JP2001232266A - 塗布ヘッド - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
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- Power Engineering (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】吐出量のバラツキ、変動を抑え、塗布品質を向
上させる。 【解決手段】塗布ヘッドの底部に形成された液溜まり部
１１と、該液溜まり部１１に連通され大気に開口された
液吐出スリット１２と、該液吐出スリットに間隔をおい
て平行に形成され、一端が液供給口１３に連通され他端
が前記液溜まり部１１に連通された液供給路とを備え、
前記液供給路は、前記液供給口に連通されるとともに長
手方向端部に向けて傾斜するように延設された第１のチ
ャンバ１４と、該第１のチャンバに連設され第１のチャ
ンバよりも狭幅の第２のチャンバ１５と、該第２のチャ
ンバに一端が連設されるとともに他端が前記液溜まり部
１１に連通され、第２のチャンバよりも更に狭幅のスリ
ット１６からなる構成。
上させる。 【解決手段】塗布ヘッドの底部に形成された液溜まり部
１１と、該液溜まり部１１に連通され大気に開口された
液吐出スリット１２と、該液吐出スリットに間隔をおい
て平行に形成され、一端が液供給口１３に連通され他端
が前記液溜まり部１１に連通された液供給路とを備え、
前記液供給路は、前記液供給口に連通されるとともに長
手方向端部に向けて傾斜するように延設された第１のチ
ャンバ１４と、該第１のチャンバに連設され第１のチャ
ンバよりも狭幅の第２のチャンバ１５と、該第２のチャ
ンバに一端が連設されるとともに他端が前記液溜まり部
１１に連通され、第２のチャンバよりも更に狭幅のスリ
ット１６からなる構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、液晶表示
装置やカラーフィルタ等の製造工程において、基板上に
レジスト、着色感材などの種々の材料を塗布するための
塗布ヘッドに属する。
装置やカラーフィルタ等の製造工程において、基板上に
レジスト、着色感材などの種々の材料を塗布するための
塗布ヘッドに属する。
【０００２】
【従来の技術】従来の塗布ヘッドとしては、ダイコート
ヘッドやカーテンコートヘッド等に見られるようにある
一定の液吐出スリットから加圧された液を押し出してコ
ーティングする方式であった。図４（Ａ）は従来の塗布
ヘッドと基板の全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の
塗布ヘッドの長手方向に中央部を紙面と平行な面で切っ
た断面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断
面図、図４（Ｄ）は塗布状態を説明するための図であ
る。
ヘッドやカーテンコートヘッド等に見られるようにある
一定の液吐出スリットから加圧された液を押し出してコ
ーティングする方式であった。図４（Ａ）は従来の塗布
ヘッドと基板の全体斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の
塗布ヘッドの長手方向に中央部を紙面と平行な面で切っ
た断面図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断
面図、図４（Ｄ）は塗布状態を説明するための図であ
る。
【０００３】図４（Ａ）において、基板１の下面には塗
布ヘッド２が設置され、基板１と塗布装置２は図示矢印
Ｐ方向に相対移動される。塗布ヘッド２には塗布液供給
管３が取り付けられている。
布ヘッド２が設置され、基板１と塗布装置２は図示矢印
Ｐ方向に相対移動される。塗布ヘッド２には塗布液供給
管３が取り付けられている。
【０００４】図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）に示すように、
塗布ヘッド２は、下部中央に形成された液供給口５と、
この液供給口５に連設された第１のチャンバ６と、第１
のチャンバ６に連設され、第１のチャンバ６よりも狭幅
の第２のチャンバ７と、第２のチャンバ７に連設され、
第２のチャンバ７よりも更に狭幅の液吐出スリット８を
備えている。さらに、第１のチャンバ６の下面及び上面
は、液供給口５から左右上方に向けて傾斜する平行な傾
斜面６ａ、６ｂとされ、第２のチャンバー７の上面は水
平面７ａとされている。
塗布ヘッド２は、下部中央に形成された液供給口５と、
この液供給口５に連設された第１のチャンバ６と、第１
のチャンバ６に連設され、第１のチャンバ６よりも狭幅
の第２のチャンバ７と、第２のチャンバ７に連設され、
第２のチャンバ７よりも更に狭幅の液吐出スリット８を
