JP4458385B2 - 塗布ヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶表示装置やカラーフィルタ等の製造工程において、基板上にレジスト、着色感材などの種々の材料を塗布するための塗布ヘッドに属する。
【0002】
【従来の技術】
従来の塗布ヘッドとしては、ダイコートヘッドやカーテンコートヘッド等に見られるようにある一定の液吐出スリットから加圧された液を押し出してコーティングする方式であった。図2(A)は本発明が適用される塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図2(B)は図2(A)の塗布ヘッドの従来例を示し、塗布ヘッドの中央部を長手方向に紙面と平行な面で切った断面図、図2(C)は図2(B)のC−C線に沿う断面図、図2(D)は基板への塗布状態を示す平面図である。
【0003】
図2(A)において、基板1の下面には塗布ヘッド2が設置され、基板1と塗布ヘッド2は図示矢印P方向に相対移動される。塗布ヘッド2の下面には塗布液供給管3が取り付けられている。
【0004】
図2(B)及び図2(C)に示すように、塗布ヘッド2は、底部中央に形成された液供給口5と、この液供給口5に連設された第1のチャンバ6と、第1のチャンバ6に連設され、第1のチャンバ6よりも狭幅の第2のチャンバ7と、第2のチャンバ7に連設され、第2のチャンバ7よりも更に狭幅の液吐出スリット8を備えている。さらに、第1のチャンバ6の下面及び上面は、液供給口5から左右上方に向けて傾斜する平行な傾斜面6a、6bとされ、第2のチャンバー7の上面は水平面7aとされている。
【0005】
上記構成からなる塗布ヘッド2においては、塗布液は、液供給口5から第1のチャンバ6、第2のチャンバ7を経て液吐出スリット8から押し出される。このとき、第1のチャンバ6の下面及び上面が傾斜面6a、6bとされ、第2のチャンバ7の上面は水平面7aとされ、かつ、第1のチャンバ6、第2のチャンバ7及び液吐出スリット8に向けて順次狭幅になるように形成しているので、塗布液の圧力損失は、液供給口5から液吐出スリット8の左右全面において均等になり、図2(B)の矢印に示すように、塗布液を液吐出スリット8の全面から均一に押し出すことができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の塗布ヘッドにおいては、図2(B)に示すように、塗布ヘッド2の内部の第1のチャンバ6、第2のチャンバ7及び液吐出スリット8内部で左右方向に向かう液の流れが存在するため、液供給口5に対向する液吐出スリット8の出口部Qは、その他の部分と流れの状態が相違し、図2(D)に示すR方向に塗布ヘッド2を移動させて基板1に塗布を行うと、基板1の中央部に縦スジの塗布ムラ1aが生じてしまう。この塗布ムラ1aは、基板1の有効領域内中央に発生するため、歩留まり、品質等の向上に大きな問題となっている。
【0007】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、基板の有効領域内のコーティングむらをなくし、歩留まりや品質等を向上させることができる塗布ヘッドを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明の塗布ヘッドは、基板1に塗布液を塗布する塗布ヘッド2において、前記塗布ヘッドの長手方向端部に形成された液供給口5と、該液供給口に連通されるとともに前記塗布ヘッドの長手方向他端に向けて下面及び上面を前記液供給口から液吐出スリット8に向けて平行に延設する傾斜面6a,6bとした第1のチャンバ6と、該第1のチャンバに連設され第1のチャンバよりも狭幅で液吐出スリット側の面を水平面6aとした第2のチャンバ7と、該第2のチャンバに一端が連設されるとともに他端が大気に開口され、前記第2のチャンバよりも更に狭幅の液吐出スリットと、 を備えたことを特徴とする。
以上
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明の塗布ヘッドの1実施形態を示し、図1(A)は図2(A)の塗布ヘッドの長手方向に中央部を紙面と平行な面で切った断面図、図1(B)は図1(A)のB−B線に沿う断面図、図1(C)は基板への塗布状態を示す平面図である。
