CN102039261A - 涂布方法以及涂布装置、显示器用部件的制造方法以及制造装置 - Google Patents

Abstract

一种能够有效地排出侵入到模具式涂布机的涂布器内部的气体的涂布方法及装置、以及使用了它们的显示器用部件的制造方法及装置。该涂布方法中，利用具有用于使涂布液在涂布宽度方向上扩展开的岐管、将涂布液吐出的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器，一边从涂布器的吐出口吐出涂布液，一边使被涂布部件和涂布器相对地移动而将涂布液涂布到被涂布部件的表面上，向填充有涂布液的岐管供给气体，接着向岐管供给涂布液，将气体和涂布液的一部分从气体排出口排出，其后在被涂布部件的表面上涂布涂布液。

Description

涂布方法以及涂布装置、显示器用部件的制造方法以及制造装置

本申请是申请号为200710091363.0、发明名称为“涂布方法以及涂布装置、显示器用部件的制造方法以及制造装置”、申请日为2007年3月30日的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明使用于例如彩色液晶显示器用滤色片以及阵列基板、等离子体显示器用面板、光学滤色片等的制造领域。详而言之，本发明涉及能够将侵入到在玻璃基板等的被涂布部件表面上涂布涂布液的模具式涂布机(die coater)的涂布器内部的气体有效地排出的涂布方法及涂布装置、以及使用了它们的显示器用部件的制造方法及制造装置。

背景技术

由滤色片、阵列基板等构成的彩色液晶显示器，多包含有在作为被涂布部件的玻璃基板的表面上涂布低粘度的液体材料并使其干燥这样的形成涂布膜的制造工序。例如，在滤色片的制造工序中，在玻璃基板上形成黑色的光刻胶材质的涂布膜，接着通过光刻蚀法将涂布膜加工为格子状，然后在该格子间通过同样的光刻蚀法按顺序形成红色、蓝色、绿色的光刻胶材质的涂布膜。在滤色片的制造工序以外，还有在滤色片和阵列基板之间涂布形成注入液晶的空间的衬垫用的光刻胶材质，或形成用于使滤色片上的表面的凹凸平面化的超涂层涂布膜的制造工序等。

就用于这些涂布膜形成的涂布装置而言，以往使用旋转器、棒式涂料机等。但是，最近，从涂布液的消费量削减、消费电力削减、伴随玻璃基板大型化而来的装置大型化变得容易等的观点出发，开始广泛使用如专利文献1所公开的模具式涂布机。

但是，使用这样的模具式涂布机，在对玻璃基板等的叶片状的被涂布部件进行涂布时，有在涂布器的内部侵入气体也就是气泡的情况。作为气体侵入的主要原因，可以列举1)通过涂布液流过的配管的连接部或泵的滑动部的气体的侵入，2)溶解于涂布液中的气体在涂布器内部的发泡，3)由用于涂布液供给的喷嘴的开闭动作导致的气体的吸入或由于涂布液的容积变化导致的发泡，4)来自涂部器的吐出口的气体吸入等。因为以上的主要原因，如果气体侵入涂部器内部，那么就会发生涂布开始时的排出压力产生延迟而涂布开始部分的膜厚变薄，或气体从涂布器的吐出口向被涂布部件直接排出而产生细孔或纵条纹这样的涂布缺陷。

因此，完成了下述这样的发明，即在气体侵入涂布器内部的情况下，在上述的问题发生前，在使涂布器旋转以使吐出口朝上之后，从吐出口将气体排出，或者在涂布器上设置气体排出口，从气体排出口将涂布液和气体一并排出。但是，如专利文献2所公开的那样，使涂布器旋转而从朝上的吐出口排出气体的方法，必须暂时中断涂布生产而使涂布器旋转，进而还必需有使涂布器旋转的旋转机构、以及在气体排出后附着在涂布器上的涂布液必须由操作员通过手工操作来擦拭的操作。

但是，与大型的基板相对应的大型化的涂布器，由操作员手工清扫必需大量的时间和劳力。其结果是，涂布生产长时间中断，导致用于涂布生产的涂布装置的运转率或生产率显著降低。另外，为了使大型化的涂布器旋转，必需有高精度而且高输出的旋转装置，所以装置的成本上升。

另一方面，从设置在涂布器上的气体排出口排出气体的方案，因为能够在吐出口朝下的状态下，在涂布生产中将气体排出，所以不用使涂布器旋转，也能够回避上述的问题。在此，专利文献3中所公开的方法，为了能够利用浮力将气体从气体排出口排出，将与气体排出口连接的气体排出配管配置在比气体排出口高的位置。但是，因为在该位置由气体排出配管的高低差引发的液压成为阻力，所以为排出气体而消耗的涂布液的量或气体排出时间变多变长。因此，气体排出能力显著低下。

另外，在专利文献4中所公开的方法中，在气体排出配管的管路中设置有大气开放部。但是，因为该方法也是比吐出口位于上部的排出路径的最上部向大气开放，所以为了排出气体，必须还供给1000cc与液晶显示器制造用涂布液大体相同粘度的5cp的涂布液，所以气体排出效率非常地低。将这样无谓消耗涂布液的系统适用于非常昂贵的液晶显示器制造用的涂布液，从成本方面来说是困难的。

另外，在专利文献5中还公开了具有从供给口朝向气体排出口使岐管的上缘向上倾斜，使气体容易流向气体排出口的构造的发明。但是，仅仅使岐管的上缘向上倾斜，不能充分发挥气体的浮力，将附着在岐管上缘上的气体排出是困难的。另外，在专利文献6或专利文献7所公开的发明中，因为相比在设置供给口的位置处的岐管的剖面面积，在设置气体排出口的位置处的岐管的剖面面积大，所以岐管内部的流速越靠近气体排出口越降低。其结果是，使气体移动的能力降低，尤其是如果涂布器大型化则气体排出效率也显著降低。

还有，如果直径不足1mm的微小气体、也就是微小的气泡侵入涂布器内部，那么因为作用于微小气体的浮力或来自涂布液的冲击流动力都非常地小，所以有朝向气体排出口移动的气体的移动速度变得极端地小，在移动途中气体附着在岐管的壁面上不再移动的情况。尤其是，如果涂布器大型化，则因为微小气体的移动路径变长，所以微小气体从气体排出口排出变得极其困难。但是，在上述的任何发明中，对于将该微小气体高效率地从涂布器排出的方法都完全没有记载。在微小气体侵入内部时只有增加气体排出时的涂布液的供给速度或供给时间的排出微小气体的方案。因此，即便假设能够排出微小气体，也必需大量的涂布液和时间。因此，为了排出直径未满1mm的微小气体，将既有的系统适用于非常昂贵的液晶显示器制造用涂布液，从成本方面来看是极其困难的。还有，在既有的上述装置中，因为还有微小气体不能完全排出的情况，所以还有将微小气体从吐出口向被涂布部件排出，发生细孔或纵条纹这样的涂布缺点的情况。

专利文献1：JP06-339656A

专利文献2：JP09-253556A

专利文献3：JP-2557582B

专利文献4：JP2000-176351A

专利文献5：JP2001-334197A

专利文献6：JP2005-144376A

专利文献7：JP2006-95459A

发明内容

本发明是为了解决上述的问题而做成的。本发明的目的在于，提供一种通过实现能够以少量的涂布液量以及短时间将侵入涂布器内部的任意气体排出的方法，从而使得生产节拍时间短、生产率高而且能够形成高品质的涂布膜的涂布装置以及涂布方法，以及使用了它们的显示器用部件的制造装置以及制造方法。本发明的目的是通过以下所述的方案达到的。

本发明的涂布方法，是利用具备向涂布器供给涂布液的液体供给装置、具有吐出涂布液的吐出口以及将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器、与气体排出口连接且位于与气体排出口大体相同的高度或比气体排出口低的位置且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径、贮存从气体排出路径的出口排出的废液的废液罐、保持被涂布部件的保持装置、以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置的涂布装置，一边从吐出口向被涂布部件供给涂布液，一边使涂布器和被涂布部件相对地移动而在被涂布部件的表面上形成涂膜的涂布方法，其特征在于：于在被涂布部件的表面上形成涂膜前、及/或形成后，一边从液体供给装置供给液体，一边打开气体排出路径的开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。在本发明的涂布方法中，优选以气体排出路径的出口向大气开放的状态，打开开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。

