】
【００２８】表２によれば、Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を本発明
の範囲外である0.001 以上とする場合には、スロット２
６、２８における塗布液の圧力に対するダイ２１の剛性
が不十分になり、スロット２６、２８における塗布液の
圧力によるスロットギャップｇの変形が大きく、塗布幅
方向での膜厚むらを生ずる（比較例３）。これに対し、
Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を本発明の範囲内の0.001 未満とする
場合には、スロット２６、２８における塗布液の圧力に
対するダイ２１の剛性が必要十分となり、スロット２
６、２８における塗布液の圧力によるスロットギャップ
ｇの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発生を防止
できる（実施例３、４、５）。
の範囲外である0.001 以上とする場合には、スロット２
６、２８における塗布液の圧力に対するダイ２１の剛性
が不十分になり、スロット２６、２８における塗布液の
圧力によるスロットギャップｇの変形が大きく、塗布幅
方向での膜厚むらを生ずる（比較例３）。これに対し、
Ｐｍ／ＥＧＷ3 値を本発明の範囲内の0.001 未満とする
場合には、スロット２６、２８における塗布液の圧力に
対するダイ２１の剛性が必要十分となり、スロット２
６、２８における塗布液の圧力によるスロットギャップ
ｇの変形を抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発生を防止
できる（実施例３、４、５）。
【００２９】尚、第１実施形態と第２実施形態におい
て、スロット平坦度ａの測定方法と、膜厚むらの有無判
定方法は以下の如くなされた。 (A) スロット平坦度ａの測定方法 (1) 三次元測定機（東京精密（株）ＺＹＺＡＸ−ＰＡ15
00Ｖ）等の形状測定機でスロット部の高さｚm （ｘi ，
ｙj ）を測定する。
て、スロット平坦度ａの測定方法と、膜厚むらの有無判
定方法は以下の如くなされた。 (A) スロット平坦度ａの測定方法 (1) 三次元測定機（東京精密（株）ＺＹＺＡＸ−ＰＡ15
00Ｖ）等の形状測定機でスロット部の高さｚm （ｘi ，
ｙj ）を測定する。
【００３０】(2) (1) のデータを、最小二乗法（ａｘ＋
ｂｙ＋ｃｚ＝ｄ）で平面に近似する。
ｂｙ＋ｃｚ＝ｄ）で平面に近似する。
【００３１】(3) (2) よりｚ（ｘi ，ｙj ）＝（ｄ−ａ
ｘi −ｂｙj ）／ｃを算出する。
ｘi −ｂｙj ）／ｃを算出する。
【００３２】(4) 各測定点（ｘi ，ｙj ）に対し、ε
i,j ＝ｚ（ｘi ，ｙj ）−ｚm （ｘi，ｙj ）を算出
し、この最大値εmax と最小値εmin を求める（εmax
＞0 、εmin ＜0 ）。
i,j ＝ｚ（ｘi ，ｙj ）−ｚm （ｘi，ｙj ）を算出
し、この最大値εmax と最小値εmin を求める（εmax
＞0 、εmin ＜0 ）。
【００３３】(5) 平坦度ｆを、ｆ＝εmax −εmin とす
る。
る。
【００３４】ダイの相対する 2つのスロット形成面のそ
れぞれについて上記(1) 〜(5) から平坦度を求め、平坦
度の悪い方の値を当該ダイの平坦度ａとした。
れぞれについて上記(1) 〜(5) から平坦度を求め、平坦
度の悪い方の値を当該ダイの平坦度ａとした。
【００３５】(B) 膜厚むらの有無判定方法 (1) 塗布前の原反形状（幅に対する高さの変化）を測定
する。
する。
【００３６】(2) 塗布後の原反形状（幅に対する高さの
変化）を測定する。
変化）を測定する。
【００３７】(3) 上記(1) と(2) の形状差（各幅位置で
の(1) 、(2) の高さの差）を算出する。
の(1) 、(2) の高さの差）を算出する。
【００３８】(4) 上記(3) の形状差の平均値ｈａ、ｈａ
に対する最大偏差Δｈmax 、最小偏差Δｈmin を算出す
る。
に対する最大偏差Δｈmax 、最小偏差Δｈmin を算出す
る。
【００３９】(5) （Δｈmax ＋Δｈmin ）／ｈａ＝Ａを
算出し、このＡ値が0.03以下であれば膜厚むら無、0.03
越えであれば膜厚むら有と判定する。
算出し、このＡ値が0.03以下であれば膜厚むら無、0.03
越えであれば膜厚むら有と判定する。
【００４０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、スロット
を流れる塗布液の圧力によるスロットギャップの変形を
抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発生を防止することが
できる。
を流れる塗布液の圧力によるスロットギャップの変形を
抑え、塗布幅方向での膜厚むらの発生を防止することが
できる。
【図１】図１は第１実施形態の塗布装置を示す模式図で
ある。
ある。
【図２】図２は第１実施形態のダイを示す模式図であ
る。
る。
【図３】図３は第２実施形態のダイを示す模式図であ
る。
る。
１ 支持体 １０、２０ 塗布装置 １１、２１ ダイ １２、２２ 上流側リップ １３、２４ 下流側リップ １４、２５、２７ チャンバー １５、２６、２８ スロット １５Ａ、１５Ｂ、２６Ａ、２６Ｂ、２８Ａ、２８Ｂ ス
ロット形成面
ロット形成面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D075 AC04 BB93X BB99X CB40 DA03 DB01 DB18 DB20 DB34 DC10 DC27 EA07 4F041 AA12 BA12 BA13 BA34 CA02 CA11
