CN106413915B - 涂布方法 - Google Patents

Abstract

提供一种涂布装置(1)以及涂布方法，并且提供制造显示器用部件的方法，其中，该涂布装置(1)以及涂布方法除了在涂布开始区域进行来自喷嘴(5)的涂布液(2)的定流量排出之外，还能够瞬时对液滴形成所需要的量的涂布液(2)进行剩余排出。具体来说，具有排出涂布液(2)的喷嘴(5)、使喷嘴(5)与被涂布部件(W)相对地移动的移动单元(8)、向喷嘴(5)提供涂布液(2)的提供单元(10)、以及进行喷嘴(5)内的涂布液(2)的抽吸的减压单元(40)，上述提供单元(10)具有：第1提供单元(61)，其包含以恒定的流量向喷嘴(5)送出涂布液(2)的送液器(12)；以及第2提供单元(62)，其具有储罐(13)以及加压单元(14)，该储罐(13)储存涂布液(2)并且经由流路(11)与喷嘴(5)连接，该加压单元(14)对储罐(13)的涂布液(2)进行加压并向喷嘴(5)送出涂布液(2)。

Description

涂布方法

技术领域

本发明涉及用于在被涂布部件的表面形成涂膜的涂布方法。

背景技术

彩色液晶用显示器由滤色镜、TFT用阵列基板等构成。在这些滤色镜或TFT用阵列基板的制造中，包含对作为被涂布部件的基板涂布涂布液(液体材料)并使之干燥而形成涂膜的工序。例如，要制造滤色镜，而在玻璃基板的整个面上涂布黑色的光阻剂材料并使之干燥而形成黑色涂膜。并且，利用光刻技术将该黑色涂膜形成格子状后，利用同样的方法在格子间依次形成红色、蓝色、绿色光阻剂材料的涂膜。

作为用于在被涂布部件上形成这样的涂膜的涂布装置而使用狭缝涂布机。狭缝涂布机具有喷嘴，该喷嘴具有缝状的细长的排出口，该狭缝涂布机使喷嘴的排出口与被涂布部件之间设置恒定间隙并接近后，一边使喷嘴与被涂布部件相对地向一个方向以恒定速度移动，一边从喷嘴的排出口对被涂布部件排出涂布液。由此，能够在被涂布部件上形成恒定膜厚的涂膜。

在此，要制造高品质的产品(例如高品质的滤色镜)，需要在从涂布开始到涂布结束的整个区域内使膜厚均匀。为此，需要使从喷嘴对以恒定速度移动的被涂布部件排出的涂布液的流量(每单位时间的液容量)恒定，为了实现这个目标，而使用能够使涂布液的向喷嘴的送出流量高精度地成为恒定的活塞泵(也称为注射器泵)(例如参照专利文献1)。

但是，即使使用活塞泵而使涂布液的向喷嘴的送出流量成为恒定并且从喷嘴向以恒定速度移动的被涂布部件“定流量排出”涂布液，在涂布开始和结束的一点点区域(从涂布开始/结束点开始的几毫米的范围区域)中的膜厚也成为与涂布中间区域的膜厚达到容许值以上差异的所谓的不良膜厚。这是因为在涂布被涂布部件的涂布中间区域的过程中，相对于作为涂布液的液体储存的液滴始终存在于喷嘴的排出口与被涂布部件间的间隙且利用恒定大小的液滴维持稳定的膜厚下的涂布来说，

(1)在涂布开始区域，因为一边由从喷嘴排出的涂布液形成液滴一边进行涂布，因此到液滴形成完成为止用于涂布的流量不足而成为不良膜厚、

(2)在涂布结束区域，即使停止从喷嘴排出涂布液，直到逐渐缩小的液滴被完全破坏为止都进行涂布，因而成为不良膜厚。

尤其在涂布开始区域，要缩小作为不良膜厚的区域，除了来自喷嘴的涂布液的所述“定流量排出”之外，还进行了使形成液滴所需要量的涂布液额外排出的“剩余排出”的尝试(例如参照专利文献2)。

在专利文献2中，要实现被命名为“正脉冲”的该剩余排出，而在喷嘴内设置有变位活塞，通过一边用泵向喷嘴送入恒定流量的涂布液一边使该变位活塞迅速动作恒定距离，从而挤压恒定量的喷嘴内的涂布液。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-334355号公报

专利文献2：日本特开平4-61958号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在变位活塞的情况下，即使变位活塞将开始信号作为触发而开始动作，动作的立起或用于停止的下降也变慢，成为需要时间的剩余排出。因此，要使不良膜厚区域比容许值小，不得不减小被涂布部件的移动速度即涂布速度，而无法以高速进行涂布来提高生产率。即在公知的单元中，因为无法实现在涂布开始区域的瞬时的剩余排出，因此无法提高涂布速度来缩短生产节拍时间而提高生产率，并且无法缩小不良膜厚区域而以均匀膜厚扩大高品质产品区域。

因此，本发明为了以高速且较高的生产率获得缩小不良膜厚区域并以均匀膜厚扩大高品质的产品区域的涂布，而提供除了在涂布开始区域以定流量排出来自喷嘴的涂布液之外，还能够瞬时剩余排出液滴形成中所需要的量的涂布液的涂布装置和涂布方法，并且提供使用了该涂布方法的显示器用部件的制造方法。

用于解决课题的手段

(1)本发明的涂布装置具有对被涂布部件排出涂布液的喷嘴、使所述喷嘴与所述被涂布部件相对地移动的移动单元、向所述喷嘴提供涂布液的提供单元、以及用于进行所述喷嘴内的所述涂布液的抽吸的减压单元，其特征在于，所述提供单元具有：第1提供单元，其包含以恒定的流量向所述喷嘴送出涂布液的送液器；以及第2提供单元，其具有储罐以及加压单元，该储罐储存涂布液并且经由流路与所述喷嘴连接；该加压单元用于对所述储罐的涂布液进行加压而向所述喷嘴送出该涂布液。

根据本发明，提供单元当开始涂布时，除了为了恒定膜厚的涂布膜形成用而通过送液器向喷嘴以恒定流量送出涂布液之外，还能够利用加压单元对储罐的涂布液进行加压并额外以高速进行送出，因此与以往的变位活塞的情况进行比较能够以相当短的时间即瞬时地从喷嘴对涂布液进行剩余排出。

另外，因为一边通过所述移动单元使喷嘴与被涂布部件相对地向一个方向移动一边进行涂布，因此当涂布结束时仅停止向喷嘴送出涂布液，会在喷嘴的排出口与被涂布部件之间残存作为液滴的涂布液，不会减小在涂布结束区域中的不良膜厚区域。但是，根据本发明，因为减压单元能够结合涂布结束而瞬时地进行喷嘴内的涂布液的抽吸，因此当涂布结束时，向喷嘴内抽吸残存于喷嘴的排出口与被涂布部件之间的液滴(涂布液)并能够瞬时地进行破坏。因此，能够减小在涂布结束区域中的不良膜厚区域。

(2)另外，能够成为所述储罐连接于所述第1提供单元所具有的从所述喷嘴与所述送液器之间的流路的结构，在这种情况下，与第1提供单元所具有的喷嘴连接的流路的一部分兼用作为第2提供单元所具有的从储罐到喷嘴的流路。

(3)或者，也能够成为所述送液器连接于从所述喷嘴延伸的第1流路，所述储罐连接于不同于从所述喷嘴延伸的所述第1流路的独立的第2流路的结构。在这种情况下，当涂布开始时，因为能够用完全独立的不同的流路相互无干扰地进行用于使用了第1提供单元的定流量排出的涂布液的向喷嘴的提供和用于使用了第2提供单元的剩余排出的涂布液的向喷嘴的提供，因此提高响应性，能够容易实现在更短的时间内的涂布液的剩余排出。

(4)或者，能够成为以下的结构：所述储罐借助接头连接于所述第1提供单元所具有的所述喷嘴与所述送液器之间的流路上，该接头在内部具有：第1接头流路，其连接于所述第1提供单元所具有的流路；以及第2接头流路，其从与该第1接头流路连接的连接点起，相对于该第1接头流路呈5～75度的角度，并朝向所述第1提供单元所具有的流路的所述送液器侧延伸而连接于所述第2提供单元，而且，在从所述接头起朝向所述第1提供单元所具有的流路的所述喷嘴侧以流路长度计为50mm以下的位置处配置有进行从所述送液器和储罐这两方，向喷嘴的涂布液提供和停止的阀。