備えている。さらに、第１のチャンバ６の下面及び上面
は、液供給口５から左右上方に向けて傾斜する平行な傾
斜面６ａ、６ｂとされ、第２のチャンバー７の上面は水
平面７ａとされている。
【０００５】上記構成からなる塗布ヘッド２において
は、塗布液は、液供給口５から第１のチャンバ６、第２
のチャンバ７を経て液吐出スリット８から押し出され
る。このとき、第１のチャンバ６の下面及び上面が傾斜
面６ａ、６ｂとされ、第２のチャンバ７の上面は水平面
７ａとされ、かつ、第１のチャンバ６、第２のチャンバ
７及び液吐出スリット８に向けて順次狭幅になるように
形成しているので、塗布液の圧力損失は、液供給口５か
ら液吐出スリット８の左右全面において均等になり、図
４（Ｂ）の矢印に示すように、塗布液を液吐出スリット
８の全面から均一に押し出すことができる。
は、塗布液は、液供給口５から第１のチャンバ６、第２
のチャンバ７を経て液吐出スリット８から押し出され
る。このとき、第１のチャンバ６の下面及び上面が傾斜
面６ａ、６ｂとされ、第２のチャンバ７の上面は水平面
７ａとされ、かつ、第１のチャンバ６、第２のチャンバ
７及び液吐出スリット８に向けて順次狭幅になるように
形成しているので、塗布液の圧力損失は、液供給口５か
ら液吐出スリット８の左右全面において均等になり、図
４（Ｂ）の矢印に示すように、塗布液を液吐出スリット
８の全面から均一に押し出すことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
塗布ヘッドにおいては、塗布液を液吐出スリット８の全
面から均一に押し出すようにするために、第１および第
２のチャンバ６、７の形状は、塗布液の粘度、レオロジ
ー特性及び供給レート（流量）等により最適な形状にな
るように設計、製作される。
塗布ヘッドにおいては、塗布液を液吐出スリット８の全
面から均一に押し出すようにするために、第１および第
２のチャンバ６、７の形状は、塗布液の粘度、レオロジ
ー特性及び供給レート（流量）等により最適な形状にな
るように設計、製作される。
【０００７】しかしながら、塗布ヘッド２の内部の第１
のチャンバ６の傾斜面６ａ、６ｂ、第２のチャンバ７の
水平面７ａおよび液吐出スリット８の高精度の加工には
制約があり、また、異なる塗布液での塗布ヘッドの共有
化が困難であるという問題を有している。さらに、プロ
セス的な吐出量、レート、圧力の変動により、常に最適
な内部形状で使用できることはなく、そのため吐出量の
バラツキが生じるという問題を有している。
のチャンバ６の傾斜面６ａ、６ｂ、第２のチャンバ７の
水平面７ａおよび液吐出スリット８の高精度の加工には
制約があり、また、異なる塗布液での塗布ヘッドの共有
化が困難であるという問題を有している。さらに、プロ
セス的な吐出量、レート、圧力の変動により、常に最適
な内部形状で使用できることはなく、そのため吐出量の
バラツキが生じるという問題を有している。
【０００８】また、この塗布ヘッドを用いて間欠塗工
（１回の片道工程で塗布を完了する塗工）を行うと、特
に高粘度材料で図４（Ｄ）に示すように、塗りの途中か
ら終わりにかけて塗布ムラＭが発生してしまう。これは
高粘度材料では中央部の供給口Ｑから急激に左右に流れ
が変化し、中央部の流量が少なくなるためと考えられ
る。
（１回の片道工程で塗布を完了する塗工）を行うと、特
に高粘度材料で図４（Ｄ）に示すように、塗りの途中か
ら終わりにかけて塗布ムラＭが発生してしまう。これは
高粘度材料では中央部の供給口Ｑから急激に左右に流れ
が変化し、中央部の流量が少なくなるためと考えられ
る。
【０００９】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、吐出量のバラツキ、変動を抑え、塗布品質を
向上させることができる塗布ヘッドを提供することを目
的とする。
であって、吐出量のバラツキ、変動を抑え、塗布品質を
向上させることができる塗布ヘッドを提供することを目
的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の請求
項１記載の塗布ヘッドは、塗布ヘッド９の底部に形成さ
れた液供給口１３と、該液供給口に連設されるとともに
長手方向端部に向けて傾斜するように延設された第１の
チャンバ１４と、該第１のチャンバに連設され、第１の
チャンバよりも狭幅の第２のチャンバ１５と、該第２の
チャンバに連設され、第２のチャンバよりも更に狭幅の
液吐出スリット１２と、該液吐出スリットの途中に水平
方向に形成された第３のチャンバ１７とを備えたことを
特徴とし、また、請求項２記載の発明は、塗布ヘッド９
の底部に形成された液溜まり部１１と、該液溜まり部１
１に連通され大気に開口された液吐出スリット１２と、
該液吐出スリットに間隔をおいて平行に形成され、一端