【0010】
図1(A)及び図1(B)に示すように、塗布ヘッド2は、長手方向端部底面に形成された液供給口5と、この液供給口5に連通されるとともに長手方向他端に向けて液供給口から遠ざかるように傾斜して延設された第1のチャンバ6と、第1のチャンバ6に連設され、第1のチャンバ6よりも狭幅の第2のチャンバ7と、第2のチャンバ7に連設されるとともに大気に開口され、第2のチャンバ7よりも更に狭幅の液吐出スリット8を備えている。さらに、第1のチャンバ6の下面及び上面は、液供給口5から液吐出スリット8に向けて傾斜する平行な傾斜面6a、6bとし、第2のチャンバー7の液吐出スリット8側の面は水平面7aとしている。
【0011】
上記構成からなる塗布ヘッド2においては、塗布液は、液供給口5から第1のチャンバ6、第2のチャンバ7を経て液吐出スリット8から押し出される。このとき、第1のチャンバ6の下面及び上面が傾斜面6a、6bとし、第2のチャンバ7の液吐出スリット8側の面は水平面7aとし、かつ、第1のチャンバ6、第2のチャンバ7及び液吐出スリット8に向けて順次狭幅になるように形成しているので、塗布液の圧力損失は、液吐出スリット8の出口では液供給口5から右側端部に向けて均等になり、図1(A)の矢印に示すように、塗布液を液吐出スリット8の全面から均一に押し出すことができる。
【0012】
このとき、図1(A)に示すように、塗布ヘッド2の内部の第1のチャンバ6、第2のチャンバ7及び液吐出スリット8内部で右方向に向かう液の流れが存在するため、液供給口5に対向する液吐出スリット8の出口部Qは、その他の部分と流れの状態が相違し、図1(C)に示すR方向に塗布ヘッド2を移動させて基板1に塗布を行うと、基板1の左側端部に縦スジの塗布ムラ1aが生じる。しかしながら、この塗布ムラ1aは、基板1の有効領域外に存在するため、製品に影響を与えることなく、歩留まり、品質等を向上させることができる。
【0013】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、基板の下面に塗布ヘッドを設置しているが、基板の上面に塗布ヘッドを設置し、基板の上面に塗布するようにしてもよい。
【0014】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、液供給口の影響による塗布ムラを基板の中央部から端部に移すことにより、基板の有効領域内のコーティングむらをなくし、歩留まりや品質等を向上させることができる。また、液供給口を端部に設けることにより、中央部に設けるものと比べて設計の自由度を増すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布ヘッドの1実施形態を示し、図1(A)は図2(A)の塗布ヘッドの長手方向に中央部を紙面と平行な面で切った断面図、図1(B)は図1(A)のB−B線に沿う断面図、図1(C)は基板への塗布状態を示す平面図である。
【図2】図2(A)は本発明が適用される塗布ヘッドと基板の全体斜視図、図2(B)は図2(A)の塗布ヘッドの従来例を示し、塗布ヘッドの中央部を長手方向に紙面と平行な面で切った断面図、図2(C)は図2(B)のC−C線に沿う断面図、図2(D)は基板への塗布状態を示す平面図である。
【符号の説明】
5…液供給口
6…第1のチャンバ、6a、6b…傾斜面
7…第2のチャンバ
8…液吐出スリット
Claims (1)
- 基板に塗布液を塗布する塗布ヘッドにおいて、前記塗布ヘッドの長手方向端部に形成された液供給口と、
該液供給口に連通されるとともに前記塗布ヘッドの長手方向他端に向けて下面及び上面を前記液供給口から液吐出スリットに向けて平行に延設する傾斜面とした第1のチャンバと、
該第1のチャンバに連設され第1のチャンバよりも狭幅で液吐出スリット側の面を水平とした第2のチャンバと、
該第2のチャンバに一端が連設されるとともに他端が大気に開口され、前記第2のチャンバよりも更に狭幅の液吐出スリットと、
を備えたことを特徴とする塗布ヘッド。
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