据此，当开始涂布时，因为能够在极短时间从送液器与储罐的双方额外地以高速送出涂布液，因此能够以极短的时间从喷嘴呈脉冲状对涂布液进行剩余排出。因此，能够进一步缩小在涂布开始区域中的不良膜厚区域。

(5)另外，优选所述第2提供单元还具有提供停止用阀，该提供停止用阀设置于所述储罐与所述喷嘴之间的流路上，用于进行该储罐内的涂布液向该喷嘴的送出的开始和停止。在这种情况下，当打开提供停止用阀时，瞬时地向喷嘴送入涂布液，能够进行瞬时的剩余排出。

(6)另外，优选在所述(5)中，所述第2提供单元还具有抽吸单元，该抽吸单元设置于所述提供停止用阀与所述喷嘴之间的流路上，对该流路的涂布液进行抽吸。在这种情况下，在向储罐内的涂布液以更高的压力加压的状态下打开提供停止用阀，并以更短的时间通过抽吸单元抽吸涂布液而能够除去在向喷嘴送出涂布液但过量送出了所需要量以上的过量部分，作为结果能够进行在更短的时间内的来自喷嘴的剩余排出。并且，从剩余排出之后维持其状态的情况下，持续所述第1提供单元的送液器向喷嘴以恒定流量送出涂布液的动作。

(7)另外，本发明是一种使用所述(1)～(6)中任意一项所述的涂布装置，对被涂布部件涂布涂布液的方法，其特征在于，该涂布方法包括：涂布开始工序，与所述第1提供单元开始以恒定的流量向所述喷嘴提供涂布液相应地，由所述第2提供单元开始向所述喷嘴提供涂布液，并在规定时间后停止由该第2提供单元进行的向该喷嘴的涂布液的提供，并开始涂布；涂布中间工序，持续由所述第1提供单元以恒定的流量进行的涂布液的提供；以及涂布结束工序，停止由所述第1提供单元进行的涂布液的提供，并且开始由所述减压单元进行的所述喷嘴内的涂布液的抽吸，并在规定时间后停止该抽吸而结束对所述被涂布部件的涂布。

根据本发明，能够实现与所述(1)的涂布装置相同的作用效果，在涂布开始工序中，能够瞬时地从喷嘴进行剩余排出并形成液滴，另外，在涂布结束工序中，能够瞬时地破坏液滴并结束涂布。

(8)另外，优选在所述涂布开始工序中，停止由所述第2提供单元进行的涂布液的提供，并且进行由所述减压单元进行的喷嘴内的涂布液的抽吸。由此，能够实现与所述(6)的涂布装置相同的作用效果，能够在更短的时间内使涂布液从喷嘴剩余排出。

(9)另外，优选所述涂布开始工序中，停止由所述第2提供单元进行的涂布液的提供，并且进行与所述储罐连接的流路内的涂布液的抽吸。由此，能够实现与所述(8)的涂布方法相同的作用效果，能够在更短的时间内使涂布液从喷嘴剩余排出。

另外，本发明的显示器用部件的制造方法使用所述(7)～(9)所述的涂布方法，利用所述被涂布部件制造显示器用部件。

根据本发明所使用的所述涂布方法，如上述所述，在涂布开始工序中，能够瞬时从喷嘴进行剩余排出并形成液滴，另外，在涂布结束工序中，即使是高速涂布时也能够缩小部件的涂布开始区域与涂布结束区域中的不良膜厚区域，能够以较高的生产率并且低成本制造品质较高的显示器用部件。

发明效果

根据本发明的涂布装置和涂布方法，除了在被涂布部件的涂布开始区域中进行来自喷嘴的涂布液的定流量排出之外，还能够瞬时地对用于液滴形成所需要量的涂布液进行剩余排出，并且即使在涂布结束区域中也向喷嘴内抽吸涂布液而能够瞬时地破坏液滴。因此，使被涂布部件的涂布开始区域与涂布结束区域中的不良膜厚区域非常小、并且扩大均匀膜厚且高品质的产品区域，不仅提高涂布速度并缩短生产节拍时间提高生产率，还能够容易实现。

根据本发明的制造方法，因为使用上述的优良的涂布方法制造显示器用部件，因此能够以较高的生产率和低成本制造品质较高的显示器用部件。

附图说明

图1是说明本发明的涂布装置的概要结构的示意图。

图2是示出图1所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图3是示出图1所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图4是示出图1所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图5是示出图1所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图6是示出涂布开始时的喷嘴的排出流量的时间变化的线形图。

图7是说明涂布装置(其它方式)的概要结构的示意图。

图8是说明涂布装置(另一个其它方式)的概要结构的示意图。

图9是说明本发明的其它涂布装置的概要结构的示意图。

图10是示出图9所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图11是示出图9所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图12是示出图9所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图13是示出图9所示的涂布装置的涂布动作的流程图。

图14是说明涂布装置的结构的说明图，(a)是从正面观察的图，(b)是从侧面观察的图。

图15是说明本发明的另一个其它涂布装置的概要结构的示意图。

图16是放大了涂布装置的一部分的示意图。

图17是示出涂布装置的涂布开始动作的说明图。

具体实施方式

以下基于附图来说明本发明的实施方式。

图1是说明本发明的涂布装置1的概要结构的示意图。该涂布装置1是在作为被涂布部件的基板W的表面涂布涂布液2的装置，在基板W上形成有该涂布液2的涂膜M1和涂膜M2。涂布装置1具有对基板W排出涂布液2的喷嘴5、向该喷嘴5提供涂布液2的提供单元10、使喷嘴5与基板W中的一方或者双方在水平方向上移动的移动单元8以及抽吸喷嘴5内的涂布液2的减压单元40。而且，涂布装置1具有由计算机组成的控制装置4，控制装置4进行涂布装置1所具有的各机构(移动单元8、包含各阀的提供单元10、包含各阀的减压单元40)的动作控制。

图14是说明该涂布装置1的结构的说明图，(a)是从正面观察的图，(b)是从侧面观察的图。在图14的(a)中，喷嘴5在其内部具有向垂直于纸面的长度方向(Y方向)延伸的岐管6、以及与该岐管6连接的排出流路7。岐管6是用于留存从提供单元10提供的涂布液2而在长度方向均等分配并向排出流路7输送的扩大空间，排出流路7是用于对基板W排出涂布液2的流路。排出流路7的岐管6侧的相反侧的端部为涂布液2的排出口7a，从该排出口7a排出涂布液2。排出流路7既可以是细长的缝状流路，也可以是由多个孔构成的流路，在是缝状的情况下，形成有面状的涂膜M，在是多个孔的情况下，形成有条纹状的涂膜M。

在本实施方式中，作为移动单元8具有利用抽吸等固定基板W的载置台3、用于使载置台3移动的直线电机8a以及向X方向引导载置台3的导件8b。利用该移动单元8，能够使载置基板W的载置台3相对于喷嘴5向一个方向(X方向)移动。此外，也可以成为固定载置台3并且喷嘴5侧相对于载置台3向水平方向移动的结构。

另外，喷嘴5能够利用升降机构9向上下方向(图14(a)的Z方向)移动，由此，能够调整作为喷嘴5的排出口7a与基板W之间的间隙的间隙量G。此外，升降机构9具有被所述控制装置4(参照图1)控制动作的电动机9a、利用该电动机9a进行旋转的丝杠轴9b、以及与该丝杠轴9b螺合的螺母单元9c。在螺母单元9c上固定有喷嘴5，利用丝杠轴9b的正反旋转，螺母单元9c沿丝杠轴9b升降，并使喷嘴5向上下移动。并且，当利用升降机构9使喷嘴5的排出口7a接近基板W并产生间隙量G的间隙，一边使载置了基板W的载置台3向一个方向(X方向)以恒定速度V移动，一边从喷嘴5的排出口7a以恒定流量Q排出涂布液2时，首先在喷嘴5的排出口7a与基板W之间形成有液滴B，接着随着基板W的移动而进行以液滴B为起点的涂布液2的涂布，并能够形成膜厚T的涂膜M。此外，在此所谓的流量是单位时间中流动的涂布液的容量。今后当设定涂布宽度(Y方向的长度)为CW时，膜厚T是通过T＝Q/(V×CW)计算的。另外，在本实施方式中，在使1张基板W与喷嘴5相对地向一个方向移动的过程中，通过间歇地进行涂布液2从喷嘴5的排出口7a的排出，从而能够进行间隙涂布。由此，如图1所示那样，在基板W上沿移动方向形成有多个独立的涂膜M1和涂膜M2。