が液供給口１３に連通され他端が前記液溜まり部１１に
連通された液供給路とを備え、前記液供給路は、前記液
供給口に連通されるとともに長手方向端部に向けて傾斜
するように延設された第１のチャンバ１４と、該第１の
チャンバに連設され第１のチャンバよりも狭幅の第２の
チャンバ１５と、該第２のチャンバに一端が連設される
とともに他端が前記液溜まり部１１に連通され、第２の
チャンバよりも更に狭幅のスリット１６からなることを
特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明
の理解を容易にするために図面と対比させるものであ
り、これにより本発明の構成が何ら限定されるものでは
ない。
項１記載の塗布ヘッドは、塗布ヘッド９の底部に形成さ
れた液供給口１３と、該液供給口に連設されるとともに
長手方向端部に向けて傾斜するように延設された第１の
チャンバ１４と、該第１のチャンバに連設され、第１の
チャンバよりも狭幅の第２のチャンバ１５と、該第２の
チャンバに連設され、第２のチャンバよりも更に狭幅の
液吐出スリット１２と、該液吐出スリットの途中に水平
方向に形成された第３のチャンバ１７とを備えたことを
特徴とし、また、請求項２記載の発明は、塗布ヘッド９
の底部に形成された液溜まり部１１と、該液溜まり部１
１に連通され大気に開口された液吐出スリット１２と、
該液吐出スリットに間隔をおいて平行に形成され、一端
が液供給口１３に連通され他端が前記液溜まり部１１に
連通された液供給路とを備え、前記液供給路は、前記液
供給口に連通されるとともに長手方向端部に向けて傾斜
するように延設された第１のチャンバ１４と、該第１の
チャンバに連設され第１のチャンバよりも狭幅の第２の
チャンバ１５と、該第２のチャンバに一端が連設される
とともに他端が前記液溜まり部１１に連通され、第２の
チャンバよりも更に狭幅のスリット１６からなることを
特徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明
の理解を容易にするために図面と対比させるものであ
り、これにより本発明の構成が何ら限定されるものでは
ない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は、本発明の塗布ヘッドの
１実施形態を示し、図１（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全
体斜視図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の塗布ヘッドの中央
部を紙面と垂直な面で切った断面図、図１（Ｃ）は図１
（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
を参照しつつ説明する。図１は、本発明の塗布ヘッドの
１実施形態を示し、図１（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全
体斜視図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の塗布ヘッドの中央
部を紙面と垂直な面で切った断面図、図１（Ｃ）は図１
（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【００１２】図１（Ａ）において、基板１の下面には塗
布ヘッド９が設置され、基板１と塗布ヘッド９は図示矢
印Ｐ方向に相対移動される。塗布ヘッド９の側面上部に
は塗布液供給管１０が取り付けられている。
布ヘッド９が設置され、基板１と塗布ヘッド９は図示矢
印Ｐ方向に相対移動される。塗布ヘッド９の側面上部に
は塗布液供給管１０が取り付けられている。
【００１３】図１（Ｂ）及び図１（Ｃ）に示すように、
塗布ヘッド９の底部には液溜まり部１１が形成され、液
溜まり部１１には、大気に開口される液吐出スリット１
２が連通、形成されるとともに、この液吐出スリット１
２と間隔をおいて液供給路１４、１５、１６が連通形成
される。塗布ヘッド９の中央側面上部には、液吐出スリ
ット１２に対して液供給口１３が形成され、この液供給
口１３に連通されるとともに長手方向端部に向けて液供
給口１３から遠ざかるように傾斜して第１のチャンバ１
４が形成され、第１のチャンバ１４に連設され、第１の
チャンバ１４よりも狭幅の第２のチャンバ１５が形成さ
れ、第２のチャンバ１５と液溜まり部１１に接続され、
第２のチャンバ１５よりも更に狭幅のスリット１６が形
成されている。さらに、第１のチャンバ１４の下面及び
上面は、液供給口１３からスリット１６に向けて傾斜す
る平行な傾斜面１４ａとし、第２のチャンバー１５のス
リット１６側の面は水平面１５ａとしている。ここで、
液供給路１４、１５、１６の厚みおよび高さは、塗布液
の粘度、レオロジー特性等により、圧力損失が均等にな