另外，本发明的另一涂布方法，是利用具备向涂布器供给涂布液的液体供给装置、具有吐出涂布液的吐出口以及将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器、与气体排出口连接且出口位于比吐出口低的位置且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径、贮存从气体排出路径的出口排出的废液的废液罐、保持被涂布部件的保持装置、以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置的涂布装置，一边从吐出口向被涂布部件供给涂布液，一边使涂布器和被涂布部件相对地移动而在被涂布部件的表面上形成涂膜的涂布方法，其特征在于：于在被涂布部件的表面上形成涂膜前、及/或形成后，一边从液体供给装置供给液体，一边打开气体排出路径的开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。在本发明的涂布方法中，优选以气体排出路径的出口向大气开放的状态，打开开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。在本发明的涂布方法中，优选以废液罐的液体贮藏部向大气开放、在废液罐中贮存的废液的液面位于比涂布器的吐出口低的位置、气体排出路径的出口被侵入在废液罐内的废液中的状态，打开开闭阀从气体排出口排出涂布液和气体。

本发明的另一涂布方法，是利用具有用于将涂布液在涂布宽度方向上扩幅的岐管、将涂布液吐出的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器，一边从涂布器的吐出口吐出涂布液，一边使被涂布部件和涂布器相对地移动而将涂布液涂布到被涂布部件的表面上的涂布方法，其特征在于：向填充有涂布液的岐管供给气体，接着向岐管供给涂布液，将气体和涂布液的一部分从气体排出口排出，然后将涂布液涂布在被涂布部件的表面上。

本发明的显示器用部件的制造方法，其特征在于：使用如上述任何一项所记载的涂布方法。

本发明的涂布装置，该涂布装置具备：具有向涂布器供给涂布液的液体供给路径的液体供给装置；具有用于将涂布液在涂布宽度方向上扩幅的岐管、吐出涂布液的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器；与气体排出口连接且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径；保持被涂布部件的保持装置；以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置；其特征在于：气体排出路径位于与气体排出口大体相同的高度或比气体排出口低的位置。

另外，本发明的另一涂布装置，其具备：具有向涂布器供给涂布液的液体供给路径的液体供给装置；具有用于将涂布液在涂布宽度方向上扩幅的岐管、吐出涂布液的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器；与气体排出口连接且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径；保持被涂布部件的保持装置；以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置，其特征在于：气体排出路径的出口位于比吐出口低的位置。

本发明的又一涂布装置，其具备：具有向涂布器供给涂布液的液体供给路径的液体供给装置；具有用于将涂布液在涂布宽度方向上扩幅的岐管、将涂布液吐出的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器；与气体排出口连接且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径；保持被涂布部件的保持装置；以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置；其特征在于：向涂布器供给气体的气体供给路径至少连接在涂布器、液体供给路径或者气体排出路径中的任意一个。在本发明的涂布装置中，优选气体供给路径的入口向大气开放。

在本发明的涂布装置中，优选涂布器具有从液体供给路径向涂布器供给涂布液的供给口，岐管的涂布宽度方向上的剖面面积从供给口向气体排出口减少，而且岐管的上缘与吐出口面平行或者以吐出口面为基准从供给口朝向气体排出口向上倾斜。在本发明的涂布装置中，优选涂布器的槽缝的分型面(平面区/ランド)长度从涂布宽度方向的中央部向两端部减少。

本发明的显示器用部件的制造装置，其特征在于：使用了如上述任意一项所记载的涂布装置。

如果使用本发明的涂布方法以及涂布装置，与涂布器的气体排出口连接的气体排出路径，位于与气体排出口大体相同的高度或低于气体排出口的位置，进而，通过在气体排出路径的出口位于比吐出口低的位置的状态下，一边从液体供给装置供给液体一边打开气体排出路径的开闭阀，从气体排出口排出混入气体的涂布液。因此，因为由气体排出路径的高低差引起的液压不成为阻力，且能够将虹吸原理利用于促进气体排出，所以能够以短时间排出气体。

另外，因为通过从与涂布器、液体供给路径或者气体排出路径中的任意一个连接的气体供给路径，将一定容积以上的气体向涂布器的岐管供给，将微小气体吸收合并到由此而形成的内部的气体区域中，从而使微小气体消失，然后再将供给的气体和少量的涂布液一同向涂布器外部排出，所以也能够以短时间可靠地将难以排出的微小气体向外部排出。

进而，因为使用的涂布器，是岐管的涂布宽度方向上的剖面面积从供给口向气体排出口减少，且岐管的上缘与包括吐出口的吐出口面平行或者以吐出口面为基准从供给口朝向气体排出口向上倾斜的涂布器，所以即便涂布器大型化，因为从供给口朝向气体排出口的岐管内部的涂布液的流速高，所以气体向气体排出口快速地移动，而且因为气体的移动不会受到岐管上缘的倾斜的妨碍，所以能够更短时间地可靠地将气体向外部排出。

根据上述的涂布方法以及涂布装置，因为能够在涂布生产中进行气体的排出作业，所以不会因为气体的排出作业而长时间中断涂布生产。由此，因为在提高涂布装置的运转率的同时生产节拍时间的缩短变得容易，所以能够大幅地提高生产率。进而，因为没有为了排出气体而无谓地消耗非常昂贵的液晶显示器制造用涂布液，所以对削减成本大有裨益。另外，因为通过优越的气体排出性能能够将涂布器内部的气体完全向外部排出，所以也能够完全消除以涂布器内部的气体为起因而导致涂布开始时的吐出压力产生延迟、涂布开始部分的膜厚变薄，或者气体被从吐出口直接吐出到被涂布部件上而产生细孔或纵条纹这样涂布缺点的问题。还有，因为也不需要涂布器的旋转装置，所以也能够容易地应对基板的大型化。

根据本发明所涉及的显示器用部件的制造方法以及制造装置，因为是使用上述的优越的涂布方法以及涂布装置制造显示器用部件，所以能够以低成本而且高成品率来制造优越的涂布品质的显示器用部件。

附图说明

图1是作为搭载涂布器10的涂布装置的模具式涂布机1的概略构成图。

图2是从涂布方向观察涂布器10的内部的涂布器10的概略正面剖面图。

图3是涂布器10的与涂布宽度方向垂直的概略侧面剖面图。

图4是附加有涂布液2的供给部和排出部的涂布器10的概略正面图。

图5是表示涂布液填充作业时的排出气体100的状态的涂布器100的概略正面剖面图。

图6是表示在涂布动作中将侵入的气体100排出的状态的涂布器100的概略正面剖面图。

图7是表示涂布器10的内部的微小气体101被供给至涂布器10的气体消除的状况的概略正面剖面图。

符号说明

1：模具式涂布机               2：涂布液

3：基板                       10：涂布器

11：前唇部                    12：后唇部

13：岐管                      14：槽缝

15：吐出口                    16：供给口

17A、17B：气体排出口          18：供给内部流路

19A、19B：气体排出内部流路    20：岐管的上缘

21：吐出口面                  22：涂布器保持台

30：基台                      31：导轨

32：支持台                    33：直线电动机

34：支柱                      40：升降装置单元

41：升降台                    42：导引部

43：电动机                    44：滚珠丝杠

50：擦拭单元                  51：擦拭头

52：擦拭头驱动装置            53：头保持器

54：托盘                      55：擦拭单元保持台

60：涂布液供给装置单元        61：涂布液罐

62：泵供给路                  63：吸引用开闭阀

64：注射泵                   65：吐出用开闭阀

66：模具供给路               67：注射器

68：活塞                     69：活塞保持台

70：活塞升降导引部           71：注射泵用电动机

72：注射泵用滚珠丝杠         80A、80B：气体排出路径

81A、81B：排出用开闭阀       82A、82B：废液罐

83：废液                     84A、84B：废液排出路径

85A、85B：废液用开闭阀       86A、86B：吸引泵

87A、87B：Hi侧传感器         88A、88B：Low侧传感器

89：液面                     90A、90B：气体排出路径的出口

91：气体供给路径             92：气体供给用开闭阀

93：气体供给路径的入口       95：控制装置

96：操作盘                   97：悬垂液(流道/bead)

100：气体                    101：微小气体

102：供给气体                X：涂布方向(基板行进方向)

Ha：中央部分型面长度         Hb：端部分型面长度

α：岐管的上缘的倾斜角度     Sa：供给口部岐管剖面面积

Sb：气体排出口部岐管剖面面积 θ：气体排出路径的倾斜角度

H：吐出口和贮存在废液罐的废液的液面的高低差

H’：吐出口和气体排出路径的出口的高低差

Q3：Low侧传感器的高度

Q4：Hi侧传感器的高度

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的优选实施形态进行说明。参考图1，表示的是本发明所涉及的模具式涂布机1。模具式涂布机1，具备有基台30，在基台30上设置有一对导轨31。在该导轨31上，设置有支持台32。支持台32由直线电动机33驱动，能够在图1中所示的X方向上自由地往复运动。另外，支持台32上面成为具有图未示的多个吸附孔的真空吸附面，能够吸附保持作为被涂布部件的基板3。另外，在基台30上设置有门型的支柱34。在该支柱34的两侧，具备有能在上下方向上往复运动的一对升降装置单元40。进行涂布的涂布器10，将吐出口15向下地安装在该升降装置单元40上。升降装置单元40由使保持涂布器10的涂布器保持台22升降的升降台41、在上下方向上导引升降台41的导引部42、电动机43、将电动机43的旋转运动变换为升降台41的直线运动的滚珠丝杠44构成。该升降装置单元40，因为能够在涂布器10的涂布宽度方向的两端(左右)各自独立地动作，所以能够任意设定涂布器10的涂布宽度方向相对于水平的偏转角。由此，在能够使涂布器10的吐出口面21和作为被涂布部件的基板3与涂布器10的涂布宽度方向平行的同时，也能够将作为基板3的表面和吐出口面21之间的距离的间隙设为任意的大小。

进而，在基台30上设有擦拭单元50。该擦拭单元50，能够与支持台32一样地在导轨31上在作为涂布方向的X方向上自由地往复运动。擦拭单元50，由擦拭头51、擦拭头驱动装置52、头保持器53、托盘54、擦拭单元保持台55构成。另外，优选擦拭头51，形成为与涂布器10的下端部形状嵌合的形状，并是合成树脂等的弹性体。

在用擦拭单元50擦拭涂布器10的下端部时，使擦拭单元50沿X方向移动到涂布器10的下端部，通过升降装置单元40使涂布器10下降，从而使擦拭头51与涂布器10的下端部接触。接着，通过在使其与涂布器10的下端部接触的状态下，由擦拭头驱动装置52使擦拭头51在涂布器10的与X方向垂直的涂布宽度方向上移动，从而将附着在涂布器10的下端部的残留涂布液以及颗粒等除去。由涂布器10除去的残留涂布液以及颗粒等，由设置在擦拭头51的下部的托盘54接收，通过图未示的废液路径，由图未示的容器回收。另外，该托盘54，也可以使用于对为了涂布液2的品种交换或者防止作为涂布器10的下端的吐出口面21的干燥而从吐出口15吐出的涂布液2或溶剂等进行回收。

另外，在模具式涂布机1上，还具备有将涂布液2向涂布器10供给的涂布液供给装置单元60。在此，若参照详细地表示与涂布器10连接的供给路径和排出口路径的图4，可知在涂布液供给装置单元60上具备有贮存涂布液2的涂布液罐61。在涂布液罐61中贮存的涂布液2，经过与涂布罐61的下游连接的泵供给路62、吸引用开闭阀63，被供给至注射泵64。被供给至注射泵64的涂布液2，通过吐出用开闭阀65、模具供给路66，从涂布器10的供给口16被送入岐管13。在此，注射泵64，由注射器67、活塞68、保持活塞68的活塞保持台69、将活塞保持台69在上下方向导引的活塞升降导引部70、成为使活塞保持台69在上下方向上移动的驱动源的注射泵用电动机71、将注射泵用电动机71的旋转运动变换成活塞保持台69的直线运动并使活塞保持台69实际地移动的注射泵用滚珠丝杠72构成。该注射泵64，是定容量型的泵，通过由活塞68将填充到注射器67的内部的涂布液2压出，能够将涂布膜形成所需要的容量的涂布液2供给涂布器10。在向注射器67的内部填充涂布液2时，以将在注射器67的上游所安装的吸引用开闭阀63设为“开”、将在注射器67的下游所安装的吐出用开闭阀65设为“闭”的状态，使活塞68下降。另外，在将注射器67的内部的涂布液2向涂布器10供给时，以将吸引用开闭阀63设为“闭”、将吐出用开闭阀65设为“开”的状态，使活塞68上升。

再次参照图1，搭载在模具式涂布机1上的涂布器10，使在涂布宽度方向(垂直于纸面的方向)上延伸的前唇部11和后唇部12在涂布方向上重合，由图未示的多个装配螺栓结合而构成。另外，所谓涂布方向和图1的X方向一致。另外，在涂布器10上形成有用于将被供给至涂布器10内部的涂布液2在涂布宽度方向上扩展开的岐管13。该岐管13，与前唇部11和后唇部12一样地是在涂布宽度方向上延伸的形状。在此，所谓涂布宽度方向和涂布器10的长度方向一致。在岐管13的下方，形成有作为前唇部11和后唇部12的间隙的槽缝14，该槽缝14也在涂布宽度方向上延伸。而且，槽缝14的下端部成为涂布器10的吐出口15。

图2是涂布器10的概略正面剖面图，是从与涂布宽度方向垂直的涂布方向看涂布器10的内部所得的图。参照图2(a)，在涂布器10上，设有供给涂布液2的供给口16，和将如图4所示的侵入到涂布器10的内部的气体100与涂布液2一起排出的气体排出口17A、17B。

在此，供给口16的个数或位置并不特别限定。如图2所示，当供给口16是一个的时候，若将供给口16设置在岐管13的涂布宽度方向的中央，则用于使涂布液2在涂布宽度方向上扩展开的流路长度变得最短，因此优选。这样的供给口16的配置，尤其在涂布器10长尺寸化时更有用。

优选在将供给口16设置在岐管13的涂布宽度方向的中央时，将气体排出口17B在岐管13的涂布宽度方向的两端位置上设置一对。因此，即便从供给口16流入的气体、在涂布器10的内部发泡的气体、从吐出口15吸入的气体，变成如图4所示的存留在岐管13内的气体100，也能够将气体100沿着岐管13内的涂布液2的液流从气体排出口17B排出。另外，为了将在供给口16的上部蓄积的气体或从供给口16侵入的气体，在到达岐管13前排出，还优选在供给口16的上方设置气体排出口17A。

接下来，参照作为与涂布器10的涂布宽度方向垂直的概略侧面剖面图的图3，在图3(a)中表示的是供给口16的位置的剖面图，在图3(b)中表示的是气体排出口17B的位置的剖面图。如图3(a)所示那样，优选供给口16和岐管13的上部通过供给内部流路18连接，另一方面优选气体排出口17A和气体容易集合的供给内部流路18的上部连接。

另外，如图3(b)所示，优选气体排出口17B和气体容易集合的岐管13的上部通过气体排出内部流路19B连接。在此，气体排出内部流路19A、19B，虽然即便具有部分地在垂直方向上延伸的径路也可以，但是为了不因由于气体排出内部流路19A、19B的高低差产生的液压的影响导致流过气体排出内部流路19A、19B的涂布液2的流量降低，优选在气体排出口17A、17B附近是在水平方向上延伸的路径。由此，优选不将气体排出口17A、17B设在涂布器10的上面，而是将其设置正面、侧面、背面的任意一面上。

再次参照图2，为了在岐管13内将气体沿着涂布液2的流动有效地排出，优选岐管13的上缘20，如图2(a)所示那样与吐出口面21平行，或者如图2(b)所示那样以吐出口面21为基准使其从供给口16向气体排出口17B向上倾斜。若是这样的构成，如果想要使气体与涂布液2一起向气体排出口17B移动，则因为作用于气体的浮力促进气体的移动所以能够将气体容易地排出，从而能够得到较高的气体排出效率。另一方面，当岐管13的上缘20以吐出口面21为基准从供给口16向气体排出口17B向下倾斜时，如果想要使气体与涂布液2一起向气体排出口17B移动，则因为必然存在有与作用于气体的浮力相对抗、向重力方向推压的力，所以气体难以排出，气体排出效率显著降低。

当岐管13的上缘20从供给口16向气体排出口17B向上倾斜时，因为能够将作用于气体的浮力应用于挤出，所以岐管13的上缘20的相对于吐出口面21的倾斜角度α可以是任意大小，但是优选在5°以内、更加优选在3°以内。若倾斜角度α过大，则与其相伴涂布器10的全高(从图1的吐出口面21到涂布器保持台22的距离)增加，涂布器10大型化。因此，产生制造成本增加、操作性降低这样的问题。进而，因为还变得难以使在对前唇部11和后唇部12进行连结时的两唇部间的紧固面压力在涂布宽度方向上变得均一，所以槽缝14的间隙在涂布方向上会变得不均一，对吐出精度也会产生恶劣影响。

另外，虽然优选岐管13的上缘20的所有部分，与吐出口面21平行，或者以吐出口面21为基准使其从供给口16向气体排出口17B直线地向上倾斜，但是即便在途中具有向下倾斜的部分也可以。