此外，当进行这样的涂布动作时，载置台3向一个方向移动，当结束所有的涂布动作时，载置台3向相反方向移动并返回到初始状态。

在图1中，提供单元10具有第1提供单元61以及第2提供单元62。第1提供单元61包含与喷嘴5(岐管6)连接的流路11以及通过该流路11并向喷嘴5(岐管6)送出涂布液2的作为送液器的泵12。第2提供单元62包含作为储存涂布液2的储罐的中间储罐13以及加压单元14。

流路11主要由树脂制的配管(树脂制的管)构成，在该流路11上包含用于连接各设备的接头。此外，构成流路11的配管也可以是树脂制以外的金属制等。

泵12是具有向喷嘴5以恒定的流量送出涂布液2的功能的定容量泵。本实施方式的泵12是与注射器相同结构的注射器泵。

构成第2提供单元62的中间储罐13在接头部分19a的位置连接于第1提供单元61所具有的从喷嘴5到泵12之间的流路11上。此外，中间储罐13经由中间阀15与所述流路11连接。

中间阀15包含于所述第2提供单元62中，并设置于中间储罐13与喷嘴5之间的流路上，该中间阀15与后述的下游侧阀17一起作为用于进行中间储罐13内的涂布液2向喷嘴5的送出的开始与停止的提供停止用阀发挥功能。

加压单元14由向中间储罐13提供压缩空气的加压器构成，该加压单元14能够利用该压缩空气提高中间储罐13的内压。加压单元14对中间储罐13内的涂布液2进行加压，并在中间阀15与下游侧阀17为打开的状态下，能够利用该加压将中间储罐13内的涂布液2向喷嘴5送出(加压输送)。当关闭中间阀15时，中间储罐13内的涂布液2的送出停止。另外加压单元14能够将加压的压力设定成任意。能够利用该压力的大小，规定向喷嘴5送出中间储罐13内的涂布液2的流量。当然，设定压力越高流量也越大，例如不管是将下游阀17从关闭到打开而送出涂布液2时还是达到恒定流量的上升都变快(上升时间短)。

另外，在该流路11中的比与中间储罐13的接头部分19a以及与泵12的接头部分19b靠向下游侧、即喷嘴5侧设置有下游侧阀17。通过打开该下游侧阀17，能够从泵12和中间储罐13的双方，向喷嘴5提供涂布液2，通过关闭能够停止涂布液2的提供。

本实施方式的提供单元10还具有储存涂布液2的上游侧储罐16，喷嘴5与上游侧储罐16利用所述流路11连接。在该流路11的上游侧储罐16侧设置有上游侧阀18和过滤器20。在上游侧储罐16中具有与中间储罐13相同的加压单元16a，该加压单元16a能够向泵12和中间储罐13进行涂布液2的补充。

并且，从喷嘴5的排出流路7到中间储罐13的流路长度构成为比从排出流路7到上游侧储罐16的流路长度短，而且构成为比从排出流路7到泵12的流路长度短。

根据具有所述泵12的提供单元10的第1提供单元61，通过用泵12向喷嘴5以恒定流量Q送出涂布液2，从而能够进行从喷嘴5(排出流路7)以恒定流量Q排出涂布液2的“定流量排出”。除此之外，通过第2提供单元62所具有的加压单元14对中间储罐13内的涂布液2进行加压，后面会进行说明，当开始排出来自喷嘴5的涂布液2时，除了能够进行泵12的所述“定流量排出”之外，还能够进行额外地排出涂布液2的“剩余排出”。

接着，本实施方式的减压单元40作为进行喷嘴5(岐管6)内部的涂布液2的抽吸动作的减压部而具有抽吸泵41、能够自由地调整减压力(抽吸力)的调整器46、对喷嘴5(岐管6)与抽吸泵41进行连接的减压流路42、以及多个(两个)第1减压用阀43和第2减压用阀44。第1减压用阀43和第2减压用阀44在同一减压流路42的途中以串联配置方式设置。通过上述控制装置4对这些第1减压用阀43和第2减压用阀44进行开闭控制，后面会详细说明，进行喷嘴5内的涂布液2的抽吸开始和抽吸停止的动作。另外调整器46例如由真空压设定器(真空调节器)或压力调整阀组成，并能够利用电信号自由设定减压力。通过变更减压力，能够调整喷嘴5内的涂布液的抽吸流量。此外，当然，较高设定减压力会提高喷嘴5内的涂布液2的抽吸流量。

关于使用具有以上结构的涂布装置1进行的涂布方法，参照图2～图5并且按照以下的(A1)～(A12)所示的工序按顺序进行说明。图2～图5是示出利用间隙涂布来在基板W上形成2个(2面)涂膜M即涂膜M1和涂膜M2时的涂布装置1进行的涂布动作(涂布方法)的流程图。此外，在这些图中的各阀的附近所记的“打开”“关闭”表示各阀的开闭状态。另外，当在泵12的右侧记载朝上的箭头时，表示泵12正在进行动作。

(A1)涂布准备工序(参照图2的(A))

进行开始涂布前的准备。在喷嘴5和构成提供单元10的所有的流路中填充有涂布液的状态下，关闭下游侧阀17之后，打开上游侧阀18，打开中间阀15，使加压单元16a进行动作，并利用压力挤压上游侧储罐16的涂布液2，经由过滤器20(参照图1)补充给泵12和中间储罐13。此外，因为泵12是注射器泵，因此使活塞向抽吸侧进行动作，并向注射器中填充能够在一张(2面)以上的基板W上进行涂布的量的涂布液2。另外，基板W载置于载置台3上，并在X方向上位于与喷嘴5分离的初始位置(X＝X0)。而且，关于减压单元40，从关闭第1减压用阀43、打开第2减压用阀44之后，使抽吸泵41进行动作，并利用调整器46设定涂布结束时的减压力PVE。

(A2)第1涂布开始准备工序(参照图2的(B))

进行用于涂膜M1的涂布准备。于在先工序中的涂布液2的补充完成的时刻，关闭上游侧阀18。接着利用加压单元14以规定的压力P对中间储罐13的涂布液2进行加压。并与其结合，使升降机构9进行动作，使喷嘴5下降以使得喷嘴5的排出口7a与基板W之间的间隙达到间隙量G。接着，在关闭下游侧阀17、打开中间阀15的状态下，使泵12进行驱动并上升，并以恒定流量Q从泵12向流路11送出涂布液2。所送出的涂布液2抵抗压力P并朝向中间储罐13。

(A3)第1涂布开始工序1(参照图2的(C))

开始涂膜M1的涂布。驱动载置台3，基板W以恒定速度V移动，当基板W的涂膜M1的涂布开始位置(X＝X1)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，打开下游侧阀17。由此，对基板W的涂布开始的区域(距离涂布开始位置几毫米的范围的区间)，从喷嘴5除了进行泵12的涂布液2的以流量Q的定流量排出之外，还通过加压单元14的利用压力P的加压来进行中间储罐13的涂布液2的剩余排出。其结果为，开始形成有液滴B，并且也开始涂布。此外，速度V为涂布速度。

(A4)第1涂布开始工序2(参照图3的(A))

从打开下游阀17并开始涂布之后在规定时间后关闭中间阀15，使来自喷嘴5的剩余排出停止。由此，液滴B完成形成并成为规定的大小，并且从喷嘴5进行流量Q的定流量排出，因此涂膜M1的膜厚达到膜厚T。因而，从此处开始形成规定膜厚T的涂膜M1。此外，在此，也可以关闭中间阀15并且打开减压单元40的第1减压用阀43，并在规定时间后关闭第2减压用阀44。由此，能够以比仅关闭中间阀15的时间短的时间使剩余排出停止。此外，在本工序中使用减压单元40的情况下，在(A1)涂布准备工序中用调整器46设定成涂布开始时的减压力PVS。并且，在本工序(A4)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1减压用阀43后，打开第2减压用阀44，接着，用调整器46设定成涂布结束时的减压力PVE。

(A5)第1涂布中间工序(参照图3的(B))

基板W以速度V继续移动，因为利用泵12从喷嘴5以流量Q定流量排出涂布液2，因此进行稳定的涂布，并形成有膜厚T的涂膜M1。

(A6)第1涂布结束工序(参照图3的(C))

当基板W的涂膜M1的涂布结束位置(X＝X2)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，关闭下游侧阀17，并且执行中间阀15的打开和减压单元40的第1减压阀43的打开。并且，在打开第1减压阀43之后规定时间后关闭第2减压阀44，并完成涂布结束时的抽吸。以上，结束(中断)涂布液2对基板W的定流量排出，并且利用减压单元40，液滴B经由排出口7a被抽吸到喷嘴5，因此液滴B被瞬时破坏并结束涂布，同时也完成涂膜M1的形成。另外，泵12与以上的动作无关地继续进行动作，并通过打开中间阀15而以流量Q继续向中间储罐13送出涂布液2。

