JP2007203293A - 表示装置製造用スリットコーターとこれを利用した表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表示装置製造用スリットコーターは、コーティング液供給部と、コーティング液供給部からのコーティング液が注入される注入部とコーティング液を処理対象の基板上にコーティングさせる細長型のスリット部とを含み、注入部とスリット部との間にスリット部の長さ1mm当り0.13cc〜0.5ccの体積を有するキャビティが形成されているスリットノズルとを含むことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
これら平板表示装置の製造には感光物質などの薄膜を基板の前面にコーティングしてコーティング層を形成する工程が多く使用される。コーティング層は必要によって露光、現像等を通じてパターニングされる。
最近、表示装置が大型化することに伴って、スリットコーターの長さも一緒に増加している。しかし、スリットコーターの長さが増加することにより、位置によって吐出量が不均一になって、コーティング層の品質、特に厚さが一定でないという問題がある。
本発明の他の目的は、品質が均一であるようなコーティング層を形成することができる表示装置製造用スリットコーターを用いて表示装置を製造する方法を提供することにある。
前記キャビティは前記注入部から遠くなるほど下向傾斜していることが好ましい。
前記キャビティの横断面は前記注入部から遠くなるほど広くなることが好ましい。
前記ノズルのギャップ(gap)は60μm〜140μmであることが好ましい。
前記本発明の他の目的は、コーティング液供給部と;コーティング液が注入される注入部と前記コーティング液を処理対象の基板上にコーティングする細長型のスリット部とを含み、前記コーティング液供給部と前記スリット部との間に前記スリット部の長さ1mm当り1.3cc〜5ccの体積を有するキャビティが形成されているスリットノズルとを含むスリットコーターを用いて絶縁基板上にコーティング層をコーティングする段階と;前記コーティング層をパターニングする段階とを含むことを特徴とする表示装置用基板の製造方法によって達成される。
前記コーティング液の粘度は2cP〜6cPであることが好ましい。
また、均一な品質のコーティング層を形成することができる表示装置製造用スリットコーターを用いて表示装置を製造する方法が提供される。
以下の実施形態において同一の構成要素を示す参照番号は同一の番号を使用した。同一の構成要素については第1実施形態で代表的に説明し、他の実施形態では省略することとする。
図1〜図3を参照して本発明の第1実施形態による液晶表示装置を説明する。
本発明の第1実施形態によるスリットコーター1はスリットノズル10及びコーティング液供給部20を含む。
スリットノズル10は長く延長されており、コーティング液供給部20からコーティング液が供給されて、基板上にコーティング層を形成する。スリットノズル10の長さ(W)は約800mm〜2000mmの範囲で設定することができる。
注入部13はコーティング液供給部20に連結されており、供給されるコーティング液を受けるように構成されている。注入部13はスリットノズル10の長さ方向でほぼ中心の部分に位置している。
注入部13を通じて供給されたコーティング液はキャビティ14を経た後、ノズル部15に進行する。キャビティ14はノズル部15に比べて大きな体積を有しているが、ノズル部15の長さ1mm当り約0.13cc〜0.5ccの体積を有する。例えば、スリットノズル10の長さ(W)が約1200mmであれば、キャビティ14は約156cc〜600ccの体積を有する。キャビティ14の体積がこのような値を有する理由は後述する。
第1サブ本体11と第2サブ本体12は対向面において小さなギャップgを形成することによってノズル部15を構成する。ノズル部15はキャビティ14と連結されており、ノズル部15のギャップgは60μm〜140μmとすることができる。
以上のようなスリットコーター1は供給されたコーティング液を位置に関係なく均一な厚さで基板上にコーティングする。つまり、注入部13から近い部分や注入部13から遠く離れた部分で全て均一な厚さのコーティング層を形成する。
以下、図4a〜図5を参照して、スリットコーターのキャビティ体積について説明する。
図4aのように、スリットノズル10は延長方向の垂直方向に基板100を通過しながらコーティング層110を形成する。スリットノズル10の延長方向をTDといい、スリットノズル10の進行方向をMDという。
図4bのように、コーティング層110に屈曲が発生した場合、屈曲の幅dxと屈曲の高さdyによってまだら模様(斑)が認知されるという問題がある。
一方、屈曲の高さ変化dyは、コーティング層110が青色カラーフィルター物質である場合、NTSC色座標上での位置変化を示すdByで表現することができる。これは、コーティング層110の厚さを直接測定することより、コーティング層110の色特性を測定することが容易なためである。0.0012のdByは約365Åのdyを意味し、dByが大きければdyも大きいことを意味する。
実験では、スリットノズル10の長さ(W)が1100mmである場合に、スリットノズル10のキャビティ14体積を変化させながら、中心部と縁部のコーティング液流量を測定した。
キャビティ14の体積が増加するほど中心部での流量(Qcenter)と縁部の流量(Qedge)との差が減少し、キャビティ14の体積が約150cc以上になるとほとんど差がなくなることが分かる。
位置に関係なく流量が一定になるキャビティ14の体積はスリットノズル10の長さ(W)に対する比で示すことができ、実験によって、この値は150cc/1100mmであって、約0.13cc/mmである。
以下、本発明によるスリットコーター1の性能を実験を通じて説明する。
実験は、パターンが形成されていないガラス基板に対して青色カラーフィルターをコーティングする方法で行われた。青色カラーフィルターの粘度は約4.2cPであり、スリットノズルの長さは1100mmであった。
表2は実験に使用されたスリットノズルの条件を整理したものである。
反面、実施形態に関する図6cを見ると、周縁で厚さ変化は多少大きいが、これは広い範囲を経て変化しているので、斑指数は0.1または0.35のように基準内の値を有している。また、1枚の場合や120枚の場合が全てほとんど同じ厚さ分布を示している。
実験は、ブラックマトリックスが形成されているガラス基板に対して青色カラーフィルターをコーティングする方法で行われた。青色カラーフィルターの粘度は約4.2cPであり、スリットノズルの長さは1100mmであった。使用されたノズルコーターは実験例1と同一である。
反面、実施形態に関する図7bを見ると、周縁で厚さ変化は多少大きいが、これは広い範囲を経て変化しているので、斑指数は0.33水準を示す。特に、コーティング枚数と関係なく厚さプロファイルはほとんど一定に示された。
本実験では、実施形態によるノズルコーターを対象にコーティング速度を120mm/秒及び150mm/秒に変更した。また、150m/秒で一定時間コーティングした後、2時間コーティング停止し、その後再び150mm/秒でコーティングする実験も行った。
図8bは図8aに四角形で表示した屈曲が発生した6個の地点に対して斑指数を示したものである。斑指数は全て0.3以下であって基準内であることが分かる。したがって、実施形態によるノズルコーターを、従来のノズルコーターの運転速度に該当する150cc/秒で使用しても問題がないことがわかる。
図9a〜図9fは、本発明の第1実施形態によるスリットコーターを用いた表示装置の製造方法を説明するための図面である。図9a〜図9fは液晶表示装置に使用されるカラーフィルター基板の製造方法を示したものである。
その次、図9cのように、ブラックマトリックス121が形成された絶縁基板120上に本発明によるスリットコーター1を用いて青色カラーフィルター122aを形成し、図9dのように、コーティングされた青色カラーフィルター122aをパターニングする。
その後、赤色カラーフィルター122bのパターニングを経た後、緑色カラーフィルター122cも同じ過程を経ることにより、図9fに記載するようなカラーフィルター基板が完成する。完成したカラーフィルター基板のカラーフィルター122は位置に関係なく一定の厚さを有していて、まだら模様(斑)の発生が減少する。
図10及び図11はそれぞれ本発明の第2実施形態及び第3実施形態によるスリットコーターの断面図である。
図11に示した第3実施形態では、キャビティ14にハンガー角が形成されておらず、そのためノズル部15のオリフィス長さ(L)は位置に関係なく一定になる。
11、12 サブ本体
13 注入部
14 キャビティ
15 ノズル部
20 コーティング液供給部
21 コーティング液タンク
22 質量流速制御器
Claims (9)
- コーティング液供給部と、
前記コーティング液供給部からのコーティング液が注入される注入部と前記コーティング液を処理対象の基板上にコーティングする細長型のスリット部とを含み、前記注入部と前記スリット部との間に前記スリット部の長さ1mm当り0.13cc〜0.5ccの体積を有するキャビティが形成されているスリットノズルと、
を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーター。 - 前記注入部は前記スリットノズルの中央部に位置し、
前記キャビティは前記注入部を中心に左右対称に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置製造用スリットコーター。 - 前記キャビティは前記注入部から遠くなるほど下向傾斜していることを特徴とする、請求項2に記載の表示装置製造用スリットコーター。
- 前記キャビティの横断面は前記注入部から遠くなるほど広くなることを特徴とする、請求項2に記載の表示装置製造用スリットコーター。
- 前記ノズルのギャップは60μm〜140μmであることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置製造用スリットコーター。
- コーティング液供給部と、
前記コーティング液供給部からコーティング液の供給を受け、供給されたコーティング液が吐出幅1mm当り0.13cc〜0.5ccの体積を有する細長型キャビティを経た後に吐出されるスリットノズルと、
を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーター。 - コーティング液供給部と、コーティング液が注入される注入部と前記コーティング液を処理対象の基板上にコーティングする細長型のスリット部とを含み、前記コーティング液供給部と前記スリット部との間に前記スリット部の長さ1mm当り1.3cc〜5ccの体積を有するキャビティが形成されているスリットノズルとを含むスリットコーターを用いて絶縁基板上にコーティング層をコーティングする段階と、
前記コーティング層をパターニングする段階と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記絶縁基板上に格子状のブラックマトリックスを形成する段階をさらに含み、
前記コーティング層は前記ブラックマトリックス上に形成され、前記コーティング層はカラーフィルター物質を含むことを特徴とする、請求項7に記載の表示装置の製造方法。 - 前記コーティング液の粘度は2cP〜6cPであることを特徴とする、請求項7に記載の表示装置の製造方法。
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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