在此，倾斜角度α，具体而言，如图2(b)所示那样，用与吐出口面21平行的虚线和岐管13的上缘20所成的角度来表示。所谓岐管13的上缘20，是用图2的20表示的直线部分，更加具体而言是将图3的岐管13的最上部在涂布宽度方向上连接而成的线或者面。

另外，如图2(a)所示那样，优选作为从吐出口15到岐管13的下部为止的长度的槽缝14的分型面长度，Ha(中央部分型面长度)＞Hb(端部分型面长度)。在图2(a)中，分型面长度从岐管13的中央部朝向两端部减少。如果Ha(中央部分型面长度)＝Hb(端部分型面长度)，则由于在槽缝14的两端部的压损变得比中央部高，所以两端部的吐出量相比中央部变少，但通过设定Ha(中央部分型面长度)＞Hb(端部分型面长度)，由于两端部的压损变得比中央部低，所以变得能够从两端部吐出与中央部大体同样量的涂布液。其结果是，能够在涂布宽度方向上均一地将涂布液2从吐出口15吐出。

再次参照图3，岐管13的涂布宽度方向的剖面面积，即在与涂布方向垂直的剖面上的面积，从供给口16朝向气体排出口17B逐渐减少，Sa(供给口部岐管剖面面积)＞Sb(气体排出口部岐管剖面面积)。因为通过使气体排出口部岐管剖面面积Sb比供给口部岐管剖面面积Sa小，可使向气体排出口17B的涂布液2的流速变高，所以能够使岐管13的内部的气体与涂布液2一起向气体排出口17B快速移动，用短时间将气体排出，同时在岐管13内不易产生滞留部分。其结果是，除了长尺寸化的涂布器10的气体排出也能够短时间地进行以外，还能够将由涂布液2的滞留所导致的劣化问题也解决。

相反，当气体排出口部岐管剖面面积Sb比供给口部岐管剖面面积Sa大时，因为在岐管13内朝向气体排出口17B的涂布液2的流速变低，所以排出气体的时间变长。而且，在气体排出效率降低的同时，由滞留导致的涂布液2的劣化也变得容易发生。另外，关于岐管13的涂布宽度方向的剖面面积，只要从供给口部剖面面积Sa向气体排出口部岐管剖面面积Sb逐渐减少，可以使用任意面积的变化图案。另外，也可以使用在途中暂时面积增加的面积的变化图案。为了更加有效地将气体移动到岐管13，优选Sb(气体排出口部岐管剖面面积)/Sa(供给口部岐管剖面面积)在1/2以下。

再次，参照图4，在气体排出口17A、17B，分别连接有气体排出路径80A、80B、排出用开闭阀81A、81B。被从气体排出口17A、17B排出的气体100以及涂布液2，通过排出用开闭阀81A、81B、气体排出路径80A、80B，被排出至废液罐82A、82B。在此，排出用开闭阀81A、81B，为了避免从气体排出口17A、17B排出的气体100返回涂布器10的内部，优选紧挨着气体排出口17A、17B设置。优选排出用开闭阀81A、81B，设置在至少距离气体排出口17A、17B 100mm以内。气体排出路径80A、80B，可以适用金属制配管或合成树脂制配管等任何材质的配管。因为气体排出路径80A、80B与进行升降动作的涂布器10连接，所以优选使用弯曲自由的合成树脂制配管。

另外，当在废液罐82A、82B中废液83贮存一定量以上时，则废液83通过吸引泵86A、86B经过废液排出路径84A、84B、废液用开闭阀85A、85B被排出至外部。在废液罐82A、82B上，设置有Hi侧传感器87A、87B和Low侧传感器88A、88B。Hi侧传感器87A、87B检测开始吸引泵86A、86B的吸引动作的废液83的容量。Low侧传感器88A、88B检测停止吸引泵86A、86B的吸引动作的废液83的容量。Hi侧传感器87A、87B和Low侧传感器88A、88B的高低差，优选在200mm以下，更加优选在100mm以下。

在此，关于废液83的排出方法，可以适用下述方法中的任意一种，即：使用Hi侧传感器87A、87B和Low侧传感器88A、88B间歇地排出废液83的方法；如果贮存了一定量的废液83就从废液罐82A、82B使废液83的剩余部分流出而使废液罐82A、82B的液面89一定的方法等。另外，在图4中，虽然设有两个废液罐82A、82B，但是也可以将废液罐82A、82B并为一个共用，也可以设置与气体排出路径80A、80B相同数量的废液罐。

在此，为了以更加短时间将气体100排出，有必要在气体排出路径80A、80B上设置吸引装置。作为吸引装置，虽然也可以使用吸引泵，但是吸引泵存在有在泵内部涂布液2固着而不能长期使用、排出量的微调整困难这样的问题。因此，优选使用能得到与吸引泵相同的作用的利用了虹吸原理的吸引装置。该吸引装置是，通过将气体排出路径80A、80B的出口90A、90B配置在比吐出口15更低的位置，并将从气体排出口17A、17B到出口90A、90B为止的气体排出路径80A、80B的内部用液体充满，从而产生吸引作用的装置。即，是利用由吐出口15和排出路径80A、80B的出口90A、90B的高低差产生的液压而产生吸引作用的装置。如果使用利用了该虹吸原理的吸引装置，则只要调整吐出口15和排出路径80A、80B的出口90A、90B的高低差H’，就能够进行排出量的微调整。进而，因为不必使用像吸引泵那样的驱动装置，所以维护容易。

另外，将气体排出路径80A、80B配置在与气体排出口17A、17B在垂直方向上大体相同的高度或者比它们低的位置。通过该配置，能够最有效地发挥由虹吸原理产生的吸引作用。在此，所谓将气体排出路径80A、80B配置在与气体排出口17A、17B在垂直方向上大体相同的高度或者比它们低的位置，意味着气体排出路径80A、80B从气体排出口17A、17B的中心相对于水平线在θ＝±30°以内的方向上延伸，而且被配置在比从气体排出口17A、17B的中心在垂直方向上向上50mm的地方低的位置上。当θ小于-30°时，由于气体100的浮力的阻力变大，变得难以从气体排出口17A、17B向气体排出路径80A、80B排出气体100。当θ比+30°大，或者气体排出路径80A、80B被配置在比从气体排出口17A、17B的中心向上50mm的地方更高的位置上时，因为由气体排出路径80A、80B的高低差产生的液压成为阻力，所以从气体排出路径80A、80B排出的涂布液2的量降低，其结果是，气体100的排出量降低，因此不优选。

另外，优选气体排出路径80A、80B的出口90A、90B向大气开放，进而优选在气体排出路径80A、80B的最下部向大气开放。但是，根据涂布液2的特性的不同，在将气体排出动作停止时，可能会引起从气体排出路径80A、80B的出口90A、90B吸入外部气体，由此发生干燥固化物而发生堵塞的情况。因此，为了防止由干燥固化物引发的堵塞，优选将气体排出路径80A、80B的出口90A、90B，浸入在内部为大气压的废液罐82A、82B中所贮存的废液83中。

在此，优选将在废液罐82A、82B内所贮藏的废液83的液面89配置在比吐出口15低的位置。但是，当吐出口15与在废液罐82A、82B内所贮藏的废液83的液面89之间的高低差H，和吐出口15与气体排出路径80A、80B的出口90A、90B之间的高低差H’过大，则由于由高低差H、高低差H’所产生的液压，导致从气体排出口17A、17B排出的涂布液2的量相对于向涂布器10的内部供给的量而言变得过多。因此，岐管13的一部分成为负压，发生从吐出口15吸入外部气体的现象。因此，有必要通过调整流路阻力、或在气体排出路径80A、80B的任意的位置上设置流量调整阀，对向涂布器10内部的供给量和从气体排出口17A、17B排出的排出量的比率进行调整。流路阻力由高低差H或高低差H’的大小、气体排出口17A、17B的口径、气体排出路径80A、80B的配管径和配管长度决定。

在此，优选将相对于向涂布器10内部的供给量Q1的、从气体排出口17A、17B排出的排出量Q2的比率Q2/Q1设定为0.5～0.95，进而优选设定为0.7～0.9。如果大于该范围，则容易从吐出口15吸入外部气体，如果小于该范围，则为了排出气体100，要供给的涂布液2的量变多，因此不能将气体100有效率地排出。另外，优选将气体排出路径80A、80B设定为不会在配管内部滞留气体100那样的内径。为了将比率Q2/Q1设定在优选范围，使配管内部不会滞留气体100，优选将高低差H或高低差H’设定为小于等于800mm，将气体排出口17A、17B的内径设定为小于等于10mm，将气体排出路径80A、80B的配管径设定得内径小于等于10mm。进而，更优选将高低差H或高低差H’设定得小于等于500mm，将气体排出口17A、17B的内径设定得小于等于6mm，将气体排出路径80A、80B的配管径设定得内径小于等于6mm。

另外，位于涂布器10的内部的直径不满1mm的微小气体101，还不能从气体排出口17A、17B较容易地排出。为了消除该微小气体101，向位于涂布器10的内部的岐管13供给大容量的气体，将微小气体101吸附合并到该气体中。只要将该大容量的气体用上述的方法向岐管13的外部排出，则结果微小气体101就会消失。

为了该目的，在本实施形态的模具式涂布机1上，如图4所示那样在与气体排出路径80A相连接的排出用开闭阀81A的下游侧的位置，连接有用于向涂布器10的内部供给气体的气体供给路径91。该气体供给路径91具有气体供给用开闭阀92和在气体供给用开闭阀92的上游侧向大气开放的气体供给路径91的入口93。该气体供给路径91中，气体供给用开闭阀92和入口93作为气体供给装置发挥作用。当将气体供给用开闭阀92设为“开”，则能够通过入口93将大气压的气体向涂布器10的内部供给。在此，在打开气体供给用开闭阀92时，为了使气体排出路径80A的涂布液2不向气体供给路径91侧逆流，优选将气体供给路径91的至少一部分设置在比气体排出路径80A高的位置上。

另外，除了从入口93供给大气压的气体以外，还可以将用泵或压空源等加压过的气体向入口93供给。在供给加压气体时，如果气体供给速度过快，则到达涂布器10的内部的气体和涂布液2混合而激发起泡，相反有可能会生成微小气体101。这时，优选通过在气体供给路径91上设置流量调整阀等，以使得能够缓慢地供给气体。另外，当供给由泵或压空源等加压后的气体时，对于气体供给路径91的配置没有限制。作为气体供给路径91所使用的配管的材质，可以使用金属或合成树脂等任意材质，但是为了处理方便优选合成树脂。

进而，在本实施形态中，气体供给路径91，虽然连接在与气体排出口17A相连的气体排出路径80A上，但是也可以连接在与位于岐管13的端部的气体排出口17B相连的气体排出路径80B上、或连接在与涂布器10的供给口16相连的模具供给路66上。即，气体供给路径91，只要能够向岐管13内部供给气体，连接在任何位置上都可以。除了供给口16或气体排出口17A、17B以外，也可以在前唇部11或后唇部12上设置与岐管13连接的孔，将气体供给路径91连接在这些孔上。另外，气体供给路径91，也可以在能够向涂布器10供给气体的部分上连接多个。

另外，在排出气体100时使其开闭的排出用开闭阀81A、81B，在除去微小气体101时使其开闭的气体供给用开闭阀92，直线电动机33、电动机43、包括驱动注射泵64的活塞68的注射泵用电动机71的涂布供给装置单元60等的模具式涂布机1的所有可动部，都根据控制装置95的控制信号动作。而且，通过按照被写入控制装置95的自动运行程序将控制指令信号向各装置发送，进行预先确定的动作。另外，在有必要进行各动作条件的变更时，只要在操作盘96上输入适宜的变更参数，将其传送给控制装置95，就能够进行运动动作的变更。

接下来，对使用该模具式涂布机1将涂布器10内部的气体排出的方法的一个例子进行说明。开始，参照图4和图5，对从在涂布器10的内部完全没有涂布液2而只填充有气体的状态到将气体100排出填充涂布液2的涂布生产前的气体100的排出方法进行说明。首先，在图4中从涂布液罐61到注射器67的内部充满涂布液2。接着，在将排出用开闭阀81A、81B、气体供给用开闭阀92全部设为“闭”的状态下，使注射泵64的活塞68上升，而将在注射器67的内部所填充的涂布液2向涂布器10方向推送。由此，如图5(a)所示那样，涂布液2被从供给口16向岐管13输送。如果继续由注射泵64实现的涂布液2的供给，则如图5(b)所示，在岐管13以及槽缝14的涂布宽度方向上涂布液2扩展开，将涂布液2的一部分通过槽缝14由吐出口15吐出。进而，如果继续利用注射泵64进行的涂布液2的供给，则如图5(c)所示，涂布液2，填充到槽缝14的整个区域而由吐出口15吐出，但是因为在岐管13的长度方向的两端部在上侧封入有气体100，所以气体100不能从吐出口15排出。此时，仅在从注射泵64供给涂布液2的期间，在将气体供给用开闭阀92维持设为“闭”的状态下，将排出用开闭阀81A、81B设为“开”。由此，在岐管13中，产生从供给口16向气体排出口17A、17B的涂布液2的液流。利用该液流，能够将在涂布器10的内部所封入的气体100与涂布液2一起从气体排出口17A、17B排出。如果重复该气体排出动作，直到将涂布器10内部的气体100完全排出为止，则如图5(d)所示，在涂布器10的内部仅充满涂布液2，就完成了向涂布器10的涂布液填充作业。这样的涂布生产前的气体排出动作，可以在进行一次从注射泵64向涂布器10供给涂布液2的供给动作期间完成，也可以使其在反复进行涂布液2的供给动作期间，进行多次而完成。

接下来，参照图4和图6，对在填充有涂布液2的涂布器10的内部侵入了气体100时实施的涂布生产中的气体排出方法进行说明。

首先，如图6(a)所示那样，在涂布生产中侵入到涂布器10的内部的气体100，存留在岐管13和供给口16的上部。

为了将该气体100排出，在将气体供给用开闭阀92设为“闭”的状态下，仅在从注射泵64供给涂布液2的期间，将排出用开闭阀81A、81B设为“开”。由此，在岐管13中产生从供给口16向气体排出口17A、17B的涂布液2的液流。岐管13的上缘20，与吐出口面21平行或者以吐出口面21为基准在从供给口16到气体排出口17B之间向上倾斜。因此，朝向气体排出口17B的气体100的运动在岐管13的上缘20不受妨碍。另外，因为岐管13的涂布宽度方向的剖面面积，从供给口16向气体排出口17B减少，Sa(供给口部岐管剖面面积)＞Sb(气体排出口部岐管剖面面积)，所以朝向气体排出口17B的涂布液2的流速也高。因此，如图6(b)所示，在涂布器10的内部存留的所有气体100，在位于供给口16的上部的气体排出口17A附近和位于岐管13的两端部的气体排出口17B附近快速地集合。在此，反复进行在将气体供给用开闭阀92设为“闭”的状态下，仅在从注射泵64向涂布器10供给涂布液2的期间，将排出用开闭阀81A、81B设为“开”的气体排出动作。其结果是，如图6(c)所示，从涂布器10的内部将气体100完全排出，在岐管13等的流路中只充满涂布液2，从而完成了侵入到涂布器10的内部的气体100的排出作业。这样的涂布生产中的气体排出动作，可以只进行一次，也可以反复进行。

但是，如图7(a)所示，有时在填充有涂布液2的涂布器10的内部，侵入有直径不满1mm的微小气体101。因为该微小气体101非常小，所以作用于微小气体101的浮力小。另外，当附着在岐管13的壁面上时，仅靠所供给的涂布液2的流动难以移动。因此，在上述的涂布生产中的气体排出方法中，有时不能将微小气体101排出。对于将微小气体101排出的涂布生产中的气体排出方法，参照图4和图7，以下进行说明。

首先，停止从注射泵64向涂布器10的涂布液2的供给，将气体供给用开闭阀92、排出用开闭阀81A、81B全部设为“开”。由此，从吐出口15以及气体排出口17A、17B将涂布液2排出，与涂布液2的排出量相对应地，如图7(b)所示，将供给气体102通过气体供给路径91、气体排出路径80A以及气体排出口17A供给至供给口16以及岐管13。通过将岐管13内的涂布液2置换为该供给气体102，从而由供给气体102所形成的空间，一边从气体排出口17A向涂布宽度方向膨胀一边在岐管13的上部形成。

而且，当供给气体102的空间被形成达到微小气体101存在的位置时，则如图7(c)所示，微小气体101被吸收或合并到由供给气体102形成的空间中，所以微小气体101消失。如图7(d)所示，如果由供给气体102形成的空间至少在岐管13的上部遍及长度方向的全幅地形成，则将气体供给用开闭阀92、排出用开闭阀81A、81B全部设为“闭”，停止供给气体102的供给。然后，如果实施上述的通常的涂布生产中的气体排出作业，则位于涂布器10的内部的供给气体102全部被排出，在涂布器10内部只充满涂布液2。其结果是，将原本存在的微小气体101排出到外部。在以上的实施形态中，为了快速地将供给气体102向岐管13供给，将气体供给用开闭阀92、排出用开闭阀81A、81B全部打开。但是，即使通过将没有与气体供给路径91连接的气体排出路径80B的排出用开闭阀81B维持关闭，将气体供给用开闭阀92和排出用开闭阀81A设为“开”，也能够将供给气体102向岐管13供给。

在以上的任意的气体排出方法中，排出用开闭阀81A、81B的开闭操作，为了防止来自吐出口15的气体100的吸入或者来自气体排出口17A、17B的逆流，优选仅在由注射泵64进行的涂布液2的供给期间进行。所以，有必须在将排出用开闭阀81A、81B设为“闭”之后，再使通过注射泵64进行的涂布液2的供给停止。另外，在上述的实施形态中，虽然将排出用开闭阀81A、81B全部同时设为“开”，但是使其各个单独地顺次动作，或者使其按照预先确定的组合模式动作，任何一种都可以。此时，对开闭顺序没有特别地限制，但是为了使在供给口16附近存留的气体100不流入岐管13而效率良好地进行排出，优选将与供给口16连接的排出用开闭阀81A先设为“开”。在以上的实施形态中，为了将涂布器10的内部的气体100、微小气体101、供给气体102以及涂布液2从气体排出口17A、17B排出，作为涂布液2的供给装置使用了注射泵64。但是，供给装置并不限定于此，也可以对涂布液罐61加压来供给涂布液2，或使用其它的公知的泵来供给涂布液2。

另外，在上述的气体排出方法中，从涂布器10的内部排出的气体100、微小气体101、供给气体102以及涂布液2，经过气体排出路径80A、80B，被排出至废液罐82A、82B，涂布液2被作为废液83贮存。在此，如图4所示，如果通过在废液罐82A、82B上设置的Hi侧传感器87A、87B，检测到废液83的液面89比Q4高，则使吸引泵86A、86B运转。接着，将废液用开闭阀85A、85B设为“开”，用吸引泵86A、86B从废液排出路径84A、84B吸引废液83，将废液83排出至图未示的废液路径。之后，如果通过Low侧传感器88A、88B检测到废液83的液面89比Q3低，则将废液用开闭阀85A、85B设为“闭”，停止吸引泵86A、86B，从而使废液83的排出动作结束。

在此，存在如果在从涂布器10的气体排出动作中使吸引泵86A、86B运转，则从气体排出口17A、17B的涂布液2的排出量变化，不能控制气体排出量的情况。由此，优选，使吸引泵86A、86B在没有进行气体排出动作时即在排出用开闭阀81A、81B关闭时运转。

另外，在上述中，对将通过供给气体102将微小气体101消除的方法和利用涂布液2的浮力将气体100排出的方法组合适用的一个例子进行了描述。但是，关于与利用供给气体102将微小气体102消除的方法组合的气体100的排出方法，也可以适用在气体排出路径80A、80B上连接泵等的机械吸引装置而进行吸引的方法，将气体排出口17A、17B设在涂布器10的上面、将气体排出内部流路19A、19B作为在垂直方向上延伸的路径利用浮力将气体100排出的方法等。

接下来，对使用搭载了本发明的涂布器10的模具式涂布机1在基板3上进行涂布的方法的一个例子进行说明。

首先，在实施模具式涂布机1所具备的各可动部的原点复位后，各可动部移动至预先设定的备用位置。另外，在到此时之前，用于实现作为目标的涂布条件的参数，已在操作盘96上完成输入。进而，将涂布器10内部的气体100排出而填充涂布液2的操作，也通过上述的涂布生产前的气体排出方法完成了。从涂布液罐61到涂布器10的内部都已经充满了涂布液2。此时，排出用开闭阀81A、81B、气体供给用开闭阀92全部为“闭”，擦拭单元50位于远离涂布器10的位置。

在完成了以上的准备动作的时刻，使擦拭单元50移动到涂布器10的正下方。接着，使在支持台32的表面上图未示的多个提升销上升，从图未示的装载机上将基板3装载到提升销上部。接着使提升销下降，将基板3放置在支持台32的上面，用图未示的定心装置进行基板3的定位，由图未示的多个吸附孔对基板3进行吸附保持。与此并行地，使涂布液供给装置60运转，从涂布器10将少量的涂布液2向托盘54吐出。接着，通过升降装置单元40使涂布器10下降，一边使涂布器10的下端与擦拭头51接触，一边使擦拭头51在涂布器10的长度方向上移动。当涂布器10的吐出口面21的周边通过擦拭头51的擦拭而被清扫之后，通过升降装置单元40使涂布器10上升，使擦拭单元50返回到从涂布器10的下部离开的涂布方向的原点位置。

接下来，吸附保持基板3的支持台32开始移动，由图未示的传感器对基板3的厚度进行计测。之后，将基板3的涂布开始位置移动到涂布器10的吐出口面21的正下方，然后支持台32停止。接着，使用由图未示的传感器计测的基板3的厚度，利用升降装置单元40使涂布器10下降，以使得作为从涂布器10的吐出口面21到基板3的表面的距离的间隙成为设定的值。

如果涂布器10的下降已经结束，则驱动涂布液供给装置60，用活塞68将在注射器67的内部所填充的涂布液2略微挤出。由此，能够在涂布器10的吐出口15和基板3之间形成涂布液2的悬垂液97。在形成悬垂液97之后一定时间后，利用直线电动机33使吸附保持着基板3的支持台32以一定速度移动，进而，如果从吐出口15向移动的基板3的表面继续吐出涂布液2，则就在基板3上形成涂布膜。

其后，如果基板3的涂布结束部到达涂布器10的吐出口15的位置，则使活塞68停止而停止涂布液2的供给，接着驱动升降装置单元40，使涂布器10上升。在该动作中，将在基板3和涂布器10之间所形成的悬垂液97完全被切断，涂布结束。其后，支持台32继续移动，在将基板3输出的位置停止。与此并行地，使涂布器10返回上下方向的原点位置。接着，解除向支持台32上的基板3的吸附，通过使图未示的提升销上升将基板3抬起。此时，图未示的卸载机保持基板3，将基板3输送给下一工序。接下来，使支持台32返回原点位置，注射泵64的活塞68下降，向注射器67的内部填充新的涂布液2。其后，使擦拭单元50移动到涂布器10的下部，待机直到移载下一基板3，此后重复相同的动作。

在此，在涂布动作中，由于(1)来自涂布液供给装置单元60的气体的侵入，(2)在涂布液2中所溶解的气体的发泡，(3)由吸引用开闭阀63或吐出用开闭阀65的开闭动作导致的气体的吸入，(4)来自涂布器10的吐出口15的气体的吸入等，有时气体侵入到涂布器10的内部。如果气体侵入到涂布器10内，则在涂布开始时的排出压力的上升方面会发生延迟，涂布开始部分的膜厚变薄，涂布方向的膜厚精度恶化，或者由于气体被从吐出口15吐出到基板3上而导致细孔或纵条纹这样的涂布缺陷。在此，如果使用上述的涂布生产中的气体排出方法，以事先设定的条件重复气体排出动作，则该气体100被完全排出，若在该状态下再次开始向基板3的涂布，则能够消除涂布开始部分的薄膜化或涂布缺陷的发生。

但是，也有利用该涂布生产中的气体排出方法不能消除涂布开始部分的薄膜化或涂布缺陷的发生的情况。这是在涂布器10的内部侵入有微小气体101的情况。此时，只要进行上述的涂布生产中的微小气体排出方法，就能够将涂布器10内部的微小气体101排出，从而能够完全消除涂布开始部分的薄膜化或涂布缺陷的发生。另外，这些气体排出作业，既可以在膜厚变得不稳定或涂布缺陷发生之后开始实施，也可以每进行一定枚数的向基板3的涂布作业而加以实施，进而也可以在因为某个理由而暂时中断涂布作业之后在重新开始涂布作业之前实施。

在此，就适用于本发明的涂布液2的粘度而言，优选1～1000mPa·s，更优选1～50mPa·s。涂布液2，从涂布性出发优选牛顿流体(Newtonian)，但是也可以具有触变性。本发明尤其在涂布使用了作为溶剂挥发性较高的物质例如丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)、醋酸丁酯、乳酸乙酯等的涂布液时有效。作为具体能够适用的涂布液2的例子，有滤色片用RGB抗蚀剂液、黑色矩阵用抗蚀剂液、光衬垫用抗蚀剂液、阵列基板用阳性抗蚀剂液、超涂层材料等。另外，作为基板3即被涂布部件，除了玻璃以外还可以使用铝等金属板、陶瓷板、硅晶片等。进而，在每一定涂布枚数进行涂布生产中的气体排出作业时，优选每5～100枚，更优选每15～50枚而进行。关于涂布作业中的微小气体排出作业，在每一定涂布枚数而进行时，优选每50～5000枚，更优选每100～1000枚而进行。另外，在微小气体排出作业中，向涂布器10的内部供给的气体量和供给时间，为了可靠地消除存留在岐管13内的微小气体101，只要至少能够在岐管13的上部由供给气体102形成空间，则无论适用什么样的供给量和供给时间都可以。

实施例

以下，展示实施例，对本发明作更加具体的说明。

直接沿用图1、图4所示的模具式涂布机制造滤色片。在此，作为涂布器，使用吐出口的间隙为100μm、长度方向的长度为1300mm、涂布宽度为1100mm、“中央部分型面长度Ha＝40mm”＞“端部分型面长度Hb＝38mm”、将直径4mm的气体排出口设置在供给口以及岐管的两端部的合计三个部位上，岐管的上缘和吐出口面平行，Sa(供给口部岐管剖面面积)＝34mm²、Sb(两端部的气体排出口部岐管剖面面积)＝8.5mm²、Sb(气体排出口部岐管剖面面积)/Sa(供给口部岐管剖面面积)＝1/4的涂布器。另外，对于与涂布器连接的各气体排出路径，使用内径4mm的特富龙(注册商标)制的管子，在水平方向上与涂布器的各气体排出口连接，同时比接续部靠下游的各气体排出路径的水平部分被设置为通过比各气体排出口的中心低20mm的位置。进而，以各气体排出路径的出口比涂布器的吐出口低450mm的方式配置各气体排出路径，将各气体排出路径的出口浸入在向大气开放的废液罐内所贮存的废液中。在此，废液罐内的废液的液面和涂布器的吐出口的高低差H，以废液的液面比涂布器的吐出口低400mm的方式，对废液罐进行配置。另外，将排出用开闭阀设置在从各气体排出口离开50mm的位置。对于具有气体供给用开闭阀的气体供给路径，使用内径6mm的特富龙(注册商标)配管，连接在与供给口相连的气体排出路径的出口和排出用开闭阀之间，将气体供给路径的入口向大气开放，并设置在比涂布器的吐出口高的位置。另外，作为涂布液，准备黑色矩阵、R色、G色、B色的各涂布液。黑色矩阵用涂布液，分别将炭黑作为遮光材料、将丙烯酸树脂作为粘合剂、将丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)作为溶剂使用，将固形成分浓度调整为10％、将粘度调整为5mPa·s。同样，R色用涂布液，是将丙烯酸树脂作为粘合剂、将PGMEA作为溶剂、将颜料红177作为颜料使用，将固形成分浓度调整为15％、将粘度调整为5mPa·s的涂布液。G色用涂布液，是在R色用涂布液中将颜料替换为颜料绿36、将固形成为浓度调整为15％、将粘度调整为5mPa·s的涂布液。B色用涂布液，是在R色用涂布液中将颜料替换为颜料蓝15、将固形成为浓度调整为15％、将粘度调整为5mPa·s的涂布液。这些涂布液中的任意一种都具有感光特性。

首先，为了涂布黑色矩阵用涂布液，在涂布液罐中装满涂布液，进行向涂布器内部的涂布液填充作业。在此，为了进行用于涂布液填充作业的涂布生产前的气体排出作业，注射泵的供给条件是供给速度为5000μl/sec，供给量为40000μl，供给时间为8sec。以该供给条件，使在从泵的供给开始1秒后将排出用开闭阀全部设为“开”状态，在7秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业重复3次，将涂布器内部的气体完全地排出。另外，在该气体排出作业中，气体供给用开闭阀保持常闭的状态。

在以上的涂布液填充作业之后，在1100×1300mm、厚度0.7mm的无碱玻璃的基板上，以作为涂布器和基板之间的距离的间隙为100μm、涂布速度为3m/分的条件涂布厚度10μm的涂布膜。在此，对300枚的基板进行涂布。在涂布动作中，为了防止由来自供给系统的气体的侵入、在涂布液中溶解的气体的气泡、来自涂布器的吐出口的气体的吸入等所导致的由气体引起的膜厚精度的恶化或涂布缺陷的发生，作为涂布生产中的气体排出作业，以供给速度5000μl/sec、供给量40000μl、供给时间8sec的条件，使从供给开始1秒后将排出用开闭阀全部设为“开”状态，在7秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业循环每涂布20枚基板进行1次。在该气体排出作业循环实施中，气体供给用开闭阀也保持常闭的状态。另外，为了在上述气体排出作业中将难以排出的微小气体排出，每涂布100枚就暂时停止涂布生产，作为微小气体排出作业，在将气体供给用开闭阀以及排出用开闭阀在30秒期间全部设为“开”，在向涂布器内部供给气体将微小气体消除后，进行涂布生产前的气体排出作业。

将所涂布的基板在被加热到100℃的加热板上干燥10分钟，然后进行曝光·显像·剥离后，在260度的加热板上进行30分钟固化(cure)，得到厚度为1μm的黑色矩阵图案。

接下来，除了将厚度设为13μm的涂布膜以外，以与黑色矩阵用涂布液完全相同的条件，将R色用涂布液连续涂布在形成了黑色矩阵的100枚的基板上。涂布的基板，在被加热到90℃的加热板上干燥10分钟后，进行曝光·显像·剥离后，只在R像素部残留厚度为2μm的R色涂布膜，在260度的加热板上进行30分钟固化。

接下来，除了将厚度设为20μm的涂布膜以外，以与R色用涂布液全部相同的条件，将G色用涂布液连续涂布在形成了黑色矩阵、R像素部的100枚的基板上。涂布的基板，在被加热到100℃的加热板上干燥10分钟后，进行曝光·显像·剥离后，只在G像素部残留厚度为2μm的R色涂布膜，在260度的加热板上进行30分钟固化。

进而，以与G色涂布液全部相同的条件，将B色用涂布液连续涂布在形成有黑色矩阵、R像素部、G像素部的100枚基板上。涂布的基板，也以与G色用涂布液全部相同的条件，进行干燥、曝光、显像、剥离、固化，仅在B像素部残留了厚度2μm的B色涂布膜。另外，在各色涂布液的涂布中，在以干燥后的图案形成前的状态对膜厚进行了测定后，对于所有的涂布基板，除去端部的10mm，涂布方向、涂布宽度方向上都是目标的±3％以下的膜厚精度。同时还进行了涂布不均的检查，但对于所有的涂布基板，涂布品质都非常良好。由于涂布器内部的气体从吐出口被吐出到被涂布部件上而所发生的细孔或纵条纹这样的由气体引起的涂布缺陷完全都没有了。

接着最后用溅射法附着ITO，作成300枚的滤色片。所得到的滤色片，除了全部满足膜厚精度以外，还没有涂布缺陷，在品质上没有不足之处。另外，因为能够迅速地进行涂布生产前或涂布生产中的气体排出作业，所以生产效率也非常高。

比较例1

除了各气体排出路径的出口被配置为比涂布器的吐出口高50mm，对废液罐进行配置，使得各气体排出路径的出口所浸入的废液罐中所贮存的废液的液面位于比涂布器的吐出口高200mm的位置，除此以外，以与实施例1同样的条件，进行滤色片的制作。其结果是，在涂布液填充作业中以及涂布生产中的气体排出作业的任意一个中，从各气体排出口排出的涂布液的流量降低，涂布器内部的气体不能从各气体排出口短时间地排出。这是因为，由废液罐内所贮存的废液的液面和涂布器的吐出口面之间的高低差所产生的液压成为阻力的缘故。其结果是，除了气体排出作业时间增加、生产效率显著降低以外，在涂布器内部残存有气体。由于涂布方向的膜厚精度的恶化和涂布缺陷等，300枚中出现60枚不良品，不能得到良好品质的滤色片。

另外，为了探求在300枚的涂布结束后，涂布器内部的气体不残存的条件，对能够将气体完全排出的供给条件进行了研究。其结果得知，以供给速度5000μl/sec、供给量100000μl、供给时间20sec的条件，在从供给开始1秒后将与供给口部以及两端部连接的排出用开闭阀全部设为“开”状态，在19秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业循环，在涂布液填充作业时必需进行4次，在涂布生产中必需进行2次。因此可知，与实施例1相比，气体排出所需要的时间以及供给量都增加，气体排出效率降低。这是由于在向大气开放的废液罐中贮存的废液的液面被配置在比涂布器的吐出口高200mm的位置的缘故。