(A7)第2涂布开始准备工序(参照图4的(A))

进行用于下个涂膜M2的涂布的准备。与基板W的以速度V的移动并行，关闭第1减压用阀43后，打开第2减压用阀44。泵12继续进行驱动。

(A8)第2涂布开始工序1(参照图4的(B))

开始涂膜M2的涂布。当继续以速度V移动的基板W的涂膜M2的涂布开始位置(X＝X3)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，打开下游侧阀17。由此，从喷嘴5除了进行泵12的流量Q的定流量排出之外，还利用加压单元14的压力P的加压进行中间储罐13的涂布液2的剩余排出，开始液滴B的形成并且也开始涂布。

(A9)第2涂布开始工序2(参照图4的(C))

从打开下游侧阀17并开始涂布之后，在规定时间后关闭中间阀15，并使来自喷嘴5的剩余排出停止。由此，液滴B完成形成并成为规定的大小，并且涂膜M2的膜厚达到膜厚T。

此外，在此，也可以关闭中间阀15并且打开减压单元40的第1减压用阀43，并在规定时间后关闭第2减压用阀44。由此，以更短的时间停止剩余排出。此外，在本工序中使用减压单元40的情况下，在(A7)第2涂布开始准备工序中用调整器46设定成涂布开始时的减压力PVS。并且，在本工序(A9)结束后，在关闭第1减压用阀43后，打开第2减压用阀44，接着，用调整器46设定成涂布结束时的减压力PVE。

(A10)第2涂布中间工序(参照图5的(A))

基板W以速度V继续移动，因为利用泵12从喷嘴5以流量Q定流量排出涂布液2，因此形成有膜厚T的涂膜M2。

(A11)第2涂布结束工序(参照图5的(B))

当基板W的涂膜M2的涂布结束位置(X＝X4)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，关闭下游侧阀17，并且执行中间阀15的打开和减压单元40的第1减压用阀43的打开。并且，在打开第1减压用阀43之后规定时间后关闭第2减压用阀44，也完成抽吸。以上，结束涂布液2向基板W的定流量排出，因为还利用减压单元40，液滴B经由排出口7a被抽吸到喷嘴5，因此液滴B瞬时被破坏并结束涂布，也完成涂膜M2的形成。之后，使泵12停止。

(A12)涂布完成后准备工序

涂布结束后，基板W还依然以速度V继续移动，当到达终点位置(X＝X5)时停止。并且，取出所涂布的基板W并搬出到下个工序(干燥工序)，并且使载置台3向相反方向移动并返回初始位置(X＝X0)。

以后从(A1)涂布准备工序开始重复向下个基板W的涂布。

在以上的涂布方法中，在涂布开始时((A3、A4)第1涂布开始工序1、2和(A8、A9)第2涂布开始工序1、2)，除了进行来自喷嘴5的泵12进行的涂布液2的定流量排出之外，还以加压单元14的加压进行中间储罐13的涂布液2的从喷嘴5的瞬时的剩余排出，因此能够瞬时形成液滴B，还能够转移到液滴B形成后即稳态涂布，因此能够缩小未成为膜厚T的不良膜厚区域。对此，使用图6更详细地进行说明。

图6是示出涂布开始时的喷嘴5的排出流量的时间变化的线形图。在图6的(A)中，虚线是没有剩余排出而仅进行泵12的定流量排出的情况，当在时间t＝0时打开下游侧阀17之后，来自喷嘴5的排出流量逐渐地上升到流量Q，因此到形成液滴B而开始形成膜厚T的涂膜M为止需要t＝t3。即，未成为膜厚T的不良膜厚区域是从涂布开始到t＝t3的范围，其大小(长度)通过表3的移动速度V×t3来计算。另一方面，实线是除了定流量排出之外还利用加压单元14的压力P的加压进行剩余排出的情况，在t＝0时打开下游侧阀17之后在t＝t1时关闭中间阀15，并在t＝t2时成为流量Q的定流量排出。在这种情况下，比流量Q多的斜线部分表示剩余排出，其面积(流量变化的时间积分)为剩余排出量。因为该剩余排出量用于形成液滴B，因此从t＝t2开始形成膜厚T的涂膜M。因而，未成为膜厚T的不良膜厚区域的大小为V×t2，与仅进行定流量排出的情况相比，能够缩小。

接着，图6的(B)是在使加压单元14的加压的压力成为比压力P大的压力P1的情况，当在t＝0时打开下游侧阀17时，从中间储罐13向喷嘴5提供的流量不仅变多，而且上升也变快。因此，在比t1小的t＝t4时关闭中间阀15，但即使比中间阀15靠向上游的涂布液能够停止，通过了中间阀15的剩余排出用的涂布液借助惯性力或流路内的残余压力(压力P1与定流量排出时的流路内压力的差)也不马上停止流动，到剩余排出停止为止需要比压力P时的时间t2大的t5。在利用该压力P1进行剩余排出的情况下，比膜厚T厚的不良膜厚区域的大小为V×t5，比利用压力P进行剩余排出时的不良膜厚区域的大小V×t2大。因而，仅仅增大压力P来增大剩余排出的流量，有时候会无法缩小不良膜厚区域。

与此相对，如用上述涂布方法的优选的例子所示出那样，图6的(C)是当涂布开始时使用了减压单元40的情况。即，在成为加压单元14的加压的压力P1的状态下，在t＝0时打开下游侧阀17，在接下来的t＝t4时关闭中间阀15，并且打开减压单元40的第1减压用阀43。由此，能够借助减压单元40的减压力PVS从喷嘴5抽吸与通过了中间阀15的剩余排出用的涂布液量相当的部分，在比t2小的t＝t6时停止来自喷嘴5的剩余排出而仅进行定流量排出，并能够开始形成膜厚T的涂膜M。从此，当涂布开始时，使用了减压单元40时的不良膜厚区域的大小为V×t6，能够变得最小。根据本发明，因为能够使剩余排出的时间t6变成极小，因此即使提高作为移动速度的涂布速度V，也能够将由V×t6规定的不良膜厚区域的大小维持成非常小。即，能够通过高速涂布来提高生产率的状态下执行缩小不良膜厚区域并扩大产品区域。

此外，相对于在t＝t4时关闭中间阀15来说，打开第1减压用阀43的定时既可以与其同时，也可以是t＝t4的前后。结合减压力PVS的大小，调整定时以使得剩余排出停止的时间t6最小即可。另外，通过进一步加大用于剩余排出的加压单元14的加压的压力P1，并且也加大在减压单元40的调整器46中设定的涂布开始时的减压力PVS，还调整基于减压的抽吸时间(从打开第1减压用阀43到关闭第2减压用阀44为止的时间)，而能够将到上述剩余排出停止为止的时间t6减小到极限，其结果为能够将不良膜厚区域减小到极限。但是，若该调整不充分，例如在与图6的(C)相同的动作条件下，基于减压的抽吸时间(从打开第1减压用阀43到关闭第2减压用阀44为止的时间)较长，则如图6的(D)那样。即，虽然剩余排出停止的时间t7比t6小，但抽吸未结束而喷嘴5的排出流量比流量Q有所减少而成为过少排出，到再次返回到流量Q需要比t6大的t8。在这种情况下，不良膜厚区域的大小为V×t8，比抽吸时间为适当情况下的V×t6大。要使不良膜厚区域减小到极限，需要以流量Q的定流量排出为基准，并以极小时间进行适当量的剩余排出，并不发生过少排出。因为剩余排出能够看做以流量Q为基准的流量的正脉冲，过少排出能够看做流量的负脉冲，因此若对以上的情况换种说法，则要使不良膜厚区域缩小到极限，则需要发生流量的极小宽度的正脉冲，而不发生流量的负脉冲。

要以极小时间进行适当量的剩余排出，要求剩余排出时的涂布液的从中间储罐13向喷嘴5的提供时间和减压单元40的抽吸时间也成为极小。在本发明中，为了使剩余排出时的涂布液的从中间储罐13向喷嘴5的提供时间成为极小，而设置下游侧阀17和中间阀15，其中，该下游侧阀17是用于开始第2提供单元62所进行的向喷嘴5提供涂布液的打开用阀，该中间阀15与下游侧阀17串联配置，且能够与下游侧阀17独立进行动作，是用于停止向喷嘴5提供涂布液的关闭用阀。另外，为了使减压单元40的抽吸时间也成为极小，作为减压单元40的减压用阀而设置打开用第1减压用阀43和关闭用第2减压用阀44，其中，该打开用第1减压用阀43用于开始涂布液的抽吸，该关闭用第2减压用阀44与第1减压用阀43串联配置，且能够与第1减压用阀独立进行动作，用于停止涂布液的抽吸。即，当用一个阀进行关闭→打开→关闭时，在该阀的固有动作时间以下，上述提供时间和抽吸时间都不能缩小，但若如本发明那样独立并相对地实施串联连接的打开用阀的关闭→打开和关闭用阀的打开→关闭，则提供时间和抽吸时间都能够成为极小。

另外，在以上的涂布方法中，关于涂布结束时(第1涂布结束工序、第2涂布结束工序)，利用使用了减压单元40的从喷嘴5的排出口7a的高速抽吸而瞬时地破坏液滴B，并能够在一瞬间使涂布结束。由此，能够缩小涂布结束区域中的未成为膜厚T的不良膜厚区域。对于抽吸液滴B的流量来说，在调整器46中设定的减压力PVE越大则越高。因而，若增大减压力PVE，则能够在非常短的时间内破坏液滴B，因此也能够使涂布结束区域中的不良膜厚区域成为极小。在这种情况下，因为若从排出口7a的抽吸时间较长则除了液滴B以外还抽吸外部的空气，因此需要使抽吸时间也成为极小。在本发明中，将第1减压用阀43作为用于开始抽吸的打开用阀，将第2减压用阀44作为用于停止抽吸的关闭用阀。因而，通过使2个阀独立地相对地进行动作，能够使抽吸时间成为极小。由此，能够稳定地使涂布结束区域的不良膜厚区域成为极小。

此外，相对于涂布结束时关闭下游侧阀17来说，打开第1减压用阀43的定时既可以与其同时，也可以是其前后。只要与减压力PVE结合进行调整以使得能够适当且最快执行涂布液的抽吸即可。

以上，若使用本发明的涂布装置和涂布方法，则具有上述那样的优良的结构和作用，因此能够使涂布开始和结束区域中的不良膜厚区域缩小到极限。

此外，在涂布装置1中，作为涂布开始时的减压单元而使用了减压单元40，也可以如图7和图8所示那样。图7和图8是说明涂布装置1的其它概要结构的示意图。在图7中，相对于图1所示的涂布装置1来说，作为涂布开始时的减压单元而在喷嘴5上与减压单元40并联追加连接开始时减压单元50。即，图7所示的涂布装置作为用于进行喷嘴5内的涂布液的抽吸的减压单元而独立具有开始时减压单元50和减压单元40，其中，该开始时减压单元50是当涂布开始时进行涂布液的抽吸的减压单元，该减压单元40是当涂布结束时进行涂布液的抽吸的减压单元。开始时减压单元50是与减压单元40完全相同的结构，该开始时减压单元50作为进行喷嘴5(岐管6)内部的涂布液2的抽吸动作的减压部而具有抽吸泵51、能够自由地调整减压力(抽吸力)的调整器56、对喷嘴5(岐管6)与抽吸泵51进行连接的减压流路52、以及多个(两个)第1减压用阀53和第2减压用阀54。并且，第1减压用阀53和第2减压用阀54在同一减压流路52的途中以串联配置方式设置。使用了图7所示的涂布装置1的涂布方法在以上述的(A1)～(A12)的工序示出的涂布方法中，

1.在(A1)涂布准备工序中，关于开始时减压单元50，关闭第1减压用阀53、打开第2减压用阀54之后，使抽吸泵51进行动作，并利用调整器56设定成涂布开始时的减压力PVS。

2.将(A4)第1涂布开始工序2和(A9)第2涂布开始工序2替换成以下的(A4’)第1涂布开始工序2和(A9’)第2涂布开始工序2。

(A4’)第1涂布开始工序2

从打开下游侧阀17开始涂布之后在规定时间后关闭中间阀15，并在关闭中间阀15的同时打开开始时减压单元50的第1减压用阀53，并在规定时间后关闭第2减压用阀54。由此使来自喷嘴5的剩余排出停止。并且，在本工序(A4’)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1减压用阀53后，打开第2减压用阀54。

(A9’)第2涂布开始工序2

从打开下游侧阀17开始涂布之后在规定时间后关闭中间阀15，并在关闭中间阀15的同时打开开始时减压单元50的第1减压用阀53，并在规定时间后关闭第2减压用阀54。由此使来自喷嘴5的剩余排出停止。并且，在本工序(A9’)结束后，在关闭第1减压用阀53后，打开第2减压用阀54。

在涂布开始时使用了开始时减压单元50的情况下的作用效果与在涂布开始时使用了减压单元40的情况完全相同。但是，开始时减压单元50能够专门使用于涂布开始时。即，不需要如减压单元40那样在涂布开始时和涂布结束时切换减压力的设定，在如高速涂布时那样需要响应性的情况下，能够优选应用开始时减压单元50。

接着，在图8中，相对于图1所示的涂布装置1来说，作为涂布开始时的减压单元而在作为第2提供单元62的提供停止用阀的中间阀15与喷嘴5之间的流路上追加连接设置有抽吸单元70。在这种情况下，抽吸单元70包含于第2提供单元62。另外，当涂布开始时在进行加压单元14的加压下的涂布液2的剩余排出的情况下，当关闭中间阀15时，在喷嘴5内部的流路抽吸通过了中间阀15的剩余排出用的涂布液的是开始时减压单元50，与此相对，在中间阀15与喷嘴5之间的流路进行抽吸的是抽吸单元70。该抽吸单元70是与减压单元40完全相同的结构，该抽吸单元70作为进行中间阀15的下游的流路的涂布液2的抽吸动作的减压部而具有抽吸泵71、能够自由地调整抽吸力(减压力)的调整器76、对中间阀15与喷嘴5之间的流路与抽吸泵71进行连接的抽吸流路72、以及多个(两个)第1抽吸阀73和第2抽吸阀74。并且，第1抽吸阀73和第2抽吸阀74在同一抽吸流路72的途中以串联配置方式设置。使用了图8所示的涂布装置1的涂布方法在以上述的(A1)～(A12)的工序示出的涂布方法中，

1.在(A1)涂布准备工序中，关于抽吸单元70，关闭第1抽吸阀73、打开第2抽吸阀74之后，使抽吸泵71进行动作，并通过调整器76设定成涂布开始时的减压力PVS。

2.将(A4)第1涂布开始工序2和(A9)第2涂布开始工序2替换成以下的(A4”)第1涂布开始工序2和(A9”)第2涂布开始工序2。

(A4”)第1涂布开始工序2

从打开下游侧阀17开始涂布之后在规定时间后关闭中间阀15，并在关闭中间阀15的同时打开抽吸单元70的第1抽吸阀73，并在规定时间后关闭第2抽吸阀74。由此使来自喷嘴5的剩余排出停止。并且，在本工序(A4”)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1抽吸阀73后，打开第2抽吸阀74。

(A9”)第2涂布开始工序2

从打开下游侧阀17开始涂布之后在规定时间后关闭中间阀15，并在关闭中间阀15的同时打开抽吸单元70的第1抽吸阀73，并在规定时间后关闭第2抽吸阀74。由此使来自喷嘴5的剩余排出停止。并且，在本工序(A9”)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1抽吸阀73后，打开第2抽吸阀74。

在涂布开始时使用了抽吸单元70的情况下的作用效果，除了从位于中间阀15与喷嘴5之间的流路抽吸涂布液以外，与在涂布开始时使用了减压单元40的情况完全相同。但是，在减压单元40中，当使涂布开始时的减压力PVS非常大时，除了提供给喷嘴5的涂布液之外，也从排出口7a抽吸空气，因此在能够应用的减压力PVS的大小方面存在限制。另一方面，抽吸单元70从喷嘴5抽吸通过了位于远离上游侧的位置的中间阀15的剩余排出用涂布液，不会从喷嘴5的排出口7a抽吸空气，因而能够比减压单元40更大地设定能够应用的减压力PVS。因而，在比减压单元40更早地停止剩余排出而减小不良膜厚区域的情况下，能够优选应用抽吸单元70。