るように決定されるが、液供給路の合計高さは、中央部
で５０〜６０ｍｍ、端部で２０〜３０ｍｍとするのが好
ましい。
塗布ヘッド９の底部には液溜まり部１１が形成され、液
溜まり部１１には、大気に開口される液吐出スリット１
２が連通、形成されるとともに、この液吐出スリット１
２と間隔をおいて液供給路１４、１５、１６が連通形成
される。塗布ヘッド９の中央側面上部には、液吐出スリ
ット１２に対して液供給口１３が形成され、この液供給
口１３に連通されるとともに長手方向端部に向けて液供
給口１３から遠ざかるように傾斜して第１のチャンバ１
４が形成され、第１のチャンバ１４に連設され、第１の
チャンバ１４よりも狭幅の第２のチャンバ１５が形成さ
れ、第２のチャンバ１５と液溜まり部１１に接続され、
第２のチャンバ１５よりも更に狭幅のスリット１６が形
成されている。さらに、第１のチャンバ１４の下面及び
上面は、液供給口１３からスリット１６に向けて傾斜す
る平行な傾斜面１４ａとし、第２のチャンバー１５のス
リット１６側の面は水平面１５ａとしている。ここで、
液供給路１４、１５、１６の厚みおよび高さは、塗布液
の粘度、レオロジー特性等により、圧力損失が均等にな
るように決定されるが、液供給路の合計高さは、中央部
で５０〜６０ｍｍ、端部で２０〜３０ｍｍとするのが好
ましい。
【００１４】上記構成からなる塗布ヘッド９において
は、塗布液は、液供給口１３から第１のチャンバ１４、
第２のチャンバ１５、スリット１６及び液溜まり部１１
を経て液吐出スリット１２から押し出される。このと
き、第１のチャンバ１４の下面及び上面が傾斜面１４ａ
とし、第２のチャンバ１５の液吐出スリット１６側の面
は水平面１５ａとし、かつ、第１のチャンバ１４、第２
のチャンバ１５及び液吐出スリット１６に向けて順次狭
幅になるように形成しているので、塗布液の圧力損失
は、液吐出スリット１６の出口では液供給口１３から左
右側端部に向けて均等になって、液溜まり部１１に供給
され、この液溜まり部で圧力変動が吸収され、液溜まり
部１１内の塗布液を液吐出スリット１２の全面から均一
に押し出すことができる。
は、塗布液は、液供給口１３から第１のチャンバ１４、
第２のチャンバ１５、スリット１６及び液溜まり部１１
を経て液吐出スリット１２から押し出される。このと
き、第１のチャンバ１４の下面及び上面が傾斜面１４ａ
とし、第２のチャンバ１５の液吐出スリット１６側の面
は水平面１５ａとし、かつ、第１のチャンバ１４、第２
のチャンバ１５及び液吐出スリット１６に向けて順次狭
幅になるように形成しているので、塗布液の圧力損失
は、液吐出スリット１６の出口では液供給口１３から左
右側端部に向けて均等になって、液溜まり部１１に供給
され、この液溜まり部で圧力変動が吸収され、液溜まり
部１１内の塗布液を液吐出スリット１２の全面から均一
に押し出すことができる。
【００１５】図２は、前記実施形態の変形例を示し、図
２（Ａ）は図１（Ｃ）と同様の断面図、図２（Ｂ）は図
２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、以下の
説明では、図１の実施形態と同一の構成には同一番号を
付して説明を省略する。図１の実施形態では液溜まり部
１１および第１のチャンバ１４を断面矩形状としている
が、本変形例では液溜まり部１１および第１のチャンバ
１４を断面略半円状とした点が相違している。
２（Ａ）は図１（Ｃ）と同様の断面図、図２（Ｂ）は図
２（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、以下の
説明では、図１の実施形態と同一の構成には同一番号を
付して説明を省略する。図１の実施形態では液溜まり部
１１および第１のチャンバ１４を断面矩形状としている
が、本変形例では液溜まり部１１および第１のチャンバ
１４を断面略半円状とした点が相違している。
【００１６】図３は、本発明の塗布ヘッドの他の実施形
態を示し、図３（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視
図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙
面と垂直な面で切った断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）
のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
態を示し、図３（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視
図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙
面と垂直な面で切った断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）
のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【００１７】塗布ヘッド９は、下部中央に形成された液
供給口１３と、この液供給口１３に連設された第１のチ
ャンバ１４と、第１のチャンバ１４に連設され、第１の
チャンバ１４よりも狭幅の第２のチャンバ１５と、第２
のチャンバ１５に連設され、第２のチャンバ１５よりも
更に狭幅の液吐出スリット１２と、液吐出スリット１２
の途中に水平方向に延びる第３のチャンバ１７を備えて
いる。さらに、第１のチャンバ１４の下面及び上面は、
液供給口１３から左右上方に向けて傾斜する平行な傾斜
面１４ａとされ、第２のチャンバー１５の上面は水平面
１５ａとされている。本実施形態においては、第３のチ
ャンバ１７で１回の塗工に必要な全量をまかなうように
している。
供給口１３と、この液供給口１３に連設された第１のチ
ャンバ１４と、第１のチャンバ１４に連設され、第１の
チャンバ１４よりも狭幅の第２のチャンバ１５と、第２
のチャンバ１５に連設され、第２のチャンバ１５よりも
更に狭幅の液吐出スリット１２と、液吐出スリット１２
の途中に水平方向に延びる第３のチャンバ１７を備えて
いる。さらに、第１のチャンバ１４の下面及び上面は、
液供給口１３から左右上方に向けて傾斜する平行な傾斜
面１４ａとされ、第２のチャンバー１５の上面は水平面
１５ａとされている。本実施形態においては、第３のチ
ャンバ１７で１回の塗工に必要な全量をまかなうように
している。
【００１８】上記構成からなる塗布ヘッド９において
は、塗布液は、液供給口１３から第１のチャンバ１４、
第２のチャンバ１５、第３のチャンバ１７を経て液吐出
スリット１２から押し出される。このとき、第１のチャ
ンバ１４の下面及び上面が傾斜面１４ａとし、第２のチ
ャンバ１５の液吐出スリット１６側の面は水平面１５ａ
とし、かつ、第１のチャンバ１４、第２のチャンバ１５
及び液吐出スリット１２に向けて順次狭幅になるように
形成しているので、塗布液の圧力損失は、液吐出スリッ
ト１２の出口Ｑでは液供給口１３から左右側端部に向け
て均等になって、第３のチャンバ１７に供給され、この
第３のチャンバ１７で圧力変動が吸収され、塗布液を液
吐出スリット１２の全面から均一に押し出すことができ
る。
は、塗布液は、液供給口１３から第１のチャンバ１４、
第２のチャンバ１５、第３のチャンバ１７を経て液吐出
スリット１２から押し出される。このとき、第１のチャ
ンバ１４の下面及び上面が傾斜面１４ａとし、第２のチ
ャンバ１５の液吐出スリット１６側の面は水平面１５ａ
とし、かつ、第１のチャンバ１４、第２のチャンバ１５
及び液吐出スリット１２に向けて順次狭幅になるように
形成しているので、塗布液の圧力損失は、液吐出スリッ
ト１２の出口Ｑでは液供給口１３から左右側端部に向け
て均等になって、第３のチャンバ１７に供給され、この
第３のチャンバ１７で圧力変動が吸収され、塗布液を液
吐出スリット１２の全面から均一に押し出すことができ
る。
【００１９】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実
施形態においては、基板の下面に塗布ヘッドを設置し基
板の下面に塗布するようにしているが、基板の上面に塗
布ヘッドを設置し基板の上面に塗布するようにしてもよ
い。
ものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実
施形態においては、基板の下面に塗布ヘッドを設置し基
板の下面に塗布するようにしているが、基板の上面に塗
布ヘッドを設置し基板の上面に塗布するようにしてもよ
い。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、液吐出スリットの途中にチャンバを設けるか、
または塗布ヘッドの底部に液溜まり部を形成したため、
塗布量を十分に確保し圧力変動を吸収することができ、
吐出量のバラツキ、変動を抑え、塗布品質を向上させる
ことができる。また、請求項２記載の発明によれば、塗
布液の通路を液溜まり部を境に対向させるようにしてい
るので、液吐出スリットの長さを十分に確保することが
でき、流れの影響を少なくし押し出す形で吐き出すた
め、吐出精度が良くなり塗布品質を向上させることがで
きる。
よれば、液吐出スリットの途中にチャンバを設けるか、
または塗布ヘッドの底部に液溜まり部を形成したため、
塗布量を十分に確保し圧力変動を吸収することができ、
吐出量のバラツキ、変動を抑え、塗布品質を向上させる
ことができる。また、請求項２記載の発明によれば、塗
布液の通路を液溜まり部を境に対向させるようにしてい
るので、液吐出スリットの長さを十分に確保することが
でき、流れの影響を少なくし押し出す形で吐き出すた
め、吐出精度が良くなり塗布品質を向上させることがで