Claims (2)
- 【請求項１】 押出し型ダイの上流側リップと下流側リ
ップの間に設けられたチャンバーからスロットを経て塗
布液を押出し、それらのリップ面に沿うように走行する
支持体に塗布液を塗布する塗布装置において、 相隣るリップのスロット形成面に挟まれるスロットギャ
ップを 200μm 以下、各リップのスロット形成面の平坦
度を 4μm 以下とするとき、当該スロットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とすることを特徴とする塗布装置 - 【請求項２】 押出し型ダイの上流側リップと下流側リ
ップの間に設けられたチャンバーからスロットを経て塗
布液を押出し、それらのリップ面に沿うように走行する
支持体に塗布液を塗布する塗布方法において、相隣るリ
ップのスロット形成面に挟まれるスロットギャップを 2
00μm 以下、各リップのスロット形成面の平坦度を 4μ
m 以下とするとき、当該スロットについて、 Ｐｍ／ＥＧＷ3 ＜0.001 但し、Ｐｍ：スロット内での塗布液の圧力損失(kgf/m
m2) Ｅ ：ダイのヤング率(kgf/mm2) Ｇ ：スロットギャップ／スロット長 Ｗ ：ダイ厚み／スロット長 とするように塗布液の供給圧力を設定して塗布すること
を特徴とする塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26390798A JP2000070816A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | 塗布装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26390798A JP2000070816A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | 塗布装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000070816A true JP2000070816A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17395930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26390798A Pending JP2000070816A (ja) | 1998-09-03 | 1998-09-03 | 塗布装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000070816A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003080148A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
| JP2007203293A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Samsung Electronics Co Ltd | 表示装置製造用スリットコーターとこれを利用した表示装置の製造方法 |
| JP2010005508A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Nordson Corp | スロットコートガン |
| US7785654B2 (en) | 2001-03-16 | 2010-08-31 | Kao Corporation | Method of producing cosmetics-impregnated sheet |
-
1998
- 1998-09-03 JP JP26390798A patent/JP2000070816A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7785654B2 (en) | 2001-03-16 | 2010-08-31 | Kao Corporation | Method of producing cosmetics-impregnated sheet |
| JP2003080148A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
| JP2007203293A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Samsung Electronics Co Ltd | 表示装置製造用スリットコーターとこれを利用した表示装置の製造方法 |
| JP2010005508A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Nordson Corp | スロットコートガン |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040223 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060418 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060420 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20061002 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |