JP2006305548A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Abstract
粘度が1cp〜10cpの範囲の低粘度の塗布液であっても、10μm以下の薄い厚みの塗布層を形成可能なエクストルージョン型塗布装置を提供する。
【解決手段】
供給された塗布液を溜め、幅方向へ広げる半円状のマニホールドと、該マニホールドから塗布液が塗出される塗出スリットを備えたダイヘッドを用いて、粘度が1cp〜10cpの範囲の塗布液を基板に塗布する塗布装置において、前記塗出スリットの幅が60μm〜120μm、前記マニホールドの径が、12mm〜18mmの範囲としたことを特徴とするダイヘッドを備えた塗布装置とする。
【選択図】図1
Description
一般に、ガラス基板等の透明基板に、塗布液を均一に塗布した塗布層を形成する方法は、各種あるが、一定のスリット幅を有するエクストルージョン型ダイヘッドを用いて塗布するダイコート法が、必要な塗布層を得るために使用する塗布液を無駄なく使用でき、また、大きな面積の塗布層を基材上に1回の工程で塗布形成できるので、多く用いられるようになっている。
ダイコートを用いて塗布するに際し、ダイヘッド1または基板2の、少なくともどちらか一方を相対的に移動させることで、基板2上に塗布層を形成する。
また、基板幅が2000mmを超える大きさの基板であっても、均一な膜厚の形成が可能な塗布装置を提供することを目的とする。
また、ダイヘッドの長さが、2000mmを超えるものであっても、低粘度の塗布液の中心部と端部との塗出膜厚差の小さく、均一な厚みの塗布層の形成が可能となった。
図1は、塗布液を押し出すエクストルージョン型ダイヘッドを備えた塗布装置の主要部を示すもので、ダイヘッド1の内部は、対称面の片側(z軸正方向)のみを表わしている。
また、図2(a)は、図1に示したダイヘッドの、YZ断面図、同図(b)は、YX断面図を表わしている。
まず、塗布液4は、供給口3からマニホールド5に供給され、該マニホールド5内に溜められる。次に、マニホールド6からスリット6を通って、ダイヘッドの幅方向(L)へ広がり、基板2上に塗布形成される。
ここで、塗布装置のダイヘッド1と基板2とは、どちらか一方が相対的に移動し、塗布層が形成される。
図3に示すように、粘度が1cp〜10cpの範囲の低粘度の塗布液は、ダイヘッドから押し出す塗出量比率は、中心部から両端部へ近づくに従って、小さくなる。
また、低粘度の塗布液は、図4に示すように、スリット6の幅と、該スリット6の中心部と端部との吐出量比率分布との関係となり、また、以下の一般的に式(1)で定義される。
吐出量比率(Qc)=端部の塗出量/中心部の塗出量 (1)
つまり、中心部と端部の塗出量が均一の場合は、Qc=1.00となるが、一定のスリット幅においては、Qc<1.00となる。
まず、スリットの幅を変えた場合の結果を表1に示す。
10μm以下の均一な厚さの塗布層を得るためには、スリットの幅を60μm〜120μm範囲とすることにより、0.98≦Qc<1.00の一定の吐出量比率分布が得られることがわかる。
このマニホールドの径が、18mmを超えると、塗布均一性は向上するが、塗布液がマニホールド内に滞留する恐れがあり、また、径が12mm未満であると、塗布液の滞留はないが、塗布均一性が悪くなってしまう。
リップ部の長さが、0.1mm未満であると、塗布液にエアを巻き込んでしまい、0.5mmを超えると横段むらが生じ、均一な膜厚の塗布ができない。
4…塗布液 5…マニホールド 6…スリット
7…リップ 16…段差部
Claims (4)
- 粘度が1cp〜10cpの範囲の塗布液を基板に塗布する塗布装置において、塗出スリットの幅を60μm〜120μm、マニホールドの径を12mm〜18mmの範囲とした、供給された前記塗布液を溜め、幅方向へ広げる半円状のマニホールドと、該マニホールドから塗布液が塗出される塗出スリットを備えたダイヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。
- さらに、前記ダイヘッドのスリットから外側に広がるリップ部の長さを0.1mm〜0.5mmの範囲としたダイヘッドを備えた請求項1記載の塗布装置。
- さらに、前記ダイヘッドの長さが、2000mmを超えるダイヘッドを備えたことを特徴とする請求項1または2記載の塗布装置。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の塗布装置を用い、基板上に粘度が1cp〜10cpの範囲の塗布液を塗布することを特徴とする塗布方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (2)
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JP2005102656 | 2005-03-31 | ||
JP2005283988A JP2006305548A (ja) | 2005-03-31 | 2005-09-29 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006305548A true JP2006305548A (ja) | 2006-11-09 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005283988A Pending JP2006305548A (ja) | 2005-03-31 | 2005-09-29 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006305548A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009081386A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | U-Tec Kk | 光起電力素子の製造方法 |
JP2010005616A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-01-14 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
WO2010147108A1 (ja) | 2009-06-18 | 2010-12-23 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 塗布方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
KR101304418B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2013-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의제조방법 |
JP2013205497A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド、これを備えた光学シートの製造装置、および光学シートの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0739807A (ja) * | 1993-08-02 | 1995-02-10 | Mitsubishi Chem Corp | ダイコーティング方法 |
JPH11207236A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-03 | Konica Corp | ダイコータ塗布装置 |
JP2000153205A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-06 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布部材の製造方法、ならびに、カラーフィルタの製造装置および製造方法 |
JP2001029861A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド |
JP2004066232A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗膜の製造方法 |
JP2004216298A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | 塗布方法およびスリットダイノズル |
JP2004283820A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-10-14 | Toray Ind Inc | スリットダイ、ならびに、塗膜を有する基材の製造方法および製造装置 |
JP2005046805A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置及びそれを用いた光学用機能性フィルム |
-
2005
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0739807A (ja) * | 1993-08-02 | 1995-02-10 | Mitsubishi Chem Corp | ダイコーティング方法 |
JPH11207236A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-08-03 | Konica Corp | ダイコータ塗布装置 |
JP2000153205A (ja) * | 1998-11-24 | 2000-06-06 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布部材の製造方法、ならびに、カラーフィルタの製造装置および製造方法 |
JP2001029861A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-06 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド |
JP2004066232A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗膜の製造方法 |
JP2004216298A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Mitsubishi Chemicals Corp | 塗布方法およびスリットダイノズル |
JP2004283820A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-10-14 | Toray Ind Inc | スリットダイ、ならびに、塗膜を有する基材の製造方法および製造装置 |
JP2005046805A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置及びそれを用いた光学用機能性フィルム |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101304418B1 (ko) * | 2006-02-03 | 2013-09-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 제조용 슬릿 코터와 이를 이용한 표시장치의제조방법 |
JP2009081386A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | U-Tec Kk | 光起電力素子の製造方法 |
JP2010005616A (ja) * | 2008-05-30 | 2010-01-14 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
WO2010147108A1 (ja) | 2009-06-18 | 2010-12-23 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 塗布方法、有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US8728950B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-05-20 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Coating method, and organic electroluminescence element |
JP2013205497A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Dainippon Printing Co Ltd | ダイヘッド、これを備えた光学シートの製造装置、および光学シートの製造方法 |
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