きる。
【図１】本発明の塗布ヘッドの１実施形態を示し、図１
（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図１（Ｂ）は
図１（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙面と垂直な面で切
った断面図、図１（Ｃ）は図１（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う
断面図である。
（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図１（Ｂ）は
図１（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙面と垂直な面で切
った断面図、図１（Ｃ）は図１（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う
断面図である。
【図２】図１の実施形態の変形例を示し、図２（Ａ）は
図１（Ｃ）と同様の断面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の
Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。
図１（Ｃ）と同様の断面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の
Ｂ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の塗布ヘッドの他の実施形態を示し、図
３（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図３（Ｂ）
は図３（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙面と垂直な面で
切った断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿
う断面図である。
３（Ａ）は塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図３（Ｂ）
は図３（Ａ）の塗布ヘッドの中央部を紙面と垂直な面で
切った断面図、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿
う断面図である。
【図４】図４（Ａ）は従来の塗布ヘッドと基板の全体斜
視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の塗布ヘッドの長手方向
に中央部を紙面と平行な面で切った断面図、図４（Ｃ）
は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図、図４（Ｄ）は塗
布状態を説明するための図である。
視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の塗布ヘッドの長手方向
に中央部を紙面と平行な面で切った断面図、図４（Ｃ）
は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図、図４（Ｄ）は塗
布状態を説明するための図である。
９…塗布ヘッド １１…液溜まり部 １２…液吐出スリット １３…液供給口 １４…第１のチャンバ １５…第２のチャンバ １６…スリット １７…第３のチャンバ
Claims (2)
- 【請求項１】塗布ヘッドの底部に形成された液供給口
と、該液供給口に連設されるとともに長手方向端部に向
けて傾斜するように延設された第１のチャンバと、該第
１のチャンバに連設され、第１のチャンバよりも狭幅の
第２のチャンバと、該第２のチャンバに連設され、第２
のチャンバよりも更に狭幅の液吐出スリットと、該液吐
出スリットの途中に水平方向に形成された第３のチャン
バとを備えたことを特徴とする塗布ヘッド。 - 【請求項２】塗布ヘッドの底部に形成された液溜まり部
と、該液溜まり部に連通され大気に開口された液吐出ス
リットと、該液吐出スリットに間隔をおいて平行に形成
され、一端が液供給口に連通され他端が前記液溜まり部
に連通された液供給路とを備え、前記液供給路は、前記
液供給口に連通されるとともに長手方向端部に向けて傾
斜するように延設された第１のチャンバと、該第１のチ
ャンバに連設され第１のチャンバよりも狭幅の第２のチ
ャンバと、該第２のチャンバに一端が連設されるととも
に他端が前記液溜まり部に連通され、第２のチャンバよ
りも更に狭幅のスリットからなることを特徴とする塗布
ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000044320A JP2001232266A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 塗布ヘッド |