此外，关于减压单元40，若通过调整器46设定比喷嘴5内的压力低的压力，则能够抽吸喷嘴5内的涂布液，因此也可以使调整器46和抽吸泵41成为能够设定大气压或正压的压缩空气的调节器或压缩机等。但是，在增大涂布液的抽吸流量而使抽吸时间成为极小的情况下，当然优选使用能够设定更大的负压(减压力)的调整器46和真空泵等抽吸泵41。以上不限于减压单元40，关于开始时减压单元50和抽吸单元70也完全相同。

接着，对作为本发明的涂布装置的其它实施方式的涂布装置100进行说明。

图9是说明涂布装置100的概要结构的示意图。图9所示的涂布装置100与图1所示的涂布装置1之间除了以下的点不同以外完全相同。

1.在涂布装置100中，包含中间储罐13的第2提供单元62连接于第2流路11b，该第2流路11b与从喷嘴5延伸的第1流路11a(相当于图1的流路11)的相互独立。此外，在第1流路11a上连接有作为构成第1提供单元61的送液器的泵12。(在涂布装置1中，包含中间储罐13的第2提供单元62连接于从喷嘴5到作为送液器的泵12的流路11上)。

2.在涂布装置100中，作为构成第2提供单元的提供停止用阀，具有上游侧中间阀15a和下游侧中间阀15b的2个独立的阀(在涂布装置1中，提供停止用阀仅是中间阀15)。

3.在涂布装置100中，作为第2提供单元62，追加具有抽吸单元70，该抽吸单元70在第2流路11b上连接在下游侧中间阀15b的下游侧。此外，如上述所述，抽吸单元70具有抽吸泵71、能够自由地调整抽吸力(减压力)的调整器76、对下游侧中间阀15b与喷嘴5之间的流路与抽吸泵71进行连接的抽吸流路72、以及串联配置于抽吸流路72的第1抽吸阀73和第2抽吸阀74。

此外，涂布装置100的作用和效果与图8所示的涂布装置1的作用和效果相同。但是，当涂布开始时，用于使用了第1提供单元61的定流量排出的涂布液的向喷嘴5的提供使用第1流路11a，用于使用了第2提供单元的剩余排出的涂布液的向喷嘴5的提供使用第2流路11b。这样，因为能够用完全独立的不同的流路相互无干扰地进行用于定流量排出的涂布液的提供和用于剩余排出的涂布液的提供，因此在涂布装置100中响应性提高，能够容易实现比涂布装置1更短的时间的涂布液的剩余排出。

接着，关于使用了涂布装置100的涂布方法，参照图10～图13并且按照以下的(B1)～(B12)所示的工序按顺序进行说明。图10～图13是示出当利用间隙涂布来在基板W上形成2个涂膜M1和涂膜M2时，涂布装置100进行的涂布动作(涂布方法)的流程图。此外，在这些图中的“打开”“关闭”表示各阀的开闭状态。另外，当在泵12的右侧记载朝上的箭头时，表示泵12正在进行动作。

(B1)涂布准备工序(参照图10的(A))

在喷嘴5和构成提供单元10的第1提供单元61与第2提供单元62等所有的流路中填充有涂布液的状态下，从关闭下游侧阀17和下游侧中间阀15b之后，打开上游侧阀18，打开上游侧中间阀15a，使加压单元16a进行动作，并利用压力挤压上游侧储罐16的涂布液2，经由过滤器20补充给泵12。此外，在中间储罐13中已经通过人手补充有涂布液。

在此，基板W载置于载置台3，并位于初始位置(X＝X0)。另外，关于减压单元40，从关闭第1减压用阀43、打开第2减压用阀44之后，使抽吸泵41进行动作，并利用调整器46设定涂布结束时的减压力PVE。另外抽吸单元70也在关闭第1抽吸阀73、打开第2抽吸阀74之后，使抽吸泵71进行动作，并通过调整器76设定成涂布开始时的减压力PVS。

(B2)第1涂布开始准备工序(参照图10的(B))

利用加压单元14并以规定的压力P对中间储罐13的涂布液2进行加压。并与其结合，使升降机构9进行动作，使喷嘴5下降以使得喷嘴5的排出口7a与基板W之间的间隙达到间隙量G。接着，在关闭下游侧阀17、打开上游侧阀18的状态下，使泵12进行驱动并上升，并以恒定流量Q从泵12向第1流路11a送出涂布液2。所送出的涂布液2朝向上游侧储罐16。

(B3)第1涂布开始工序1(参照图10的(C))

驱动载置台3，基板W以恒定速度V移动，当基板W的涂膜M1的涂布开始位置(X＝X1)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，打开下游侧阀17和下游侧中间阀15b并且关闭上游侧阀18。由此，对基板W的涂布开始的区域(距离涂布开始位置几毫米的范围的区间)，从喷嘴5除了进行泵12的涂布液2的以流量Q的定流量排出之外，还通过加压单元14的利用压力P的加压进行中间储罐13的涂布液2的剩余排出。其结果为，开始形成有液滴B，并且也开始涂布。

(B4)第1涂布开始工序2(参照图11的(A))

从打开下游侧阀17和下游侧中间阀15b开始涂布之后在规定时间后关闭上游侧中间阀15a，并在关闭上游侧中间阀15a的同时打开抽吸单元70的第1抽吸阀73，并在规定时间后关闭第2抽吸阀74。由此，来自喷嘴5的剩余排出停止。同时，液滴B完成形成并成为规定的大小，并且从喷嘴5进行流量Q的定流量排出，因此涂膜M1的膜厚达到膜厚T。因而，从此处开始形成规定膜厚T的涂膜M1。此外，通过抽吸单元70的动作，能够在比仅关闭上游侧中间阀15a的时间短的时间内使剩余排出停止。并且，在本工序(B4)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1抽吸阀73后，打开第2抽吸阀74。同样，关闭下游侧中间阀15b后，打开上游侧中间阀15a。

(B5)第1涂布中间工序(参照图11的(B))

基板W以速度V继续移动，因为利用泵12从喷嘴5以流量Q定流量排出涂布液2，因此进行稳定的涂布，并形成有膜厚T的涂膜M1。

(B6)第1涂布结束工序(参照图11的(C))

当基板W的涂膜M1的涂布结束位置(X＝X2)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，关闭下游侧阀17，并且执行上游侧阀18的打开和减压单元40的第1减压用阀43的打开。并且，在打开第1减压用阀43之后规定时间后关闭第2减压用阀44，并完成涂布结束时的抽吸。以上，结束(中断)涂布液2对基板W的定流量排出，并且利用减压单元40，液滴B经由排出口7a被抽吸到喷嘴5，因此液滴B被瞬时破坏并结束涂布，同时也完成涂膜M1的形成。另外，泵12与以上的动作无关地继续进行驱动，并通过打开上游侧阀18而以流量Q继续向上游侧储罐16送出涂布液2。

(B7)第2涂布开始准备工序(参照图12的(A))

与基板W的以速度V的移动并行，关闭第1减压用阀43后，打开第2减压用阀44。泵12继续进行驱动。

(B8)第2涂布开始工序1(参照图12的(B))

开始涂膜M2的涂布。当继续以速度V的移动的基板W的涂膜M2的涂布开始位置(X＝X3)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，打开下游侧阀17和下游侧中间阀15b并且关闭上游侧阀18。由此，从喷嘴5除了进行泵12的流量Q的涂布液2的定流量排出之外，还以利用加压单元14的压力P的加压进行中间储罐13的涂布液2的剩余排出，开始液滴B的形成并且也开始涂布。

(B9)第2涂布开始工序2(参照图12的(C))

从打开下游侧阀17和下游侧中间阀15b开始涂布之后在规定时间后关闭上游侧中间阀15a，并在关闭上游侧中间阀15a的同时打开抽吸单元70的第1抽吸阀73，并在规定时间后关闭第2抽吸阀74。由此使来自喷嘴5的剩余排出停止。同时，液滴B完成形成并成为规定的大小，并且从喷嘴5进行流量Q的定流量排出，因此涂膜M2的膜厚达到膜厚T。因而，从此处开始形成规定膜厚T的涂膜M2。

并且，在本工序(B9)结束后，为了进行下个准备，在关闭第1抽吸阀73后，打开第2抽吸阀74。

(B10)第2涂布中间工序(参照图13的(A))

基板W以速度V继续移动，因为利用泵12从喷嘴5以流量Q定流量排出涂布液2，因此形成有膜厚T的涂膜M2。

(B11)第2涂布结束工序(参照图13(B))