比较例2

除了各气体排出路径以通过比各气体排出口的中心高100mm的位置的方式配置以外，以与实施例1相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，在涂布液填充作业中以及涂布生产中的气体排出作业的任意一个中，从各气体排出口排出的涂布液的流量降低，涂布器内部的气体不能从各气体排出口短时间地排出。这是因为由各气体排出路径和气体排出口的高低差所产生的液压成为阻力的缘故。因此，除了气体排出作业时间增加、生产效率显著降低以外，在涂布器内部残存有气体。这样，由于涂布方向的膜厚精度的恶化和涂布缺陷等，300枚中发生28枚不良品，不能得到良好品质的滤色片。

另外，为了探求在300枚的涂布结束后，涂布器内部的气体不残存的条件，对能够将气体完全排出的供给条件进行了研究。其结果是得知，以供给速度5000μl/sec、供给量70000μl、供给时间14sec的条件，在从供给开始1秒后将与供给口部及两端部连接的排出用开闭阀全部设为“开”状态，在13秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业循环，在涂布液填充作业时必需进行3回，在涂布生产中必需进行2回。因此可知，与实施例1相比，气体排出所需要的时间以及供给量都增加、气体排出效率降低。这是因为气体排出路径通过比气体排出口高100mm的位置的缘故。

比较例3

除了不设置气体供给路径以及气体供给用开闭阀、不进行每隔100枚的微小气体的排出作业以外，以与实施例1全部相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，膜厚精度在涂布方向、涂布宽度方向都在目标的±3％以下。但是，因为涂布器内部的微小气体不能充分地排出，所以发生涂布缺陷，在300枚中有8枚成为不良品，不能得到良好品质的滤色片。另外，为了探求在300枚的涂布结束后，用于将涂布器内部的微小气体排出的条件，对能够将微小气体完全排出的供给条件进行了研究，得知不论以怎么的条件都不能将微小气体排出。

比较例4

除了Sa(供给口部岐管剖面面积)＝34mm²、Sb(气体排出口部岐管剖面面积)＝51mm²、Sb(气体排出口部岐管剖面面积)/Sa(供给口部岐管剖面面积)＝3/2以外，以与实施例1相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，在涂布生产前以及涂布生产中的气体排出作业的任意一个中，在岐管内朝向两端部的气体排出口的涂布液的流速降低，涂布器内部的气体不能从两端部的气体排出口短时间地排出。因此，在涂布器内部残存有气体，由于涂布方向的膜厚精度的恶化和涂布缺陷等，300枚中发生72枚的不良品，不能得到良好品质的滤色片。

另外，为了探求在300枚的涂布结束后，涂布器内部的气体不残存的条件，对能够将气体完全排出的供给条件进行了研究。其结果是得知，以供给速度5000μl/sec、供给量70000μl、供给时间14sec的条件，在从供给开始1秒后将与供给口部以及两端部连接的排出用开闭阀全部设为“开”状态，在13秒后全部设为“闭”状态这样的气体排出作业循环，在涂布生产前必需进行3回，在涂布生产中必需进行2回。因此可知，只是Sb(气体排出口部岐管剖面面积)/Sa(供给口部岐管剖面面积)＝3/2，则与实施例1相比，气体排出所需要的时间以及供给量就都增加，气体排出效率降低。

比较例5

除了岐管上缘以吐出口面为基准从供给口向两端部的气体排出口向下倾斜2度以外，以与实施例1相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，在涂布生产前以及涂布生产中的气体排出作业的任意一个中，因为向两端部的气体排出口移动的气体的运动受岐管上缘妨碍，所以涂布器内部的气体不能被从两端部的气体排出口短时间地排出。因此，在涂布器内部残存有气体，由于涂布方向的膜厚精度的恶化和涂布缺陷等，300枚中发生60枚的不良品，不能得到良好品质的滤色片。

另外，为了探求在300枚的涂布结束后，涂布器内部的气体不残存的条件，对能够将气体完全排出的供给条件进行了研究。其结果是得知，以供给速度5000μl/sec、供给量70000μl、供给时间14sec的条件，在从供给开始1秒后将与供给口部以及两端部连接的排出用开闭阀全部设为“开”状态，在13秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业循环，在涂布生产前必需进行3回，在涂布生产中必需进行2回。因此可知，如果只是岐管上缘以吐出口面为基准从供给口向两端部的气体排出口向下倾斜2度，则与实施例1相比，气体排出所需要的时间以及供给量就都增加，气体排出效率降低。

比较例6

除了岐管上缘以吐出口面为基准从供给口向两端部的气体排出口向下倾斜2度和Sb(气体排出口部岐管剖面面积)/Sa(供给口部岐管剖面面积)＝3/2以外，以与实施例1相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，在涂布生产前以及涂布生产中的气体排出作业的任意一个中，因为向两端部的气体排出口的涂布液的流速降低，加之向两端部的气体排出口移动的气体的运动受岐管上缘妨碍，所以涂布器内部的气体不能被从两端部的气体排出口短时间地排出。因此，在涂布器内部残存有气体，由于涂布方向的膜厚精度的恶化和涂布缺陷等，300枚中发生122枚的不良品，不能得到良好品质的滤色片。

另外，为了探求在300枚的涂布结束后，涂布器内部的气体不残存的条件，对能够将气体完全排出的供给条件进行了研究。其结果是得知，以供给速度5000μl/sec、供给量、100000μl、供给时间20sec的条件，在从供给开始1秒后将与供给口部以及两端部连接的排出用开闭阀全部设为“开”状态，在19秒后全部设为“闭”状态的气体排出作业循环，在涂布生产前必需进行4回，在涂布生产中必需进行3回。因此可知，即便岐管上缘以吐出口面为基准从供给口向两端部的气体排出口向下倾斜2度，气体排出口部岐管剖面面积Sb/供给口部岐管剖面面积Sa＝3/2，则与实施例1相比，气体排出所需要的时间以及供给量都增加，气体排出效率降低。

比较例7

除了“中央部分型面长度Ha＝40mm”＝“端部分型面长度Hb＝40mm”以外，以与实施例1相同的条件，进行滤色片的作成。其结果是，因为在涂布生产前以及涂布生产中的气体排出作业没有问题，所以也没有涂布缺陷。但是，由于“中央部分型面长度Ha＝端部分型面长度Hb”，在槽缝两端部的压损增加，从两端部的排出量减少。其结果是，涂布宽度方向的膜厚精度超过目标的±3％，则全部成为不良品，不能得到良好品质的滤色片。

根据本发明，因为能够以少量的供给量以及短时间将侵入到涂布器内部的任意形态的气体排出，所以能够实现生产节拍时间短、生产率高、而且高品质的涂布膜的形成。

根据本发明，提供能够改善模具式涂布机的气体排出能力、没有损伤模具式涂布机的优点、以高的膜厚精度形成没有涂布缺陷的涂布膜的涂布方法以及涂布装置以及显示器用部件的制造方法以及制造装置。

本发明适用于在被涂布部件上形成涂膜的领域中，尤其是优选用于彩色液晶显示器用滤色片以及阵列基板、等离子体显示器用面板、光学滤色片等的制造领域。

Claims (7)

1.一种涂布方法，该涂布方法，利用具有用于使涂布液在涂布宽度方向上扩展开的岐管、将涂布液吐出的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器，一边从涂布器的吐出口吐出涂布液，一边使被涂布部件和涂布器相对地移动而将涂布液涂布到被涂布部件的表面上，其特征在于：向填充有涂布液的岐管供给气体，接着向岐管供给涂布液，将气体和涂布液的一部分从气体排出口排出，其后，在被涂布部件的表面上涂布涂布液。

2.一种显示器用部件的制造方法，其特征在于：使用了权利要求1所记载的涂布方法。

3.一种涂布装置，该涂布装置具备：具有向涂布器供给涂布液的液体供给路径的液体供给装置；具有用于使涂布液在涂布宽度方向上扩展开的岐管、将涂布液吐出的吐出口和将气体与涂布液一起排出的气体排出口的涂布器；与气体排出口连接且在途中具有开闭阀而成的气体排出路径；保持被涂布部件的保持装置；以及使涂布器和保持装置相对地移动的移动装置；其特征在于：至少在涂布器、液体供给路径或者气体排出路径中的任意一个上连接着向涂布器供给气体的气体供给路径。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于：气体供给路径的入口向大气开放。

5.根据权利要求3或4所述的涂布装置，其特征在于：涂布器具有从液体供给路径向涂布器供给涂布液的供给口，岐管的涂布宽度方向上的剖面面积，从供给口向气体排出口减少，而且，岐管的上缘与包括吐出口的吐出口面平行，或者以吐出口面为基准从供给口向气体排出口向上倾斜。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于：涂布器的槽缝的分型面长度从涂布宽度方向的中央部向两端部减少。

7.一种显示器用部件的制造装置，其特征在于：利用权利要求3至6中任意一项所记载的涂布装置来制造显示器用部件。

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