| US09/788,767 US6547168B2 (en) | 2000-02-22 | 2001-02-20 | Coating head |
| KR1020010008397A KR100665240B1 (ko) | 2000-02-22 | 2001-02-20 | 도포 헤드 |
| TW090103885A TW483779B (en) | 2000-02-22 | 2001-02-21 | Coating head |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000044320A JP2001232266A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 塗布ヘッド |
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|---|---|
| JP2001232266A true JP2001232266A (ja) | 2001-08-28 |
Family
ID=18567094
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000044320A Pending JP2001232266A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 塗布ヘッド |
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|---|---|
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| JP (1) | JP2001232266A (ja) |
| KR (1) | KR100665240B1 (ja) |
| TW (1) | TW483779B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003080146A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
| KR101057619B1 (ko) | 2011-05-23 | 2011-08-18 | 유중석 | 액정표시장치 제조용 액상물질 코팅 헤드와 이를 포함하는 코팅 지그 및 이를 포함하는 코팅 장치 |
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|---|---|---|---|---|
| KR100966462B1 (ko) * | 2003-09-01 | 2010-06-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 포토레지스트 도포장치 |
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-
2000
- 2000-02-22 JP JP2000044320A patent/JP2001232266A/ja active Pending
-
2001
- 2001-02-20 KR KR1020010008397A patent/KR100665240B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-02-20 US US09/788,767 patent/US6547168B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-21 TW TW090103885A patent/TW483779B/zh not_active IP Right Cessation
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| CN111760749A (zh) * | 2020-07-07 | 2020-10-13 | 业成科技（成都）有限公司 | 涂布头组件及涂布机 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6547168B2 (en) | 2003-04-15 |
| US20010025893A1 (en) | 2001-10-04 |
| KR20010083195A (ko) | 2001-08-31 |
| TW483779B (en) | 2002-04-21 |
| KR100665240B1 (ko) | 2007-01-04 |
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