当基板W的涂膜M2的涂布结束位置(X＝X4)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，关闭下游侧阀17，并且执行上游侧阀18的打开和减压单元40的第1减压用阀43的打开。并且，在打开第1减压用阀43之后规定时间后关闭第2减压用阀44，也完成抽吸。以上，结束涂布液2向基板W的定流量排出，因为还利用减压单元40，液滴B经由排出口7a被抽吸到喷嘴5，因此液滴B被瞬时破坏并结束涂布，也完成涂膜M2的形成。之后，使泵12停止。

(B12)涂布完成后准备工序

涂布结束后，基板W还依然以速度V继续移动，当到达终点位置(X＝X5)时停止。并且，取出所涂布的基板W并搬出到下个工序(干燥工序)，并且使载置台3向相反方向移动并返回初始位置(X＝X0)。

以后从(B1)涂布准备工序开始重复向下个基板W的涂布。

接着，对作为本发明的涂布装置的另一个其它实施方式的涂布装置200进行说明。图15是说明涂布装置200的概要结构的示意图。图15所示的涂布装置200将图1所示的涂布装置1的接头部分19a置换成接头80，除了用流路长度LP规定从接头80到下游侧阀17的流路的长度以外与涂布装置1完全相同。关于该不同点，使用图16进行详细说明。

图16是放大了作为涂布装置200的一部分的接头80和与其连接的附近的示意图。接头80在内部具有第1接头流路81和第2接头流路82，其中，该第1接头流路81与第1提供单元61所具有的流路11连接，该第2接头流路82与第2提供单元62连接。第1接头流路81包含于流路11的一部分，在作为流路11的送液器的泵12侧与送液器侧连接点83连接，在喷嘴5侧与喷嘴侧连接点84连接。另外，第2接头流路82从作为与第1接头流路81的连接点的内部连接点86相对于第1接头流路81成角度θ(如图16所示，如果关于配置进行说明)朝向流路11的泵12侧延伸，并在第2提供单元连接点85与第2提供单元62连接并到达中间储罐13。

根据以上的结构，可以说第2提供单元62的中间储罐13借助接头80连接于从第1提供单元61所具有的喷嘴5到泵12之间的流路11上。并且，该接头80被构成为：在其内部具有连接于第1提供单元61所具有的流路11的第1接头流路81、以及与该第1接头流路81在内部连接点86汇合且与第2提供单元62所具有的流路连接的第2接头流路82，从中间储罐13送出并在第2接头流路82中流动的涂布液2为了具有与在第1接头流路81中流动的涂布液2的流动方向相同的速度成分，第2接头流路82与第1接头流路81汇合。

另外，在流路11的喷嘴5侧沿流路11距离接头80分离规定的流路长度LP的位置处配置下游侧阀17。此外，下游侧阀17是从泵12和中间储罐13的双方，向喷嘴5进行涂布液的提供和停止的阀。该下游侧阀17设置在接头80到喷嘴5之间的比喷嘴5更靠近接头80侧。例如，下游侧阀17(的阀芯)设置在比从接头80到喷嘴5的流路的中间点更靠近接头80侧。

使用了以上的结构的涂布装置200的涂布方法与使用了上述的涂布装置1的涂布方法完全相同，只要在(A3)第1涂布开始工序1和(A8)第2涂布开始工序1中适当地选定角度θ和流路长度LP并进行涂布，则带来更优良的作用和效果。

因此，将使用了涂布装置200的(A3)第1涂布开始工序1作为(A3’)第1涂布开始工序1’，并使用图17按照该工序对涂布装置200的作用和效果进行说明。图17与图2的(C)对应，是示出涂布装置200的涂布开始动作的说明图。

(A3’)第1涂布开始工序1(参照图17)

开始涂膜M1的涂布。驱动载置台3，基板W以恒定速度V移动，当基板W的涂膜M1的涂布开始位置(X＝X1)到达喷嘴5的排出口7a的正下方时，打开下游侧阀17。由此，对基板W的涂布开始的区域(距离涂布开始位置几毫米的范围的区间)，从喷嘴5除了进行泵12的涂布液2的以流量Q的定流量排出之外，还通过加压单元14的利用压力P的加压进行中间储罐13的涂布液2的剩余排出。其结果为，开始形成有液滴B，并且也开始涂布。

此时，角度θ优选是5～75度，更优选是15～60度，当打开下游侧阀17时，接头80的第1接头流路81内的涂布液2和第2接头流路82内的涂布液2朝向相同方向(即，具有相同方向的速度成分)流出。由此，在第2接头流路82内流动的基于加压单元14的压力P的中间储罐13的涂布液2的剩余流量Qr可靠地瞬时与在第1接头流路81内流动的泵12的涂布液2的以流量Q的定量排出相加，并且以极短的时间提供给喷嘴5的涂布液2的流量达到汇合流量(Q+Qr)。而且，当第1接头流路81内的涂布液2朝向喷嘴5侧开始流动时，利用基于文丘里效果的抽吸作用，第2接头流路82内的涂布液2被吸入第1接头流路81，有助于基于压力P的中间储罐13的涂布液的流动，因此在第2接头流路82内流动的涂布液在极短的时间内达到剩余流量Qr。利用以上的作用，从下游侧阀17打开之后提供给喷嘴5的涂布液的流量在进一步极短的时间内达到汇合流量(Q+Qr)。因而，能够从喷嘴5呈脉冲状以汇合流量(Q+Qr)对涂布液进行剩余排出。使角度θ比上述范围小，因为在接头内的流路中汇合区域变长，因此接头变得巨大化而不实用。另外，当使角度θ比上述范围大时，因为第2接头流路82内的涂布液的一部分以与第1接头流路内的涂布液2抵抗的方式进行流动，因此从下游侧阀17打开之后到涂布液的流量达到汇合流量(Q+Qr)为止的时间变长，不能以汇合流量(Q+Qr)呈脉冲状进行从喷嘴5的剩余排出。

尤其当使角度θ比90度大时，第2接头流路82内的涂布液2因为暂时与第1接头流路内的涂布液2抵抗进行流动并产生冲突后进行方向转换向喷嘴5侧流动，因此从下游侧阀17打开之后涂布液的流量达到汇合流量(Q+Qr)的时间变得相当长，只能从喷嘴5以汇合流量(Q+Qr)呈梯形形状进行剩余排出。在梯形形状的剩余排出中，在高速涂布时不能缩小在涂布开始部的不良膜厚区域。与此相对，在本实施方式中，能够如图6的(c)所示那样呈脉冲状从喷嘴5对涂布液2进行剩余排出(图6(c)的阴影部分)。此外，所谓的所述梯形形状的剩余排出是指与图6(c)的阴影部分相当的区域成为梯形形状。

另外，当缩小流路长度LP时，在第1接头流路81和第2接头流路82中流动的涂布液在内部汇合点86汇合之后到达下游侧阀17的流路长度变小。因而，当缩小流路长度LP时，打开下游侧阀17之后，在内部汇合点86汇合的涂布液到达下游侧阀17的时间也变小。即，打开下游侧阀17之后，流量为汇合流量(Q+Qr)的涂布液从下游侧阀17到开始提供给喷嘴5为止的时间变短。这也可以说从打开下游侧阀17之后，涂布液以较高的响应性提供给喷嘴5。当使流路长度LP优选为50mm以下时，从打开下游侧阀17之后瞬时在泵12的流量Q的涂布液中汇合了加压单元14的剩余流量Qr的涂布液的汇合流量(Q+Qr)的涂布液从下游侧阀17提供给喷嘴5。由此，从打开下游侧阀17开始，能够瞬时从喷嘴5以汇合流量(Q+Qr)对涂布液进行剩余排出即以较高的响应性从喷嘴5对涂布液进行剩余排出。如果使从下游侧阀17到喷嘴5的流路长度优选为50mm以下，更优选为20mm以下，则能够进一步提高针对下游侧阀17的打开动作的从喷嘴5的涂布液的剩余排出的响应性。即，从打开下游侧阀17之后，能够在极短的时间内从喷嘴5以汇合流量(Q+Qr)对涂布液进行剩余排出。

若使用以上的涂布装置200开始涂布，因为能够从打开下游侧阀17之后响应性较高地瞬时地呈脉冲状从喷嘴5进行恒定流量的涂布液的剩余排出，因此即使进行高速涂布时，也能够减小涂布开始部的不良膜厚区域，能够扩大均匀厚度的产品区域。

在以上(A3’)工序中的涂布装置200与涂布装置1的作用的不同，即使在使用了涂布装置200的(A8)第2涂布开始工序1即(A8’)第2涂布开始工序1’中也完全相同。

以上的本发明的上述涂布装置1、涂布装置100以及上述涂布方法能够应用于彩色液晶显示器用滤色镜、有机EL、等离子显示器等在基板上的面上形成面状或条纹状的多个涂膜的各种显示器用部件的制造。根据本发明的涂布装置以及涂布方法，如上述所述，能够在涂布开始区域和涂布结束区域中使不良膜厚区域变得非常小，即使在高速涂布时也能够实现膜厚均匀且高品质的产品区域的扩大，因此能够以较高的生产率和基于材料损耗的降低的低成本来制造膜厚均匀的品质较高的显示器用部件。此外，所述多个涂膜所形成的基板W按照涂膜面进行剖切而成为显示器用部件。

以上涂布装置1与涂布装置100的应用性对涂布装置200也同样。

另外，本发明的涂布装置1、涂布装置100不限于图示的方式，在本发明的范围内也可以是其它方式。例如在图1中，移动单元8只要能够使喷嘴5与基板W相对地向一个方向移动即可，也能够采用其它的结构，也可以是固定有载置台3且使喷嘴5相对于该载置台3移动的结构。以上的结构对涂布装置200也同样应用。

以下通过实施例对本发明具体地进行说明。

[实施例1]

准备了如下的有机EL的图案基板：在250mm(宽度方向)×550mm(涂布方向)厚度为0.7mm的无碱玻璃基板内，在涂布方向上隔开20mm的间隔设置2处210mm(宽度方向)×250mm(涂布方向)的面区域，并在各个面区域中，排列高度为2μm、宽度为20μm、基板长度方向的长度为250mm的聚酰亚胺膜作为组，在宽度方向上以间距100μm配置有2101根。

此外，各个面区域在宽度方向上位于基板中央，从涂布方向的基板端部开始位于15mm内侧。即基板宽度方向(Y方向)的两侧20mm、基板涂布方向(X方向)的两侧15mm以及中央的20mm的区域是没有条纹状的聚酰亚胺膜的非产品区域。还在作为组的聚酰亚胺膜之间，ITO透明电极作为阳极以0.1μm形成于玻璃基板上，并在其上作为电子空穴注入层以厚度为0.1μm形成有混合了聚乙烯二氧噻吩与聚苯乙烯磺酸的物质。

并在以上的面区域上作为EL发光层以干燥后的厚度0.07μm对R发光材料进行间隙涂布。该R发光材料的固体量浓度为2％，粘度为5mPa·s，与干燥后的厚度0.07μm对应的湿厚度是3.5μm。

作为涂布装置，使用了图1所示的涂布装置1。另外喷嘴5能够在Y方向长度210mm内以间距300μm形成700根条纹状涂膜。而且在各阀中使用了基于开闭转换的容量变化较少的电磁阀。

并且执行了在上述的(A1)～(A12)的工序中所示的间隙涂布方法。此时的涂布速度V是100mm/s，作为基板与喷嘴的排出口7a之间的间隙的间隙量G为30μm。而且，定流量排出时的泵12所提供的涂布液的流量为19.6μl/s，剩余排出时的加压单元14的加压压力P设定为10kPa。另外，进行控制以使得从打开下游侧阀17之后在0.005秒后关闭中间阀15以使得借助该压力P向喷嘴5提供涂布液的时间为0.005秒。另一方面，在涂布结束工序中，在减压单元40的调整器46中，将涂布结束时的减压力设定成－10kPa，而且进行控制以使得从打开第1减压用阀43之后在0.002秒后关闭第2减压用阀44，以使得利用该减压力抽吸喷嘴5内的涂布液的时间为0.002秒。

在以上的条件下对在第1面和第2面上间隙涂布了R发光材料的基板进行60秒的以30秒到达65Pa的真空干燥，还使在120℃的加热板上干燥10分钟。

当干燥后测定膜厚时，2面的涂膜都是距离涂布开始3mm为0.07μm，涂布结束部的未达到0.07μm的区域是3mm。即涂布开始区域和涂布结束区域中的膜厚未达到0.07μm的不良膜厚区域的大小在涂布开始区域是3mm，在涂布结束区域也是3mm。在从这些不良膜厚区域所占的涂布开始和结束部中各除去了3mm的250mm的范围即形成有聚酰亚胺膜的组的范围，膜厚不均匀达到±5％以下，非常良好。

并且，之后，也同样依次涂布G发光材料、B发光材料，并以覆盖RGB发光材料与组之上的方式蒸镀阴电极而制作了有机EL元件。并且于在后工序中对该有机EL元件进行规定的处理并形成于显示装置上，RGB的颜色遍及基板整面都均匀地显示，2面都在品质方面毫无问题。

产业上的可利用性

本发明能够用于在彩色液晶显示器用滤色镜、有机EL、等离子显示器等作为显示器部件的基板上的面上间歇地稳定地高精度地形成面状或条纹状的多个涂膜的各种显示器用部件的制造。

标号说明

1：涂布装置；2：涂布液；3：载置台；4：控制装置；5：喷嘴；6：岐管；7：排出流路；7a：排出口；8：移动单元；8a：直线电机；8b：导件；9：升降机构；10：提供单元；11：流路；11a：第1流路；11b：第2流路；12：泵(送液器)；13：中间储罐(储罐)；14：加压单元；15：中间阀；15a：上游侧中间阀；15b：下游侧中间阀；16：上游侧储罐；16a：加压单元；17：下游侧阀；18：上游侧阀；19a：接头部分；19b：接头部分；19c：流路部分；20：过滤器；40：减压单元；41：抽吸泵(减压部)；42：减压流路；43：第1减压用阀；44：第2减压用阀；46：调整器；50：开始时减压单元；51：抽吸泵(减压部)；52：减压流路；53：第1减压用阀；54：第2减压用阀；56：调整器；61：第1提供单元；62：第2提供单元；70：抽吸单元；71：抽吸泵(抽吸部)；72：抽吸流路；73：第1抽吸阀；74：第2抽吸阀；76：调整器；80：接头；81：第1接头流路；82：第2接头流路；83：送液器侧连接点；84：喷嘴侧连接点；85：第2提供单元连接点；86：内部连接点；200：涂布装置；B：液滴；G：间隙量；Q：流量；LP：流路长度；M：涂膜；t：时间；T：膜厚(涂膜M的)；W：基板(被涂布部件)；θ：第2接头流路相对于第1接头流路所成的角度。

Claims (4)

1.一种涂布方法，其使用涂布装置对被涂布部件涂布涂布液，该涂布装置具有对被涂布部件排出涂布液的喷嘴、使所述喷嘴与所述被涂布部件相对地移动的移动单元、向所述喷嘴提供涂布液的提供单元、以及用于进行所述喷嘴内的所述涂布液的抽吸的减压单元，所述提供单元具有：

第1提供单元，其包含以恒定的流量向所述喷嘴送出涂布液的送液器；以及

第2提供单元，其具有储罐以及加压单元，该储罐储存涂布液并且经由流路与所述喷嘴连接，该加压单元用于对所述储罐的涂布液进行加压而向所述喷嘴送出该涂布液，

所述减压单元具有：

打开用第1减压用阀，该打开用第1减压用阀为了开始所述喷嘴内的所述涂布液的抽吸而从关闭状态成为打开状态；以及

关闭用第2减压用阀，该关闭用第2减压用阀与所述第1减压用阀串联配置，且能够与所述第1减压用阀独立进行动作，为了停止所述涂布液的抽吸而从打开状态成为关闭状态，

其特征在于，该涂布方法包括：

涂布开始工序，与所述第1提供单元开始以恒定的流量向所述喷嘴提供涂布液相应地，由所述第2提供单元开始向所述喷嘴提供涂布液，并在规定时间后停止由该第2提供单元进行的向该喷嘴的涂布液的提供，开始涂布；

涂布中间工序，持续由所述第1提供单元以恒定的流量进行的涂布液的提供；以及

涂布结束工序，停止由所述第1提供单元进行的涂布液的提供，并且开始由所述减压单元进行的所述喷嘴内的涂布液的抽吸，并在规定时间后停止该抽吸而结束对所述被涂布部件的涂布。

2.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

在所述涂布开始工序中，停止由所述第2提供单元进行的涂布液的提供，并且进行由所述减压单元进行的喷嘴内的涂布液的抽吸。

3.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

在所述涂布开始工序中，停止由所述第2提供单元进行的涂布液的提供，并且进行与储罐连接的流路内的涂布液的抽吸。

4.一种显示器用部件的制造方法，其特征在于，

使用权利要求1～3中的任意一项所述的涂布方法，利用所述被涂布部件制造显示器用部件。